JP5176368B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
また、請求項2の発明では、請求項1に記載の基板検査装置において、前記検査点に半田バンプが設けられており、前記プローブの前記先端部は、前記半田バンプと接触する際、該先端部の中心が前記半田バンプの中心と略一致するように設定される。
図1は本発明の第1関連技術に係る基板検査装置の構成を模式的に示す図であり、図2は図1の基板検査装置に備えられるプローブの断面図であり、図3は図1の基板検査装置に備えられる検査治具の先端側部分の断面構成及びその被検査基板の検査点との接触状態を示す断面図であり、図4は図3の検査治具の後端側部分の断面図であり、図5は図3の検査治具の分解状態を示す図である。
図6は、本発明の第2関連技術に係る基板検査装置におけるプローブの断面構成及びその被検査基板の検査点との接触状態を示す断面図である。本関連技術に係る基板検査装置と上述の第1関連技術に係る基板検査装置1とが実質的に異なる点は、プローブ2と検査点16である半田バンプ18との位置調節に関する構成のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付し、重複説明を回避する。
図7は、本発明の第1実施形態に係る基板検査装置におけるプローブの断面構成及びその被検査基板の検査点との接触状態を示す断面図である。本実施形態に係る基板検査装置と上述の第1関連技術に係る基板検査装置1とが実質的に異なる点は、プローブ2の先端部2aの端面形状のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付し、重複説明を回避する。
図8は、本発明の第2関連技術に係る基板検査装置におけるプローブの断面構成及びその被検査基板の検査点との接触状態を示す断面図である。本関連技術に係る基板検査装置と上述の第1関連技術に係る基板検査装置1とが実質的に異なる点は、プローブ2の先端部2aを傾斜姿勢で検査点16である半田バンプ18に接触させるようにした点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付し、重複説明を回避する。
図9は本発明の第4関連技術に係る基板検査装置に備えられる検査治具の後端側部分の断面図であり、図10はその分解状態を示す図である。本関連技術に係る基板検査装置と上述の第1関連技術に係る基板検査装置1とが実質的に異なる点は、プローブ2の線材23を省略し、プローブ2の後端側の電気接続構造を変更した点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付し、重複説明を回避する。
図11は本発明の第5関連技術に係る基板検査装置に備えられる検査治具の後端側部分の断面図であり、図12はその分解状態を示す図である。本関連技術に係る基板検査装置と上述の第1関連技術に係る基板検査装置1とが実質的に異なる点は、プローブ2の線材23を省略し、プローブ2の後端側の電気接続構造を変更した点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付し、重複説明を回避する。
図13は本発明の第6関連技術に係る基板検査装置に備えられる検査治具の後端側部分の断面図であり、図14はその分解状態を示す図である。本関連技術に係る基板検査装置と上述の第5関連技術に係る基板検査装置とが実質的に異なる点は、ピン型電極部材43の設置形態を変更した点のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付し、重複説明を回避する。
図15は本発明の第7関連技術に係る基板検査装置に備えられる検査治具の後端側部分の断面図であり、図16はその分解状態を示す図である。本関連技術に係る基板検査装置は、言わば上述の第4関連技術に係る基板検査装置の構成と、上述の第6関連技術に係る基板検査装置の構成とを組み合わせた構成を有しており、第4及び第6関連技術に係る構成と対応する部分には同一の参照符号を付し、重複説明を回避する。
図17は、本発明の第8関連技術に係る基板検査装置に備えられる検査治具の後端側部分の断面図である。本関連技術に係る基板検査装置では、図17に示すように、上述の第5関連技術に係る基板検査装置の構成において、導電性の配線材(より具体的には、樹脂被覆等のないストリップ導線)44によりピン型電極部材43を形成している。すなわち、配線材44のピン型電極部材43として機能する一端側は、プローブ2のプローブ本体21の後端部21bに挿入されて電気接続され、他端側は検査治具3から引き出されて所定の接続先(検査処理部7等)に電気接続される。配線材44における外界に露出された部分(例えば、検査治具3の電極保持部材13の貫通孔41内から引き出された部分)には、エナメル等の絶縁被覆45が施される。
上述の各関連技術及び実施形態では、被検査基板4の配線パターンのランド部に付与された半田バンプ18が検査点16として設定された場合について本発明に係る技術を適用したが、被検査基板4の配線パターンの一部やランド部が検査点16として設定される場合でも、本発明に係る技術を適用することにより、プローブ2の接触により検査点16に残る傷の軽減、プローブ2と検査点16の接触抵抗の安定性向上等の効果が得られる。
Claims (2)
- 被検査基板に形成された配線パターン上に設定される検査点に、先端側が電気的に接触され、検査信号授受のための電極に、後端側が電気的に接触され、被検査基板の配線パターンの電気特性検査に用いられるプローブと、前記プローブの先端部が所定位置に設置された前記被検査基板に対して略直角になるように前記プローブを保持するプローブ保持部材と、前記プローブの後端側が電気的に接触され、前記プローブを検査信号授受のためのリード線と電気接続する電極部材と、前記電極部材を保持する電極保持部材と、を有する検査治具と、
前記所定位置に設置された前記被検査基板に対し、前記被検査基板と直角に交わる方向に沿って前記検査治具を近接、離反させる駆動機構と、
前記プローブを介して前記被検査基板の配線パターンの電気的特性を検査する検査処理部と、を備え、
前記プローブは、導電性及び可撓性を有する細長状の筒形状を有するプローブ本体を備え、
前記プローブ本体の前記先端部が前記検査点に電気的に接触され、
前記プローブ本体の前記先端部の端面は、前記プローブの軸方向に対して斜めに交わる傾斜面に沿って形成され、
前記プローブは、前記プローブ本体と同等レベルかそれ以下の撓み剛性を有し、前記プローブ本体に挿入されて電気接続された導電性の線材をさらに備え、
前記プローブの先端側に位置する前記線材の先端側端部は、前記プローブ本体の先端よりも内方に位置し、
前記プローブの後端側に位置する前記線材の後端側端部は、前記プローブ本体の後端から突出して、前記電極部材と当接して電気接続され、
前記検査治具の前記プローブ保持部材は、前記プローブが撓み変形可能なように、前記プローブの先端側及び後端側をそれぞれ保持する先端側保持部及び後端側保持部を備えることを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置において、
前記検査点に半田バンプが設けられており、
前記プローブの前記先端部は、前記半田バンプと接触する際、該先端部の中心が前記半田バンプの中心と略一致するように設定されることを特徴とする基板検査装置。
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