JP2003273195A - チップ部品供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】チップ支持シートに貼付け搭載されたチップ部
品を短時間かつ高速に取出すことができるチップ部品供
給装置を提供する。 【解決手段】上面にチップ部品２を貼付け搭載したチッ
プ支持シート４の下方に供給ヘッド１２を配備する。チ
ップ支持シート４と供給ヘッド１２とをシート４の下面
に沿って相対移動させる搬送手段８を設ける。供給ヘッ
ド１２の上面に、チップ部品２を送り出す方向に沿って
隆起するマウンド１３を突設する。マウンド１３の頂部
付近の幅をチップ部品２の幅よりも小さくする。これに
より、チップ支持シート４と供給ヘッド１２とが相対移
動することで、チップ支持シート４がこのマウンド１３
によって局部的に突き上げ変形されて、マウンド１３か
ら外れた部位においてチップ支持シート４がチップ部品
２から部分的に剥離される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、張設されたチップ
支持シートの上面にチップ部品を貼付け搭載し、チップ
部品を取出し用チャックの下方に供給するよう構成した
チップ部品供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記チップ部品供給装置としては、例え
ば、特開平１１−２７４１８１号公報に開示されたもの
がある。このチップ部品供給装置は次のように動作す
る。すなわち、先ず、上面が凹凸に形成されたペパーポ
ットを取出すべきチップ部品の下に位置させる。この状
態でチップ支持シートをペパーポットの上面に真空吸着
することでチップ支持シートをペパーポット上面の凹凸
に沿った状態に変形させ、チップ部品から局部的にチッ
プ支持シートを剥離させる。次に、ペパーポットの上面
から突き上げ用のピンを突出させ、チップ部品を剥離浮
上させながら真空吸着型の取出し用チャックで保持す
る。

【０００３】また、特開２０００−１２５７０号公報に
開示されたチップ部品供給装置がある。このチップ部品
供給装置は次のように動作する。すなわち、チップ支持
シートの上面に貼付け支持したチップ部品を取出し用チ
ャックの下方に位置させ、この状態で、シート下方から
プッシュピンでチップ部品を１回突き上げてチップ部品
からチップ支持シートを部分的に剥離する。次いで、プ
ッシュピンを再度突き上げ作動させる。これにより、チ
ップ部品からチップ支持シートをほぼ完全に剥離したう
えで、取出し用チャックによる部品取出し作動を行う。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のチップ
部品供給装置は、いずれも、チップ部品が取出し位置に
位置した後に、チップ支持シートの部分的な剥離作動、
および、ほぼ完全な剥離作動を行って取出し用チャック
による取出し作動を行うものであり、部品取出しの行程
が多く、処理時間が長いものであった。

【０００５】また、前者の従来チップ部品供給装置で
は、チップ支持シートの粘着力を低減する能力はペパー
ポット上面の面積によって決まり、剥離処理を行った後
に残存する粘着力はチップ部品の大きさによって変動す
るものである。従って、チップ部品の大きさに対応させ
て確実な取出し作動を行うためには、例えばプッシュピ
ンの突き上げ動作速度を変更する等、取出し作動時の仕
様をチップ部品の大きさに対応させてそれぞれ設定する
必要があった。

【０００６】また、後者の従来チップ部品供給装置で
は、チップ部品がピックアップ位置に送られてから２段
階の工程を経てピックアップを行うため、ピンを突上げ
て剥離行う時間及び供給に時間がかかっていた。

【０００７】本発明は、このような実情に着目したもの
であって、チップ支持シートに貼付け搭載されたチップ
部品を短時間で取出すことができるチップ部品供給装置
を提供することを主たる目的とする。また、本発明は、
チップ部品の大きさに拘わらず、同仕様で確実な取出し
作動を行えるチップ部品供給装置を提供することを他の
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明では、上記目的を
達成するために、次のように構成している。

【０００９】すなわち、請求項１に係る発明は、張設さ
れたチップ支持シートの上面にチップ部品を貼付け搭載
して取出し用チャックの下方に供給するよう構成したチ
ップ部品供給装置であって、前記チップ支持シートの下
方には、供給ヘッドを配備するとともに、この供給ヘッ
ドを前記チップ支持シートの下面に沿って相対移動させ
る搬送手段を設け、前記供給ヘッドの上面にはマウンド
が形成されており、前記マウンドはチップ部品を供給ヘ
ッドに送り出す方向に沿って隆起し、前記マウンドの頂
部付近では前記マウンドの幅がチップ部品の幅より小さ
く形成されており、前記搬送手段により前記チップ支持
シートと前記供給ヘッドとが相対移動することで、前記
チップ支持シートが前記マウンドによって局部的に突き
上げ変形されて、前記マウンドから外れた部位において
前記チップ支持シートがチップ部品から部分的に剥離す
るように構成してあることを特徴とする。

【００１０】この構成によると、チップ支持シートと供
給ヘッドがシート面と平行な方向に相対移動すること
で、シート上のチップ部品は供給ヘッドにおけるマウン
ドの低い部位から次第に高い部位に乗り上がることにな
り、この時、直接的に突き上げ変形を受けないマウンド
の両側のシート部分は次第にチップ部品から剥離されて
ゆくことになる。

【００１１】請求項２に係る発明のチップ部品供給装置
は、請求項１の発明において、前記マウンドの隆起が大
きくなるにつれてマウンドの幅が小さくなるように設定
してある。

【００１２】この構成によると、マウンドへの乗り上が
り初期にはマウンド幅が大きいのでチップ部品からのシ
ートの剥離はチップ部品の端部において始まり、マウン
ドが高くかつ幅狭くなるにつれて剥離がチップ部品に幅
方向中心側に進行してゆくことになり、シートの剥離が
チップ部品の端部から無理なく円滑に行われる。

【００１３】請求項３に係る発明のチップ部品供給装置
は、請求項１または２の発明において、前記マウンドの
頂部に所定の一定面積の部品支持面を形成してあるもの
である。

【００１４】この構成によると、マウンドの頂部に達し
たチップ部品は、部品支持面のみにおいてシートに貼付
け支持された状態になるが、部品の大きさに拘わらずこ
の部品支持面の大きさが一定であるので、マウンドの頂
部におけるチップ部品の貼付け強度、つまり、部品剥離
力が一定となる。したがって、部品支持面の大きさをチ
ップ部品の保持に必要な最小限の面積に設定すれば、隔
離補助機構（突上げプッシュピン等）を用いることな
く、チップ部品をチップ支持シートから取り出すことが
可能となる。

【００１５】請求項４に係る発明のチップ部品供給装置
は、請求項１から３のいずれかの発明において、前記マ
ウンドの頂部に位置するチップ部品を下方から突き上げ
るプッシュピンを配備してあるものである。

【００１６】この構成によると、マウンドの頂部に至っ
たチップ部品は、プッシュピンによって強制的に突き上
げられることでほぼ完全にチップ支持シートから剥離さ
れ、取出し用チャックによって取出される。

【００１７】請求項５に係る発明のチップ部品供給装置
は、請求項１の発明において、前記供給ヘッドを、外周
面がチップ支持シートの下面に接触する回転ローラで構
成するとともに、この回転ローラの外周面に前記マウン
ドを環状に突設してあるものである。

【００１８】この構成によると、チップ支持シートと供
給ヘッドが相対移動する際の擦れによるシートの引きず
り変形などを防止することができる。また、チップ部品
は供給ヘッドの円弧面にチップ支持シートを介して保持
されることになるので、供給ヘッドが平坦面となってい
る場合に比して、チップ部品がチップ支持シートに接触
する面積を小さくすることができる。そのため、チップ
部品をチップ支持シートから剥離する際に要する力を小
さくすることができる。これにより、チップ部品をチッ
プ支持シートから剥離する際に用いる機構の簡略化を図
ることができるうえに、機構そのものの不要化を図るこ
ともできるようになる。

【００１９】請求項６に係る発明のチップ部品供給装置
は、請求項１から４のいずれかの発明において、前記供
給ヘッドが前記チップ支持シートの下面に垂直な方向に
往復上下動可能とする駆動手段を設けてあるものであ
る。

【００２０】この構成によると、供給ヘッドが搬送手段
によって相対移動する期間は、駆動手段によって供給ヘ
ッド（マウンド）をチップ支持シートから離間させるこ
とが可能となる。そのため、供給ヘッド（マウンド）を
チップ支持シートに当接させる時間を最小限とすること
ができる。これにより、チップ支持シートと供給ヘッド
が相対移動する際の擦れによるシートの引きずり変形な
どを防止することができる。

【００２１】請求項７に係る発明のチップ部品供給装置
は、請求項１から６のいずれかの発明において、前記マ
ウンドの両側に、シート吸着用の吸引孔を配備してある
ものである。

【００２２】この構成によると、マウンドから外れた部
位におけるチップ支持シートが強制的に吸引変形される
ことで、チップ部品から確実に剥離される。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００２４】図１は、本発明に係るチップ部品供給装置
の第１例の正面図を示している。チップ部品供給装置１
において、チップ部品２は、フレーム３に張設したチッ
プ支持シート４の上面に貼付け支持されている。フレー
ム３は、フレーム保持リング５に保持された状態で、搬
送手段８によって図中右方から左方に向けて水平に搬送
され、部品移載ヘッド６に支持された真空吸着型の取出
し用チャック７の下方に搬入されてくる。ここで、前記
チップ支持シート４は、その上面を粘着面とした粘着シ
ートが利用され、その粘着面を介してフレーム３の下面
に貼付け張設されている。また、チップ支持シート４
は、粘着面に多数のチップ部品２が整列して貼付け搭載
されている。これにより、チップ部品２は、チップ支持
シート４を介して取出し用チャック７の下方に搬入され
るようになっている。なお、搬送手段８としては、例え
ば、平面方向に沿ってフレーム保持リング５を搬送でき
るＸＹテーブル装置等が挙げられる。

【００２５】フレーム３の移動経路における部品取出し
位置の下方に、供給ヘッド１２が設置されている。供給
ヘッド１２は、台枠１１の上に立設して構成されてい
る。供給ヘッド１２は、図４（ａ）に示すように、その
上面がチップ支持シート４の下面に接触する高さに構成
されるとともに、供給ヘッド１２の上面にはマウンド１
３が形成されている。マウンド１３はチップ部品２を供
給ヘッド１２に送り出す方向に沿って隆起している。具
体的には、フレーム３の移動方向に沿ってマウンド１３
は隆起形成されている。

【００２６】マウンド１３は、供給ヘッド１２の中心に
向かうほど次第に隆起するよう緩い傾斜の山形に形成さ
れている。また、マウンド頂部付近では、マウンド１３
の幅はチップ部品２の幅よりも小さいものに設定されて
いる。さらに、マウンド１３の頂部は、１個のチップ部
品２を支持する大きさの部品支持面１３ａが水平扁平に
形成されている。なお、図４（ａ）においてマウンド１
３の形状は、チップ部品２の搬送方向（フレーム３の移
動方向）に沿って略直線状に隆起した形状としていた
が、図４（ｂ）に示すように、チップ部品２の搬送方向
に沿って円弧状に隆起した形状としてもよい。

【００２７】また、供給ヘッド１２は内部が中空に構成
されるとともに、図示しない吸引ポンプなどの負圧装置
に接続ノズル１４を介して連通接続されている。かつ、
供給ヘッド１２の上面にはマウンド１３を除く領域に多
数の吸着孔１５が分散形成されている。

【００２８】さらに、供給ヘッド１２の内部には、前記
部品支持面１３ａに形成した開口１６から出退するプッ
シュピン１７が備えられている。このプッシュピン１７
は、可動枠１９に設けられている。なお、ガイドレール
１８は台枠１１に固定されており、可動枠１９を上下移
動可能に案内するものである。この可動枠１９にカムフ
ォロア２２を設け、減速機付きモータなどのアクチュエ
ータ２０でカム２１を回転駆動することでカムフォロア
２２を突き上げ駆動している。これにより、固定枠１９
に設けられたプッシュピン１７は一定ストロークで往復
上下動するよう構成されている。

【００２９】本発明に係るチップ部品供給装置１の第１
例は以上のように構成されている。次に、このチップ部
品供給装置１の取出し用チャックに対する部品供給作動
について説明する。

【００３０】搬送されてきたフレーム３は、チップ部品
２を搭載保持していない箇所が供給ヘッド１２の上に位
置する状態でシート下面が供給ヘッド１２の上面に接触
する高さにセットされた後、搬送手段８により水平方向
に移動される。

【００３１】なお、ここでは、供給ヘッド１２を固定し
たうえで、搬送手段８によりフレーム３を移動するよう
に構成しているが、フレーム３を固定したうえで、搬送
手段８ないしは搬送手段８と同等の手段によって、供給
ヘッド１２を移動するように構成してもよいのは言うま
でもない。

【００３２】この移動によって、整列されたチップ部品
２群は先頭のものから順にマウンド１３に乗り上がって
ゆくが、このマウンド１３の頂上付近の幅は、チップ部
品２の幅よりも狭く設定されている。そのため、マウン
ド１３から外れたチップ支持シート部分は自らの張力お
よび吸着孔１５におけるシート吸着作用によってチップ
部品２から剥離されることになる。したがって、先頭の
チップ部品２がマウンド頂部の部品支持面１３ａに到達
した状態では、図３に示すように、チップ部品２は部品
支持面１３ａにおいてのみチップ支持シートに貼付け支
持された状態となり、貼付け強度は、全体的に貼付け支
持されている時に比べて大きく低減された状態となる。

【００３３】ここで、プッシュピン１７が突き上げ作動
して、貼付け強度が低減したチップ部品２を突き上げて
チップ支持シート４から完全に剥離させる。これと同時
に取出し用チャック７が下降して突き上げられたチップ
部品２を吸着保持し、これで１回の部品供給が完了し、
取出し用チャック７に保持されて取出されたチップ部品
２は移載ヘッド６の作動によって所定の処理箇所に搬送
移載される。

【００３４】以後、フレーム３のピッチ移動に伴って上
記作動を繰り返すことで、整列搭載されたチップ部品２
をその先頭のものから順次供給して取出してゆくのであ
る。

【００３５】第１例によれば、次のような利点がある。
すなわち、チップ支持シート４と供給ヘッド１２とを相
対移動させてチップ部品２をマウンド１３に乗り上がら
せる作動の間にチップ部品２からチップ支持シート４を
部分的に剥離していくことができる。そのため、取出し
位置にあるチップ部品２を剥離しやすい状態にすること
が可能となる。これにより、剥離軽減のための行程を待
つことなく取出し用チャック７によるピックアップ作動
を行うことができ、チップ部品２の取出し時間を短くす
ることができ、その分、工程上の所要時間の短縮化を図
ることが可能となった。さらには、チップ支持シート４
によるチップ部品２の貼着力を十分に低減したうえで、
チップ部品２をピックアップすることができるので、ピ
ックアップの動作速度を高速化することも可能となっ
た。

【００３６】なお、マウンド１３の形状を、図４（ｂ）
に示すように、搬送方向に沿った円弧状にしてもよいこ
とは上述した。その場合には次のような利点がある。す
なわち、チップ支持シート４を介してチップ部品２が円
弧面に沿うことになるので、マウンド１３の上端に向か
う過程において、搬送方向に沿った方向にあるチップエ
ッジをも、チップ支持シート４から剥離させることがで
きる。

【００３７】また、吸着孔１５は、上述したように、チ
ップ支持シート４を吸引することで、チップ支持シート
４をチップ部品２から剥離するものである。そのため、
種々の大きさのチップ部品２に対応できるように、吸着
孔１５は、図４、図５に示すように、供給ヘッド１２の
上面に分散配置してもよいが、図４、図５において、仮
想線で示すように、マウンド１３に沿って、マウンド１
３の近傍に集中配置してもよいのは言うまでもない。

【００３８】図６および図７に、供給ヘッド１２におけ
るマウンド１３の変形例が示されている。この場合、マ
ウンド１３は、乗り上がり開始側が幅広で、隆起が高く
なるほど幅が狭くなるよう形成されている。これによる
と、チップ支持シート４の剥離がチップ部品２の端部か
ら無理なく円滑に行われる。

【００３９】図８に、本発明に係るチップ部品供給装置
１の第２例の側面図が示されている。この例では、上記
第１例における供給ヘッド１２の上面でのプッシュピン
１７による部品突き上げ剥離手段が省略されている。部
品突き上げ剥離手段を省略するためには、次のようにす
ればよい。すなわち、取出し用チャック７の部品保持能
力を十分大きくしたり、チップ支持シート４の粘着力を
比較的弱くすれば、部品突き上げ剥離手段を省略するこ
とができる。

【００４０】さらには、このほか、マウンド頂部に設け
た部品支持面１３ａの大きさを次のように設定しても部
品突き上げ剥離手段を省略することができる。すなわ
ち、チップ部品２を保持するのに必要な最小限の粘着力
を発揮する大きさに部品支持面１３ａの大きさを設定し
ても、部品突き上げ剥離手段を省略することができる。

【００４１】図９および図１０に、本発明に係るチップ
部品供給装置１の第３例の正面図及び側面図が示されて
いる。この例においては、供給ヘッド１２が支軸３１周
りに遊転自在に支架された回転ローラ３２で構成されて
おり、この回転ローラ３２の外周面にマウンド１３が環
状に形成されている。また、この回転ローラ３２も中空
に構成され、軸受けブラケット３３および支軸３１の内
部に形成された通気孔３４が図示しない真空装置に連通
接続されるとともに、回転ローラ３２のマウンド１３か
ら外れた外周面部分には内部に連通する吸着孔１５が形
成されている。

【００４２】この構成の場合、フレーム３が図７中左方
に水平移動するに連れてチップ部品２が先頭のものから
順にマウンド１３に乗りかかる。ここで、マウンド１３
は、部品支持シート４に対しては円弧状に傾斜する山形
に隆起した状態で押圧作用するので、先例と同様にチッ
プ部品２は部分的にチップ支持シート４から剥離されな
がらマウンド１３を乗り上がってゆき、シート剥離が最
も進んだ最頂部において取出し用チャック７による取出
し作動を受ける。この場合、回転ローラ３２のマウンド
１３から外れた箇所においてはチップ支持シート４が吸
着孔１５によって吸着される。そのため、回転ローラ３
２はチップ支持シート４の水平移動に伴って図９中反時
計方向に回転される。したがって、チップ支持シート４
と回転ローラ３２とは相対的に擦れ合うことがなくな
り、擦れによるチップ支持シート４の引きずり変形が発
生することはない。

【００４３】なお、第３例においても、供給ヘッド１２
を固定したうえで、搬送手段８によりフレーム３を移動
するように構成しているが、フレーム３を固定したうえ
で、搬送手段８ないし搬送手段８と同等の手段によっ
て、供給ヘッド１２を移動するように構成してもよいの
は言うまでもない。

【００４４】図１１および図１２に、上記第３例のチッ
プ部品供給装置１における供給ヘッド１２の変形例が示
されている。この変形例の供給ヘッド１２は、左右に分
割された分割回転ローラ３２ａ，３２ｂを小間隔をもっ
て付き合わせた構造となっている。また、環状のマウン
ド１３も分割されて各分割回転ローラ３２ａ，３２ｂの
付き合わせ部位に形成されている。そして、両分割回転
ローラ３２ａ，３２ｂの間に形成された間隙に、ローラ
ボス３２ｃに係合案内される可動枠３５が上下動可能に
配備されるとともに、この可動枠３５にプッシュピン１
７が備えられている。そして、上記のようにして回転ロ
ーラ型の供給ヘッド１２の頂部に至ったチップ部品２を
プッシュピン１７によって突き上げて、チップ支持シー
ト４から剥離して取出し用チャック７に供給するよう構
成されている。

【００４５】図１３に、本発明に係るチップ部品供給装
置１の第４例の正面図が示されている。この例は、上述
した第１〜第３例のいずれの構成においても実施できる
変形例である。そのため、その一例として、第１例の構
成を例にして第４例を説明する。したがって、第１例に
おいて、説明した構成については、同一の名称および符
号を付しており、それらについての説明は省略する。

【００４６】第４例では、供給ヘッド１２を移動させる
駆動手段４０を設けていることに特徴がある。駆動手段
４０は、供給ヘッド１２を、チップ支持シート４に対し
てそのシート面方向と垂直な方向に沿って反復移動させ
る機構から構成されている。なお、駆動手段４０は、供
給ヘッド１２のみを駆動してもよいし、台枠１１ごと供
給ヘッド１２を移動させてもよいのは言うまでもない。

【００４７】駆動手段４０は次の動作を行う。搬送手段
８によるチップ支持シート４の搬送動作によってチップ
支持シート４上のチップ部品２が取り出し用チャック７
の直下（供給ヘッド１２の直上）付近にきたときに駆動
手段４０は、次の動作を実施する。すなわち、駆動手段
４０は、供給ヘッド１２をチップ支持シート４に近接す
る方向に移動させてチップ支持シート４を押し上げる。
これにより、搬送手段８によるフレーム３の搬送動作
で、チップ支持シート４からチップ部品２を剥離可能な
状態とする。

【００４８】一方、チップ部品２が取り出し用チャック
７の直下（供給ヘッド１２の直上）にきていないときに
は、駆動手段４０は次の動作を実施する。すなわち、駆
動手段４０は、供給ヘッド１２をチップ支持シート４か
ら遠ざける方向に移動させて供給ヘッド１２をチップ支
持シート４から離間させる。これにより、搬送手段８に
よるフレーム３の搬送動作中において、供給ヘッド１２
がチップ支持シート４に当接しない状態とする。

【００４９】以上のように構成することにより第４例で
は、チップ支持シート４と回転ローラ３２とが相対的に
擦れ合う期間は必要最小限の期間となり、擦れによるチ
ップ支持シート４の引きずり変形がほとんど発生なくな
る。

【００５０】なお、発明は、以下のような形態で実施す
ることもできる。

【００５１】（１）上記実施形態では、チップ支持シー
ト４を張設したフレーム３を水平移動させるように構成
しているが、チップ支持シート４を張設したフレーム３
を所定位置に固定したうえで、供給ヘッド１２をチップ
支持シート４の下面に沿って水平移動させるとともに、
取出し用チャック７を供給ヘッド１２の直上に移動させ
て取出し作動させるように構成することもできる。そう
すれば、フレーム３の移動スペースを省略することがで
きるので、装置の小型化が可能となる。

【００５２】（２）取出し用チャック７の形態は真空吸
着型に限られるものではなく、チップ部品２の大きさや
形状に対応したものを利用すればよい。例えば、開閉駆
動されるチャッキング機構を用いて機械的に把持して取
出し作動する形態のものを利用することもできる。

【００５３】（３）チップ支持シート４上に貼付け搭載
されるチップ部品２としては、単品ごと加工されて貼付
けられるものの他に、チップ支持シート４に貼付け保持
した半導体ウエハを切断処理してチップ部品としたもの
であってもよい。

【００５４】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば以下に示すような効果が期待できる。

【００５５】請求項１に係る発明によれば、チップ支持
シートと供給ヘッドを相対移動させてチップ部品をマウ
ンドに乗り上がらせる作動の間にチップ部品からチップ
支持シートを部分的に剥離しておくので、取出し位置に
あるチップ部品は、すでに剥離しやすい状態になってい
る。そのため、剥離軽減のための行程を待つことなく取
出し用チャックによるピックアップ作動を行うことがで
き、チップ部品取出し時間を短くすることができ、その
分、工程上の所要時間の短縮化を図ることが可能となっ
た。さらには、従来例に比して、チップ支持シートによ
るチップ部品の貼着力を低減することができる分、ピッ
クアップの動作速度を高速化することも可能となった。

【００５６】請求項２に係る発明によれば、チップ部品
からのチップ支持シートの剥離がチップ部品のマウンド
への乗り上がりに連れてチップ部品の端部から無理なく
除々に行われることになり、チップ支持シートと供給ヘ
ッドの相対移動速度を上げてもシート剥離作動を円滑に
行える。

【００５７】請求項３に係る発明によれば、部品の大き
さに拘わらず取出し位置のチップ部品は、マウンド頂部
に設けた一定面積の部品支持面においてのみ一定の粘着
力で貼付け保持されていることになるので、チップ部品
の大きさに合わせて取出し用チャックや突上げプッシュ
ピンの動作等の取出し機能の仕様を変更する必要は特に
なく、供給するチップ部品が変更された場合の段取り替
えなどの要する時間を短縮することができるとともに、
取出し用チャックや突上げプッシュピンの仕様変更に要
するコストの節減にも有効となる。

【００５８】請求項４に係る発明によれば、マウンドへ
の乗り上げによってチップ部品の貼付け力を低減した上
でプッシュピンによって突き上げてほぼ完全に剥離した
状態にするので、取出し用チャックによる取出しをミス
なく確実に行える。

【００５９】請求項５に係る発明によれば、供給ヘッド
を回転ローラで構成することで、チップ支持シートと供
給ヘッドが相対移動する際の擦れによるシートの引きず
り変形などを供給ヘッドの回転によって回避することが
でき、チップ部品がマウンドへの乗り上がり作動中にず
れ動くようなことがなくなり、取出し用チャックに正し
い位置合わせ状態で供給することができる。また、チッ
プ支持シートを介してチップ部品を円弧面に沿わせるの
で、マウンドの上端に向かう過程でチップエッジをシー
トから剥離することができる。

【００６０】請求項６に係る発明によれば、チップ支持
シートと供給ヘッドが相対移動する際の擦れによるシー
トの引きずり変形などを回避することができ、チップ部
品がマウンドへの乗り上がり作動中にずれ動くようなこ
とがなくなり、取出し用チャックに正しい位置合わせ状
態で供給することができる。

【００６１】請求項７に係る発明によれば、マウンド以
外の箇所でチップ支持シートをチップ部品から確実に剥
離することができ、チップ支持シートの粘着力が強い場
合でも的確に剥離作動を行わせることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るチップ部品供給装置の第１例を示
す縦断正面図

【図２】本発明に係るチップ部品供給装置の第１例の要
部を拡大した縦断正面図

【図３】本発明に係るチップ部品供給装置の第１例の要
部を拡大した縦断側面図

【図４】（ａ）、（ｂ）ともに供給ヘッドの上部をそれ
ぞれ示す斜視図

【図５】供給ヘッドの平面図

【図６】第１例における供給ヘッドの変形例を示す斜視
図

【図７】変形例の供給ヘッドの平面図

【図８】本発明に係るチップ部品供給装置の第２例を示
す縦断正面図

【図９】本発明に係るチップ部品供給装置の第３例を示
す縦断正面図

【図１０】本発明に係るチップ部品供給装置の第３例に
おける供給ヘッドを示す一部切欠き側面図

【図１１】本発明に係るチップ部品供給装置の第３例に
おける供給ヘッドの変形例を示す一部切欠き側面図

【図１２】図１１におけるａ−ａ線断面図

【図１３】本発明に係るチップ部品供給装置の第４例を
示す縦断正面図

【符号の説明】

２ チップ部品 ４ チップ支持シート ７ 取出し用チャック ８ 搬送手段 １２ 供給ヘッド １３ マウンド １３ａ 部品支持面 １５ 吸着孔 １７ プッシュピン ３２ 回転ローラ ４０ 駆動手段

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 張設されたチップ支持シートの上面にチ
   ップ部品を貼付け搭載して取出し用チャックの下方に供
   給するよう構成したチップ部品供給装置であって、 前記チップ支持シートの下方に供給ヘッドを設けるとと
   もに、 前記チップ支持シートと前記供給ヘッドとを前記チップ
   支持シートの下面と平行な方向に相対移動させる搬送手
   段を設け、 前記供給ヘッドの上面にはマウンドが形成されており、
   前記マウンドはチップ部品を供給ヘッドに送り出す方向
   に沿って隆起し、前記マウンドの頂部付近では前記マウ
   ンドの幅がチップ部品の幅より小さく形成されており、 前記搬送手段により前記チップ支持シートと前記供給ヘ
   ッドとが相対移動することで、前記チップ支持シートが
   前記マウンドによって局部的に突き上げ変形されて、前
   記マウンドから外れた部位において前記チップ支持シー
   トがチップ部品から部分的に剥離するように構成してあ
   ることを特徴とするチップ部品供給装置。
2. 【請求項２】 前記マウンドの隆起が大きくなるにつれ
   てマウンドの幅が小さくなるように設定してあることを
   特徴とする請求項１記載のチップ部品供給装置。
3. 【請求項３】 前記マウンドの頂部に所定の一定面積の
   部品支持面を形成してあることを特徴とする請求項１ま
   たは２記載のチップ部品供給装置。
4. 【請求項４】 前記マウンドの頂部に位置するチップ部
   品を下方から突き上げるプッシュピンを配備してあるこ
   とを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のチッ
   プ部品供給装置。
5. 【請求項５】 前記供給ヘッドを、外周面がチップ支持
   シートの下面に接触する回転ローラで構成するととも
   に、この回転ローラの外周面に前記マウンドを環状に突
   設してあることを特徴とする請求項１記載のチップ部品
   供給装置。
6. 【請求項６】 前記供給ヘッドが前記チップ支持シート
   の下面に垂直な方向に往復上下動可能とする駆動手段を
   設けることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記
   載のチップ部品供給装置。
7. 【請求項７】 前記マウンドの両側に、シート吸着用の
   吸引孔を配備してあることを特徴とする請求項１から６
   のいずれかに記載のチップ部品供給装置。