JP2003225677A

JP2003225677A - フッ素および過酸化水素を含む排水の処理方法

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Publication number: JP2003225677A
Application number: JP2002029645A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Shimizu; 和彦清水
Original assignee: Organo Corp; Japan Organo Co Ltd
Current assignee: Organo Corp
Priority date: 2002-02-06
Filing date: 2002-02-06
Publication date: 2003-08-12
Anticipated expiration: 2022-02-06
Also published as: JP4132851B2

Abstract

(57)【要約】【課題】フッ素および過酸化水素を含む排水の処理方
法。【解決手段】フッ素および過酸化水素を含む排水を過
酸化水素分解手段と接触させて、該排水中に含まれる過
酸化水素を分解処理し、過酸化水素が低減された１次処
理水を生じさせ、次いで、該１次処理水とカルシウム含
有液とを晶析反応槽に供給し、該晶析反応槽内の種晶上
にフッ化カルシウムを析出させることにより、フッ素が
低減された最終処理水を生じさせる排水処理方法が提供
される。該方法により、フッ素および過酸化水素を含む
排水から、フッ素が高度に除去された処理水を得ること
が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素および過酸
化水素を含む排水から、フッ素が低減された処理水を生
じさせる排水処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】工場などからの排水の水質については厳
しい制限がなされているが、その規制は年々厳しくなる
傾向にある。電子産業（特に半導体関連）から排出され
る排水中には、近年厳しい排水基準が設定されたフッ素
が含まれている場合が多い。このため、排水からフッ素
を効率良く除去することが求められており、フッ素を除
去する従来技術の１つとして晶析除去法が知られてい
る。

【０００３】フッ素の晶析除去法としては、フッ素を含
む排水に、水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）_２）、塩化
カルシウム（ＣａＣｌ_２）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ
_３）をはじめとするカルシウム化合物を添加し、式
（Ｉ）に示されるように、難溶性のフッ化カルシウムを
生じさせることを基本とする。Ｃａ^２＋＋２Ｆ⁻→ ＣａＦ_２↓ （Ｉ）特願昭５９−６３８８４号（特開昭６０−２０６４８５
号）には、フッ素とカルシウムを含有する種晶を充填し
た反応槽にフッ素含有排水をカルシウム剤と共に導入し
て、種晶上にフッ化カルシウムを析出させる、いわゆる
フッ化カルシウム晶析法が開示されている。この晶析法
においては、一般的に、反応槽の底部から排水を導入
し、種晶を流動化させながら上向流で通水して処理を行
い、必要に応じて反応槽からの流出水を循環している。
この方法によると、フッ素含有量が低減された処理水を
得ることができるだけでなく、析出するフッ化カルシウ
ムをペレットとして比較的高純度で回収でき、用途に応
じてこれを再利用することも可能である。上述の様な晶
析反応は、晶析反応槽を備えた、従来の、公知の晶析反
応装置を用いて行うことができる。そして、晶析反応に
おいては、晶析反応槽内でのカルシウムとフッ素の存在
割合が、フッ化カルシウムの溶解度における過飽和条件
の、液中に核が存在しなければ晶析反応を生じない準安
定域に制御されることが要求される。

【０００４】電子産業（特に半導体関連）においては、
洗浄剤として、フッ素だけでなく過酸化水素が使用され
る場合も多く、このような系から排出される排水中に
は、フッ素と過酸化水素の両方が含まれる場合がある。
フッ素と過酸化水素を含む排水を晶析処理してフッ素を
除去する技術については、現時点まで何ら知られていな
い。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】発明者は、フッ素と過
酸化水素を含む排水を晶析処理してフッ素を除去する方
法について検討を行った。このとき、従来のフッ素の晶
析除去方法に使用される装置および条件を用いると、排
水中の過酸化水素の濃度が高濃度（５００〜５０００ｍ
ｇ／Ｌ）になれば、晶析反応槽内で過酸化水素が自然分
解して酸素の気泡が発生し、かかる気泡の発生により、
晶析処理により得られる処理水中に溶存するフッ素イオ
ン濃度が上昇し、さらに、処理水中へフッ化カルシウム
の微細粒子およびペレットが流出するという問題が生じ
た。理論に拘束されるのは望むものではないが、上述の
ような、過酸化水素が存在する場合のフッ素イオン濃度
の上昇の原因としては、ペレットに付着した気泡により
ペレットと液との接触面積が減少して接触効率が低下す
ること、また晶析反応槽内の流動状態が気泡の上昇によ
り変化して反応効率が低下することが考えられる。ま
た、微細粒子およびペレットの流出は、これらに気泡が
付着して浮力が増したこと、および気泡の上昇による槽
内の流動状態の乱れによるものと考えられる。さらに、
上述のような処理水質の悪化に加え、過酸化水素を含有
する排水は酸化力が強いため、晶析反応装置の接液部の
部品の劣化が激しく、部品の交換費用がかさむという問
題も生じた。

【０００６】本発明は、フッ素および過酸化水素を含む
排水からフッ素を除去するという新たな技術において生
じる、処理水質の悪化、処理装置の腐蝕という、今まで
にない新たな課題を解決するためになされたものであっ
て、フッ素および過酸化水素を含む排水から、高純度の
フッ化カルシウムを回収すると共に、フッ素が低減され
た処理水を得ることができる排水処理方法を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は請求項１とし
て、フッ素および過酸化水素を含む排水を過酸化水素分
解手段と接触させて、該排水中に含まれる過酸化水素を
分解処理し、過酸化水素が低減された１次処理水を生じ
させ次いで、該１次処理水とカルシウム含有液とを晶析
反応槽に供給し、該晶析反応槽内の種晶上にフッ化カル
シウムを析出させることにより、フッ素が低減された最
終処理水を生じさせる、排水処理方法を提供する。本発
明は請求項２として、過酸化水素分解手段が活性炭触
媒、金属触媒、還元剤および過酸化水素分解酵素からな
る群から選択される１種以上である、請求項１記載の排
水処理方法を提供する。本発明は請求項３として、排水
中の過酸化水素の分解処理がｐＨ４〜１０で行われる、
請求項１または２記載の排水処理方法を提供する。本発
明は請求項４として、排水中の過酸化水素の分解処理が
ｐＨ７〜１０で行われ、カルシウム含有液がカルシウム
の中性塩を含む、請求項１〜３のいずれか１項記載の排
水処理方法を提供する。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明は、フッ素および過酸化水
素を含む排水を過酸化水素分解手段と接触させて、該排
水中に含まれる過酸化水素を分解処理し、過酸化水素が
低減された１次処理水を生じさせ、次いで、該１次処理
水とカルシウム含有液とを晶析反応槽に供給し、該晶析
反応槽内の種晶上にフッ化カルシウムを析出させること
により、フッ素が低減された最終処理水を生じさせる排
水処理方法に関する。本発明の排水処理方法において
は、まず、第１の工程として、過酸化水素分解処理が行
われる。該過酸化水素分解処理工程においては、排水を
過酸化水素分解手段と接触させることにより、該排水中
に含まれる過酸化水素が分解される。

【０００９】過酸化水素分解手段としては、フッ素およ
び過酸化水素を含む排水と接触することにより、該排水
中の過酸化水素を分解できる手段であれば任意の手段が
可能であり、好ましくは、活性炭触媒、金属触媒、還元
剤または過酸化水素分解酵素が挙げられるが、これらに
限定されるものではない。金属触媒としては、白金、パ
ラジウム、金、銀をはじめとする金属、酸化マンガン
（ＩＶ）、酸化コバルト（ＩＩＩ）をはじめとする金属
酸化物等が挙げられるが、これらに限定されるものでは
ない。還元剤は、過酸化水素を還元することができる化
合物であり、例えば、亜硫酸、亜硫酸水素ナトリウムを
はじめとする亜硫酸の塩などが挙げられるがこれらに限
定されるものではない。また、過酸化水素分解酵素とし
ては、カタラーゼ（ＥＣ１．１１．１．６）、ペルオ
キシダーゼ（ＥＣ１．１１．１．７）等が挙げられる
がこれらに限定されるものではない。これら過酸化水素
分解手段は単独で使用されても良いし、複数の該手段が
使用されても良い。

【００１０】過酸化水素分解手段と排水との接触は、本
発明の目的に反しない限りは任意の態様で行うことがで
き、例えば、反応槽内で排水に過酸化水素分解手段を添
加する態様、過酸化水素分解手段が充填された反応塔、
カラム等に排水を通水させる態様等が挙げられるがこれ
らに限定されるものではない。また、活性炭触媒、金属
触媒が使用される場合には、これら触媒が担体上に担持
される態様であっても良く、過酸化水素分解酵素が使用
される場合には、酵素が担体に固定された固定化酵素と
して使用される態様であっても良い。また、還元剤、酵
素は、排水に溶解される態様であっても良い。上述のよ
うな過酸化水素分解手段を用いる過酸化水素分解処理に
おいては、処理される排水のｐＨの低下に伴い、過酸化
水素の分解速度も低下する。このため、排水中の過酸化
水素の分解処理は、排水のｐＨを４〜１０の範囲にして
行われるのが好ましく、より好ましくは、ｐＨ７〜１０
である。

【００１１】過酸化水素分解処理工程において、処理さ
れる排水のｐＨを上述のような所定の範囲に維持するた
めにｐＨの調整が必要となる場合には、ｐＨ調整剤を該
排水に添加することによりｐＨの調整を行うことができ
る。ｐＨ調整剤としては、排水のｐＨを変動させること
ができる任意の酸、またはアルカリを含んでいれば良
く、酸またはアルカリの種類は本発明の目的に反しない
限りは特に限定されるものではない。好ましくは、ｐＨ
調整剤に使用される酸としては、塩酸等が挙げられ、ア
ルカリとしては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等
が挙げられる。

【００１２】使用される過酸化水素分解手段の量、濃
度、排水との接触の態様、接触時間などをはじめとする
条件は、処理されるべき排水中の過酸化水素濃度、１次
処理水に望まれる過酸化水素レベル、後段の晶析反応条
件等に応じて適宜設定可能である。過酸化水素分解処理
工程における過酸化水素の分解は、後段での晶析反応に
おいて、過酸化水素が悪影響を及ぼさない程度まで行わ
れれば良く、排水中に含まれる過酸化水素の全てが分解
される必要はない。該過酸化水素分解処理工程により得
られる１次処理水中の過酸化水素濃度は、好ましくは、
１００ｍｇ／Ｌ以下であり、より好ましくは、１０ｍｇ
／Ｌ以下である。

【００１３】本発明の排水処理方法で処理される排水
は、フッ素および過酸化水素を含むものであれば、如何
なる由来の排水であっても良く、例えば、半導体関連産
業をはじめとする電子産業などから排出される排水が挙
げられるが、これらに限定されるものではない。また、
排水はフッ素および過酸化水素以外の元素を含んでいて
も良く、例えば、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、
Ｃｕ、Ｚｎ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｈｇ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｔ
ｅをはじめとする重金属元素、および／またはリンを含
んでいても良い。

【００１４】排水中に含まれるフッ素は晶析反応により
晶析するのであれば、任意の状態で排水中に存在するこ
とが可能である。排水中に溶解しているという観点か
ら、フッ素はイオン化した状態であるのが好ましい。こ
こで、イオン化した状態とは、フッ素イオン（Ｆ⁻）を
はじめとする元素がそのままイオン化したもの、また、
フッ素を含む化合物がイオン化したものが挙げられる
が、これらに限定されるものではない。排水中に含まれ
るフッ素については、フッ素イオンの形態で存在するの
が好ましい。本発明の方法で処理可能な排水中のフッ素
濃度は、５０００ｍｇ／Ｌ以下、好ましくは、２０００
ｍｇ／Ｌ以下、より好ましくは、１０００ｍｇ／Ｌ以下
である。また、本発明の方法で処理可能な、排水中の過
酸化水素濃度は、１００００ｍｇ／Ｌ以下、好ましく
は、５０００ｍｇ／Ｌ以下、より好ましくは、１０００
ｍｇ／Ｌ以下である。

【００１５】本発明の排水処理方法においては、第２の
工程として、該１次処理水とカルシウム含有液とを晶析
反応槽に供給し、該晶析反応槽内の種晶上にフッ化カル
シウムを析出させることにより、フッ素が低減された最
終処理水を生じさせる晶析処理が行われる。該晶析処理
工程においては、過酸化水素分解処理により得られた１
次処理水中のフッ素が晶析反応により晶析除去される。
該晶析処理工程に使用される晶析反応槽、種晶をはじめ
とする晶析反応装置、また、晶析条件等については、フ
ッ素の晶析除去に使用される公知の、任意の装置、条件
を適用することが可能である。

【００１６】晶析処理工程において使用されるカルシウ
ム含有液としては、カルシウムを含んでおり、フッ素を
晶析除去できる液であれば、任意のカルシウム化合物を
含む液を使用することがでる。また、カルシウム含有液
を構成する液体媒体としては、本発明の目的に反しない
限りは任意の物質が可能であり、好ましくは水である。
カルシウム含有液においてカルシウムの供給源となるカ
ルシウム化合物としては、水酸化カルシウム、塩化カル
シウム、炭酸カルシウム等が挙げられるが、これらに限
定されるものではない。カルシウム含有液は、これらカ
ルシウム化合物の１種類から調製されるものであっても
良いし、２以上の化合物から調製されるものであっても
良い。カルシウム含有液は、カルシウムが完全に液体媒
体中に溶解された溶液状態であっても良いし、カルシウ
ム化合物の全部または一部が固体として残存するスラリ
ーの状態でも良い。カルシウム含有液中のカルシウムの
濃度は、排水中のフッ素および共存元素の濃度、晶析反
応槽の処理能力、循環される処理水量等に応じて適宜設
定される。

【００１７】排水中のフッ素が、フッ酸（ＨＦ）として
存在する場合には、該フッ酸は弱酸であるため、カルシ
ウム含有液にカルシウムの中性塩が含まれる場合には、
晶析反応により得られる最終処理水のｐＨは低下する。
すなわち、例えば、カルシウムの中性塩が塩化カルシウ
ムである場合、２ＨＦ＋ＣａＣｌ_２→ＣａＦ_２＋２ＨＣ
ｌなる反応が起こり、この反応により生成されるＨＣｌ
は強酸であるため、かかる晶析反応により最終処理水の
ｐＨは低下する。既に述べたように、過酸化水素分解処
理工程においては、分解処理対象である排水のｐＨがア
ルカリ性であれば、過酸化水素の分解反応が促進される
ので、分解効率という点から有利である。また、晶析処
理により得られる最終処理水は種々の用途に用いること
ができるが、純水製造用の原水として使用される場合を
はじめとして、最終処理水が中性であることが望まれる
場合が多い。よって、カルシウム含有液のカルシウム源
としてカルシウムの中性塩を含む場合、好ましくは、カ
ルシウム源がカルシウムの中性塩のみからなる場合に
は、過酸化水素分解処理時の排水のｐＨがアルカリ性で
ある時に（すなわち、１次処理水が中性からアルカリ
性、好ましくは、ｐＨ７〜１０であるとき）、晶析処理
後得られる最終処理水のｐＨが中性付近となるという利
点がある。カルシウム含有液に含まれるカルシウムの中
性塩の態様としては、カルシウムが完全に液体媒体中に
溶解され、カルシウムイオンと、強酸の陰イオンが存在
する溶液状態であっても良いし、該カルシウムの中性塩
の全部または一部が固体として残存するスラリーの状態
でも良い。また、カルシウムの中性塩を含むカルシウム
含有液の調製方法としては、カルシウムの中性塩を水等
の溶媒に添加することにより調整しても良いし、中性塩
以外の態様のカルシウムを溶媒に添加し、その後、強酸
の陰イオンが添加される態様でも良い。

【００１８】図１および図２に本発明の排水処理方法に
使用可能な排水処理装置の態様を示し、これに基づい
て、本発明を詳述する。本発明の排水処理方法に使用可
能な排水処理装置は、過酸化水素の分解を行う過酸化水
素分解装置とフッ素を晶析除去する晶析反応装置との２
つの部分から構成される。図１には、過酸化水素分解装
置が、過酸化水素分解手段４が充填された過酸化水素分
解塔３に排水を通過させる態様のものを示し、図２に
は、過酸化水素分解槽６内で、排水に過酸化水素分解手
段が添加、分解処理され、それが引き続いて晶析処理さ
れる態様を示す。例えば、図１の態様は、過酸化水素分
解手段が担体に担持された金属触媒、活性炭触媒、また
は固定化酵素等が使用される場合に有利に適用される。
また、図２の態様は、水溶性の還元剤、酵素などが使用
される場合に有利に適用される。

【００１９】図１の態様においては、フッ素および過酸
化水素を含む排水はｐＨ調整槽１に貯留され、該ｐＨ調
整槽１に供給されるｐＨ調整剤によってｐＨの調整が行
われる。ｐＨ調整槽１は、好ましくは、図１に示される
ように、ｐＨをモニターするためのｐＨメーターを有し
ている。ｐＨが調整された排水は、ｐＨ調整槽１から排
水供給ライン２を介して過酸化水素分解塔３に移送され
る。該過酸化水素分解塔３の１態様としては、図１に示
されるように、内部に過酸化水素分解手段４が充填され
ており、排水が該過酸化水素分解手段４上を通過するこ
とにより、排水中の過酸化水素が分解され、過酸化水素
が低減された１次処理水が該過酸化水素分解塔３から排
出される。

【００２０】図２の態様においては、過酸化水素分解槽
６にフッ素および過酸化水素を含む排水、並びに過酸化
水素分解手段が供給され、必要な場合には、ｐＨ調整剤
が添加されることにより該槽内のｐＨが調整され、該排
水中の過酸化水素が分解、低減された１次処理水が生成
される。図１および図２の態様においては、ｐＨ調整槽
１、過酸化水素分解塔３および過酸化水素分解槽６は１
つであるが、これらは複数であっても良い。また、過酸
化水素分解塔３および過酸化水素分解槽６を１つの系に
組み合わせて使用することも可能である。また、本発明
の排水処理方法において使用される、ｐＨ調整槽１、過
酸化水素分解塔３および過酸化水素分解槽６の大きさ、
形状などは特に限定されるものではない。

【００２１】図１および図２のいずれの態様において
も、１次処理水は、１次処理水排出ライン５を介して、
晶析反応装置の晶析反応槽１１に移送される。晶析反応
装置は排水中のフッ素が低減された最終処理水を排出す
る晶析反応槽１１と、カルシウム含有液を晶析反応槽１
１に供給するカルシウム含有液供給ライン１３とを具備
し、１次処理水排出ライン５が晶析反応槽１１に連結さ
れており、さらに、任意に、該晶析反応槽１１から排出
される処理水の少なくとも一部を晶析反応槽１１に返送
する処理水循環手段とを具備する。晶析反応槽１１の内
部には晶析処理前に種晶が充填され、該種晶の表面上
に、排水に含まれるフッ素と、カルシウムとの反応物で
あるフッ化カルシウムを析出させてフッ化カルシウムペ
レット１２を形成させることにより、フッ素濃度が低下
した最終処理水を排出させる。晶析反応槽１１は前記機
能を有するものであれば、長さ、内径、形状などについ
ては、任意の態様が可能であり、特に限定されるもので
はない。

【００２２】晶析反応槽１１に充填される種晶の充填量
は、フッ素を晶析反応により除去できるのであれば特に
限定されるものではなく、フッ素濃度、カルシウム濃
度、また、晶析反応装置の運転条件等に応じて適宜設定
される。晶析反応装置においては、晶析反応槽１１内に
上向流を形成し、該上向流によってペレット１２が流動
するような流動床の晶析反応槽１１が好ましいので、種
晶は流動可能な量で晶析反応槽１１に充填されるのが好
ましい。種晶は、本発明の目的に反しない限りは、任意
の材質が可能であり、例えば、ろ過砂、活性炭、および
ジルコンサンド、ガーネットサンド、サクランダム（商
品名、日本カートリット株式会社製）などをはじめとす
る金属元素の酸化物からなる粒子、並びに、晶析反応に
よる析出物であるフッ化カルシウムからなる粒子等が挙
げられるが、これらに限定されるものではない。種晶上
で晶析反応が起こりやすいという点、また、生成するペ
レット１２から、より純粋なフッ化カルシウムを回収で
きるという観点から、フッ化カルシウム（蛍石）が種晶
として使用されるのが好ましい。種晶の形状、粒径は、
晶析反応槽１１内での流速、晶析対象成分の濃度等に応
じて適宜設定され、本発明の目的に反しない限りは特に
限定されるものではない。

【００２３】１次処理水排出ライン５およびカルシウム
含有液供給ライン１３は晶析反応槽１１の任意の部分に
接続することができる。本発明の晶析反応装置において
は、晶析反応槽１１内に上向流を形成すると、効率的に
晶析反応を行うことができるという観点から、１次処理
水排出ライン５およびカルシウム含有液供給ライン１３
は晶析反応槽１１の底部に接続されるのが好ましい。ま
た、図１および図２の態様においては、１次処理水排出
ライン５およびカルシウム含有液供給ライン１３はそれ
ぞれ１つであるが、これに限定されるものではなく、こ
れらが複数設けられていても良い。

【００２４】晶析反応槽１１は、晶析反応により、フッ
素が低減された最終処理水を該晶析反応槽１１の外部に
排出する。最終処理水は、晶析反応槽１１における液体
の流れに従って任意の部分から排出される。晶析反応槽
１１内で上向流が形成される場合には、晶析反応槽１１
の上部から最終処理水が排出される。図１の態様では、
晶析反応槽１１の上部から排出される最終処理水は、最
終処理水排出ライン１４を通って最終的に系外に排出さ
れる。図１および図２の晶析処理装置は、晶析反応槽１
１から排出される最終処理水の少なくとも一部を該晶析
反応槽１１に返送する処理水循環手段を有する。処理水
循環手段としては、最終処理水の少なくとも一部を晶析
反応槽１１に返送できるものであれば任意の態様が可能
であり、特に限定されるものではない。図１および図２
の態様においては、処理水循環手段として、最終処理水
排出ライン１４から分岐し、晶析反応槽１１に連結され
た処理水循環ライン１５が設けられており、該処理水循
環ライン１５には最終処理水移送のためのポンプが介装
されている。処理水循環手段は、最終処理水を晶析反応
槽１１に循環させることにより、晶析反応槽１１内に供
給された排水を希釈すると共に、カルシウム含有液と排
水を混合し、さらに、晶析反応槽１１内で所定の流れ、
特に上向流を形成させるものである。よって、晶析反応
槽１１内で上向流が形成される場合には、図１または図
２のように、処理水循環ライン１５は晶析反応槽１１の
底部に接続されるような態様が好ましい。以下、実施例
で本発明をより具体的に説明するが、本発明は実施例に
限定されるものではない。

【００２５】

【実施例】実施例１〜３排水処理装置として、過酸化水素分解手段が充填された
過酸化水素分解塔と、晶析反応槽を具備する図１の態様
の装置を使用して、フッ素および過酸化水素を含む排水
からのフッ素の除去試験を行った。フッ化ナトリウムを
フッ素濃度で５００ｍｇＦ／Ｌ、および過酸化水素を３
００〜５０００ｍｇ／Ｌとなるように精製水に溶解した
ものを模擬排水とした。模擬排水は、容量２０ＬのｐＨ
調整槽で、水酸化ナトリウムを用いてｐＨ８に調整され
た。内径７５ｍｍ×高さ１５００ｍｍの過酸化水素分解
塔に、過酸化水素分解手段として、二酸化マンガン担持
触媒（オルキャットＭ、オルガノ株式会社製）４．０Ｌ
を充填して使用した。ｐＨが調整された模擬排水を流量
１９．６Ｌ／時間で、該過酸化水素分解塔に通水し、得
られた１次処理水を晶析反応槽に導入した。晶析反応槽
としては、内径５０ｍｍ×高さ２５００ｍｍの円柱型ア
クリルカラムに、種晶として蛍石（９８．０％フッ化カ
ルシウム含有）を充填量１０００ｍＬで充填したものを
使用した。カルシウム含有液として、１０％塩化カルシ
ウムを０．４６Ｌ／時間で、晶析反応槽に供給した。ま
た、晶析処理により得られる最終処理水を、流量５８．
９Ｌ／時間で晶析反応槽に循環させた。排水処理開始か
ら、５時間後の最終処理水について、最終処理水中のペ
レットおよび微細粒子の流出量を確認するために、最終
処理水中の浮遊物質（ＳＳ）の量を測定した。また、最
終処理水を０．２μｍフィルターでろ過処理して得られ
るろ過水中のフッ素含有量を溶解性フッ素（溶解性Ｆ）
含有量とした。さらに、最終処理水に酸を添加し、ＳＳ
分を酸で溶解した後に、該溶解液中のフッ素濃度を測定
して、トータルフッ素（トータルＦ）含有量とした。な
お、フッ素濃度の測定は、ランタン−アリザリンコンプ
レキソン吸光光度法に基づいて行われた。測定結果を表
１に示す。

【００２６】実施例４〜６過酸化水素分解手段として亜硫酸水素ナトリウムを使用
し、排水処理装置として図２に示される、過酸化水素分
解槽を有する態様の装置を用いた以外は、実施例１〜３
と同様にして、フッ素の除去試験を行った。なお、亜硫
酸水素ナトリウムの使用量は、１次処理水中の酸化還元
電位（ＯＲＰ）が０〜５０ｍＶで、残留する過酸化水素
が約１０ｍｇ／Ｌ以下となるような量に調節した。測定
結果を表１に示す。

【００２７】比較例１〜３比較例１〜３として、図１の態様において過酸化水素分
解塔を通過させず、過酸化水素の除去を行わなかった以
外は、実施例１〜３と同様にフッ素の除去試験を行っ
た。測定結果を表１に示す。

【００２８】

【表１】

【００２９】比較例１〜３の結果から、排水中の過酸化
水素が増加するにつれて、晶析処理後の最終処理水中の
溶解性フッ素、ＳＳ、トータルフッ素のいずれもが増加
した。このことから、排水中に過酸化水素が含まれてい
る場合には、通常のフッ素の晶析処理方法を用いたので
は、フッ素の除去が達成できないことが明らかとなっ
た。これに対して、実施例１〜６の結果から明らかなよ
うに、晶析処理前に過酸化水素を低減させる本発明の排
水処理方法では、高度にフッ素が除去された最終処理水
を回収することが可能であり、この場合の最終処理水中
のＳＳも顕著に低減されていた。また、得られた最終処
理水のｐＨは、ほぼ中性であった。

【００３０】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明は、フッ
素および過酸化水素を含む排水から、フッ素を除去する
際に生じる、溶解性フッ素濃度の増大および浮遊物質
（ＳＳ）による処理水質の悪化を防止し、顕著にフッ素
が低減された良好な処理水の回収を可能にするという有
利な効果を有する。また、排水中の過酸化水素分解処理
をｐＨ７〜１０で行い、晶析処理をカルシウムの中性塩
を含むカルシウム含有液を用いて行うことにより、ほぼ
中性の、フッ素が顕著に低減された処理水を得ることを
可能にするという有利な効果を有する。さらに、晶析反
応装置の接液部の部品の劣化を防止することを可能にす
るという有利な効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の排水処理方法に使用可能な
排水処理装置の１態様を示す概略図である。

【図２】図２は、本発明の排水処理方法に使用可能な
排水処理装置の他の態様を示す概略図である。

【符号の説明】

１ｐＨ調整槽２排水供給ライン３過酸化水素分解塔４過酸化水素分解手段５１次処理水排出ライン６過酸化水素分解槽１１晶析反応槽１２ペレット１３カルシウム含有液供給ライン１４最終処理水排出ライン１５処理水循環ライン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ０１Ｄ 9/02 ６０４Ｂ０１Ｄ 9/02 ６０４６０６６０６６０８６０８Ａ６０８Ｂ６１３６１３６１９６１９Ａ６２０６２０Ｃ０２Ｆ 1/00 Ｃ０２Ｆ 1/00 Ｐ 1/70 1/70 Ｚ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フッ素および過酸化水素を含む排水を過
酸化水素分解手段と接触させて、該排水中に含まれる過
酸化水素を分解処理し、過酸化水素が低減された１次処
理水を生じさせ次いで、該１次処理水とカルシウム含有
液とを晶析反応槽に供給し、該晶析反応槽内の種晶上に
フッ化カルシウムを析出させることにより、フッ素が低
減された最終処理水を生じさせる、排水処理方法。
【請求項２】過酸化水素分解手段が活性炭触媒、金属
触媒、還元剤および過酸化水素分解酵素からなる群から
選択される１種以上である、請求項１記載の排水処理方
法。
【請求項３】排水中の過酸化水素の分解処理がｐＨ４
〜１０で行われる、請求項１または２記載の排水処理方
法。
【請求項４】排水中の過酸化水素の分解処理がｐＨ７
〜１０で行われ、カルシウム含有液がカルシウムの中性
塩を含む、請求項１〜３のいずれか１項記載の排水処理
方法。