JPS6320093A

JPS6320093A - 弗素含有廃水の処理方法

Info

Publication number: JPS6320093A
Application number: JP16423086A
Authority: JP
Inventors: Yasunori Mori; 森　康修; Hiroharu Miyoshi; 弘治三好; Toshimichi Mihara; 三原　利道; Yuji Wakabayashi; 若林　裕治
Original assignee: Takenaka Komuten Co Ltd
Current assignee: Takenaka Komuten Co Ltd
Priority date: 1986-07-12
Filing date: 1986-07-12
Publication date: 1988-01-27
Anticipated expiration: 2011-02-28
Also published as: JPH0818025B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、電子部品や電気部品等の製造工場から排出さ
れる弗素含有廃水を処理する方法に関するものである。

〔従来の技術〕

電子部品や電気部品の製造に於て、弗素化合物はエッチ
ラグ等の表面処理工程では欠くことのできない物質であ
り、一般に広（使用されている。

同時に、部品の洗浄等のために過酸化水素を使用するこ
とが多く、特に半導体製造工場に於ては、弗素化合物の
廃水に過酸化水素が混入している場合が多い。

廃水中に含まれる弗素化合物は、多種多様のものがある
が、半導体製造工場では弗酸や弗化アンモニウム等が代
表例である。

これらの弗素を廃水から除去する方法として、従来から
様々な方法が取られている。

主な処理方法としては、 ■カルシュウム化合物添加＋沈澱分離法■アルミニウム
化合物添加＋沈澱分離法■鉄塩添加　　　　　　　＋沈
澱分離法■上記　■、■、■の内２つ以上の組合せ■カ
ルシュウム塩＋リン酸塩＋沈澱法 ■活性アルミナによる吸着法 ■活性炭又は骨炭による吸着法等がある。

この内、水質汚濁防止法に於ける排水基準である弗素化
合物１５■／１を満足させる方法として、維持管理費が
比較的安価であることから、上記■〜■の凝集沈澱法が
広く採用されている。

然し、前述したように、凝集沈澱法を行なう系統に過酸
化水素が数十〜数万■／ｌの割合で混入する場合が多く
、このままでは過酸化水素による微細気泡が、カルシュ
ウム塩等によって形成されたフロックに付着して一旦沈
澱槽に沈澱したスラッジから気泡が発生し、フロックが
再浮上して沈澱槽から溢流し、次工程に流出してしまう
。このフロックの流出によって、処理水中に高濃度の弗
化物やＳＳが検出されることもあった。

そこで、過酸化水素の除去のために、従来から活性炭に
よる吸着法や、重亜硫酸ナトリュウム等の還元剤注入に
よる化学反応法等が行なわれている。

第４図は重亜硫酸ナトリュウム等の還元剤注入による化
学反応法を示す説明図で、弗素と過酸化水素を含む廃水
は、先ず、還元剤を添加する反応槽１に流入し、ここで
過酸化水素の分解を行なう。

次に、水酸化力ルシュウムを添加する反応槽２に流入し
、ここで弗化カルシュウムを生成する。更に、この弗化
力ルシュウムを反応槽３に於て、高分子凝集剤によって
凝集させる。その後、沈澱槽４に流入して、スラッジを
底部から抜き取り、上部から処理水を吐出する。尚、沈
澱槽４での滞留時間は、一般に３〜５時間である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

然し、活性炭吸着法はランニングコストが高く、又、過
酸化水素のみを選択的に吸着する訳ではなく、有機物や
金属等も多量に吸着してしまうので、効率が良くない。

又、還元剤注入法も維持管理費が掛かり、運転管理も繁
雑となる外、処理水には微細なフロックが混入し、良好
な処理水を得ることが難しい、といった問題がある。

〔発明の目的〕

本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為された
もので、その目的は、弗素の除去と過酸化水素の除去と
を筒便な手段によって行なうと共に、処理水中にフロッ
クが混入しないようにすることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係る弗素含有廃水の処理方法は、弗素と過酸化
水素とを含む廃水に、金属塩又は金属化合物を添加して
弗素化合物を生成し、次いで高分子凝集剤を添加して弗
素化合物を凝集フロックとした後、加圧浮上槽の底部か
ら加圧水と共に流入させるように構成したものである。

本発明に於て、金属塩としてはカルシュウム塩。

鉄塩等が好適である。又、金属化合物としてはカルシュ
ウム化合物、アルミニュウム化合物等が好適である。

〔発明の作用〕

本発明に於ては、弗素と過酸化水素とを含む廃水が、金
属塩又は金属化合物及び高分子凝集剤の添加によって弗
素化合物の凝集フロックを生成した後、加圧浮上槽内に
加圧水と共に流入されるから、加圧水が大気解放される
ことによって生じる微細気泡により、それまで凝集フロ
ックに殆ど付着していた気泡は浮上し除去されると同時
に廃水中に溶解している過酸化水素の一部も気泡化して
上昇して除去される。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明に於けるプロセスを説明するための図で
ある。

先ず、弗素と過酸化水素とを含む廃水（以下、原水とい
う）は、水酸化カルシュウムを添加する反応槽１０に流
入する。ここでは、弗素が水酸化力ルシュウムと化学反
応して弗化カルシュウムを生成する。

次に、反応槽１０から流出した原水は、高分子凝集剤を
添加する反応槽１）に流入する。ここでは、高分子凝集
剤によって弗化カルシュウムの凝集してフロックを大き
くする。

その後、反応槽１）から流出した原水は、加圧浮上槽１
２の底部から加圧水と共に流入する。この際、加圧水が
大気解放された時に生じる微細気泡によって、それまで
に凝集フロックに殆ど付着していた気泡が浮上し、除去
される。同時に、加圧水による微細気泡によって原水中
に溶解している過酸化水素の一部も気泡化し、上昇して
除去される。

この加圧浮上槽１２に於ける「原水＋加圧水」の滞留時
間は１〜３時間とする。これは、−ｍに使用されている
加圧浮上槽の滞留時間は３０分前後であるが、加圧浮上
槽１２内での過酸化水素の気泡発生を充分に行なわせる
ためである。

この気泡発生の効率を上げるためには、反応槽１０に銅
や鉄等を注入するか、他の排水系統で有機物が含まれる
水を混入することが有効である。

ここで、銅としては、硫酸銅等があり、又、鉄としては
、硫酸第一鉄、硫酸第二鉄、塩化第一鉄。

塩化第二鉄等がある。又、有機系排水としては、し尿浄
化槽処理水、アルコール含有排水、脂肪酸含有排水等が
ある。

第２図は本発明の別の実施例を示すもので、第１図に於
ける反応槽１０の前段に金属触媒１３を設けたものであ
る。この金属触媒１３は、原水の配管中に設けられてい
る。

この金属触媒１３の材質としては、貴金属が最も良いが
、銅、鉄でも可能である。形状としては、円筒形状の充
填物或いは網状にして配管内に設置するようにしたもの
でも良い。又、金属触媒１３が入った配管部は、内部の
状況、即ち目詰まりや触媒の劣化等が外部から目視でき
るように透明樹脂（アクリルや塩ビ等）を用いると良い
。尚、金属触媒１３は配管とフランジを介して着脱自在
となるようにしておくと交換が容易である。

このように構成した実施例によれば、原水中の過酸化水
素が金属触媒１３によって気泡化し、次工程で生成され
るスラッジに過酸化水素が付着する割合が低減する。従
って、加圧浮上槽１２での「原水＋加圧水」の滞留時間
が０．５〜１．５時間となり、第１図に示す実施例に比
べて短縮できる。

更に、金属触媒１３は、その表面が原水中の弗化物によ
ってエツチングされ、常に新鮮な金属表面が確保される
。

第３図は本発明の更に別の実施例を示すもので、第１図
に於ける反応槽１０に代えて、金属触媒１５を上部に組
み込んだスクラバー１４としたものである。

この実施例によれば、原水は金属触媒１５の上に散布さ
れ、金属触媒１５と接触した原水は、下部の水槽１６に
溜まり、水酸化力ルシュウムが加えられて弗化カルシュ
ウムのフロック形成する。

以後の処理工程は、上記実施例と同様である。

次に、本発明を実験結果によって更に説明する。

第１図に示す本発明による処理システムと第４図に示す
従来方法による処理システムによって、弗化アンモニュ
ウムが６８０■／ｌ、過酸化水素が２０５■／１含む原
水を処理した。尚、第４図に示す従来方法に於ける還元
剤としては重亜硫酸ナトリュウムを使用した。

処理した結果、従来法に於ける処理水には微細フロソク
カ９昆入し、そのためにＳＳが２８ｎｗ／ｆ、弗化物が
１８．２ｍｇ／βとなり、フロック中の弗化カルシュウ
ムが弗化物として測定されていると考えられる。

これに対し、本発明による方法では、ＳＳが５■／ｌ以
下、弗化物が８．５■／ｌとなり、上澄水は透明で、フ
ロックの混入が見られず、良好な処理水が得られた。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、活性炭による過酸化水素
の吸着除去プロセスや還元剤による過酸化水素の分解プ
ロセスが不要となる。フロックの流出が極めて少なくな
るので、良好な処理水が得られる等の利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す説明図、第２図は本発明
の別の実施例を示す説明図、第３図は本発明の更に別の
実施例を示す説明図、第４図は従来例を示す説明図であ
る。１０．１）・・・反応槽、１２・・・加圧浮上槽、１３
．１５・・・金属触媒、１４・・・スクラバー。 ′１ＩＩＳ　　図第４図（□）　（ＪＡｇ）□）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）弗素と過酸化水素とを含む廃水に、金属塩又は金
属化合物を添加して弗素化合物を生成し、次いで高分子
凝集剤を添加して弗素化合物を凝集フロックとした後、
加圧浮上槽の底部から加圧水と共に流入させることを特
徴とする弗素含有廃水の処理方法。
（２）金属塩が、カルシュウム塩、鉄塩等であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弗素含有廃水の
処理方法。
（３）金属化合物が、カルシュウム化合物、アルミニュ
ウム化合物等であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の弗素含有廃水の処理方法。
（４）弗化物生成素の前段で、上記廃水を金属触媒と接
触させて過酸化水素を気泡化させることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の弗素含有廃水の処理方法。
（５）金属触媒が、廃水導入管路に設けてあることを特
徴とする特許請求の範囲第４項記載の弗素含有廃水の処
理方法。
（６）金属触媒が、弗素と過酸化水素とを含む廃水に、
金属塩又は金属化合物を添加して弗素化合物を生成する
槽の上部に設けられていることを特徴とする特許請求の
範囲第４項記載の弗素含有廃水の処理方法。