JPH0818025B2 - 弗素含有廃水の処理方法 - Google Patents
弗素含有廃水の処理方法Info
- Publication number
- JPH0818025B2 JPH0818025B2 JP16423086A JP16423086A JPH0818025B2 JP H0818025 B2 JPH0818025 B2 JP H0818025B2 JP 16423086 A JP16423086 A JP 16423086A JP 16423086 A JP16423086 A JP 16423086A JP H0818025 B2 JPH0818025 B2 JP H0818025B2
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- JP
- Japan
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- fluorine
- compound
- hydrogen peroxide
- metal
- containing wastewater
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- Separation Of Suspended Particles By Flocculating Agents (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子部品や電気部品等の製造工場から排出
される弗素含有廃水を処理する方法に関するものであ
る。
される弗素含有廃水を処理する方法に関するものであ
る。
電子部品や電気部品の製造に於て、弗素化合物はエッ
チッグ等の表面処理工程では欠くことのできない物質で
あり、一般に広く使用されている。同時に、部品の洗浄
等のために過酸化水素を使用することが多く、特に半導
体製造工場に於ては、弗素化合物の廃水に過酸化水素が
混入している場合が多い。
チッグ等の表面処理工程では欠くことのできない物質で
あり、一般に広く使用されている。同時に、部品の洗浄
等のために過酸化水素を使用することが多く、特に半導
体製造工場に於ては、弗素化合物の廃水に過酸化水素が
混入している場合が多い。
廃水中に含まれる弗素化合物は、多種多様のものがあ
るが、半導体製造工場では弗酸や弗化アンモニウム等が
代表例である。
るが、半導体製造工場では弗酸や弗化アンモニウム等が
代表例である。
これらの弗素を廃水から除去する方法として、従来か
ら様々な方法が得られている。
ら様々な方法が得られている。
主な処理方法としては、 カルシュウム化合物添加＋沈澱分離法 アルミニウム化合物添加＋沈澱分離法 鉄塩添加 ＋沈澱分離法 上記，，の内２つ以上の組合せ カルシュウム塩＋リン酸塩＋沈澱法 活性アルミナによる吸着法 活性炭又は骨炭による吸着法 等がある。
この内、水質汚濁防止法に於ける排水基準である弗素
化合物15mg/を満足させる方法として、維持管理費が
比較的安価であることから、上記〜の凝集沈澱法が
広く採用されている。
化合物15mg/を満足させる方法として、維持管理費が
比較的安価であることから、上記〜の凝集沈澱法が
広く採用されている。
然し、前述したように、凝集沈澱法を行なう系統に過
酸化水素が数十〜数万mg/の割合で混入する場合が多
く、このままでは過酸化水素による微細気泡が、カルシ
ュウム塩等によって形成されたフロックに付着して一旦
沈澱槽に沈澱したスラッジから気泡が発生し、フロック
が再浮上して沈澱槽から溢流し、次工程に流出してしま
う。このフロックの流出によって、処理水中に高濃度の
弗化物やSSが検出されることもあった。
酸化水素が数十〜数万mg/の割合で混入する場合が多
く、このままでは過酸化水素による微細気泡が、カルシ
ュウム塩等によって形成されたフロックに付着して一旦
沈澱槽に沈澱したスラッジから気泡が発生し、フロック
が再浮上して沈澱槽から溢流し、次工程に流出してしま
う。このフロックの流出によって、処理水中に高濃度の
弗化物やSSが検出されることもあった。
そこで、過酸化水素の除去のために、従来から活性炭
による吸着法や、重亜硫酸ナトリュウム等の還元剤注入
による化学反応法等が行なわれている。
による吸着法や、重亜硫酸ナトリュウム等の還元剤注入
による化学反応法等が行なわれている。
第４図は重亜硫酸ナトリュウム等の還元剤注入による
化学反応法を示す説明図で、弗素と過酸化水素を含む廃
水は、先ず、還元剤を添加する反応槽１に流入し、ここ
で過酸化水素の分解を行なう。次に、水酸化カルシュウ
ムを添加する反応槽２に流入し、ここで弗化カルシュウ
ムを生成する。更に、この弗化カルシュウムを反応槽３
に於て、高分子凝集剤によって凝集させる。その後、沈
澱槽４に流入して、スラッジを底部から抜き取り、上部
から処理水を吐出する。尚、沈澱槽４での滞留時間は、
一般に３〜５時間である。
化学反応法を示す説明図で、弗素と過酸化水素を含む廃
水は、先ず、還元剤を添加する反応槽１に流入し、ここ
で過酸化水素の分解を行なう。次に、水酸化カルシュウ
ムを添加する反応槽２に流入し、ここで弗化カルシュウ
ムを生成する。更に、この弗化カルシュウムを反応槽３
に於て、高分子凝集剤によって凝集させる。その後、沈
澱槽４に流入して、スラッジを底部から抜き取り、上部
から処理水を吐出する。尚、沈澱槽４での滞留時間は、
一般に３〜５時間である。
然し、活性炭吸着法はランニングコストが高く、又、
過酸化水素のみを選択的に吸着する訳ではなく、有機物
や金属等も多量に吸着してしまうので、効率が良くな
い。
過酸化水素のみを選択的に吸着する訳ではなく、有機物
や金属等も多量に吸着してしまうので、効率が良くな
い。
又、還元剤注入法も維持管理費が掛かり、運転管理も
繁雑となる外、処理水には微細なフロックが混入し、良
好な処理水を得ることが難しい、といった問題がある。
繁雑となる外、処理水には微細なフロックが混入し、良
好な処理水を得ることが難しい、といった問題がある。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為され
たもので、その目的は、弗素の除去と過酸化水素の除去
とを簡便な手段によって行なうと共に、処理水中にフロ
ックが混入しないようにすることにある。
たもので、その目的は、弗素の除去と過酸化水素の除去
とを簡便な手段によって行なうと共に、処理水中にフロ
ックが混入しないようにすることにある。
本発明に係る弗素含有廃水の処理方法は、弗素と過酸
化水素とを含む廃水に、金属塩又は金属化合物を添加し
て弗素化合物を生成し、次いで高分子凝集剤を添加して
弗素化合物を凝集フロックとした後、加圧浮上槽の底部
から加圧水と共に流入させるように構成したものであ
る。
化水素とを含む廃水に、金属塩又は金属化合物を添加し
て弗素化合物を生成し、次いで高分子凝集剤を添加して
弗素化合物を凝集フロックとした後、加圧浮上槽の底部
から加圧水と共に流入させるように構成したものであ
る。
本発明に於て、金属塩としてはカルシュウム塩，鉄塩
等が好適である。又、金属化合物としてはカルシュウム
化合物，アルミニュウム化合物等が好適である。
等が好適である。又、金属化合物としてはカルシュウム
化合物，アルミニュウム化合物等が好適である。
本発明に於ては、弗素と過酸化水素とを含む廃水が、
金属塩又は金属化合物及び高分子凝集剤の添加によって
弗素化合物の凝集フロックを生成した後、加圧浮上槽内
に加圧水と共に流入されるから、加圧水が大気解放され
ることによって生じる微細気泡により、それまで凝集フ
ロックに殆ど付着していた気泡は浮上し除去されると同
時に廃水中に溶解している過酸化水素の一部も気泡化し
て上昇して除去される。
金属塩又は金属化合物及び高分子凝集剤の添加によって
弗素化合物の凝集フロックを生成した後、加圧浮上槽内
に加圧水と共に流入されるから、加圧水が大気解放され
ることによって生じる微細気泡により、それまで凝集フ
ロックに殆ど付着していた気泡は浮上し除去されると同
時に廃水中に溶解している過酸化水素の一部も気泡化し
て上昇して除去される。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明に於けるプロセスを説明するための図
である。
である。
先ず、弗素と過酸化水素とを含む廃水（以下、原水と
いう）は、水酸化カルシュウムを添加する反応槽10に流
入する。ここでは、弗素が水酸化カルシュウムと化学反
応して弗化カルシュウムを生成する。
いう）は、水酸化カルシュウムを添加する反応槽10に流
入する。ここでは、弗素が水酸化カルシュウムと化学反
応して弗化カルシュウムを生成する。
次に、反応槽10から流出した原水は、高分子凝集剤を
添加する反応槽11に流入する。ここでは、高分子凝集剤
によって弗化カルシュウムの凝集してフロックを大きく
する。
添加する反応槽11に流入する。ここでは、高分子凝集剤
によって弗化カルシュウムの凝集してフロックを大きく
する。
その後、反応槽11から流出した原水は、加圧浮上槽12
の底部から加圧水と共に流入する。この際、加圧水が大
気解放された時に生じる微細気泡によって、それまでに
凝集フロックに殆ど付着していた気泡が浮上し、除去さ
れる。同時に、加圧水による微細気泡によって原水中に
溶解している過酸化水素の一部も気泡化し、上昇して除
去される。
の底部から加圧水と共に流入する。この際、加圧水が大
気解放された時に生じる微細気泡によって、それまでに
凝集フロックに殆ど付着していた気泡が浮上し、除去さ
れる。同時に、加圧水による微細気泡によって原水中に
溶解している過酸化水素の一部も気泡化し、上昇して除
去される。
この加圧浮上槽12に於ける『原水＋加圧水』の滞留時
間は１〜３時間とする。これは、一般に使用されている
加圧浮上槽の滞留時間は30分前後であるが、加圧浮上槽
12内での過酸化水素の気泡発生を充分に行なわせるため
である。
間は１〜３時間とする。これは、一般に使用されている
加圧浮上槽の滞留時間は30分前後であるが、加圧浮上槽
12内での過酸化水素の気泡発生を充分に行なわせるため
である。
この気泡発生の効率を上げるためには、反応槽10に銅
や鉄等を注入するか、他の廃水系統で有機物が含まれる
水を混入することが有効である。
や鉄等を注入するか、他の廃水系統で有機物が含まれる
水を混入することが有効である。
ここで、銅としては、硫酸銅等があり、又、鉄として
は、硫酸第一鉄，硫酸第二鉄，塩化第一鉄，塩化第二鉄
等がある。又、有機系排水としては、し尿浄化槽処理
水，アルコール含有排水，脂肪酸含有排水等がある。
は、硫酸第一鉄，硫酸第二鉄，塩化第一鉄，塩化第二鉄
等がある。又、有機系排水としては、し尿浄化槽処理
水，アルコール含有排水，脂肪酸含有排水等がある。
第２図は本発明の別の実施例を示すもので、第１図に
於ける反応槽10の前段に金属触媒13を設けたものであ
る。この金属触媒13は、原水の配管中に設けられてい
る。
於ける反応槽10の前段に金属触媒13を設けたものであ
る。この金属触媒13は、原水の配管中に設けられてい
る。
この金属触媒13の材質としては、貴金属が最も良い
が、銅，鉄でも可能である。形状としては、円筒形状の
充填物或いは網状にして配管内に設置するようにしたも
のでも良い。又、金属触媒13が入った配管部は、内部の
状況，即ち目詰まりや触媒の劣化等が外部から目視でき
るように透明樹脂（アクリルや塩ビ等）を用いると良
い。尚、金属触媒13は配管とフランジを介して着脱自在
となるようにしておくと交換が容易である。
が、銅，鉄でも可能である。形状としては、円筒形状の
充填物或いは網状にして配管内に設置するようにしたも
のでも良い。又、金属触媒13が入った配管部は、内部の
状況，即ち目詰まりや触媒の劣化等が外部から目視でき
るように透明樹脂（アクリルや塩ビ等）を用いると良
い。尚、金属触媒13は配管とフランジを介して着脱自在
となるようにしておくと交換が容易である。
このように構成した実施例によれば、原水中の過酸化
水素が金属触媒13によって気泡化し、次工程で生成され
るスラッジに過酸化水素が付着する割合が低減する。従
って、加圧浮上槽12での『原水＋加圧水』の滞留時間が
0.5〜1.5時間となり、第１図に示す実施例に比べて短縮
できる。
水素が金属触媒13によって気泡化し、次工程で生成され
るスラッジに過酸化水素が付着する割合が低減する。従
って、加圧浮上槽12での『原水＋加圧水』の滞留時間が
0.5〜1.5時間となり、第１図に示す実施例に比べて短縮
できる。
更に、金属触媒13は、その表面が原水中の弗化物によ
ってエッチングされ、常に新鮮な金属表面が確保され
る。
ってエッチングされ、常に新鮮な金属表面が確保され
る。
第３図は本発明の更に別の実施例を示すもので、第１
図に於ける反応槽10に代えて、金属触媒15を上部に組み
込んだスクラバー14としたものである。
図に於ける反応槽10に代えて、金属触媒15を上部に組み
込んだスクラバー14としたものである。
この実施例によれば、原水は金属触媒15の上に散布さ
れ、金属触媒15と接触した原水は、下部の水槽16に溜ま
り、水酸化カルシュウムが加えられて弗化カルシュウム
のフロック形成する。以後の処理工程は、上記実施例と
同様である。
れ、金属触媒15と接触した原水は、下部の水槽16に溜ま
り、水酸化カルシュウムが加えられて弗化カルシュウム
のフロック形成する。以後の処理工程は、上記実施例と
同様である。
次に、本発明を実験結果によって更に説明する。
第１図に示す本発明による処理システムと第４図に示
す従来方法による処理システムによって、弗化アンモニ
ュウムが680mg/、過酸化水素が205mg/含む原水を処
理した。尚、第４図に示す従来方法に於ける還元剤とし
ては重亜硫酸ナトリュウムを使用した。
す従来方法による処理システムによって、弗化アンモニ
ュウムが680mg/、過酸化水素が205mg/含む原水を処
理した。尚、第４図に示す従来方法に於ける還元剤とし
ては重亜硫酸ナトリュウムを使用した。
処理した結果、従来法に於ける処理水には微細フロッ
クが混入し、そのためにSSが28mg/、弗化物が18.2mg/
となり、フロック中の弗化カルシュウムが弗化物とし
て測定されていると考えられる。
クが混入し、そのためにSSが28mg/、弗化物が18.2mg/
となり、フロック中の弗化カルシュウムが弗化物とし
て測定されていると考えられる。
これに対し、本発明による方法では、SSが5mg/以
下、弗化物が8.5mg/となり、上澄水は透明で、フロッ
クの混入が見られず、良好な処理水が得られた。
下、弗化物が8.5mg/となり、上澄水は透明で、フロッ
クの混入が見られず、良好な処理水が得られた。
以上のように本発明によれば、活性炭による過酸化水
素の吸着除去プロセスや還元剤による過酸化水素の分解
プロセスが不要となる。フロックの流出が極めて少なく
なるので、良好な処理水が得られる等の利点がある。
素の吸着除去プロセスや還元剤による過酸化水素の分解
プロセスが不要となる。フロックの流出が極めて少なく
なるので、良好な処理水が得られる等の利点がある。
第１図は本発明の実施例を示す説明図、第２図は本発明
の別の実施例を示す説明図、第３図は本発明の更に別の
実施例を示す説明図、第４図は従来例を示す説明図であ
る。 10,11……反応槽、12……加圧浮上槽、13,15……金属触
媒、14……スクラバー。
の別の実施例を示す説明図、第３図は本発明の更に別の
実施例を示す説明図、第４図は従来例を示す説明図であ
る。 10,11……反応槽、12……加圧浮上槽、13,15……金属触
媒、14……スクラバー。
Claims (6)
- 【請求項１】弗素と過酸化水素とを含む廃水に、金属塩
又は金属化合物を添加して弗素化合物を生成し、次いで
高分子凝集剤を添加して弗素化合物を凝集フロックとし
た後、加圧浮上槽の底部から加圧水と共に流入させるこ
とを特徴とする弗素含有廃水の処理方法。 - 【請求項２】金属塩が、カルシュウム塩，鉄塩等である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弗素含有
廃水の処理方法。 - 【請求項３】金属化合物が、カルシュウム化合物，アル
ミニュウム化合物等であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の弗素含有廃水の処理方法。 - 【請求項４】弗化物生成素の前段で、上記廃水を金属触
媒と接触させて過酸化水素を気泡化させることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の弗素含有廃水の処理方
法。 - 【請求項５】金属触媒が、廃水導入管路に設けてあるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の弗素含有廃
水の処理方法。 - 【請求項６】金属触媒が、弗素と過酸化水素とを含む廃
水に、金属塩又は金属化合物を添加して弗素化合物を生
成する槽の上部に設けられていることを特徴とする特許
請求の範囲第４項記載の弗素含有廃水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16423086A JPH0818025B2 (ja) | 1986-07-12 | 1986-07-12 | 弗素含有廃水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16423086A JPH0818025B2 (ja) | 1986-07-12 | 1986-07-12 | 弗素含有廃水の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320093A JPS6320093A (ja) | 1988-01-27 |
| JPH0818025B2 true JPH0818025B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=15789143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16423086A Expired - Lifetime JPH0818025B2 (ja) | 1986-07-12 | 1986-07-12 | 弗素含有廃水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818025B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102601857B1 (ko) * | 2022-08-30 | 2023-11-16 | 주식회사 부강테크 | 리튬 이온 폐배터리 리사이클링 공정에서 발생하는 폐수의 무방류 처리 시스템 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6122226A (en) * | 1996-09-05 | 2000-09-19 | Citizen Watch Co., Ltd. | Combination electronic watch |
| JP4132851B2 (ja) * | 2002-02-06 | 2008-08-13 | オルガノ株式会社 | フッ素および過酸化水素を含む排水の処理方法 |
| CN110104891B (zh) * | 2019-05-24 | 2023-07-07 | 衡水英利新能源有限公司 | 一种降除光伏电池废水中重金属离子的方法 |
-
1986
- 1986-07-12 JP JP16423086A patent/JPH0818025B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102601857B1 (ko) * | 2022-08-30 | 2023-11-16 | 주식회사 부강테크 | 리튬 이온 폐배터리 리사이클링 공정에서 발생하는 폐수의 무방류 처리 시스템 |
| WO2024049075A1 (ko) * | 2022-08-30 | 2024-03-07 | 주식회사 부강테크 | 리튬 이온 폐배터리 리사이클링 공정에서 발생하는 폐수의 무방류 처리 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6320093A (ja) | 1988-01-27 |
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