JPH0712475B2 - 弗素含有廃水の処理方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子部品や電子部品等の製造工場から排出さ
れる弗素含有廃水を処理する方法に関するものである。

〔従来の技術〕

電子部品や電気部品の製造に於て、弗素化合物はエッチ
ッグ等の表面処理工程では欠くことのできない物質であ
り、一般に広く使用されている。同時に、部品の洗浄等
のために過酸化水素を使用することが多く、特に半導体
製造工場に於ては、弗素化合物の廃水に過酸化水素が混
入している場合が多い。

廃水中に含まれる弗素化合物は、多種多様のものがある
が、半導体製造工場では弗酸や弗化アンモニウム等が代
表例である。

これらの弗素を廃水から除去する方法として、従来から
様々な方法が取られている。

主な処理方法としては、 カルシュウム化合物添加＋沈澱分離法 アルミニウム化合物添加＋沈澱分離法 鉄塩添加 ＋沈澱分離法 上記，，の内２つ以上の組合せ カルシュウム塩＋リン酸塩＋沈澱法 活性アルミナによる吸着法 活性炭又は骨炭による吸着法 等がある。

この内、水質汚濁防止法に於ける排水基準である弗素化
合物15mg/lを満足させる方法として、維持管理費が比較
的安価であることから、上記〜の凝集沈澱法が広く
採用されている。

然し、前述したように、凝集沈澱法を行なう系統に過酸
化水素が数十〜数万mg/lの割合で混入する場合が多く、
このままでは過酸化水素による微細気泡が、カルシュウ
ム塩等によって形成されたフロックに付着して一旦沈澱
槽に沈澱したスラッジから気泡が発生し、フロックが再
浮上して沈澱槽から溢流し、次工程に流出してしまう。
このフロックの流出によって、処理水中に高濃度の弗素
化合物やSSが検出されることもあった。

そこで、過酸化水素の除去のために、従来から活性炭に
よる吸着法や、重亜硫酸ナトリュウム等の還元剤注入に
よる化学反応法等が行なわれている。

然し、上記従来法では、弗素が処理できるのは処理水中
弗素濃度で10〜15mg/l程度であり、更にこの濃度を下げ
るためには種々な工夫が為されている。

第２図はその一例を示すもので、弗素と過酸化水素とを
含む廃水は、先ず、反応槽１に流入し、還元剤を添加し
て過酸化水素の分解を行なう。次に、水酸化カルシュウ
ムを添加する反応槽２に流入し、ここで弗化カルシュウ
ムを生成する。更に、この弗化カルシュウムを反応槽３
に於て高分子凝集剤によって凝集させる。その後、第一
沈澱槽４に流入して、スラッジを底部から抜き取り、上
部から処理水を吐出する。

第一沈澱槽４から流出した処理水は、水酸化カルシュウ
ムと硫酸バンドとを添加する反応槽５に流入し、ここで
弗化アルミニュウムを生成する。その後、反応槽６に於
て高分子凝集剤を添加してフロックを凝集して大きくす
る。そして、第二沈澱槽７に流入して、スラッジを底部
から抜き取り、上部から処理水を吐出する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

然し、この処理方法では、設備が大掛かりとなると共
に、使用する薬品の量が膨大となり、宜しいものではな
かった。

〔発明の目的〕

本発明は斯る従来の問題点を解決するために為されたも
ので、その目的は、少ない処理工程で弗素の除去を確実
に行なうことにある。

〔問題点を解決するための手段〕 本発明に係る弗素含有廃水の処理方法は、弗素と過酸化
水素とを含む廃水に、金属塩又は金属化合物を添加して
弗素化合物を生成した後、第一加圧浮上槽の底部から加
圧水と共に流入させて固液分離し、その処理水に金属塩
又は金属化合物及び硫酸バンドを添加して凝集フロック
を形成した後、第二加圧浮上槽の底部から加圧水と共に
流入させるように構成したものである。

本発明に於て、金属塩としてはカルシュウム塩，鉄塩等
が好適である。又、金属化合物としてはカルシュウム化
合物，アルミニュウム化合物等が好適である。

〔発明の作用〕

本発明に於ては、弗素と過酸化水素とを含む廃水が、金
属塩又は金属化合物の添加によって弗素化合物を生成し
た後、第一加圧浮上槽内に加圧水と共に流入されるか
ら、加圧水が大気解放されることによって生じる微細気
泡により、それまで弗素化合物に殆ど付着していた気泡
は浮上し除去されると同時に廃水中に溶解している過酸
化水素の一部も気泡化して上昇して除去される。更に、
ここでの処理水に金属塩又は金属化合物と硫酸バンドと
を添加してフロックを凝集させた後に、第二加圧浮上槽
内に加圧水と共に流入させるから、フロックを確実に除
去すると共に過酸化水素の除去も為される。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明に於けるプロセスを説明するための図で
ある。

先ず、弗素と過酸化水素とを含む廃水（以下、原水とい
う）は、水酸化カルシュウムを添加する反応槽10に流入
する。ここでは、弗素が水酸化カルシュウムと化学反応
して弗化カルシュウムを生成する。

次に、反応槽10から流出した原水は、第一加圧浮上槽11
の底部から加圧水と共に流入する。この際、加圧水が大
気解放された時に生じる微細気泡によって、それまでに
弗化カルシュウムに殆ど付着していた気泡が浮上し、除
去される。同時に、加圧水による微細気泡によって原水
中に溶解している過酸化水素の一部も気泡化し、上昇し
て除去される。

更に、この第一加圧浮上槽11から流出した弗化カルシュ
ウムが除かれた処理水は、その弗素濃度を下げるために
次の反応槽12に於て、水酸化カルシュウムと硫酸バンド
を添加して弗化カルシュウムを更に生成させると共にこ
れらを凝集させる。

その後、第二加圧浮上槽13に送られる。ここでは、第一
加圧浮上槽11と同様に加圧水の作用によってフロックを
確実に分離し、処理水中の弗素濃度を数mg/lに下げるこ
とができる。

尚、第一加圧浮上槽11に於ける『原水＋加圧水』の滞留
時間は１〜３時間とする。これは、一般に使用されてい
る加圧浮上槽の滞留時間は30分前後であるが、加圧浮上
槽11内での過酸化水素の気泡発生を充分に行なわせるた
めである。

この気泡発生の効率を上げるためには、反応槽10に銅や
鉄等を注入するか、他の排水系統で有機物が含まれる水
を混入することが有効である。

ここで、銅としては、硫酸銅等があり、又、鉄として
は、硫酸第一鉄，硫酸第二鉄，塩化第一鉄，塩化第二鉄
等がある。又、有機系排水としては、し尿浄化槽処理
水，アルコール含有排水，脂肪酸含有排水等がある。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、活性炭による過酸化水素
の吸着除去プロセス，又は還元剤による過酸化水素の分
解プロセス，或いは高分子凝集剤によるフロックの凝集
プロセスとが不要となり、少ない処理工程で処理水中の
弗素濃度を下げることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す説明図、第２図は従来例
を示す説明図である。 10,12……反応槽、11……第一加圧浮上槽、13……第二
加圧浮上槽。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 裕治 東京都中央区銀座８丁目21番１号 株式会 社竹中工務店東京本店内 (56)参考文献 特開 昭61−185375（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−47456（ＪＰ，Ａ)

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弗素と過酸化水素とを含む廃水に、金属塩
   又は金属化合物を添加して弗素化合物を生成した後、第
   一加圧浮上槽の底部から加圧水と共に流入させて固液分
   離し、その処理水に金属塩又は金属化合物及び硫酸バン
   ドを添加して凝集フロックを形成した後、第二加圧浮上
   槽の底部から加圧水と共に流入させることを特徴とする
   弗素含有廃水の処理方法。
2. 【請求項２】金属塩が、カルシュウム塩，鉄塩等である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弗素含有
   廃水の処理方法。
3. 【請求項３】金属化合物が、カルシュウム化合物，アル
   ミニュウム化合物等であることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の弗素含有廃水の処理方法。