JPH0686988A - フッ素イオン及び過酸化水素を含有する排水の処理方法 - Google Patents
フッ素イオン及び過酸化水素を含有する排水の処理方法Info
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- JPH0686988A JPH0686988A JP23935992A JP23935992A JPH0686988A JP H0686988 A JPH0686988 A JP H0686988A JP 23935992 A JP23935992 A JP 23935992A JP 23935992 A JP23935992 A JP 23935992A JP H0686988 A JPH0686988 A JP H0686988A
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- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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- C02F2101/12—Halogens or halogen-containing compounds
- C02F2101/14—Fluorine or fluorine-containing compounds
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- Removal Of Specific Substances (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フッ素イオン及び過酸化水素を含有する排
水処理において、フロックの浮上流出を防止し、効率的
にフッ素イオン及び過酸化水素を除去することのできる
排水処理方法を提供する。 【構成】 フッ素イオン及び過酸化水素を含有する排
水に、アルカリ性カルシウム含有化合物を添加してフッ
素イオンをフッ化カルシウムとした後、コロイド等量値
が−２．０ないし−８．０ｍｅｑ／ｇのアニオン性高分
子凝集剤を添加して微細フロックを生成させ、ついで固
液分離した後にカタラーゼを添加して過酸化水素を分解
することを特徴とするフッ素イオン及び過酸化水素を含
有する排水の処理方法。
水処理において、フロックの浮上流出を防止し、効率的
にフッ素イオン及び過酸化水素を除去することのできる
排水処理方法を提供する。 【構成】 フッ素イオン及び過酸化水素を含有する排
水に、アルカリ性カルシウム含有化合物を添加してフッ
素イオンをフッ化カルシウムとした後、コロイド等量値
が−２．０ないし−８．０ｍｅｑ／ｇのアニオン性高分
子凝集剤を添加して微細フロックを生成させ、ついで固
液分離した後にカタラーゼを添加して過酸化水素を分解
することを特徴とするフッ素イオン及び過酸化水素を含
有する排水の処理方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程におけ
るウエハープロセス排水等のフッ素イオン及び過酸化水
素を含有する排水の処理方法に関するものである。
るウエハープロセス排水等のフッ素イオン及び過酸化水
素を含有する排水の処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程のウエハープロセス排水
中には、各種の無機化合物や有機化合物が含まれている
が、特にフッ素イオンと過酸化水素が含まれていること
が特徴的である。
中には、各種の無機化合物や有機化合物が含まれている
が、特にフッ素イオンと過酸化水素が含まれていること
が特徴的である。
【０００３】半導体製造工程においては、ウエハーのエ
ッチング工程でフッ酸が用いられ、また殺菌漂白の目的
で過酸化水素が多量に使用されていることが、ウエハー
プロセスの排水中にフッ素イオンと未分解の過酸化水素
が含まれる原因となっている。
ッチング工程でフッ酸が用いられ、また殺菌漂白の目的
で過酸化水素が多量に使用されていることが、ウエハー
プロセスの排水中にフッ素イオンと未分解の過酸化水素
が含まれる原因となっている。
【０００４】ウエハープロセスの排水中に含まれる過酸
化水素は、フッ素イオン等の凝集沈殿除去工程において
自然分解し、気体酸素を発生させる。過酸化水素の自然
分解による気体酸素は、凝集したフロックの内部空隙で
微少気泡となったり、フロックの表面に付着するため、
フロックが浮上流出してしまう。さらに、過酸化水素
は、それ自体が毒性を有するため、後の活性汚泥処理工
程や外環境に悪影響を与える。
化水素は、フッ素イオン等の凝集沈殿除去工程において
自然分解し、気体酸素を発生させる。過酸化水素の自然
分解による気体酸素は、凝集したフロックの内部空隙で
微少気泡となったり、フロックの表面に付着するため、
フロックが浮上流出してしまう。さらに、過酸化水素
は、それ自体が毒性を有するため、後の活性汚泥処理工
程や外環境に悪影響を与える。
【０００５】このように後の工程や外環境に悪影響を与
える排水中の過酸化水素を分解除去する方法として、亜
硫酸ナトリウム、重亜硫酸ナトリウム、ヒドラジン等の
還元剤を用いて還元分解する方法が一般的に行われてい
る。
える排水中の過酸化水素を分解除去する方法として、亜
硫酸ナトリウム、重亜硫酸ナトリウム、ヒドラジン等の
還元剤を用いて還元分解する方法が一般的に行われてい
る。
【０００６】しかし、過酸化水素を分解するためには、
これらの還元剤を過酸化水素と等量添加する必要があ
る。従って、排水中の過酸化水素濃度が高い場合は、多
量の還元剤を添加しなければならない。さらに還元剤が
過剰であると、還元剤自身の毒性等により環境に悪影響
を及ぼす。
これらの還元剤を過酸化水素と等量添加する必要があ
る。従って、排水中の過酸化水素濃度が高い場合は、多
量の還元剤を添加しなければならない。さらに還元剤が
過剰であると、還元剤自身の毒性等により環境に悪影響
を及ぼす。
【０００７】近年になり、化学的還元法に代わり過酸化
水素を分解するカタラーゼを用いるウエハープロセス排
水の処理方法が提案されている（特開昭６３−２７０５
９５号）。すなわち、ウエハープロセス排水中に、アル
カリ性カルシウム含有化合物を添加してカタラーゼの触
媒毒となる排水中のフッ素イオンをフッ化カルシウムと
した後、ｐＨ５〜９において、カタラーゼを添加して、
過酸化水素を分解し、ついで、固液分離する方法であ
る。
水素を分解するカタラーゼを用いるウエハープロセス排
水の処理方法が提案されている（特開昭６３−２７０５
９５号）。すなわち、ウエハープロセス排水中に、アル
カリ性カルシウム含有化合物を添加してカタラーゼの触
媒毒となる排水中のフッ素イオンをフッ化カルシウムと
した後、ｐＨ５〜９において、カタラーゼを添加して、
過酸化水素を分解し、ついで、固液分離する方法であ
る。
【０００８】カタラーゼは、生物体由来の酵素であるた
め安全であり、しかも触媒的に過酸化水素を分解するの
で、添加量は少量ですむという利点を有している。
め安全であり、しかも触媒的に過酸化水素を分解するの
で、添加量は少量ですむという利点を有している。
【０００９】しかし、このカタラーゼによる処理は過酸
化水素分解時に酸素を発生するために、フロック中で、
微細な酸素の気泡となり、フロックが浮上流出を起こし
て沈殿分離工程に不具合を生じてしまう。
化水素分解時に酸素を発生するために、フロック中で、
微細な酸素の気泡となり、フロックが浮上流出を起こし
て沈殿分離工程に不具合を生じてしまう。
【００１０】カタラーゼの使用によるフロックの浮上流
出を防止する方法として、カタラーゼ添加後に固液分離
された汚泥をその固液分離する前の排水に返送して混合
し、凝集過程におけるフロックの絶対量を増加させるこ
とにより、カタラーゼによる過酸化水素分解の際に生ず
る酸素のフロックに対する影響を小さくする改良方法が
提案されている（特開平２−２２２７７３号）。
出を防止する方法として、カタラーゼ添加後に固液分離
された汚泥をその固液分離する前の排水に返送して混合
し、凝集過程におけるフロックの絶対量を増加させるこ
とにより、カタラーゼによる過酸化水素分解の際に生ず
る酸素のフロックに対する影響を小さくする改良方法が
提案されている（特開平２−２２２７７３号）。
【００１１】しかし、この改良方法は、返送する汚泥の
濃度や量等を適当に管理しなければならないという技術
的な煩雑さを伴う難点がある。
濃度や量等を適当に管理しなければならないという技術
的な煩雑さを伴う難点がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】一般的にウエハープロ
セス排水の処理で、生成するフロックは粒径５ｍｍφ以
上であり、フロックの再凝集等によりフロック内空隙率
の大きな場合が多い。そのため、見かけの比重が小さく
なるため僅かな水流により流動したり、フロック内の空
隙に気泡を保持しやすく固液分離における沈殿が十分に
達成できない場合がある。特に過酸化水素の分解による
気体酸素の発生や、温度変化等による水中溶存物質のガ
ス化によって、沈殿槽においてフロックの浮上流出が起
こる場合にそれは顕著である。従って、微細フロックを
形成させて見かけの比重を大きくすることがフロックの
浮上流出の防止に効果的である。
セス排水の処理で、生成するフロックは粒径５ｍｍφ以
上であり、フロックの再凝集等によりフロック内空隙率
の大きな場合が多い。そのため、見かけの比重が小さく
なるため僅かな水流により流動したり、フロック内の空
隙に気泡を保持しやすく固液分離における沈殿が十分に
達成できない場合がある。特に過酸化水素の分解による
気体酸素の発生や、温度変化等による水中溶存物質のガ
ス化によって、沈殿槽においてフロックの浮上流出が起
こる場合にそれは顕著である。従って、微細フロックを
形成させて見かけの比重を大きくすることがフロックの
浮上流出の防止に効果的である。
【００１３】さらに、カタラーゼのように気体酸素を生
成する反応を進行させる触媒物質を、固液分離工程以前
に添加することは、酸素の気泡がフロックに付着する原
因となり危険である。
成する反応を進行させる触媒物質を、固液分離工程以前
に添加することは、酸素の気泡がフロックに付着する原
因となり危険である。
【００１４】本発明は、以上のような技術的背景のもと
に完成されたものであり、本発明の目的は、ウエハープ
ロセス排水等のフッ素イオン及び過酸化水素を含有する
排水処理において、フロックの浮上流出を防止し、効率
的にフッ素イオン及び過酸化水素を除去することのでき
る排水処理方法を提供することである。
に完成されたものであり、本発明の目的は、ウエハープ
ロセス排水等のフッ素イオン及び過酸化水素を含有する
排水処理において、フロックの浮上流出を防止し、効率
的にフッ素イオン及び過酸化水素を除去することのでき
る排水処理方法を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明はフッ
素イオン及び過酸化水素を含有する排水に、アルカリ性
カルシウム含有化合物を添加してフッ素イオンをフッ化
カルシウムとした後、コロイド等量値が−２．０ないし
−８．０ｍｅｑ／ｇのアニオン性高分子凝集剤を添加し
て微細フロックを生成させ、ついで固液分離した後にカ
タラーゼを添加して過酸化水素を分解することを特徴と
するフッ素イオン及び過酸化水素を含有する排水の処理
方法に関するものである。
素イオン及び過酸化水素を含有する排水に、アルカリ性
カルシウム含有化合物を添加してフッ素イオンをフッ化
カルシウムとした後、コロイド等量値が−２．０ないし
−８．０ｍｅｑ／ｇのアニオン性高分子凝集剤を添加し
て微細フロックを生成させ、ついで固液分離した後にカ
タラーゼを添加して過酸化水素を分解することを特徴と
するフッ素イオン及び過酸化水素を含有する排水の処理
方法に関するものである。
【００１６】本発明の特徴は、微細フロックを形成する
ために特定のアニオン性高分子凝集剤を用い、さらに微
細フロックを固液分離した後にカタラーゼを添加して過
酸化水素を分解することにある。
ために特定のアニオン性高分子凝集剤を用い、さらに微
細フロックを固液分離した後にカタラーゼを添加して過
酸化水素を分解することにある。
【００１７】本発明の処理の対象となる排水は、フッ素
イオンと過酸化水素を含有する排水であり、代表的なも
のとしてウエハープロセス排水が挙げられるが、ウエハ
ープロセス排水に限定されるものではない。
イオンと過酸化水素を含有する排水であり、代表的なも
のとしてウエハープロセス排水が挙げられるが、ウエハ
ープロセス排水に限定されるものではない。
【００１８】本発明において、微細フロックを形成する
ために用いられるアニオン性高分子凝集剤は、例えばア
クリル酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物、アク
リルアミドとアルリルアミドのスルホン化物との共重合
物、アクリルアミドとアクリル酸ナトリウムとアクリル
アミドのスルホン化物との共重合物などで、コロイド等
量値が−２．０ｍｅｑ／ｇ以下、好ましくは−２．０な
いし−８．０ｍｅｑ／ｇのものである。なお、コロイド
等量値が−２．０ｍｅｑ／ｇ以上の場合はフロックが成
長しすぎて大きくなるため気泡の付着よりフロックの浮
上が起こりやすく、さらにコロイド等量値が−８．０ｍ
ｅｑ／ｇ以下の場合は逆にフロックが極微細となって固
液分解が困難となるので好ましくない。また、補助的に
ポリ塩化アルミニウム、硫酸アルミニウム及び／又はカ
チオン性高分子凝集剤を用いてもよい。
ために用いられるアニオン性高分子凝集剤は、例えばア
クリル酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物、アク
リルアミドとアルリルアミドのスルホン化物との共重合
物、アクリルアミドとアクリル酸ナトリウムとアクリル
アミドのスルホン化物との共重合物などで、コロイド等
量値が−２．０ｍｅｑ／ｇ以下、好ましくは−２．０な
いし−８．０ｍｅｑ／ｇのものである。なお、コロイド
等量値が−２．０ｍｅｑ／ｇ以上の場合はフロックが成
長しすぎて大きくなるため気泡の付着よりフロックの浮
上が起こりやすく、さらにコロイド等量値が−８．０ｍ
ｅｑ／ｇ以下の場合は逆にフロックが極微細となって固
液分解が困難となるので好ましくない。また、補助的に
ポリ塩化アルミニウム、硫酸アルミニウム及び／又はカ
チオン性高分子凝集剤を用いてもよい。
【００１９】本発明における、微細フロックとは、フロ
ック粒径１〜２ｍｍφで、フロック内空隙の少ないもの
をいう。粒径を小さくし、見かけの比重を上げることで
僅かな水流に影響されにくくなり、フロック内の空隙に
気泡を保持しにくくなるため、固液分離工程で沈降も十
分に達成することができる。
ック粒径１〜２ｍｍφで、フロック内空隙の少ないもの
をいう。粒径を小さくし、見かけの比重を上げることで
僅かな水流に影響されにくくなり、フロック内の空隙に
気泡を保持しにくくなるため、固液分離工程で沈降も十
分に達成することができる。
【００２０】本発明において用いられる、アルカリ性カ
ルシウム含有化合物はフッ素イオンを難溶性のフッ化カ
ルシウムとするものであれば特に限定されないが、消石
灰、生石灰などがあげられる。
ルシウム含有化合物はフッ素イオンを難溶性のフッ化カ
ルシウムとするものであれば特に限定されないが、消石
灰、生石灰などがあげられる。
【００２１】本発明において用いられるカタラーゼは、
嫌気性菌以外のほとんどすべての生物体に存在する酵素
であり、容易に入手することができ、その由来は特に限
定されない。カタラーゼの添加量は、触媒量で十分であ
り、例えば力価が５０，０００ユニットのカタラ−ゼを
用いる場合、排水中の過酸化水素水量に対して重量比で
１：１〜１：０．１（Ｈ2Ｏ2：カタラ−ゼ）の範囲が好
ましい。カタラーゼの酵素活性は中性付近で最大となる
ため、カタラーゼを添加する前に排水のｐＨを７〜８に
調整することが必要である。
嫌気性菌以外のほとんどすべての生物体に存在する酵素
であり、容易に入手することができ、その由来は特に限
定されない。カタラーゼの添加量は、触媒量で十分であ
り、例えば力価が５０，０００ユニットのカタラ−ゼを
用いる場合、排水中の過酸化水素水量に対して重量比で
１：１〜１：０．１（Ｈ2Ｏ2：カタラ−ゼ）の範囲が好
ましい。カタラーゼの酵素活性は中性付近で最大となる
ため、カタラーゼを添加する前に排水のｐＨを７〜８に
調整することが必要である。
【００２２】本発明おいてカタラーゼの添加は、固液分
離工程以降に行うが、固液分離工程の処理水が、固液分
離工程以降において他系統の排水と合流するような場合
には、他系統からの排水の影響を少なくするため、カタ
ラ−ゼを沈殿槽直後で添加するのが好ましい。
離工程以降に行うが、固液分離工程の処理水が、固液分
離工程以降において他系統の排水と合流するような場合
には、他系統からの排水の影響を少なくするため、カタ
ラ−ゼを沈殿槽直後で添加するのが好ましい。
【００２３】
【実施例】以下に本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
【００２４】実施例１ フッ素イオン及び過酸化水素を含む排水として表１に示
すウエハープロセス排水を、図１に示した排水処理装置
を用いて排水処理を行なった。
すウエハープロセス排水を、図１に示した排水処理装置
を用いて排水処理を行なった。
【００２５】
【表１】
【００２６】原水槽１のウエハープロセス排水を第１反
応槽２に移送し、１０重量％スラリーの水酸化カルシウ
ムを０．７ｍ3／ｈｒ添加し（図１中のａ）、排水中の
フッ素イオンを不溶性のフッ化カルシウムとした後、第
２反応槽に移送して３５％塩酸でｐＨを７〜８に調整
し、さらに補助凝集剤として２００ｍｇ／Ｌの硫酸バン
ドを加え（図１中のｂ）、凝集槽５に移送し、アクリル
酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物（コロイド等
量値−２．９ｍｅｑ／ｇ、添加量１０ｍｇ／Ｌ）を添加
して（図１中のｃ）、フッ化カルシウムを凝集させた。
応槽２に移送し、１０重量％スラリーの水酸化カルシウ
ムを０．７ｍ3／ｈｒ添加し（図１中のａ）、排水中の
フッ素イオンを不溶性のフッ化カルシウムとした後、第
２反応槽に移送して３５％塩酸でｐＨを７〜８に調整
し、さらに補助凝集剤として２００ｍｇ／Ｌの硫酸バン
ドを加え（図１中のｂ）、凝集槽５に移送し、アクリル
酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物（コロイド等
量値−２．９ｍｅｑ／ｇ、添加量１０ｍｇ／Ｌ）を添加
して（図１中のｃ）、フッ化カルシウムを凝集させた。
【００２７】凝集後に、沈殿槽６に移送し固液分離を行
い、オーバーフロー水にカタラーゼ（酵素力価５０，０
００ｕｎｉｔ／ｍｌ、添加量２０ｍｇ／Ｌ）を添加し
（図１中のｄ）、その後、反応槽兼処理水槽７に導入し
て排水中の過酸化水素の分解反応を完了させた。なお、
図１において８は処理水移送ポンプ、９は反応槽兼処理
水槽７内に付設した隔壁を示している。沈殿槽で固液分
離されたフロックは、粒径１〜２ｍｍの微細なフロック
であり、容易に固液分離され、フロックが浮上流出する
ことはなかった。
い、オーバーフロー水にカタラーゼ（酵素力価５０，０
００ｕｎｉｔ／ｍｌ、添加量２０ｍｇ／Ｌ）を添加し
（図１中のｄ）、その後、反応槽兼処理水槽７に導入し
て排水中の過酸化水素の分解反応を完了させた。なお、
図１において８は処理水移送ポンプ、９は反応槽兼処理
水槽７内に付設した隔壁を示している。沈殿槽で固液分
離されたフロックは、粒径１〜２ｍｍの微細なフロック
であり、容易に固液分離され、フロックが浮上流出する
ことはなかった。
【００２８】過酸化水素濃度の推移と処理水中のＳＳと
評価を表２及び表３に示す。表２及び表３の結果から明
らかなように、本発明の排水処理方法は効率的に過酸化
水素を分解除去することができ、フロックの浮上流出を
防止する効果により処理水中のＳＳ濃度を低く保つこと
ができ、処理水の評価も良好であった。
評価を表２及び表３に示す。表２及び表３の結果から明
らかなように、本発明の排水処理方法は効率的に過酸化
水素を分解除去することができ、フロックの浮上流出を
防止する効果により処理水中のＳＳ濃度を低く保つこと
ができ、処理水の評価も良好であった。
【００２９】実施例２ コロイド等量値−５．０ｍｅｑ／ｇのアクリル酸ナトリ
ウムとアクリルアミドの共重合物を用いた他は、実施例
１に準じてウエハープロセス排水を処理した。過酸化水
素濃度の推移と処理水中のＳＳと評価を表２及び表３に
示す。表２及び表３の結果から明らかなように、実施例
１と同じく、処理水の評価は良好であった。
ウムとアクリルアミドの共重合物を用いた他は、実施例
１に準じてウエハープロセス排水を処理した。過酸化水
素濃度の推移と処理水中のＳＳと評価を表２及び表３に
示す。表２及び表３の結果から明らかなように、実施例
１と同じく、処理水の評価は良好であった。
【００３０】比較例１ 従来法（特開昭６３−２７０５９５号）と比較するた
め、原水槽１のウエハープロセス排水を第１反応槽２に
移送し、１０重量％スラリーの水酸化カルシウムを０．
７ｍ3／ｈｒ添加し（図１中のａ）、排水中のフッ素イ
オンを不溶性のフッ化カルシウムとした後、第２反応槽
に移送して３５％塩酸でｐＨを７〜８に調整し、さらに
補助凝集剤として２００ｍｇ／Ｌの硫酸バンドを加え
（図１中のｂ）、凝集槽５に移送し、カタラーゼ（酵素
力価５０，０００ｕｎｉｔ／ｍｌ，添加量２０ ｍｇ／
Ｌ）を添加して過酸化水素を分解した後アクリル酸ナト
リウムとアクリルアミドの共重合物（コロイド等量値−
２．９ｍｅｑ／ｇ、０．１重量％ 、添加量１０ｍｇ／
Ｌ）を添加して（図１中のｃ）、沈殿槽６へ移送して固
液分離を行なった。沈殿槽６中のフロックは、過酸化水
素分解時の酸素の気泡を抱き込み、一部がオーバーフロ
ーした。
め、原水槽１のウエハープロセス排水を第１反応槽２に
移送し、１０重量％スラリーの水酸化カルシウムを０．
７ｍ3／ｈｒ添加し（図１中のａ）、排水中のフッ素イ
オンを不溶性のフッ化カルシウムとした後、第２反応槽
に移送して３５％塩酸でｐＨを７〜８に調整し、さらに
補助凝集剤として２００ｍｇ／Ｌの硫酸バンドを加え
（図１中のｂ）、凝集槽５に移送し、カタラーゼ（酵素
力価５０，０００ｕｎｉｔ／ｍｌ，添加量２０ ｍｇ／
Ｌ）を添加して過酸化水素を分解した後アクリル酸ナト
リウムとアクリルアミドの共重合物（コロイド等量値−
２．９ｍｅｑ／ｇ、０．１重量％ 、添加量１０ｍｇ／
Ｌ）を添加して（図１中のｃ）、沈殿槽６へ移送して固
液分離を行なった。沈殿槽６中のフロックは、過酸化水
素分解時の酸素の気泡を抱き込み、一部がオーバーフロ
ーした。
【００３１】過酸化水素濃度の推移と処理水中のＳＳと
評価を表２及び表３に示す。表２及び表３の結果から、
過酸化水素の分解除去には有効であったが、フロックの
浮上流出により処理水中のＳＳ濃度が上昇し、処理水の
評価は低いものであった。
評価を表２及び表３に示す。表２及び表３の結果から、
過酸化水素の分解除去には有効であったが、フロックの
浮上流出により処理水中のＳＳ濃度が上昇し、処理水の
評価は低いものであった。
【００３２】比較例２ 本発明の範囲外のコロイド等量値のアニオン性高分子凝
集剤と比較するため、コロイド等量値−１．０ｍｅｑ／
ｇのアクリル酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物
を用いた他は、実施例１に準じてウエハープロセス排水
を処理した。沈殿槽６中のフロックは、粒径が５〜６ｍ
ｍであり、過酸化水素分解時の酸素の気泡を抱き込み、
一部がオーバーフローした。
集剤と比較するため、コロイド等量値−１．０ｍｅｑ／
ｇのアクリル酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物
を用いた他は、実施例１に準じてウエハープロセス排水
を処理した。沈殿槽６中のフロックは、粒径が５〜６ｍ
ｍであり、過酸化水素分解時の酸素の気泡を抱き込み、
一部がオーバーフローした。
【００３３】過酸化水素濃度の推移、処理水中のＳＳ及
び評価を表２及び表３に示す。表２及び表３の結果か
ら、過酸化水素の分解除去には有効であったが、フロッ
クの浮上流出により処理水中のＳＳ濃度が上昇し、処理
水の評価は低いものであった。
び評価を表２及び表３に示す。表２及び表３の結果か
ら、過酸化水素の分解除去には有効であったが、フロッ
クの浮上流出により処理水中のＳＳ濃度が上昇し、処理
水の評価は低いものであった。
【００３４】
【表２】
【００３５】
【表３】
【００３６】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように、本発
明の効果は以下のとおりである。
明の効果は以下のとおりである。
【００３７】（１） 特定のアニオン性高分子凝集剤を
用いることにより、微細なフロックを形成することがで
き、フロックの見かけ比重が小さくすることが可能とな
り、フロックを容易に固液分離でき、フロックの浮上流
出の防止により処理水中のＳＳ濃度を低くすることがで
きる。
用いることにより、微細なフロックを形成することがで
き、フロックの見かけ比重が小さくすることが可能とな
り、フロックを容易に固液分離でき、フロックの浮上流
出の防止により処理水中のＳＳ濃度を低くすることがで
きる。
【００３８】（２） カタラーゼの添加を固液分離工程
の後にしたことにより、過酸化水素の分解により生ずる
酸素がフロックに付着することがなくなり、フロックの
浮上流出を防止することができる。
の後にしたことにより、過酸化水素の分解により生ずる
酸素がフロックに付着することがなくなり、フロックの
浮上流出を防止することができる。
【００３９】（３） カタラーゼを用いるため、安全に
過酸化水素を分解することができる。 （４） カタラ−ゼ添加後に固液分離された汚泥を、そ
の固液分離する前の排水に返送して混合する従来方法の
ような、煩雑な操作を必要としない。
過酸化水素を分解することができる。 （４） カタラ−ゼ添加後に固液分離された汚泥を、そ
の固液分離する前の排水に返送して混合する従来方法の
ような、煩雑な操作を必要としない。
【図１】ウエハープロセス排水処理装置のフロー説明
図。
図。
１…原水槽 ２…第１反
応槽 ３…第２反応槽 ４…撹拌機 ５…凝集槽 ６…沈殿槽 ７…反応槽兼処理水槽 ８…放水ポ
ンプ
応槽 ３…第２反応槽 ４…撹拌機 ５…凝集槽 ６…沈殿槽 ７…反応槽兼処理水槽 ８…放水ポ
ンプ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】原水槽１のウエハープロセス排水を第１反
応槽２に移送し、１０重量％スラリーの水酸化カルシウ
ムを０．７ｍ３／ｈｒ添加し（図１中のａ）、排水中の
フッ素イオンを不溶性のフッ化カルシウムとした後、第
２反応槽３に移送して３５％塩酸でｐＨを７〜８に調整
し、さらに補助凝集剤として２００ｍｇ／Ｌの硫酸バン
ドを加え（図１中のｂ）、凝集槽５に移送し、アクリル
酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物（コロイド等
量値−２．９ｍｅｑ／ｇ、添加量１０ｍｇ／Ｌ）を添加
して（図１中のｃ）、フッ化カルシウムを凝集させた。
なお、図１において符号４は第１、第２反応槽及び凝集
槽の各槽に付設した撹拌機である。
応槽２に移送し、１０重量％スラリーの水酸化カルシウ
ムを０．７ｍ３／ｈｒ添加し（図１中のａ）、排水中の
フッ素イオンを不溶性のフッ化カルシウムとした後、第
２反応槽３に移送して３５％塩酸でｐＨを７〜８に調整
し、さらに補助凝集剤として２００ｍｇ／Ｌの硫酸バン
ドを加え（図１中のｂ）、凝集槽５に移送し、アクリル
酸ナトリウムとアクリルアミドの共重合物（コロイド等
量値−２．９ｍｅｑ／ｇ、添加量１０ｍｇ／Ｌ）を添加
して（図１中のｃ）、フッ化カルシウムを凝集させた。
なお、図１において符号４は第１、第２反応槽及び凝集
槽の各槽に付設した撹拌機である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３７】（１） 特定のアニオン性高分子凝集剤を
用いることにより、微細なフロックを形成することがで
き、フロックの見かけ比重を大きくすることが可能とな
り、フロックを容易に固液分離でき、フロックの浮上流
出の防止により処理水中のＳＳ濃度を低くすることがで
きる。
用いることにより、微細なフロックを形成することがで
き、フロックの見かけ比重を大きくすることが可能とな
り、フロックを容易に固液分離でき、フロックの浮上流
出の防止により処理水中のＳＳ濃度を低くすることがで
きる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今濱 敏信 埼玉県戸田市川岸１丁目４番９号 オルガ ノ株式会社総合研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 フッ素イオン及び過酸化水素を含有する
排水に、アルカリ性カルシウム含有化合物を添加してフ
ッ素イオンをフッ化カルシウムとした後、コロイド等量
値が−２．０ないし−８．０ｍｅｑ／ｇのアニオン性高
分子凝集剤を添加して微細フロックを生成させ、ついで
固液分離した後にカタラーゼを添加して過酸化水素を分
解することを特徴とするフッ素イオン及び過酸化水素を
含有する排水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4239359A JP2947675B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | フッ素イオン及び過酸化水素を含有する排水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4239359A JP2947675B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | フッ素イオン及び過酸化水素を含有する排水の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0686988A true JPH0686988A (ja) | 1994-03-29 |
| JP2947675B2 JP2947675B2 (ja) | 1999-09-13 |
Family
ID=17043589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4239359A Expired - Lifetime JP2947675B2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | フッ素イオン及び過酸化水素を含有する排水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2947675B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08132063A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-05-28 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 過酸化水素含有排水の処理方法 |
| US6344142B1 (en) | 1999-07-05 | 2002-02-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Waste water treatment method and apparatus |
| JP2003225677A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-12 | Japan Organo Co Ltd | フッ素および過酸化水素を含む排水の処理方法 |
| JP2003225678A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-12 | Japan Organo Co Ltd | フッ素および過酸化水素を含む排水の処理方法 |
| EP2792645A1 (en) * | 2013-04-18 | 2014-10-22 | Gruppo Zilio S.P.A. | Process for removing fluorides from water |
| CN107899542A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-04-13 | 常州大学 | 一种重金属污染水体治理方法 |
| JP2018158319A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 住友金属鉱山エンジニアリング株式会社 | フッ素含有排水の処理方法 |
| CN110104891A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-08-09 | 衡水英利新能源有限公司 | 一种降除光伏电池废水中重金属离子的方法 |
| CN114634189A (zh) * | 2022-03-01 | 2022-06-17 | 中国铝业股份有限公司 | 一种铝电解大修渣的回收方法及系统 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP4239359A patent/JP2947675B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
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| CN114634189A (zh) * | 2022-03-01 | 2022-06-17 | 中国铝业股份有限公司 | 一种铝电解大修渣的回收方法及系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2947675B2 (ja) | 1999-09-13 |
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