JPH1157747A - フッ素含有廃液の処理方法 - Google Patents
フッ素含有廃液の処理方法Info
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- JPH1157747A JPH1157747A JP22161997A JP22161997A JPH1157747A JP H1157747 A JPH1157747 A JP H1157747A JP 22161997 A JP22161997 A JP 22161997A JP 22161997 A JP22161997 A JP 22161997A JP H1157747 A JPH1157747 A JP H1157747A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 発生する汚泥量を減少させかつ使用薬剤量を
減少させ更に経済性を高めること。 【解決の手段】 可溶性フッ素を含有する廃液にカルシ
ウム化合物と塩化第二鉄とを添加して難溶性フッ化カル
シウムとして沈殿させるかまたは難溶性物質に吸着させ
て得られる固型物を固液分離する方法において、反応を
二段に行わせ第一段反応工程と第二段反応工程の反応条
件を変化させることを特徴とし、好ましくは第１反応工
程および第２反応工程のｐＨをそれぞれ８．５〜９．５
および６．０〜７．５に調整しかつ新たに添加する塩化
第二鉄量をそれぞれ反応槽中に存在する塩化第二鉄量の
１０〜２０％とし、８０〜９０％は沈降槽から返送して
循環利用されるものとするフッ素含有廃液の処理方法。
減少させ更に経済性を高めること。 【解決の手段】 可溶性フッ素を含有する廃液にカルシ
ウム化合物と塩化第二鉄とを添加して難溶性フッ化カル
シウムとして沈殿させるかまたは難溶性物質に吸着させ
て得られる固型物を固液分離する方法において、反応を
二段に行わせ第一段反応工程と第二段反応工程の反応条
件を変化させることを特徴とし、好ましくは第１反応工
程および第２反応工程のｐＨをそれぞれ８．５〜９．５
および６．０〜７．５に調整しかつ新たに添加する塩化
第二鉄量をそれぞれ反応槽中に存在する塩化第二鉄量の
１０〜２０％とし、８０〜９０％は沈降槽から返送して
循環利用されるものとするフッ素含有廃液の処理方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体デバイス、電
子コンポーネント、コンピュータ等を製造する電気電子
機器工場やガラス製造工場から排出されるフッ素含有廃
液の処理方法に関する。また、シリコンウエハー製造工
程、セラミック製造工程、ステンレス製造工程、金属表
面処理工程等から排出されるフッ素含有廃液の処理方法
に関する。
子コンポーネント、コンピュータ等を製造する電気電子
機器工場やガラス製造工場から排出されるフッ素含有廃
液の処理方法に関する。また、シリコンウエハー製造工
程、セラミック製造工程、ステンレス製造工程、金属表
面処理工程等から排出されるフッ素含有廃液の処理方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、排水中のフッ素を処理する方法と
しては、フッ素含有排水中にカルシウム塩を添加してフ
ッ化カルシウムの難溶性塩を生成して分離する方法、あ
るいはアルミニウム塩を添加して吸着除去する方法、お
よび高度処理方法としてこれらを組合わせ使用する方法
が採用されている。また、厳しい処理基準値への対応と
して活性アルミナやフッ素キレートと称せられる選択性
樹脂の使用が付加される場合もある。
しては、フッ素含有排水中にカルシウム塩を添加してフ
ッ化カルシウムの難溶性塩を生成して分離する方法、あ
るいはアルミニウム塩を添加して吸着除去する方法、お
よび高度処理方法としてこれらを組合わせ使用する方法
が採用されている。また、厳しい処理基準値への対応と
して活性アルミナやフッ素キレートと称せられる選択性
樹脂の使用が付加される場合もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来方法
における第１の問題点は、排水中にフッ素の他、錯体形
成化合物、あるいは高濃度の塩類が共存する場合、水酸
化カルシウムや塩化カルシウムのようなカルシウム塩を
添加してフッ化カルシウムを生成して固液分離する方法
においては、排水中の含有物質量を排水基準値以下に処
理することは困難であった。
における第１の問題点は、排水中にフッ素の他、錯体形
成化合物、あるいは高濃度の塩類が共存する場合、水酸
化カルシウムや塩化カルシウムのようなカルシウム塩を
添加してフッ化カルシウムを生成して固液分離する方法
においては、排水中の含有物質量を排水基準値以下に処
理することは困難であった。
【０００４】この方法においては、これらの共存物質以
外にも処理阻害性物質の存在が数多く知られている。そ
の理由は、前記のような廃液中のフッ素を処理する場合
には、二次処理として硫酸アルミニウム（バンド）やポ
リ塩化アルミニウムのようなアルミニウム塩を添加して
処理性を向上させる方法が必要とされるからである。
外にも処理阻害性物質の存在が数多く知られている。そ
の理由は、前記のような廃液中のフッ素を処理する場合
には、二次処理として硫酸アルミニウム（バンド）やポ
リ塩化アルミニウムのようなアルミニウム塩を添加して
処理性を向上させる方法が必要とされるからである。
【０００５】しかしながら、これらの方法は多量の汚泥
を発生させ、その結果、排水処理コストの高騰化をもた
らすと言う欠点があった。
を発生させ、その結果、排水処理コストの高騰化をもた
らすと言う欠点があった。
【０００６】第２の問題点は、規制値が極めて厳しい場
所では、三次処理として活性アルミナ層やフッ素吸着樹
脂層を通過させて高度処理を行う方法が必要となるが、
この方法では単位量当たりの吸着量が少ないため、吸着
剤の価格または再生薬剤、排水処理コストの点で問題と
なる。その理由は、特に研究所、実験室等から排出され
るフッ素含有排水には多種多様の物質が含まれるからで
あり、処理妨害性物質も多く、安定してフッ素排水基準
値である１５ｍｇ／ｌ以下に抑えることは難しいからで
ある。
所では、三次処理として活性アルミナ層やフッ素吸着樹
脂層を通過させて高度処理を行う方法が必要となるが、
この方法では単位量当たりの吸着量が少ないため、吸着
剤の価格または再生薬剤、排水処理コストの点で問題と
なる。その理由は、特に研究所、実験室等から排出され
るフッ素含有排水には多種多様の物質が含まれるからで
あり、処理妨害性物質も多く、安定してフッ素排水基準
値である１５ｍｇ／ｌ以下に抑えることは難しいからで
ある。
【０００７】また、水量、水質の変動も大きく処理を一
層困難にしている。従って、上記のような排水を処理す
る場合には使用薬品量が膨大となり、大量の汚泥が発生
する。
層困難にしている。従って、上記のような排水を処理す
る場合には使用薬品量が膨大となり、大量の汚泥が発生
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の目的とするとこ
ろは、多くの分離阻害性物質が共存する場合においても
フッ素除去効果が大きく、フッ素含有排水の処理性能の
向上、処理薬剤の削減と併せて発生汚泥量の低減を計る
ことにある。
ろは、多くの分離阻害性物質が共存する場合においても
フッ素除去効果が大きく、フッ素含有排水の処理性能の
向上、処理薬剤の削減と併せて発生汚泥量の低減を計る
ことにある。
【０００９】上記した目的は、可溶性フッ素を含有する
廃液にカルシウム化合物と塩化第二鉄とを添加して難溶
性フッ化カルシウムとして沈殿させるかまたは難溶性物
質に吸着させて得られる固形物を固液分離する方法にお
いて、反応を二段に行わせ、第一段反応工程と第二段反
応工程の反応条件を変化させることを特徴とするフッ素
含有廃液の処理方法によって達成される。
廃液にカルシウム化合物と塩化第二鉄とを添加して難溶
性フッ化カルシウムとして沈殿させるかまたは難溶性物
質に吸着させて得られる固形物を固液分離する方法にお
いて、反応を二段に行わせ、第一段反応工程と第二段反
応工程の反応条件を変化させることを特徴とするフッ素
含有廃液の処理方法によって達成される。
【００１０】上記した本発明の処理方法においては、第
一段反応工程の反応槽ｐＨを８．５〜９．５とし、反応
槽中の塩化第二鉄総量の１０〜２０％を新たに添加しか
つ８０〜９０％を第１沈降槽から返送して循環利用する
ようにし、第二段反応工程の反応槽ｐＨを６．０〜７．
５とし、反応槽中の塩化第二鉄総量の１０〜２０％を新
に添加しかつ８０〜９０％を第二沈降槽から返送して循
環利用することを特徴とする。
一段反応工程の反応槽ｐＨを８．５〜９．５とし、反応
槽中の塩化第二鉄総量の１０〜２０％を新たに添加しか
つ８０〜９０％を第１沈降槽から返送して循環利用する
ようにし、第二段反応工程の反応槽ｐＨを６．０〜７．
５とし、反応槽中の塩化第二鉄総量の１０〜２０％を新
に添加しかつ８０〜９０％を第二沈降槽から返送して循
環利用することを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明における処理方法は、第１
段反応工程における、例えば図１に示すように、Ｎｏ．
１反応槽において塩化カルシウムおよび塩化第二鉄を添
加し、ｐＨをｐＨ８．５〜９．５のような弱アルカリ性
とし、Ｎｏ．１凝集槽を径たのち沈降槽でフッ素をフッ
化カルシウムとして沈殿させて、固液分離される。
段反応工程における、例えば図１に示すように、Ｎｏ．
１反応槽において塩化カルシウムおよび塩化第二鉄を添
加し、ｐＨをｐＨ８．５〜９．５のような弱アルカリ性
とし、Ｎｏ．１凝集槽を径たのち沈降槽でフッ素をフッ
化カルシウムとして沈殿させて、固液分離される。
【００１２】Ｎｏ．１沈降槽で固液分離した汚泥は、Ｎ
ｏ．１反応槽へ返送される。
ｏ．１反応槽へ返送される。
【００１３】Ｎｏ．１沈降槽における上澄液はＮｏ．２
反応槽に送られ、再度塩化カルシウムおよび塩化第二鉄
を添加し、ｐＨをｐＨ６．０〜７．５のような中性領域
に調整したのち、更にＮｏ．２凝集槽でｐＨをｐＨ１
０．５〜１１．０のような高アルカリ側に調整し、高度
処理を行い、Ｎｏ．２沈降槽で固液分離が行なわれる。
反応槽に送られ、再度塩化カルシウムおよび塩化第二鉄
を添加し、ｐＨをｐＨ６．０〜７．５のような中性領域
に調整したのち、更にＮｏ．２凝集槽でｐＨをｐＨ１
０．５〜１１．０のような高アルカリ側に調整し、高度
処理を行い、Ｎｏ．２沈降槽で固液分離が行なわれる。
【００１４】Ｎｏ．２沈降槽で固液分離した汚泥は、Ｎ
ｏ．２反応槽へ返送される。
ｏ．２反応槽へ返送される。
【００１５】上記した処理方法においては、第一段反応
工程において新たに添加する塩化第二鉄量を反応槽中に
存在する塩化第二鉄量の１０〜２０％とすることが好ま
しい。この場合における反応槽中の８０〜９０％の塩化
第二鉄量はＮｏ．１沈降槽から返送され返送汚泥に含ま
れるものである。
工程において新たに添加する塩化第二鉄量を反応槽中に
存在する塩化第二鉄量の１０〜２０％とすることが好ま
しい。この場合における反応槽中の８０〜９０％の塩化
第二鉄量はＮｏ．１沈降槽から返送され返送汚泥に含ま
れるものである。
【００１６】第２段反応工程において新たに添加される
塩化第鉄量も第１反応工程における場合と全く同様であ
る。
塩化第鉄量も第１反応工程における場合と全く同様であ
る。
【００１７】Ｎｏ．２沈降槽からの返送汚泥は、第１反
応工程の反応槽に返送することもできる。このような一
連の汚泥返送によって蓄積された汚泥は、例えば第１反
応工程における脱水機により固液分離され、廃棄され
る。
応工程の反応槽に返送することもできる。このような一
連の汚泥返送によって蓄積された汚泥は、例えば第１反
応工程における脱水機により固液分離され、廃棄され
る。
【００１８】一方、フッ素含有廃液の処理水は第２反応
工程における第２沈降槽の上澄水として排出される。
工程における第２沈降槽の上澄水として排出される。
【００１９】本発明のフッ素含有廃液の処理方法におい
て、可溶性フッ素を含有する廃液にカルシウム化合物と
塩化第二鉄とを添加し難溶性物質に吸着させる際に用い
られる難溶性物質としては、一般に重金属の水酸化物等
が用いられ、より一般的には水酸化第二鉄等が多用され
る。
て、可溶性フッ素を含有する廃液にカルシウム化合物と
塩化第二鉄とを添加し難溶性物質に吸着させる際に用い
られる難溶性物質としては、一般に重金属の水酸化物等
が用いられ、より一般的には水酸化第二鉄等が多用され
る。
【００２０】本発明のより好ましい態様においては、カ
ルシウム化合物および／または塩化第二鉄の添加量を、
第１反応工程および第２反応工程において夫々添加総量
の４０〜６０重量％、より好ましくは第１反応工程およ
び第２反応工程において夫々添加総量の５０％程度とす
ることが好ましい。
ルシウム化合物および／または塩化第二鉄の添加量を、
第１反応工程および第２反応工程において夫々添加総量
の４０〜６０重量％、より好ましくは第１反応工程およ
び第２反応工程において夫々添加総量の５０％程度とす
ることが好ましい。
【００２１】上記した本発明のフッ素含有廃液の処理方
法による場合は、２段処理方法による条件設定により、
処理困難なフッ素形態を処理可能な状態とし、フッ素排
水基準値１５ｍｇ／ｌを下回る値で安定処理することが
可能となり、フッ素と共存する錯体、キレート、塩等の
除去においても良好な処理性が得られる。また、返送汚
泥を処理剤として循環利用するために使用薬品量の削減
が可能となり、その結果、発生汚泥量を減少させること
が出来る。
法による場合は、２段処理方法による条件設定により、
処理困難なフッ素形態を処理可能な状態とし、フッ素排
水基準値１５ｍｇ／ｌを下回る値で安定処理することが
可能となり、フッ素と共存する錯体、キレート、塩等の
除去においても良好な処理性が得られる。また、返送汚
泥を処理剤として循環利用するために使用薬品量の削減
が可能となり、その結果、発生汚泥量を減少させること
が出来る。
【００２２】本発明に従えば、廃液中のフッ素化合物を
難溶性フッ素化合物とし、沈殿させるかまたは難溶性物
質に吸着させて得られる固型物を固液分離することによ
って解決される。
難溶性フッ素化合物とし、沈殿させるかまたは難溶性物
質に吸着させて得られる固型物を固液分離することによ
って解決される。
【００２３】
【実施例】本発明を実施例によって更に説明する。 実施例１ （１）表１に示す研究所混合排水（ｐＨ４．０、フッ素
濃度６０ｍｇ／ｌ）１ｌに、撹拌しながら３８％塩化第
二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カルシウム１．６ｍｌを
添加し、苛性ソーダでｐＨ９．０に調整した。
濃度６０ｍｇ／ｌ）１ｌに、撹拌しながら３８％塩化第
二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カルシウム１．６ｍｌを
添加し、苛性ソーダでｐＨ９．０に調整した。
【００２４】次いでＮｏ．１凝集槽で高分子凝集剤を１
ｍｇ／ｌとなるように加え、１０分間撹拌した後３０分
静置して固形分を沈殿させた。この工程において脱水さ
れ排出された汚泥量は５５ｋｇ／ｄａｙ（含水率８０
％）程度であった。
ｍｇ／ｌとなるように加え、１０分間撹拌した後３０分
静置して固形分を沈殿させた。この工程において脱水さ
れ排出された汚泥量は５５ｋｇ／ｄａｙ（含水率８０
％）程度であった。
【００２５】
【表１】 表１におけるＮｏ．１〜４の混合排水の２ｍ3／ｈの通
水量は１０ｈｒ／ｄａｙ操業時における通水量である。 （２）再度、表−１に示す研究所混合排水１ｌに撹拌し
ながら３８％塩化第二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カル
シウム１．６ｍｌ及び（１）で生成した汚泥２３，００
０ｍｇ／ｌを添加し、苛性ソーダでｐＨ９．０に調整し
た。
水量は１０ｈｒ／ｄａｙ操業時における通水量である。 （２）再度、表−１に示す研究所混合排水１ｌに撹拌し
ながら３８％塩化第二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カル
シウム１．６ｍｌ及び（１）で生成した汚泥２３，００
０ｍｇ／ｌを添加し、苛性ソーダでｐＨ９．０に調整し
た。
【００２６】次いで高分子凝集剤を１ｍｇ／ｌとなるよ
うに加え、１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を
沈殿させ、上澄み液のフッ素濃度を測定した。
うに加え、１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を
沈殿させ、上澄み液のフッ素濃度を測定した。
【００２７】結果を表２に示す。沈殿させて得られる汚
泥濃度は通常５０〜８０ｇ／ｌ程度であった。 （３）（２）で生成した上澄み液に撹拌しながら３８％
塩化第二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カルシウム１．６
ｍｌ及び（１）で生成した汚泥２，５００ｍｇ／ｌを添
加し、塩酸でｐＨ７．０に調整した。
泥濃度は通常５０〜８０ｇ／ｌ程度であった。 （３）（２）で生成した上澄み液に撹拌しながら３８％
塩化第二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カルシウム１．６
ｍｌ及び（１）で生成した汚泥２，５００ｍｇ／ｌを添
加し、塩酸でｐＨ７．０に調整した。
【００２８】次いでＮｏ．２凝集槽において高分子凝集
剤を１ｍｇ／ｌと苛性ソーダを加え、ｐＨ１０．５とし
１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を沈殿させ、
上澄み液のフッ素濃度を測定した。
剤を１ｍｇ／ｌと苛性ソーダを加え、ｐＨ１０．５とし
１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を沈殿させ、
上澄み液のフッ素濃度を測定した。
【００２９】結果を表２に示す。
【００３０】
【表２】 実施例２ （１）表３に示す研究所混合排水（ｐＨ４．３、フッ素
濃度５７ｍｇ／ｌ）１ｌに、撹拌しながら３８％塩化第
二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カルシウム１．６ｍｌを
添加し、苛性ソーダでｐＨ９．０に調整した。
濃度５７ｍｇ／ｌ）１ｌに、撹拌しながら３８％塩化第
二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カルシウム１．６ｍｌを
添加し、苛性ソーダでｐＨ９．０に調整した。
【００３１】次いで高分子凝集剤を１ｍｇ／ｌとなるよ
うに加え、１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を
沈殿させた。
うに加え、１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を
沈殿させた。
【００３２】
【表３】 （２）再度、表３に示す研究所混合排水１ｌに撹拌しな
がら３８％塩化第二鉄０．１６ｍｌと３５塩化カルシウ
ム１．６ｍｌおよび（１）で生成した汚泥２０，０００
ｍｇ／ｌを添加し、苛性ソーダでｐＨ９．０に調整し
た。
がら３８％塩化第二鉄０．１６ｍｌと３５塩化カルシウ
ム１．６ｍｌおよび（１）で生成した汚泥２０，０００
ｍｇ／ｌを添加し、苛性ソーダでｐＨ９．０に調整し
た。
【００３３】次いで高分子凝集剤を１ｍｇ／ｌとなるよ
うに加え、１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を
沈殿させ、上澄み液のフッ素濃度を測定した。
うに加え、１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を
沈殿させ、上澄み液のフッ素濃度を測定した。
【００３４】結果を表４に示す。 （３）（２）で生成した上澄み液に、撹拌しながら３８
％塩化第二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カルシウム１．
６ｍｌおよび（２）で生成した汚泥２，５００ｍｇ／ｌ
を添加し、塩酸でｐＨ６．５に調整した。
％塩化第二鉄０．１６ｍｌと３５％塩化カルシウム１．
６ｍｌおよび（２）で生成した汚泥２，５００ｍｇ／ｌ
を添加し、塩酸でｐＨ６．５に調整した。
【００３５】次いで高分子凝集剤を１ｍｇ／ｌとなるよ
うに加え、更に苛性ソーダを加えてｐＨ１１．０とし、
１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を沈殿させ、
上澄み液のフッ素濃度を測定した。
うに加え、更に苛性ソーダを加えてｐＨ１１．０とし、
１０分間撹拌した後３０分静置して固形分を沈殿させ、
上澄み液のフッ素濃度を測定した。
【００３６】結果を表４に示す。
【００３７】
【表４】 比較例１ 表５に示す混合排水を対象とし、フッ素含有量に対して
添加する塩化第二鉄および塩化カルシウム量を実施例１
の場合と同様にし、添加を第１反応工程および第２反応
工程に区分することなく一工程で添加し、最終調整ｐＨ
も実施例１の場合とほぼ同様にした。
添加する塩化第二鉄および塩化カルシウム量を実施例１
の場合と同様にし、添加を第１反応工程および第２反応
工程に区分することなく一工程で添加し、最終調整ｐＨ
も実施例１の場合とほぼ同様にした。
【００３８】本発明のフッ素含有廃液の処理方法の開発
前における月毎の原水槽および沈降槽上澄み液のフッ素
濃度を表５に示した。
前における月毎の原水槽および沈降槽上澄み液のフッ素
濃度を表５に示した。
【００３９】
【表５】 実施例３ 本発明のフッ素含有廃液の処理方法を実施例１と同様に
して行ない、比較例１と同様に月毎の処理実績を表６に
示した。
して行ない、比較例１と同様に月毎の処理実績を表６に
示した。
【００４０】
【表６】
【００４１】
【発明の効果】第１の効果は、発生汚泥量を１／２〜１
／３に減少できることである。その理由は、汚泥を繰り
返し循環使用するからである。
／３に減少できることである。その理由は、汚泥を繰り
返し循環使用するからである。
【００４２】第２の効果は、使用薬剤量の削減である。
その理由は、吸着剤として使用する塩化第二鉄を循環利
用するからである。
その理由は、吸着剤として使用する塩化第二鉄を循環利
用するからである。
【００４３】本発明手段を用いれば、生成したフッ化カ
ルシウム、その他生成物の母結晶を利用することによっ
て沈殿生成の反応速度を早め、また処理性能を向上させ
ることが可能となる。
ルシウム、その他生成物の母結晶を利用することによっ
て沈殿生成の反応速度を早め、また処理性能を向上させ
ることが可能となる。
【００４４】その結果として、装置規模の縮小にも繋が
り、前記の汚泥発生量の削減と併せて設備投資金額、ラ
ンニングコストの両面での低減を可能とするものであ
る。
り、前記の汚泥発生量の削減と併せて設備投資金額、ラ
ンニングコストの両面での低減を可能とするものであ
る。
【図１】本発明による排水処理のフロー図の１例であ
る。
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大谷 福久寿 神奈川県川崎市中原区下沼部1933−10 日 本電気環境エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 岡村 久雄 神奈川県川崎市中原区下沼部1933−10 日 本電気環境エンジニアリング株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 可溶性フッ素を含有する廃液にカルシウ
ム化合物と塩化第二鉄とを添加して難溶性フッ化カルシ
ウムとして沈殿させるかまたは難溶性物質に吸着させて
得られる固形物を固液分離する方法において、反応を二
段に行わせ、第一段反応工程と第二段反応工程の反応条
件を変化させることを特徴とするフッ素含有廃液の処理
方法。 - 【請求項２】 第一段反応工程の反応槽ｐＨを８．５〜
９．５とし、反応槽中の塩化第二鉄総量の１０〜２０％
を新たに添加しかつ８０〜９０％を第１沈降槽から返送
して循環利用するようにし、第二段反応工程の反応槽ｐ
Ｈを６．０〜７．５とし、反応槽中の塩化第二鉄総量の
１０〜２０％を新に添加しかつ８０〜９０％を第２沈降
槽から返送して循環利用することを特徴とする請求項１
記載のフッ素含有廃液の処理方法。 - 【請求項３】 可溶性フッ素を含有する廃液中に共存す
る有害重金属を、同時に除去することを特徴とする請求
項１のフッ素含有廃液の処理方法。 - 【請求項４】 第１反応工程および第２反応工程のそれ
ぞれにおいて反応槽、凝集槽および沈降槽を設置し、そ
れぞれの沈降槽で分離された汚泥をそれぞれの反応槽に
返送することを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有
廃液の処理方法。 - 【請求項５】 第２反応工程における沈降槽で分離され
た汚泥を第１反応工程の反応槽に返送することを特徴と
する請求項４に記載のフッ素含有廃液の処理方法。 - 【請求項６】 カルシウム化合物および／または塩化第
二鉄添加量を第１反応工程および第２反応工程において
夫々添加総量の４０〜６０重量％とすることを特徴とす
る請求項１〜５の何れかに記載のフッ素含有廃液の処理
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22161997A JPH1157747A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | フッ素含有廃液の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22161997A JPH1157747A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | フッ素含有廃液の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1157747A true JPH1157747A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16769602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22161997A Pending JPH1157747A (ja) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | フッ素含有廃液の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1157747A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0972749A3 (en) * | 1998-07-15 | 2000-08-23 | Nec Corporation | Method and device for processing waste water containing fluoride |
| JP2005007257A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Ataka Construction & Engineering Co Ltd | リン回収装置およびリン含有有機性廃水の処理方法 |
| JP2012157865A (ja) * | 2012-06-01 | 2012-08-23 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
-
1997
- 1997-08-18 JP JP22161997A patent/JPH1157747A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0972749A3 (en) * | 1998-07-15 | 2000-08-23 | Nec Corporation | Method and device for processing waste water containing fluoride |
| US6267892B1 (en) | 1998-07-15 | 2001-07-31 | Nec Corporation | Fluoride including waste water processing device and method capable of processing fluoride including waste water to have low concentration of fluoride |
| JP2005007257A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Ataka Construction & Engineering Co Ltd | リン回収装置およびリン含有有機性廃水の処理方法 |
| JP2012157865A (ja) * | 2012-06-01 | 2012-08-23 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
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