JPH01249187A - ガリウム及び砒素を含む廃水の浄化処理方法 - Google Patents
ガリウム及び砒素を含む廃水の浄化処理方法Info
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- JPH01249187A JPH01249187A JP7685788A JP7685788A JPH01249187A JP H01249187 A JPH01249187 A JP H01249187A JP 7685788 A JP7685788 A JP 7685788A JP 7685788 A JP7685788 A JP 7685788A JP H01249187 A JPH01249187 A JP H01249187A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造工場等から排出される研磨廃水等
、ガリウム及び砒素を含む廃水の浄化処理方法に関する
。
、ガリウム及び砒素を含む廃水の浄化処理方法に関する
。
半導体製造工場等からは、ガリウム及び砒素を含む廃水
が排出される。このうち、特に砒素については、有害物
質としてその排出が厳しく規制されている。また、排出
先が農業用水の場合には、他の塩類も除去しなければな
らないため、廃水を系外に排出させないクローズドシス
テムを採ることが多くなってきている。
が排出される。このうち、特に砒素については、有害物
質としてその排出が厳しく規制されている。また、排出
先が農業用水の場合には、他の塩類も除去しなければな
らないため、廃水を系外に排出させないクローズドシス
テムを採ることが多くなってきている。
従来、この種の廃水を処理するには、廃水に塩化第二鉄
を添加し、その後、ｐＨを中性付近に調整して水酸化鉄
を生成させ、砒素を共沈により除去した後、処理水を必
要に応じて塩類や有機汚染物を除去するため蒸発処理す
る方法が採用されている。
を添加し、その後、ｐＨを中性付近に調整して水酸化鉄
を生成させ、砒素を共沈により除去した後、処理水を必
要に応じて塩類や有機汚染物を除去するため蒸発処理す
る方法が採用されている。
しかしながら、前記の方法では、処理水中の砒素を環境
基準の０．０５■／！以下にするのに、原水の砒素濃度
によって若干具なるが、Ｆｅ１度が廃水中に含まれる砒
素濃度に対して１０倍以上となるように塩化第二鉄を添
加する必要がある。そのため、金属スラッジが多量に発
生する欠点があり、この種の廃水の処理における課題で
あった。
基準の０．０５■／！以下にするのに、原水の砒素濃度
によって若干具なるが、Ｆｅ１度が廃水中に含まれる砒
素濃度に対して１０倍以上となるように塩化第二鉄を添
加する必要がある。そのため、金属スラッジが多量に発
生する欠点があり、この種の廃水の処理における課題で
あった。
本発明は、前記従来技術の欠点を解消し、簡単な操作で
砒素を効率よく除去できるとともに、第二鉄塩の添加量
を節約し、発生スラッジ量を低減できる廃水の浄化処理
方法を提供することを課題とする。
砒素を効率よく除去できるとともに、第二鉄塩の添加量
を節約し、発生スラッジ量を低減できる廃水の浄化処理
方法を提供することを課題とする。
本発明は、廃水を第二鉄塩で処理する前に、ｐＨ３〜５
に調整することによって廃水中のガリウムを水酸化ガリ
ウムとし、砒素を共沈させ、これを除去することによっ
て前記の課題を解決したものである。
に調整することによって廃水中のガリウムを水酸化ガリ
ウムとし、砒素を共沈させ、これを除去することによっ
て前記の課題を解決したものである。
すなわち、本発明による、ガリウム及び砒素を含む廃水
の浄化処理方法は、ガリウム及び砒素を含む廃水をｐＨ
３〜５に調整し、次いで、固液分離後、処理水に第二鉄
塩を添加し、アルカリ剤を添加してｐＨ６〜８に調整し
、固液分離することを特徴とする。
の浄化処理方法は、ガリウム及び砒素を含む廃水をｐＨ
３〜５に調整し、次いで、固液分離後、処理水に第二鉄
塩を添加し、アルカリ剤を添加してｐＨ６〜８に調整し
、固液分離することを特徴とする。
本発明方法により、ガリウム及び砒素を含む廃水をｐＨ
３〜５に調整した後、固液分離することにより砒素は約
７０％以上除去される。これは、ｐＨ３〜５に調整する
ことにより廃水中に溶存していたガリウム等の金属が水
酸化物となり、これが凝集剤として作用し、砒素を共沈
させるためと考えられる。
３〜５に調整した後、固液分離することにより砒素は約
７０％以上除去される。これは、ｐＨ３〜５に調整する
ことにより廃水中に溶存していたガリウム等の金属が水
酸化物となり、これが凝集剤として作用し、砒素を共沈
させるためと考えられる。
本発明方法においては、この固液分離後の廃水に第二鉄
塩を添加する。ここで使用しうる第二鉄塩としては、塩
化第二鉄、硫酸第二鉄等が挙げられる。第二鉄塩は、Ｆ
ｅ／Ａｓの比が２〜６、好ましくは４〜５となるように
添加すればよい。
塩を添加する。ここで使用しうる第二鉄塩としては、塩
化第二鉄、硫酸第二鉄等が挙げられる。第二鉄塩は、Ｆ
ｅ／Ａｓの比が２〜６、好ましくは４〜５となるように
添加すればよい。
このように第二鉄塩を添加した後、充分に撹拌し、次い
で、アルカリ剤、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム等を添加してｐＨ６〜８に調整する。これにより、
先に添加した第二鉄塩が水酸化第二鉄を形成し、これが
凝集剤として作用し、砒素を共沈させる。この際生成す
る沈殿を固液分離することにより得られる処理水の砒素
濃度は、極めて低く、容易に規制値以下にすることがで
きる。
で、アルカリ剤、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム等を添加してｐＨ６〜８に調整する。これにより、
先に添加した第二鉄塩が水酸化第二鉄を形成し、これが
凝集剤として作用し、砒素を共沈させる。この際生成す
る沈殿を固液分離することにより得られる処理水の砒素
濃度は、極めて低く、容易に規制値以下にすることがで
きる。
固液分離に当たって、凝集効果をさらに向上させるため
、必要に応じて常用の高分子凝集剤を添加してもよい。
、必要に応じて常用の高分子凝集剤を添加してもよい。
次に、実施例により本発明を説明するが、本発明はこれ
に限定されるものではない。
に限定されるものではない。
実施例Ｉ
Ｇａｐ度１４７ｍｇ／ｆ、Ａｓ濃度１７５ｍｇ／／！を
含むｐＨ８，６０の廃水を試料とした。この試料に硫酸
を添加してｐＨ３に調整した後、５分間撹拌した。３０
分静置後、得られた上澄水に塩化第二鉄を第１表に示す
ようにＦｅ添加量を変化させて加え、かきまぜ装置で１
０ Ｏｒｐｍで５分間撹拌した。
含むｐＨ８，６０の廃水を試料とした。この試料に硫酸
を添加してｐＨ３に調整した後、５分間撹拌した。３０
分静置後、得られた上澄水に塩化第二鉄を第１表に示す
ようにＦｅ添加量を変化させて加え、かきまぜ装置で１
０ Ｏｒｐｍで５分間撹拌した。
次に、水酸化ナトリウムを添加してｐＨ７に調整した後
、１１００ｒｐで５分間、４０ｒｐｍ＋で１０分間撹拌
し、３０分静置後、得られた上澄水のＡｓ濃度を測定し
、結果を第１表に示す。
、１１００ｒｐで５分間、４０ｒｐｍ＋で１０分間撹拌
し、３０分静置後、得られた上澄水のＡｓ濃度を測定し
、結果を第１表に示す。
比較例１
廃水を始めにｐＨ３に調整しない以外は、実施例１と同
じ操作を行い、得られた上澄水のＡｓ？ａ度を測定し、
結果を第１表に示す。
じ操作を行い、得られた上澄水のＡｓ？ａ度を測定し、
結果を第１表に示す。
第１表
上記の表から明らかなとおり、本発明によればｐＨ３に
調整後、固液分離することにより既に砒素の約７０％が
除去され、Ｆｅの添加量を約１／２に低減してＡｓ濃度
を０．０３■／２以下にすることができた。
調整後、固液分離することにより既に砒素の約７０％が
除去され、Ｆｅの添加量を約１／２に低減してＡｓ濃度
を０．０３■／２以下にすることができた。
実施例２
Ｇａ ：ａ度４８５ ｍｇ／ Ｌ Ａｓ濃度４３４■／
１を含む廃水を硫酸によりｐＨ３に調整した後、５分間
撹拌し、３０分静置した。得られた上澄水中の砒素濃度
は１２８■／ｌとなっていた。
１を含む廃水を硫酸によりｐＨ３に調整した後、５分間
撹拌し、３０分静置した。得られた上澄水中の砒素濃度
は１２８■／ｌとなっていた。
この上澄水にＦｅ添加量を変化させて加え、実施例１と
同様に操作し、得られた上澄水のＡｓ濃度を測定し、結
果を第１図に示す。
同様に操作し、得られた上澄水のＡｓ濃度を測定し、結
果を第１図に示す。
比較例２
廃水を始めにｐＨ３に調整しない以外は、実施例２と同
じ操作を行い、得られた上澄水のＡｓ濃度を測定し、結
果を第２図に示す。
じ操作を行い、得られた上澄水のＡｓ濃度を測定し、結
果を第２図に示す。
実施例３
Ｇａ濃度２００ｍｇ／ｆ、Ａｓ濃度２００ｍｇ／ｆを含
む廃水を試料とした。この試料をｐＨ４に調整した後、
５分間撹拌した。３０分静置後、得られた上澄水に塩化
第二鉄をＦｅ／Ａｓ比１及び２になるように変化させて
加え、実施例１と同様に操作し、得られた上澄水のＡｓ
濃度を測定し、結果を第２表に示す。
む廃水を試料とした。この試料をｐＨ４に調整した後、
５分間撹拌した。３０分静置後、得られた上澄水に塩化
第二鉄をＦｅ／Ａｓ比１及び２になるように変化させて
加え、実施例１と同様に操作し、得られた上澄水のＡｓ
濃度を測定し、結果を第２表に示す。
比較例３
廃水を始めにｐＨ３に調整しない以外は、実施例３と同
じ操作を行い、得られた上澄水のＡｓ濃度を測定し、結
果を第２表に示す。
じ操作を行い、得られた上澄水のＡｓ濃度を測定し、結
果を第２表に示す。
第２表
第２表から明らかなとおり、ｐＨ４に調節後に固液分離
すると、水酸化ガリウムが生成し、その共沈作用により
大部分の砒素が除去され、その後、第二鉄塩で処理する
ことにより、砒素を極めて微量まで除去することができ
る。
すると、水酸化ガリウムが生成し、その共沈作用により
大部分の砒素が除去され、その後、第二鉄塩で処理する
ことにより、砒素を極めて微量まで除去することができ
る。
本発明方法によれば、第二鉄塩の添加量を著しく低減し
て、簡単な操作で砒素を極めて微量まで除去することが
でき、発生スラッジ量を著しく低減することができる。
て、簡単な操作で砒素を極めて微量まで除去することが
でき、発生スラッジ量を著しく低減することができる。
第１図は、実施例２における第二鉄塩の添加量（Ｆ ｅ
／ Ａ ｓ比）と処理水のＡｓ濃度の関係を示すグラ
フ、第２図は比較例２における第二鉄塩の添加量（Ｆｅ
／Ａｓ比）と処理水のＡｓ濃度の関係を示すグラフであ
る。
／ Ａ ｓ比）と処理水のＡｓ濃度の関係を示すグラ
フ、第２図は比較例２における第二鉄塩の添加量（Ｆｅ
／Ａｓ比）と処理水のＡｓ濃度の関係を示すグラフであ
る。
Claims (1)
- １、ガリウム及び砒素を含む廃水をｐＨ３〜５に調整し
、次いで、固液分離後、処理水に第二鉄塩を添加し、ア
ルカリ剤を添加してｐＨ６〜８に調整し、固液分離する
ことを特徴とするガリウム及び砒素を含む廃水の浄化処
理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7685788A JPH01249187A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | ガリウム及び砒素を含む廃水の浄化処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7685788A JPH01249187A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | ガリウム及び砒素を含む廃水の浄化処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01249187A true JPH01249187A (ja) | 1989-10-04 |
| JPH0461712B2 JPH0461712B2 (ja) | 1992-10-01 |
Family
ID=13617322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7685788A Granted JPH01249187A (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | ガリウム及び砒素を含む廃水の浄化処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01249187A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002172395A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Nec Environment Eng Ltd | 濃厚無機成分含有排水の水酸化鉄凝集沈澱処理方法 |
| JP2002320979A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-05 | Sharp Corp | 金属含有排水の処理方法および金属含有排水の処理装置 |
| JP2003001269A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-07 | Kurita Water Ind Ltd | ガリウム含有廃水の処理装置 |
| JP2003001275A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-07 | Kurita Water Ind Ltd | ガリウム−ヒ素含有廃水の処理装置 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP7685788A patent/JPH01249187A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002172395A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Nec Environment Eng Ltd | 濃厚無機成分含有排水の水酸化鉄凝集沈澱処理方法 |
| JP2002320979A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-05 | Sharp Corp | 金属含有排水の処理方法および金属含有排水の処理装置 |
| US7294268B2 (en) | 2001-04-27 | 2007-11-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Metal containing waste water treatment method and metal containing waste water treatment equipment |
| JP2003001269A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-07 | Kurita Water Ind Ltd | ガリウム含有廃水の処理装置 |
| JP2003001275A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-07 | Kurita Water Ind Ltd | ガリウム−ヒ素含有廃水の処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0461712B2 (ja) | 1992-10-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |