JP2006130498A - フッ素含有排水の処理方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】フッ素を含有する排水を、排水基準を満足する基準まで処理可能であり、処理装置への負荷の変動に対しても安定な処理が可能であって、且つ廃棄物の発生量を最小限にすることができる方法を提供する。
【解決手段】被処理排水にカルシウム塩を含有する薬剤を添加してpHを4〜12に調整し、生成した沈殿物を分離する第1工程と、第1工程の処理済水にアルカリ炭酸塩を含有する薬剤を添加してpHを9〜12に調整し、生成した沈殿物を分離する第2工程とからなり、第2工程で発生した沈殿物を第1工程のpH調整のために搬送する。
【選択図】なし

Description

本発明は、フッ素を含有する排水の処理方法に関する。
フッ素を含有する排水としては、電子産業の半導体製造工程などのエッチングや基板洗浄排水、ステンレス鋼の製造工程における酸洗浄やアルミニウムの電解精錬などの工場排水、及び石炭火力発電所などの排水があるが、これらの排水には重金属が含まれる場合がある。従来、フッ素と重金属を含む排水の処理方法としては、被処理水中にカルシウム塩を添加してフッ素をフッ化カルシウムにする共に、重金属類を不溶化して、凝集沈澱処理をする方法が一般的であった。
特許第2912237号公報 特開平10−113672号公報 特開平7―195071号公報 特開2002―1313号公報
しかし、この凝集沈澱処理方法では、処理済水中のフッ素濃度を安定的に排水基準値以下に低減させることは困難であり、平成13年7月に施行された排水基準は、フッ素濃度が8mg/L以下であるため、上記の一般的な処理方法では、その排水基準を満足することは極めて困難であった。
この排水基準を満足するために、従来、上記の一般的な処理方法によって得られた処理済水に、アルミニウム塩などを更に添加してフッ素濃度を低減させる2段凝集沈澱処理法(例えば、特許文献1参照)が行なわれているが、この処理方法では、フッ素濃度を低減させるために大量のアルミニウム塩等を加えなければならず、脱水性の良いフロックが生成しないため、脱水や固液分離が困難であるばかりか、大量の廃棄物が発生する問題があった。
また、上記の一般的な処理方法によって得られた処理済水を、フッ素吸着剤が充填された塔などに通水し、フッ素を吸着除去する方法(例えば、特許文献2及び3参照)もあるが、この方法では、フッ素濃度の低減は期待できるが、吸着剤が破過した後に吸着剤の再生操作が必要となるなど、処理システムが複雑となる。また、排水量の変化等処理装置への負荷の変動に対する運転余裕度が比較的小さい。
更に、上記の一般的な処理方法によって得られた処理済水に、希土類元素を含む化合物を添加して不溶性の沈殿物を生成させて、フッ素を除去する方法もある(例えば、特許文献4参照)。希土類元素のフッ化物は難溶性であるため、フッ素の除去は期待されるが、生成した沈殿物の脱水性に問題があり、ろ過装置の負荷が大きく、また、ランニングコストの増加により経済性を失うこととなっていた。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フッ素を含有する排水を、排水基準を満足する基準まで処理可能であり、処理装置への負荷の変動に対しても安定な処理が可能であって、且つ廃棄物の発生量を最小限にすることができるフッ素含有排水の処理方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明によるフッ素含有排水の処理方法は、フッ素を含有する被処理排水に、カルシウムイオン形態で含有する薬液を添加した後、少なくとも1つのアルカリ炭酸塩溶液を添加してpHを9〜12に調整し、生成した沈殿物を分離することを特徴とする。
本発明によれば、カルシウムイオン形態で含有する前記薬液は、カルシウム成分を含有する薬剤の群から選択されることを特徴とする。
また、本発明によれば、少なくとも1つの前記アルカリ炭酸塩溶液は、炭酸ナトリウム,炭酸カリウム,炭酸リチウム及びそれらの混合物の群から選択されることを特徴とする。
また、本発明によれば、前記アルカリ炭酸塩溶液と前記被処理排水に含まれるカルシウムイオンとの液中での炭酸化反応により、フッ素イオンが吸着・吸蔵されることを特徴とする。
また、本発明によれば、前記炭酸化反応により生じる炭酸カルシウムの生成率が90%であることを特徴とする。
また、本発明のよるフッ素含有排水の処理方法は、処理すべき排水中へカルシウム塩を含有する薬剤を添加してpHを4〜9に調整し、生成した沈殿物を固液分離する第1工程と、この第1工程で固液分離後の処理水中に含まれる低濃度フッ素イオンを、少なくとも1つのアルカリ炭酸塩を含有する薬剤を添加することによりpHを9〜12に調整し、生成した沈殿物を分離する第2工程からなる、ことを特徴とする。
また、本発明によれば、前記第2工程で分離された沈澱物を、前記第1工程のpH調整のための中和剤として再利用するようにしたことを特徴とする。
本発明によれば、フッ素を含有する排水を、排水基準を満足する水準まで処理可能であり、処理装置への負荷の変動に対して安定な処理が可能であって、且つ廃棄物の発生量を最小限にすることが可能なフッ素含有排水の処理方法を提供することができる。
本発明によれば、まず、被処理排水にカルシウム塩を含有する薬剤を添加して、被処理排水のpHを4〜12、好ましくは9〜10に調整する。添加する薬剤としては、水酸化カルシウム,塩化カルシウム,炭酸カルシウム等のカルシウム塩の溶液またはスラリーまたは固体、或いはこれらの塩類に必要に応じて水酸化ナトリウム等を添加したものが好ましい。ここでは、被処理排水中のフッ素量に対し、フッ化カルシウムを生成するのに必要な量のカルシウムが添加されて、適切なpHに調整されれば良いのであって、添加する薬剤の量は上記に限定されるものではない。pH調整後の排水には、フッ化カルシウム等の沈殿物が含まれるが、この沈殿物はシックナーや固液分離装置等で固液分離され、溶液は第1工程の処理済水として第2工程へ送られる。
次に、第2工程において、第1工程で処理された処理済水に、炭酸ナトリウムを含有する薬剤を添加し、pHを9〜12、好ましくは10〜11に調整する。ここで、主として次式に従い、第1工程の処理済水中に溶解していたカルシウムイオンが、炭酸カルシウムとして沈殿する。
Ca2+ + Na2CO3 → CaCO3↓ + 2Na+
添加する薬剤としては、炭酸ナトリウム溶液、或いは炭酸ナトリウム溶液に水酸化ナトリウム等が添加されたものが好ましい。ここでは、処理水中に含まれるカルシウムイオンを炭酸カルシウムとして沈殿させるために必要な炭酸根が添加され、該処理水中のpH値が、炭酸カルシウムの溶解度積が最小になるpH領域に調整されれば良いのであって、添加する薬剤は上記のものに限定されない。この操作によって該処理水中のカルシウムイオンが炭酸カルシウムとして沈殿し、その沈殿物に該処理水中のフッ素が吸着し、該処理水中のフッ素濃度が安定的に排水基準以下に低減される。pH値が9未満であると、炭酸カルシウムの生成率が低いのでフッ素の吸着が不十分となり、12を越えると、アルカリ性が強くなり過ぎて一旦生成した炭酸カリシウムが再溶解するため、一旦吸着したフッ素が再溶解するので良くない。
このようにして被処理水中に生成した炭酸カルシウムは、フッ素イオン吸着能が大きく、反応活性が高い。更に、沈降する際に微粒状のフッ化カルシウムを巻き込んで沈殿する共沈作用も大きい。つまり、高効率のフッ素除去を可能にするためには、処理工程の段階で炭酸カルシウムを生成させることが重要である。なお、本発明でいう吸着または吸蔵とは、炭酸カルシウム生成時に、フッ素イオンの物理的または化学的作用によって、炭酸カルシウムへ処理水中のフッ素イオンが吸着固定されることをいう。炭酸カリシウムの生成率が90%未満であると、フッ素の吸着性能が低いので良くない。
上記操作によって生成した炭酸カルシウムを主成分とする沈殿物は、沈降性、脱水性ともに良好であり、該処理水から簡単に固液分離することが可能である。沈殿物が分離した溶液は、脱フッ素処理済水として、塩酸や硫酸等の薬剤で中和して排水される。
一方、分離された沈殿物は、炭酸カルシウムを主成分とし、微量のフッ素が吸着したものである。したがって、この沈殿物中には、沈殿物中のフッ素量に対し、フッ化カルシウムを生成するために必要なカルシウム量よりも過剰にカルシウムが存在していることになる。この沈殿物を第1工程へ返送すれば、この過剰に存在するカルシウムを、中和剤やフッ化カルシウムを生成するために有効に再利用することができる。また、沈殿物を返送することにより、第1工程で新規に投入するカルシウム量を低減することができる。
なお、処理済水中には、微量のカルシウムイオンしか存在しないため、結果的には、一連の処理のために投入されるカルシウムの量は、ほぼ全てフッ化カルシウムとして払い出されることになる。被処理排水中のフッ素に対する過剰な沈殿の生成が抑制され、廃棄物の発生量を最小限にすることができる。
また、本発明によれば、被処理排水のフッ素負荷(フッ素濃度と排水量の積)の変動に対し、柔軟に対応することが可能である。例えば、第1工程では、フッ素負荷が低下した場合、第2工程から返送される炭酸カルシウムによって必要なカルシウム量の大半が供給されるため、所定のpHに調整するために新規に投入されるカルシウム量は少なくなる。フッ素負荷が増加した場合、第2工程から返送される炭酸カルシウムのみでは、カルシウムの供給量が不足するため、所定のpHに調整するために新規に投入されるカルシウム量が増加することになる。
第2工程では、前記反応式に示された反応が主反応であるため、炭酸カルシウムの沈殿物が生成されている間は、被処理水のpHが殆ど変化しない。被処理水中のカルシウムに対して必要な炭酸根が供給され、沈殿物の生成が終了すると、炭酸ナトリウムが過剰になり、pHが上昇する。したがって、被処理水のpHを所定の値に管理すれば、自律的に必要量の炭酸ナトリウムが供給されることになる。
以上の説明から明らかなように、本発明のフッ素含有排水の処理方法によれば、フッ素を高度に除去した高水質の処理排水を得ることができる。
以下、比較例と対比しながら、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
比較例1〜3及び本発明実施例1〜5
フッ素濃度15mg/Lおよびカルシウム濃度1000mg/L(0.025mol/L塩化カルシウム溶液)を含むpH4の1L水溶液を試料とした。これに10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを6〜12に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムをろ過し、ろ液中のフッ素濃度および生成した炭酸カルシウム量の分析を行った。なお、水温は21〜24℃である。その結果を表1および図1に示す。
pHを9〜12の範囲に維持した処理条件下において濾液中のフッ素濃度は8mg/L(排水基準)以下となり、フッ素除去の高度化処理が可能であることが確認された。
表1
Figure 2006130498
比較例4〜6及び本発明実施例6〜10
フッ素濃度15mg/Lおよびカルシウム濃度4000mg/L(0.10mol/L塩化カルシウム溶液)を含むpH4の1L水溶液を試料とした。これに10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを6〜12に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムをろ過し、ろ液中のフッ素濃度および生成した炭酸カルシウム量の分析を行った。なお、水温は21〜25℃である。その結果を表2および図2に示す。
pHを8〜12の範囲に維持した処理条件下において、ろ液中のフッ素濃度は8mg/L(排水基準)以下となり、沈殿生成する炭酸カルシウム量が増大するとフッ素除去効率が向上していることが分る。
表2
Figure 2006130498
本発明実施例11
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、これに4mol/Lの塩化カリシウム溶液0.5mLを加え、攪拌しながら10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを11に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムにフッ素イオンを吸着させた。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は7.3mg/Lであった。
本発明実施例12
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、これに4mol/Lの塩化カルシウム溶液1mLを加え、攪拌しながら10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを11に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムにフッ素イオンを吸着させた。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は6.5mg/Lであった。
本発明施例13
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、これに4mol/Lの塩化カルシウム溶液5mLを加え、攪拌しながら10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを11に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムにフッ素イオンを吸着させた。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は3.6mg/Lであった。
本発明実施例14
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、これに4mol/Lの塩化カルシウム溶液25mLを加え、攪拌しながら10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを11に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムにフッ素イオンを吸着させた。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は0.35mg/Lであった。
本発明実施例15
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、これに4mol/Lの塩化カルシウム溶液50mLを加え、攪拌しながら10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを11に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムにフッ素イオンを吸着させた。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は0.45mg/Lであった。
本発明実施例16
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、これに4mol/Lの塩化カルシウム溶液100mLを加え、攪拌しながら10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを11に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムにフッ素イオンを吸着させた。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は0.75mg/Lであった。
本発明実施例17
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、これに4mol/Lの塩化カルシウム溶液250mLを加え、攪拌しながら10wt%炭酸ナトリウム溶液でpHを11に調整し、10分間攪拌することにより、生成した炭酸カルシウムにフッ素イオンを吸着させた。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は0.1mg/L未満(定量下限以下)であった。
本発明実施例18
硝フッ酸含有排水(フッ素濃度:50g/L、硝酸濃度:170g/L)100mlをビーカーにとり、25wt%水酸化ナトリウム溶液と25wt%水酸化カルシウムスラリーを混合したものを67ml添加して、pHを10に調整した。これを5分間強攪拌し、続いて3.5時間緩攪拌した後、5Aろ紙を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は10.4mg/Lであった。
更に、得られたろ液50mlをビーカーにとり、5wt%炭酸ナトリウム溶液を添加して、pHを10.8に調整した。これを30分間強攪拌した後、ろ過器を用いて、生成した炭酸カルシウムをろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は1.0mg/L未満であった。
本発明実施例19
硝フッ酸含有排水(フッ素濃度:6.6g/L、硝酸濃度:22g/L)100mlをビーカーにとり、25wt%水酸化ナトリウム溶液と25wt%水酸化カルシウムスラリーを混合したものを9ml添加して、pHを10に調整した。これを5分間強攪拌し、続いて3.5時間緩攪拌した後、ろ過器を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は10mg/Lであった。
更に、得られたろ液50mlをビーカーにとり、5wt%炭酸ナトリウム溶液を添加して、pHを11.0に調整した。これを30分間強攪拌した後、ろ過器を用いて、生成した炭酸カルシウムをろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は4mg/L未満であった。
本発明実施例20
硝フッ酸含有排水(フッ素濃度:0.22g/L、硝酸濃度:3.3g/L)100mlをビーカーにとり、5wt%水酸化ナトリウム溶液と25wt%水酸化カルシウムスラリーを混合したものを2.5ml添加して、pHを10に調整した。これを5分間強攪拌し、続いて3.5時間緩攪拌した後、5Aろ紙を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は15mg/Lであった。
更に、得られたろ液50mlをビーカーにとり、5wt%炭酸ナトリウム溶液を添加して、pHを10.9に調整した。これを30分間強攪拌した後、生成した炭酸カルシウムスラリーを、5Aろ紙を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は5mg/L未満であった。
本発明実施例21
硝フッ酸含有排水(フッ素濃度:0.22g/L、硝酸濃度:3.3g/L)100mlをビーカーにとり、本発明実施例13で得られた炭酸カルシウムスラリーを混合したものを2.5ml添加して、pHを10に調整した。これを5分間強攪拌し、続いて3.5時間緩攪拌した後、5Aろ紙を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は11mg/Lであった。
更に、得られたろ液50mlをビーカーにとり、5wt%炭酸ナトリウム溶液を添加して、pHを10.9に調整した。これを30分間強攪拌した後、生成した炭酸カルシウムスラリーを、5Aろ紙を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は5mg/Lであった。
本発明実施例22
硝フッ酸含有排水(フッ素濃度:0.22g/L、硝酸濃度:3.3g/L)100mlをビーカーにとり、5%水酸化ナトリウム溶液と25%水酸化カルシウムスラリーを混合したものを1.0ml添加して、pHを7に調整した。これを5分間強攪拌し、続いて3.5時間緩攪拌した後、5Aろ紙を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は20mg/Lであった。
更に、得られたろ液50mlをビーカーにとり、35wt%塩酸溶液と5wt%炭酸ナトリウム溶液を添加して、pHを9に調整した。これを30分間強攪拌した後、生成した炭酸カルシウムを、ろ過器を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は3mg/Lであった。
本発明実施例23
硝フッ酸含有排水(フッ素濃度:0.22g/L、硝酸濃度:3.3g/L)100mlをビーカーにとり、5wt%水酸化ナトリウム溶液と25wt%水酸化カルシウムスラリーを混合したものを1.0ml添加して、pHを7に調整した。これを5分間強攪拌し、続いて3.5時間緩攪拌した後、5Aろ紙を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は20mg/Lであった。
更に、得られたろ液50mlをビーカーにとり、5%wt炭酸ナトリウム溶液と25wt%水酸化ナトリウム溶液を混合したものを添加して、pHを9に調整した。これを30分間強攪拌した後、生成した炭酸カルシウムを、ろ過器を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は6mg/Lであった
本発明実施例24
硝フッ酸含有排水(フッ素濃度:0.22g/L、硝酸濃度:3.3g/L)100mlをビーカーにとり、5wt%水酸化ナトリウム溶液と25wt%水酸化カルシウムスラリーを混合したものを3.0ml添加して、pHを12に調整した。これを5分間強攪拌し、続いて3.5時間緩攪拌した後、ろ過器を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は15mg/Lであった。
更に、得られたろ液50mlをビーカーにとり、35wt%塩酸溶液と5wt%炭酸ナトリウム溶液を添加して、pHを9に調整した。これを30分間強攪拌した後、生成した炭酸カリシウムを、ろ過器を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は7mg/Lであった。
本発明実施例25
硝フッ酸含有排水(フッ素濃度:0.22g/L、硝酸濃度:3.3g/L)100mlをビーカーにとり、5wt%水酸化ナトリウム溶液と25wt%水酸化カルシウムスラリーを混合したものを3.0ml添加して、pHを12に調整した。これを5分間強攪拌し、続いて3.5時間緩攪拌した後、ろ過器を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は15mg/Lであった。
更に、得られたろ液50mlをビーカーにとり、5wt%炭酸ナトリウム溶液(水酸化ナトリウム含有の炭酸ナトリウム溶液を調整)を添加して、pHを12に調整した。これを30分間強攪拌した後、生成した炭酸カルシウムを、ろ過器を用いてろ過した。得られたろ液中のフッ素濃度は5mg/Lであった。
次に、本発明実施例11乃至17に対応した比較例について説明する。
比較例7
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、これに粒状の炭酸カルシウム50gを添加し、更に2.5wt%水酸化ナトリウム溶液でpHを11に調整し、30分間攪拌した。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は10.1mg/Lであった。
比較例8
フッ素濃度10mg/Lの被処理水1Lをポリエチレン製ビーカーに採取した。次に、10wt%水酸化カルシウムスラリーでpHを11に調整した後、更に粒状の炭酸カルシウム25gを添加し、30分間攪拌した。その後、ろ過操作により固液分離した後、ろ液中のフッ素イオン濃度をイオンクロマトグラフ分析装置で測定した。フッ素濃度は9.4mg/Lであった。
以上の説明で明らかなように、本発明による方法では、被処理水中のカルシウムイオンと炭酸イオンによる液中での炭酸化反応を利用し、生成される炭酸粒子にフッ素を吸着固定させることが可能であり、優れたフッ素除去処理を実現することができる。しかしながら、単に粒状や粉状の炭酸カルシウムや水酸化カルシウムなどの固体形態のものと液中のフッ素イオンとを接触させるだけでは、比較例からも明らかなように、良好なフッ素除去は期待できない。
本発明実施例1〜5と比較例1〜3の試験結果を示すグラフである。 本発明実施例6〜10と比較例4〜6の試験結果を示すグラフである。

Claims (7)

  1. フッ素を含有する被処理排水に、カルシウムイオン形態で含有する薬液を添加した後、少なくとも1つのアルカリ炭酸塩溶液を添加してpHを9〜12に調整し、生成した沈殿物を分離することを特徴とするフッ素含有排水の処理方法。
  2. カルシウムイオン形態で含有する前記薬液は、カルシウム成分を含有する薬剤の群から選択されることを特徴とする、請求項1に記載のフッ素含有排水の処理方法。
  3. 少なくとも1つの前記アルカリ炭酸塩溶液は、炭酸ナトリウム,炭酸カリウム,炭酸リチウム及びそれらの混合物の群から選択されることを特徴とする、請求項1に記載のフッ素含有排水の処理方法。
  4. 前記アルカリ炭酸塩溶液と前記被処理排水に含まれるカルシウムイオンとの液中での炭酸化反応により、フッ素イオンが吸着・吸蔵されることを特徴とする請求項1に記載のフッ素含有排水の処理方法。
  5. 前記炭酸化反応により生じる炭酸カルシウムの生成率が90%であることを特徴とする請求項4に記載のフッ素含有排水の処理方法。
  6. フッ素を含有する排水の処理方法において、処理すべき排水中へカルシウム塩を含有する薬剤を添加してpHを4〜9に調整し、生成した沈殿物を固液分離する第1工程と、この第1工程で固液分離後の処理水中に含まれる低濃度フッ素イオンを、少なくとも1つのアルカリ炭酸塩を含有する薬剤を添加することによりpHを9〜12に調整し、生成した沈殿物を分離する第2工程からなる、ことを特徴とするフッ素含有排水の処理方法。
  7. 前記第2工程で分離された沈澱物を前記第1工程のpH調整のための中和剤として再利用するようにしたことを特徴とする請求項6に記載のフッ素含有排水の処理方法。
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