JP3399276B2 - 弗素含有排水の処理方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子産業等におい
て排出される弗素含有排水の処理方法、詳しくは弗化カ
ルシウム析出反応を利用して弗素含有排水から弗素を除
去する処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶基板等の電子部品を製造す
る工程や金属表面加工処理工程等では多量のエッチング
剤が使用される。このエッチング剤として、弗化水素或
いは弗化水素及び弗化アンモニウムを主成分とするエッ
チング剤が主に使用されている。弗化水素を主成分とす
るエッチング剤は、弗素をＨＦとして例えば０．９％程
度含み、大量に使用される。一方、弗化水素及び弗化ア
ンモニウムを主成分とするエッチング剤（バッファード
弗酸）は、使用量が少ないものの、弗素をＨＦとして例
えば７％程度含む。エッチング処理工程からは、これら
のエッチング剤がほぼそのまま流出することが多く、高
濃度弗素含有排水（処理工程排水）となる。一方、エッ
チング途中や終了時には、これらのエッチング剤で処理
された材料を大量の洗浄水で洗浄するため、かかる洗浄
工程からは、大量の低濃度弗素含有排水（洗浄工程排
水）が排出される。このため、例えば、半導体や液晶基
板製造工程においては、小流量の弗素濃度５００〜１０
０００ｍｇ／Ｌの高濃度弗素含有排水と大流量の弗素濃
度１０〜５０ｍｇ／Ｌの低濃度弗素含有排水が排出され
るのが一般的である。

【０００３】上述のように、電子産業等において排出さ
れる高濃度弗素含有排水と低濃度弗素含有排水中にはエ
ッチング剤として使われている弗酸等の弗素分が含まれ
ているが、弗素の放流基準は１５ｍｇ／Ｌ以下とされて
おり、多くの自治体において更に厳しい上乗せ基準が設
けられており、その基準値が１〜８ｍｇ／Ｌ以下となっ
ている自治体も多い。

【０００４】これらの弗素含有排水を処理する方法とし
て、従来は、高濃度弗素含有排水と低濃度弗素含有排水
とを混合してから、例えば、塩化カルシウムや消石灰
〔Ｃａ（ＯＨ）₂ 〕等のカルシウムイオンを発生する物
質（以下、「カルシウム化合物」と称する）を添加し、
弗化カルシウムとして晶析させてから固液分離する方法
を用いて、これらの弗素含有排水から弗素を除去してい
る。弗化カルシウム晶析の反応式は、以下の通りであ
る。 Ｃａ²⁺ ＋ ２Ｆ^- ＝ ＣａＦ₂ ↓

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】高濃度弗素含有排水と
低濃度弗素含有排水とを混合して得られる混合排水は、
弗素濃度が低濃度弗素含有排水に近い弗素濃度になるこ
とが多く、そのため弗素除去効率を悪くしている。Ｃａ
Ｆ₂ の２０℃での溶解度積Ｋｓｐは、Ｋｓｐ＝〔Ｃ
ａ²⁺〕〔Ｆ^- 〕² ＝３．４５×１０^-11 の式で表され
る。しかし、実際の排水では、カルシウム化合物の添加
により〔Ｃａ²⁺〕と〔Ｆ^- 〕² の積が溶解度積に達し、
また、これを多少越えても、ＣａＦ₂ が析出することは
無く、常に準安定な過飽和状態として溶液に存在する。
そのため、過剰なカルシウムイオン（カルシウム化合
物）を投入してＣａＦ₂ の過飽和状態を破壊すると共
に、大過剰のポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）等の無機
凝集剤を添加し弗素を吸着・共沈することにより処理水
の水質を確保しているが、短時間で効率良く処理するこ
とは困難で、また、薬品の無駄遣い、汚泥処理量の増
加、処理水中への高濃度のカルシウムイオンの残存、設
備投資の増加等の問題点を抱えている。また、上記の溶
解度積の式から分かるように、Ｆ^- イオン濃度が低下す
ればするほど、ＣａＦ₂ の過飽和状態を破壊するために
投入するＣａ²⁺の量は２乗の関係で増加し、低濃度のＦ
^- イオン（例えば、２０〜３０ｍｇＦ^- ／Ｌ）を除去す
るためには、反応槽内の排水を非常に高いＣａ²⁺イオン
濃度（例えば、１０００ｍｇＣａ²⁺／Ｌ以上）にしない
と、Ｆ^- イオンをＣａＦ₂ 析出物として除去することは
できず、また、このようにＣａ²⁺イオン濃度を高濃度に
して弗素含有排水を処理して得られる処理水はスケール
の問題を伴う。

【０００６】このような問題を解決するため、本出願人
は、先に、原水としての弗素含有排水を分割した一部
に、全排水に添加すべきカルシウムイオン（カルシウム
化合物）の全量を添加（注入）し、得られる反応液を残
りの大部分の弗素含有排水中に混合し、該反応液中に生
成したＣａＦ₂ の晶出物を種晶として用い、全排水から
弗素を除去する所謂「原水分注方法」を提案した（特開
平６−３１２１９０号公報）。この方法により、多くの
弗素含有排水に対応できるようになった。しかし、弗素
含有排水中の弗素濃度が非常に低い場合や各種の妨害イ
オン類等が共存する場合、上述のように原水の一部にカ
ルシウムイオン（カルシウム化合物）の全量を添加して
も種晶ができなかったり、または、できた種晶の数が足
りなかったりすることがあるので、弗素含有排水の処理
が困難な場合がある。

【０００７】本発明は、かかる場合にも対応することが
できる弗素含有排水の効率的な処理方法を提供せんとす
るものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、弗素含有排水
にカルシウム化合物を添加して排水中の弗素を弗化カル
シウムとして除去するに当たり、弗素含有排水を高濃度
弗素含有排水と低濃度弗素含有排水とに分別し、全排水
に添加すべきカルシウム化合物の全量を高濃度弗素含有
排水に添加、反応させ、得られる反応液を固液分離せず
に低濃度弗素含有排水に添加、反応させてから固液分離
を行なうことを特徴とする弗素含有排水の処理方法を提
供するものである。

【０００９】溶解度積式Ｋｓｐ＝〔Ｃａ²⁺〕〔Ｆ^- 〕²
から分かるように、〔Ｆ^- 〕は２乗で寄与するため、
〔Ｃａ²⁺〕に比べてＣａＦ₂ の晶析反応に及ぼす影響が
格段に大きくなる。従って、Ｆ^- イオン濃度が高い高濃
度弗素含有排水は、高濃度弗素含有排水と低濃度弗素含
有排水とを混合して得られる混合排水に比べてＣａＦ₂
の晶析が著しく起こり易くなる。そこで、高濃度弗素含
有排水に、全排水に添加すべきカルシウム化合物の全量
を添加し、Ｃａ²⁺イオン濃度も高めてＣａＦ₂ 析出反応
を充分に促進せしめ、得られる反応液を固液分離するこ
と無く低濃度弗素含有排水に供給すれば、高濃度弗素含
有排水中に生成したＣａＦ₂ の結晶を種晶として利用す
ることができ、該反応液中に残存していたＣａ²⁺と低濃
度弗素含有排水中のＦ^- との析出反応を該種晶が促進す
るので、安定的且つ効果的にＦ^- イオンを除去すること
ができる。

【００１０】即ち、本発明は、高濃度弗素含有排水の高
Ｆ^- イオン濃度と全排水に添加すべきカルシウム化合物
の全量の添加による高Ｃａ²⁺イオン濃度との相乗効果に
より、先ず高濃度弗素含有排水中のＦ^- イオンをＣａＦ
₂ として最大限に析出させ、生成したばかりのＣａ
Ｆ₂ 、即ち、ゾル状のＣａＦ₂ を含む反応液をそのまま
低濃度弗素含有排水に供給することにより、ゾル状のＣ
ａＦ₂ の表面で残存Ｃａ²⁺イオンと低濃度弗素含有排水
中のＦ^- イオンとの反応生成物としてのＣａＦ₂ の晶出
を行い、安定的な弗素の除去処理を行なうことが特徴で
あって、これにより、特に処理が難しい低濃度弗素含有
排水の弗素除去処理に優れた効果を発揮し、また、処理
水中の残存Ｃａ²⁺イオン濃度も低減できるものである。

【００１１】図３は、種晶の必要量を調べるために弗素
分としてＮａＦを含む模擬排水を用いて行なった実験の
結果を示すもので、種晶（予め弗素イオン含有水にカル
シウムイオンを添加して得られたＣａＦ₂ 析出物を用い
た）の濃度と処理水のＦ^- イオン濃度の関係を示すグラ
フを表す図である。図３から分かるように、ＣａＦ₂種
晶の存在量も処理効果に非常に大きな影響を及ぼす。模
擬排水の場合、種晶として１０ｍｇ／Ｌ以上のＣａＦ₂
が必要であったが、実際の場合には約１０〜約２００ｍ
ｇ／Ｌの範囲でＣａＦ₂ が必要で、５０〜２００ｍｇ／
Ｌ程度のかなりの量の種晶を必要とすることも多い。従
って、高濃度弗素含有排水の量が少なく、低濃度弗素含
有排水を処理するに当たってＣａＦ₂ 種晶が不足するこ
とも考えられる。その場合、種晶を形成する高濃度弗素
含有排水反応槽（第一反応槽）に適当な弗素化合物を添
加すればＣａＦ₂ 種晶の数を増やすのに効果的である。

【００１２】この際に用いる弗素化合物としては、弗化
ナトリウム、弗化アンモニウム、弗化カルシウム等が好
適で、珪弗酸塩は析出を妨害する逆作用を生じることが
あるため使用しない方が良い。なお、弗素化合物の添加
は、連続的に行なっても良いが、間歇的に行なったり、
或いは、ＣａＦ₂ 種晶の量（高濃度弗素含有排水の流量
と弗素濃度から計算できる）に応じて弗素化合物の添加
を制御してもよい。高濃度弗素含有排水と低濃度弗素含
有排水の流量比、或いは、処理水の弗素濃度を監視し
て、弗素化合物の添加の制御を行なうこともできる。

【００１３】カルシウム化合物としては、塩化カルシウ
ム〔ＣａＣｌ₂ 〕、消石灰〔Ｃａ（ＯＨ）₂ 〕、炭酸カ
ルシウム〔ＣａＣＯ₃ 〕等を用いることができる。カル
シウム化合物の添加量は、弗素濃度と排水流量によるフ
ィードフォワード制御でもよいが、カルシウムイオンモ
ニター装置を用いて処理後の排水中のカルシウムイオン
濃度によるフィードバック制御を行なうのがより好まし
い。カルシウムの添加量は、弗素含有排水の成分や処理
水の要求水質により異なるが、一般的には、処理水中の
残留溶存カルシウム濃度が２００〜８００ｍｇ／Ｌとな
るような過剰量である。

【００１４】全排水に添加すべきカルシウム化合物の全
量を高濃度弗素含有排水に添加、反応させ、得られる反
応液を固液分離せずに低濃度弗素含有排水に添加、反応
させて処理した全排水は、直接的に膜分離等の方法で固
液分離してもよいが、凝集剤を用いて、凝集反応槽でＣ
ａＦ₂ 析出物を凝集反応させた後、必要に応じて沈降槽
で沈降させて、固液分離してもよい。凝集剤としては、
ポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）や硫酸バンド等のアル
ミニウム系凝集剤、塩化第二鉄等の鉄系凝集剤等を用い
ることができる。また、多くの場合は凝集助剤として有
機高分子凝集剤を併用して、効果的な固液分離を図る。
凝集剤の使用は、固液分離の促進だけでなく、共沈効果
による弗素イオン（Ｆ^- ）の一層の除去を図るためでも
ある。

【００１５】高濃度と低濃度の弗素含有排水の分別だけ
では不十分で（例えば、高濃度弗素含有排水から得られ
る反応液の種晶の数が足りない場合）、上記のような弗
素化合物の添加も行なわない場合、固液分離後の固形分
としての汚泥の少なくとも一部を高濃度弗素含有排水を
処理する第一反応槽及び／又は低濃度弗素含有排水を処
理する第二反応槽に返送供給することにより所望の処理
を行うことができる。

【００１６】ポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）や硫酸バ
ンド等のアルミニウム系の凝集剤を用いた場合は、固液
分離後の固形分としての汚泥の少なくとも一部を水酸化
ナトリウムや水酸化カリウム等のアルカリで処理し、ア
ルミフロックを溶解させてから、例えば静置により固液
分離を行い、上澄みの液体分を凝集反応槽に返送添加し
て凝集剤として再利用すると共に、固形分としての汚泥
（沈澱物）を第一反応槽（高濃度弗素含有排水処理槽）
及び／又は第二反応槽（低濃度弗素含有排水処理槽）に
種晶として返送供給することにより所望の処理を行なう
こともできる。消石灰をカルシウム化合物として使用す
る場合、その消石灰の一部又は全部を上記汚泥を溶解す
るアルカリ剤として使用し、アルミフロック溶解後に得
られる固形分としての汚泥（沈澱物）を高濃度弗素含有
排水を処理する第一反応槽に供給するのが好ましい。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、図１と図２を参照しつつ、
本発明の実施の形態を具体的に説明するが、本発明がこ
れらに限定されるものでないことは言うまでも無い。

【００１８】図１は、本発明による弗素含有排水の処理
方法の一例を表したフロー図である。第一反応槽に高濃
度弗素含有排水を流入させ、ｐＨ調整剤と共に高濃度弗
素含有排水及び低濃度弗素含有排水の全排水に添加すべ
きカルシウム化合物の全量を第一反応槽に加え、ＣａＦ
₂ 析出反応を行なう。第一反応槽では、全排水に添加す
べきカルシウム化合物の全量が添加されるので、排水中
のＣａ²⁺イオン濃度が極めて高くなり、また、排水が高
濃度弗素含有排水のみなのでＦ^- イオン濃度も高く、Ｃ
ａＦ₂ は速やかに析出する。なお、ＣａＦ₂ 生成反応に
おいては、ｐＨが４以上になれば、ｐＨはＣａＦ₂ 析出
反応に殆ど悪影響しないので、第一反応槽のｐＨは必要
に応じて４〜１２の間に調整すれば良く、安定性の点で
５〜１２の間にｐＨ調整するのが好ましい。なお、ｐＨ
が４より低くなるとＣａＦ₂ 析出物の再溶解が起こるこ
ともあり、ＣａＦ₂ 析出反応が円滑に進まないことがあ
る。

【００１９】第一反応槽から反応液を第二反応槽に供給
すると共に、低濃度弗素含有排水を第二反応槽へ流入さ
せる。第二反応槽のｐＨ調整は、第二反応槽におけるｐ
Ｈが好ましくはほぼ中性になるように第一反応槽に予め
過剰量のｐＨ調整剤を添加するようにしても、第二反応
槽にｐＨ調整剤を添加して改めてｐＨ調整するようにし
ても、いずれでもよいが、具体的には、排水の安定性、
設備の問題、使用する薬品によって適宜に決めればよ
い。

【００２０】ＣａＦ₂ の生成反応はイオン反応なので、
本質的にはこの反応は瞬間的に進行するが、析出反応は
上記の溶解度積などの影響を強く受ける。かかる観点か
ら、第一反応槽での滞留時間は２〜１０分程度とするの
が好ましく、第二反応槽での滞留時間は、ＣａＦ₂ の析
出をできるだけ完全に行なわせる見地から、２０〜４０
分程度とするのが好ましい。

【００２１】第二反応槽から反応液を凝集槽に送り、こ
こで凝集剤を添加すると共にｐＨ調整剤を添加してｐＨ
調整を行ないながらＣａＦ₂ の析出物を凝集させ、得ら
れる懸濁液を沈澱槽に送り、ここで沈澱汚泥と処理水と
に固液分離する。なお、凝集槽は必ずしも必要でなく、
省略する場合もある。また、沈澱槽の代わりに膜分離装
置を使用してもよい。従って、固液分離の手段として、
必要に応じて、凝集沈澱処理に代えて、例えば、凝集処
理と膜分離の組み合わせ又は凝集処理を省略して単に膜
分離を行なってもよい。膜分離装置としては、例えば、
逆浸透膜、限外濾過膜、精密濾過膜等を使用したものを
挙げることができる。

【００２２】図２は、本発明による弗素含有排水の処理
方法の他の一例を表したフロー図をである。ポリ塩化ア
ルミニウム（ＰＡＣ）又は硫酸バンドを凝集剤として用
いた場合で、沈澱槽からの沈澱汚泥の一部を汚泥溶解槽
に供給し、ここでアルカリ剤を添加して、アルミフロッ
クを溶解させて、例えば静置により固液分離し、上澄み
の液体分を凝集槽に返送添加して凝集剤として再利用
し、一方、固形分としての沈澱物（汚泥）を第一反応槽
及び／又は第二反応槽に種晶として返送添加する。以上
の追加的な操作以外は図１の実施態様と同じ操作を行な
う。図２の実施形態は、凝集剤の再利用と沈澱汚泥の種
晶としての利用を行い、より効率的な弗素含有排水の処
理を可能とするもので、例えば、高濃度弗素含有排水量
が少なく、低濃度弗素含有排水中のＦ^- イオンを充分に
ＣａＦ₂ として析出させるのに種晶が不足する場合など
に特に効果的である。なお、図２においては、沈澱物を
返送添加するラインは、第一反応槽及び第二反応槽の両
方に向かって分岐するように描かれているが、分岐せず
に第一反応槽又は第二反応槽の片方に向かうラインであ
ってもよいことは言うまでも無い。

【００２３】上述のような本発明の方法により排出され
る固形分（沈澱汚泥）は、常法に従ってＣａＦ₂ の回収
処理等の処理に付される。回収ＣａＦ₂ は、弗化水素酸
製造用原料として再利用することもできる。

【００２４】

【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明する
が、本発明がこの実施例に限定されるもので無いことは
言うまでも無い。

【００２５】実施例１ 高濃度弗素含有排水（流量：１０ｍ³ ／ｈ）の弗素濃度
が１１５０ｍｇ／Ｌ、低濃度弗素含有排水（流量：２４
０ｍ³ ／ｈ）の弗素濃度が１９ｍｇ／Ｌである某半導体
製造工場の両弗素含有排水を両者の流量の比で採取し、
以下のケースに分けて実験を行なった。

【００２６】ケース１：従来法のように、両排水を混合
してから（混合後の排水中の弗素濃度：６４ｍｇ／
Ｌ）、処理水中の残存溶存カルシウムイオン濃度が８０
０ｍｇ／Ｌとなるように塩化カルシウムを添加、反応さ
せた後、ＰＡＣを添加して凝集・沈澱を行なった。

【００２７】ケース２：両排水を混合してから、１：９
の比率で排水を分け、少ない方の排水に、添加すべき
（最終処理水中の残存溶存カルシウムイオン濃度が３０
０ｍｇ／Ｌとなるように）塩化カルシウムの全量を添加
し、得られた反応液を残りの排水に添加、反応させた
後、ＰＡＣを添加して凝集・沈澱を行なった。

【００２８】ケース３：高濃度弗素含有排水に、添加す
べき（最終処理水中の残存溶存カルシウムイオン濃度が
３００ｍｇ／Ｌとなるように）塩化カルシウムの全量を
添加し、得られた反応液を低濃度弗素含有排水に添加、
反応させた後、ＰＡＣを添加して凝集・沈澱を行なっ
た。

【００２９】ケース４：高濃度弗素含有排水中の弗素濃
度が１５００ｍｇ／Ｌとなるように高濃度弗素含有排水
に弗化ナトリウムを添加してから、添加すべき（最終処
理水中の残存溶存カルシウムイオン濃度が３００ｍｇ／
Ｌとなるように）塩化カルシウムの全量を添加し、得ら
れた反応液を低濃度弗素含有排水に添加、反応させた
後、ＰＡＣを添加して凝集・沈澱を行なった。

【００３０】ケース５：高濃度弗素含有排水中に、添加
すべき（最終処理水中の残存溶存カルシウムイオンが３
００ｍｇ／Ｌとなるように）塩化カルシウムの全量を添
加して高濃度排水反応液を得る一方で、全排水に対して
４０ｍｌ／Ｌの沈澱汚泥（予め、両排水をケース３と同
様に処理して得られた沈澱汚泥、ＳＳ：２００００ｍｇ
／Ｌ）にアルカリとしての水酸化ナトリウムを混合して
ｐＨを１２．５に調整し、静置後、得られた固形分とし
ての沈澱物（汚泥として、全排水に対して１４ｍｌ／
Ｌ）を上記高濃度排水反応液と共に低濃度弗素含有排水
に混合、反応させて低濃度排水反応液を得た後、上述の
沈澱汚泥アルカリ処理により得られた液体分としての上
澄み（全排水に対して２６ｍｌ／Ｌ）を新しいＰＡＣ
（全排水に対して２００ｍｇ／Ｌ）と共に上記低濃度排
水反応液に添加し、凝集・沈澱を行なった。

【００３１】なお、各ケースにおいて、各反応時のｐＨ
は、ｐＨ値を記載した場合以外は、中性であった。全ケ
ースにおいて、ＰＡＣ添加量は、全排水に対して２００
ｍｇ／Ｌであった。各実験の結果（ＰＡＣ添加による凝
集沈澱前の反応液をメンブレンフィルターで濾過して得
た濾液中の溶存Ｆ^- 濃度と凝集沈澱後の上澄み中の溶存
Ｆ^- 濃度）を表１に示す。

【００３２】

【表１】 凝集沈澱前のＦ^- 濃度 凝集沈澱後のＦ^- 濃度 ケース （ｍｇ／Ｌ） （ｍｇ／Ｌ） １ ５８ ３０ ２ ３５ １８ ３ ２５ １５ ４ １３ ７ ５ ９ ４

【００３３】表１の結果から分かるように、従来の方法
では（ケース１）、カルシウムイオン濃度を高くしても
弗化カルシウム結晶の形成が殆ど無く、凝集処理後の処
理水の弗素濃度も３０ｍｇ／Ｌと高く、水質基準を達成
するためには更なる無機凝集剤の添加が必要である。ケ
ース２のような原水分注法（混合排水を分割した一部に
塩化カルシウムを注入する方法）では、処理結果はケー
ス１に比べて改善できたが、未だ不十分であった。ケー
ス３のように高濃度弗素含有排水と低濃度弗素含有排水
を分けて２ステップで処理した場合、処理水質が更に良
くなった。ケース４の場合、高濃度弗素含有排水に弗化
ナトリウムを添加したため、弗化カルシウム種晶の数が
増加し、処理結果の一層の改善が見られた。また、同じ
理由で、ケース５（沈澱汚泥をアルカリで処理してアル
ミフロックを溶解し、残った弗化カルシウムを種晶とし
て用いた）の処理結果が良かった。ケース５の処理水水
質がケース４よりも良かったのは、種晶の数が多かった
からである。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、先ず高濃度弗素含有排
水に全排水に添加すべきカルシウム化合物の全量を添加
する。こうすることにより、高濃度弗素含有排水中の高
濃度のＦ^- イオンとカルシウム化合物の全量添加による
高濃度のＣａ²⁺イオンとの反応により、ＣａＦ₂ 結晶を
容易に且つ充分に析出させることができ、得られる反応
液を固液分離せずに低濃度弗素含有排水に供給して上記
ＣａＦ₂ 結晶を種晶として利用するので、低濃度弗素含
有排水中の低濃度のＦ^- イオンと残存Ｃａ²⁺イオンとの
反応によりＣａＦ₂ を容易に析出させることができる。
これによって、低濃度弗素含有排水の弗素濃度が非常に
低い場合や、各種の妨害イオン類が共存する場合にも、
良好な弗素の除去効率を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による弗素含有排水の処理方法
の一例を表したフロー図である。

【図２】図２は、本発明による弗素含有排水の処理方法
の他の一例を表したフロー図である。

【図３】図３は、種晶の必要量を調べるために模擬排水
を用いて行なった実験の結果を示すもので、種晶の濃度
と処理水のＦ^- イオン濃度の関係を示すグラフを表す図
である。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−107890（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−38985（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−103663（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−86069（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−312190（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−92187（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−63562（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C02F 1/58 CDG

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弗素含有排水にカルシウム化合物を添加
   して排水中の弗素を弗化カルシウムとして除去するに当
   たり、弗素含有排水を高濃度弗素含有排水と低濃度弗素
   含有排水とに分別し、全排水に添加すべきカルシウム化
   合物の全量を高濃度弗素含有排水に添加、反応させ、得
   られる反応液を固液分離せずに低濃度弗素含有排水に添
   加、反応させてから固液分離を行なうことを特徴とする
   弗素含有排水の処理方法。
2. 【請求項２】 前記固液分離により得られる固形分とし
   ての汚泥を前記高濃度弗素含有排水を処理する第一反応
   槽及び前記低濃度弗素含有排水を処理する第二反応槽の
   少なくとも一方に返送供給することを特徴とする請求項
   １に記載の弗素含有排水の処理方法。
3. 【請求項３】 ポリ塩化アルミニウム又は硫酸バンド等
   のアルミニウム系の無機凝集剤を用いる凝集処理を経て
   前記固液分離を行い、前記固液分離により得られる汚泥
   をアルカリで処理して固液分離を行い、この固液分離に
   より得られる液体分を凝集反応槽へ返送供給すると共
   に、固形分として得られる汚泥（沈澱物）を前記高濃度
   弗素含有排水を処理する第一反応槽及び前記低濃度弗素
   含有排水を処理する第二反応槽の少なくとも一方に返送
   供給することを特徴とする請求項１に記載の弗素含有排
   水の処理方法。
4. 【請求項４】 前記高濃度弗素含有排水に弗素化合物を
   添加することを特徴とする請求項１から３のいずれかに
   記載の弗素含有排水の処理方法。