JPH0839079A - 過酸化水素含有酸性水の処理方法 - Google Patents
過酸化水素含有酸性水の処理方法Info
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- JPH0839079A JPH0839079A JP19607094A JP19607094A JPH0839079A JP H0839079 A JPH0839079 A JP H0839079A JP 19607094 A JP19607094 A JP 19607094A JP 19607094 A JP19607094 A JP 19607094A JP H0839079 A JPH0839079 A JP H0839079A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】過酸化水素含有酸性水を活性炭充填塔に供給し
て過酸化水素を分解処理するにあたり、活性炭充填塔か
ら排出される処理水中の過酸化水素濃度を測定し、その
値が規定濃度を超えれば、活性炭充填塔に供給する過酸
化水素含有酸性水中にアルカリを添加することを特徴と
する過酸化水素含有酸性水の処理方法。 【効果】本発明の過酸化水素含有酸性水の処理方法によ
れば、被処理水中の過酸化水素濃度の変動に対して、安
定した活性炭処理が可能である上、中和剤のアルカリの
使用量が少なくてすみ、かつ後段に設置されている純水
製造装置の負荷も少ない。
て過酸化水素を分解処理するにあたり、活性炭充填塔か
ら排出される処理水中の過酸化水素濃度を測定し、その
値が規定濃度を超えれば、活性炭充填塔に供給する過酸
化水素含有酸性水中にアルカリを添加することを特徴と
する過酸化水素含有酸性水の処理方法。 【効果】本発明の過酸化水素含有酸性水の処理方法によ
れば、被処理水中の過酸化水素濃度の変動に対して、安
定した活性炭処理が可能である上、中和剤のアルカリの
使用量が少なくてすみ、かつ後段に設置されている純水
製造装置の負荷も少ない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、過酸化水素含有酸性水
の処理方法に関するものである。さらに詳しくは、本発
明は、被処理水中の過酸化水素濃度の変動に対して、安
定した活性炭処理が可能である上、中和剤のアルカリの
使用量が少なくてすみ、後段に設置されている純水製造
装置の負荷も少ない過酸化水素含有酸性水の処理方法に
関するものである。
の処理方法に関するものである。さらに詳しくは、本発
明は、被処理水中の過酸化水素濃度の変動に対して、安
定した活性炭処理が可能である上、中和剤のアルカリの
使用量が少なくてすみ、後段に設置されている純水製造
装置の負荷も少ない過酸化水素含有酸性水の処理方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造プロセスから排出される希薄
排水には、通常鉱酸と１０〜３００mg／リットル程度の
過酸化水素が含まれており、一般にpH２〜５の酸性を示
している。従来、過酸化水素含有水中の過酸化水素を除
去する方法としては、種々の方法が知られているが、こ
れらの中で、好ましい方法として、粒状活性炭を充填し
た活性炭充填塔に通水して、過酸化水素を分解、除去す
る方法がある。しかしながら、この活性炭処理による方
法においては、被処理水のpHが４以下であると、活性炭
処理効果が悪く、被処理水中の過酸化水素濃度によって
は、活性炭充填塔から排出される処理水中に、規定濃度
以上の過酸化水素が未分解のまま残存するという問題が
生じる。したがって、このような問題を解決するため
に、例えば、活性炭充填塔における空間速度を小さくす
る方法や、被処理水のpHを上げる方法などが試みられて
いる。しかしながら、活性炭充填塔における空間速度を
小さくすると、活性炭充填塔が大きくなって経済的でな
い上、十分な分解性能が期待できないという問題があ
る。一方、被処理水のpHを常時中性に保つには、中和剤
であるアルカリの使用量が増え、かつ塩類増加により、
通常後段に設置されている純水製造装置の負荷が増大す
るのを免れないという問題がある。
排水には、通常鉱酸と１０〜３００mg／リットル程度の
過酸化水素が含まれており、一般にpH２〜５の酸性を示
している。従来、過酸化水素含有水中の過酸化水素を除
去する方法としては、種々の方法が知られているが、こ
れらの中で、好ましい方法として、粒状活性炭を充填し
た活性炭充填塔に通水して、過酸化水素を分解、除去す
る方法がある。しかしながら、この活性炭処理による方
法においては、被処理水のpHが４以下であると、活性炭
処理効果が悪く、被処理水中の過酸化水素濃度によって
は、活性炭充填塔から排出される処理水中に、規定濃度
以上の過酸化水素が未分解のまま残存するという問題が
生じる。したがって、このような問題を解決するため
に、例えば、活性炭充填塔における空間速度を小さくす
る方法や、被処理水のpHを上げる方法などが試みられて
いる。しかしながら、活性炭充填塔における空間速度を
小さくすると、活性炭充填塔が大きくなって経済的でな
い上、十分な分解性能が期待できないという問題があ
る。一方、被処理水のpHを常時中性に保つには、中和剤
であるアルカリの使用量が増え、かつ塩類増加により、
通常後段に設置されている純水製造装置の負荷が増大す
るのを免れないという問題がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、過酸化水素含有酸性水を活性炭処理して
過酸化水素を分解、除去する方法において、被処理水中
の過酸化水素濃度の変動に対して、安定した活性炭処理
が可能である上、中和剤のアルカリの使用量が少なくて
すみ、かつ後段に設置されている純水製造装置の負荷も
少ない過酸化水素含有酸性水の処理方法を提供すること
を目的としてなされたものである。
事情のもとで、過酸化水素含有酸性水を活性炭処理して
過酸化水素を分解、除去する方法において、被処理水中
の過酸化水素濃度の変動に対して、安定した活性炭処理
が可能である上、中和剤のアルカリの使用量が少なくて
すみ、かつ後段に設置されている純水製造装置の負荷も
少ない過酸化水素含有酸性水の処理方法を提供すること
を目的としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者は、前記目的を
達成するために鋭意研究を重ねた結果、活性炭充填塔か
ら排出される処理水中の過酸化水素濃度を測定し、その
値が一定値以上であれば、被処理水にアルカリを添加す
ることにより、その目的を達成しうることを見いだし、
この知見に基づいて本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明は、（１）過酸化水素含有酸性水を活性炭充
填塔に供給して過酸化水素を分解処理するにあたり、活
性炭充填塔から排出される処理水中の過酸化水素濃度を
測定し、その値が規定濃度を超えれば、活性炭充填塔に
供給する過酸化水素含有酸性水中にアルカリを添加する
ことを特徴とする過酸化水素含有酸性水の処理方法を提
供するものである。さらに、本発明を実施するための好
ましい態様として、（２）過酸化水素含有酸性水が、pH
２〜５で、かつ過酸化水素を１０mg／リットル以上含む
ものである第(１)項記載の過酸化水素含有酸性水の処理
方法、（３）アルカリを添加することにより、過酸化水
素含有酸性水のpHを６〜８とする第(１)又は(２)記載の
過酸化水素含有酸性水の処理方法、（４）過酸化水素含
有酸性水を、活性炭充填塔に空間速度が５〜２０hr-1に
なるように供給する第(１)〜(３)項記載の過酸化水素含
有酸性水の処理方法、及び、（５）アルカリが水酸化ナ
トリウムである第(１)〜(４)項記載の過酸化水素含有酸
性水の処理方法、を挙げることができる。
達成するために鋭意研究を重ねた結果、活性炭充填塔か
ら排出される処理水中の過酸化水素濃度を測定し、その
値が一定値以上であれば、被処理水にアルカリを添加す
ることにより、その目的を達成しうることを見いだし、
この知見に基づいて本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明は、（１）過酸化水素含有酸性水を活性炭充
填塔に供給して過酸化水素を分解処理するにあたり、活
性炭充填塔から排出される処理水中の過酸化水素濃度を
測定し、その値が規定濃度を超えれば、活性炭充填塔に
供給する過酸化水素含有酸性水中にアルカリを添加する
ことを特徴とする過酸化水素含有酸性水の処理方法を提
供するものである。さらに、本発明を実施するための好
ましい態様として、（２）過酸化水素含有酸性水が、pH
２〜５で、かつ過酸化水素を１０mg／リットル以上含む
ものである第(１)項記載の過酸化水素含有酸性水の処理
方法、（３）アルカリを添加することにより、過酸化水
素含有酸性水のpHを６〜８とする第(１)又は(２)記載の
過酸化水素含有酸性水の処理方法、（４）過酸化水素含
有酸性水を、活性炭充填塔に空間速度が５〜２０hr-1に
なるように供給する第(１)〜(３)項記載の過酸化水素含
有酸性水の処理方法、及び、（５）アルカリが水酸化ナ
トリウムである第(１)〜(４)項記載の過酸化水素含有酸
性水の処理方法、を挙げることができる。
【０００５】以下、本発明を詳細に説明する。本発明方
法が適用される過酸化水素含有酸性水としては、pHが２
〜５の範囲にあり、かつ過酸化水素含有量が１０mg／リ
ットル以上のものを好ましく挙げることができる。この
ような過酸化水素含有酸性水の代表的なものとしては、
半導体製造プロセスの希薄排水がある。本発明方法にお
いて用いられる活性炭としては、ヤシガラ系、石炭系の
いずれであってもよく、また、活性炭表面に銀や白金な
どの遷移金属を有しているものであってもよい。また、
その粒径については特に制限はない。さらに、繊維状の
活性炭も使用することができる。この活性炭を充填する
塔の形式は、固定床方式であってもよいし、流動床方式
であってもよく、また通水方式は上向流、下向流のいず
れであってもよい。本発明方法においては、前記活性炭
充填塔に、過酸化水素含有酸性水を、１０〜５０℃程度
の温度、好ましくは常温にて通水する。この場合、通水
は、空間速度が５〜２０hr-1になるように行うのが好ま
しい。そして、活性炭充填塔から排出される処理水中の
過酸化水素濃度を測定し、その値が規定濃度、例えば、
１mg／リットルを超えれば、活性炭充填塔に供給する過
酸化水素含有酸性水にアルカリを添加する。処理水中の
過酸化水素の規定濃度は、処理水を後段の純水製造装置
に送り精製して再使用する場合には工程の要求条件によ
って決まり、また、処理水を排水として放流する場合に
は地方公共団体などの規制値によって決まる濃度であ
る。処理水中の過酸化水素濃度を測定するのに用いる過
酸化水素分析計については特に制限はなく、滴定法やポ
ーラログラフ法などを適用した市販の分析計を用いるこ
とができる。また、過酸化水素含有酸性水に添加される
アルカリとしては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウムなどのアルカリ金属の水酸化物、炭酸ナトリウ
ム、炭酸カリウムなどのアルカリ金属の炭酸塩などが挙
げられるが、これらの中で特に水酸化ナトリウムが好適
である。また、このアルカリの添加は、添加後の被処理
水のpHが６〜８の範囲になるように行うことが好まし
い。図１は、本発明方法を実施するための装置の一例の
概略図である。原水（過酸化水素含有酸性水）は活性炭
充填塔１に通水され、活性炭充填塔１から排出された処
理水は、イオン交換樹脂や逆浸透膜分離装置等を用いた
純水製造装置へ導かれる。この際、活性炭充填塔から排
出される処理水中の過酸化水素濃度を過酸化水素分析計
３にて測定し、その値が規定濃度を超えれば、信号が送
られてポンプ４が作動し、アルカリ貯槽２からアルカリ
を原水中へ添加し、原水のpH調整を行う。該アルカリ
は、原水を活性炭充填塔１へ供給する配管中へ添加して
もよいし、あるいはこの配管経路に混合槽を設け（図示
していない）、この混合槽に添加し、原水のpHを調整し
てもよい。なお、被処理水が活性炭充填塔へ流入する直
前や直後に、さらにpH計（図示していない）を設けても
よい。
法が適用される過酸化水素含有酸性水としては、pHが２
〜５の範囲にあり、かつ過酸化水素含有量が１０mg／リ
ットル以上のものを好ましく挙げることができる。この
ような過酸化水素含有酸性水の代表的なものとしては、
半導体製造プロセスの希薄排水がある。本発明方法にお
いて用いられる活性炭としては、ヤシガラ系、石炭系の
いずれであってもよく、また、活性炭表面に銀や白金な
どの遷移金属を有しているものであってもよい。また、
その粒径については特に制限はない。さらに、繊維状の
活性炭も使用することができる。この活性炭を充填する
塔の形式は、固定床方式であってもよいし、流動床方式
であってもよく、また通水方式は上向流、下向流のいず
れであってもよい。本発明方法においては、前記活性炭
充填塔に、過酸化水素含有酸性水を、１０〜５０℃程度
の温度、好ましくは常温にて通水する。この場合、通水
は、空間速度が５〜２０hr-1になるように行うのが好ま
しい。そして、活性炭充填塔から排出される処理水中の
過酸化水素濃度を測定し、その値が規定濃度、例えば、
１mg／リットルを超えれば、活性炭充填塔に供給する過
酸化水素含有酸性水にアルカリを添加する。処理水中の
過酸化水素の規定濃度は、処理水を後段の純水製造装置
に送り精製して再使用する場合には工程の要求条件によ
って決まり、また、処理水を排水として放流する場合に
は地方公共団体などの規制値によって決まる濃度であ
る。処理水中の過酸化水素濃度を測定するのに用いる過
酸化水素分析計については特に制限はなく、滴定法やポ
ーラログラフ法などを適用した市販の分析計を用いるこ
とができる。また、過酸化水素含有酸性水に添加される
アルカリとしては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウムなどのアルカリ金属の水酸化物、炭酸ナトリウ
ム、炭酸カリウムなどのアルカリ金属の炭酸塩などが挙
げられるが、これらの中で特に水酸化ナトリウムが好適
である。また、このアルカリの添加は、添加後の被処理
水のpHが６〜８の範囲になるように行うことが好まし
い。図１は、本発明方法を実施するための装置の一例の
概略図である。原水（過酸化水素含有酸性水）は活性炭
充填塔１に通水され、活性炭充填塔１から排出された処
理水は、イオン交換樹脂や逆浸透膜分離装置等を用いた
純水製造装置へ導かれる。この際、活性炭充填塔から排
出される処理水中の過酸化水素濃度を過酸化水素分析計
３にて測定し、その値が規定濃度を超えれば、信号が送
られてポンプ４が作動し、アルカリ貯槽２からアルカリ
を原水中へ添加し、原水のpH調整を行う。該アルカリ
は、原水を活性炭充填塔１へ供給する配管中へ添加して
もよいし、あるいはこの配管経路に混合槽を設け（図示
していない）、この混合槽に添加し、原水のpHを調整し
てもよい。なお、被処理水が活性炭充填塔へ流入する直
前や直後に、さらにpH計（図示していない）を設けても
よい。
【０００６】
【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定され
るものではない。なお、実施例及び比較例においては、
図１に示す処理装置を使用した。この装置においては、
活性炭充填塔は、活性炭［クリコールＷＧ−１６０、栗
田工業(株)商標、１０／３２メッシュ］１００mlを充填
した固定床活性炭充填塔であり、過酸化水素検知計は、
東亜電波工業(株)製、ＰＴＷ−１型である。過酸化水素
検知計により連続的に測定される処理水中の過酸化水素
濃度が１mg／リットルを超えると、信号が送られてポン
プが作動し、被処理水に０.０５Ｎ水酸化ナトリウム水
溶液が添加される。 比較例１ 純水３リットルに硫酸及び塩酸を添加し、硫酸及び塩化
水素の濃度が各５０mg／リットルである酸性水を調製し
た。この酸性水より７５０mlの試料３点をとり、それぞ
れに過酸化水素水を加え、過酸化水素の濃度が２０mg／
リットル、１００mg／リットル及び２００mg／リットル
である原水を調製した。得られた３点の原水のpHはすべ
て２.３であった。次いで、図１の装置に、過酸化水素
検知計を作動することなく、過酸化水素含有量２０mg／
リットルの原水７５０mlを１５hr-1の空間速度で通水
し、続いて、過酸化水素含有量１００mg／リットル及び
２００mg／リットルの原水各７５０mlをそれぞれ１５hr
-1の空間速度で通水した。過酸化水素濃度が２０mg／リ
ットルの原水に対する処理水のpHは２.４、過酸化水素
濃度は１mg／リットル以下であるのに対して、原水中の
過酸化水素濃度が１００mg／リットル、２００mg／リッ
トルと増加するにつれ、処理水のpHはそれぞれ２.３
５、２.４とほとんど変化しなかったが、過酸化水素濃
度はそれぞれ６mg／リットル、１１mg／リットルと増加
した。 実施例１ 比較例１と同様にして、pH２.３、過酸化水素濃度２０
０mg／リットルの原水２２５０ml、及び、pH２.３、過
酸化水素濃度１０mg／リットルの原水７５０mlを調製し
た。はじめに、過酸化水素検知計及びポンプを作動する
ことなく、過酸化水素濃度２００mg／リットルの原水７
５０mlを１５hr-1の空間速度で通水した。処理水のpHは
２.４２、過酸化水素濃度は１２mg／リットルであっ
た。次いで、同じ過酸化水素濃度２００mg／リットルの
原水の通水を１５hr-1の空間速度で続けながら、過酸化
水素検知計を作動させ、その信号に基づいてアルカリ注
入ポンプを作動させたところ、１分後には処理水のpHは
５.５で過酸化水素濃度は３mg／リットルとなり、さら
にその２０秒後には、処理水のpHは６.２で過酸化水素
濃度は１mg／リットル以下となり、以後この状態を継続
して維持した。さらに、１時間後に、過酸化水素濃度を
１０mg／リットルの原水に切り換えたところ、処理水の
pHは６.０、過酸化水素濃度は１mg／リットル以下とな
り、この状態を継続して維持した。
明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定され
るものではない。なお、実施例及び比較例においては、
図１に示す処理装置を使用した。この装置においては、
活性炭充填塔は、活性炭［クリコールＷＧ−１６０、栗
田工業(株)商標、１０／３２メッシュ］１００mlを充填
した固定床活性炭充填塔であり、過酸化水素検知計は、
東亜電波工業(株)製、ＰＴＷ−１型である。過酸化水素
検知計により連続的に測定される処理水中の過酸化水素
濃度が１mg／リットルを超えると、信号が送られてポン
プが作動し、被処理水に０.０５Ｎ水酸化ナトリウム水
溶液が添加される。 比較例１ 純水３リットルに硫酸及び塩酸を添加し、硫酸及び塩化
水素の濃度が各５０mg／リットルである酸性水を調製し
た。この酸性水より７５０mlの試料３点をとり、それぞ
れに過酸化水素水を加え、過酸化水素の濃度が２０mg／
リットル、１００mg／リットル及び２００mg／リットル
である原水を調製した。得られた３点の原水のpHはすべ
て２.３であった。次いで、図１の装置に、過酸化水素
検知計を作動することなく、過酸化水素含有量２０mg／
リットルの原水７５０mlを１５hr-1の空間速度で通水
し、続いて、過酸化水素含有量１００mg／リットル及び
２００mg／リットルの原水各７５０mlをそれぞれ１５hr
-1の空間速度で通水した。過酸化水素濃度が２０mg／リ
ットルの原水に対する処理水のpHは２.４、過酸化水素
濃度は１mg／リットル以下であるのに対して、原水中の
過酸化水素濃度が１００mg／リットル、２００mg／リッ
トルと増加するにつれ、処理水のpHはそれぞれ２.３
５、２.４とほとんど変化しなかったが、過酸化水素濃
度はそれぞれ６mg／リットル、１１mg／リットルと増加
した。 実施例１ 比較例１と同様にして、pH２.３、過酸化水素濃度２０
０mg／リットルの原水２２５０ml、及び、pH２.３、過
酸化水素濃度１０mg／リットルの原水７５０mlを調製し
た。はじめに、過酸化水素検知計及びポンプを作動する
ことなく、過酸化水素濃度２００mg／リットルの原水７
５０mlを１５hr-1の空間速度で通水した。処理水のpHは
２.４２、過酸化水素濃度は１２mg／リットルであっ
た。次いで、同じ過酸化水素濃度２００mg／リットルの
原水の通水を１５hr-1の空間速度で続けながら、過酸化
水素検知計を作動させ、その信号に基づいてアルカリ注
入ポンプを作動させたところ、１分後には処理水のpHは
５.５で過酸化水素濃度は３mg／リットルとなり、さら
にその２０秒後には、処理水のpHは６.２で過酸化水素
濃度は１mg／リットル以下となり、以後この状態を継続
して維持した。さらに、１時間後に、過酸化水素濃度を
１０mg／リットルの原水に切り換えたところ、処理水の
pHは６.０、過酸化水素濃度は１mg／リットル以下とな
り、この状態を継続して維持した。
【０００７】
【発明の効果】本発明の過酸化水素含有酸性水の処理方
法によれば、被処理水中の過酸化水素濃度の変動に対し
て、安定した活性炭処理が可能である上、中和剤のアル
カリの使用量が少なくてすみ、かつ後段に設置されてい
る純水製造装置の負荷も少ない。
法によれば、被処理水中の過酸化水素濃度の変動に対し
て、安定した活性炭処理が可能である上、中和剤のアル
カリの使用量が少なくてすみ、かつ後段に設置されてい
る純水製造装置の負荷も少ない。
【図１】図１は、本発明方法を実施するための装置の一
例の概略図である。
例の概略図である。
１ 活性炭充填塔 ２ アルカリ貯槽 ３ 過酸化水素分析計 ４ ポンプ
Claims (1)
- 【請求項１】過酸化水素含有酸性水を活性炭充填塔に供
給して過酸化水素を分解処理するにあたり、活性炭充填
塔から排出される処理水中の過酸化水素濃度を測定し、
その値が規定濃度を超えれば、活性炭充填塔に供給する
過酸化水素含有酸性水中にアルカリを添加することを特
徴とする過酸化水素含有酸性水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19607094A JPH0839079A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 過酸化水素含有酸性水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19607094A JPH0839079A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 過酸化水素含有酸性水の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0839079A true JPH0839079A (ja) | 1996-02-13 |
Family
ID=16351704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19607094A Pending JPH0839079A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 過酸化水素含有酸性水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0839079A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003225677A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-12 | Japan Organo Co Ltd | フッ素および過酸化水素を含む排水の処理方法 |
| JP2007222743A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Matsushita Environment Airconditioning Eng Co Ltd | 過酸化水素含有廃液のｐＨ調整方法及び処理装置 |
| JP2008000653A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Japan Organo Co Ltd | 排水処理方法及び装置 |
| KR101237919B1 (ko) * | 2012-04-09 | 2013-02-28 | 소광민 | 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치 |
| KR20150094514A (ko) * | 2014-02-11 | 2015-08-19 | 트러스발 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 | 황산-과산화수소 용액으로부터 과산화수소를 제거하는 방법 및 그 처리제 |
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-
1994
- 1994-07-28 JP JP19607094A patent/JPH0839079A/ja active Pending
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