JP2001096281A

JP2001096281A - フッ素含有廃水から脱塩水を回収する方法

Info

Publication number: JP2001096281A
Application number: JP27641399A
Authority: JP
Inventors: Hisanao Kano; 久直狩野; Noriaki Nagata; 憲明永田
Original assignee: Nippon Rensui Co
Current assignee: Nippon Rensui Co
Priority date: 1999-09-29
Filing date: 1999-09-29
Publication date: 2001-04-10

Abstract

(57)【要約】【課題】フッ素含有廃水から脱塩水を回収する方法であ
って、凝集沈殿設備と脱塩装置とを結合した方法に比
し、設備費および使用薬剤の量が少なく且つ経済的有利
に脱塩装置の運転が出来る様に改良された上記の方法を
提供する。【解決手段】固体粒子が充填された流動床式晶析槽内に
おいてフッ素含有廃水とカルシウム剤とを反応させて生
成するフッ化カルシウムを固体粒子の表面に晶析させる
晶析工程、当該晶析工程から排出される処理水を濾過す
る濾過工程、当該濾過工程から排出される処理水中に残
存するフッ素成分を吸着除去する吸着工程、および、当
該吸着工程から排出される処理水中から塩類を除去して
脱塩水を回収する逆浸透膜モジュールから成る脱塩工程
を包含する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素含有廃水か
ら脱塩水を回収する方法に関し、詳しくは、半導体や精
密光学機材の製造工程から排出されるフッ素含有廃水か
ら再利用し得る脱塩水を工業的有利に回収する方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体や精密光学機材の製造工程
から排出されるフッ素含有廃水は、フッ素除去のための
廃水処理法で処理された後に放流されている。ところ
で、近年、新たな水資源の確保が困難となり、また、排
水基準が厳しくなる状況下、フッ素含有廃水から再利用
し得る脱塩水の回収の必要性が高まっている。

【０００３】フッ素除去のための上記の廃水処理法とし
ては、代表的には、反応槽１、反応槽２、凝集槽、沈殿
槽から成る凝集沈殿設備を使用し、先ず、反応槽１にお
いてフッ素含有廃水とカルシウム剤とを反応させてフッ
化カルシウムを生成させ、反応槽２において、アルミニ
ウム系凝集剤または鉄系凝集剤を添加し且つ硫酸などを
添加してｐＨ調整を行い、フッ化カルシウム粒子を凝集
させてフロックを形成させる。次いで、凝集槽において
高分子凝集剤の添加によりフロックを成長させた後、沈
殿槽においてフロックを沈殿分離させる方法が知られて
いる。

【０００４】従って、上記の様にしてフッ素成分が除去
された処理水を回収原水として使用し、脱塩装置として
逆浸透膜モジュール又はイオン交換樹脂塔を利用するな
らば、フッ素含有廃水からの脱塩水の回収が可能であ
る。

【０００５】しかしながら、凝集沈殿設備から排出され
る処理水は、凝集剤などを使用する結果として、通常、
数百ｍｇ／ｌの無機塩類を含んでいる。そのため、逆浸
透膜モジュールの運転においては、無機塩類によるスケ
ールが発生しない範囲に脱塩水の回収率を低く設定する
必要があり、イオン交換樹脂塔の運転においては、イオ
ン交換樹脂の再生頻度の増加により多量の再生剤および
再生水を必要とする等の欠点がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記実情に
鑑みなされたものであり、その目的は、フッ素含有廃水
から脱塩水を回収する方法であって、凝集沈殿設備と脱
塩装置とを結合した方法に比し、設備費および使用薬剤
の量が少なく且つ経済的有利に脱塩装置の運転が出来る
様に改良された上記の方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者は、種々検討を
重ねた結果、特定の方法から成る前処理工程の採用によ
り、上記の目的を容易に達成し得るとの知見を得、本発
明の完成に至った。

【０００８】すなわち、本発明の第１の要旨は固体粒子
が充填された流動床式晶析槽内においてフッ素含有廃水
とカルシウム剤とを反応させて生成するフッ化カルシウ
ムを固体粒子の表面に晶析させる晶析工程、当該晶析工
程から排出される処理水を濾過する濾過工程、当該濾過
工程から排出される処理水中に残存するフッ素成分を吸
着除去する吸着工程、および、当該吸着工程から排出さ
れる処理水中から塩類を除去して脱塩水を回収する逆浸
透膜モジュールから成る脱塩工程を包含することを特徴
とする、フッ素含有排水から脱塩水を回収する方法に存
する。

【０００９】そして、本発明の第２の要旨は、固体粒子
が充填された流動床式晶析槽内においてフッ素含有廃水
とカルシウム剤とを反応させて生成するフッ化カルシウ
ムを固体粒子の表面に晶析させる晶析工程、当該晶析工
程から排出される処理水を濾過する濾過工程、当該濾過
工程から排出される処理水中から塩類を除去して脱塩水
を回収するイオン交換樹脂塔から成る脱塩工程を包含す
ることを特徴とする、フッ素含有排水から脱塩水を回収
する方法に存する。

【００１０】

【発明の実施の形態】先ず、第１の要旨に係る本発明方
法（以下「ＲＯ法」と称する）について説明する。本発
明のＲＯ法は、晶析工程、濾過工程、吸着工程、脱塩工
程を順次に包含する。

【００１１】晶析工程においては、固体粒子が充填され
た流動床式晶析槽内においてフッ素含有廃水とカルシウ
ム剤とを反応させて生成するフッ化カルシウムを固体粒
子の表面に晶析させる。フッ素とカルシウムとは次の様
に反応してフッ化カルシウムを生成し。そして、凝集沈
殿法の場合と異なり、フッ化カルシウムは固体粒子（種
晶）の表面に析出する。

【００１２】

【化１】２Ｆ^- + Ｃａ²⁺ → ＣａＦ₂↓

【００１３】上記の様なフッ素含有廃水の処理法それ自
体は、例えばアメリカ特許第５，１０６，５０９号明細
書などに記載されて公知である。晶析槽内で使用する固
体粒子としては、その表面にフッ化カルシウムが析出し
得る限り特に制限されない。本発明においては、蛍石ま
たはリン鉱石が好適に使用される。また、固体粒子の粒
径は、晶析槽内に通水されるフッ素含有廃水の上昇流に
よって流動し得る限り特に制限されないが、通常０．１
〜０．３ｍｍとされる。一方、カルシウム剤としては、
廃水中のフッ素と容易に反応してフッ化カルシウムを生
成し得る限り特に制限されないが、塩化カルシウム、水
酸化カルシウム（消石灰）等が好適に使用される。

【００１４】図１は本発明で好適に使用される流動床式
晶析槽の一例の模式的説明図である。図示した流動床式
晶析槽（１０）の場合、フッ素含有廃水は、晶析槽（１
０）の底部に設けられた廃水供給配管（１）から供給さ
れ、晶析槽（１０）の上部に設けられた処理水排出配管
（２）から排出される。排出された処理水の一部は、処
理水排出配管（２）から分岐し且つ晶析槽（１０）の底
部に接続された処理水循環配管（３）を通して循環され
る。そして、カルシウム剤は、処理水循環配管（３）の
途中に設けられたカルシウム剤供給配管（４）から供給
される。一方、固体粒子（種晶）は、晶析槽（１０）の
上部に設けられた固体粒子供給配管（５）から供給さ
れ、晶析槽（１０）内で流動しつつフッ化カルシウムの
晶析によって次第に肥大化して沈降し、晶析槽（１０）
の下部に設けられた固体粒子排出配管（６）から排出さ
れる。

【００１５】カルシウム剤の添加量は、排水の組成や晶
析槽の運転条件によって異なるが、通常、廃水中のフッ
素に対する理論量の１．５〜３倍程度である。また、晶
析槽（１０）内のｐＨは４〜１０の範囲に調整するのが
好ましく、ｐＨ調整剤としては消石灰などのアルカリ又
は硫酸などの酸が使用される。

【００１６】濾過工程においては、上記の晶析工程から
排出され且つフッ素の大部分が除去された処理水を濾過
して懸濁物質を除去する。濾過装置としては、通常、砂
などの濾材を充填して構成される深層濾過（濾材層濾
過）装置が使用される。

【００１７】吸着工程においては、上記の濾過工程から
排出される処理水中に残存するフッ素成分を吸着除去す
る。このフッ素成分の吸着除去は、次工程の脱塩工程
（逆浸透膜モジュール）におけるフッ化カルシウムのス
ケール生成を防止するため、吸着工程から排出される処
理水中のフッ素濃度が０．１ｍｇ／ｌ以下となるまで行
われる。吸着工程におけるフッ素吸着剤としては、活性
アルミナよりフッ素除去性能の高いキレート樹脂が好適
に使用される。この場合、キレート樹脂でのフッ素除去
率を高めるため、濾過工程処理水に硫酸などの酸を添加
し、ｐＨを３〜５に調整した後にキレート樹脂に通水す
る。斯かるキレート樹脂としては、例えば、ユニチカ製
の商品「ＵＲ−３７００Ｓ」、新日本化学社製の商品
「ＲＥＡＤ−Ｆ」等が挙げられる。

【００１８】脱塩工程においては、逆浸透膜モジュール
を使用し、吸着工程から排出される処理水中から塩類を
除去して脱塩水を回収する。吸着工程から排出される処
理水中に含有される主な無機塩類は、ナトリウム、カル
シウム、アンモニウム等の陽イオン、塩化物イオン、硫
酸イオン、硝酸イオン、リン酸イオン、重炭酸イオン等
の陰イオン及びシリカである。

【００１９】逆浸透膜モジュールとしては、脱塩水製造
工程において使用されているものであれば制限なく使用
することが出来、スパイラル型、中空糸型、チューブラ
ー型などの何れであってもよい。また、膜の素材として
は、酢酸セルロース系、ポリアミド系、架橋ポリアミン
系、架橋ポリエーテル系、スルホン化ポリスルホン等が
適宜使用される。本発明では、市販の逆浸透膜モジュー
ルを適宜選択して使用すればよい。

【００２０】逆浸透膜モジュールによる脱塩処理におい
ては、吸着工程から排出される処理水に水酸化ナトリウ
ム等のアルカリ剤を添加してｐＨを３〜５の酸性から６
〜８の中性に調整した後、保安フィルタで濾過し、ポン
プで加圧後に逆浸透膜モジュールに導入する。そして、
透過水は脱塩水として回収し、濃縮水は放流するか又は
蒸発処理により含有する無機塩類を濃縮・乾燥してケー
キにする。この場合、蒸発処理の留出液は、逆浸透膜モ
ジュールの上流側などに返送して回収することが出来
る。また、乾燥ケーキは、産業廃棄物として処理する。

【００２１】ところで、逆浸透膜モジュールによる脱塩
処理においては、供給水流量に対する透過水流量の比率
（すなわち水回収率）を高くするほどに回収水量が多く
なり、また、濃縮水を蒸発処理する場合の蒸発水量を少
なく出来るため、経済的に有利となる。しかしながら、
水回収率を高くし過ぎた場合は、逆浸透膜モジュール供
給水中の無機塩が逆浸透膜の濃縮側に析出してスケール
となり、水の逆浸透膜透過を阻害する。そして、斯かる
スケールの生成により、比較的短期間で逆浸透膜モジュ
ールの運転圧力が増加し、遂には透過水量が減少して処
理不能となる。

【００２２】一般に、逆浸透膜モジュールにスケールを
生成させる無機塩としては、硫酸カルシウム、フッ化カ
ルシウム、炭酸カルシウム、シリカ等が挙げられるが、
前記の吸着工程から排出される処理水中でスケール生成
の原因となる無機塩として最も重要なものは、硫酸カル
シウムである。これに対し、フッ化カルシウムは前記の
吸着工程におけるフッ素除去により、また、炭酸カルシ
ウムは、ｐＨをやや酸性側（６程度）に調整することに
より、それぞれ逆浸透膜モジュールにおけるスケール生
成を回避できる。更に、シリカは、フッ素含有廃水中の
濃度が通常１０ｍｇ／ｌ未満であるため、水回収率９０
％でもスケールを生成しない。

【００２３】従って、逆浸透膜モジュールにおいてスケ
ールを発生させずに、出来るだけ高い水回収率を得るた
めには、前記の吸着工程から排出される処理水中の、硫
酸カルシウムのスケール生成に係わるカルシウムイオン
及び硫酸イオンの濃度を分析し、スケール発生のない範
囲内に水回収率を設定する必要がある。

【００２４】そして、本発明においては、晶析工程（流
動床式晶析槽）で使用するカルシウム剤や硫酸の添加量
が凝集沈殿装置を使用する方法よりも少ないため、逆浸
透膜モジュールにおける水回収率を高く設定することが
出来る。なお、本発明においては、逆浸透膜モジュール
の供給水にスケール抑制剤を添加し、スケールが生成す
る硫酸カルシウムやシリカの濃度を引き上げることによ
り、逆浸透膜モジュールの水回収率を更に高めることも
出来る。逆浸透膜モジュールから回収される脱塩水の水
質は、逆浸透膜モジュールの種類や運転条件によるが、
通常、電気伝導率で５ｍＳ／ｍ以下、シリカ濃度で５ｍ
ｇ／ｌ以下程度である。

【００２５】次に、第２の要旨に係る本発明方法（以下
「ＩＥ法」と称する）について説明する。本発明のＩＥ
法は、晶析工程、濾過工程、脱塩工程を順次に包含す
る。本発明のＩＥ法の前述のＲＯ法との相違点は、脱塩
工程にイオン交換樹脂塔を使用し、そして、斯かるイオ
ン交換樹脂塔より濾過工程から排出される処理水中の残
余のフッ素成分の吸着除去が可能であるため、必ずし
も、別途に吸着工程を必要としない点にある。

【００２６】イオン交換樹脂塔の型式としては、濾過工
程から排出される処理水中の無機塩類と残存するフッ素
成分を除去できるものであれば特に制限されない。上記
の処理水は、無機塩類濃度が高いが、炭酸、重炭酸イオ
ン及び炭酸イオンの濃度が比較的低いため、陽イオン交
換樹脂塔と陰イオン交換樹脂塔とを順に通水する２床２
塔型イオン交換装置が好ましい。また、イオン交換樹脂
塔の再生方式としては、並流再生式および向流再生式の
何れでもよいが、高純度の脱塩水が回収される後者が好
ましい。そして、陽イオン交換樹脂の再生には塩酸また
は硫酸、陰イオン交換樹脂の再生には水酸化ナトリウム
が使用される。

【００２７】イオン交換樹脂塔の再生廃液は、放流する
か又は蒸発処理により含有する無機塩類を濃縮して乾燥
してケーキにする。この場合、蒸発処理の留出液は、イ
オン交換樹脂塔の上流側などに返送して回収することも
出来る。また、乾燥ケーキは産業廃棄物として処理され
る。

【００２８】イオン交換樹脂塔の水回収率は、濾過工程
から排出される処理水中の無機塩類濃度によるが、通常
８０〜９０％程度である。また、イオン交換樹脂塔から
回収される脱塩水の水質は、イオン交換樹脂塔の型式に
もよるが、通常、電気伝導率で１ｍＳ／ｍ以下、シリカ
濃度で０．１ｍｇ／ｌ以下程度である。

【００２９】なお、フッ素含有廃水が過酸化水素を含む
場合は、逆浸透膜やイオン交換樹脂の酸化劣化を防止す
るため、粒状活性炭塔に通水する等の方法により過酸化
水素を除去した後に、逆浸透膜モジュール又はイオン交
換樹脂塔に通水するのが好ましい。

【００３０】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明は、その要旨を超えない限り、以下の実
施例に限定されるものではない。なお、以下の諸例にお
いては、回収原水としては、半導体製造工程から排出さ
れ且つ表１に示す水質のフッ素含有廃水を使用した。

【００３１】

【表１】

【００３２】実施例１主として、晶析工程、濾過工程、吸着工程、保安フイル
ター工程、脱塩工程を順次に包含し且つ次の表２に示す
仕様を有する処理装置を使用した。

【００３３】

【表２】＜晶析工程（図１に示す様な流動床式晶析槽）
＞流動床式晶析槽：内径１２５ｍｍ、高さ２５００ｃｍ
ｍ、固体粒子：粒径０．２ｍｍの蛍石（フッ化カルシウ
ム）、初期充填量１３Ｌ、充填高さ１０００ｍｍ＜濾過工程＞濾過器：内径２００ｍｍ、高さ１５００ｍｍ、濾材：粒
径０．５ｍｍの砂、充填量３０Ｌ、充填高さ９６０ｍｍ＜吸着工程＞吸着塔：内径２００ｍｍ、高さ１５００ｍｍ、キレート
樹脂：ユニチカ社製の商品「ＵＲ−３７００Ｓ」、充填
量３０Ｌ、充填高さ９６０ｍｍ＜保安フイルター工程＞フイルターエレメント：孔径１０μｍ、長さ２５０ｍ
ｍ、本数１本＜脱塩工程＞逆浸透膜モジュール：日東電工社製の商品「ＮＴＲ７５
９ＨＲ−Ｓ４」、本数１本

【００３４】上記の処理装置の運転は次の要領で行っ
た。晶析工程（流動床式晶析槽）は、フッ素含有廃水の
供給量：２００Ｌ／ｈ、処理水循環量：２００Ｌ／ｈ、
消石灰供給量：１４０〜１６０ｇ、晶析槽内ｐＨ：５〜
６、蛍石供給量（補充量）：０．５Ｌ／回／週、蛍石排
出量：３Ｌ／回／週の条件、濾過工程は、供給量（下向
流）：２００Ｌ／ｈ、濾材洗浄頻度：１回／日の条件、
吸着工程（キレート樹脂塔）は、供給量（下向流）：２
００Ｌ／ｈ、再生（下向流）頻度：１回／週（２５重量
％ＮａＯＨ：１４Ｋｇ／回，３５重量％ＨＣｌ：５Ｋｇ
／回）、処理水のｐＨ：３．５〜４（硫酸にて調整）の
条件、保安フイルター工程は、供給量：２００Ｌ／ｈの
条件、脱塩工程（逆浸透膜モジュール）は、供給量：２
００Ｌ／ｈ、処理水のｐＨ：６〜７（水酸化ナトリウム
にて調整）の条件で運転した。

【００３５】そして、逆浸透膜モジュールの水回収率を
８５％として２週間通水を行った。この期間中の逆浸透
膜モジュールの運転圧力は１．０ＭＰａで一定してお
り、スケール生成にる逆浸透膜モジュールの閉塞は認め
られなかった。表３に主要な運転結果を示す。

【００３６】比較例１実施例１において、流動床式晶析槽の代りに、それぞれ
撹拌機を備えた反応槽１（容量：５００Ｌ）、反応槽２
（容量：５００Ｌ）及び凝集槽（容量：２００Ｌ）と沈
殿槽容量：２０００Ｌ）から成る凝集沈殿設備を備えた
処理装置を使用し、凝集沈殿設備を除き、実施例１と同
一の条件で運転した。

【００３７】上記の凝集沈殿設備の運転は次の要領で行
った。反応槽１は、フッ素含有廃水の供給量：２００Ｌ
／ｈ、消石灰添加量：２０６ｍｇ／ｌ、滞留時間：３０
分、反応槽２は、硫酸添加量：５ｍｇ／ｌ、鉄系凝集剤
添加量：３０ｍｇＦｅ／ｌ、滞留時間：３０分、凝集槽
は、高分子凝集剤（ハイモ社製の商品「ＳＳ−１０
０」）添加量：５ｍｇ／ｌ、滞留時間：１２分、沈殿槽
は、スラッジ抜き出し量：１４Ｌ／ｈ、頻度：２回／ｈ
の条件で運転した。

【００３８】そして、逆浸透膜モジュールの水回収率を
８５％として２週間通水を行った。この期間中の逆浸透
膜モジュールの運転圧力は１．０ＭＰａで一定してお
り、スケール生成にる逆浸透膜モジュールの閉塞は認め
られなかった。表３に主要な運転結果を示す。

【００３９】そして、逆浸透膜モジュールの水回収率を
８５％として２週間通水を行った。この期間中の逆浸透
膜モジュールの運転圧力は１．０ＭＰａで一定してお
り、スケール生成にる逆浸透膜モジュールの閉塞は認め
られなかった。表２に主要な運転結果を示す。

【００４０】

【表３】

【００４１】実施例２及び比較例２実施例１及び比較例１において、それぞれ、逆浸透膜モ
ジュールの水回収率を９０％に変更したこと以外は、各
例と同一条件で運転を行った。そして、逆浸透膜モジュ
ールの運転圧力損失の経時変化を測定した。図２に結果
を示す。比較例２においては、逆浸透膜モジュールの水
回収率が９０％に高めたことにより、短期間の運転経過
後に運転圧力が著しく上昇した。これは逆浸透膜モジュ
ールの閉塞を意味する。この比較例２について、運転停
止後、逆浸透膜モジュールを解体して逆浸透膜の濃縮側
表面付着物を分析した結果、付着物の主体は硫酸カルシ
ウムであることが確認された。従って、この逆浸透膜モ
ジュールは、硫酸カルシウムのスケール生成によって閉
塞したことが判明した。

【００４２】実施例３実施例１において、脱塩装置として、逆浸透膜モジュー
ルの代りに以下の表４に示す仕様の２床２塔型のイオン
交換樹脂塔を備えた処理装置を使用し、脱塩装置の運転
を以下の様に行った以外は、実施例１同一条件で運転を
行った。

【００４３】

【表４】＜陽イオン交換樹脂塔（内径１５０ｍｍ、高さ
２０００ｍｍ）＞樹脂：三菱化学社製「ダイヤイオンＳＫ１Ｂ」２５Ｌ
（充填層高１３９０ｍｍ）通水：下向流、流量２００Ｌ／ｈ再生：上向流、３５％ＨＣｌ（再生剤）２．５Ｋｇ／回＜陰イオン交換樹脂塔（内径１５０ｍｍ、高さ２０００
ｍｍ）＞樹脂：三菱化学社製「ダイヤイオンＳＡ２０Ａ」２１Ｌ
（充填層高１１７０ｍｍ）通水：下向流、流量２００Ｌ／ｈ再生：上向流、２５％ＮａＯＨ（再生剤）２．９Ｋｇ／
回

【００４４】陽イオン交換樹脂および陰イオン交換樹脂
をそれぞれ再生した後に通水を開始し、陰イオン交換樹
脂塔での処理水の電気伝導率が１ｍＳ／ｍの破過点に達
するまでを１サイクルの処理とした。本実施例３におい
ては５サイクルの処理を続けて行った。そして、イオン
交換樹脂塔の脱塩性能が安定した３〜５サイクルにおけ
る処理水量およびその平均値を求めた。表５に結果を示
す。

【００４５】比較例３比較例１において、脱塩装置として、逆浸透膜モジュー
ルの代りに実施例３と同じ仕様の２床２塔型のイオン交
換樹脂塔を備えた処理装置を使用し、脱塩装置の運転を
実施例３と同様に行った以外は、比較例１同一条件で運
転を行った。そして、実施例３と同様に５サイクルの処
理を続けて行った。本比較例３の場合、各サイクル共に
通水時間が実施例３に比して２．５〜３時間短くなった
ため、次のサイクルの再生までイオン交換樹脂塔を待機
させた。そして、イオン交換樹脂塔の脱塩性能が安定し
た３〜５サイクルにおける処理水量およびその平均値を
求めた。表５に結果を示す。

【００４６】

【表５】

【００４７】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、フッ素含
有廃水からの脱塩水の回収方法であって、凝集沈殿装置
と脱塩装置とを結合した方法に比し、設備費および使用
薬剤の量が少なく且つ経済的有利に脱塩装置の運転が出
来る様に改良された方法が提供され、本発明の工業的価
値は大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明において好適に使用される流動床式晶析
槽の一例の模式的説明図

【図２】逆浸透膜モジュールの運転圧力損失の経時変化
を示すグラフ

【符号の説明】

１：廃水供給配管２：処理水排出配管３：処理水循環配管４：カルシウム剤供給配管５：固体粒子供給配管６：固体粒子排出配管１０：流動床式晶析槽

フロントページの続きＦターム(参考） 4D006 GA03 HA01 HA21 HA61 KA01 KA12 KB12 KB14 KD17 MA01 MA02 MA03 MB02 MB07 MC18 MC45 MC54 MC60 MC62 PA05 PB08 PB23 PB25 PB27 PB28 PC01 4D024 AA09 AB11 BA18 DB03 DB05 DB19 4D025 AA09 AB06 AB07 AB11 AB14 AB15 AB16 AB17 AB18 AB19 AB33 BA08 BA13 BB03 BB08 CA03 DA02 DA05 4D038 AA08 AB24 AB29 AB31 AB36 AB39 AB41 AB44 AB57 AB58 AB59 BA02 BA04 BB06 BB08 BB09 BB13 BB17

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】固体粒子が充填された流動床式晶析槽内
においてフッ素含有廃水とカルシウム剤とを反応させて
生成するフッ化カルシウムを固体粒子の表面に晶析させ
る晶析工程、当該晶析工程から排出される処理水を濾過
する濾過工程、当該濾過工程から排出される処理水中に
残存するフッ素成分を吸着除去する吸着工程、および、
当該吸着工程から排出される処理水中から塩類を除去し
て脱塩水を回収する逆浸透膜モジュールから成る脱塩工
程を包含することを特徴とする、フッ素含有排水から脱
塩水を回収する方法。
【請求項２】固体粒子が充填された流動床式晶析槽内
においてフッ素含有廃水とカルシウム剤とを反応させて
生成するフッ化カルシウムを固体粒子の表面に晶析させ
る晶析工程、当該晶析工程から排出される処理水を濾過
する濾過工程、当該濾過工程から排出される処理水中か
ら塩類を除去して脱塩水を回収するイオン交換樹脂塔か
ら成る脱塩工程を包含することを特徴とする、フッ素含
有排水から脱塩水を回収する方法。