JP2003103260A - フッ化物含有排水の処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＨＦ、ＨＢＦ_４、ＮＨ_４Ｆを含有する排水
を、逆浸透膜の目詰まりなしに効率良く分離処理して水
回収率を高めることができ、且つ、少ない薬品量で高効
率に処理可能なフッ化物含有排水の処理方法を提供す
る。 【解決手段】 逆浸透処理工程において、アルカリ金属
水酸化物を添加してｐＨ８以上に調整したフッ化物含有
排水を逆浸透膜に通水する。また、逆浸透処理工程の後
段に、透過水に残留するアンモニア性窒素を除去する脱
窒素工程を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フッ化物を含有す
る排水を逆浸透膜を用いて分離処理する処理方法に関
し、特に、逆浸透膜によって膜分離の効率を向上させ透
過水を再利用可能にフッ素濃度を低減すると共に濃縮水
の容量を高効率で減容化することができるフッ化物含有
排水の処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子ディスプレイ、半導体などの製造に
係る電子工業分野の製造工場においては多種類の薬品が
使用されており、主としてエッチング、洗浄などの生産
工程ではフッ化水素／フッ化水素酸（ＨＦ）、フッ化ホ
ウ素酸（ＨＢＦ_４）、フッ化アンモニウム（ＮＨ_４Ｆ）
等のフッ化物が多量に用いられる。したがって、このよ
うなフッ化物を含有する排水が大量に生じることとな
り、環境保全、資源の有効利用の立場からも水の再利用
のために排水処理が必須となってきている。

【０００３】フッ素含有水の処理方法の一手段として、
装置がコンパクトであり、処理コストの面で経済的な逆
浸透膜を用いる逆浸透膜分離法がある。逆浸透膜分離法
は、膜を透過しフッ素濃度が低減された透過水と膜に排
除され濃縮された濃縮水とに分離するものであり、高フ
ッ素濃度で減容化した濃縮水をさらに処理する必要があ
る。高いフッ素濃度の濃縮水の処理は、通常、水酸化カ
ルシウム（Ｃａ（ＯＨ）_２）、又は、塩化カルシウム
（ＣａＣｌ_２）を加えてフッ化カルシウム（ＣａＦ_２）
として沈殿槽で沈殿させる凝集沈殿法により行われ、汚
泥と上澄液に分離処理する。したがって、逆浸透膜によ
る分離段階における濃縮水の減容化度（透過水の回収
率）によって沈殿槽などの処理設備の形態、規模などが
決定されることとなるため、逆浸透膜の性能低下を防ぎ
ながら濃縮水を減容化することが一つの条件となる。

【０００４】そこで、例えばフッ素の他にカルシウムイ
オンを含むような場合には、逆浸透膜面におけるＣａＦ
_２のスケール析出による膜の目詰まりを防ぐため、逆浸
透膜による分離工程の前段で、水酸化カルシウムを反応
させて炭酸カルシウムとして不溶化する不溶化工程と固
液分離する固液分離工程とを設けて分離された上澄水に
ついて、硫酸を添加してｐＨ４〜６とし逆浸透膜に通水
し５０〜９５％の透過水と５〜５０％の濃縮水に分離す
る処理方法がある。

【０００５】同様にカルシウムイオンが共存する場合の
例として、ＣａＦ_２のスケール析出による逆浸透膜の目
詰まりを防ぐため、逆浸透膜による分離工程の前段にお
いて、カチオン交換樹脂に接触させてカルシウムイオン
を交換吸着するイオン交換工程を設け、カルシウム除去
された処理水について、ｐＨ４〜６に調整して逆浸透膜
に接触させ透過水と濃縮水に分離する処理方法が用いら
れており、この方法においても５０〜９５％を透過水と
し、５〜５０％の濃縮水を残すように運転されている。

【０００６】また、フッ素イオン濃度が１０００ｐｐｍ
以下のフッ酸廃液を濃縮処理する希フッ酸廃液濃縮処理
装置として、逆浸透膜が充填され直列及び並列に設置さ
れた逆浸透装置、フッ酸濃度計を有するフッ酸濃度測定
槽、ｐＨ測定計を有する希フッ酸廃液回収槽、希フッ酸
廃液濃縮槽、切換バルブ等を備え、希フッ酸廃液回収槽
に回収されＮａＯＨ液によりｐＨが中性に自動制御され
た１０００ｐｐｍ以下の廃液を逆浸透装置に通水して濃
縮処理し、濃縮水の一部は循環水として希フッ酸廃液回
収槽に回収し、連続的に循環濃縮処理することによって
１／２〜１／２０に濃縮減容する装置がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の処
理方法においては、ＨＦのような腐蝕性の強いフッ化物
を含有する排水を処理する場合に、処理装置の配管部
材、機器などを耐腐蝕性とする必要が生じ設備コストの
増加を招き、また、逆浸透膜の膜材質、形態によって差
異はあるが、逆浸透膜の耐久性についても、ＨＦ濃度と
しておよそ３００〜４００ｐｐｍを超える排水が直接接
触する場合には劣化が早く、分離性能が低下するため、
高頻度に膜の交換を要するという問題があった。

【０００８】また、水中では通常マイナスに帯電した状
態のコロイド状物質が多く存在しており、このコロイド
状物質が逆浸透膜表面の表面荷電基に引かれて付着する
ことが、逆浸透膜の汚染（ファウリング）の原因の一つ
であるが、半導体などの電子工業分野の製造工場から排
出される排水中にはフッ化物の他に主たるスケール成分
となるシリカ（ＳｉＯ_２）が共存している場合が多く、
さらに、逆浸透膜の汚染源ともなる細菌類の増殖が発生
することなどによって、透過水のフッ素濃度を所定のレ
ベルまで除去低下しつつ、濃縮水の減容化を高度に達成
することが困難であった。

【０００９】したがって、本発明は上記諸問題に鑑みて
成されたものであり、逆浸透膜の目詰まりなしにＨＦ、
ＨＢＦ_４、ＮＨ_４Ｆなどのフッ化物を含有する電子工業
の製造工場からの排水を、逆浸透膜によって効率良く分
離処理して水回収率を高めることができ、且つ、排水中
に含まれるフッ化物は少ない薬品量で高効率に処理可能
なフッ化物含有排水の処理方法を提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明は、フッ化物を含有する排水を透過水と濃縮水
とに逆浸透膜分離する逆浸透処理工程を有するフッ化物
含有排水の処理方法において、逆浸透処理工程では、ア
ルカリ金属水酸化物を添加してｐＨ８以上に調整したフ
ッ化物含有排水を逆浸透膜に通水することによって逆浸
透膜分離することを特徴とする。また、このフッ化物含
有排水の処理方法における逆浸透処理工程では、フッ化
物含有排水にアルカリ金属水酸化物を添加してｐＨ１０
〜１１に調整することが好ましい。なお、上記のような
フッ化物含有排水の処理方法においては、逆浸透処理工
程の後段に、透過水に残留するアンモニア性窒素を除去
する脱窒素工程を備えることが好適である。

【００１１】このような本発明のフッ素含有排水の処理
方法によれば、逆浸透処理工程において逆浸透膜に通水
される排水には、アルカリ金属水酸化物（例えば水酸化
ナトリウム：ＮａＯＨ）が添加され中性域を越えてｐＨ
８以上のアルカリ性側に調整されているため、排水中に
含まれるＨＦ、ＨＢＦ_４は完全に反応してアルカリ金属
塩（例：ＮａＦ、ＮａＢＦ_４）として存在しており、Ｈ
Ｆによる装置の腐蝕及び逆浸透膜耐久性低下に及ぼす影
響を考慮する必要が無くなる。

【００１２】また、ｐＨ８以上のアルカリ性域では、逆
浸透膜の膜表面電位が負電位、例えば架橋ポリアミド系
合成複合膜の場合には約−２０ｍＶとなるため、マイナ
スに帯電する排水中のコロイド状物質の逆浸透膜表面へ
の付着が防止され、耐ファウリング性が向上する。

【００１３】さらに、排水中に含まれるＳｉＯ_２の水に
対する溶解度は、共存物質によって影響を受けることは
あるが、中性域における約９５ｍｇ／ｌからｐＨ８では
約１１０ｍｇ／ｌに上昇し、ｐＨ１０において約３００
ｍｇ／ｌ、ｐＨ１１では約１４００ｍｇ／ｌとなる。し
たがって、ｐＨ８以上のアルカリ性域、特にｐＨ１０〜
１１においては、高濃度にＳｉＯ_２が含まれている場合
でもコロイド状ではなく溶解して存在し、スケールとし
て逆浸透膜表面への付着を防止できる。なお、ＨＦとＳ
ｉＯ_２が排水中に共存する場合、フッ化ケイ酸（Ｈ_２Ｓ
ｉＦ_６）となっており、アルカリ金属水酸化物が添加さ
れｐＨ８以上に調整されることによって、フッ化ケイ酸
アルカリ金属塩（例えばＮａ_２ＳｉＦ_６）としてＳｉＯ
_２単独の溶解度以上に溶解可能となる。したがって、Ｓ
ｉＯ_２濃度に比してフッ素濃度が充分高い場合、水に対
するＳｉＯ_２の溶解度以上に、フッ素濃度に応じた濃度
にまで逆浸透膜による濃縮が可能となるため、ＳｉＯ_２
が逆浸透膜表面へスケールとして付着するスケーリング
の発生がより抑制されることとなる。

【００１４】さらにまた、半導体などの電子工業分野の
製造工場から排出されるフッ化物含有排水中には、耐フ
ッ化物、耐酸性を有する生菌の存在が知られており、逆
浸透膜の目詰まり原因となっていた。例としてＦ濃度３
０ｐｐｍ、ｐＨ３〜５の実排水中に存在する５×１０^７
ｃｆｕ／ｍｌの生菌が逆浸透膜に接触する場合、ｐＨ６
から７の中性域では菌の増殖が著しく２４時間接触後で
は、１０^１０ｃｆｕ／ｍｌのレベルを超えるのに対し、
本発明条件によるｐＨ８で５×１０^８ｃｆｕ／ｍｌ、ｐ
Ｈ９では７×１０^７ｃｆｕ／ｍｌと増殖が抑制され、４
８時間接触後においても生菌数のオーダー変化を認めな
い。ｐＨ１０及び１１では２４時間接触後にはそれぞ
れ、１×１０^６ｃｆｕ／ｍｌ、８×１０^３ｃｆｕ／ｍｌ
に減少し、４８時間接触後にはそれぞれ７×１０^３ｃｆ
ｕ／ｍｌ、１０ｃｆｕ／ｍｌにまで減少する。すなわ
ち、本発明におけるフッ化物含有排水の処理方法によれ
ば、逆浸透膜目詰まりの一要因である細菌の増殖を抑制
することができ、特に排水のｐＨを１０〜１１に調整し
て長時間処理を連続する場合には、細菌による目詰まり
をほぼ無視し得る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について詳細に説明する。

【００１６】図１は、本発明によるフッ化物含有排水の
処理方法における第１の実施態様で用いられる処理装置
の概要を模式的に示すフロー図である。この第１の実施
態様としての処理方法では、ＨＦ、ＨＢＦ_４などアンモ
ニウムイオンを含有しないフッ化物含有排水を対象とす
る。処理装置は、アルカリ金属水酸化物を添加して排水
のｐＨを調整するｐＨ調整手段１と、通水される排水を
透過水と濃縮水に分離する逆浸透膜分離手段２と、沈殿
槽３１とカルシウムイオン添加部３２とを有し濃縮水を
処理する濃縮水処理手段３とを備える。

【００１７】また、フッ化物含有排水を排出する排出源
とｐＨ調整手段１を介して逆浸透膜分離手段２とを接続
し排水を逆浸透膜分離手段２に供給する供給配管１１
と、逆浸透膜分離手段２の透過水出口に接続される透過
水出口配管１２と、逆浸透膜分離手段２の濃縮水出口と
濃縮水処理手段３とを接続する濃縮水出口配管１３とが
設けられている。

【００１８】ｐＨ調整手段１は、排水にアルカリ金属水
酸化物を添加するアルカリ添加部と添加されたアルカリ
金属水酸化物と排水を撹拌するアルカリ撹拌槽とから構
成されても良い。ｐＨ調整手段１により、排水はｐＨ８
以上の所定のｐＨ値に調整されるため、ｐＨ調整手段１
より下流の供給配管１１を含めた逆浸透膜分離手段２、
濃縮水処理手段３、および各配管１２、１３の部材につ
いては、排水中に含まれるＨＦ、ＨＢＦ_４などによる腐
蝕性に耐える材質、形態とする必要がなくなる。したが
って、ｐＨ調整手段１の配置は排水源に近い位置に設け
ることでさらに設備費用の低減が可能である。

【００１９】逆浸透膜分離手段２に装備される逆浸透膜
の素材としては、酢酸セルロース系を除き、ｐＨ８以上
のアルカリ領域まで安定な耐アルカリ性のポリアミド
系、ポリビニルアルコール系、ポリスルホン系、ポリエ
ーテルアミド系、架橋ポリアミド系、架橋ポリエーテル
アミド系などのすべての複合膜が使用可能であり、特に
架橋ポリアミド系合成複合膜が好適である。また、形態
については、スパイラル型、プレート型、チューブラ型
など如何なるモジュール形式の形態であっても良い。

【００２０】本実施態様では、逆浸透膜分離手段２にお
ける透過水の水回収率を９５％を超えて９８％にまで高
く設定できる、つまり、濃縮水の容量の減容化率を１／
２０〜１／５０とすることも可能であることから、濃縮
水処理手段３、特に沈殿槽３１は小型のものを設置すれ
ば良いこととなり、これに応じて処理装置の設置費用が
低減可能である。

【００２１】このような処理装置を使用する第１の実施
態様としてのフッ化物含有排水の処理方法について、以
下に説明する。本実施態様において、必須となる処理工
程は、排水のｐＨを調整するｐＨ調整段階と、通水され
る排水を逆浸透膜分離する逆浸透膜分離段階と、濃縮水
を凝集沈殿して固液分離する濃縮水処理段階とからなる
逆浸透処理工程である。

【００２２】排水源からＨＦ、ＨＢＦ_４を含む排水が排
水供給配管１１を介して逆浸透膜分離手段２へ供給され
ることとなるが、排水源と逆浸透膜分離手段２との間の
排水供給配管１１にはｐＨ調整手段１が設けられてお
り、アルカリ金属水酸化物を排水に添加してｐＨ８以上
の所定のｐＨ値に、より好ましくはｐＨ１０〜１１に調
整する。このｐＨ調整手段１により排水に添加されるア
ルカリ金属水酸化物としては、ＮａＯＨ又は水酸化カリ
ウム（ＫＯＨ）が好適に使用されるが、他のアルカリ金
属水酸化物であっても良い。このｐＨ調整段階を経た排
水中のＨＦは、腐蝕性がなく水溶性の高いＮａＦ又はＫ
Ｆとして、また、ＨＢＦ_４も同様にＮａＢＦ_４又はＫＢ
Ｆ_４として存在することとなる。

【００２３】引き続いて、ｐＨ８以上の所定のｐＨ値に
調整された排水を、排水供給配管１１を介して逆浸透膜
分離手段２に供給する。排水は、ポンプ（図示無し）に
よって３〜２０Ｋｇｆ／ｃｍ^２の操作圧で逆浸透膜分離
手段２に通水され、装備されている逆浸透膜に接触して
透過水と濃縮水とに分離されるようになる。この逆浸透
膜分離段階において、逆浸透膜に接触する排水中には逆
浸透膜の分離性能を低下させる要因となるＨＦは存在し
ておらず、また、膜表面電位はマイナス電位となってお
り、コロイド状物質が排水中に存在している場合にも膜
表面への付着は抑えられている。

【００２４】さらに、排水中の主なスケール成分となる
ＳｉＯ_２の溶解度が上昇しており、特にｐＨ１０〜１１
にｐＨ値が調整されている場合にＳｉＯ_２は、３００〜
１４００ｐｐｍレベルにまで溶解可能である。また、ｐ
Ｈ調整段階においてｐＨ８以上に調整されていることに
よって、ＳｉＯ_２とＨＦが共存する場合にはＮａ_２Ｓｉ
Ｆ_６、又は、Ｋ_２ＳｉＦ_６としてＳｉＯ_２単独の溶解度
以上に溶解可能となり、ここで特にＳｉＯ_２濃度に比し
てフッ素濃度が高い場合には、膜表面へのスケール付着
がより抑制される。加えて、逆浸透膜の目詰まり要因で
あった細菌の増殖も抑制されている。したがって、目詰
まりすることなく、透過水の水回収率を９５％を超えて
９８％にまで設定可能（濃縮水減容化率：１／２０〜１
／５０）であり、且つ、フッ化物、ＳｉＯ_２については
９０％以上の除去率で除去できる。

【００２５】逆浸透膜分離段階で逆浸透膜分離手段２を
透過した透過水は、透過水出口から透過水出口配管１２
を介して回収される。回収された透過水は、排水中に含
まれていたＨＦ、ＨＢＦ_４のようなフッ化物がフッ素イ
オンとして９０％以上の高率で除去されており、フッ素
濃度は１ｐｐｍ、導電率は１００〜２００μＳ／ｃｍと
市水又は工業用水レベルの水質であり、他の用途に再利
用できる。一方、逆浸透膜分離段階で濃縮された濃縮水
は、逆浸透膜分離手段２の濃縮水出口から濃縮水出口配
管１３を介して濃縮水処理手段３の沈殿槽３１に送水さ
れる。沈殿槽３１に送水された濃縮水には、カルシウム
イオン添加部３２からＣａ（ＯＨ）_２又はＣａＣｌ_２が
添加され、濃縮水中に高濃度で含まれるＮａＦ、ＮａＢ
Ｆ_４はカルシウムイオンと反応して不溶性のＣａＦ_２と
して凝集沈殿され、汚泥と上澄処理水に分離する。

【００２６】この濃縮水処理段階における凝集沈殿法
は、従来からフッ素除去法として用いられている処理方
法であり、被処理水中のフッ素濃度にかかわらず２０〜
６０ｐｐｍの上澄処理水が得られる。つまり、処理しよ
うとする被処理水中のフッ素濃度が高濃度であればある
ほど、除去効率が高くなる処理方法である。本実施態様
において、仮に１００ｐｐｍのフッ化物含有排水を処理
した場合、逆浸透膜分離段階を経て１／２０〜１／５０
に減容化された濃縮水中のフッ素濃度は、２０００ｐｐ
ｍ〜５０００ｐｐｍにまで濃縮されることから、高い除
去率で処理可能であり、処理効率が向上できる。さらに
この濃縮水処理段階において、カルシウムイオン添加部
３２により被処理水としての濃縮水に添加される薬品量
は、１０^２ｐｐｍオーダーの低フッ素濃度被処理水では
通常過剰量の添加を要していたが、２０〜３０％低減で
きる。また、この時の凝集沈殿法の処理水フッ素濃度は
３ｐｐｍであり、充分環境中に放流もしくは他の目的に
再利用可能な水質である。

【００２７】図２は、本発明によるフッ化物含有排水の
処理方法における第２の実施態様で用いられる処理装置
の概要を模式的に示すフロー図である。この第２の実施
態様としての処理方法では、ＮＨ_４Ｆのようなアンモニ
ウムイオンを含有するフッ化物含有排水を対象とする。
本実施態様で使用する処理装置は、第１の実施態様で用
いた装置と同様にｐＨ調整手段１と、逆浸透膜分離手段
２と、沈殿槽３１とカルシウムイオン添加部３２とを有
する濃縮水処理手段３とを備える他、透過水出口配管１
２によって逆浸透膜分離手段２に接続される脱窒素処理
手段４を含む。以下、第１の実施態様と同様の部分につ
いては重複を避け説明を省略する。

【００２８】脱窒素処理手段４は、透過水出口配管１２
を介して供給される透過水中に含まれたアンモニア性窒
素を除去するものであり、脱窒素処理手段４の被処理液
となる透過水中のアンモニア性窒素をアンモニア（ＮＨ
_３）ガスに一旦ガス化し放散凝縮させて濃縮するＮＨ_３
濃縮部４１と、濃縮されたＮＨ_３水を加熱して再度ガス
化する加熱部４２と、酸化触媒を有しＮＨ_３ガスをＮ_２
ガスに酸化分解する触媒反応部４３とからなる。ＮＨ_３
濃縮部４１は、透過水を高アルカリ側のｐＨに調整する
ｐＨ調整タンクと、ＮＨ_３ガスを凝縮する放散塔とから
構成することにより、効率良くＮＨ_３濃縮ができる。加
熱部４２としては、１００℃に加熱可能であれば燃料燃
焼形式、電気加熱式など如何なる形式であっても良い
が、本実施態様では燃料燃焼形式のものを用いた。ま
た、触媒反応部４３の酸化触媒としては、ＮＨ_３ガスを
Ｎ_２ガスに酸化分解可能な触媒であれば如何なる触媒で
も良いが、ここでは二酸化マンガンによる酸化触媒を使
用した。

【００２９】なお、本実施態様においては、脱窒素処理
手段４として上記のような触媒反応形式の装置を採用し
たが、被処理液となる透過水は、アンモニア性窒素以外
の成分については再利用可能な市水レベルまで除去され
ているため、微生物によりＮ _２ガスに生分解する生分解
形式、塩素によりＮ_２ガスに酸化する不連続点塩素処理
形式、アンモニウムイオンとしてイオン交換反応により
吸着除去するイオン交換形式など、アンモニア性窒素を
除去可能な装置であればどのような形式の装置を用いて
も良い。

【００３０】このような処理装置を使用した第２の実施
態様としてのフッ化物含有排水の処理方法においては、
第１の実施態様と同様の逆浸透処理工程に加えて、透過
水中に残留するアンモニア性窒素を除去する脱窒素工程
を備える。本実施態様では、排水源からＮＨ_４Ｆを含む
フッ化物含有排水が排水供給配管１１を介して送水さ
れ、ｐＨ調整手段１は第１の実施態様と同様にしてアル
カリ金属水酸化物を排水に添加してｐＨ８以上の所定の
ｐＨ値に、より好ましくはｐＨ１０〜１１に調整する。
このｐＨ調整段階を経た排水中のＮＨ_４Ｆは、金属腐蝕
性がなく水溶性の高いＮａＦ又はＫＦと、ＮＨ_３ガス及
びＮＨ_３水化物として存在することとなる。特にｐＨ１
０以上の高アルカリ性において水中のＮＨ_３は、その殆
どがＮＨ_３ガスとして存在する。

【００３１】したがって、ｐＨ８以上の所定のｐＨ値に
調整された排水が逆浸透膜分離手段２に通水される逆浸
透膜分離段階において、ＳｉＯ_２が共存しＨ_２ＳｉＦ_６
として排水中に存在する場合を含めてフッ素の除去、濃
縮水の減容化などは第１の実施態様と同様に達成される
が、排水中のＮＨ_３ガスが逆浸透膜を透過して透過水中
にアンモニア性窒素として残留し、濃縮水中にもＮＨ_３
が含まれることとなる。透過水は透過水出口配管１２を
介して脱窒素処理手段４に送水され脱窒素処理工程によ
って透過水中に含まれたアンモニア性窒素を除去する。
この脱窒素処理工程は、透過水出口配管１２を介してＮ
Ｈ_３濃縮部４１に送水された透過水中のアンモニア性窒
素をＮＨ_３水として濃縮するＮＨ_３濃縮段階と、濃縮さ
れたＮＨ _３水を加熱部４２において１００℃に加熱して
再度ガス化する加熱段階と、ガス化されたＮＨ_３ガスを
触媒反応部４３において二酸化マンガンを有する酸化触
媒に接触することによってＮ_２ガスに酸化分解する酸化
分解段階とからなる。

【００３２】本実施態様のＮＨ_３濃縮段階では、ＮＨ_３
濃縮部４１が有するｐＨ調整タンクにおいて透過水にＮ
ａＯＨ、ＫＯＨなどのアルカリ金属水酸化物が添加され
高アルカリ側のｐＨに調整した後、ＮＨ_３濃縮部４１の
放散塔で放散することによってアンモニア性窒素をＮＨ
_３水として濃縮する。このＮＨ_３濃縮段階で一旦約１５
％のＮＨ_３水として濃縮することで、後段の加熱段階、
酸化分解段階においてＮＨ_３ガスがＮ_２ガスに効率良く
酸化分解され、９５％以上のアンモニア性窒素が除去で
きる。このような脱窒素工程を経た脱窒素処理水につい
ては、脱窒素被処理水としての透過水が、逆浸透処理工
程において予めフッ化物、ＳｉＯ_２などが除去されアン
モニア性窒素以外は第１の実施態様と同一の市水レベル
の水質であるため、他に再利用可能である。

【００３３】一方、逆浸透膜分離段階で濃縮された濃縮
水についての凝集沈殿法による処理については、濃縮水
中にＮＨ_３含が含まれている点を除いて第１の実施態様
と同様の条件であり、同一の濃縮水処理手段３によって
濃縮水処理段階の処理を行い汚泥と上澄処理水に分離す
ることができる。ただし、排水中に遷移金属を含有して
濃縮水中のＮＨ_３とアミン錯体を形成し、上澄処理水に
溶解する可能性がある場合にはカルシウムイオン添加部
３２からＣａ（ＯＨ）_２又はＣａＣｌ_２が添加される前
に該当する遷移金属を沈殿する処理を行う。また、濃縮
水中のＮＨ_３は、沈殿槽３１内で５０％以上ガス化して
臭気を発することとなるため、上記の透過水を処理する
ために用いたと同様の脱窒素処理手段４による脱窒素処
理工程を、濃縮水処理段階の前段に設けても良い。

【００３４】以下、本発明につき実施例を示して具体的
に説明するが、これにより本発明が限定されるものでは
ない。

【００３５】

【実施例】図１に示した処理装置を用いて第１の実施態
様に記載した処理方法によって、ＨＦ及びＨＢＦ_４のフ
ッ化物をフッ素として７４ｐｐｍ、ＳｉＯ_２を３４ｐｐ
ｍ、塩素を１０．６ｐｐｍ含有するｐＨ３．０の排水を
処理した。逆浸透膜分離手段の逆浸透膜は架橋ポリアミ
ド系合成複合膜によるスパイラル型（ダウ社製ＢＷ３０
−４０４０）を使用し、ｐＨ調整段階におけるアルカリ
金属水酸化物にはＮａＯＨを用いて排水のｐＨを１０．
５とした。逆浸透膜分離段階における操作圧は１５Ｋｇ
ｆ／ｃｍ^２とし、透過水の水回収率は９５％として運転
した。

【００３６】本実施例の処理結果を表１に示したとお
り、１／２０の濃縮水減容化がＨＦ及びＨＢＦ_４、Ｓｉ
Ｏ_２、塩素共９９％以上の除去率で達成された。

【表１】

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＨＦ、ＨＢＦ_４、ＮＨ_４Ｆなどのフッ化物を含有する電
子工業の製造工場からの排水を、逆浸透膜の目詰まりな
しに効率良く分離処理して水回収率を高めることがで
き、且つ、排水中に含まれるフッ化物は少ない薬品量で
高効率に処理可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による第１の実施態様の処理方法に用い
られる処理装置の概要を模式的に示すフロー図である。

【図２】同じく第２の実施態様の処理方法に用いられる
処理装置の概要を模式的に示すフロー図である。

【符号の説明】 １ ｐＨ調整手段 ２ 逆浸透膜分離手段 ３ 濃縮水処理手段 ４ 脱窒素処理手段 １１ 供給配管 １２ 透過水出口配管 １３ 濃縮水出口配管 ３１ 沈殿槽 ３２ カルシウムイオン添加部 ４１ ＮＨ_３濃縮部 ４２ 加熱部 ４３ 触媒反応部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D006 GA03 HA61 KA02 KA41 KA72 KB17 KB30 KD17 MA04 MA06 MB11 MC33 MC54 MC56 MC62 PB28 4D037 AA11 AB13 BA23 CA03

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フッ化物を含有する排水を透過水と濃縮
   水とに逆浸透膜分離する逆浸透処理工程を有するフッ化
   物含有排水の処理方法において、 前記逆浸透処理工程では、アルカリ金属水酸化物を添加
   してｐＨ８以上に調整したフッ化物含有排水を逆浸透膜
   に通水することによって逆浸透膜分離することを特徴と
   するフッ化物含有排水の処理方法。
2. 【請求項２】 前記逆浸透処理工程では、フッ化物含有
   排水にアルカリ金属水酸化物を添加してｐＨ１０〜１１
   に調整することを特徴とする請求項１に記載のフッ化物
   含有排水の処理方法。
3. 【請求項３】 前記逆浸透処理工程の後段に、透過水に
   残留するアンモニア性窒素を除去する脱窒素工程を備え
   ることを特徴とする請求項１又は２に記載のフッ化物含
   有排水の処理方法。