JP2003173957A - 現像装置 - Google Patents

現像装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 現像液を短時間のうちに、空気との接触の機
会が少ない状態で状態で回収する。 【解決手段】 カップ３の側壁７内側には支持片２３を
介してスカート状裾広がり形状の整流リング２５を取り
付けている。この整流リング２５の下端は現像液回収ポ
ケット２６内に臨んでおり、この現像液回収ポケット２
６は平面視が環状で断面が樋状をなすとともにその底面
が一方向に向かって傾斜し、その最下点において、チュ
ーブ２７が接続され、ポンプ２８を駆動することで現像
液回収ポケット２６内の現像液をタンク等に回収する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハやガ
ラス基板等の基板の表面に形成されたホトレジスト被膜
に対して現像を施す装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハやガラス基板等の基板に
微細な配線パターン等を形成するには、微細パターンの
マスクを介してエッチングやイオンドーピングなどの各
種処理を行う。そして、上記の微細パターンのマスクを
形成するには、基板表面にホトレジスト膜を形成し、こ
のホトレジスト膜に対して選択的に露光を行い、露光後
のホトレジスト膜に現像液を供給して、ネガ型のホトレ
ジスト膜であれば非露光部分を溶出し、ポジ型のホトレ
ジスト膜であれば露光部分を溶出して微細パターンを形
成する。
【０００３】上記の現像処理を行う装置として、基板を
回転せしめ、この基板上に現像液を供給し、遠心力で基
板全体に現像液を行き渡らせる回転式の現像装置が従来
から用いられている。この回転式の現像装置は基板上に
供給された現像液のうち、実際に現像に寄与する現像液
は僅かで、残りの現像液は基板の回転に伴って飛散して
しまい、大量の現像液が未使用に近い状態で捨てられて
しまうという問題があった。
【０００４】上記の問題を解消する現像装置として、特
開平１１−３０５４５０号公報および特開２０００−１
６４５０３号公報に開示される装置が知られている。特
開平１１−３０５４５０号公報に開示される現像装置
は、カップの内底部に現像液の回収ポケットを設け、特
開２０００−１６４５０３号公報に開示される現像装置
は、外側整流リングに直接現像液を衝突させて回収口よ
り回収するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した特開平１１−
３０５４５０号公報に開示される現像装置にあっては、
基板の回転速度を上げると、現像液が飛び散って回収ポ
ケットに回収できる現像液が少なくなり、回転速度を遅
くすると回収に時間がかかる不利がある。また、特開２
０００−１６４５０３号公報に開示される現像装置にあ
っては、整流リングから回収口へ現像液が落下する際に
空気を巻き込んでしまい、現在多用されている現像液は
アルカリ性であることから、空気中の炭酸ガスによって
現像液が劣化し、再利用に支障をきたすことになる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る現像装置は、カップ内に基板を保持して回転
せしめるチャックを配置し、前記カップ側壁の内側に例
えばスカート状裾広がり形状の整流リングを取り付け、
この前記整流リングの下端に沿って環状の現像液回収ポ
ケットを設けた。上記構成とすることで、基板の回転を
ある程度遅くしても現像液の回収効率は高くなり、且つ
現像液中への空気の混入を抑制できる。
【０００７】なお、前記現像液回収ポケットについて
は、底面を回収箇所に向かって傾斜させることで回収効
率を向上させることができる。回収箇所が複数ある場合
には、それぞれの回収箇所に向かって傾斜せしめること
が好ましい。
【０００８】空気との接触の割合を少なくし現像液の劣
化を防ぐため、現像液回収ポケットの上面の開口幅はで
きるだけ狭くし、深さは深くすることが好ましく、現像
液回収ポケット内に窒素ガスなどを供給してもよい。ま
た、整流リング及び現像液回収ポケット内面にフッ素樹
脂コーティングを施すことで、現像液の流れがスムーズ
になり回収を効率よく行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
現像装置の縦断面図、図２は同現像装置の平面図、図３
は同現像装置の要部拡大断面図、図４は現像液回収ポケ
ットの斜視図である。
【００１０】現像装置１は、平面視で矩形状をなすケー
ス２内にカップ３を配置している。ケース２内は排気兼
排液通路４とされ、ケース２の上面の四隅には点検用の
開口５が形成され、この点検用開口５の下方の排気兼排
液通路４内には排気中の現像液を落下せしめる邪魔板６
を配置している。尚、排気兼排液通路４の底板は若干傾
斜しており、最も低くなった箇所に排気兼排液口４ａを
形成している。
【００１１】また、前記カップ３は側壁７と底部８から
構成され、側壁７は上方に向かって徐々にその径が小さ
くなり、上端開口には整流筒９が設けられている。この
整流筒９はシリンダユニット１０にて昇降可能とされ、
現像装置１内に基板Ｗを投入する際には下降して基板Ｗ
の搬入の邪魔にならないようにし、現像処理中は上昇
し、カップ３内に乱流が生じにくくしている。
【００１２】一方、前記カップ３の底部８の中央部には
開口１１が形成され、開口１１にはスピンナー軸１２が
挿通し、このスピンナー軸１２はベース１３に取り付け
たモータ１４にて回転せしめられるとともにシリンダユ
ニット１５の作動で昇降動可能とされ、更にスピンナー
軸１２の上端には基板Ｗを吸着保持するチャック１６が
取り付けられている。
【００１３】また、前記底部８は中央の開口１１から径
方向外側に向かって下方に徐々に下がる傾斜部１７とこ
の傾斜部１７に連続する垂直部１８とこの垂直部１８に
連続するとともに外端部が前記排気兼排液通路４に臨む
水平部１９を有している。これら傾斜部１７、垂直部１
８及び水平部１９の表面にはフッ素樹脂コーティングが
施されており、表面に落下した現像液がスムーズに流れ
る
【００１４】そして、前記傾斜部１７の下方に底板２０
が配置され、これら傾斜部１７及び底板２０は支持片２
１を介してベース１３に取り付けられ、これら傾斜部１
７及び底板２０間の空間をトラップ部とし、開口１１を
伝って内側まで入り込んだ現像液をこのトラップ部に取
り込み、排出口２２から取り出すようにしている。
【００１５】また、前記カップ３の側壁７内側には支持
片２３を介してスカート状裾広がり形状の整流リング２
５を取り付けている。即ち、整流リング２５にも支持片
２４を設け、これら支持片２３，２４の何れか一方に長
穴を形成し、ボルトにより上下位置調整可能に取り付け
ている。
【００１６】前記整流リング２５の下端は現像液回収ポ
ケット２６内に臨んでいる。この現像液回収ポケット２
６は平面視が環状で断面が樋状をなすとともにその底面
が一方向に向かって傾斜し、その最下点において、チュ
ーブ２７が接続され、ポンプ２８を駆動することで現像
液回収ポケット２６内の現像液を図示しないタンク等に
回収する構造になっている。
【００１７】また前記現像液回収ポケット２６は円周上
４箇所において取付金具２９によって側壁７に固着され
ている。なお、図示例では回収ポケット２６の回収箇所
は１箇所としたが、複数箇所を回収箇所として回収効率
を高めてもよい。この場合は各回収箇所に向かって底面
が傾斜するようにする。
【００１８】以上において、ホトレジストに露光処理が
終了した基板Ｗに現像処理を施すには、シリンダユニッ
ト１５の作動でスピンナー軸１２とともにチャック１６
を上昇せしめ、また同時にシリンダユニット１０の作動
で整流筒９を下降せしめた状態で、基板Ｗを側方から搬
送してきてチャック１６上に載置する。
【００１９】この後、それぞれのシリンダユニット１
０，１５を逆方向に作動させて、整流筒９を上昇せしめ
るとともにチャック１６を下降せしめ、更に図示しない
ノズルから基板Ｗ表面に現像液を供給し液盛りする。現
像液の供給ノズルとしては、例えば、スリットノズルが
好ましい。
【００２０】上記のように基板Ｗ表面に現像液を液盛り
して所定時間経過したならば、モータ１４を駆動して基
板Ｗを回転せしめ、基板Ｗ上に盛られた現像液を除去す
る。このときの回転速度は１０〜３００rpmとする。ま
た、回転時間は３〜１５秒とする。
【００２１】以上の現像処理において、基板Ｗから飛散
する現像液の多くは整流リング２５内面に当たるが、整
流リング２５の形状がスカート状をしているため飛散す
ることなくまた空気と混合されることなく整流リング２
５内面に沿って下方に流下し、回収ポケット２６内に入
る。
【００２２】そして、回収ポケット２６内に入った現像
液は回収ポケット２６の底面の傾斜に沿って回収箇所ま
で流れ、ポンプ２８の駆動でタンクに回収され、再利用
に供される。
【００２３】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
基板から飛散する現像液をスムーズに回収することがで
きる。特に飛散から回収までの時間を短縮することがで
きるので、現像液と空気との接触の機会を減らすことが
でき、現像液の劣化を防止し、再生に有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る現像装置の縦断面図
【図２】同現像装置の平面図
【図３】同現像装置の要部拡大断面図
【図４】現像液回収ポケットの斜視図
【符号の説明】
１…現像装置、２…ケース、３…カップ、４…排気兼排
液通路、４ａ…排気兼排液口、５…点検用の開口、６…
邪魔板、７…カップ側壁、８…カップ底部、９…整流
筒、１２…スピンナー軸、１３…ベース、１４…モー
タ、１６…チャック、１７…底部の傾斜部、１８…底部
の垂直部、１９…底部の水平部、２０…底板、２１，２
４…支持片、２２…排出口、２５…整流リング、２６…
現像液回収ポケット、２７…チューブ、２８…ポンプ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 カップ内に基板を保持して回転せしめる
    チャックを配置し、前記カップ側壁の内側にスカート状
    裾広がりの整流リングを取り付けた現像装置において、
    前記整流リングの下端に沿って環状の現像液回収ポケッ
    トを設けたことを特徴とする現像装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の現像装置において、前
    記現像液回収ポケットの底面は回収箇所に向かって傾斜
    していることを特徴とする現像装置。
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