TW200300959A - Developing device - Google Patents

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Description

200300959 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【發明領域】 本發明係關於對形成於半導體晶圓或玻璃基板等的基 板表面的光阻被膜實施顯影的裝置。 【發明背景】 【習知技藝之說明】 對於在半導體晶圓或玻璃基板等的基板形成微細的配 線圖案（Pattern)等，中介微細圖案的罩幕（Mask)進行蝕刻 (Etching)或離子摻雜（Ion doping)等的各種處理。 而且，對於形成上述微細圖案的罩幕在基板表面形成 光阻（Photoresist)膜，對此光阻膜選擇性地進行曝光，對曝 光後的光阻膜供給顯影液，若爲負（Negative)型光阻膜的話 溶解析出非曝光部分，若爲正（Positive)型光阻膜的話溶解 析出曝光部分，形成微細圖案。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 進行上述顯影處理的裝置，習知以來使用使基板旋轉 在此基板上供給顯影液，利用離心力使顯影液遍及基板全 體的旋轉式顯影裝置。此旋轉式顯影裝置在供給到基板上 的顯影液之中，實際有助於顯影的顯影液很少，剩餘的顯 影液伴隨著基板的旋轉而飛散，有大量的顯影液接近未使 用的狀態而被捨棄的問題。 爲了解除上述問題，已知有日本特開平1 1-305450號公 報以及日本特開2000- 164503號公報所揭示的裝置。 日本特開平1 1 -305450號公報所揭示的顯影裝置是在蓋 筒的內底部配設顯影液的回收袋，日本特開2000- 1 64503號 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3- 200300959 A7 B7 五、發明説明（2) 公報所揭示的顯影裝置是在外側整流環直接使顯影液碰觸 而由回收口回收。 【發明槪要】 對於上述日本特開平1 1 -305450號公報所揭示的顯影裝 置，若提高基板的旋轉速度的話，顯影液飛散可回收到回 收袋的顯影液少，若降低旋轉速度的話，有回收花時間的 不利。而且，對於日本特開2000- 1 64503號公報所揭示的顯 影裝置在顯影液由整流環落下到回收口時會捲入空氣，因 現在常用的顯影液爲鹼性，故因空氣中的碳酸氣體使顯影 液劣化，對於再利用造成障礙。 爲了解決上述課題，與本發明有關的顯影裝置，是在 蓋筒內配置保持基板使其旋轉的夾頭，在該蓋筒側壁的內 側安裝例如裙狀逐漸擴大形狀的整流環，沿著該整流環的 下端配設環狀的顯影液回收袋。 藉由上述構成，即使降低基板的旋轉某種程度也能提 高顯影液的回收效率，且可抑制對顯影液中的空氣的混入 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此外，針對上述顯影液回收袋，藉由使底面朝回收位 置傾斜，可提高回收效率。對於回收位置有複數個的情形 ，使其朝各個回收位置傾斜較佳。 爲了減少與空氣的接觸比例防止顯影液的劣化，儘可 能減少顯影液回收袋的頂面開口寬，且深度加深較佳，在 顯影液回收袋內供給氮氣等也可以。而且，藉由在整流環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6- 200300959 A7 B7 五、發明説明（3) 以及顯影液回收袋內面實施氟樹脂塗佈，使顯影液的流動 平順，可有效地進行回收。 【圖式之簡單說明】 圖1是與本發明有關的顯影裝置的縱剖面圖。 圖2是同顯影裝置的俯視圖。 圖3是同顯影裝置的主要部位擴大剖面圖。 圖4是顯影液回收袋的斜視圖。 【符號說明】 1:顯影裝置 2:外殼 3:蓋筒 經濟部智总財產局員工消費合作社印製 4:排氣兼排液通路 4a:排氣兼排液口 5 :點檢用的開口 6:妨礙板 7 :蓋筒側壁 8:蓋筒底部 9:整流筒 10、1 5 :汽缸單元 11:開□ 12:旋轉器軸 13:基座 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 200300959 A7 ___B7 五、發明説明（4) U:馬達 16:夾頭 Π:底部的傾斜部 18:底部的垂直部 19:底部的水平部 20:底板 21 ' 24··支持片 22:排出口 25:整流環 26:顯影液回收袋 27:管 28:泵 29:安裝接頭 【較佳實施例之詳細說明】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以下根據添附圖示說明本發明的實施形態。此處，圖1 是與本發明有關的顯影裝置的縱剖面圖。圖2是同顯影裝 置的俯視圖。圖3是同顯影裝置的主要部位擴大剖面圖。 圖4是顯影液回收袋的斜視圖。 顯影裝置1在俯視呈矩形狀的外殻2內配置蓋筒（Cup)3 。外殻2內被作成排氣兼排液通路4，在外殼2的頂面的四 角形成有點檢用的開口 5，在此點檢用的開口 5的下方的排 氣兼排液通路4內，配置使排氣中的顯影液落下的妨礙板6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -8- 200300959 A7 B7 五、發明説明（5) 此外，排氣兼排液通路4的底板多少傾斜，在最低的 位置形成排氣兼排液口 4a。 而且，前述蓋筒3由側壁7與底部8構成，側壁7其 直徑朝上方慢慢地變小，在上端開口配設有整流筒9。此整 流筒9可由汽缸單元10升降，當在顯影裝置1內投入基板 W時下降，以不成爲基板W傳入的妨礙，顯影處理中上升 ，在蓋筒3內使亂流很難產生。 另一方面，在前述蓋筒3的底部8的中央部形成有開 口 11，在開口 11插通旋轉器（Spinner)軸12，此旋轉器軸 12藉由安裝於基座（Base)13的馬達14旋轉，並且可由汽缸 單元1 5的動作升降，再者在旋轉器軸1 2的上端安裝有吸 附保持基板W的夾頭（Chuck)16。 而且，前述底部8具有由中央的開口 11朝直徑方向外 側慢慢地下降的傾斜部17，與在此傾斜部1 7連續的垂直部 1 8，與在此垂直部1 8連續並且外端部面對前述排氣兼排液 通路4的水平部19。在這些傾斜部17、垂直部1 8以及水 平部19的表面被實施氟樹脂塗佈，使落到表面的顯影液評 順地流動。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而且，在前述傾斜部17的下方配置有底板20，這些傾 斜部17以及底板20中介支持板21安裝於基座1 3，令這些 傾斜部17以及底板20間的空間爲存水彎（Trap)部，將傳入 開口 11流入到內側的顯影液取入此存水彎部，用以由排出 口 22取出。 而且，在前述蓋筒3的側壁7內側中介支持板21安裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）' -9 - 200300959 A7 _____B7_ 五、發明説明（6) 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 裙狀逐漸擴大形狀的整流環25。即在整流環25也配設支持 片24，在這些支持片23、24的任一個形成長孔，藉由螺栓 (Bolt)可上下位置調整地安裝。 前述整流環25的下端面對顯影液回收袋26內。此顯 影液回收袋26爲在俯視爲環狀，剖面呈導水管狀，並且其 底面朝一方向傾斜，在其最下點中連接有管（Tube)27,藉由 驅動泵28將顯影液回收袋26內的顯影液回收到未圖示的 槽等的構造。 而且，前述顯影液回收袋26在圓周上四個位置中藉由 安裝接頭29固著於側壁7。 此外，雖然在圖示例中令回收袋26的回收位置爲一個 ，但令複數個位置爲回收位置以提高回收效率也可以。此 情形朝各回收位置使底面傾斜。 在以上中，對於對光阻完成曝光處理的基板W實施顯 影處理，在藉由汽缸單元1 5的動作使旋轉器軸1 2以及夾 頭16上升，而且，同時藉由汽缸單元1〇的動作使整流筒9 下降的狀態下，由側方傳送基板W載置於夾頭1 6上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然後，使各汽缸單元10、1 5反方向動作，使整流筒9 上升並且使夾頭16下降，更由未圖示的噴嘴對基板w表面 供給盛裝顯影液。顯影液的供給噴嘴例如狹縫噴嘴（Slit η ο z z 1 e)較佳。 如上述在基板W表面盛裝顯影液若經過預定時間的話 ，驅動馬達14使基板W旋轉，除去盛裝在基板w上的顯 影液。令此時的旋轉速度爲10〜3OOrpm。而且，令旋轉時間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -10 200300959 A7 ___B7 五、發明説明（7) 爲3〜5秒。 在以上的顯影處理中，由基板W飛散的顯影液的許多 會碰觸整流環25內面，但是因整流環25的形狀爲裙狀， 故不飛散而且不與空氣混合，沿著整流環25的內面流到下 方，進入回收袋26內。 而且，進入回收袋26內的顯影液沿著回收袋26的底 面的傾斜流到回收位置，藉由泵28的驅動回收到槽以供再 利用。 【發明的功效】 如以上的說明如果依照本發明，可平順地回收由基板 飛散的顯影液。特別是因可縮短由飛散到回收的時間，故 可減少顯影液與空氣的接觸機會，對於防止顯影液的劣化 、再生有利。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11-

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 200300959 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 1、 一種顯影裝置，是在蓋筒內配置保持基板使其旋轉 的夾頭，在該蓋筒側壁的內側安裝裙狀逐漸擴大的整流環 ，其特徵爲： 沿著該整流環的下端配設環狀的顯影液回收袋。 2、 如申請專利範圍第1項所述之基板的顯影裝置，其 中該顯影液回收袋的底面朝回收位置傾斜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）
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