JP2003160378A - 誘電体磁器組成物及び電子部品 - Google Patents
誘電体磁器組成物及び電子部品Info
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Abstract
した状態で高い電界強度下での容量抵抗積が高く、Bi
as特性に優れ、信頼性の高い積層セラミックコンデン
サ用として好適な誘電体磁器組成物を提供する。 【解決手段】 組成式が(Ba1-x Cax )a TiO
2+a (但し、0≦x≦0.02、0.998≦a≦1.
005)からなる主組成物100molに対して、(B
a1-y Sry )b SiO2+b (但し、0≦y≦1.0、
0.8≦b≦1.2)で表される酸化物ガラス0.3〜
1.5molと、MgO−MnO−Ln2 O 3 (但し、
Ln=Ho,Y,Yb,Erから選択された1種類また
は2種以上の元素)からなる主添加物とを含有させるよ
うに調整する。
Description
磁器組成物と、その誘電体を用いた積層セラミックコン
デンサなどの電子部品に関するものである。
方法により作製されるのが一般的である。まず、誘電体
粉末に有機バインダーや可塑剤、有機溶剤を混合してス
ラリーを作製し、ドクターブレード法等によりセラミッ
クグリーンシートを作製する。得られたグリーンシート
上に内部電極となる電極材料を塗布し、複数枚積層して
熱圧着し、一体化させたものを大気中において1000
〜1300℃で焼成して焼成体を作製する。得られた焼
成体の端面に内部電極と電気的に導通する外部電極を焼
き付けることにより積層磁器コンデンサは製造される。
特徴を示す鉛系誘電体を用いた積層セラミックコンデン
サの内部電極は白金、パラジウム、銀−パラジウムとい
った貴金属が用いられてきた。これは、大気中焼成でも
誘電体材料と反応せず、酸化することによる抵抗の増大
も起らないためであった。しかし、近年の貴金属の高
騰、特にパラジウムが2000円/g以上と高価になっ
ているため、製造コストを高くする原因となっている。
から、各国において環境法規が整備されており、誘電体
材料に含まれる鉛も電子機器を構成する電子部品に含ま
れている有害物質の一つとして提示されている。現在の
ところ電子セラミック部品に含まれる鉛は適応外となっ
ているものの、鉛を使用しないチタン酸バリウム系の誘
電体を使用する方向になってきている。このように、コ
ストの削減のために、内部電極として卑金属であるNi
を用い、環境の面に配慮した鉛フリーのチタン酸バリウ
ム系の誘電体材料を用いることが、一般的になってきて
いる。
(Ag- Pd)ではなく卑金属であるNiを用いる場
合、問題となるのは焼成時の雰囲気である。大気中及び
酸化雰囲気下での焼成ではNiが酸化され、内部電極と
しての役割を果たさなくなる。そのため、還元雰囲気下
での焼成が必要となり、誘電体材料も還元雰囲気で焼成
可能な材料となる。鉛系誘電体材料ではNiがNiOに
変わる酸素分圧でも、PbOがPbになってしまうとい
うことから、この条件下では使用できない。 このため、
鉛フリーのチタン酸バリウム系の誘電体材料を使用しな
くてはならない。
では、主成分であるTiの価数が4価から3価に還元さ
れ半導体化すると共に、酸素空位が増加することによる
平均寿命(絶縁劣化時間)の低下が観察される。この対
策として、アクセプターとして働くMnO,Co2 O3
等を添加することによるTiの還元を抑制し、再酸化処
理により酸素空位を低減することにより、半導体化する
ことを防止し、ドナーとして働く希土類元素(Y
2 O3 ,Ho2 O3 ,Dy2 O3 )等を添加し陽イオン
空位を形成することにより、平均寿命(絶縁劣化時間)
の低下を防止している。
機器の高性能化に伴い、中高圧下で使用でき、かつ大容
量であるセラミックコンデンサの需要が増加している。
実際には、携帯電話やビデオカメラのバッテリーチャー
ジャーを代表する小型スイッチング電源、DC/DCコ
ンバーター等の電源ユニット、蛍光灯などの照明回路等
のインバーター、デジタルスチルカメラ、コンパクトカ
メラ等のストロボ回路、MODEM、ISDN等の情報
通信機器を中心に著しい伸びが見られている。そして、
最近の高耐圧品に対応するには、高電界強度(5V/μ
m)でのCR積は3000Ω・F以上あることが望まし
い。さらに、通常は5V/μmもの高電界強度を負荷す
ると寿命特性が低下するが、寿命特性においても従来以
上の特性が要求される。また、小型化に伴って発熱が大
きくなるので、温度特性もX7RまたはB特性が求めら
れている。
ために前記の従来の材料、例えば特開平6−34273
5、特開平10−255549、特開昭61−1014
59号、特公昭61−14611号等に開示されている
材料を用いた場合、高電界強度下で、高誘電率(>20
00)特性は得られるものの、信頼性の低下(絶縁劣
化)、諸特性の低下、特にDCBias電圧による容量
の低下が問題となっていた。 さらにこのような材料をも
ってしても、高電界強度(5V/μm)でのCR積は2
000Ω・F以下である。
を解決するために提案されたものであり、その目的は、
Ni内部電極積層セラミックコンデンサ用として好適な
還元雰囲気焼成可能で高い誘電率を有し、高電界強度特
性の良好な誘電体磁器組成物を提供することにある。ま
た、静電容量の温度特性がEIA規格で規定するX7
R、JIS規格で規定するB特性を満足する信頼性の高
い電子部品を提供することである。具体的には、層厚2
0μm以上において誘電率が3000以上を示し、高い
電界強度(5V/μm)で使用した時、静電容量と絶縁
抵抗との積(CR積)が20℃で3000Ω・F以上
で、150℃で15V/μmになるように電圧を印加し
た加速寿命試験において絶縁抵抗が105 Ωに達するま
での時間が1000時間以上と長く、また、耐圧が80
V/μm以上、5V/μmの印加時における静電容量の
低下率が45%以下の特性を有する積層セラミックコン
デンサなどの電子部品を提供することである。
題を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、請求項1に記載
の通り、誘電体材料として、組成式が(Ba1-x C
ax )a TiO2+a (但し、0≦x≦0.02、0.9
98≦a≦1.005)からなる主組成物100mol
に対して、(Ba1-y Sry )b SiO2+b (但し、0
≦y≦1.0、0.8≦b≦1.2)で表される酸化物
ガラス0.3〜1.5molと、MgO−MnO−Ln
2 O3 (但し、Ln=Ho,Y,Yb,Erから選択さ
れた1種類または2種以上の元素)からなる主添加物と
を有することを特徴とする誘電体磁器組成物を用いるこ
とにより、上記課題を達成し得ることを見出した。
た(Ba1-x Cax )a TiO2+aを用いることによ
り、還元雰囲気で焼成可能で良好な特性を示す誘電体磁
器組成物を得ることができる。そして、主成分である
(Ba1-x Cax )a TiO2+aに上記の各添加物を添
加する場合、まず、添加物を1100℃以上の高温度で
仮焼きし、粉砕することにより均一化し、これを主組成
物の(Ba1-x Cax )aTiO2+a に添加することが
好ましい。この方法により焼結した後に粒界に選択的に
これらの添加物を均一に析出させることが可能となり、
絶縁抵抗及び信頼性の向上が見られる。また、添加物の
比重差が小さいために、より均一なグリーンシートを作
製することも可能である。
Yb,Erから選択された1種類または2種以上の元素
を添加することが望ましい。 Ho,Y,Yb,Erはほ
ぼ同じような特性を示し、これらから選択された1成分
を使用しても、組み合わせて使用しても同様な結果が得
られる。
O3 (但し、Ln=Ho,Y,Yb,Erから選択され
た1種類または2種以上の元素)からなる主添加物は、
それぞれ主組成物である(Ba1-x Cax )a TiO
2+a 100molに対して各添加物がMgO:0.5〜
2.5mol、MnO:0.05〜0.5mol、Ln
2 O3 :0.2〜2.0molであり、この添加物の平
均粒径は0.1μm以下であることが望ましい。
径が0.3〜0.6μmである原料に、平均粒径0.1
μm以下の前記添加物を混合することが望ましい。これ
により、焼成時に均一な焼結が行われるため、クラック
が生じにくくなる。そのため、層厚が10〜50μmの
広範囲において、安定した電気特性が得られる。
径を0.3〜0.6μm、さらに0.4〜0.5μmに
することが望ましい。この範囲未満では誘電率が低下
し、この範囲を超えてしまうと、DCBias特性及び
信頼性が悪化してしまう。
加物を含有すると共に副添加物として、V2 O5 または
MoO3 の少なくともいずれか一方を前記主組成物に対
して0.05〜0.5mol添加することが望ましい。
これにより、信頼性が向上する。
(Ba1-x Cax )a TiO2+a (但し、0≦x≦0.
02、0.998≦a≦1.005)からなる主組成物
100molに対して、(Ba1-y Sry )b SiO
2+b (但し、0≦y≦1.0、0.8≦b≦1.2)で
表される酸化物ガラス0.3〜1.5molと、MgO
−MnO−Ln2 O3 (但し、Ln=Ho,Y,Yb,
Erから選択された1種類または2種以上の元素)から
なる主添加物等の置換量、元素、添加量を選択したの
は、以下の理由による。
O2+a のCaの置換量xが0≦x≦0.02、さらに
0.005≦x≦0.015であることが望ましい。絶
縁性の向上という点ではxは0でも効果は低減しない
が、適応範囲では、耐還元性が向上するのでCR積が高
くなる。ここで、xがこの範囲を超えてしまうと焼結性
が低下するので誘電率とCR積が低下し、その他の特性
も悪化させてしまう。また、aの範囲が0.998≦a
≦1.005、さらに1.001≦a≦1.003であ
ることが望ましい。この範囲未満では、急激な粒成長を
起こし易く誘電損失を悪化させてしまう。一方、この範
囲を超えると、焼結性が低下する。
る酸化物ガラスのyが0〜1.0、さらに0.5〜1.
0の間に、bが0.8〜1.2、さらに0.9〜1.1
の間にあることが望ましい。焼結性の向上という点では
yは0でも効果は低減しないが、絶縁抵抗を改善させる
ことができ、CR積が高くなるので、置換量yはこの範
囲が好ましい。 また、bがこの範囲未満では、主組成物
と過剰に反応を起こし、粒成長を引き起こす場合があ
る。そのため信頼性が低下するので、IR寿命が低下し
てしまう。一方、この範囲を超えると焼結性が低下す
る。
0≦y≦1.0、0.8≦b≦1.2)で表される酸化
物ガラスの添加量が0.3〜1.5mol、さらに0.
5〜1.2molの間にあることが望ましい。この範囲
未満では、焼結助剤としての役割が低下して焼結性が低
下する。また、この範囲を超えてしまうと誘電率が低下
すると共に、耐圧も悪化させてしまう。
0.9molとし、さらに(Ba1- x Cax )a TiO
2+a のCaの置換量xを0.005≦x≦0.015と
し、aの範囲を1.001≦a≦1.003とすること
によって、高い電界強度(5V/μm)での高信頼性を
得ることができる。
Ln2 O3 (但し、Ln=Ho,Y,Yb,Erから選
択された1種類または2種以上の元素)からなる主添加
物は、それぞれ主組成物である(Ba1-x Cax )a T
iO2+a 100molに対して各添加物がMgO:0.
5〜2.5mol、MnO:0.05〜0.5mol、
Ln2 O3 :0.2〜2.0molとしたのは、以下の
理由による。
gO≦2.5mol、さらに1.0mol≦MgO≦
2.0molであることが望ましい。 この範囲未満で
は、低温側の容量の変化率が大きくなってしまい、温度
特性が低下する。また、粒成長も起こし易くなり、Bi
as特性も悪化してしまう。また、この範囲を超えてし
まうと、誘電率が低下してしまうと共に、信頼性も低下
してしまう。これに加えて、MnOが0.05mol≦
MnO≦0.5mol、さらに0.10mol≦MnO
≦0.3molであることが望ましい。この範囲未満で
は、誘電損失が大きく、絶縁抵抗、Bias特性、信頼
性の向上の効果が低減する。この範囲を超えると、絶縁
抵抗が低下すると共に信頼性が低下してしまう。
b,Erから選択された1種類または2種以上の元素)
を0.2mol≦Ln2 O3 ≦2.0mol、さらに
0.5mol≦Ln2 O3 ≦1.2mol添加すること
が望ましい。この範囲未満では信頼性の向上の効果が低
減し、この範囲を超えると焼結性、信頼性が低下する。
物を含有すると共に副添加物として、V2 O5 またはM
oO3 の少なくともいずれか一方を前記主組成物に対し
て0.05〜0.5mol添加することが望ましい。 前
記主組成物と主添加物を配合することにより高信頼性を
示すが、この副添加物を添加することにより、更に信頼
性を向上させることが可能である。一方、0.5mol
を超えてしまうと、CR積が低下してしまう。
磁器組成物を前記のような組成範囲にすることにより、
1150〜1300℃の還元雰囲気焼成温度で焼成可能
で、高誘電率を有し、高電界強度特性の良好な誘電体材
料を得ることができる。
誘電体組成物を用いたNi内部電極を用いた積層セラミ
ックコンデンサは、X7R、B特性の温度特性を有し、
層厚20μm以上で誘電率が3000以上を示し、高い
電界強度下(5V/ μm)での容量抵抗積が20℃で3
000Ω・F以上で耐圧も80V/μm以上と極めて高
く、5V/μmの印加における静電容量の低下率が45
%以下で、150℃で15V/μmになるように電圧を
印加した加速寿命試験での絶縁抵抗の劣化に至るまでの
時間が1000時間以上である電子部品である。
をさらに詳細に説明する。 [1.製造工程] [1−1.誘電体スラリーの調製]誘電体ベース材料と
して、平均粒径が0.4μmの(Ba1-x Cax )a T
iO2+a を用いた。なお、この(Ba1-x Cax )a T
iO2+a はシュウ酸塩共沈法で得られたものを使用し
た。主添加物(MnO、MgO、Ln2 O3 )の酸化物
は、それぞれ、表1に示した組成に従って所定の量を秤
量した。これらをアルミるつぼに入れ、1150℃で4
時間の仮焼を行った。次に、得られた仮焼粉を、ジェッ
トミル、アトライタミルなどの微粉砕機を用いて粉砕す
ることにより、平均粒径が0.1μmの酸化物粉末を得
た。なお、この酸化物粉末は、作製条件により一部また
は全部がガラス化する場合があるが、その組成が均一で
あれば得られる特性には大きな差はない。
る酸化物ガラスは、BaCO3 、SrC3 ,SiO2 を
ボールミルにより24時間湿式混合し、乾燥後、115
0℃の空気中で焼成し、ジェットミル、アトライタミル
などの微粉砕機を用いて粉砕することにより、製造し
た。
料と酸化物粉末及び酸化物ガラスから、元素の配合比率
の異なる複数の誘電体原料を作製した。すなわち、各誘
電体原料1000gに対して、水とエチルアルコール及
び分散剤を80:19:1で混合した溶剤を700g入
れ、ホモジナイザーを用いて分散させた。この混合物
を、通常の良く知られている分散方法であるボールミル
やアトリッションミルを用いて20時間分散させた後、
さらに水性エマルジョンとアクリル樹脂と可塑剤を含む
溶液を入れて、複数種類の誘電体スラリーを作製した。
なお、これらのスラリーの粘性はいずれも約300cp
sに調整した。
ようにして得られた誘電体スラリーを用いて、ダイコー
ターにより、PETフィルム上に30μmの厚さを持つ
グリーンシートを成形し、このグリーンシート上に、内
部電極用ペーストを1.5μmの厚みで印刷した。な
お、内部電極用ペーストとしては、平均粒径0.4μm
のNi粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセル
ロース樹脂8重量部をブチルカルビトール92重量部に
溶解したもの)40重量部、及びブチルカルビトール1
0重量部とを、3本ロールにより混練し、ペースト化し
たものを使用した。
して積層し、80℃で1トン/cm 2 の静水圧を用いて
加圧接着してグリーンチップを得た。有効積層数は12
0層とした。次に、このグリーンチップを所定サイズに
切断し、金属板セッターに搭載し、脱バインダー処理、
焼成及びアニールを、下記の条件で連続的に行ない、コ
ンデンサ素子を作製した。なお、脱バインダー処理、焼
成及びアニールの条件は、以下の通りである。また、そ
れぞれの雰囲気ガスの加湿にはウェッターを用いた。
得られたコンデンサ素子の端面をバレル処理により研磨
した後、平均粒径0.5μmのCu粒子100重量部
と、有機ビヒクル(エチルセルロース樹脂8重量部をブ
チルカルビトール92重量部に溶解したもの)35重量
部、及びブチルカルビトール7重量部とを混練し、ペー
スト化した外部電極用ペーストを前記端面に転写し、N
2 雰囲気中で750℃にて10分間焼成して外部電極を
形成し、図1に示すような構成を有する積層セラミック
コンデンサ(以下、MLC)を得た。なお、図におい
て、1は誘電体層、2は内部電極、3は外部電極であ
る。上記のようにして製造したサンプルのサイズは、
4.5×3.2×2.7mmであり、有効誘電体層の厚
さは20μm×120層、内部電極層の厚さは約1.0
μmであった。各サンプルについて下記に示す特性の評
価を行った。
IA規格のX7R、JIS規格のB特性を満足するか否
かを調べた。具体的には、LCRメータにより、X7R
は−55〜125℃について測定電圧1Vで容量を測定
し、容量変化率が±15%以内(基準温度25℃)を満
足するか否かを調べた。また、B特性は−25〜85℃
について測定電圧1Vで容量を測定し、容量変化率が±
10%以内(基準温度20℃)を満たすかどうか調べ
た。両者を満足する場合を○、少なくともどちらかを満
足しない場合を×とした。
ける静電容量を測定し、電極面積と誘電体の厚みから比
誘電率を測定した。なお、誘電率と誘電損失は1vrm
s、1.0kHzでの値を用いた。
が10mA以上流れた電圧を耐圧とした。測定数は各組
成ごとに50個であり、中心値を代表値とした。
置し、10分後に容量と誘電体厚み1μm当り5V印加
した時の絶縁抵抗の1分値を測定し、その値と容量の積
をCR積とした。
1VrmsのAC電圧を印加した時の静電容量を測定し
た後、DC100V(5V/ μm)と1kHz、1Vr
msのAC電圧を同時に印加した時の静電容量を測定し
た。得られた測定値により、静電容量の低下率を算出し
た。
度150℃にて直流電圧を300V(15V/μm)印
加して、その絶縁抵抗の経時変化を測定した。 なお、加
速寿命試験では、各試料の絶縁抵抗値が105 Ω以下に
なったときの時間をIR寿命時間とし、複数の試料につ
いての平均寿命時間を求めた。
o.1〜No.10の結果から、Caの置換量を0.0
1程度にすることにより、耐還元性が向上して、CR積
が大きくなっている。また、0.02を超えてしまうと
焼結性及び誘電率の低下が急激に起きており、特性の悪
化が確認できた。さらに焼成温度を高くすることにより
焼結性を向上させることは可能であるが、高温になるに
従って内部電極が切れやすくなり、容量の低下または、
構造欠陥を引き起こす可能性が高くなってしまう。 そし
て、(Ba,Ca)/Tiが適用範囲未満では誘電損失
が上昇し、適用範囲を超えると焼結性が低下して、誘電
率とCR積が悪化している。
結果から、酸化物ガラスのSrを置換させることで、絶
縁抵抗特性が向上していることがわかる。そして、(B
a,Sr)/Siを適用範囲内とすることによって、信
頼性、焼結性とも向上している。さらに、酸化物ガラス
の添加量を適用範囲内とすることによって、焼結性が向
上し、誘電率、耐圧が向上している。
中で、Caの置換量が前記の範囲にあって、(Ba,C
a)/Tiを1.001以上の1.002とし、酸化物
ガラスの添加量が0.5〜0.9molの範囲としたN
o.8のIR寿命は1450時間と最も良好な寿命特性
を示している。さらに、誘電率が3400以上となって
いるので、誘電体層厚を大きくすることができ、そのこ
とによってさらに高い信頼性を有するMLCを作製する
ことが可能である。
ら、MgO,MnOを適用範囲量添加することによっ
て、温度特性、誘電率などの諸特性が向上し、特に信頼
性が向上して良好なIR寿命特性を得ていることがわか
る。
の結果から、希土類元素であるHo,Y,Yb,Erを
適用範囲量添加することによって、焼結性、信頼性の向
上が得られることがわかる。また、適応範囲内ではどの
元素を選択または組み合わせても十分に信頼性を確保で
きることが確認できた。
結果から、V2 O5 またはMoO2を適用範囲量添加す
ることによって、焼結性と信頼性が向上していることが
わかる。
の結果から、主成分の粒径を適用範囲内とすることによ
って、誘電率と信頼性が著しく向上していることがわか
る。
物、副添加物を適用範囲添加したサンプルはIR寿命が
1300時間以上となっており、誘電率、耐圧など優れ
た特性と高い信頼性を有する誘電体材料であることがわ
かる。
係る誘電体組成を持つサンプルの各特性は、いずれも本
発明の範囲外の誘電体組成を持つサンプルに比べて格段
に優れている。すなわち、本発明に係る誘電体組成を用
いた場合には、20μm以上において誘電率が3000
以上を示し、高い電界強度(5V/μm)で使用した
時、静電容量と絶縁抵抗との積(CR積)が20℃で3
000Ω・F以上で、150℃で15V/μmになるよ
うに電圧を印加した加速寿命試験において絶縁抵抗が1
05 Ωに達するまでの時間が1000時間以上と長く、
また、耐圧が80V/μm以上、5V/μmの印加時に
おける静電容量の低下率が45%以下の特性を有するM
LCを製造することができる。
実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で他
にも多種多様な変形例を実施可能である。例えば、誘電
体磁器組成物の具体的な組成は、本発明の範囲内で適宜
選択可能である。同様に、電極用金属の組成やバインダ
ーの組成等も、適宜選択可能である。さらに、具体的な
製造工程や各工程の条件も適宜選択可能である。例え
ば、脱バインダー処理や焼成、アニールにおける温度条
件や昇温・降温速度条件、雰囲気ガス条件等は、適宜選
択可能である。
層厚が20μm以上の範囲で、高い誘電率を維持した状
態で高い電界強度下(5V/μm)での容量抵抗積が高
く、Bias特性に優れ、信頼性の高い積層セラミック
コンデンサ用として好適な誘電体磁器組成物を提供する
ことができる。また、そのような組成物を用いて、EI
A規格のX7R特性、JIS規格のB特性を満たすこと
が可能な、高性能で信頼性の高い積層セラミックコンデ
ンサなどの電子部品を提供することができる。
を示す斜視図
Claims (6)
- 【請求項1】 組成式が(Ba1-x Cax )a TiO
2+a (但し、0≦x≦0.02、0.998≦a≦1.
005)からなる主組成物100molに対して、(B
a1-y Sry )b SiO2+b (但し、0≦y≦1.0、
0.8≦b≦1.2)で表される酸化物ガラス0.3〜
1.5molと、MgO−MnO−Ln2 O 3 (但し、
Ln=Ho,Y,Yb,Erから選択された1種類また
は2種以上の元素)からなる主添加物とを有することを
特徴とする誘電体磁器組成物。 - 【請求項2】 主組成物(Ba1-x Cax )a TiO
2+a 100molに対して、各添加物の比率が MgO:0.5〜2.5mol MnO:0.05〜0.5mol Ln2 O3 :0.2〜2.0mol であり、前記添加物の平均粒径は0.1μm以下である
ことを特徴とする請求項1記載の誘電体磁器組成物。 - 【請求項3】 主組成物である(Ba1-x Cax )a T
iO2+a の平均粒径が0.3μm〜0.6μmである請
求項1記載又は請求項2記載の誘電体磁器組成物。 - 【請求項4】 副添加物としてV2 O5 またはMoO3
の少なくともいずれか一方を前記主組成物に対して0.
05〜0.5mol添加したことを特徴とする請求項1
〜請求項3記載の誘電体磁器組成物。 - 【請求項5】 セラミック誘電体層を有する電子部品で
あり、前記セラミック誘電体層が請求項1〜4記載の誘
電体組成である電子部品。 - 【請求項6】 前記セラミック誘電体層とNi内部電極
とが交互に積層してある積層セラミックコンデンサ本体
を有する請求項5記載の電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001355899A JP4717302B2 (ja) | 2001-11-21 | 2001-11-21 | 誘電体磁器組成物及び電子部品 |
Applications Claiming Priority (1)
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