JP2003075849A

JP2003075849A - 脱泡装置

Info

Publication number: JP2003075849A
Application number: JP2001267991A
Authority: JP
Inventors: Koichi Onodera; 廣一小野寺
Original assignee: SHINKU SEIKO KK
Current assignee: SHINKU SEIKO KK
Priority date: 2001-09-04
Filing date: 2001-09-04
Publication date: 2003-03-12
Also published as: KR20030020812A; TW520454B

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、液晶素子内に気泡が発生した場合
に確実に気泡が除去することが可能であるとともに脱泡
処理の方式がユーザ自身で選択できる脱泡装置を提供す
る【解決手段】本発明は、液晶セル７から気泡を脱泡さ
せるための処理室２が気密に形成され、処理室内部を真
空状態にするための吸気手段１８と、処理室内部に圧縮
空気を供給して加圧状態にするための供給手段１９と、
制御手段６０と、処理室内部を加熱するためのヒータ１
１と、処理室内部の空気を外部に排気するための排出手
段４０と、を備えている脱泡装置１である。この脱泡装
置１には、処理室内部に加熱空気を供給するための熱風
発生部３０や被処理物を処理室内部を移動するための搬
送手段４５や処理室内部の空気を循環するための循環部
３５が備えられていてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの製造
装置に関し、特に液晶注入工程の際に発生する液晶中の
気泡の脱泡装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に液晶表示装置としての液晶セル
は、２枚の剛性基板であるガラス及び配向膜等をシール
剤を塗布して貼り合わせ、この内部空間に液晶を充填し
たものである。

【０００３】また、脱泡装置は、通常、液晶注入装置の
処理過程として設けられている。また、予め定められた
工程とプログラムに沿って処理されるのが通常である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、何らか
の外部刺激がきっかけとなって、液晶素子内に気泡が発
生する場合がある。このように気泡が発生すると、気泡
が発生した部分に液晶が充填されていない状態となるた
め、液晶素子としては機能しない。

【０００５】また、液晶注入後に気泡が発生しているこ
とに気づいた場合、脱泡装置のみの装置が必要となる。

【０００６】また、このような場合ユーザが自ら脱泡処
理の方式や温度を設定できると使いやすい。

【０００７】そこで本発明は、液晶素子内に気泡が発生
した場合に確実に気泡を除去することが可能であるとと
もに脱泡処理の方式がユーザ自身で選択できる脱泡装置
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以下、本発明について説
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものではない。

【０００９】請求項１の発明は、液晶セルの気泡を取り
除くための脱泡装置（１）において、前記液晶セル
（７）から気泡を脱泡させるための処理室（２）が気密
に形成され、前記処理室内部を真空状態にするために空
気を吸気するための吸気手段と、前記処理室内部を加圧
状態にするために圧縮空気を供給するための供給手段
と、前記処理室内部の温度と圧力状態とを制御するため
の制御手段と、前記処理室内部を加熱するためのヒータ
と、前記処理室内部の空気を外部に排気するための排出
手段と、が備えられていることを特徴とする。

【００１０】この発明によれば、液晶セルから気泡を脱
泡させるための処理室が気密に形成され、前記処理室内
部を真空状態にするための吸気手段としての真空ポンプ
（１８）と、前記処理室内部に圧縮空気を供給し、加圧
状態にするための供給手段としての高圧エアーポンプ
（１９）と、前記処理室内部の温度と圧力状態とを制御
するための制御手段としての操作パネル（５）を有する
制御部（６０）と、ヒータとしてのシースヒータ（１
１）と、排出手段としての排出孔（４０）と調整弁（４
２）と、を備えているので、容易に気泡が発生した液晶
セルを脱泡処理することができる。また、処理室内の圧
力状態、温度状態を操作パネルにより、ユーザ自身で変
えることができるので利用しやすい。具体的には、例え
ば、処理室内を真空状態にして温度を変化させたり、処
理室内を加圧状態にして温度を変化させたりできる。

【００１１】請求項２の発明は、処理室内部に加熱空気
を供給するための熱風発生部が備えられていることを特
徴とする。

【００１２】この発明によれば、処理室内の温度をヒー
タのみではなく熱風発生部としての熱風発生装置（３
２）も併用して使用することができる。また、ヒータと
熱風発生部とを併用することにより昇温速度を早めるこ
とができる。

【００１３】請求項３の発明は、前記吸気手段と排気手
段とヒータと熱風発生部のいずれかを選択して、前記処
理室内部を目的とする圧力と温度に調整するための制御
手段が備えられていることを特徴とする。

【００１４】この発明によれば、ユーザが自ら脱泡処理
手段を選択することができる。その選択に応じて、目的
とする（最適な）圧力と温度に調整されて、液晶セルに
発生した気泡を脱泡処理することができる。

【００１５】請求項４の発明は、前記処理室内部の温度
を検出し、検出した温度の値に応じて前記ヒータ又は／
及び熱風発生部から供給される空気の温度を調整するた
めの温度調整手段が備えられていることを特徴とする。

【００１６】この発明によれば、処理室内部と外壁に温
度を測定するための測温ポート（６１、６２）を複数備
え、その測温ポートにより検出された値に応じて、制御
部によりヒータ、又は／及び熱風発生部の出力を調整し
て処理室内の温度を目的とする温度に保つことができ、
適切な温度状態を維持できる。

【００１７】請求項５の発明は、前記処理室内部の圧力
を検出し、検出した圧力の値に応じて吸排気する空気流
量を調整するための圧力調整手段が備えられていること
を特徴とする。

【００１８】この発明によれば、処理室内部の圧力を測
定するための検出装置（２２）を吸排気管の所定位置に
備え、その検出装置により検出された値に応じて、制御
部により調整弁（２０）の開閉度を調整して空気流量を
調整することにより処理室内の圧力を目的とする圧力に
保つことができ、適切な圧力状態を維持できる。

【００１９】請求項６の発明は、前記処理室内部を移動
するための搬送手段が備えられていることを特徴とす
る。

【００２０】この発明によれば、搬送手段としての搬送
部（４５）により、液晶セルを安全かつ容易に処理室内
部に搬送することができる。

【００２１】請求項７の発明は、前記処理室内部を加圧
する場合において、空気を循環して前記処理室内部の温
度を均一とするための循環部（３５）を備えていること
を特徴とする。

【００２２】この発明によれば、加熱された空気が処理
室内部の一部に偏ることなく均一な温度にすることがで
きる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明である脱泡装置に係
る実施の形態について詳細に説明する。図１は本発明の
脱泡装置の全体構造を示し、図１（ａ）は左側面図、図
１（ｂ）は正面図、図１（ｃ）は平面図、図２は処理室
の構造を示し、図２（ａ）は正面から見た内部構造図、
図２（ｂ）は左側面から見た内部構造図である。

【００２４】この脱泡装置１は、液晶セルの内部で発生
した気泡を脱泡するための処理室２を有する脱泡処理部
３と、この処理室２に液晶セル７を搬送するための搬送
部４と、処理室２内の温度や圧力を制御するための制御
部を有する操作パネル５とを備えている。

【００２５】液晶セル７とは、例えば、矩形状のアレイ
基板及び対向基板を有し、これら２枚の基板はシール材
を介して周縁部同士が互いに貼り付けられ、所定の隙間
をおいて対向配置されているものをいう。また、その隙
間には液晶が注入されている。この液晶セル７は、カセ
ット６に収容された状態で脱泡処理される。カセット６
は、複数枚の液晶セル７、７・・・７を収容できる。

【００２６】脱泡処理部３は処理室２を備え、その処理
室２は、操作パネル５を有する外枠８に覆われている。
外枠８は、搬送方向に直交する方向に４枚の扉８ａが設
けられており、その扉が開閉できる構造である。また、
外枠８の上部所定位置には、空気等を吸入、排出等する
ための孔が設けられている。また、外枠８の内部に備え
られる処理室２は、気密に形成される。処理室２は円筒
形状である。この処理室２の一方の端部（図２（ａ）中
左側）にはカセット６を処理室内部に搬入又は搬出する
ためのゲート９を備える。このゲート９は処理室２に気
密に設置され、処理室内を密閉状態にできる。また、こ
のゲート９は、カセット６を搬入、又は搬出する際に
は、空圧往復シリンダにより動作し、スライド開閉され
る。また、カセット６は処理室２の図１（ａ）中左側か
ら搬入され、脱泡処理後、同じゲート９から引き出され
て搬出される。また、このゲート９は処理室３の両端部
（図２（ａ）中左右）に設置し、一方を搬入ゲート９、
他方を搬出ゲート９ａとして設置してもよい。

【００２７】処理室２の内部は、カセット６を複数個処
理できる程度の広さである。また、処理室２の内壁面は
研磨仕上げされている。また、側壁には処理室内部を加
熱するためのヒータ部１０を液晶セル搬送方向左右に備
え、天壁近傍には処理室内部を真空状態又は加圧状態に
するための真空・加圧処理部１５と、熱風を処理室内部
に供給するための熱風供給部３０を備え、底壁には処理
室内部の空気を排気するための排気孔４０、４０、４０
を複数備えている。更に、処理室下部の所定位置には脱
泡処理される複数の液晶セル７が収納されたカセット６
を搬送・搬出するための搬送部４５を備える。また、排
気部４０と搬送部４５との間には、処理室内部の温度を
平均化するためのヒータ部１０を備えるようにしてもよ
い。また、処理室内部の所定位置には、処理室内部の温
度を検出するための測温ポート（図示なし）を複数備え
る。測温ポートは好適には熱電対が使用される。

【００２８】図３はヒータ部の構造を示し、図３（ａ）
は図２（ａ）のヒータ部拡大図、図３（ｂ）は図３
（ａ）の右側面図である。ヒータ部１０は、ニクロム線
１１ａが露出していない管状のシースヒータ１１と、シ
ースヒータ１１から放出される輻射熱を効率よく反射さ
せるための反射板１２と、この反射板１２を支持する支
持部材１３、１３・・・１３と、を備える。

【００２９】ヒータ部１０は、シースヒータ１１が反射
板１２上に蛇腹状に屈折して配設され、反射板１２が支
持部材１３により処理室内部の側壁に搬送方向に対して
垂直に支持される。

【００３０】図４はシャワーノズルの構造を示し、図４
（ａ）は図２（ａ）のシャワーノズル拡大図、図４
（ｂ）は図４（ａ）の底面図である。シャワーノズル１
６は処理室内部の空気を吸気又は、処理室内部に圧縮空
気を排気するための部材である。真空・加圧部１５は、
このシャワーノズル１６と、吸排気管１７と、真空ポン
プ１８及び高圧エアーポンプ１９、ポンプ１８、１９か
ら吸排気される空気の流量を調整する調整弁２０と、真
空ポンプ１８又は高圧ポンプ１９に切り換えるための切
換部２１と、を備える（図２（ｂ）参照）。

【００３１】シャワーノズル１６は、矩形状の筺体に形
成され、処理室内部の天壁近傍に搬送部４５と対向、且
つ平行に設けられる。また、その搬送部４５に向かっ
て、図４（ｂ）に示すように、複数の吸排気孔２２、２
２・・・２２が設けられている。

【００３２】また、シャワーノズル１６は吸排気管１７
の一方と連結される。吸排気管１７の他方は、調整弁２
０と切換部２１を介して、真空ポンプ１８及び高圧エア
ーポンプ１９と接続される。

【００３３】処理室内部を真空状態にする場合は、真空
ポンプ１８を可動し、処理室内部からシャワーノズル１
６を介して空気を吸気して真空状態にする。一方、処理
室内部を加圧状態にする場合は、高圧エアーポンプ１９
を可動し、シャワーノズル１６を介して圧縮空気を送り
込み、加圧状態にする。

【００３４】また、処理室内から吸気される空気、又は
処理室内へ送り込まれる（排気される）空気は、シャワ
ーノズル１６に有する孔２２から吸排気される。このよ
うに、シャワーノズル１６は、処理室内部の上部平面に
孔２２が設けられているので、処理室内部から空気を吸
気したり、処理室内部に圧縮空気を排気する場合に、処
理室内部又は外部から均一に空気を吸排気することがで
きる。

【００３５】また、処理室２の内部には、送風管３１を
介して熱風発生部３０を備える。熱風発生部は、例え
ば、熱風を排出するための熱風発生装置３２を備える。
熱風発生装置３２は、外部の空気を加熱するとともに、
その加熱された空気を処理室内部に送り込むための装置
である。熱風発生装置により加熱された空気は、送風管
３１を介し、処理室内部に送風される。熱風発生部３０
により処理室内部の温度分布が均一化されるとともに処
理室内部を加熱することができる。

【００３６】また、処理室内部には、空気循環部３５を
設けるようにしてもよい。この空気循環部３５により空
気が処理室内部を循環し、更に、温度分布が均一に保た
れる。空気循環部３５は、例えば、ファン等が好適に使
用される。

【００３７】また、処理室内部の最底部には排気孔４０
が設けられる排気孔４０は、処理室内部の空気を排気
し、真空状態又は加圧状態になった処理室を大気圧状態
に戻すために設けられる。この排気孔４０は、排気管４
１により外部と連絡している。また、排気管４１の所定
位置には排気管４１より排気される空気の流量を調整す
るための調整弁４２（図６参照）が設けられている。

【００３８】図５は搬送部の構造を示し、図５（ａ）は
左側面図、図５（ｂ）は正面図、図５（ｃ）は平面図で
ある。搬送部４５は、複数の回転ローラ４６、４６・・・
４６を備える。この回転ローラ４６の上部には、搬送部
材４８が積載される。回転ローラ４６は搬送部材４８が
平行をなして対向するように備えられており、この搬送
部材４８を支持する。また、搬送部材４８の少なくとも
一方の端部には、搬送部材４８を押したり引いたりする
ための把手４９を備える。搬送部材４８は、回転ローラ
４６上をスライドする。すなわち、搬送部材４８をスラ
イドさせると、回転ローラ４６も回転する。回転ローラ
４６は時計回り、反時計回りのどちらにも回転する。

【００３９】また、この搬送部材上部には、搬送部材４
８の長手方向を等間隔に仕切るようにトレイ５０、５０
・・・５０が複数備えられる。トレイ５０には、液晶セル
７が複数収容されたカセット６が積載される。トレイ５
０には、支持部材５０ａ、５０ａ・・・５０ａが所定位置
に複数設けられており、その支持部材５０ａにカセット
６が固定され、確実に搬送される。このように、搬送部
４５は手動で可動し、容易に被処理物（液晶セル７が収
容されたカセット６）を処理室内部にスライドさせるこ
とが可能である。

【００４０】また、処理室２の搬送方向外部には、この
処理室２にカセット６（液晶セル７）を搬送するための
搬送部４を備える。

【００４１】搬送部４は、回転ローラ４６ａ、４６ａ・・
・４６ａと回転ローラ設置台４ａとを備える。この回転
ローラ４６ａが処理室内部の搬送部４５と同じ高さにな
るように回転ローラ設置台４ａが調整される。この回転
ローラ４６ａ上にはカセット６が積載された搬送部材４
８がスライドする。

【００４２】また、搬送部４の搬送方向上部には、カセ
ット及びカセットに収容された複数の液晶セルを除電す
るためのイオナイザ４ｂが備えられている。また、搬送
方向に対して直交する方向（両側部）には、脱泡処理す
る際に、処理エリア内にオペレータの手等がないかどう
かの安全性を確認するためのエリアセンサ４ｃ、４ｃが
備えられている。

【００４３】ここで、脱泡装置の動作形態について説明
する。

【００４４】図６は脱泡装置のブロックダイヤグラムで
ある。

【００４５】図示のように、操作パネル５と、シースヒ
ータ１１と、排気孔４０から排出される空気の流量を調
整する調整弁４２と、ゲート９、９ａの開閉を行うため
のシリンダと、熱風発生装置３２と、真空ポンプ１８
と、高圧エアーポンプ１９と、この真空ポンプ１８と高
圧エアーポンプから吸排気される空気の流量を調整する
ための調整弁２０と、この真空ポンプ１８と高圧エアー
ポンプ１９とを切り換えるための切換部２１と、空気循
環部３５とは、制御部６０と電気的に接続される。

【００４６】処理室内部は、真空ポンプ１８、又は高圧
エアーポンプ１９から吸排気され真空状態又は加圧状態
にされるとともに、シースヒータ１１の輻射熱により加
熱される。また、シースヒータ１１は制御部６０によ
り、処理室内部の温度ＴＣ１に応じてシースヒータ１１
の加熱状態が制御される。具体的には、処理室内部の温
度を測温ポート６１により検出し、検出された温度をフ
ィードバック制御しながら、シースヒータ１１の出力を
調整し、目的とする温度に近似させる。

【００４７】また、切換部２１は制御部６０により制御
され、例えば、処理室内部を真空状態にする場合は真空
ポンプ１８、加圧状態にする場合は高圧エアーポンプ１
９に切り換えられる。

【００４８】また、吸排気管１７の所定位置には、吸
気、又は加圧空気の圧力を検出するための検出装置２２
を備える。この検出装置２２は、例えば、蒸着形半導体
歪ゲージが好適に使用される。また、検出装置２２で得
られた測定値に応じて制御部６０により、吸排気管１７
内の吸排気量が調整される。具体的には、吸排気管内の
圧力（空気流量）を検出装置２２により検出し、検出さ
れた圧力値をフィードバック制御しながら、真空ポンプ
１８又は高圧エアーポンプ１９から吸排気される空気流
量が調整弁２０により調整され、処理室内部を目的とす
る圧力に調整し、処理室２を真空状態又は加圧状態にす
る。

【００４９】また、処理室内部の温度を測定するための
側温ポート６１と、吸排気管内の圧力（吸排気量）を測
定するための検出装置２２と、処理室外壁の温度を測定
するための側温ポート６２と、により測定（検出）され
た値は、操作パネル５の所定位置（表示部７２）に表示
される。

【００５０】また、排気孔４０から排出される空気の流
量を調整する調整弁４２は、必要に応じてバルブ開度が
制御装置により調整される。

【００５１】また、処理室内部の温度調整は、ヒータ部
１０と熱風発生部３０を併用使用することにより昇温速
度の最適化が行われるようにしてもよい。

【００５２】図７は操作パネルの外観を示す。

【００５３】図示のように、操作パネル５は、アラーム
表示部７１と、表示部７２と、タイマ７３と、手動操作
スイッチ７４と、自動操作スイッチ７５と、モード選択
スイッチ７６と、扉開閉スイッチ７７と、状態表示部７
８と、記録部７９と、を備える。

【００５４】アラーム表示部７１は、異常箇所の種類ご
とに区分けされており、処理（運転）中に生じた状態
が、該当する異常箇所にランプが点灯して表示される。
異常箇所の種類としては、例えば、電源異常、元圧異
常、圧力異常、空気加熱器異常、炉内加熱器異常、扉開
閉異常等に分けられる。

【００５５】表示部７２は、処理中の操作状態が数値と
してデジタルで表示される。例えば、圧力表示部、温度
表示部、エアー量表示部、排気量表示部等である。

【００５６】タイマ７３は、処理の時間が設定できる。

【００５７】手動操作スイッチ７４は、通常の処理は自
動プログラムに従って処理されるのであるが、故障、異
常等により手動で各動作部を制御する場合に使用する。
また、自動プログラムにより処理できない場合等も含ま
れる。

【００５８】手動操作スイッチ７４には、手動切換ボタ
ンと、排気閥ボタンと、加圧閥ボタンと、排気控制ボタ
ンと、空気加熱器ボタンと、炉内加熱器ボタンと、終了
ボタンとが備えられている。

【００５９】手動切換ボタンは、処理システムの運行が
手動で可能となる。このボタンを選択することにより、
各プロセスの動作スイッチが有効となる。排気閥ボタン
は、総ての排気弁を全開にする。加圧閥ボタンは、加圧
元弁を全開にする。排気控制ボタンは、加圧コントロー
ル弁が作動し、排気弁のシーケンス処理をする。空気加
熱器ボタンは、熱風発生器のヒータを作動する。炉内加
熱器ボタンは、処理室内部に設けられているシースヒー
タ１１を作動する。終了ボタンは、立下げのシーケンス
処理を行う。

【００６０】自動操作スイッチ７５は、通常処理を行う
ためのボタンである。このボタンを選択することによ
り、予め定められているプログラムにしたがって、脱泡
処理される。

【００６１】自動操作スイッチ７５には、ＲＥＡＤＹボ
タンと、ＰＡＵＳＥボタンと、ＳＴＡＲＴボタンと、Ｂ
ＵＺＺＥＲ・ＳＴＯＰボタンと、ＣＡＬＬ・ＨＥＬＰボ
タンと、が備えられている。

【００６２】ＲＥＡＤＹボタンは、アラーム発生等の装
置異常から復帰を行う場合に使用する。このボタンを選
択することにより、初期設定に戻れる。ＰＡＵＳＥボタ
ンは、何らかの理由で脱泡処理操作を一時停止したい場
合に使用する。このボタンが選択された時点で、各プロ
セス状態で一時停止を行う。なお、タイマ処理時の場合
は、タイムアップ後のヒータが切れるまでシーケンス処
理を行い、一時停止を行う。ＳＴＡＲＴボタンは、上記
ＰＡＵＳＥボタンにより一時停止されている処理を再起
動することができる。また、処理を自動処理する場合に
も使用され、ボタンを選択することにより自動生産を開
始する。このように、通常運転の開始、及び一時停止等
の処理停止からの運転の再開に使用される。ＢＵＺＺＥ
Ｒ・ＳＴＯＰボタンは、装置異常発生時の警告ブザーを
消音できる。ＣＡＬＬ・ＨＥＬＰボタンは、何らかの理
由により援助が必要である場合に使用される。このボタ
ンを選択することにより、ブザーと表示により、オペレ
ータに援助が必要であることを回りに知らせることがで
きる。

【００６３】モード選択スイッチ７６は、スタンドアロ
ーンタイプ（１ドア）であるかインラインタイプ（２ド
ア）であるかを選択するボタンである。

【００６４】扉開閉スイッチ７７は、ＯＰＥＮボタンと
ＳＨＵＴボタンとＰＡＵＳＥボタンとを備え、ゲート用
の開閉バルブの操作を行う。

【００６５】状態表示部７８は、運転と終了に区分けさ
れ、運転及び終了の状態をランプ表示により行う。

【００６６】記録部７９は、処理の過程や温度、圧力、
処理時間等を記録し、記録紙に印字して出力される。

【００６７】また、非常時（故障等）に出力される警報
にはレベル１〜３を設定し、各レベル毎に対象となる原
因が決まるとともにその原因に対する処理が行われる。

【００６８】レベル１の場合は、システム運行上で問題
となる重大警報を表す。対象としては、電源異常や元圧
異常、圧力異常である。処理は、システム全体を停止
し、ブザー・アラーム表示で発生を知らせる。

【００６９】レベル２の場合は、周辺機器の警報を表
す。対象としては、エアーヒータ異常、炉内ヒータ異常
である。処理は、関係する系（システム）を停止し、ブ
ザー・アラーム表示で発生を知らせる。

【００７０】レベル３の場合は、運行シーケンスの異
常、制御機器のサイクルタイムオーバを表す。対象とし
ては、扉開閉異常である。処理は、関係する系（システ
ム）を停止し、ブザー・アラーム表示で発生を知らせ
る。

【００７１】図８は動作形態のフローチャートである。

【００７２】まず、気泡が発生している液晶セル７をカ
セット６に挿入して、搬送部４にそのカセット６を積載
する（ステップＳ１０１）。

【００７３】次に、搬送部４に有するエリアセンサ４ａ
とイオナイザ４ｂとにより、カセット６（液晶セル７も
含む。）被処理物の除電と安全性が確認されるので、ユ
ーザは、操作パネル５からゲート開動作指示を行い、ゲ
ート９を開く（ステップＳ１０２）。ユーザはカセット
６が積載された搬送部材４８を、処理室内部の所定位置
まで搬入する（ステップＳ１０３）。搬入後、再度操作
パネル５からゲート閉動作指示を行い、ゲート９を閉め
て、処理室内を密閉状態にする（ステップＳ１０４）。

【００７４】ユーザは脱泡するための処理方式（例え
ば、真空、加圧）と処理室内の温度を操作パネル５によ
り設定する。予め、いくつかの処理プログラムを用意し
ておき、ユーザがその中から容易に処理方式を選択でき
るようにしてもよい（ステップＳ１０５）。

【００７５】脱泡装置は、選択又は設定された操作プロ
グラムに沿って、脱泡処理を行う。具体的には、例え
ば、まず、排気孔側の調整弁４２をすべて開き（ステッ
プＳ１０６）、処理室内を大気圧と同じにする。その状
態で加圧・真空処理部側の調整弁２０を開くとともに
（ステップＳ１０７）、熱風発生装置３２とシースヒー
タ１１の電源を入れ（ステップＳ１０８）、処理室内を
加熱する。その際、排気孔側の調整弁４２を調整する
（ステップＳ１０９）。

【００７６】処理室内の温度が設定値の８０％を越えた
ら（ステップＳ１１０）、排気孔側の調整弁４２を閉じ
（ステップＳ１１１）、完全な密閉状態とする。また、
処理室の外壁温度が設定値の８０％を超えたら（ステッ
プＳ１１２）、タイマを一定時間作動させる（ステップ
Ｓ１１３）。一定時間後、タイマが切れたら（ステップ
Ｓ１１４）、熱風発生装置３２及びシースヒータ１１の
電源を切る（ステップＳ１１５）。また、加圧・真空処
理側の調整弁２０を閉じるとともに（ステップＳ１１
６）、排気孔側の調整弁４２を開き（ステップＳ１１
７）、処理室内部を大気圧と同じにする（ステップＳ１
１８）。処理室内部が大気圧状態となったら（ステップ
Ｓ１１９）、排気孔側の調整弁４２を閉める。

【００７７】最後に、ゲート９を開けて（ステップＳ１
２０）、処理室内からカセットを搬出して脱泡処理は終
了する（ステップＳ１２１）。

【００７８】本発明は以上の実施形態に限定されること
なく、種々の形態にて実施してよい。

【００７９】例えば、手動により、処理室内の温度や圧
力状態を変えることもできるし、加熱方式も指示するこ
とができる。

【００８０】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、気泡が発生した液晶セルを脱泡処理することができ
る。また、ユーザが処理方式を選択して手動で温度管理
等を行い、液晶セルの脱泡処理を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の脱泡装置の全体構造を示し、図１
（ａ）は左側面図、図１（ｂ）は正面図、図１（ｃ）は
平面図である。

【図２】本発明の脱泡装置の処理室の構造を示し、図２
（ａ）は正面から見た内部構造図、図２（ｂ）は左側面
から見た内部構造図である。

【図３】本発明の脱泡装置のヒータ部の構造を示し、図
３（ａ）は図２（ａ）のヒータ部拡大図、図３（ｂ）は
図３（ａ）の右側面図である。

【図４】本発明の脱泡装置のシャワーノズルの構造を示
し、図４（ａ）は図２（ａ）のシャワーノズル拡大図、
図４（ｂ）は図４（ａ）の底面図である。

【図５】本発明の脱泡装置の搬送部の構造を示し、図５
（ａ）は左側面図、図５（ｂ）は正面図、図５（ｃ）は
平面図である。

【図６】本発明の脱泡装置のブロックダイヤグラムであ
る。

【図７】本発明の脱泡装置の操作パネルの外観図であ
る。

【図８】本発明の動作形態のフローチャートである。

【符号の説明】

１脱泡装置２処理室５操作パネル７液晶セル１１シースヒータ１８真空ポンプ１９高圧エアーポンプ２０調整弁２２検出装置３２熱風発生装置３５循環部４０排出孔４２調整弁６０制御部６１、６２測温ポート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液晶セルの気泡を取り除くための脱泡装置
において、前記液晶セルから気泡を脱泡させるための処理室が気密
に形成され、前記処理室内部を真空状態にするために空気を吸気する
ための吸気手段と、前記処理室内部を加圧状態にするために圧縮空気を供給
するための供給手段と、前記処理室内部の温度と圧力状態とを制御するための制
御手段と、前記処理室内部を加熱するためのヒータと、前記処理室内部の空気を外部に排気するための排出手段
と、が備えられていることを特徴とする脱泡装置。
【請求項２】処理室内部に加熱空気を供給するための熱
風発生部が備えられていることを特徴とする請求項１に
記載の脱泡装置。
【請求項３】前記吸気手段と排気手段とヒータと熱風発
生部のいずれかを選択して、前記処理室内部を目的とす
る圧力と温度に調整するための制御手段が備えられてい
ることを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の脱
泡装置。
【請求項４】前記処理室内部の温度を検出し、検出した
温度の値に応じて前記ヒータ又は／及び前記熱風発生部
から供給される空気の温度を調整するための温度調整手
段が備えられていることを特徴とする請求項１〜３のい
ずれかに記載の脱泡装置。
【請求項５】前記処理室内部の圧力を検出し、検出した
圧力の値に応じて吸排気する空気流量を調整するための
圧力調整手段が備えられていることを特徴とする請求項
１〜４のいずれかに記載の脱泡装置。
【請求項６】前記処理室内部を移動するための搬送手段
が備えられていることを特徴とする請求項１〜５のいず
れかに記載の脱泡装置。
【請求項７】前記処理室内部を加圧する場合において、
空気を循環して前記処理室内部の温度を均一とするため
の循環部が備えられていることを特徴とする請求項１〜
６のいずれかに記載の脱泡装置。