KR100759209B1 - 소프트 몰드 탈포 장치 - Google Patents

소프트 몰드 탈포 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 소프트 몰드를 안착시키기 위한 하나 이상의 지지 플레이트를 내부에 구비하는 챔버부와; 상기 챔버부의 내부를 가열시키기 위한 하나 이상의 히터를 포함하는 히터부와; 상기 챔버부 외부에 배치되는 챔버부 진공 펌프와, 일단이 상기 챔버부 진공 펌프와 연결되는 공압 라인과, 일측은 상기 공압 라인과 타측은 상기 챔버부 내부와 유체 소통을 이루는 하나 이상의 벤트 홀을 포함하는 공압부;를 구비하는 소프트 몰드 탈포 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 소프트 몰드 탈포 장치는, 챔버 내부의 반복적인 부압 형성을 통하여 미세한 기포도 제거된 우수한 소프트 몰드를 형성하여 소프트 몰드 제조 불량률을 현저히 감소시킴으로써 우수한 소프트 몰드를 제조할 수 있고, 복수 개의 지지 플레이트를 구비하여 일회의 탈포 공정으로도 수 개의 소프트 몰드를 제조함으로써, 소프트 몰드의 생산 원가를 저하시킬 수도 있으며, 챔버부 압축기를 더 구비함으로써 가압된 공기의 강제 송풍으로 인한 소프트 몰드 내 탈포를 신속 및 원활하게 하고 소프트 몰드의 경화 시간을 단축함으로써 소프트 몰드 생산성을 향상시킬 수도 있다.

Description

소프트 몰드 탈포 장치{AN APPARATUS FOR REMOVING BUBBLE IN A SOFT-MOLD}
도 1a는 본 발명의 일실시예에 따른 소프트 몰드 탈포 장치의 개략적인 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 소프트 몰드 탈포 장치에 대한 개략적인 단면도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 소프트 몰드 탈포 장치 작동에 의한 소프트 몰드 내 탈포 상태를 나태내는 개략적인 부분 확대도이다.
도 3a는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 소프트 몰드 탈포 장치의 개략적인 단면도이다.
도 3b는 도 3a의 도면 부호 "C"에 대한 다른 변형예를 도시하는 부분 확대도이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 또 다른 일실시예들에 따른 소프트 몰드 탈포 장치의 개략적인 단면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10,10a,10b,10c,10d...소프트 몰드 탈포 장치 100...챔버부
110...챔버 111...챔버 하우징
113...챔버 도어 120...챔버 맞물림부
130...지지 플레이트 210...히터
300...공압부 310...챔버부 진공 펌프
320...공압 라인 330...공압 포트
340...공압 라인 밸브 350...벤트 홀
360...챔버부 압축기 370...변환 밸브
380...공압 버퍼부 390...공압 벤트
본 발명은 LCD 등과 같은 평판 디스플레이 소자용 기판의 제조시 사용되는 소프트 몰드를 제조하기 위한 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소프트 몰드 내 기포를 제거하기 위한 소프트 몰드 탈포 장치에 관한 것이다.
통상적으로 LCD는 두 개의 기판 사이에 주입되는 액정의 배열을 각각의 기판에 형성된 전극에 인가되는 전기적 신호에 의해 변화시켜 배면에 배치된 백 라이트 유닛으로부터 방사되는 빛의 출사량을 조절함으로써 디스플레이를 구현하는 평판 디스프레이 장치로서, 일 기판에는 다층 구조의 박막 트랜지스터 층이, 타 기판에는 칼라 필터 및 공통 전극이 적층된다. 이와 같은 박막 트랜지스터 층은 패터닝 공정에 의하여 패턴화되는데, 패터닝 공정에는 주로 포토레지스트를 이용하는 포토리소그래피 공정이 사용된다. 하지만, 이와 같은 포토리소그래피 공정은, 포토레지스트층의 코팅, 노광 및 현상 등의 복잡한 공정을 수반하므로 공정 시간의 증대로 인하여 생산성이 상당히 저하되고, 재료의 낭비가 상당하여 제조 원가가 증대되 는 단점이 있었다. 이와 같은 단점을 극복하기 위한 방안으로 소프트 리소그래피 방식이 연구 및 사용되고 있는데, 소프트 리소그래피 방식은 PDMS(polydimethylsiloxane) 등에 의한 소프트 몰드의 물리적 접촉을 이용하는 미세 접촉 프린팅 방식으로, 포토레지스트 층의 식각 및 비식각 영역을 직접 구분한다. 소프트 몰드는 마스터 패턴이 구비된 마스터 플레이트 상부에 PDMS를 형성하고 경화시킨 후, 이를 마스터 플레이트와 분리시킴으로써 형성된다. 이와 같은 소프트 몰드는 일면 상에 마스터 플레이트의 마스터 패턴과 음/양각이 반전된 패턴을 구비하는데, 이를 포토레지스트 층 등에 직접 프린팅함으로써 포토레지스트 층의 식각 영역 및 비식각 영역을 직접 구획하게 된다.
그러나, 상기한 종래 기술에 따른 소프트 몰드는 정교한 미세 패턴을 완벽하게 구현하기 어렵다는 문제점이 있다. 즉, PDMS 등의 재료를 통하여 소프트 몰드를 제조하는 과정에서 재료에 함입된 공기 등의 기체가, 마스터 플레이트와 PDMS 재료의 경계층에 밀착되거나 또는 PDMS 재료 내부에 형성됨으로써, 소프트 몰드의 경화 과정 내지는 제조된 소프트 몰드를 이용한 소프트 리소그래피 공정을 실시하는 과정에서, 소프트 몰드의 미세 패턴이 불완전하게 형성되거나 또는 소프트 몰드가 변형되는 문제점이 수반된다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하는 소프트 몰드 탈포 장치를 제공함을 목적으로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 소프트 몰드를 안착시키기 위한 하나 이상의 지지 플레이트를 내부에 구비하는 챔버부와; 상기 챔버부의 내부를 가열시키기 위한 하나 이상의 히터를 포함하는 히터부와; 상기 챔버부 외부에 배치되는 챔버부 진공 펌프와, 일단이 상기 챔버부 진공 펌프와 연결되는 공압 라인과, 일측은 상기 공압 라인과 타측은 상기 챔버부 내부와 유체 소통을 이루는 하나 이상의 벤트 홀을 포함하는 공압부;를 구비하는 소프트 몰드 탈포 장치를 제공한다.
상기 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서, 상기 공압부는, 상기 챔버부 내부로 가압된 기체를 송풍하기 위한 챔버부 압축기를 더 구비할 수도 있다.
상기 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서, 상기 공압부는, 상기 챔버부 내부로 기체를 송풍하기 위한 챔버부 송풍기를 더 구비할 수도 있다.
상기 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서, 상기 벤트 홀의 중심축은 상기 지지 플레이트와 교차하도록 상기 챔버부의 내측을 향하여 하방 경사질 수도 있다.
상기 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서, 상기 지지 플레이트는 복수 개가 구비되고, 상기 복수 개의 지지 플레이트는 서로 평행하게 배치되어 상기 챔버부 내부 공간을 복수의 챔버 분할 공간으로 형성하며, 상기 벤트 홀은 상기 각각의 챔버 분할 공간의 상기 챔버부 내측벽에 형성될 수도 있다.
상기 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서, 상기 공압부는 상기 챔버부의 외측에 공압 버퍼부를 더 구비하여 상기 벤트 홀과 상기 공압 라인 간의 유체 소통은 상기 공압 버퍼부를 통하여 이루어질 수도 있다.
상기 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서, 상기 공압 버퍼부는 상기 각각의 챔 버 분할 공간에 대하여 개별적으로 할당될 수도 있다.
상기 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서, 상기 지지 플레이트는 복수 개가 구비되고, 상기 복수 개의 지지 플레이트는 서로 평행하게 배치되어 상기 챔버부 내부 공간을 복수의 챔버 분할 공간으로 형성하되, 상기 공압부는, 상기 각각의 지지 플레이트 상부에 배치되고 하면에 마주하는 지지 플레이트를 향하여 개방된 복수 개의 벤트 홀이 형성된 복수 개의 공압 벤트를 더 구비할 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 소프트 몰드 탈포 장치에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 1a에는 본 발명의 일실시예에 따른 소프트 몰드 탈포 장치의 일실시예에 대한 개략적인 사시도가 도시되고, 도 1b에는 도 1a의 소프트 몰드 탈포 장치에 대한 개략적인 단면도가 도시된다. 소프트 몰드 탈포 장치(10)는 챔버부(100)와, 히터부와, 공압부(300)를 구비한다.
챔버부(100)는 챔버(110)와 하나 이상의 플레이트(130)를 구비한다. 챔버(110)는 챔버 하우징(111)과 챔버 도어(113)를 구비한다. 챔버 하우징(111)의 일면 상에는 챔버 도어(113)가 힌지 결합되어 회전 가능하게 배치된다. 챔버 도어(113)의 일면으로 챔버 하우징(111)을 향한 일면 상에는 챔버 도어(113)을 향한 챔버(110) 일면과의 보다 향상된 맞물림으로 통하여 내부 공간의 보다 향상된 기밀성을 유지하기 위한 챔버 맞물림부(120)가 구비된다. 한편, 도 1a 및 도 1b에 도시된 챔버 하우징(111)과 챔버 도어(113)는 단지 본 발명의 일예일뿐 본 발명에 따른 챔버(110)가 이에 국한되는 것은 아니다.
챔버(110)의 내부에는 복수 개, 예를 들어 네 개의 플레이트(130)가 구비되고, 각각의 플레이트(130)는 챔버(110)의 내부 공간을 분할하여 복수의 챔버 분할 공간(115)을 형성한다. 여기서, 각각의 챔버 분할 공간(115)의 완전 격리 여부는 설계 사양에 따라 선택될 수 있다. 즉, 도 1a 및 도 1b에 도시된 지지 플레이트(130)의 일단부와 챔버 도어(113) 사이에는 소정의 간극이 존재하며 이를 통하여 각각의 챔버 분할 공간(115) 간의 유체 소통이 이루어질 수도 있다. 또한, 경우에 따라서 각각의 챔버 분할 공간은 서로 유체 소통을 이루지 않는 격리 상태로 형성될 수도 있는데, 이는 하기되는 실시예(도 5)에서 설명된다.
지지 플레이트(130)는 표면 자체의 평탄도 및 챔버(110)의 챔버 하우징(111)에서도 균일한 평형 상태를 유지할 수 있도록 장착되어야 한다. 즉, 플레이트(130) 상에는 소프트 몰드 형성 프레임(1)이 배치되고, 소프트 몰드 형성 프레임(1)의 일면 상에는 예를 들어 글래스 등으로 구성되는 마스터 플레이트(2)가 수평하게 구비되며, 그 상면에는 소프트 몰드를 형성하기 위한 소프트 몰드 형성 재료, 예를 들어 PDMS(polydimethylsiloxane)와 같은 실리콘 계열의 액상 수지 원료, 경화 촉진제와 같은 각종 첨가제 등을 포함하는 소프트 몰드 형성 재료가 배치되는데, 소프트 몰드 형성 프레임(1)이 불균일한 내지 기울어진 플레이트 상에 배치되는 경우 경화되기 전의 액상 상태에서 유동함으로써, 전 표면에 대하여 균일한 두께를 가진 소프트 몰드를 형성하기 어렵고, 소프트 몰드의 두께가 일부분에 대하여만 두꺼워지는 경우 소프트 몰드의 전 영역에 대하여 균일한 경화 속도를 이루지 못하는 문제를 해소하기 위하여, 플레이트(130) 자체의 평탄도 및 장착 후의 평형 도도 소정의 설계 사양을 만족시키도록 형성되어야 한다.
챔버 하우징(111)의 하부에는 히터부의 히터(210)가 구비되는데, 여기서 히터(210)는 나선형으로 챔버 하우징(111)의 하면에 배치된다. 여기서 자세하게 도시되지는 않았으나, 히터(210)는 히터 신호 라인을 통하여 히터 제어부(미도시)와 연결되고, 또한 히터 전력 라인과도 연결된다. 즉, 히터(210)는 히터 제어부로부터 히터 신호 라인을 따라 전달되는 신호에 의하여, 히터 전력 라인을 통해 입력받는 전기 에너지를 열 에너지로 변환한다.
공압부(300)는 챔버부 진공 펌프(310)와, 공압 라인(320)과, 하나 이상의 벤트 홀(350)을 구비한다. 챔버부 진공 펌프(310)는 챔버(110)의 외부에 배치되는데, 챔버부 진공 펌프(310)는 로터리 베인 타입 진공 펌프일 수도 있고, 터보 펌프일 수도 있는 등, 챔버(110)의 내부 공간에 설계 사양에 따른 진공 분위기를 조성할 수 있는 성능 범위에서 다양한 선택이 가능하다. 벤트 홀(350)은 챔버부(100)의 챔버(110) 측면, 즉 챔버 하우징(111)의 측면에 형성된다. 여기서, 각각의 지지 플레이트(130)에 의하여 분할 단으로 형성된 각각의 챔버 분할 공간(115)에 대하여 세 개의 벤트 홀(350)이 형성되는 것으로 도시되었으나, 이는 일예일뿐 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 공압 라인(320)의 일단은 챔버부 진공 펌프(310)의 토출구와, 그리고 타단은 챔버(110)에 형성된 벤트 홀(350)과 연결되어, 챔버부 진공 펌프(310)와 챔버(110) 내부의 챔버 분할 공간(115) 간의 유체 소통이 이루어진다. 챔버부 진공 펌프(310)와 벤트 홀(350)의 사이로 공압 라인(320) 상에는 공압 라인 밸브(340)가 구비되어 공압 라인(320)을 통한 공기와 같은 기체의 유출입이 제어되는데, 이와 같은 공압 라인 밸브(340)의 작동은 제어부(미도시)를 통한 자동 제어 방식을 통하여 이루어질 수도 있고, 사용자의 수작업을 통하여 이루어질 수도 있는 등 다양한 방법이 선택될 수 있다.
도 1a 및 도 1b에 도시된 본 발명의 일실시예의 작동 과정은 다음과 같다. 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 챔버부(100) 내부, 즉 챔버(110)의 챔버 하우징(111) 내부에 배치된 플레이트(130)에 소프트 몰드 형성 프레임(1)이 배치된다. 상기한 바와 같이 소프트 몰드 형성 프레임(1)의 일면 상에는 마스터 플레이트(2)가 배치되고, 마스터 플레이트(2) 상부에는 소프트 몰드를 형성하기 위한 재료(3)가 배치된다. 챔버 도어(113)와 챔버 하우징(111)은 서로 맞물리어 챔버(110)의 내부 공간이 밀폐된다. 공압부(300)의 챔버부 진공 펌프(310)의 펌프 기능이 실시된다. 챔버부 진공 펌프(310)의 펌프 기능 작동에 의하여, 챔버(110) 내부 공간의 공기는 벤트 홀(350) 및 공압 라인(320)을 거쳐 챔버부 진공 펌프(310)에 의하여 외부로 배출된다. 챔버부 진공 펌프(310)의 지속적인 펌프 기능 작동과 동시에, 히터부의 히터(210)도 작동하여 챔버(110) 내부 공간의 온도를 일정하게 유지시키는데, 이는 과도하게 온도가 높거나 낮은 경우 소프트 몰드의 표면과 소프트 몰드의 하부 간의 경화 속도 차이 및 이로 인한 표면 수축 내지 불균일 등과 같은 현상이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 히터(210)에 의하여 유지되어야 하는 챔버(110) 내부 공간의 온도는 약 25~30이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 28℃ 정도인 것이 적절하다. 챔버(110) 내부 공간의 지속적인 진공 상태 유지가 이루어진 후, 챔버부 진공 펌프(310)의 진공 펌프 기능을 중단하고 외부 공기가 다시 챔버(110) 의 내부 공간으로 유입될 수 있도록 한다. 이와 같은 과정을 3회 내지 4회 등 수회 반복한다.
도 2a 내지 도 2c에는 본 발명에 따른 소프트 몰드 탈포 장치의 작동에 따라 변화하는 도 1b에 도시된 도면 부호 "A"에 대한 부분 확대도가 도시된다. 소프트 몰드 탈포 장치(10)의 수회 반복되는 진공 펌프 기능에 따라 챔버(110) 내부 공간에 반복적인 부압이 형성됨으로써, 소프트 몰드 내지 소프트 몰드 재료(3)에 혼재되어 있는 기포(B, 도 2a)들이 점차적으로 표면(S)으로 상승하여(도 2b), 표면(S)으로부터 이탈되어 배출된다. 따라서, 마스터 플레이트(2) 상에 형성된 패턴 사이에 놓인 기포 및/또는 미세 기포를 거의 내지 현저하게 제거함으로써, 이에 의한 소프트 몰드의 불량률을 상당히 제거할 수도 있다(도 2c).
한편, 도 3a에는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 소프트 몰드 탈포 장치(10a)가 도시되어 있다. 상기한 일실시예에 따른 소프트 몰드 탈포 장치(10)와 동일한 구성 요소에 대하여는 동일한 도면 부호를 부여하였으며, 이에 대한 설명은 생략한다. 소프트 몰드 탈포 장치(10a)의 공압부(300a)는 챔버부 압축기(360)를 더 구비한다. 도 3a에서 챔버부 압축기(360)는 토출구는 브랜치 공압 라인(321)과 연결되는데, 브랜치 공압 라인(320a)의 일단은 변환 밸브(370)을 통하여 공압 라인(320)과 연결된다. 하지만, 이는 본 발명의 일예로서 챔버부 압축기(360)는 공압 라인(320)과는 다른 별도의 공압 라인을 통하여 챔버와 연결될 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다. 그리고, 공압 라인(320)에 설치되는 공압 라인 밸브(340)와 마찬가지로, 브랜치 공압 라인(321)에는 브랜치 공압 라인 밸브(341)가 배치되는 데, 이와 같은 브랜치 공압 라인 밸브(340a)의 작동도 제어부(미도시)를 통한 자동 제어 방식을 통하여 이루어질 수도 있고, 사용자의 수작업을 통하여 이루어질 수도 있는 등 다양한 방법이 선택될 수 있다.
변환 밸브(370)는 소프트 몰드 탈포 장치의 작동 모드 선택에 따라 적절하게 변환된다. 즉, 소프트 몰드 탈포 장치(10a)가 진공 펌프 작동 모드를 실시하는 경우, 브랜치 공압 라인(321)으로의 연결을 폐쇄시키고 챔버부 진공 펌프(310)와 챔버(110) 간의 유체 소통이 이루어질 수 있도록 한다. 또한, 가압 송풍 작동 모드가 실시되는 경우, 변환 밸브(370)는 챔버부 압축기(360)와 연결되는 브랜치 공압 라인(321)과의 연결을 개방하여 챔버(110)의 내부 공간과 챔버부 압축기(360) 간의 유체 소통이 이루어지도록 하여 챔버(110) 내로 가압 공기를 송풍할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서, 경우에 따라서 각각의 지지 플레이트(130)에 이의 상면과 하면을 관통하는 하나 이상의 플레이트 관통공(131)이 더 구비됨으로써, 챔버 내부의 가압 내지 송풍되는 공기의 유동(점선 화살표)을 보다 원활하게 하여 소프트 몰드의 경화 속도 증대로 인한 제조 공정 속도 증대를 수반할 수도 있다.
한편, 도 3b에는 도 3a의 도면 부호 "C"로 지시되는 벤트 홀의 변형예에 대한 부분 확대도가 도시된다. 벤트 홀(350a)은 챔버(110)의 챔버 하우징(111)의 내벽에 형성되는데, 벤트 홀(350a)의 중심축(선 Ⅰ-Ⅰ)은 지지 플레이트(130, 도 3a 참조)와 교차하도록 챔버부(100)의 내측을 향하여 하방 경사질 수도 있다. 즉, 벤트 홀(350a)이 하방 경사지도록 형성됨으로써, 벤트 홀(350a)의 중심축(선 Ⅰ-Ⅰ) 과 지지 플레이트(130)가 이루는 평행선 사이에는 소정의 사이각(θ)이 형성된다. 이와 같이 하방 경사진 벤트 홀(350a)을 통하여 챔버부 압축기(360)로부터 송풍되는 가압된 공기가 벤트 홀(350a)을 통과하여 지지 플레이트(130) 상에 배치되는 소프트 몰드(3)에 직접 내지 소프트 몰드(3)에 보다 많은 송풍이 이루어질 수 있도록 함으로써, 보다 신속한 경화 공정이 이루어지도록 할 수도 있다. 또한, 상기 챔버부 압축기는 가압 공기를 챔버 내로 송풍하는 것으로 사용되었으나, 압축기가 아닌 단순한 송풍기로 구성될 수도 있다. 이 경우, 강제 블로잉 효과를 수반하여, 소프트 몰드의 신속한 형성을 가능하게 할 수도 있다.
또 한편, 도 4에는 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 소프트 몰드 탈포 장치의 개략적인 단면도가 도시된다. 챔버(110) 내부에 배치되는 지지 플레이트(130)는 복수 개가 구비된다. 복수 개의 지지 플레이트(130)는 서로 평행하게 배치되는데, 챔버부(100)의 챔버(110) 내부 공간을 복수의 챔버 분할 공간(115)으로 분할하며, 벤트 홀(350b)은 챔버(110)의 챔버 하우징(111) 측면에 형성된다. 한편, 공압부는 공압 버퍼부(380)를 더 구비한다. 공압 버퍼부(380)는 챔버부(100)의 외측, 보다 상세하게 챔버(110)의 챔버 하우징(111)의 외측에 배치되는데, 공압 버퍼부(380)는 챔버(110)와 공압 라인(320)의 사이에 배치되는 버퍼 공간으로서 작동한다. 이와 같은 공압 버퍼부(380)는 각각의 챔버 분할 공간(115)에 대한 균일한 부압 형성 내지 벤트 홀(350b)을 통한 가압된 공기의 균일한 송풍을 가능하게 하고, 급격한 압력 변화로 인한 장치의 손상을 방지할 수도 있다. 도 4에서 공압 버퍼부(380)는 챔버부(100)의 양측에 배치되는 것으로 도시되었으나, 이는 본 발명 의 일예로서 공압 버퍼부는 어느 일측에만 배치될 수도 있는 등 다양한 구성이 가능하다.
또 한편, 상기 공압 버퍼부는 각각의 챔버 분할 공간에 대하여 개별적으로 할당될 수도 있다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 챔버(110)의 내부에 배치되는 복수 개의 지지 플레이트(130)는 챔버(110) 내부 공간을 분할하여 복수 개의 챔버 분할 공간(115c)을 형성하는데, 각각의 챔버 분할 공간(115c)은 서로에 대하여 격리되는 구조를 취한다. 각각 격리 분할된 챔버 분할 공간(115c)은 각각의 공압 버퍼부(380c)와 유체 소통된다. 각각의 공압 버퍼부(380c)에는 공압 라인(320)과 고압 버퍼부(380c)간의 개폐를 제어하는 버퍼 밸브(340c)가 구비되는데, 버퍼 밸브(340c)는 챔버부 진공 펌프(310) 내지 챔버부 압축기(360)를 통하여 발생하는 공기의 유동을 제어함으로써, 각각의 챔버 분할 공간(115c)에 대한 독립적인 분위기 제어를 가능하게 한다. 또한, 각각 독립적으로 분할 격리된 챔버 분할 공간(115c)에 대한 효과적인 온도 유지를 위하여 히터(210c)는 챔버(110)의 측면, 예를 들어 챔버 도어(113)에 형성될 수도 있다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 히터부의 히터(210c)가 챔버 도어(113)의 챔버 하우징(111)을 향한 일면으로 챔버 맞물림부(120)의 내부에 배치될 수도 있다.
도 6에는 본 발명의 또 다른 일실시예에 따른 소프트 몰드 탈포 장치에 대한 개략적인 단면도가 도시된다. 챔버(110) 내에 배치되는 복수 개의 지지 플레이트(130d)는 챔버 하우징(111) 내부에서 챔버(110) 내부 공간을 서로 격리되는 복수 개의 챔버 분할 공간(115d)을 형성하는데, 공압부(300d)는 각각의 지지 플레이트 (130)의 상부에 배치되는 공압 벤트(390)를 더 구비한다. 공압 벤트(390)의 일단은 챔버 하우징(111)의 측벽을 관통하여 공압 라인(320)과 연결된다. 각각의 공압 라인(320) 상에는 벤트 밸브(340d)가 구비되는데, 각각의 벤트 밸브(340d)는 개별적으로 작동함으로써, 서로 격리 분할된 챔버 분할 공간(115d)의 분위기를 개별적으로 제어할 수 있다. 공압부에 구비되는 벤트 홀은 공압 벤트(390)에 형성된다. 즉, 복수 개의 벤트 홀(350d)은 공압 벤트(390)의 하면으로 이와 마주하는 지지 플레이트(130d)를 향하여 형성된다. 따라서, 챔버부 압축기(360)가 작동하는 경우, 챔버부 압축기(360)로부터 송풍되는 가압된 공기는 공압 라인(320) 및 공압 벤트(390)를 거쳐 지지 플레이트(130d) 상에 배치된 소프트 몰드(3)의 상부로부터 직접 분사됨으로써, 소프트 몰드(3)의 보다 신속한 경화를 가능하게 한다.
상기 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 일예들로, 본 발명이 이에 국한되는 것은 아니다. 즉, 상기 히터부는 온도 측정 장치를 챔버 하우징 내부에 구비하고 온도 측정 장치로부터 측정된 온도 신호를 히터 제어부로 전달함으로써, 챔버 내부의 사전 설정된 온도를 유지하기 위하여 히터의 작동을 제어할 수도 있다. 또한, 상기 실시예들에 있어서 다양한 밸브 등은 액츄에이터를 구비함으로써, 전기적 신호에 따라 자동으로 작동할 수도 있고, 사용자에 의한 수동 조작도 가능하다. 또한, 각각의 구성들의 작동을 제어하기 위한 제어부들은 한 개로 통합 구성될 수도 있는 등, 지지 플레이트가 내부에 구비되는 챔버부와 히터부 및 하나 이상이 벤트 홀을 포함하는 공압부를 구비하는 범위에서 다양한 변형이 가능하다.
상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 소프트 몰드 탈포 장치는 다음과 같은 효과를 갖는다.
첫째, 본 발명에 따른 소프트 몰드 탈포 장치는, 챔버 내부의 반복적인 부압 형성을 통하여 미세한 기포도 제거된 우수한 소프트 몰드를 형성하여 소프트 몰드 제조 불량률을 현저히 감소시킴으로써 우수한 소프트 몰드를 제조할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 소프트 몰드 탈포 장치는, 복수 개의 지지 플레이트를 구비하여 일회의 탈포 공정으로도 수 개의 소프트 몰드를 제조함으로써, 소프트 몰드의 생산 원가를 저하시킬 수도 있다.
셋째, 본 발명에 따른 소프트 몰드 탈포 장치는, 챔버부 압축기를 더 구비함으로써 가압된 공기의 강제 송풍으로 인한 소프트 몰드 내 탈포를 신속 및 원활하게 하여 소프트 몰드의 경화 시간을 단축함으로써 소프트 몰드 생산성을 향상시킬 수도 있다.
넷째, 본 발명에 다른 소프트 몰드 탈포 장치는, 지지 플레이트 상에 상하면이 관통된 플레이트 관통공을 더 구비함으로써, 가압 내지 송풍 및/또는 소정 온도로 가열된 공기의 유동을 원활하게 함으로써, 소트프 몰드의 경화 시간을 단축하여 몰드 생산성을 증대시킬 수도 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (8)

  1. 소프트 몰드를 안착시키기 위한 하나 이상의 지지 플레이트를 내부에 구비하는 챔버부와;
    상기 챔버부의 내부를 가열시키기 위한 하나 이상의 히터를 포함하는 히터부와;
    상기 챔버부 외부에 배치되는 챔버부 진공 펌프와, 일단이 상기 챔버부 진공 펌프와 연결되는 공압 라인과, 일측은 상기 공압 라인과 타측은 상기 챔버부 내부와 유체 소통을 이루는 하나 이상의 벤트 홀을 포함하는 공압부;를 구비하는 소프트 몰드 탈포 장치에 있어서,
    상기 지지 플레이트는 복수 개가 구비되고, 상기 복수 개의 지지 플레이트는 서로 평행하게 배치되어 상기 챔버부 내부 공간을 복수의 챔버 분할 공간으로 형성하며, 상기 벤트 홀은 상기 각각의 챔버 분할 공간의 상기 챔버부 내측벽에 형성되는 것을 특징으로 하는 소프트 몰드 탈포 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 벤트 홀의 중심축은 상기 지지 플레이트와 교차하도록 상기 챔버부의 내측을 향하여 하방 경사진 것을 특징으로 하는 소프트 몰드 탈포 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 공압부는 상기 챔버부의 외측에 공압 버퍼부를 더 구비하여 상기 벤트 홀과 상기 공압 라인 간의 유체 소통은 상기 공압 버퍼부를 통하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 소프트 몰드 탈포 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 공압 버퍼부는 상기 각각의 챔버 분할 공간에 대하여 개별적으로 할당되는 것을 특징으로 하는 소프트 몰드 탈포 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 공압부는, 상기 각각의 지지 플레이트 상부에 배치되고 하면에 마주하는 지지 플레이트를 향하여 개방된 복수 개의 벤트 홀이 형성된 복수 개의 공압 벤트를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 소프트 몰드 탈포 장치.
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