KR101201326B1 - 액정표시장치 제조용 진공 건조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시장치 제조용 진공 건조장치에 관한 것으로, 기판의 전부분에서 솔벤트 휘발이 균일하게 이루어질 수 있도록 한 것이다.

이를 위한 본 발명은, 기판의 표면에 포토레지스트 도포 작업이 이루어지는 챔버와; 상기 챔버의 내부에 설치되며 기판이 안착되는 서포터와; 상기 챔버의 하부에 연통되는 하부 배기라인과; 상기 챔버의 내벽면을 따라 형성되며, 상기 하부 배기라인과 연통되는 진공라인과; 상기 챔버 내측 공간과 상기 진공라인의 상부를 상호 연통시키는 상부 배기라인과; 상기 하부 배기라인을 통해 흡입력을 발생시키는 감압수단을 포함하여 구성된 액정표시장치 제조용 진공 건조장치를 제공한다.

액정표시장치, 건조장치, 솔벤트, 상부 배기라인, 하부 배기라인

Description

액정표시장치 제조용 진공 건조장치{Vacuum Dry Device for Manufacturing LCD}

도 1은 종래의 액정표시장치 제조용 진공 건조장치의 일례를 개략적으로 나타낸 단면도

도 2는 종래의 액정표시장치 제조용 진공 건조장치의 다른 일례를 개략적으로 나타낸 단면도

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 진공 건조장치의 일 실시예를 나타낸 분해도

도 4는 도 3의 액정표시장치 제조용 진공 건조장치의 단면도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

11 : 하부챔버 12 : 서포터

13 : 하부 배기라인 14 : 하부 핫 플레이트

15 : 하부 진공라인 21 : 상부챔버

23 : 상부 배기라인 24 : 상부 핫 플레이트

25 : 상부 진공라인 G : 기판

본 발명은 액정표시장치의 제조시 사용되는 진공 건조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표시장치의 제조 과정 중 포토레지스트 코팅 후 챔버내에 존재하는 솔벤트 성분을 감압 진공하여 제거하는 액정표시장치 제조용 진공 건조장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치(LCD)는 2개의 유리기판, 즉 칼라필터 기판과 TFT어레이 기판을 합착시키고 그 사이에 액정을 주입하는 공정을 통해 엘시디 패널을 완성하고, 이 완성된 엘시디 패널에 화면을 재현하기 위한 구동신호를 인가하는 구동유닛 및 백라이트 어셈블리를 설치하여 엘시디 모듈을 완성하는 과정을 통해 제조된다.

상기 액정표시장치의 유리기판 중 하부기판에는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀 별로 데이터 공급을 절환하기 위한 박막트랜지스터, 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선, 그리고 박막트랜지스터의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등이 형성된다.

상기 기판에 형성되는 각종 전극들 또는 칼라필터들은 포토 리소그래피 공정에 의해 형성된다. 상기 포토 리소그래피 공정은 포터레지스터를 사용하여 증착층에 식각면을 표시하고, 원하는 패턴을 형성하는 공정이다.

예를 들어, 상기 컬러필터에서는 유리기판에 솔벤트 등이 다량으로 함유된 포터 레지스터 도포액을 도포한 후 건조된다. 이후, 상기 포토 리소그래피 공정에 의해 원하는 패턴이 형성된다.

도 1과 도 2는 종래의 진공 건조장치의 구성의 일례를 나타낸다.

도 1에 도시된 것과 같이, 종래의 진공 건조장치는 기판(G)에 포토레지스트 도포 작업이 이루어지는 챔버(1)와, 기판(G)이 안착되는 서포터(2), 상기 챔버(1) 내부에 설치되는 이물낙하방지판(3)과, 상기 챔버(1)의 상부에 연통된 배기라인(4)으로 구성된다.

도 2에 도시된 종래의 다른 진공 건조장치는, 챔버(1a)와, 기판(G)이 안착되는 서포터(2a), 챔버(1a)의 하부에 연통되는 배기라인(4a)으로 이루어진다.

따라서, 종래의 진공 배기장치는 기판(G)에 포토레지스트 도포 작업 후 상기 상부 또는 하부의 배기라인(4, 4a)을 통해 형성되는 진공압에 의해 솔벤트 성분이 배출되어 제거된다.

그러나, 종래의 진공 배기장치는 다음과 같은 문제가 있다.

도 1과 같이, 배기라인(4)이 챔버(1)의 상부에 존재하는 경우, 감압 완료된 후, 이산화질소(N2)를 퍼지시킬 때 챔버 내에 잔류하는 이물 및 솔벤트 이물이 기판(G)에 낙하될 가능성이 있다.

또한, 도 2와 같이, 배기라인(4a)이 챔버(1a)의 하부에 존재하는 경우, 기판이 대형화되면서 기판(G)의 중심부와 주변부 간에 솔벤트 휘발이 균일하게 이루어지지 못하여 공정 불량이 발생하게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 전부분에서 솔벤트 휘발이 균일하게 이루어질 수 있는 액정표시장치 제조용 진공 건조장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판의 표면에 포토레지스트 도포 작업이 이루어지는 챔버와; 상기 챔버의 내부에 설치되며 기판이 안착되는 서포터와; 상기 챔버의 하부에 연통되는 하부 배기라인과; 상기 챔버의 내벽면을 따라 형성되며, 상기 하부 배기라인과 연통되는 진공라인과; 상기 챔버 내측 공간과 상기 진공라인의 상부를 상호 연통시키는 상부 배기라인과; 상기 하부 배기라인을 통해 흡입력을 발생시키는 감압수단을 포함하여 구성된 액정표시장치 제조용 진공 건조장치를 제공한다.

여기서, 상기 진공라인은 상기 챔버의 내벽면과 소정 간격 이격되도록 설치되는 핫 플레이트에 의해 형성되며, 상기 상부 배기라인은 상기 핫 플레이트를 관통하도록 형성될 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 진공 건조장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3과 도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 진공 건조장치의 구조를 개략적으로 나타내는 분해도와 단면도이다.

도 3과 도 4에 도시된 것과 같이, 본 발명의 진공 건조장치는, 하부챔버(11)와, 이 하부챔버(11)의 상부에 분리 가능하게 결합되는 상부챔버(21)를 구비한다.

상기 하부챔버(11)에는 포토레지스트 도포 작업이 이루어질 기판(G)이 안착되어 지지되는 복수개의 서포터(12)들이 설치된다.

또한, 상기 하부챔버(11)의 하부면에는 복수개의 하부 배기라인(13)이 형성된다. 상기 하부 배기라인(13)은 진공압을 발생시키는 진공펌프와 같은 감압수단(미도시)에 연결된다.

상기 하부챔버(11)와 상부챔버(21)의 내측에는 하부 핫 플레이트(14)과 상부 핫 플레이트(24)이 각 챔버의 내벽면과 소정 거리 이격되도록 설치되어, 공기가 유동할 수 있는 하부 진공라인(15)과 상부 진공라인(25)을 형성한다. 상기 상부 진공라인(25)과 하부 진공라인(15)은 상부챔버(21)와 하부챔버(11)가 결합되었을 때 상호 일체로 연결된다.

상기 하부 진공라인(15)은 상기 하부 배기라인(13)과 연결된다.

또한, 상기 상부 진공라인(25)의 상부에는 챔버의 내측 공간과 상기 상부 진공라인(25)의 상부를 상호 연통되는 복수개의 상부 배기라인(23)이 형성된다.

상기와 같이 구성된 진공 건조장치는 다음과 같이 작동한다.

먼저, 도 3에 도시된 것과 같이, 상부챔버(21)가 하부챔버(11)에서 분리된 상태에서 기판(G)이 별도의 반송로봇(미도시)에 의해 하부챔버(11)의 내측으로 투입되어 서포터(12)에 안착된다.

이어서, 상부챔버(21)가 하부챔버(11) 상에 결합되고, 포터레지스터 도포 작업이 이루어진다. 이 때, 상기 기판(G)에 도포되는 도포액에는 다량의 솔벤트가 함유되어 있다. 상기 솔벤트 성분은 낮은 압력에서 증발된다.

따라서, 포토레지스트 도포 작업이 이루어지면, 진공펌프(미도시)와 같은 감압수단(미도시)에 의해 하부 배기라인(13)을 통해 챔버(11, 21) 내부의 감압이 이 루어지고, 솔벤트의 증발이 이루어진다.

즉, 본 발명은 포토레지스트를 도포한 후 진공 공정과 노광 전 베이킹 공정을 동시에 진행한다.

상,하부챔버(21, 11) 내부에서 증발된 솔벤트 및 공기는 하부 배기라인(13)을 통해 배출된다. 이 때, 상기 상부 배기라인(23)을 통해서도 솔벤트 및 공기가 배출된다. 상부 배기라인(23)을 통해 배출되는 솔벤트 및 공기는 상부 진공라인(25) 및 하부 진공라인(15)을 따라 유동하여 하부 배기라인(13)과 연통된 부분에서 하부 배기라인(13)을 통해 배출된다.

이와 같이, 본 발명의 진공 건조장치는 상부 배기라인(23)과 하부 배기라인(13)을 통해 동시에 솔벤트 배출이 이루어진다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 챔버의 상부 및 하부를 통해 동시에 솔벤트 및 공기의 배출이 이루어지므로 기판의 크기가 대형화되더라도 기판의 전면(全面)에서 솔벤트 휘발이 균일하게 이루어질 수 있고, 따라서 불량 발생을 최소화시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 하부챔버 및 상기 하부챔버의 상부에 분리가능하게 결합되는 상부 챔버를 포함하여 구성됨으로써 기판의 표면에 포토레지스트 도포 작업이 이루어지는 챔버와;

   상기 챔버의 내부에 설치되며 기판이 안착되는 서포터와;

   상기 챔버의 하부에 연통되는 복수의 하부 배기라인과;

   상기 챔버의 내벽면을 따라 형성되며, 상기 복수의 하부 배기라인과 연통되는 진공라인과;

   상기 챔버 내측 공간과 상기 진공라인의 상부를 상호 연통시키는 복수의 상부 배기라인과;

   상기 복수의 하부 배기라인을 통해 흡입력을 발생시키는 감압수단을 포함하여 구성되며,

   상기 진공라인은

   상기 챔버의 내벽면과 상기 챔버의 내벽면에 이격되도록 설치된 핫 플레이트의 외벽면 간 간격에 의해 형성되며,

   상기 복수의 상부 배기라인은 상기 핫 플레이트의 상부면을 관통하도록 형성되어 상기 기판이 안착되어 있는 핫 플레이트의 내부 공간과 상기 핫 플레이트의 외부인 상기 진공라인의 상부를 상호 연통시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 진공 건조장치.
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