JP2011005845A - 基板真空成形装置及び真空成形方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空成形装置は、基板10に3次元パターンを転写する成形モールド20と、これを固定する昇降可能な成形モールドフレーム170とを含む真空チャンバ本体140を含み、前記成形モールドにより上部チャンバと下部チャンバに分割される。真空成形方法は、a)樹脂の塗布、b)基板の取り付け及び真空の形成、c)基板に成形モールドの接触、d)成形モールドの上部領域と下部領域の気密状態の誘導、及びe)圧力差の発生を通じる成形モールドの基板密着のステップを含む。複雑な形態の光学パターンのような3次元パターンにも適用可能であるだけでなく、基板の大きさが大型化しても、基板に形成されたパターンに未成形部が発生するかまたは気泡等の不良の発生を防止することができる。
【選択図】図3
Description
UV樹脂を塗布するにおいては、シルク印刷法、スリットコーティング法、ロールコーティング法等が用いられ得るが、本発明の一実施例においては、シルク印刷法を用い、気泡の発生に係る問題を解決するために、樹脂の塗布を真空チャンバ内で行った。
本発明に従って基板に樹脂を塗布した後に樹脂に光学パターンを成形する工程では、透明でかつ柔軟な軟質の成形モールド(例えば、(株)ミニュタテックのリジフレックスモールド(Regiflex mold))を用い、真空チャンバ内で成形することを特徴とする。
20:成形モールド
100:真空成形装置
110:カバー
120:側壁
122:延長部
130:底板
140:真空チャンバ本体
150:真空チャンバ
150a:上部チャンバ
150b:下部チャンバ
152、154、156、158:封止部材
162、164:通気ライン
170:成形モールドフレーム
180:昇降機構
190:紫外線ランプステージ
Claims (20)
- 樹脂が塗布された基板に光学パターンを成形するための基板真空成形装置であって、通常の側壁と、側壁の上方と下方を密閉するカバーと、底板とから構成された真空チャンバ本体を備え、
真空チャンバ本体の内部には、基板に光学パターンを転写する成形モールドと、成形モールドの縁部を固定する昇降可能な成形モールドフレームとを含み、
前記カバー、側壁及び底板により密閉される空間は、前記成形モールドフレームの下降により上部チャンバと下部チャンバに分割されることを特徴とする基板真空成形装置。 - 前記成形モールドは、上部チャンバと下部チャンバの隔壁を構成することを特徴とする、請求項1に記載の基板真空成形装置。
- 前記底板には、基板を固定するホルダが取り付けられていることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の基板真空成形装置。
- 前記底板は、分離可能でかつ昇降するように構成され、最高上昇位置において側壁の下方を密閉することを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の基板真空成形装置。
- 前記上部チャンバと下部チャンバは、独立して圧力の制御が可能であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の基板真空成形装置。
- 前記真空チャンバ本体には、前記上部チャンバと下部チャンバそれぞれに連通する通気ラインが設けられていることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の基板真空成形装置。
- 前記成形モールドは、柔軟でかつUV光に透光性のあるプラスチックからなることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の基板真空成形装置。
- 前記カバーは、UV光に透光性のある材質から構成されたことを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の基板真空成形装置。
- 前記カバーの上方に紫外線ランプステージが配置されたことを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の基板真空成形装置。
- 前記側壁は、成形モールドフレームの上昇と底板の上昇との相互干渉を防止するために断面がL字状に形成されたことを特徴とする、請求項4に記載の基板真空成形装置。
- 基板に光学パターンを成形するための基板真空成形方法であって、
a)基板に樹脂を塗布するステップ、
b)前記基板を真空チャンバ内に取り付け、真空を形成するステップ、
c)真空状態で前記樹脂が塗布された基板の一面に成形モールドを接触させるステップ、
d)前記成形モールドの上部領域と下部領域とが互いに気密状態になるように維持するステップ、及び
e)前記成形モールドを境界に圧力差を発生させて成形モールドを基板に密着させるステップを含むことを特徴とする基板真空成形方法。 - 前記e)ステップにおいて、成形モールドの下部領域を真空状態に維持し、成形モールドの上部領域の真空を解除することを特徴とする、請求項11に記載の基板真空成形方法。
- 前記e)ステップ後に、f)樹脂を硬化させるステップ、g)成形モールドの下部領域の真空を解除するステップ、及びh)成形モールドと基板を分離するステップを含むことを特徴とする、請求項11または請求項12に記載の基板真空成形方法。
- 前記e)ステップにおいて、前記成形モールドの上部領域に大気圧が作用するようにすることを特徴とする、請求項11または請求項12に記載の基板真空成形方法。
- 前記b)ステップにおいて、真空の圧力を10-3torr〜100torrと設定することを特徴とする、請求項11または請求項12に記載の基板真空成形方法。
- 前記樹脂は、UV樹脂であることを特徴とする、請求項11または請求項12に記載の基板真空成形方法。
- 前記成形モールドは、柔軟でかつUV光に透光性のあるプラスチックからなることを特徴とする、請求項11または請求項12に記載の基板真空成形方法。
- 前記 a)ステップを、真空中でシルク印刷工程により行うことを特徴とする、請求項16に記載の基板真空成形方法。
- 前記a)ステップを、基板に1〜10回コーティングできる量だけのUV樹脂をシルク製板上に吐出する精密ノズルを設けたシルク印刷装置により行うことを特徴とする、請求項16に記載の基板真空成形方法。
- 前記e)ステップ後に、前記成形モールドを通じて基板に紫外線を照射することを特徴とする、請求項17に記載の基板真空成形方法。
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