TW520454B - Apparatus for removing bubbles - Google Patents

Description

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五、發明說明（1) [發明所屬之技術領域] 本發明係有關液晶面板之製 入製程時所產生液晶中之氣泡 [習知之技術] 造裂薏，特別是關於液晶注 的脫砲裴置。 一般液晶顯示裝置之液晶單元H 及配向膜等塗佈密封劑而貼合，=2片剛性基板之玻璃 異。 σ &於其内部空間填充液 &入裝置之處理過程而設 之製程與程式處理的。 此外，脫泡裝置通常作為液晶 置。再者，通常是依照事先定好 [發明所欲解決之問題] 可是，由於受到任何外部刺激， 泡的情形。如此產生氣泡的話， 晶元件内會有產生泰 填充液晶之狀態，液晶元件即不發於產生氣泡部份成為才 此外，液晶注入後察覺到產生^ ^作用。 裝置即可。 礼 >包時，只需脫泡裝置3 己可以設定脫泡處理之方 種脫泡裝置，在液晶元件 ’同時使用者可以選擇脫

再者’如此情形如果使用者自 式與溫度的話，則較易使用。 因此，本發明之目的為提供一 内產生氣泡時可以確實去除氣泡 泡處理方式。 [解決問題之方法] 以下，就本發明加以說明。另外，為期容易了解本發 明’所附圖示之參照元件編號以括弧加以附註，但並非據 此將本發明限定為圖示的形態。

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申凊專利範圍第1項之發明係在為除去液晶單元之氣泡 的脫泡裝置（1)中，為使前述液晶單元⑺之氣泡予以脫泡 而形成氣密之處理室（2)，其特徵為具備為使前述處理室 =部，為真空狀態而吸出空氣之吸氣機構，以及為使前述 处理室内部成為加壓狀態而供應壓縮氣體之供應機構，以 及為控=前述處理室内部之溫度與壓力狀態之控制機構， j及將丽述處理室内部加熱之加熱器，以及為使前述處理 至内部之空氣得以排出外部之排氣機構。 依據此發明，為使液晶單元之氣泡予以脫泡而形成氣密 之處理至’具備為使前述處理室内部成為真空狀態之吸氣 ，構的真空泵（1 8 )，以及為供應前述處理室内部壓縮空 氣，使成加壓狀態之供應機構的高壓空氣泵（丨9 )，以及為 控制前述處理室内部之溫度與壓力狀態之控制機構而具有 操作板（5)之控制部（60)，以及作為加熱器之被覆加埶号 (Sheath Heater ) (11)，以及作為排氣機構之排氣孔 (/〇)與調整瓣（42)，由於具備以上各件，因此對容易產生 氣泡之液晶單元可進行脫泡處理。此外，對於處理室内之 壓力狀態、溫度狀態，使用者可藉由操作板自行加以變 更，使用方便。具體而t，例如可將處理室内成 態以變化溫度，或將處理室内成為加壓狀態以變化溫产。 申請專利範圍第2項之發明’其特徵係具備為供應"又理 室内部之加熱空氣的熱風產生部。 ^ 依據此發明，處理室内之溫度並非只是加熱器， 與作為熱風產生部之熱風產生裝置（32) 一併使用。再者，

520454 五 發明說明（3) 由器與熱風產生部一併使用，可以加快升溫速度。 與溫度,前述處理室内部之目標，此控制‘ ;、"軋機構與排氣機構與加熱器與熱風產生部中選擇一 項0 :據=明：使用者可以自行選擇脫泡處理機構 選擇’调整至其目標（最佳的）壓力與溫度 ς 元所產生之氣泡進行脫泡處理。 就液a日早 申請專利範圍第4項之發明，其特徵為具備一溫 Γ:二C處理室内部之溫度’並依其檢測：溫度 =调整“述加熱器或/及熱風產生部所供應之空：的度 :加熱…/及熱風產生部之輪出加以調 處理室内之溫度至其目標溫度，以 保持 申請專利範圍第5、6項之發明，心二態。 機構，檢測前述處理室内部之壓:、2 備屢力調整 可以調整吸排氣之空氣流量。登力而依其檢測之壓力值 依據此發明，在吸排氣管之預 室内部之壓力的檢測裝置(22)= :定處理 ΐ:由控制部將調整卿之開合度力 =二 沭篁，因而可以保持處理室内之壓力至Α 。工軋 持適當之壓力狀態。 〃目^ I力’以維 第6頁 \\312\2d-code\91-03\90132546.ptd 520454

申請專利範圍第7至1 〇項之發明 前述處理室内部之搬運機構。 其特徵為具備為移入 之搬運部（4 5 )，液晶單 進行搬運。 其特徵為具備循環部 使空氣循環而將前述處 依據此發明，藉由作為搬運機構 元可以在處理室内部安全且容易地 申請專利範圍第11至1 5項之發明 (3 5 )，於前述處理室内部加壓時， 理室内部之溫度予以均勻化。 依據此發明，加熱後之空翁於卢田& 二虱於處理室内部不會集中於复 一端，溫度得以平均。 卜曰呆γ π具 [發明之實施形態] 以下’詳細說明本發明之脫泡裝置 1顯示本發明之脫泡裝置的全俨播、生 θ w 固 / 、 罝扪王體構造，圖1(a)為左側視 圖，圖1(b)為前視圖，圖i⑷為平面圖，圖2顯示處理| if ί ii2(a)為前視之内部構造圖，圖2(b)為左侧視之 内部構造圖。 該脫泡裝置1具備為將液晶單元之内部所產生之氣泡予 以脫泡而具有處理室2之脫泡處理部3，以及為搬運該處理 室2之液晶單元7之搬運部4，以及為控制處理室2内之溫度 與壓力而具有控制部之操作板5。 所謂液晶單元7，是指例如具有矩形狀之陣列（Array)基 板及對向基板，該兩個基板藉助密封材將週邊部相互黏 貝曰占’而以預定之間隙加以對向配置，並在該間隙注入液 晶。該液晶單元7在收容於匣子6之狀態下進行脫泡處理。 匣子6可以收容複數個液晶單元7, 7, ·

520454 五、發明說明（5) 脫泡處理，3具備處理室2 ’ Ί亥處理室2被具有操作板5之 夕杧8所覆蓋。外框8在與搬運方向正交之方向設置4個門 扉8a ’該門扉為可以開合之構造。此外’在外框8之上部 預定位置設有可以吸入、排出空氣等之孔。又，外框8之 ::所$置之處理室2係形成氣密。處理室2是圓筒形狀。 二Γ"理^2之一邊的端部（圖中左側）設有供匣子6搬入 =出處，室内部之閘門9。該閘門9為處理室2上設置氣 S ψ 1处:里至内呈密閉狀態。又’該閘門9於匣子6搬入 或搬出時’错由空壓往復汽缸動作而滑動開合。此外，匠 子6自處理室2之圖！⑷中左侧搬人，於脫泡處理後，自同 -閘門9抽出而搬出。再者，亦可將該閘門9設置於 處理室2之内部，其寬度為可以處理複數個匿子^的程 度。又：處理室2之内壁面係經研磨加工。另夕卜，側 於液晶單元之搬運方向左右設有為對處理室内之 力熱=之Ϊ:近旁設有為使處理室内部成為真空㈣或 加壓狀悲之真二、加壓處理部15與為供應處理室 的熱風產生部30，底壁則設有為排出處理室内 ^ = 數個排氣孔40, 40, 40❹再者，處理室下部之預定位 _M5，以搬運、搬出£子6 ’此£子6收容經脫泡：理 後之複數個液晶單元7。另外，排氣部4〇與搬運部45 間’亦可設置為使處理室内部之溫度平均化的加 10。又’在處理室内部之預定位置，設有為檢測處理；内

520454 五、發明說明（6) 測溫埠最好是使用熱 部之溫度的複數個測溫埠（未圖示） 電輕。 圖3顯示加熱器部之構造，圖3(a)為圖2(a)之加熱器部 的放大圖，圖3 (b)為圖3 (a)之右側視圖。加熱器部丨〇設有 鎳鉻合金線11a未露出之管狀的被覆加熱器η，以及為使 自被覆加熱器11所放出之輻射熱反射效率良好的反射板 12，以及支撐反射板12之支撐構件13, 13... 13。 加熱器部10係將被覆加熱器11曲折成蛇腹狀而配設於反 射板1 2上，反射板1 2則藉由支撐構件1 3，對搬運方向被垂 直支撐於處理室内之側壁。 圖4顯示淋吸嘴之構造，圖4(a)為圖2(a)之淋吸嘴放大 圖，圖4 (b )為圖4 (a )之底視圖。淋吸嘴1 6係為吸收處理室 内部之空氣或將壓縮空氣排入處理室内部的構件。真空· 加壓部1 5則具備該淋吸嘴1 6、吸排氣管1 7、將經由真空泵 1 8與高壓空氣泵1 9、泵1 8、1 9所吸排氣之空氣的流量加以 調整之調整瓣20、以及供切換真空泵18或高壓泵19之切換 部2 1。（參照圖2 (b ))。 淋吸嘴1 6為呈矩形狀之框體，設置於處理室内部之近旁 而與搬運部45對向且平行。此外，面向該搬運部45，如圖 4(b)所示，設置複數個吸排氣孔22, 22. ·· 22。 另外，淋吸嘴1 6連結到吸排氣管1 7之一端。吸排氣管1 7 之另一端藉由調整瓣20和切換部21，與真空泵18及高壓泵 1 9連接。 要使處理室内部成為真空狀態時，啟動真空泵18，透過

520454 五、發明說明（7) '------ 2嘴16自處理室内部將空氣吸入使其成為真空狀態。另 面，要使處理室内部成為加壓狀態時，啟動高壓空氣 ，透過淋吸嘴16將壓縮空氣送進，使其成為加壓狀、 此外，自處理室内所吸入之空氣，或送進（排入）處理室 氣’可以由淋吸嘴16所具有之孔22吸排氣。如此淋 ° 由於在處理室内部之上部平面設有孔22，因此自處 理室内部吸入空氣’或將壓縮空氣排入處理室内部時，可 以自處理室内部或外部將空氣均勻地吸排氣。 此外，處理室2之内部透過送風管3〗設有熱風產生部 ^ 3〇。熱風產生部例如可設置為將熱風排出之熱風產生裝置 32。熱風產生裝置32係供加熱外部之空氣外，並將所加熱 之，氣送進處⑬室内冑之裝i。由熱風產生部3〇所加熱^ 空孤，透過送風管31送進處理室内部。藉由熱風產生部 3〇 ’處理室内部之溫度分佈可以均勻化之外，亦可將處理 室内部加熱。 外，處理室内部亦可設置空氣循環部35。藉由該空氣 循裱部35使空氣循環於處理室内部，並且保持均勻的溫度 为佈。空氣循環部3 5最好使用如風扇等。 „此外、’處理室内部之最底部設有排氣孔4G。排氣孔4G之❶ ，置係為排出處理室内部之空氣，而使真空狀態或加壓狀 態之處理室回歸大氣壓狀態。該排氣孔40係由排氣管41與 外邛I#絡。另外，在排氣管4 1之預定位置設有調整瓣 4 2 (參照圖6 )’以調整由排氣管4丨所排出空氣的流量。

520454 五、發明說明（8) 圖5顯示搬運部之構造，圖5(a)為左側視圖，圖5(b)為 前視圖，圖5(c)為平面圖。搬運部45設置複數個旋轉滾輪 46, 46· ·· 46。該旋轉滚輪46之上部裝載具有旋轉滾輪47之 搬運構件4 8。旋轉滾輪4 6係與搬運構件4 8平行而對向設 置，以支撐該搬運構件48。再者，搬運構件48之至少一邊 之端部，設有推拉搬運構件4 8之把手4 9。搬運構件4 8係於 旋轉滾輪4 6上滑動。亦即，使搬運構件4 8滑動時，旋轉滾 輪4 6亦跟著旋轉。旋轉滾輪4 6依順時針方向、反時針方向 皆可旋轉。 此外，該搬運構件上部在搬運構件4 8之長邊方向設有複j 數個等間隔隔開之托盤50, 50· ·· 50。托盤50可裝載收容有 複數個液晶單元7之匣子6。托盤50於預定位置設有複數個 支撐構件50a,50a...50a，而該支撐構件5〇a將匣子6加以 固定，以確實搬運之。如此，搬運部45以手推即可移動， 易將被處理物（收容液晶單元7之匠子6 )滑動到處理室内 部。 此外，在處理室2之搬運方向外面，設有為搬運該處理 室2之E子6 (液晶單元7 )的搬運部4。 搬運，4設有旋轉滾輪46a、46a· ·· 46a與旋轉滾輪設置 :a "亥旋轉滾輪46a可以調整旋轉滾輪設置台4a使其與 ^理室内部之搬運部45成為同樣高度。在該旋轉滾輪恤 面 I載匣子6之搬運構件4 8即會滑動。 —^卜，在搬運部4之搬運方向上面，設有為將g子與收 H數個液晶單元的E子予以除電之電離器4b。另外，對

C:\2D-C0DE\91-03\90132546 520454 〜丨丨丨_ 五、發明說明（9) - 應搬運方向之正交方向（兩侧部）設有區域感測器杬，4c ，於進行脫泡處理時，確認處理區域内是否有作業員的手 等之安全性。 茲說明關於脫泡裝置之動作形態。 圖6為脫泡裝置之方塊圖。 β如圖所示，控制部60係電性連接到操作板5、被覆加熱 器11凋整由排氣孔4 〇所排出空氣流量的調整瓣4 2、供進 行閘門9, 9a之開合的汽缸、熱風產生裝置32、冑空泵1 8、 高壓？氣$19、調整由此等真空泵18與高壓空氣泵所吸排 之空氣流量之調整瓣20、切換此等真空泵18與高壓空氣泵 1 9之切換部2 1、以及空氣循環部3 5。 ，理^内部經由真空泵18或高壓空氣栗19之吸排氣而成 真工狀悲或加壓狀態，同時由於被覆加熱⑽之㈣“ 加熱。又，被覆加熱器U經由控制部60，配合處理室； 之溫fTC1而被控制其被覆加熱器11的加熱狀態。具體而 言：處理室内部之溫度藉由測溫槔61 制而邊調整被覆加熱器11之輸出心： ^ ^切換σΡ 21由控制部6 〇所控制，例如要使處理室内 部成真空狀態•’切換到真空㈣，要成加壓ϋ:: 到高壓空氣泵19。 i狀L矸切換 壓=壓預定位置，設有供檢測吸氣或加 二置二可適用如蒸著^ 取取 配合以檢測裝置22所得之測定值，由 * W312\2d-code\91-03\90132546.ptd 520454 五、發明說明（ίο) ，，部60調整吸排氣管丨7内之吸排氣量。具體而言，吸排 氣管内之壓力（空氣流量）藉由檢測裝置22而檢測，將所 檢測壓力值邊加以回饋控制，而邊以調整瓣2〇調整自真* 泵18或高壓空氣泵19所吸排氣之空氣流量，並調整處理= 内部之壓力達到目標，使處理室2成為真空狀態或加壓狀 態。 此外，操作板5之預定位置（顯示部72)所顯示者， 由以下各件所測定（檢測）之值，即供測定處理室内 溫度的測溫埠6 1、供測定吸排氣管内之壓力（空旦 的檢測裝置2 2、供測定處理室外壁之溫度的測二皁6: T 此外，調整由排氣孔40所排出空氣流量的調整瓣42 需要由控制裝置調整其閥之開度。 此外，處理室内部之溫度調整，亦可 部10與熱風產生部30而進行升溫速度之最佳化。 ‘、、、益 圖7顯示操作板5之外觀。 士如圖所示，操作板5具備警告顯示部71、顯示㈣ %器73、手動操作開關74、自動操作開㈣、模式 關76、扉開合開關77、狀態顯示部78、記錄部μ。 ^ 警告顯示部7卜依異常部位之種類而區分，使該異 起Γ顯示處理（運轉）中所發生之狀態。異 :Γ: Ϊ?::ί可分為電源異常、源頭壓力異常、壓 等：$ & 4 〇 ‘、、、态異常、Μ内加熱器異常、扉開合異常 顯示部72以數位數值顯示處理中之操作狀態，例如壓力

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五、發明說明（11) 顯示部、溫度顯示部、壓縮氣量顯示部、排氣量顯示 等。 、·、、、不峥 定時器73可設定處理之時間。 手動操作開關74使用於以手動控制故障異常等之各動作 部’但通常之處理係依自動程式而執行，無法依自動程式 而執行者亦由手動操作開關處理。 主> 手動操作開關7 4具備手動切換按鈕、排氣閥按鈕、加壓 閥按鈕、排氣控制按鈕、空氣加熱器按鈕、爐内加熱器按 手動切換按鈕可以手動進行 此按鈕，可使各程序之動作開 之排氣瓣全開。加壓閥按钮使 按紐使加壓控制瓣動作，以作 熱器按鈕使熱風產生器之加熱 設於處理室内部之被覆加熱器 之順序處理。 處理系統之運作。藉由選擇 關生效。排氣閥按紐使所有 加壓源頭瓣全開。排氣控制 排氣瓣之順序處理。空氣加 器動作。爐内加熱器按鈕使 11動作。結束按鈕進行關機

自動操作開關75為供進行通常之處理的按鈕。藉由選 此按鈕，可依預定之程式進行脫泡處理。

自動操作開關75具備READY按鈕、pAUSE 鈕、BUZZER .STOP 按鈕、CALL .HElp 按鈕。 之RE:=在從發生告警等之裝置異常要恢復時使用 Ϊ錄ϋΐΪΪ的話’即回到初期設定。PA按鈕在因 某：1因而要暫時停止脫泡處理操作時使用之。選擇此 紐的時點，即在各程序之狀態下而暫時停止。又，如為

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發明說明（12) 一直進行時間到後之加熱 =才會暫時停止eSTART按紐在上述PAUSE按』 重新起動處理。亦可使用於自動處理之情形， 選擇此按鈕即可開始自動生產。如此，通常運轉之開始 以及攸暫時停止等之處理停止的重。 START按鈕 〇 BUZZFR 力▲ 白 J 便用 .鈴聲。CALL Ρ ΓΛ在發生裝置異常時可關掉 :需it—藉由警铃與顯示可讓周圍知道Si 按J式選擇開關76為選擇獨立型(單門)或連線型(雙門◊之 可i;===0PEN按紐、shut按紐、職e按紐， j退仃閘門用之開合閥的操作。 狀態顯不部7 8區分為運絲& ^ 束之狀態。 ”、、轉一〜束，以燈號顯示運轉與結 :己：部79記錄處理之過程或 並印在記錄紙上而輸出。 地i矸間專， 此外’緊急時纟#卩咅# 可訂出每級之對象；所輸出之警報設^為1〜3級， 1級表示系統運作上/Λ行對其原因之處理。 異常或總電源異常二生問，之重大警報。對象為電源 警鈐、告警顯示通42:。處理為停止全系統，並以 2級表示週邊機| 内加熱器異常。處理\對象為空氣加熱器異常、爐 处里為如止相關系統，並以警鈴、告警顯

五、發明說明（13) 示通知其發生。 3級表示運作順序 為扉開合異常。产么作 控制機器之週期已到。對象 示通知其發生。处 ”、、τ止相關系統，並以警鈐、告警顯 圖8為動作形態之流程圖。 首先，將發生氣泡之液曰一 /夜阳早疋7插入匣子6内，並將該匣 于b衣^載於搬運部4 (步驟sl〇1 )。 接著’藉由搬運部4所 仏，確認ϋ子6 %區域感測器^與電離器 性，故使㈣由操作板5:Γ=7)被處理物之除電與安全 門9 (步驟S1G2)。使用者開動作指示，而打開間 運到處理室内部之預定位^载Ε子6之搬運構件48，搬 由择作杯(步驟S1〇3)。搬入後，再度 成密閉狀r r"V門關動作指示’關閉閘門9，使處理室内 烕抬閉狀悲（步驟Sl〇4 )。 使用者由操作板5設定脫泊之卢 與處理室内H Λ , 式（如真空、加壓） 去-且：：：/皿度 預先準備好若干處理程式，使用 者谷易攸其中選擇處理方式（步驟S105)。 乃依照所選擇或設定之操作程式進行脫泡處理 驟d W例如—首先打開所有排氣孔㈣之調整瓣42(步 界直”吏二理至内與大氣壓相同。在此狀態下打開加 I、真二處理部側之調整瓣20 (步驟S107)，同時 風產生裝置32與被覆加熱器n之電源（步驟sl〇8 )，將；、 理室内加熱。此時，將調整瓣42加以調整（步驟si〇9 )二 處理室内之溫度超過設定值之8〇%時（步驟su〇)，關閉

520454 ，氣孔側=調整瓣42(步驟sm)，使成完全密閉狀態。接 Ϊ二ί理ΐ之外壁溫度超過設定值之80%時（步驟S112) ’ ，^定時器為一定時間（步驟S1丨3 )。俟一定時間後定時 裔+止（步驟S114 ) ’即關掉熱風產生裝置32與被覆加熱 器11之電源（步驟S115)。然後，Μ閉加壓、冑空處理部 側之调整瓣20 (步驟S1丨6 )，同時開啟排氣孔側之調整瓣 4 2 (步驟S11 7 ) ’使處理室内部與大氣壓相同（步驟§8 )。處理室内部與大氣壓相同時即關閉排氣孔側 42 (步驟S119、。 自處理室内搬出匣子 亦可以種種形態實施 〇 ，亦 最後’打開閘門9 (步驟s 1 2 〇 ) 而結束脫泡處理（步驟g 1 2 1 )。 本發明並不限於以上之實施形態 之0 内之溫度或壓力狀態 例如，可由手動而變更處理室 可指示加熱方式。 [發明之效果] 如以上之說明， 單元進行脫泡處理 行溫度管理等，亦 [元件編號之說明] 1 脫泡裝置 依本發明的話，即可 。又，使用者選擇處 可對液晶單元進行脫 對發生氣泡之液晶 理方式而以手動進 泡處理。

2 處理室 3 脫泡處理部 4 搬運部

520454 五、發明說明（15) 5 操作板 6 匣子 7 液晶單元 8 外框 9 閘門 10 加熱器部 11 被覆加熱器 12 反射板 13 支撐構件 15 真空·加壓部 16 淋吸嘴 17 吸排氣管 18 真空泵 19 高壓空氣泵 20 調整瓣 21 切換部 22 檢測裝置 30 熱風產生部 31 送風管 32 熱風產生裝置 35 循環部 40 排氣孔 41 排氣管 42 調整瓣 1 __91 〇 \\312\2d-code\91-03\90132546.ptd 第18頁 520454 五、發明說明 (16) 45 搬運部 46 旋轉滾輪 46a 旋轉滚輪 47 旋轉滚輪 48 搬運構件 49 把手 50 托盤 5 0a 支撐構件 60 控制部 61，62 測溫埠 71 警告顯示部 72 顯示部 73 定時器 74 手動操作開關 75 自動操作開關 76 模式選擇開關 77 扉開合開關 78 狀態顯示部 79 記錄部 ❶

\\312\2d-code\91-03\90132546.ptd 第19頁 圖5顯示本發明之脫泡裝置的搬運部之構造，圖5 (a )為 左側視圖，圖5(b)為前視圖，圖5(c)為平面圖。 圖6為本發明之脫泡裝置之方塊圖。 520454 圖式簡單說明 圖1顯示本發明之脫泡裝置的全體構造，圖丨（a)為左側 視圖，圖1(b)為前視圖，圖i(c)為平面圖。 圖2顯示本發明之脫泡裝置之處理室的構造，圖2(a)為 前視之内部構造圖，圖2(b)為左側視之内部構造圖。 圖3顯示本發明之脫泡裝置的加熱器部之構造，圖3 (a ) 為圖2(a)之加熱器部的放大圖，圖3(b)為圖3(3)之右側視 圖〇 圖4顯示本發明之脫泡裝置的淋吸嘴之構造，圖4(a)為 圖2(a)之淋吸嘴放大圖，圖4(b)為圖4(a)之底視圖。

\\312\2d-code\91-03\90132546.ptd

第20頁

Claims (1)

1. ^20454- 止

   lit專利疏鄘 1 · 一種脫泡 置中，為使前 理室，其特徵 使前述處理 構； 使前述處理 機構； 控制前述處 將前述處理 使前述處理 2 ·如申請專 供應處理室内 3 ·如申請專 制機構以調整 制機構係由吸 擇一。 4.如申請專 中，具備一溫 度，並依其檢 產生部所供應 5 ·如申請專 中，具備壓力 依其檢測之壓 6 ·如申請專 裝置’其在為消除液晶單元之氣泡的脫泡裝 述液晶單元之氣泡予以脫泡而形成氣密之處 為具備： 至内部成為真空狀態而吸出空氣之吸氣機 至内部成為加壓狀態而供應壓縮氣體之供廡 理室内的溫度與壓力狀態之控制機構； 室内部加熱之加熱器；以及 至内部之空氣得以排出外部之排氣機構。 利範圍第1項之脫泡裝置，其中，係具備為 部之加熱空氣的熱風產生部。 利範圍第2項之脫泡裝置，其中，具備一控 壓力與溫度至前述處理室内部之目標，此% 氣機構與排氣機構與加熱器與熱風產生部中 利範圍第1至3項中任一項之脫泡裝置，其 度調整機構，以檢測前述處理室内部之严 測之溫度值而調整由前述加熱器或/及熱風 之空氣的溫度。 ^ 利範圍第1至3項中任一項之脫泡裝置，其 調整機構，檢測前述處理室内部之壓力了而 力值可以調整吸排氣之空氣流量。 利範圍第4項之脫泡裝置，其中，具備壓力

   \\312\2d-code\91·03\90132546.ptd 第21頁 520454 六、申請專利範圍 調整機構，檢測前述處理室内部之壓力，而依其檢測之壓 力值可以調整吸排氣之空氣流量。 7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之脫泡裝置，其 中，具備供移入前述處理室内部之搬運機構。 8. 如申請專利範圍第4項之脫泡裝置，其中，具備供移 入前述處理室内部之搬運機構。 9. 如申請專利範圍第5項之脫泡裝置，其中，具備供移 入前述處理室内部之搬運機構。 1 0.如申請專利範圍第6項之脫泡裝置，其中，具備供移 入前述處理室内部之搬運機構。 f 11.如申請專利範圍第1至3項中任一項之脫泡裝置，其 中，具備循環部，於前述處理室内部加壓時，使空氣循環 而將前述處理室内部之溫度予以均勻化。 1 2.如申請專利範圍第4項之脫泡裝置，其中，具備循環 部，於前述處理室内部加壓時，使空氣循環而將前述處理 室内部之溫度予以均勻化。 1 3.如申請專利範圍第5項之脫泡裝置，其中，具備循環 部，於前述處理室内部加壓時，使空氣循環而將前述處理 室内部之溫度予以均勻化。 1 4.如申請專利範圍第6項之脫泡裝置，其中，具備循環 部，於前述處理室内部加壓時，使空氣循環而將前述處理 室内部之溫度予以均勻化。 1 5.如申請專利範圍第7項之脫泡裝置，其中，具備循環 部，於前述處理室内部加壓時，使空氣循環而將前述處理

   \\312\2d-code\91-03\90132546.ptd 第22頁 520454 六、申請專利範圍 室内部之溫度予以均勻化。 看 ΙΙΙΙΙΙΙΙΙΙ \\312\2d-code\91-03\90132546.ptd 第23頁