JP2002527670A - 真空ポンプ用スクロールタイプ流体容積形装置 - Google Patents

真空ポンプ用スクロールタイプ流体容積形装置

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JP2002527670A JP2000576176A JP2000576176A JP2002527670A JP 2002527670 A JP2002527670 A JP 2002527670A JP 2000576176 A JP2000576176 A JP 2000576176A JP 2000576176 A JP2000576176 A JP 2000576176A JP 2002527670 A JP2002527670 A JP 2002527670A
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    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/005Axial sealings for working fluid
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle

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Abstract

(57)【要約】 スクロールタイプ真空ポンプ(10)において、エキスパンダ(40、50)およびコンプレッサ(60、70)を直列に2ステージとして同じハウジング(20)内に配置して、同じ軸(22)によって駆動する。第1ステージは、スクロールタイプ・エキスパンダである。これは、スクロールタイプ・コンプレッサと直列状態にあり、このコンプレッサが、第2ステージとなる。第2ステージ(コンプレッサ)の吸入ポケットの体積は、第1ステージ装置(エキスパンダ)の放出ポケットの体積よりそれほど小さくない。したがって、再膨張・圧縮プロセスに伴う熱量が減少する。2ステージ・ポンプは、また、二重軸シール機構(11、92)を包含し、このシール機構は、大気およびエキスパンダの放出室の両方からエキスパンダの吸入室をシールする。本発明の2ステージ・ポンプは、さらに、スクロール要素の先端面にラビリンス構造(301〜304)を包含し、対応するスクロール要素の先端、ベース間の軸線方向(δ)ギャップを緊密に制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 (発明の分野) 本発明は、全般的に、流体容積形装置に関する。一層詳しくは、本発明は、真
空ポンプ用のスクロールタイプ流体容積形装置に関する。
【0002】 (発明の背景) スクロールタイプ流体容積形装置は、周知である。たとえば、Leon Creuxの米
国特許第801,182号が、2つのスクロール部材を包含するスクロール装置
を開示しており、各スクロール要素は、円形の端板と螺旋状またはインボリュー
ト・スクロール要素とを有する。スクロール要素は、同一の螺旋状幾何学形状を
有し、角度のある半径方向オフセットを持って相互嵌合し、螺旋形の湾曲した表
面間に複数の線接触部を創り出す。こうして、相互嵌合スクロール要素が、少な
くとも1つの流体ポケットを構成し、それをシールする。1つのスクロール要素
を他方のスクロール要素に対して軌道周回させることによって、線接触部が螺旋
状に湾曲した表面に沿って変位し、それによって、流体ポケットの体積を変える
。この体積は、スクロール要素の相対的な軌道運動の方向に応じて増減する。し
たがって、装置は、流体を圧縮したり、膨張させたりするのに使用することがで
きる。
【0003】 公知のスクロールタイプ流体容積形装置は、エキスパンダまたはコンプレッサ
として作動しているかどうかにかかわらず、真空ポンプとして使用することがで
きる。しかしながら、共に、過熱についてかなりの可能性に直面している。 エキスパンダを真空ポンプとして使用する場合、放出ポケット内の空気圧力が
周囲空気圧力よりかなり低いため、周囲空気が放出ポケットに向かって再膨張す
ることになる。こうした周囲空気の再膨張によって、エネルギーが消費され、し
ばしば、過熱が生じる。周囲空気の再膨張を或る程度まで減らすために放出弁を
使用することができるが、再膨張を除去することはできず、そして、このような
弁はしばしば故障する。
【0004】 コンプレッサを真空ポンプとして使用し、始動時あるいは大気への漏洩により
コンプレッサの入口空気が大気圧である場合、通常、潤滑が行われず、あるいは
、内部冷却が行えないので、再膨張・圧縮プロセスに伴う熱は、コンプレッサに
損傷を与える。再膨張・圧縮熱によって、スクロール要素に過度の熱増大が生じ
、その結果、スクロール要素の先端、ベース間のゴーリングが生じる。
【0005】 米国特許第3,994,636号が、スクロールタイプ流体容積形装置の圧縮
ポケット間を半径方向にシールする先端シール機構を開示している。この装置に
おいては、従来技術として図面に示されているように、それぞれのスクロール・
ベーン103、203の先端部の中間部に形成された螺旋形の溝102、202
内に先端シール101、201が設置されている。これらの先端シール101、
201は、それぞれのスクロール部材103、203の中央領域から周面まで螺
旋形の溝102、202に沿って連続的に延びている。シール101、201は
、弾性材料のような機械的装置によって、あるいは、空気圧力によって押圧され
、それぞれの他のスクロール部材203、103のベース204、104と接触
する。この構成は、半径方向のシーリングを提供する。しかしながら、先端シー
ルの幅は、スクロール・ベーンの幅よりも小さい。たとえば、先端シール101
の両側のところに、スクロール要素103における接線方向漏洩通路A―A、B
―Bがある。これらの漏洩通路は、スクロール装置の体積を減らし、エネルギー
効率を低下させる。
【0006】 (発明の概要) 本発明の主目的は、真空ポンプ用のスクロールタイプ流体容積形装置の上述し
た欠点を克服することにある。 また、本発明の目的は、このような装置における再膨張・圧縮プロセスに通常
伴う過熱を容積形するスクロールタイプ真空ポンプを提供することにある。 本発明のまた別の目的は、とりわけ、エキスパンダおよびコンプレッサとして
利用することによって上記の目的を達成するスクロールタイプ真空ポンプを提供
することにある。 本発明のまたさらに別の目的は、周囲およびエキスパンダの放出室の両方から
エキスパンダの吸入室をシールする軸シール機構を提供することにある。 本発明のまたさらに別の目的は、先端・ベース・ゴーリングなしに半径方向、
接線方向のシーリングを効率的に行えるスクロール要素の先端に設けたシール配
置を提供することにある。
【0007】 上記および他の目的は、本発明によれば、同じ本体内に組み込み、同じ駆動軸
を共有するエキスパンダ・コンプレッサ、すなわち、2ステージ真空ポンプを提
供することによって実現することができる。第1ステージは、スクロールタイプ
・エキスパンダである。このエキスパンダは、スクロールタイプ・コンプレッサ
と直列状態にあり、このコンプレッサが、第2ステージとなる。第2ステージ(
コンプレッサ)の吸入ポケットの体積は、第1ステージ装置(エキスパンダ)の
放出ポケットの体積よりそれほど小さくない。したがって、再膨張・圧縮プロセ
スに伴う熱量が減少する。2ステージ・ポンプは、また、二重軸シール機構を包
含し、これは、周囲とエキスパンダの放出室の両方からエキスパンダの吸入室を
シールする。
【0008】 本発明の2ステージ・ポンプは、さらに、対応するスクロール要素の先端、ベ
ース間の軸線方向ギャップを緊密に制御するようにスクロール要素の先端面に設
けたラビンリンス構造を包含する。このラビリンス構造は、薄くて低い壁を有す
る小さいリップの配置からなり、これらが、各スクロール要素の各先端上に迷路
を形成している。スクロール要素の熱増大がラビリンス・リップを対応するスク
ロール要素のベースに対して押し付けるとき、ラビリンス・リップは、先端また
はベースのゴーリングを生じさせることなく障碍材料を除くことによって、リッ
プ、ベース間の接触圧力がスクロール上のリップを変形させる程度の弱さとなっ
ている。したがって、ラビリンス・リップは、スクロール先端、ベース間の軸線
方向クリアランスを極めて接近させる。良好な半径方向、接線方向シーリングが
達成されるので、圧縮ポケット間の半径方向、接線方向の漏洩流は、かなり減少
する。
【0009】 (好ましい実施形態の詳細な説明) 図1〜3を参照して、ここには、本発明に従って構築したスクロールタイプ真
空ポンプが、全体的に10で示してある。この真空ポンプ10は、ベアリング3
0によって支持された主軸22を包含する主ハウジング20を包含する。主ハウ
ジング20の前後端のそれぞれには、第1スクロール部材40および第4スクロ
ール部材70がボルト止めしてある。前部ベアリング・ハウジング90が、第1
スクロール部材40にボルト止めしてある。
【0010】 前部ベアリング・ハウジング90は、前部軸シール92および前部軸ベアリン
グ94を保持している。主軸22は、ベアリング30、ベアリング94によって
回転可能に支持されており、プーリー96を介して電動機(図示せず)によって
駆動されたときにその軸線S1−S1に沿って回転する。軸シール92は、外部
の空気およびほこりがポンプ10に入るのを防止するように軸22をシールして
いる。
【0011】 主軸22は、前部クランク・ピン24と、後部クランク・ピン26を包含する
。前部クランク・ピン24の中心軸線S2−S2は、第2スクロール部材50の
軌道周回半径Ror1に等しい距離だけ、主軸軸線S1−S1からオフセットし
ている。後部クランク・ピン26の中心軸線S3−S3は、第3スクロール部材
60の軌道周回半径Ror2に等しい距離だけ主軸軸線S1−S1からオフセッ
トしている。軌道周回半径Ror1およびRor2は、それぞれ、第1スクロー
ル部材40および第4スクロール部材70に対して軌道周回するとき、第2スク
ロール部材50および第3スクロール部材60の移動する軌道周回円の半径であ
る。
【0012】 第1、第2のスクロール部材40、50は、一緒になって、真空ポンプ10の
第1ステージ(エキスパンダ)を形成している。第1スクロール部材40(エキ
スパンダ固定スクロールとも呼ばれる)は、第1スクロール要素42が突出する
円形の端板41を包含する。円形端板41および第1スクロール要素42に加え
て、第1スクロール部材40は、前部ベアリング・ハウジング90を取り付けた
が軸方向に突出する前端43を包含する。
【0013】 第2スクロール部材50(エキスパンダ軌道周回スクロールとも呼ばれる)は
、円形の端板51、第2スクロール要素52および軌道周回ベアリング・ボス5
3を包含する。スクロール要素52は、端板51の前面に取り付けられ、そこか
ら突出している。軌道周回ベアリング・ボス53は、端板51の前面に取り付け
られ、そこから突出している。より伝統的な設計では、端板51の後面から突出
してもよい。
【0014】 スクロール要素52、62は、180度角度的にオフセットし、また、軌道周
回半径Ror1に等しい半径方向オフセットで相互嵌合している。それによって
、少なくとも一対のシールされた流体ポケットが、スクロール要素52、62間
および端板51、61間に構成される。
【0015】 第2スクロール部材50は、前部駆動ピン・ベアリング27および前部駆動ス
ライダ28を介して駆動ピン24に連結している。前部オルハム・リング29が
、第2スクロール部材50の回転を阻止している。したがって、第2スクロール
部材50が軌道周回半径Ror1のところで軌道運動を行うように駆動されると
き、駆動軸22が回転するにつれてポケット内で流体を膨張させるのに効果的で
ある。
【0016】 第3、第4のスクロール部材60、70は、真空ポンプ10の第2ステージ(
コンプレッサ)を形成する。第3スクロール部材60(コンプレッサ軌道周回ス
クロールとも呼ばれる)は、第3スクロール要素52が突出する円形の端板61
を有する。この端板61の前面には、ベアリング・ボス63が取り付けられてお
り、そこから突出している。第4スクロール部材70(コンプレッサ固定スクロ
ールとも呼ばれる)は、円形の端板71、第4スクロール要素72、放出ハブ7
3および補強リブ74を包含する。
【0017】 スクロール要素62、72は、180度角度的にオフセットし、軌道周回半径
or2に等しい半径方向オフセットで相互嵌合している。それによって、少な
くとも一対のシールされた流体ポケットが、スクロール要素62、72間および
端板61、71間に構成される。第3スクロール部材60は、後部駆動ピン・ベ
アリング31および後部駆動スライダ32を介して駆動ピン26に連結している
。後部オルダム・リング33が、第3スクロール部材60の回転を阻止しており
、それによって、駆動軸22が回転するときに、軌道周回半径Ror2のところ
で流体を圧縮するように軌道運動を描いて駆動される。
【0018】 コンプレッサ10の作動時、空気は吸入ポート80から入口室81に入る。入
口室81から、空気は、第1、第2のスクロール部材40、50によって形成さ
れた吸入ポケット82に移動する。次に、この空気は、これらの2つのスクロー
ル部材の動作によって膨張させられる。膨張した空気は、室84、室85および
通路86を通って真空ポンプの第2ステージ(コンプレッサ)の吸入室87に放
出される。
【0019】 吸入室87内の空気は、次に、第3、第4のスクロール部材60、70によっ
て形成された吸入ポケットに入り、そこにおいて、これらの2つのスクロール部
材の動作によって圧縮される。圧縮空気は、放出弁88を開き、放出穴69およ
び放出ポート98から周囲に逃れる。
【0020】 図4a−4cは、第1、第2のスクロール部材40、50の相互嵌合している
螺旋形状のスクロール要素42、52それぞれの相対運動を概略的に示している
。図4aにおいて、エキスパンダの吸入ポケットが、2Aで示してある。1つの
スクロール要素の先端が他のスクロール要素の先端と接触しているとき、吸入ポ
ケット2Aは、2つのスクロール要素42、52によって形成される最内方ポケ
ットとなる。吸入ポケットの総体積は、吸入量と呼ばれる。
【0021】 次に図4b、4cを参照して、2Bは、膨張プロセス中のポケットを示し、2
Cは、エキスパンダの放出ポケットを示している。放出ポケット2Cは、シール
されたポケットが開いて放出する直前に、2つのスクロール要素42、52によ
って形成された最外方ポケットとなる。放出ポケットの体積は、放出量と呼ばれ
る。
【0022】 図5a−5cは、それぞれ、第3、第4のスクロール部材60、70のスクロ
ール要素62、72の相対運動を概略的に示している。吸入ポケット3A(第3
、第4のスクロール部材60、70によって形成されている)は、コンプレッサ
の最外方ポケット対となる。圧縮プロセスにあるポケットは、図5bにおいて3
Bで示してある。図5cを参照して、放出量(すなわち、コンプレッサの最内方
ポケットの体積)は、3Cで示してある。
【0023】 真空ポンプ10のコンプレッサ・ステージにおける吸入、放出ポケットの関係
は、エキスパンダ・ステージのそれと反対である。本発明によれば、コンプレッ
サ・ステージにおける体積3Aは、エキスパンダ・ステージにおける体積2Cよ
りもかなり小さいものであってはならない。好ましくは、体積3Aは、2Cに等
しいか、それより大きい。
【0024】 エキスパンダの放出量とコンプレッサの吸入量との関係は、真空ポンプの性能
にとって重要である。第1ステージ(エキスパンダ)の放出ポケットから放出さ
れた空気は、第2ステージ(コンプレッサ)の吸入ポケットに吸い込まれる。定
常状態で、質量保存の法則が以下の関係を与える。
【0025】 D2c*V2c=D3a*V3a (1)
【0026】 ここで、D2cおよびD3aは、それぞれ、エキスパンダ・ステージの放出ポケ
ット内およびコンプレッサ・ステージの吸入ポケット内の空気の密度であり、V 2c は、エキスパンダ・ステージの放出量であり、V3aは、コンプレッサ・ス
テージの吸入量である。第2ステージの吸入量(V3a)が、第1ステージの放
出量(V2c)より小さい場合、すなわち、
【0027】 V3a<V2c (2)、
【0028】 故に、 D3a>D2c (3)
【0029】 である場合、そして、両体積の空気の温度が一定であると仮定して、理想的なガ
スについての状態式は、次の通りである。
【0030】 P2c/D2c=P3a/D3a (4)。
【0031】 したがって、 P3a>P2c (5)。
【0032】 室84、85、86内の空気圧力がP3aであるから、エキスパンダの放出ポ
ケット内の空気は過膨張させられる。室84、85、86内の空気は、エキスパ
ンダの放出ポケットが室84に開くと直ぐに、放出ポケットに再膨張することに
なる。反復再膨張が、エキスパンダ、コンプレッサ両方を過熱する可能性がある
。 V3aがV2cよりそれほど小さくない場合、空気の再膨張によって発生した
熱は、ハウジングその他の部品を通して大気へ消散する可能性があり、過熱が生
じることはないかも知れない。しかしながら、もしも
【0033】 V3a>V2c (6) であるならば、過熱は、決して生じることはない。
【0034】 したがって、本発明は、第1ステージの放出量よりも大きい第2ステージの吸
入量を常に発生させるように作動する真空ポンプ10を意図している。これは、
先に説明したエキスパンダ・コンプレッサ構造を使用することによって達成され
る。
【0035】 本発明の別の局面においては、最適な軸シーリングが達成される。図1を参照
して、ここには、軸シール11が示してある。この軸シール11は、ばね座部1
2、ばね13、回転リング14、「O」リング15、軌道周回リング16および
軌道周回「O」リング17を包含する。軌道周回リング16は、前部駆動ピン・
ベアリング27と軌道周回ベアリング・ボス53との間の空気通路をシールする
。「O」リング15は、軸22の表面に沿った空気通路をシールする。回転リン
グ14は、ばね13によって軌道周回リング16に押し付けられ、気密接触面1
8を形成する。この接触面18は、入口室81と室85との間の軸に沿った任意
の可能性のある空気通路をシールする。
【0036】 軸シール11の特徴は、回転リング14と軌道周回リング16と間の相対運動
が軸回転と軌道周回リング16の軌道周回運動の組み合わせとなるという事実に
ある。普通の軸シール92が使用してあり、前部ベアリング・ハウジング90を
通して大気への可能性ある空気漏洩から室81をシールしている。シール11、
92は、組み合わせにおいて、本発明によるシール機構を形成する。
【0037】 本発明の別の局面は、スクロール要素先端シーリング領域に見出される。図6
a−6fを参照して、ここには、スクロール要素の先端300(一部のみが示し
てある)にあるラビリンス・リップ301、302、303、304が示してあ
る。ラビリンス・リップでは、スクロール要素の先端に形成された壁が非常に薄
くて浅い。これらの壁は、半径方向、接線方向のおける空気流を阻止するように
設計されている。しかしながら、ラビリンス・リップがスクロール要素の熱増大
により他のスクロール要素のベースに対して押圧されたとき、ラビリンス・リッ
プは、容易に湾曲あるいは変形し、あるいは、ベースとの接触によって動かされ
る。これが先端・ベース・ゴーリングを防ぐ。
【0038】 図6aは、ラビリンス・リップ301の1形態を示している。リップは、螺旋
形スクロール要素の先端300の両側部および中間部に位置する3つの長手方向
壁A、B、Cを有する。これらの壁は、斜めの壁Dによって連結されている。リ
ップは、三角形横断面を有し、各壁の幅wおよび長さh(図6b参照)は、小さ
い。たとえば、0.5mmである。
【0039】 ラビリンス・リップの他の幾何学的形状すなわち横断面も、弱いピークを有す
る限り、可能である。これらのピークは、容易に湾曲、変形、移動し、対応する
スクロールにゴーリングを生じさせることがない。スクロール要素の先端とベー
スの間には、非常に小さい軸線方向ギャップが維持され、ゼロ・ギャップすら維
持される。したがって、優れた半径方向、接線方向のシーリングを得ることがで
きる。
【0040】 図6c、6dは、それぞれ、くし状、方形状のラビリンス・リップ302,3
03を示している。図6e、6fは、ラビリンス・リップ304と普通の先端シ
ール機構との組み合わせを示している。 本発明の上記の実施例が好ましいが、当業者であれば、構造、配置、組成など
の変更が可能であり、これが発明の真の範囲から逸脱しないことは明らかであろ
う。本発明は、添付の特許請求の範囲によって定義されており、事実上あるいは
均等物として請求項の意味に入るすべての装置および/または方法が範囲に入る
ことを意図している。
【図面の簡単な説明】
【図1】は、本発明による2ステージ・スクロールタイプ真空ポンプの軸に
沿った横断面図である。
【図2】は、図1の2−2線に沿って図1のポンプを横方向に通る横断面図
である。
【図3】は、図1の3−3線に沿って図1のポンプを横方向に通る横断面図
である。
【図4a】 本発明によるポンプの第1ステージの作動原理を示している。
【図4b】 本発明によるポンプの第1ステージの作動原理を示している。
【図4c】 本発明によるポンプの第1ステージの作動原理を示している。
【図5a】 本発明によるポンプの第2ステージの作動原理を示している。
【図5b】 本発明によるポンプの第2ステージの作動原理を示している。
【図5c】 本発明によるポンプの第2ステージの作動原理を示している。
【図6a】 本発明による、スクロール要素の先端に形成されたラビリンス・リップの種々
の実施例を示している。
【図6b】 本発明による、スクロール要素の先端に形成されたラビリンス・リップの種々
の実施例を示している。
【図6c】 本発明による、スクロール要素の先端に形成されたラビリンス・リップの種々
の実施例を示している。
【図6d】 本発明による、スクロール要素の先端に形成されたラビリンス・リップの種々
の実施例を示している。
【図6e】 本発明による、スクロール要素の先端に形成されたラビリンス・リップの種々
の実施例を示している。
【図6f】 本発明による、スクロール要素の先端に形成されたラビリンス・リップの種々
の実施例を示している。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F04C 18/02 311 F04C 18/02 311T 25/02 25/02 N 27/00 331 27/00 331 29/00 29/00 A U

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スクロールタイプ容積形装置であって、a)第1スクロール
    要素が突出するベース面を備えた第1端板を有する第1スクロール部材と、b)
    第2スクロール要素が突出するベース面を備えた第2端板を有する第2スクロー
    ル部材と、c)前記第1、第2のスクロール部材を180度だけ位相変位した軸
    方向偏心位置において結合したときに、前記第1、第2のスクロール部材間に構
    成される一対の吸入室、膨張室および一対の放出室と、d)第3スクロール要素
    が突出するベース面を備えた第3端板を有する第3スクロール部材と、e)第3
    スクロール要素が突出するベース面を備えた第4端板を有する第4スクロール部
    材と、f)前記第3、第4スクロール部材を180度だけ位相変位した軸方向偏
    心位置において結合したときに、前記第3、第4スクロール部材間に構成される
    一対の吸入室、圧縮室および一対の放出室と、g)第2、第3スクロール部材に
    駆動力を伝える軸であり、少なくとも1つのベアリングで支えられている軸とを
    包含し、h)前記第3、第4スクロール部材によって形成された前記吸入室の体
    積が、前記第1、第2スクロール部材によって形成された前記放出室の体積より
    それほど小さくないことを特徴とするスクロールタイプ容積形装置。
  2. 【請求項2】 請求項1の装置において、a)前記軸が、第2、第3スクロ
    ール部材を駆動し、第1、第2スクロール部材がスクロール・エキスパンダとし
    て作用し、第3、第4スクロール部材の対がコンプレッサとして作用することを
    特徴とする装置。
  3. 【請求項3】 スクロールタイプ容積形装置であって、a)第1スクロール
    要素が突出するベース面を備えた第1端板を有する第1スクロール部材と、b)
    第2スクロール要素が突出するベース面を備えた第2端板を有する第2スクロー
    ル部材であり、前記第2端板からベアリング・ハブが突出している第2スクロー
    ル部材と、c)駆動力を第2スクロール部材に伝える軸であり、少なくとも1つ
    のベアリングによって支えられている軸と、d)前記軸上のシール組立体とを包
    含し、e)前記シール組立体が、軌道周回片および回転片を有するシール機構を
    包含し、前記軌道周回片が、前記第2スクロール部材に関して静止していること
    を特徴とするスクロールタイプ容積形装置。
  4. 【請求項4】 請求項3の装置において、a)前記軌道周回片が、前記第2
    スクロール要素ベアリング・ハブと前記第1軌道周回片との間の半径方向ギャッ
    プにシールを形成するOリングを包含し、b)前記回転片が、前記軸に関して静
    止していることを特徴とする装置。
  5. 【請求項5】 請求項4の装置において、a)前記回転片が、前記軸と前記
    回転片との間の半径方向ギャップにシールを形成するOリングを包含し、b)前
    記軌道周回片が、前記軸が回転するときに前記回転片と面接触し、前記第2スク
    ロール部材が、前記第1スクロール部材に関して軌道周回し、c)前記面接触部
    が、接触面間に流体の半径方向通過を妨げるシールを形成することを特徴とする
    装置。
  6. 【請求項6】 スクロールタイプ容積形装置であって、a)第1スクロール
    要素が突出するベース面を備えた第1端板を有する第1スクロール部材と、b)
    第2スクロール要素が突出するベース面を備えた第2端板を有する第2スクロー
    ル部材を包含し、c)前記第1、第2のスクロール要素の各々の先端に、ラビリ
    ンス構造が形成され、これらのラビリンス構造が、各前記スクロール要素の前記
    先端に直立する薄い、軸方向に延びる壁からなることを特徴とするスクロールタ
    イプ容積形装置。
  7. 【請求項7】 請求項6の装置において、a)前記ラビリンス構造が、各ス
    クロール要素の先端と他のスクロール要素の対応するベースとの間の半径方向ギ
    ャップを減らし、ラビリンス構造が装置動作中に対応するスクロール要素のベー
    スと接触したとき、ラビリンス構造の薄い壁が変形し、ゴーリングを避けるよう
    になっていることを特徴とする装置。
  8. 【請求項8】 請求項6の装置において、a)前記第1、第2のスクロール
    要素の各々の前記先端の中間に溝が形成してあり、b)低摩擦係数の弾性材料か
    ら作った先端シール要素が溝内にしまりばめしてあるが、前記溝内で自由に動け
    るようになっていることを特徴とする装置。
  9. 【請求項9】 請求項8の装置において、a)前記先端シール要素が、30
    %炭素繊維と70%テフロン(登録商標)とからなることを特徴とする装置。
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