JP2002525847A - 焼結された耐火性金属層、特に土酸金属電解コンデンサーまたは陽極を製造するためのペースト - Google Patents

焼結された耐火性金属層、特に土酸金属電解コンデンサーまたは陽極を製造するためのペースト

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Abstract

(57)【要約】 本発明は焼結された耐火性金属層、特に電解コンデンサー陽極を製造するためのペーストに関する。該ペーストは４０〜９２重量％の間の分離している相としての耐火性金属粉末、並びに炭素、酸素および水素だけから構成され酸素原子対炭素原子の比が少なくとも０.５である有機化合物より実質的になる連続的な相、並びに場合により１５０℃より低い温度で蒸発する溶媒よりなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は耐火性金属粉末の焼結されたコーテイングの製造のための、特にタン
タル、ニオブまたはそれらの合金から製造される電解コンデンサー電極用のペー
ストに関する。本発明は特にタンタルおよび／またはニオブコンデンサー電極の
無圧製造方法に関する。本発明はまた特にペーストを用いる新しいタイプの電極
およびコンデンサーの製造方法に関する。本発明はさらにシートのような支持体
を含んでなる新しいタイプのコンデンサー電極に関する。
【０００２】 タンタルコンデンサーは、誘電絶縁体の層、すなわち酸化物層でコーテイング
され且つ一次的には電気接点としてそして二次的には支持体として機能するタン
タル線の上に沈着させた予め集塊化されたタンタル粉末の多孔性の焼結された層
よりなる。対極(counterelectrode)は液体の、ペーストのようなまたは固体の電
解質により製造される。このタイプのコンデンサーの高い比静電容量(specific
capacitance)は焼結された層の多孔性により付与される誘電体の大きな表面積に
よる。焼結された層は自由流動性粉末を加圧しそして焼結することにより製造さ
れる。同様な工程がニオブコンデンサーの製造のために使用される。
【０００３】 プレス型中への接点線の挿入、接点線とプレス型との間の間隙中への自由流動
性粉末の導入、粉末の圧縮などを含んでなる加圧工程は費用のかかる工程である
ことはまず最初に明白である。さらに、この工程は限定された範囲の形状および
寸法だけを製作可能にする。
【０００４】 他方で、ペースト沈着法は無圧焼結を行うことを可能にし、コンデンサーデザ
インに対応してほとんど全ての形状および寸法を製造することを可能にし、そし
てまた薄いシートのような陽極を特に製造することを可能にする。
【０００５】 より高い比静電容量を得るためのますます微細になる土酸金属粉末の開発に伴
う一つの問題は、支持線周辺における焼結された物体中の増加する電流密度の関
連効果であり、それが過熱およびＭｎＯ2対極と焼結された陽極との間の瞬間的
な反応（土酸金属粉末の燃焼）をもたらしうる。焼結された物体のシートのよう
な構造は電流密度の減少をもたらしそしてより良好な熱拡散を確実にするであろ
う。
【０００６】 従って、ペーストを接点線または接点シートに適用した後に焼結を行うことを
可能にする方法には、かなり低い製造費用で意義ある技術的利点を伴うであろう
。例えばこのような方法が与えるであろう明白な利点にもかかわらず、このよう
な方法の提案はこれまでには知られていないかまたは産業上導入されていない。
その理由は、コンデンサー製造の多様で且つ複雑な条件を満たすであろうペース
トがこれまでに知られていなかったためである。解決すべき問題は、特に焼結の
前および間に、タンタルまたはニオブ粉末の極端に敏感な表面に同時に影響を与
えず、残渣を残さずに焼結された層から除去することができ、且つそれにもかか
わらず基質上へのペーストの沈着に関する必要なレオロジー特性を与え、沈着さ
れたペーストのような層に対して満足のいく水準の安定性を与え、そしてさらに
タンタル粉末層からその微細構造を損なうことなく除去できるペーストのための
連続的な相を同定することよりなる。
【０００７】 多くの研究が、水または低−沸点有機溶媒をベースとした連続的な相を含んで
なるペーストは粉末の微細構造に対して適切な水準の安定性を与えないことを示
した。高められた温度において、または室温においてさえ、それらは泡の生成を
伴って乾燥し、そしてフォームを製造することさえある。無機または鉱物性のレ
オロジー−改変剤は無機残渣によるタンタル表面の汚染により除外される。連続
的な相の有機成分の残渣から生成する炭素による汚染を避けることも必要である
。
【０００８】 場合により低−沸点溶媒の蒸発後に、炭素、酸素および水素だけから合成され
そしてここで酸素原子対炭素原子の数の比が少なくとも０.５、好ましくは少な
くとも２／３、より好ましくは少なくとも０.８そして最も好ましくは１である
有機物質より実質的になる連続的な相を生ずるペーストは高真空下での焼結後に
めんどうな炭素残渣を何ら残さないことが今回見いだされた。このタイプのペー
ストは土酸金属コンデンサーをシートの形態で製造することを可能にする。
【０００９】 本発明は、電気接点として構成される金属支持体、およびコンデンサー表面を
構成し且つ支持体に取り付けられる多孔性の焼結された物体よりなる、焼結され
た土酸金属粉末をベースとした電解コンデンサーのための陽極であって、支持物
体が金属シートの形態に構成されることを特徴とする陽極に関する。
【００１０】 本発明はまた、シートのような構造、すなわち二次元におけるそれらの幾何学
的な大きさが第三次元におけるそれらの大きさよりも大きい、焼結された土酸金
属粉末陽極を含んでなる電解コンデンサーに関する。
【００１１】 本発明に従う陽極は、好ましくは支持金属シートが焼結された物体を越えて少
なくとも一方向に突出するように構成される。これが熱の拡散および電気接点の
システムの簡素化におけるさらなる改良をもたらす。
【００１２】 本発明によると、好ましくはＮｂまたはＴａよりなる、支持金属シートは、３
：１〜１０：１またはそれ以上の長さ対幅の比を有することができ、ここで支持
金属シートの０.５〜１００ｍｍ2、好ましくは４〜４０ｍｍ2の部分的表面積に
焼結された物体が一方または両方の側面で付与される。
【００１３】 支持金属シートは３０〜５００μｍ、好ましくは４０〜３００μｍ、最も好ま
しくは６０〜１５０μｍの厚さを有することができる。その上に焼結される焼結
された物体は２０〜２０００μｍ、好ましくは１００μｍより大きい、最も好ま
しくは３００〜１０００μｍの厚さを有することができる。
【００１４】 本発明はさらに、４０〜９２重量％の分離している相としての耐火性金属粉末
、並びに炭素、酸素および水素だけから合成されここで酸素原子対炭素原子の数
の比が少なくとも１／２である有機化合物より実質的になる連続的な相よりなり
、そして場合により１００℃より低い温度で蒸発する溶媒よりなる、焼結された
耐火性金属層の製造方法に関する。耐火性金属粉末の量は好ましくはペーストの
１０〜５０容量％の範囲である。
【００１５】 本発明を以下でタンタルを例として記載するが、ニオブ並びに他の耐火性金属
、例えばモリブデン、タングステンおよび合金金属を対応して使用することもで
きる。
【００１６】 室温で液体である化合物が有機化合物として好ましく使用される。この場合に
は、連続的な相の残りは好ましくは溶媒を含まない。適する液体有機化合物の例
は、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリ−およびテトラエチレン
グリコール並びにそれらのエステル類、グリセロール、グリセロールモノアセテ
ート、グリセロールジアセテートもしくはグリセロールトリアセテート、ジオキ
シアセトン、プロパンジオールまたはそれらの混合物を包含する。さらに、連続
的な相は好ましくは有機結合剤系をさらに含有する。結合剤系は好ましくは互い
に架橋結合可能な二成分よりなる。結合剤は連続的な相に関して５重量％より多
くない量で使用すべきである。一つの好ましい結合剤系はハーキュレス(Hercule
s)により供給されるナトロゾルTM・プラス(NatrosolTM Plus)３３１またはアク
リル重合体、例えばローム(Roehm)により供給されるロハギットTM(RohagitTM)Ｋ
Ｆ７２０よりなる。金属粉末の湿潤性を改良するために、湿潤剤、例えばランガ
ー(Langer)により供給される大豆レシチンおよび／またはビエステルフェルド(B
iesterfeld)から供給されるスルフィノール類(Surfinols)が好ましく使用される
。結合剤が少量でのみ使用されるという条件では、連続的な相の中の酸素原子対
炭素原子の比は実質的に影響を受けない。燐および窒素はコンデンサー用に使用
されるタンタル粉末のための通常の微量添加物(dopants)の中の２種であるため
、連続的な相の中に大豆レシチンにより導入される燐および窒素は無害である。
【００１７】 結合剤系は、好ましくは、１０-4／ｓｅｃの剪断速度におけるペーストの粘度
が２０〜２００ｋＰａｓの間になるように調節される。
【００１８】 本発明の別の態様によると、有機化合物はまた固体物質であることもできる。
室温において固体である適当な有機化合物はエリトリトール、ペンタエリトリト
ール、ペントース類、炭素数３〜６のアルドース類もしくはケトース類、または
それらの混合物を包含する。糖類または糖類と同様な化合物もまた適する。固体
の有機化合物は溶媒と組み合わせて使用され、ここで溶媒は１５０℃までの温度
において蒸発しなければならない。適当な溶媒の例は水、エタノール、プロパノ
ールおよび短鎖グリコール類を包含する。
【００１９】 上記の液体有機化合物は、固体の有機化合物がその中で充分可溶性であるとい
う条件では、溶媒としても適する。液体の有機化合物が連続的な相の主成分とし
て使用される場合には固体の有機化合物は従って濃稠化剤(thickeners)として使
用することができる。
【００２０】 本発明は、また、本発明に従うペーストを基質上に沈着させ、場合により存在
する溶媒を溶媒の沸騰温度より低い温度において除去し、そして基質を引き続き
高真空下で焼結温度に加熱することを特徴とする、焼結された耐火性金属層の製
造方法にも関する。有機化合物が分解する温度範囲にわたり好ましくは１０Ｋ／
分より小さい低い加熱速度を使用することが必須である。約２００〜約４００℃
の温度範囲にわたり３Ｋ／分より小さい加熱速度が好ましく使用される。
【００２１】 溶媒中に溶解させた固体の有機化合物が使用される場合には、溶媒が除去され
た時に基質上に沈着したペーストは粉末の乾燥層（生の構造体(green structure
)）になる。粉末のこの乾燥層中の粉末の粒子は使用する固体の有機化合物によ
り互いに結合され、そして層構造体はその結果として安定化する。
【００２２】 場合により溶媒を除去した後に、ペーストをさらにある時間にわたり、好まし
くは約１０〜３０分間にわたり、酸素を含有する雰囲気、好ましくは空気中で１
５０〜２００℃の温度に保持することが有利であることも示された。この保持期
間の過程で、使用される有機化合物は追加の酸素を明らかに吸収または結合する
ことができ、それは該化合物が残渣を残さずに分解する能力に対して好ましい影
響を有する。
【００２３】 上部に耐火性金属粉末を沈着させる基質としてニオブまたはタンタルシートが
好ましく使用される。好ましい耐火性金属粉末はコンデンサーの製造に適するニ
オブおよび／またはタンタル粉末集塊である。５０〜４００μｍの厚さを有する
タンタルまたはニオブ箔がコンデンサー電極の製造のための基質として特に適す
る。
【００２４】 ペーストはスクリーン印刷、ステンシル印刷により、ドクターブレードにより
、浸漬によりまたは押し出しにより基質上に沈着させることができる。
【００２５】 シート形態のタンタルまたはニオブコンデンサー陽極の１つの有利な製造方法
は、比較的大きい面積の基質箔をステンシル印刷により、１００〜１０００個の
所望する電極形状および面積、例えば２ｍｍ×１ｍｍに対応する切断部分を含ん
でなるステンシルを用いて、ペーストでコーテイングし、そして１００〜１００
０個のコンデンサー陽極を箔から製造できるように焼結後に箔を切断することよ
りなる。
【００２６】 基質箔は最も好ましくは櫛の形態に構成され、その歯の各先端上に焼結された
物体を沈着させる。櫛の背部はその時に複数の陽極用のシステム支持体として、
コンデンサーを製造するためのさらなる処理のために、有利に機能することがで
きる。
【００２７】 本発明はまた複数の陽極を含有し且つ櫛のような構造の支持金属シートよりな
り、ここで櫛の歯の各先端が土酸金属粉末から製造される焼結された物体を含ん
でなる陽極櫛に関する。
【００２８】 本発明に従う陽極デザインを以下で図１〜４を参照しながらさらに詳細に説明
する。 図１は従来技術に従う圧力焼結により製造される陽極を示し、 図２ａ〜ｄは本発明に従う陽極の種々の態様を示し、 図３は従来技術に従う陽極櫛を示し、そして 図４は本発明に従う陽極櫛を示す。
【００２９】 図１に示される先行技術の陽極１は焼結された物体２よりなり、それはダイ中
に導入される自由−流動性粉末を加圧しそして焼結することにより製造されてい
る。鉛線３が焼結された物体２に溶接連結部４により溶接される。
【００３０】 図２に示される本発明に従う陽極１０は、ペーストを支持金属シート３０上に
沈着させ、引き続き乾燥しそして無圧焼結することにより製造される焼結された
物体２０よりなる。支持金属シート３０は全ての側面でシートのような焼結され
た物体２０を越えて突出することができ（ａ）、または一方向だけに突出するこ
とができ（ｂ）、ここで焼結された物体を支持体の両側に付与することもできる
。さらに、焼結された物体（例えば、浸漬により製造されるペーストの沈着物）
が支持金属シートの端部を包囲することもできる（ｃ）。
【００３１】 図２ｄは支持金属シートの異なる形態を示す。全ての場合、焼結された物体を
越えて突出する支持金属シートの部分は鉛線の機能を行う（図１）。
【００３２】 図３は従来技術に従う陽極櫛を示し、ここで焼結された物体２はシステム支持
シート６に鉛線３を介して、溶接連結部４および５により取り付けられる。
【００３３】 図４に示される本発明に従う陽極櫛では、システム支持体を形成する櫛の背部
６０およびその先端が焼結された物体２０を支持する歯３０はペーストの沈着の
前もしくは後または焼結後にシート金属の片から製造されたため、従来技術によ
ると必要である溶接連結部４および５は省かれる。
【００３４】 本発明を以下の実施例を参照しながらさらに説明する。全ての百分率は重量百
分率として示される。実施例１ マスターサイザー(Mastersizer)を用いて測定してｄ10＝２μｍ、ｄ50＝５μ
ｍおよびｄ90＝２６μｍに相当する集塊分布、約３００μｍの視覚的に測定され
た平均一次粒子、０.７７ｍ2／ｇのＢＥＴ比表面および２３.６０ｇ／ｉｎｃｈ3 のかさ密度を有する一次粒子の集塊よりなる７７.６％のＴａ粉末を２１.４％の
グリセロール、０.２％のスルフィノール４２０（エア・プロダクツ(Air Produc
ts)により供給されるエトキシル化されたエチンジオール類の混合物）、０.８％
のランガーにより供給される大豆レシチンＷ２５０、および０.０２％のロハギ
ットＫＦ７２０（ロームにより供給される固体アクリル重合体）と共に撹拌し、
そして混合物を３−ローラーミルにより均質化した。
【００３５】 ２４時間の保持時間後に、粘度をボーリン・インスツルメンツ(Bohlin Instru
ments)により供給されるレオメーター（ＣＰ４°／２０補正測定システム）によ
り測定した。１０-4ｓｅｃ-1の剪断速度における粘度は２８ｋＰａｓであり、１
０-2ｓｅｃ-1においてそれは１０９Ｐａｓであり、そして１０ｓｅｃ-1において
それは１３Ｐａｓであった（２５℃）。実施例２ マスターサイザーを用いて測定してｄ10＝２μｍ、ｄ50＝５μｍおよびｄ90＝
２６μｍに相当する集塊分布、約３００μｍの視覚的に測定された平均一次粒子
、０.７７ｍ2／ｇのＢＥＴ比表面および２３.６０ｇ／ｉｎｃｈ3のかさ密度を有
する一次粒子の集塊よりなる８２.６％のＴａ粉末を１６％のテトラエチレング
リコール、０.６％のハーキュレスにより供給されるナトロゾル・プラスセルロ
ース、０.２％のスルフィノール４２０（エア・プロダクツにより供給されるエ
トキシル化されたエチンジオール類の混合物）、および０.６％のランガーによ
り供給される大豆レシチンＷ２５０と共に撹拌し、そして混合物を３−ローラー
ミルにより均質化した。
【００３６】 ２４時間の保持時間後に、粘度をボーリン・インスツルメンツにより供給され
るレオメーター（ＣＰ４°／２０補正測定システム）により測定した。
【００３７】 １０-4ｓｅｃ-1の剪断速度における粘度は７５ｋＰａｓであり、１０-2ｓｅｃ -1 においてそれは２ｋＰａｓであり、そして１０ｓｅｃ-1においてそれは５Ｐａ
ｓであった（２５℃）。実施例３ イソプロピルアルコールで洗浄された厚さ１５０μｍのタンタル箔を基質とし
て使用した。寸法が１ｍｍ×２ｍｍである長方形の切断部分を含んでなる４００
μｍの厚さを有する５５０個のステンレス鋼ステンシルをＴａ箔の上に置いた。
実施例２によるペーストを引き続き切断部分の中にドクターブレードにより押し
入れた。このようにして印刷された構造体が付与されたＴａ箔を１０分間にわた
り循環空気炉の中で処理した。それを引き続き焼結炉の中で高真空下で５Ｋ／分
の速度で２００℃まで、次に２Ｋ／分で４００℃までそして最後に２５Ｋ／分で
１３００℃まで加熱した。さらに３０分後に、生成物を室温（＜１００℃）に冷
却した。焼結された構造体の焼結密度は４.２ｇ／ｃｍ3であった。タンタル箔を
焼結された構造体の間で切断して個別の陽極構造体を生成し、そして４０Ｖにお
ける成形にかけた。 電気試験： 電気的測定はこの方法で製造された陽極の中の３つに対して行われた。下記の
結果が得られた：
【００３８】
【表１】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ２２Ｃ 1/04 Ｃ２２Ｃ 1/08 Ｆ 1/08 Ｈ０１Ｇ 9/05 Ｋ (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，Ｅ Ａ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ， ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，Ｇ Ｂ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ， ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，Ｍ Ｇ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ， ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，Ｖ Ｎ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者 ビンナー，カルステン ドイツ・デー−38642ゴスラー・メリケベ ーク11 Ｆターム(参考） 4K018 AB10 BA03 BA20 CA08 DA11 KA22 KA39

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電気接点として構成される金属支持体、およびコンデンサー
    表面を構成し且つ支持体に取付けられる多孔性の焼結された物体よりなる、焼結
    された土酸金属粉末をベースとした電解コンデンサー用の陽極であって、支持物
    体が金属シートの形態に構成されることを特徴とする陽極。
  2. 【請求項２】 金属シートが焼結された物体を越えて少なくとも一方向に突
    出する請求項１に記載の陽極。
  3. 【請求項３】 焼結された土酸金属粉末をベースとし且つ共通の電気接点を
    介して連結される電解コンデンサー用の複数の陽極であって、共通の電気接点が
    櫛のような構造の金属シートの形態に構成され、そしてコンデンサー電極表面を
    形成する焼結された物体が櫛の歯の上に焼結される陽極。
  4. 【請求項４】 金属シートまたは歯が少なくとも１：５の断面比を有する請
    求項１〜３のいずれか１項に記載の陽極。
  5. 【請求項５】 支持シートが３０〜５００μｍ、好ましくは４０〜３００μ
    ｍの厚さを有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の陽極。
  6. 【請求項６】 多孔性の焼結された物体が支持金属シートの０.５〜１００
    ｍｍ2、好ましくは２〜４０ｍｍ2の面積を覆う請求項１〜５のいずれか１項に記
    載の陽極。
  7. 【請求項７】 焼結された物体が０.１〜２ｍｍ、好ましくは０.３〜１ｍｍ
    の厚さを有する請求項１〜５のいずれか１項に記載の陽極。
  8. 【請求項８】 支持金属シートが焼結された物体を両側に含んでなる請求項
    １〜７のいずれか１項に記載の陽極。
  9. 【請求項９】 ４０〜９２重量％の分離している相としての耐火性金属粉末
    、並びに炭素、酸素および水素だけから合成され、ここで酸素原子対炭素原子の
    数の比が少なくとも０.５である有機化合物より実質的になる連続的な相よりな
    り、そして場合により１５０℃より低い温度で蒸発する溶媒よりなる、焼結され
    た耐火性金属層の製造のためのペースト。
  10. 【請求項１０】 有機化合物が室温において液体でありそして連続的な相が
    溶媒を含まない請求項９に記載のペースト。
  11. 【請求項１１】 有機化合物がエチレングリコール、ジエチレングリコール
    、トリ−およびテトラエチレングリコール並びにそれらのエステル類、グリセロ
    ール、グリセロールモノ−、ジ−もしくはトリアセテート、ジオキシアセトン、
    プロパンジオールまたはそれらの混合物よりなる請求項１０に記載のペースト。
  12. 【請求項１２】 有機化合物が室温において液体であり且つ溶媒中に溶解さ
    れる化合物である請求項９に記載のペースト。
  13. 【請求項１３】 有機化合物がエリトリトール、ペンタエリトリトール、ペ
    ントース類、炭素数３〜６のアルドース類もしくはケトース類、またはそれらの
    混合物よりなる請求項１２に記載のペースト。
  14. 【請求項１４】 連続的な相がさらに結合剤系を連続的な相に関して５重量
    ％までの量で含有する請求項９〜１３のいずれか１項に記載のペースト。
  15. 【請求項１５】 請求項９〜１４のいずれか１項に記載のペーストを基質上
    に沈着させ、場合により存在する溶媒を溶媒の沸騰温度より低い温度において除
    去し、そして基質を引き続き高真空下で焼結温度に加熱し、ここで約２００〜約
    ４００℃の温度範囲にわたる加熱を３Ｋ／分より低い加熱速度で行うことを特徴
    とする、焼結された耐火性金属層の製造方法。
  16. 【請求項１６】 場合により存在する溶媒の除去後に、ペーストでコーテイ
    ングされた基質を酸素を含有する雰囲気中で１５０〜２００℃において処理する
    ことを特徴とする請求項１５に記載の方法。
  17. 【請求項１７】 ニオブまたはタンタルシートを基質として使用しそしてコ
    ンデンサーの製造のために適するニオブおよび／またはタンタル粉末集塊を耐火
    性金属粉末として使用することを特徴とする請求項１５または１６に記載の方法
    。
  18. 【請求項１８】 ペーストをドクターブレードによりそしてシートのような
    構造の形態でステンシルを用いて基質に適用することを特徴とする請求項１５〜
    １７のいずれか１項に記載の方法。
  19. 【請求項１９】 請求項９〜１４のいずれか１項に記載のペーストを支持金
    属シート上に沈着させそして無圧焼結に付すことを特徴とする請求項１〜８のい
    ずれか１項に記載の陽極の製造方法。
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