JP4287557B2 - 導電ペースト用銅合金粉 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐熱性に優れた導電ペースト用銅合金粉に関し、特に積層セラミックコンデンサ内部電極用合金粉として用いた場合に最適な導電ペースト用銅合金粉に関する。
【0002】
【従来の技術】
積層セラミックコンデンサは従来、セラミック誘電体シート上に金属粉末ペーストを印刷又はスプレイし、相互に電極構造をもつように多数枚を積み重ね、圧着により一体化したものを焼結し、外部引出し電極を焼きつけて製造されている。このような積層セラミックコンデンサは実効誘電体の厚みを薄くすることができ、大きな容量容積比をもつことができ、また内部インダクタンスが小さく、高周波数帯域例えばGHzオーダーまで使用できるなどの特性がある。
【0003】
このような積層セラミックコンデンサはセラミック誘電体と内部電極とを同時に焼成するため、電極材料としてはセラミックスの焼結温度より高い融点をもつこと、セラミックスと反応しないことが必要である。このため以前はPt,Pdなどの貴金属を使用していたが高価であるという欠点があった。この欠点を解決するため、誘電体セラミックスの焼結温度を900〜1100℃に低下させ、電極材料にAg−Pd合金を用いたり、Niなどの安価な卑金属を用いたものが実用化されている。近年は、さらに高周波数帯域で作動させるための積層セラミックコンデンサの要求があり、このため内部電極用導体としては、電気抵抗が低いことが必須事項であり、現在はCuが有力候補として挙げられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、Cuは低融点のため誘電体と電極の焼結温度の差が大きく、電極の割れや剥離、あるいは誘電体の焼成不良等が発生しやすいという問題がある。またCuは雰囲気中の酸素により、脱バインダー焼結工程で容易に酸化され、酸化物の混入によって電極が焼結不良になったり、電気比抵抗が増加するという問題がある。これに対して、雰囲気を還元性にすれば酸化を妨げることはできるが、セラミック誘電体が還元されてしまい誘電体としての良好な性能を発揮できないという問題がある。
【0005】
そこで、Cuよりも高温で焼結を開始し、その際に雰囲気により酸化されない粉末が望まれている。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、Cuを主体とする合金から成る耐熱性に優れた導電ペースト用銅合金粉を開発し、これを提供すること、特に焼結開始温度の上昇を図り、耐酸化性向上を図った、耐熱性に優れた導電ペースト用銅合金粉を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、その特徴とする技術手段はCu:80〜99質量%及びCr,Zr,(Cr及びZr),(Cr及びAg),(Zr及びAg)から成る群から選ばれた元素1〜20質量%から成り、平均粒径が0.1〜1μmであることを特徴とする導電ペースト用銅合金粉である。本発明はCuの焼結開始温度を高め、高温硬さを向上させる一方、電気比抵抗をあまり増加させない元素を添加する。また合金化によって、活量低下と不働態の形成を図り、耐熱性を向上させることができる。
【0007】
添加元素としては、Cuの焼結開始温度の上昇に効果があるもの、又は、高温硬さの向上が見られるもので、電気比抵抗の増加の少ない金属として、Cr、Zr,(Cr及びZr),(Cr及びAg),(Zr及びAg)からなる群を選定した。これらの添加量は1質量%未満では耐熱性、耐酸化性改善の効果が少なく、20質量%を越えると電気比抵抗の増加が著しく、従来のNiよりも高抵抗となるため、1〜20質量%の範囲に限定した。また平均粒度は均一な膜厚を形成する導電ペーストとして適切な粒度とし、0.1〜1μmとした。0.1μm未満ではスクリーン印刷等が困難になる。1μmを越えると膜厚にばらつきを生ずるので1μm以下に限定した。銅合金粉の形状は球形が好ましい。これはペーストにしたときに分散性、流動性に優れるためである。
【0008】
このような合金粉は化学気相反応によって粒度の揃った球形状の粉を容易に製造することができる。例えばCuの塩化物及び合金化すべき元素の塩化物をそれぞれ加熱して蒸発させ、これらの蒸気を混合し水素ガスによって還元する。合金の組成及び粉体の粒度は、反応条件を変化させて制御することができる。化学気相反応では異種金属元素が原子レベルで混合するため均一な合金を得ることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明に係る銅合金粉及び比較例の合金粉の成分、平均粒径を変化させた銅合金粉を試作し、銅合金粉の焼結開始温度、電気比抵抗及び昇温時の重量増加率を測定した。測定結果を表1、図1、図2に示す。
【0010】
なお、焼結開始温度は、合金粉に圧力をかけて圧粉体を製作し、この圧粉体の温度をあげていったときの圧粉体の高さ(試料高さ)と温度の関係を調査し、圧粉体の高さが減少し始めた温度を焼結開始温度とした。重量増加率は、TG測定により空気気流中600℃での重量増加率を求めた。
【0011】
【表1】
【0012】
表1において、No.1〜No.9は本発明の実施例、No.10〜No.12は比較例である。実施例では比較例No.10(Cu単独)よりも焼結開始温度が向上し、酸化による重量増加が少なく、電気抵抗の上昇も許容される範囲である。これに比べ、比較例No.11では電気抵抗が過大であり,No.12では、粒度が過大でペーストの流動性が劣り、また、電気抵抗が大きい。
【0013】
図1は、表1に示した実施例であるNo.6及び比較例であるNo.10についての温度と試料高さとの関係を模式的に示すもので、曲線11,12はそれぞれ実施例、比較例を示す。実施例では焼結開始温度が、Cu単独の場合よりも高いことがわかる。図2は温度上昇に伴う合金の重量変化の関係を模式的に示すグラフで、実施例であるNo.6(曲線21)及び比較例であるNo.10(曲線22)を示す。実施例では重量変化が小さく、酸化しにくいことを示している。
【0014】
また、ドクターブレード法で製造された誘電体シートと、本発明の銅合金粉を有機溶媒中に分散させた導電性ペーストを印刷法により成膜したものを複数積層した後、焼成して積層セラミックコンデンサを製造した。得られた積層セラミックコンデンサは割れ、剥離などの欠陥がなく、従来よりも高い周波数帯域で良好な作動特性を示した。
【0015】
本発明の銅合金粉は、電気比抵抗が小さく、焼結開始温度が高く、かつ、耐酸化性に優れるので、積層セラミックコンデンサ内部電極用として最適である。
【0016】
【発明の効果】
本発明によれば、積層セラミックコンデンサ用の導電ペースト用金属として高周波数帯域で良好な作動特性を示し、電気抵抗が小さく、焼結開始温度が高く、耐酸化性の向上した、耐熱性に優れた導電ペースト用銅合金粉を安価に提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例及び比較例の焼結開始温度を模式的に示すグラフである。
【図2】実施例及び比較例の重量増加率を模式的に示すグラフである。
【符号の説明】
11,12 曲線
21,22 曲線
Claims (1)
- Cu:80〜99質量%及びCr,Zr,(Cr及びZr),(Cr及びAg),(Zr及びAg)から成る群から選ばれた元素1〜20質量%から成り、平均粒径が0.1〜1μmであることを特徴とする導電ペースト用銅合金粉。
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