JP2002373498A - 集積度及び読出し動作速度を向上させ、省エネルギー性となるメタルプログラマブルromのメモリセル構造 - Google Patents

集積度及び読出し動作速度を向上させ、省エネルギー性となるメタルプログラマブルromのメモリセル構造

Info

Publication number
JP2002373498A
JP2002373498A JP2002158165A JP2002158165A JP2002373498A JP 2002373498 A JP2002373498 A JP 2002373498A JP 2002158165 A JP2002158165 A JP 2002158165A JP 2002158165 A JP2002158165 A JP 2002158165A JP 2002373498 A JP2002373498 A JP 2002373498A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
line
bit
ground line
virtual ground
word line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002158165A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4097996B2 (ja
Inventor
Seong-Ho Jeung
勝 豪 鄭
Young-Keon Lee
暎 根 李
Yong-Jae Choo
龍 ▲ジェ▼ 朱
Young-Sook Do
映 淑 都
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2002373498A publication Critical patent/JP2002373498A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4097996B2 publication Critical patent/JP4097996B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C17/00Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
    • G11C17/14Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C17/00Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
    • G11C17/08Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards using semiconductor devices, e.g. bipolar elements
    • G11C17/10Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards using semiconductor devices, e.g. bipolar elements in which contents are determined during manufacturing by a predetermined arrangement of coupling elements, e.g. mask-programmable ROM
    • G11C17/12Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards using semiconductor devices, e.g. bipolar elements in which contents are determined during manufacturing by a predetermined arrangement of coupling elements, e.g. mask-programmable ROM using field-effect devices
    • G11C17/126Virtual ground arrays

Landscapes

  • Read Only Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 集積度及び読出し動作速度を向上させ、省エ
ネルギー性となるメタル(またはビア)プログラマブル
ROMのメモリセル構造を提供する。 【解決手段】 ワードライン、ビットライン、第1及び
第2仮想接地ライン、前記ワードラインの信号と前記第
1仮想接地ラインの信号とにより選択される第1ビット
セル、及び前記ワードラインの信号と前記第2仮想接地
ラインの信号とにより選択される第2ビットセルを具備
し、前記第1ビットセルと前記第2ビットセルとが、前
記ビットラインに一端が接続された一つのセルトランジ
スタを共有することを特徴とする。前記セルトランジス
タの他端は、前記第1仮想接地ライン、前記第2仮想接
地ライン、及び前記接地ラインのうちのいずれか一つに
選択的に接続またはフローティングされ、前記セルトラ
ンジスタのゲートは、前記ワードラインに接続される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体メモリ装置に
係り、特にメタルプログラマブルROMのメモリセル構
造に関する。
【0002】
【従来の技術】マスクROMは、使用者が必要とするデ
ータを製造工程段階であらかじめコーディングし、コー
ディングされたデータを反復して読出させる半導体メモ
リ装置である。マスクROMには、エンベデッドディヒ
ュージョンプログラマブルROM(embedded diffusio
n-programmable ROM)とエンベデッドメタルプログラ
マブルROM(embedded metal programmable ROM)
とがある。エンベデッドディヒュージョンプログラマブ
ルROMは、ROMデータコードが製造工程のうちのデ
ィヒュージョン工程段階で作り込まれ、エンベデッドメ
タルプログラマブルROMは、ROMデータコードが製
造工程のうちのメタル工程段階で作り込まれる。一方、
エンベデッドメタルプログラマブルROMとほぼ同じエ
ンベデッドビアプログラマブルROM(embedded via
programmable ROM)があるが、エンベデッドビアプ
ログラマブルROMは、ROMデータコードが製造工程
のうちのビア工程段階で作り込まれる。
【0003】一般に、エンベデッドディヒュージョンプ
ログラマブルROMがエンベデッドメタルプログラマブ
ルROMより好まれてきたが、これは、前者が後者より
約25%ないし35%の高集積化をなしうるからであ
る。しかし、エンベデッドディヒュージョンプログラマ
ブルROMは、使用者から受け取ったデータが入力され
た後、完成品を作るまでに、エンベデッドメタルプログ
ラマブルROMに比べて多少時間がかかる短所がある。
最近では、半導体製造工程技術の発展によってエンベデ
ッドメタル(またはビア)プログラマブルROMの集積
度が大きく向上しており、完成品を作るまでの時間(T
ime−to−Market)で有利なエンベデッドメ
タル(またはビア)プログラマブルROMの重要性が浮
び上がってきている。
【0004】図1は、従来のメタルプログラマブルRO
Mの2カラムビットメモリセル構造を示す図面である。
図1を参照すれば、従来のメタルプログラマブルROM
の2カラムビットメモリセルは、第1及び第2ワードラ
インWL1、WL2、第1及び第2ビットラインBL
1、BL2、仮想接地ラインVGND、第1ないし第4
NMOSセルトランジスタn11ないしn14を具備す
る。第1ないし第4NMOSセルトランジスタn11な
いしn14の一端は、仮想接地ラインVGNDに共通接
続される。また、第1及び第3NMOSセルトランジス
タn11、n13のゲートには、第1ワードラインWL
1が接続され、第2及び第4NMOSセルトランジスタ
n12、n14のゲートには、第2ワードラインWL2
が接続される。
【0005】図1は、第1ワードラインWL1により選
択される二つのビットセルにデータ0、1がコーディン
グされ、第2ワードラインWL2により選択される二つ
のビットセルにデータ0、0がコーディングされた場合
を示す。図1に示したように、第1ワードラインWL1
により選択される二つのビットセルにデータ0、1がコ
ーディングされた場合には、第1セルトランジスタn1
1の他端は、第1ビットラインBL1に接続され、第3
セルトランジスタn13の他端は、フローティングされ
る。また、図1に示したように、第2ワードラインWL
2により選択される二つのビットセルにデータ0、0が
コーディングされた場合には、第2セルトランジスタn
12の他端は、第1ビットラインBL1に接続され、第
4セルトランジスタn14の他端は、第2ビットライン
BL2に接続される。
【0006】図2は、従来のメタルプログラマブルRO
Mの4カラムビットメモリセル構造を示す図面である。
図2を参照すれば、従来のメタルプログラマブルROM
の4カラムビットメモリセルは、第1及び第2ワードラ
インWL1、WL2、第1及び第2ビットラインBL
1、BL2、第1ないし第3仮想接地ラインVGND1
ないしVGND3、第1ないし第8NMOSセルトラン
ジスタn21ないしn28を具備する。第1及び第2セ
ルトランジスタn21、n22の一端は、第1仮想接地
ラインVGND1に共通接続される。第3ないし第6N
MOSセルトランジスタn23ないしn26の一端は、
第2仮想接地ラインVGND2に共通接続される。第7
及び第8セルトランジスタn27、n28の一端は、第
3仮想接地ラインVGND3に共通接続される。また、
第1、第3、第5、第7セルトランジスタn21、n2
3、n25、n27のゲートには、第1ワードラインW
L1が接続され、第2、第4、第6、第8セルトランジ
スタn22、n24、n26、n28のゲートには、第
2ワードラインWL2が接続される。
【0007】図2は、第1ワードラインWL1により選
択される4つのビットセルにデータ0、0、1、0がコ
ーディングされ、第2ワードラインWL2により選択さ
れる4つのビットセルにデータ1、0、1、1がコーデ
ィングされた場合を示す。図2に示したように、第1ワ
ードラインWL1により選択される4つのビットセルに
データ0、0、1、0がコーディングされた場合には、
n21とn23との他端は、第1ビットラインBL1に
接続され、n25の他端は、フローティングされ、n2
7の他端は、第2ビットラインBL2に接続される。ま
た、図2に示したように、第2ワードラインWL2によ
り選択される4つのビットセルにデータ1、0、1、1
がコーディングされた場合には、n22、n26、n2
8の他端は、フローティングされ、n24の他端は、第
1ビットラインBL1に接続される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来のメタルプログラマブルROMは、ビットラインを共
有するディヒュージョン領域が互いに分離されているた
め、ディヒュージョンプログラマブルROMに比べて面
積が大きい短所があり、ビットラインの負荷キャパシタ
ンスの増加によって読出し動作速度が低下し、電力消耗
が増加する短所がある。したがって、本発明の目的は、
ディヒュージョンプログラマブルROMと同じ水準の集
積度を有して、読出し動作速度を向上させて、省エネル
ギー性であるメタル(またはビア)プログラマブルRO
Mのメモリセル構造を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の一面によるメタルプログラマブルROMのメ
モリセル構造は、ワードライン、ビットライン、第1及
び第2仮想接地ライン、前記ワードラインの信号と前記
第1仮想接地ラインの信号とにより選択される第1ビッ
トセル、及び前記ワードラインの信号と前記第2仮想接
地ラインの信号とにより選択される第2ビットセルを具
備し、前記第1ビットセルと前記第2ビットセルとは、
前記ビットラインに一端が接続された一つのセルトラン
ジスタを共有することを特徴とする。
【0010】前記本発明の一面によるメタルプログラマ
ブルROMのメモリセル構造は、接地ラインをさらに具
備する。前記セルトランジスタの他端は、前記第1仮想
接地ライン、前記第2仮想接地ライン、及び前記接地ラ
インのうちのいずれか一つに選択的に接続またはフロー
ティングされ、前記セルトランジスタのゲートは、前記
ワードラインに接続される。
【0011】前記課題を解決するための本発明の他の一
面によるメタルプログラマブルROMのメモリセル構造
は、第1及び第2ワードライン、ビットライン、接地ラ
イン、第1及び第2仮想接地ライン、ドレインが前記ビ
ットラインに接続され、ゲートが前記第1ワードライン
に接続される第1セルトランジスタ、及びドレインが前
記ビットラインに接続され、ゲートが前記第2ワードラ
インに接続される第2セルトランジスタを具備すること
を特徴とする。
【0012】前記第1セルトランジスタのソースは、前
記第1仮想接地ライン、前記第2仮想接地ライン、及び
前記接地ラインのうちのいずれか一つに選択的に接続ま
たはフローティングされる。前記第2セルトランジスタ
のソースは、前記第1仮想接地ライン、前記第2仮想接
地ライン、及び前記接地ラインのうちのいずれか一つに
選択的に接続またはフローティングされる。
【0013】前記課題を解決するための本発明のさらに
他の一面によるメタルプログラマブルROMのメモリセ
ル構造は、第1及び第2ワードライン、第1及び第2ビ
ットライン、接地ライン、第1、第2、及び第3仮想接
地ライン、ドレインが前記第1ビットラインに接続さ
れ、ゲートが前記第1ワードラインに接続される第1セ
ルトランジスタ、ドレインが前記第1ビットラインに接
続され、ゲートが前記第2ワードラインに接続される第
2セルトランジスタ、ドレインが前記第2ビットライン
に接続され、ゲートが前記第1ワードラインに接続され
る第3セルトランジスタ、及びドレインが前記第2ビッ
トラインに接続され、ゲートが前記第2ワードラインに
接続される第4セルトランジスタを具備することを特徴
とする。
【0014】前記第1及び第2セルトランジスタのソー
スは、前記第1仮想接地ライン、前記第2仮想接地ライ
ン、及び前記接地ラインのうちのいずれか一つに選択的
に接続またはフローティングされる。前記第3及び第4
セルトランジスタのソースは、前記第2仮想接地ライ
ン、前記第3仮想接地ライン、及び前記接地ラインのう
ちのいずれか一つに選択的に接続またはフローティング
される。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明並びに本発明の動作上の利
点及び本発明の実施によって達成される目的を十分に理
解するために、本発明の望ましい実施形態を例示する添
付図面及び添付図面に記載された内容を参照する。以
下、添付した図面を参照して、本発明の望ましい実施形
態を説明することによって本発明を詳細に説明する。各
図面に付された同じ参照符号は同じ部材を示す。
【0016】図3ないし図5は、本発明によるメタルプ
ログラマブルROMの1カラムビットメモリセル構造を
示す図面である。図3ないし図5を参照すれば、本発明
による1カラムビットメモリセル構造は、第1及び第2
ワードラインWL1、WL2、ビットラインBL、第1
及び第2仮想接地ラインVGND1、VGND2、接地
ラインGND、第1及び第2NMOSセルトランジスタ
n31、n32を具備する。
【0017】第1セルトランジスタn31は、ドレイン
がビットラインBLに接続され、ゲートが第1ワードラ
インWL1に接続され、第2セルトランジスタn32
は、ドレインがビットラインBLに接続され、ゲートが
第2ワードラインWL2に接続される。第1セルトラン
ジスタn31のソースは、第1ワードラインWL1によ
り選択され、隣接した二つのビットセルにコーディング
されるデータによって、第1仮想接地ラインVGND
1、第2仮想接地ラインVGND2、及び接地ラインG
NDのうちのいずれか一つに選択的に接続またはフロー
ティングされる。また、第2セルトランジスタn32の
ソースは、第2ワードラインWL2により選択され、隣
接した二つのビットセルにコーディングされるデータに
よって第1仮想接地ラインVGND1、第2仮想接地ラ
インVGND2、及び接地ラインGNDのうちのいずれ
か一つに選択的に接続またはフローティングされる。い
いかえれば、第1セルトランジスタn31は、第1ワー
ドラインWL1と第1仮想接地ラインVGND1とによ
り選択されるビットセル、及び第1ワードラインWL1
と第2仮想接地ラインVGND2とにより選択されるビ
ットセルにより共有される。また、第2セルトランジス
タn32は、第2ワードラインWL2と第1仮想接地ラ
インVGND1とにより選択されるビットセル、及び第
2ワードラインWL2と第2仮想接地ラインVGND2
とにより選択されるビットセルにより共有される。
【0018】図3は、本発明による1カラムビットメモ
リセル構造で、第1ワードラインWL1により選択され
て、隣接した二つのビットセルにデータ0、1がコーデ
ィングされ、第2ワードラインWL2により選択され
て、隣接した二つのビットセルにデータ0、0がコーデ
ィングされた場合を示す。図3を参照すれば、第1ワー
ドラインWL1により選択されて、隣接した二つのビッ
トセルにデータ0、1がコーディングされた場合には、
第1セルトランジスタn31のソースは第1仮想接地ラ
インVGND1に接続される。また、第2ワードライン
WL2により選択されて、隣接した二つのビットセルに
データ0、0がコーディングされた場合には、第2セル
トランジスタn32のソースは、接地ラインGNDに接
続される。
【0019】この場合の動作を調べれば、初期に、ビッ
トラインBLと第1及び第2仮想接地ラインVGND
1、VGND2とは、いずれも論理“ハイ”になり、接
地ラインGNDは、常に論理“ロー”値を有する。
【0020】第1ワードラインWL1が論理“ハイ”に
なり、第1仮想接地ラインVGND1が論理“ハイ”か
ら論理“ロー”になる場合には、第1セルトランジスタ
n31がターンオンされて、ビットラインBLから第1
仮想接地ラインVGND1にディスチャージパスが形成
される。これにより、第1セルトランジスタn31を通
じてビットラインBLが論理“ハイ”から論理“ロー”
にディスチャージされ、ビットラインBLの論理“ロ
ー”値が周辺回路を通じて読出される。すなわち、第1
ワードラインWL1と第1仮想接地ラインVGND1と
により選択されるビットセルにコーディングされたデー
タ0が読出される。
【0021】第1ワードラインWL1が論理“ハイ”に
なり、第2仮想接地ラインVGND2が論理“ハイ”か
ら論理“ロー”になる場合には、第1セルトランジスタ
n31がターンオンされても、第1仮想接地ラインVG
ND1とビットラインBLとは、いずれも論理“ハイ”
状態である。したがって、ビットラインBLの論理“ハ
イ”値が周辺回路を通じて読出される。すなわち、第1
ワードラインWL1と第2仮想接地ラインVGND2と
により選択されるビットセルにコーディングされたデー
タ1が読出される。
【0022】第2ワードラインWL2が論理“ハイ”に
なり、第1仮想接地ラインVGND1が論理“ハイ”か
ら論理“ロー”になる場合には、第2セルトランジスタ
n32がターンオンされて、ビットラインBLから接地
ラインGNDにディスチャージパスが形成される。これ
により、第2セルトランジスタn32を通じてビットラ
インBLが論理“ハイ”から論理“ロー”にディスチャ
ージされ、ビットラインBLの論理“ロー”値が周辺回
路を通じて読出される。すなわち、第2ワードラインW
L2と第1仮想接地ラインVGND1とにより選択され
るビットセルにコーディングされたデータ0が読出され
る。
【0023】第2ワードラインWL2が論理“ハイ”に
なり、第2仮想接地ラインVGND2が論理“ハイ”か
ら論理“ロー”になる場合には、第2セルトランジスタ
n32がターンオンされて、ビットラインBLから接地
ラインGNDにディスチャージパスが形成される。これ
により、第2セルトランジスタn32を通じてビットラ
インBLが論理“ハイ”から論理“ロー”にディスチャ
ージされ、ビットラインBLの論理“ロー”値が周辺回
路を通じて読出される。すなわち、第2ワードラインW
L2と第2仮想接地ラインVGND2とにより選択され
るビットセルにコーディングされたデータ0が読出され
る。
【0024】図4は、本発明による1カラムビットメモ
リセル構造で、第1ワードラインWL1により選択され
て、隣接した二つのビットセルにデータ0、0がコーデ
ィングされ、第2ワードラインWL2により選択され
て、隣接した二つのビットセルにデータ0、0がコーデ
ィングされた場合を示す。図4を参照すれば、第1ワー
ドラインWL1により選択されて、隣接した二つのビッ
トセルにデータ0、0がコーディングされた場合には、
第1セルトランジスタn31のソースは、接地ラインG
NDに接続される。また、第2ワードラインWL2によ
り選択されて、隣接した二つのビットセルにデータ0、
0がコーディングされた場合には、第2セルトランジス
タn32のソースは、接地ラインGNDに接続される。
【0025】図5は、本発明による1カラムビットメモ
リセル構造で、第1ワードラインWL1により選択され
て、隣接した二つのビットセルにデータ1、1がコーデ
ィングされ、第2ワードラインWL2により選択され
て、隣接した二つのビットセルにデータ1、1がコーデ
ィングされた場合を示す。図5を参照すれば、第1ワー
ドラインWL1により選択されて、隣接した二つのビッ
トセルにデータ1、1がコーディングされた場合には、
第1セルトランジスタn31のソースは、フローティン
グされる。また、第2ワードラインWL2により選択さ
れて、隣接した二つのビットセルにデータ1、1がコー
ディングされた場合には、第2セルトランジスタn32
のソースは、フローティングされる。
【0026】この時、フローティングされた第1セルト
ランジスタn31のソースと、フローティングされた第
2セルトランジスタn32のソースとは、一種のアンテ
ナとなって雑音が生じる恐れがある。したがって、この
ような雑音を防止するために第1セルトランジスタn3
1のソースと第2セルトランジスタn32のソースとが
ビットラインBLに接続される場合もある。
【0027】図4に示した場合の動作と図5に示した場
合の動作とは、図3に示した場合と同じ原理によりなさ
れるのでここで詳細な説明は省略する。
【0028】図6ないし図8は、本発明によるメタルプ
ログラマブルROMの2カラムビットメモリセル構造を
示す図面である。図6ないし図8を参照すれば、本発明
による2カラムビットメモリセル構造は、第1及び第2
ワードラインWL1、WL2、第1及び第2ビットライ
ンBL1、BL2、第1ないし第3仮想接地ラインVG
ND1、VGND2、VGND3、接地ラインGND、
第1ないし第4NMOSセルトランジスタn61ないし
n64を具備する。
【0029】第1セルトランジスタn61は、ドレイン
が第1ビットラインBL1に接続され、ゲートが第1ワ
ードラインWL1に接続され、第2セルトランジスタn
62は、ドレインが第1ビットラインBL1に接続さ
れ、ゲートが第2ワードラインWL2に接続される。第
3セルトランジスタn63は、ドレインが第2ビットラ
インBL2に接続され、ゲートが第1ワードラインWL
1に接続され、第4セルトランジスタn64は、ドレイ
ンが第2ビットラインBL2に接続され、ゲートが第2
ワードラインWL2に接続される。第1セルトランジス
タn61のソースは、第1ワードラインWL1により選
択されて、隣接した二つのビットセルにコーディングさ
れるデータによって第1仮想接地ラインVGND1、第
2仮想接地ラインVGND2、及び接地ラインGNDの
うちのいずれか一つに選択的に接続またはフローティン
グされる。第2セルトランジスタn62のソースは、第
2ワードラインWL2により選択されて、隣接した二つ
のビットセルにコーディングされるデータによって第1
仮想接地ラインVGND1、第2仮想接地ラインVGN
D2、及び接地ラインGNDのうちのいずれか一つに選
択的に接続またはフローティングされる。
【0030】また、第3セルトランジスタn63のソー
スは、第1ワードラインWL1により選択されて、さら
に他の隣接した二つのビットセルにコーディングされる
データによって、第2仮想接地ラインVGND2、第3
仮想接地ラインVGND3、及び接地ラインGNDのう
ちのいずれか一つに選択的に接続またはフローティング
される。第4セルトランジスタn64のソースは、第2
ワードラインWL2により選択されて、さらに他の隣接
した二つのビットセルにコーディングされるデータによ
って、第2仮想接地ラインVGND2、第3仮想接地ラ
インVGND3、及び接地ラインGNDのうちのいずれ
か一つに選択的に接続またはフローティングされる。
【0031】いいかえれば、第1セルトランジスタn6
1は、第1ワードラインWL1と第1仮想接地ラインV
GND1とにより選択されるビットセル、及び第1ワー
ドラインWL1と第2仮想接地ラインVGND2とによ
り選択されるビットセルにより共有される。第2セルト
ランジスタn62は、第2ワードラインWL2と第1仮
想接地ラインVGND1とにより選択されるビットセ
ル、及び第2ワードラインWL2と第2仮想接地ライン
VGND2とにより選択されるビットセルにより共有さ
れる。第3セルトランジスタn63は、第1ワードライ
ンWL1と第2仮想接地ラインVGND1とにより選択
されるビットセル、及び第1ワードラインWL1と第3
仮想接地ラインVGND3とにより選択されるビットセ
ルにより共有される。また、第4セルトランジスタn6
4は、第2ワードラインWL2と第2仮想接地ラインV
GND2とにより選択されるビットセル、及び第2ワー
ドラインWL2と第3仮想接地ラインVGND3とによ
り選択されるビットセルにより共有される。
【0032】図6は、本発明による2カラムビットメモ
リセル構造で第1ワードラインWL1により選択され
て、隣接した4つのビットセルにデータ0、0、1、0
がコーディングされ、第2ワードラインWL2により選
択されて、隣接した4つのビットセルにデータ1、0、
1、1がコーディングされた場合を示す。図6を参照す
れば、第1ワードラインWL1により選択されて、隣接
した4つのビットセルにデータ0、0、1、0がコーデ
ィングされた場合には、第1セルトランジスタn61の
ソースは、接地ラインGNDに接続され、第3セルトラ
ンジスタn63のソースは、第3仮想接地ラインVGN
D3に接続される。また、第2ワードラインWL2によ
り選択されて、隣接した4つのビットセルにデータ1、
0、1、1がコーディングされた場合には、第2セルト
ランジスタn62のソースは、第2仮想接地ラインVG
ND2に接続され、第4セルトランジスタn64のソー
スは、フローティングされる。この時、フローティング
された第4セルトランジスタn64のソースは、一種の
アンテナになって雑音が生じる恐れがある。したがっ
て、このような雑音を防止するために、第4セルトラン
ジスタn64のソースは、第2ビットラインBL2に接
続される場合もある。
【0033】図7は、本発明による2カラムビットメモ
リセル構造で、第1ワードラインWL1により選択され
て、隣接した4つのビットセルにデータ0、0、0、0
がコーディングされ、第2ワードラインWL2により選
択されて、隣接した4つのビットセルにデータ0、0、
0、0がコーディングされた場合を示す。図7を参照す
れば、第1ワードラインWL1により選択されて、隣接
した4つのビットセルにデータ0、0、0、0がコーデ
ィングされた場合には、第1セルトランジスタn61の
ソースは、接地ラインGNDに接続され、第3セルトラ
ンジスタn63のソースも接地ラインGNDに接続され
る。また、第2ワードラインWL2により選択されて、
隣接した4つのビットセルにデータ0、0、0、0がコ
ーディングされた場合には、第2セルトランジスタn6
2のソースは、接地ラインGNDに接続され、第4セル
トランジスタn64のソースも、接地ラインGNDに接
続される。
【0034】図8は、本発明による2カラムビットメモ
リセル構造で、第1ワードラインWL1により選択され
て、隣接した4つのビットセルにデータ1、1、1、1
がコーディングされ、第2ワードラインWL2により選
択されて、隣接した4つのビットセルにデータ1、1、
1、1がコーディングされた場合を示す。図8を参照す
れば、第1ワードラインWL1により選択されて、隣接
した4つのビットセルにデータ1、1、1、1がコーデ
ィングされた場合には、第1セルトランジスタn61の
ソースと第3セルトランジスタn63のソースとはいず
れもフローティングされる。また、第2ワードラインW
L2により選択されて、隣接した4つのビットセルにデ
ータ1、1、1、1がコーディングされた場合には、第
2セルトランジスタn62のソースと第4セルトランジ
スタn64のソースとがいずれもフローティングされ
る。この時、フローティングされた第1ないし第4セル
トランジスタn61ないしn64のソースは、一種のア
ンテナになって雑音が生じる恐れがある。したがって、
このような雑音を防止するために第1及び第2セルトラ
ンジスタn61、n62のソースは、第1ビットライン
BL1に接続される場合もあり、第3及び第4セルトラ
ンジスタn63、n64のソースは、第2ビットライン
BL2に接続される場合もある。
【0035】図6ないし図8に示した場合の動作は、図
3に示した場合と同じ原理によりなされるのでここで詳
細な説明は省略する。
【0036】前述したように、本発明によるメタルプロ
グラマブルROMのメモリセル構造では、一つのセルト
ランジスタが同じワードラインにより選択される隣接し
た二つのビットセルにより共有される。これにより、デ
ィヒュージョンプログラマブルROMと同じ水準の集積
度を維持でき、また、ビットラインの負荷キャパシタン
スを減少して、読出し動作速度を向上させ、省エネルギ
ー化を達成できる。
【0037】以上のように、図面と明細書とで最適の実
施形態を開示した。本明細書には1カラムビットメモリ
セル構造と2カラムビットメモリセル構造とだけを説明
したが、4カラム以上のメモリセル構造も可能である。
また、ここで特定の用語が使われたが、これは単に本発
明を説明するための目的で使われたものであって意味限
定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限す
るために使われたものではない。したがって、当業者で
あればこれより多様な変形及び均等な他の実施形態が可
能であるということを理解できる。したがって、本発明
の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲の技術的思想に
より決まらねばならない。
【0038】
【発明の効果】前述したように、本発明によるメタルプ
ログラマブルROMのメモリセル構造は、ディヒュージ
ョンプログラマブルROMと同じ水準の集積度を持っ
て、読出し動作速度を向上させ、電力消耗を減少させ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のメタルプログラマブルROMの2カラム
ビットメモリセル構造を示す図面。
【図2】従来のメタルプログラマブルROMの4カラム
ビットメモリセル構造を示す図面。
【図3】本発明によるメタルプログラマブルROMの1
カラムビットメモリセル構造を示す図面。
【図4】本発明によるメタルプログラマブルROMの1
カラムビットメモリセル構造を示す図面。
【図5】本発明によるメタルプログラマブルROMの1
カラムビットメモリセル構造を示す図面。
【図6】本発明によるメタルプログラマブルROMの2
カラムビットメモリセル構造を示す図面。
【図7】本発明によるメタルプログラマブルROMの2
カラムビットメモリセル構造を示す図面。
【図8】本発明によるメタルプログラマブルROMの2
カラムビットメモリセル構造を示す図面。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 朱 龍 ▲ジェ▼ 大韓民国ソウル特別市恩平区▲ガルヒュン ▼洞281−150番地 濠洲形ビラー101号 (72)発明者 都 映 淑 大韓民国ソウル特別市城北区安岩洞3街54 番地 大光ビラー1棟203号 Fターム(参考) 5B003 AA03 AB02 AB07 AB08 AC02 AC04 AC08

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワードラインと、 ビットラインと、 第1及び第2仮想接地ラインと、 前記ワードラインの信号と前記第1仮想接地ラインの信
    号とにより選択される第1ビットセルと、 前記ワードラインの信号と前記第2仮想接地ラインの信
    号とにより選択される第2ビットセルと、を具備し、 前記第1ビットセルと前記第2ビットセルとは、前記ビ
    ットラインに一端が接続された一つのセルトランジスタ
    を共有することを特徴とするメモリセル構造。
  2. 【請求項2】 接地ラインをさらに具備することを特徴
    とする請求項1に記載のメモリセル構造。
  3. 【請求項3】 前記セルトランジスタの他端は、前記第
    1仮想接地ライン、前記第2仮想接地ライン、及び前記
    接地ラインのうちのいずれか一つに選択的に接続または
    フローティングされ、前記セルトランジスタのゲート
    は、前記ワードラインに接続されることを特徴とする請
    求項2に記載のメモリセル構造。
  4. 【請求項4】 第1及び第2ワードラインと、 ビットラインと、 接地ラインと、 第1及び第2仮想接地ラインと、 ドレインが前記ビットラインに接続され、ゲートが前記
    第1ワードラインに接続される第1セルトランジスタ
    と、 ドレインが前記ビットラインに接続され、ゲートが前記
    第2ワードラインに接続される第2セルトランジスタ
    と、を具備することを特徴とするメモリセル構造。
  5. 【請求項5】 前記第1セルトランジスタのソースは、
    前記第1仮想接地ライン、前記第2仮想接地ライン、及
    び前記接地ラインのうちのいずれか一つに選択的に接続
    またはフローティングされることを特徴とする請求項4
    に記載のメモリセル構造。
  6. 【請求項6】 前記第2セルトランジスタのソースは、
    前記第1仮想接地ライン、前記第2仮想接地ライン、及
    び前記接地ラインのうちのいずれか一つに選択的に接続
    またはフローティングされることを特徴とする請求項4
    に記載のメモリセル構造。
  7. 【請求項7】 前記第1セルトランジスタは、前記第1
    ワードラインと前記第1仮想接地ラインとにより選択さ
    れる第1ビットセル、及び前記第1ワードラインと前記
    第2仮想接地ラインとにより選択される第2ビットセル
    により共有されることを特徴とする請求項4に記載のメ
    モリセル構造。
  8. 【請求項8】 前記第2セルトランジスタは、前記第2
    ワードラインと前記第1仮想接地ラインとにより選択さ
    れる第3ビットセル、及び前記第2ワードラインと前記
    第2仮想接地ラインとにより選択される第4ビットセル
    により共有されることを特徴とする請求項4に記載のメ
    モリセル構造。
  9. 【請求項9】 第1及び第2ワードラインと、 第1及び第2ビットラインと、 接地ラインと、 第1、第2、及び第3仮想接地ラインと、 ドレインが前記第1ビットラインに接続され、ゲートが
    前記第1ワードラインに接続される第1セルトランジス
    タと、 ドレインが前記第1ビットラインに接続され、ゲートが
    前記第2ワードラインに接続される第2セルトランジス
    タと、 ドレインが前記第2ビットラインに接続され、ゲートが
    前記第1ワードラインに接続される第3セルトランジス
    タと、 ドレインが前記第2ビットラインに接続され、ゲートが
    前記第2ワードラインに接続される第4セルトランジス
    タと、を具備することを特徴とするメモリセル構造。
  10. 【請求項10】 前記第1及び第2セルトランジスタの
    ソースは、前記第1仮想接地ライン、前記第2仮想接地
    ライン、及び前記接地ラインのうちのいずれか一つに選
    択的に接続またはフローティングされることを特徴とす
    る請求項9に記載のメモリセル構造。
  11. 【請求項11】 前記第3及び第4セルトランジスタの
    ソースは、前記第2仮想接地ライン、前記第3仮想接地
    ライン、及び前記接地ラインのうちのいずれか一つに選
    択的に接続またはフローティングされることを特徴とす
    る請求項9に記載のメモリセル構造。
  12. 【請求項12】 前記第1セルトランジスタは、前記第
    1ワードラインと前記第1仮想接地ラインとにより選択
    されるビットセル、及び前記第1ワードラインと前記第
    2仮想接地ラインとにより選択されるビットセルにより
    共有されることを特徴とする請求項9に記載のメモリセ
    ル構造。
  13. 【請求項13】 前記第2セルトランジスタは、前記第
    2ワードラインと前記第1仮想接地ラインとにより選択
    されるビットセル、及び前記第2ワードラインと前記第
    2仮想接地ラインとにより選択されるビットセルにより
    共有されることを特徴とする請求項9に記載のメモリセ
    ル構造。
  14. 【請求項14】 前記第3セルトランジスタは、前記第
    1ワードラインと前記第2仮想接地ラインとにより選択
    されるビットセル、及び前記第1ワードラインと前記第
    3仮想接地ラインとにより選択されるビットセルにより
    共有されることを特徴とする請求項9に記載のメモリセ
    ル構造。
  15. 【請求項15】 前記第4セルトランジスタは、前記第
    2ワードラインと前記第2仮想接地ラインとにより選択
    されるビットセル、及び前記第2ワードラインと前記第
    3仮想接地ラインとにより選択されるビットセルにより
    共有されることを特徴とする請求項9に記載のメモリセ
    ル構造。
JP2002158165A 2001-05-31 2002-05-30 集積度及び読出し動作速度を向上させ、省エネルギー性となるメタルプログラマブルromのメモリセル構造 Expired - Fee Related JP4097996B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0030523A KR100416599B1 (ko) 2001-05-31 2001-05-31 집적도와 독출동작 속도를 향상시키고 전력소모를감소시킬 수 있는 메탈 프로그래머블 롬의 메모리셀 구조
KR2001-030523 2001-05-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002373498A true JP2002373498A (ja) 2002-12-26
JP4097996B2 JP4097996B2 (ja) 2008-06-11

Family

ID=19710239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002158165A Expired - Fee Related JP4097996B2 (ja) 2001-05-31 2002-05-30 集積度及び読出し動作速度を向上させ、省エネルギー性となるメタルプログラマブルromのメモリセル構造

Country Status (4)

Country Link
US (3) US6771528B2 (ja)
JP (1) JP4097996B2 (ja)
KR (1) KR100416599B1 (ja)
DE (1) DE10216223B4 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100416599B1 (ko) * 2001-05-31 2004-02-05 삼성전자주식회사 집적도와 독출동작 속도를 향상시키고 전력소모를감소시킬 수 있는 메탈 프로그래머블 롬의 메모리셀 구조
DE102004020306B4 (de) * 2004-04-26 2006-06-01 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Programmieren einer Speicheranordnung und programmierte Speicheranordnung
US7710761B2 (en) * 2007-01-12 2010-05-04 Vns Portfolio Llc CMOS SRAM/ROM unified bit cell
FR2915019B1 (fr) * 2007-04-13 2009-07-17 Dolphin Integration Sa Memoire rom multibit
US8154053B2 (en) * 2009-02-20 2012-04-10 Standard Microsystems Corporation Programmable metal elements and programmable via elements in an integrated circuit
US10388493B2 (en) 2011-09-16 2019-08-20 Lam Research Corporation Component of a substrate support assembly producing localized magnetic fields
US8599595B1 (en) 2011-12-13 2013-12-03 Michael C. Stephens, Jr. Memory devices with serially connected signals for stacked arrangements
US9543507B2 (en) 2012-04-12 2017-01-10 Intel Corporation Selector for low voltage embedded memory
CN103106925B (zh) * 2013-01-04 2016-07-06 苏州兆芯半导体科技有限公司 串联rom单元及其读取方法
GB2517204B (en) * 2013-08-16 2021-01-27 Newson Gale Ltd Monitoring system and method
US9171586B2 (en) 2014-02-14 2015-10-27 Oracle International Corporation Dual memory bitcell with shared virtual ground
US9202588B1 (en) * 2014-09-23 2015-12-01 Nxp B.V. 1T compact ROM cell with dual bit storage for high speed and low voltage
US9286998B1 (en) * 2014-10-27 2016-03-15 Freescale Semiconductor,Inc. Read only memory having multi-bit line bit cell
US10014065B1 (en) * 2015-03-13 2018-07-03 Skan Technologies Corporation PPA (power performance area) efficient architecture for ROM (read only memory) and a ROM bitcell without a transistor
US9691496B1 (en) 2016-02-08 2017-06-27 Nxp B.V. High density ROM cell with dual bit storage for high speed and low voltage
US10236071B1 (en) 2017-09-10 2019-03-19 Nxp B.V. Dual-bit ROM cell with virtual ground line and programmable metal track
US11114175B1 (en) 2020-08-06 2021-09-07 Qualcomm Incorporated Systems and methods for providing a read only memory cell array
IT202200000383A1 (it) * 2022-01-12 2023-07-12 Sk Hynix Inc Dispositivo rom a maschera migliorato

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56143597A (en) * 1980-04-09 1981-11-09 Nec Corp Mos mask rom array
US4563753A (en) * 1984-09-04 1986-01-07 Motorola, Inc. Circuit for reducing degradation of voltage differential in a memory
US4594689A (en) * 1984-09-04 1986-06-10 Motorola, Inc. Circuit for equalizing bit lines in a ROM
US4899308A (en) * 1986-12-11 1990-02-06 Fairchild Semiconductor Corporation High density ROM in a CMOS gate array
US4811301A (en) * 1987-04-28 1989-03-07 Texas Instruments Incorporated Low-power, noise-resistant read-only memory
US4899315A (en) * 1987-04-28 1990-02-06 Texas Instruments Incorporated Low-power, noise-resistant read-only memory
US4888734A (en) * 1987-12-30 1989-12-19 Elite Semiconductor & Systems Int'l., Inc. EPROM/flash EEPROM cell and array configuration
JP2565213B2 (ja) * 1989-10-27 1996-12-18 ソニー株式会社 読み出し専用メモリ装置
JP2640184B2 (ja) 1990-08-28 1997-08-13 三菱電機株式会社 読出専用半導体記憶装置
US5117389A (en) * 1990-09-05 1992-05-26 Macronix International Co., Ltd. Flat-cell read-only-memory integrated circuit
JP3002309B2 (ja) * 1990-11-13 2000-01-24 ウエハスケール インテグレーション, インコーポレイテッド 高速epromアレイ
US5222040A (en) * 1990-12-11 1993-06-22 Nexcom Technology, Inc. Single transistor eeprom memory cell
JP2863661B2 (ja) * 1991-12-16 1999-03-03 株式会社東芝 読出専用メモリ
JP2851962B2 (ja) * 1992-01-21 1999-01-27 シャープ株式会社 半導体読み出し専用メモリ
DE69231356T2 (de) * 1992-01-22 2000-12-28 Macronix International Co. Ltd., Hsinchu Nichtflüchtige Speicherzelle und Anordnungsarchitektur
US5359555A (en) * 1992-03-06 1994-10-25 National Semiconductor Corporation Column selector circuit for shared column CMOS EPROM
US5377153A (en) * 1992-11-30 1994-12-27 Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. Virtual ground read only memory circuit
WO1994018703A1 (en) * 1993-02-01 1994-08-18 National Semiconductor Corporation Ultra-high-density alternate metal virtual ground rom
US5436478A (en) * 1994-03-16 1995-07-25 National Semiconductor Corporation Fast access AMG EPROM with segment select transistors which have an increased width
JP2768321B2 (ja) * 1995-02-28 1998-06-25 日本電気株式会社 半導体記憶装置
US5650979A (en) * 1995-05-05 1997-07-22 Creative Integrated Systems, Inc. Semiconductor read-only VLSI memory
US5663903A (en) * 1995-07-28 1997-09-02 Utron Technology Inc. Flat-cell read-only memory
US5572462A (en) * 1995-08-02 1996-11-05 Aplus Integrated Circuits, Inc. Multistate prom and decompressor
JP3380107B2 (ja) * 1996-03-22 2003-02-24 シャープ株式会社 半導体記憶装置
JP2882370B2 (ja) * 1996-06-28 1999-04-12 日本電気株式会社 半導体記憶装置
JP3075211B2 (ja) * 1996-07-30 2000-08-14 日本電気株式会社 半導体装置およびその製造方法
KR100205240B1 (ko) * 1996-09-13 1999-07-01 윤종용 단일 비트 및 다중 비트 셀들이 장착된 불휘발성 반도체 메모리 장치
US5684733A (en) * 1996-09-30 1997-11-04 Holtek Microelectronics, Inc. Fixed resistance high density parallel ROM device
US5870326A (en) * 1997-08-12 1999-02-09 Intel Corporation Information encoding by multiple line selection
JP3211745B2 (ja) * 1997-09-18 2001-09-25 日本電気株式会社 半導体記憶装置
JP3608919B2 (ja) * 1997-10-07 2005-01-12 シャープ株式会社 半導体記憶装置
US6633496B2 (en) * 1997-12-12 2003-10-14 Saifun Semiconductors Ltd. Symmetric architecture for memory cells having widely spread metal bit lines
US6459119B1 (en) * 1998-06-09 2002-10-01 Macronix International Co., Ltd. Contact array structure for buried type transistor
JP3206591B2 (ja) * 1999-02-08 2001-09-10 日本電気株式会社 多値マスクromおよび多値マスクromの読み出し方法
US6084794A (en) * 1999-05-28 2000-07-04 Winbond Electronics Corp. High speed flat-cell mask ROM structure with select lines
US6175519B1 (en) * 1999-07-22 2001-01-16 Macronix International Co., Ltd. Virtual ground EPROM structure
JP4058219B2 (ja) * 1999-09-17 2008-03-05 株式会社ルネサステクノロジ 半導体集積回路
US6674661B1 (en) * 2000-09-29 2004-01-06 Artisan Components, Inc. Dense metal programmable ROM with the terminals of a programmed memory transistor being shorted together
JP4058232B2 (ja) * 2000-11-29 2008-03-05 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置及びicカード
TW462083B (en) * 2000-12-04 2001-11-01 Macronix Int Co Ltd Method for manufacturing salicide metal of embedded virtual-ground memory
US6861714B2 (en) * 2001-04-18 2005-03-01 Samsung Electronics Co., Ltd. High-speed programmable read-only memory (PROM) devices
US6570810B2 (en) * 2001-04-20 2003-05-27 Multi Level Memory Technology Contactless flash memory with buried diffusion bit/virtual ground lines
KR100416599B1 (ko) * 2001-05-31 2004-02-05 삼성전자주식회사 집적도와 독출동작 속도를 향상시키고 전력소모를감소시킬 수 있는 메탈 프로그래머블 롬의 메모리셀 구조
JP4156248B2 (ja) * 2002-02-18 2008-09-24 株式会社ルネサステクノロジ 不揮発性半導体記憶装置
JP2004253115A (ja) * 2003-01-30 2004-09-09 Sharp Corp 半導体記憶装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20050018465A1 (en) 2005-01-27
JP4097996B2 (ja) 2008-06-11
US7480166B2 (en) 2009-01-20
US7075809B2 (en) 2006-07-11
KR20020091658A (ko) 2002-12-06
DE10216223B4 (de) 2007-10-18
US6771528B2 (en) 2004-08-03
KR100416599B1 (ko) 2004-02-05
US20060215436A1 (en) 2006-09-28
US20020181269A1 (en) 2002-12-05
DE10216223A1 (de) 2002-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002373498A (ja) 集積度及び読出し動作速度を向上させ、省エネルギー性となるメタルプログラマブルromのメモリセル構造
US8526256B2 (en) Single-ended sense amplifier with read-assist
US7009862B2 (en) Semiconductor device
US8014215B2 (en) Cache array power savings through a design structure for valid bit detection
CN1741190A (zh) 半导体集成电路器件
JP2006196124A (ja) メモリセル及び半導体集積回路装置
US7099214B2 (en) Semiconductor memory device
KR20030086111A (ko) 프로세스 트랙킹 회로를 구비하는 감지증폭기 인에이블신호 발생회로 및 이를 구비하는 반도체 메모리장치
US5844845A (en) Data read circuit for use in semiconductor storage apparatus of CMOS memory
JP2010516014A (ja) Cmosのsram/rom統合ビットセル
TWI450273B (zh) 具有p型估算的暫存器列電路
US7548456B2 (en) Combo memory cell
US8045389B2 (en) Semiconductor memory device
US20050146921A1 (en) 1P1N 2T gain cell
JP2003303494A (ja) 半導体記憶装置
US6198656B1 (en) Asymmetric memory cell for single-ended sensing
KR890013657A (ko) 반도체메모리 장치
KR100399806B1 (ko) 반도체 메모리
US6545905B2 (en) Multi-port memory cell with refresh port
JP2008234808A (ja) 半導体装置
JP4201615B2 (ja) 半導体記憶装置
KR100369357B1 (ko) 저 소비 전력 센스 앰프를 구비한 반도체 롬
JPS59186196A (ja) 横型レシオレスrom
KR940008134B1 (ko) 초기 랜덤 억세스 메모리의 클리어 회로
JPH056979A (ja) 半導体記憶装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050107

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070706

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070717

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20071017

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20071022

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071115

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080226

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080312

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4097996

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110321

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120321

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130321

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130321

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140321

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees