JP2002334919A - レーザバー保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のレーザバーの出射側面と反射側面とを
同時に露出して保持するレーザバー保持装置を得るこ
と。 【解決手段】 保持枠１の内側に設けた溝に、スペーサ
２１〜２９を架け渡し、スペーサ２１〜２９の間にレー
ザバー１１〜１８を配置し、摺動部３および軸２で押圧
して固定する。また、スペーサ２１〜２９の長手方向の
長さをレーザバー１１〜１８の長手方向の長さに比して
大きくし、レーザバー１１〜１８を保持枠１から３ｍｍ
以上離して設置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザバーを保
持するレーザバー保持装置に関し、特に一回の固定でレ
ーザバーの出射側端面および反射側端面に成膜可能なレ
ーザバー保持装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子は、基板上に薄膜を積層、加
工し、所望の機能を実現している。一般に、基板上には
同時に複数の半導体素子が形成され、基板を劈開するこ
とで各半導体素子を取り出している。

【０００３】また、半導体レーザ素子などでは、基板を
劈開した後、劈開面にさらに薄膜を生成することが行わ
れている。半導体レーザ素子では、この劈開面に対する
成膜で、レーザ光が発振する活性層付近の保護を行うこ
とができる。半導体レーザ素子では、活性層付近に汚染
やこれに伴う劣化が生じやすい。特に、高出力動作させ
る場合、レーザ光の一部が汚染された層に吸収されて発
熱を生じ、この熱によって出射端面が劣化する。半導体
レーザ素子の出射端面は、劈開によって形成されるの
で、この劈開面に誘電体膜を形成することにより、出射
端面を保護することができる。また、出射端面と大気と
の直接の接触を防止するので、自然酸化膜の形成を抑制
することができる。

【０００４】さらに、出射端面の一方に高反射膜、他方
に低反射膜を成膜することで、レーザ光の出射方向、発
振閾値および出力の調整を行うことができる。高反射膜
および低反射膜は、誘電体膜の種類や膜厚により、反射
率を制御して形成する。反射率は、膜厚に大きく依存す
るため、安定した品質の半導体レーザ素子を得るために
は、劈開面における安定した膜厚制御が重要となる。

【０００５】半導体レーザ素子は、通常、１ｍｍ四方以
下の大きさであるため、各半導体レーザ素子に劈開した
後、単独で劈開面に成膜を行うのは取り扱いが困難で、
膜厚の制御も難しくなる。そのため、まず、半導体レー
ザ素子が横方向に数十個連なったレーザバーの形に劈開
し、つぎに、レーザバーの状態で高反射膜および低反射
膜を成膜し、その後に各半導体レーザ素子に劈開し、切
り分ける手順を用いることが一般的である。

【０００６】図８は、レーザバーの概要構成を示す斜視
図である。レーザバー１１は、半導体基板上に形成され
た半導体レーザ素子を、半導体レーザ素子が横方向に１
８個連なった形に劈開している。レーザバー上の活性層
５１は、レーザバー１１に含まれる半導体レーザ素子の
うちの一つとして機能する。すなわち、レーザバーは１
８組の活性層を備えており、各活性層と含む形でレーザ
バー１１を劈開することで、１８個の半導体レーザ素子
を得ることができる。

【０００７】半導体レーザ素子の劈開面に対する成膜
は、レーザバー１１の劈開面１１ａおよび１１ｂに成膜
することで行われる。レーザバー１１の劈開面１１ａ，
１１ｂには、それぞれ高反射膜および低反射膜が成膜さ
れる。レーザバー１１は、劈開面１１ａ，１１ｂに対す
る成膜終了後、劈開によって各半導体レーザ素子に切り
分けられる。切り分けられた半導体レーザ素子では、高
反射膜を成膜した面は反射面として、低反射膜を成膜し
た面は出射面として機能する。たとえば、活性層５１を
含む半導体レーザ素子５２では、高反射膜５３、低反射
膜５４を備える。高反射膜５３は、活性層５１で励起し
たレーザ光を反射する反射面として機能する。低反射膜
５４は、活性層５１で励起したレーザ光を一部出射する
出射面として機能する。

【０００８】レーザバーの劈開面に誘電体膜を成膜する
方法としては、プラズマＣＶＤ、スパッタリング、蒸
着、イオンプレーティングなどを用いることができる。
この成膜時には、成膜する劈開面を露出してレーザバー
を保持するレーザバー保持装置が用いられる。

【０００９】図９は、従来のレーザバー保持装置に固定
されたレーザバーを示す斜視図である。このレーザバー
保持装置では、段差を設けた保持部材６１〜６７を並べ
てレーザバーを保持する溝を形成し、その溝にレーザバ
ー１１〜１７を落とし込んでいる。さらに、保持部材に
押圧をかけてレーザバーを固定する。

【００１０】このレーザバー保持装置では、複数のレー
ザバーを同時に固定し、露出した端面に誘電体膜を生成
することができる。レーザバーの片側に誘電体膜を形成
した後は、押圧を緩めてレーザバーを取り出し、反転さ
せてもう片側を露出して固定する。その後、露出した端
面に誘電体膜を生成することで、レーザバーの出射側端
面と反射側端面とに誘電体膜を形成することができる。

【００１１】また、レーザバーの出射側面と反射側面と
を同時に露出するレーザバー保持装置も用いられてき
た。図１０は、レーザバーの出射側面と反射側面とを同
時に露出する従来のレーザバー保持装置を示す図であ
る。このレーザバー保持装置では、段差を設けた保持部
材７１，７２を、段差を対向させて配置する。さらに、
対向させた段差にレーザバー１１〜１８を長手方向で架
け渡して保持している。このレーザバー保持装置では、
レーザバーの出射側面と反射側面とを同時に露出して保
持することができる。したがって、レーザバーは、一度
の設置で出射膜および反射膜の成膜が可能となる。

【００１２】さらに、レーザバーを単独で保持するレー
ザバー保持装置も用いられてきた。図１１は、レーザバ
ーを単独で保持する従来のレーザバー保持装置を示す図
である。このレーザバー保持装置では、段差を有する保
持部材７３，７４を、段差面を対向させて設置する。保
持部材７４の段差は、レーザバー１１の上下方向の位置
決めに用いられる。保持部材７３は、レーザバー１１に
押圧をかけて固定する。保持部材７３の段差は、レーザ
バー１１の下面が露出するように設けられている。

【００１３】このレーザバー保持装置では、保持部材７
３，７４によって露出したレーザバーの下面に誘電体膜
の成膜を行うことで、誘電体膜の回り込みを防ぐことが
できる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のレーザバー保持装置、たとえば図９に示したレ
ーザバー保持装置では、片側に成膜を行った後、レーザ
バーを抜き出して反転させる必要がある。このため、反
転させる作業に時間およびコストがかかるという問題点
があった。また、レーザバーを直接取り扱う作業が増加
するために、半導体レーザ素子に傷や破損を生じ、製造
歩留が低下するという問題点があった。

【００１５】さらに、保持部材の段差の精度が低く、ま
た、成膜時の反応生成物が段差面に堆積するために、レ
ーザバーごとの設置状態にばらつきが生じ、成膜した誘
電体膜の膜厚および膜質がばらつくという問題点があっ
た。さらに、設置状態が悪いレーザバーにおいては、半
導体レーザ素子の電極面に誘電体膜が生成される回り込
みが生じ、ダイボンディングやワイヤボンディングの密
着性が低下するという問題点があった。

【００１６】また、図１０に示した従来のレーザバー保
持装置では、レーザバーのうち、保持部材の段差面で支
えられている部分には成膜することができないと言う問
題点があった。このため、レーザバーの両端に位置する
半導体レーザ素子は、誘電体膜の生成が行われず、不良
素子となる。

【００１７】さらに、レーザバーのうち、保持部材の段
差面で支えられている部分の近傍では、保持部材の段差
が壁面として作用し、生成された膜の厚さは、中央部分
に比して薄くなるという問題点があった。この壁面の影
響は、ガス状の材料を使用するプラズマＣＶＤ装置など
で特に顕著となるが、スパッタ装置、イオンプレーティ
ング装置、真空蒸着装置、イオンビームアシスト蒸着装
置などにおいても、壁面近傍で膜厚が薄くなるなどの膜
質の悪化が見られる。すなわち、従来のレーザバー保持
装置では、成膜の膜厚および膜質を均一にできず、歩留
が低下するという問題点があった。

【００１８】また、図１１に示したレーザバー保持装置
では、レーザバーの下面から成膜を行うことで、誘電体
膜の回り込みを防ぐことができるが、下面にレーザバー
の保持と位置決めとを行う段差が存在するために、段差
部分に誘電体膜を生成できないという問題があった。ま
た、片側に成膜を行った後、レーザバーを抜き出して反
転させる必要がある。このため、反転させる作業に時間
およびコストがかかるという問題点があった。また、レ
ーザバーを直接取り扱う作業が増加するために、半導体
レーザ素子に傷や破損を生じ、製造歩留が低下するとい
う問題点があった。さらに、レーザバーを単独で成膜す
るために、生産性が著しく低下するという問題点があっ
た。

【００１９】この発明は上記に鑑みてなされたものであ
って、レーザバーの出射側面と反射側面とを同時に露出
した状態を保持し、一度の設置でレーザバーの反射膜と
出射膜との成膜が可能なレーザバー保持装置を提供する
ことを目的とする。

【００２０】また、レーザバーの所望の劈開面全面に均
一に成膜可能で、回り込みを防止し、半導体レーザ素子
の歩留まりを向上できるレーザバー保持装置を提供する
ことを目的とする。

【００２１】また、複数のレーザバーを同時に保持して
成膜可能で、半導体レーザ素子の生産性を向上できるレ
ーザバー保持装置を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１にかかるレーザバー保持装置は、レーザバ
ーの出射側面および反射側面に成膜を行うために該レー
ザバーを保持するレーザバー保持装置であって、互いに
平行に配した１対のガイド部と、前記ガイド部に架け渡
され、前記ガイド部の長手方向に移動可能であり、前記
レーザバーの出射側面および反射側面を露出して該レー
ザバーを狭持する複数の保持部材と、前記レーザバーを
狭持した状態で前記保持部材を固定する固定手段と、を
備えたことを特徴とする。

【００２３】この請求項１の発明によれば、レーザバー
保持装置は、ガイド部に沿ってスライドする保持部材で
レーザバーを挟んで押圧し、レーザバーの出射側面およ
び反射側面を露出して固定する。

【００２４】また、請求項２にかかるレーザバー保持装
置は、上記の発明において、前記１対のガイド部に溝を
形成し、該溝に前記保持部材の端部を架け渡したことを
特徴とする。

【００２５】この請求項２の発明によれば、保持部材
は、ガイド部の長手方向に形成された溝に架け渡されて
スライドし、レーザバーを狭持する。

【００２６】また、請求項３にかかるレーザバー保持装
置は、上記の発明において、複数の前記レーザバーと前
記複数の保持部材とを交互に配置し、前記固定手段で固
定することを特徴とする。

【００２７】この請求項３の発明によれば、レーザバー
と保持部材とを交互に配置し、保持部材をスライドさせ
ることで、複数のレーザバーを同時に保持する。

【００２８】また、請求項４にかかるレーザバー保持装
置は、上記の発明において、前記レーザバーの長手方向
の両端は、前記１対のガイド部から少なくとも３ｍｍの
距離をおいて固定されることを特徴とする。

【００２９】この請求項４の発明によれば、レーザバー
の両端は、ガイド部から３ｍｍ以上の距離をおいて固定
され、レーザバーの近傍に壁面を構成することを回避し
ている。

【００３０】また、請求項５にかかるレーザバー保持装
置は、上記の発明において、前記１対のガイド部に接続
され、該１対のガイド部を互いに平行な状態に固定する
ガイド部接続手段をさらに備え、前記レーザバーは、前
記ガイド部接続手段から少なくとも３ｍｍの距離をおい
て固定されることを特徴とする。

【００３１】この請求項５の発明によれば、レーザバー
は、ガイド部を平行な状態に固定するガイド部接続手段
から３ｍｍ以上の距離をおいて固定され、レーザバーの
近傍に壁面を構成することを回避している。

【００３２】また、請求項６にかかるレーザバー保持装
置は、上記の発明において、前記レーザバーの出射側面
および反射側面は、前記保持部材から突出していること
を特徴とする。

【００３３】この請求項６の発明によれば、レーザバー
の出射側面および反射側面を、保持部材から突出させる
ことで、レーザバーの近傍に壁面を構成することを回避
している。

【００３４】また、請求項７にかかるレーザバー保持装
置は、上記の発明において、前記１対のガイド部を載置
するガイド部載置面と、前記レーザバーを載置するレー
ザバー載置面と、を有するレーザバー設置台をさらに備
え、前記ガイド部載置面に載置した前記１対のガイド部
は、前記ガイド部載置面から前記溝までの高さが、前記
レーザバー載置面の高さに比して高く、前記レーザバー
載置面に載置した前記レーザーバーは、その上面が、前
記溝に架け渡した保持部材の上面に比して高いことを特
徴とする。

【００３５】この請求項７の発明によれば、ガイド部を
ガイド部載置面に載置し、レーザバーをレーザバー載置
面に載置することで、ガイド部に架け渡された保持部材
とレーザバーとの位置決めを行い、レーザバーの出射側
面および反射側面を保持部材から突出させて保持する。

【００３６】

【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照して、この
発明に係るレーザバー保持装置の好適な実施の形態を詳
細に説明する。

【００３７】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１であるレーザバー保持装置の斜視図である。ま
た、図２は、図１に示したレーザバー保持装置のＡ−Ａ
線断面図、図３は、図１に示したレーザバー保持装置の
Ｂ−Ｂ線断面図である。

【００３８】レーザバー保持装置は、内部に溝を設けた
保持枠１と、枠内をスライドする摺動部３と、摺動部３
のスライドと固定とを行う軸２と、を備える。保持枠１
は、枠材１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄからなる。枠材１ａと
枠材１ｃとはその長手方向に溝を有し、枠材１ａの溝と
枠材１ｃの溝とは対向している。また、枠材１ｂと枠材
１ｄとは対向している。さらに、枠材１ｄは、軸２を貫
挿する貫通孔を有している。

【００３９】このレーザバー保持装置では、枠材１ａの
溝と枠材１ｃの溝とにスペーサ２１〜２９を架け渡して
いる。さらに、架け渡したスペーサ２１〜２９の間に、
レーザバー１１〜１８を配置している。

【００４０】ここで、レーザバー１１〜１８は、保持枠
１がなす平面に対して平行な２面が同時に露出して保持
されることとなる。すなわち、この２面が反射膜の成膜
面および出射膜の成膜面となるように配置することで、
反射膜の成膜面と、出射膜の成膜面とを同時に露出して
保持することができる。

【００４１】また、スペーサ２１〜２９の長手方向の長
さは、レーザバー１１〜１８の長手方向の長さに比して
大きくしておく。さらに、レーザバー１１〜１８を枠材
１ａおよび１ｃからそれぞれ３ｍｍ以上離して配置す
る。また、レーザバー１１と枠材１ｂとの間にスペーサ
２１を挿入し、レーザバー１８と摺動部３との間にスペ
ーサ２９を挿入する。このため、レーザバー１１〜１８
は、枠材１ａ〜１ｄから距離を置いて配置することがで
き、レーザバーの反射膜の成膜面および出射膜の成膜面
の近傍に壁面を形成することを避けることができる。

【００４２】さらに、保持枠１がなす平面に対して垂直
な方向のスペーサ２１〜２９の幅は、保持枠１がなす平
面に対して垂直な方向のレーザバー１１〜１８の幅と等
しくしておく。また、枠材１ａおよび枠材１ｃの溝は、
その幅を保持枠１がなす平面に対して垂直な方向のスペ
ーサ２１〜２９の幅よりも大きくし、スペーサがスライ
ド可能な状態にする。

【００４３】また、枠材１ａおよび枠材１ｃは、それぞ
れ切り欠きを有し、切り欠きを対向させる事でスペーサ
挿入口を形成する。スペーサ２１〜２９は、スペーサ挿
入口から挿入および取り出しが可能で、成膜するレーザ
バーの数に合わせてスペーサの数を増減させることがで
きる。

【００４４】また、摺動部３は、枠材１ａの溝と枠材１
ｃの溝とに架け渡される。さらに、摺動部３は軸２と接
続される。軸２は、枠材１ｄの貫通孔に貫挿され、軸２
を動かすことで、摺動部３をスライドする。摺動部３
は、スライドによってスペーサ２１〜２９よびレーザバ
ー１１〜１８に押圧することができる。さらに、スペー
サ２１〜２９およびレーザバー１１〜１８に押圧した状
態で、軸２を固定し、スペーサ２１〜２９およびレーザ
バー１１〜１８を固定することができる。

【００４５】つぎに、レーザバーの配置および固定の手
順について説明する。まず、設置台４の上に保持枠１を
載置する。設置台４は、保持枠載置面４ａとレーザバー
載置面４ｂとを有する。保持枠載置面４ａからレーザバ
ー載置面４ｂまでの高さは、保持枠１の下面から溝まで
の高さと同じである。つぎに、保持枠１のスペーサ挿入
口からスペーサ２１を挿入する。つづいて、レーザバー
載置面４ｂにレーザバー１１を配置する。

【００４６】ここで、レーザバー１１の下面は、レーザ
バー載置面４ｂと同じである。また、スペーサ２１は、
枠材１ａの溝と枠材１ｃとの溝に架け渡して保持される
ので、その下面は、レーザバー載置面４ｂと同じ高さと
なる。したがって、レーザバー１１の下面と、スペーサ
２１の下面は、同一平面上に存在することになる。

【００４７】一方、スペーサ２１とレーザバー１１と
は、保持枠１がなす面に対して垂直な方向の幅が同じで
ある。したがって、レーザバー１１の上面とスペーサ２
１の上面とは、同一平面上に存在することになる。

【００４８】つぎに、保持枠１のスペーサ挿入口からス
ペーサ２２を挿入し、レーザバー載置面４ｂにレーザバ
ー１２を配置する。スペーサ２２とレーザバー１２との
場合においても、その上面と下面は、スペーサ２１とレ
ーザバー１１との場合と同様に、それぞれ同一の平面に
存在することとなる。さらに、スペーサ２３〜２９の挿
入とレーザバー１３〜１８の配置とを交互に行う。この
場合においても、その上面と下面とは、スペーサ２１と
レーザバー１１との場合と同様に、それぞれ同一の平面
に存在することとなる。

【００４９】つぎに、軸２を動かして、摺動部３をスラ
イドさせ、スペーサ２１〜２９およびレーザバー１１〜
１８に押圧をかけて固定する。

【００５０】この実施の形態１に示したレーザバー保持
装置は、保持枠１の内側に設けた溝に、レーザバー１１
〜１８と同一の幅を有するスペーサ２１〜２９を架け渡
し、スペーサ２１〜２９の間にレーザバー１１〜１８を
配置し、摺動部３および軸２で押圧をかけて固定してい
る。また、スペーサ２１〜２９の長手方向の長さをレー
ザバー１１〜１８の長手方向の長さに比して大きくし、
レーザバー１１〜１８を保持枠１の枠材１ａ〜１ｄから
３ｍｍ以上離して設置するようにしている。

【００５１】このレーザバー保持装置は、レーザバーの
出射側面と、反射側面とを同時に露出して保持できるの
で、一度の設置で低反射膜と、高反射膜とを成膜するこ
とができる。したがって、レーザバーを直接取り扱う作
業を低減し、レーザバーに傷や破損が生じる可能性を低
減することができる。

【００５２】また、レーザバーを保持枠１から３ｍｍ以
上離して固定することで、レーザバーの近傍における壁
面の形成を回避できるので、壁面による成膜の不均一を
回避できる。

【００５３】さらに、摺動部３で押圧をかけて固定する
ので、レーザバーの出射側面と反射側面とを完全に露出
して保持することができ、その全面に均一に成膜を行う
ことができる。

【００５４】また、スペーサの数を増減させることで、
任意の数のレーザバーを同時に保持することができる。

【００５５】（実施の形態２）図４は、この発明の実施
の形態２であるレーザバー保持装置の斜視図である。ま
た、図５は、図４に示したレーザバー保持装置のＣ−Ｃ
線断面図であり、図６は、図４に示したレーザバー保持
装置のＤ−Ｄ線断面図である。

【００５６】この実施の形態２において、レーザバー保
持装置は、内部に溝を設けた保持枠３１と、枠内をスラ
イドする摺動部３３と、摺動部３３のスライドと固定と
を行う軸３２と、を備える。保持枠３１は、枠材３１
ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄからなる。枠材３１ａと枠
材３１ｃとはその長手方向に溝を有し、枠材３１ａの溝
と枠材３１ｃの溝とは対向している。また、枠材３１ｂ
と枠材３１ｄとは対向している。さらに、枠材３１ｄ
は、軸３２を貫挿する貫通孔を有している。

【００５７】このレーザバー保持装置では、枠材３１ａ
の溝と枠材３１ｃの溝とにスペーサ４１〜４９を架け渡
している。さらに、架け渡したスペーサ４１〜４９の間
に、レーサバー１１〜１８を配置している。

【００５８】ここで、レーザバー１１〜１８は、保持枠
３１がなす平面に対して平行な２面が同時に露出して保
持されることとなる。すなわち、この２面が反射側面お
よび出射側面となるように配置することで、反射側面
と、出射側面とを同時に露出して保持することができ
る。

【００５９】また、スペーサ４１〜４９の長手方向の長
さは、レーザバーの長手方向の長さに比して大きくして
おく。さらに、レーザバー１１〜１８を枠材３１ａおよ
び枠材３１ｃからそれぞれ３ｍｍ以上離して配置する。
また、レーザバー１１と枠材１ｂとの間にスペーサ２１
を挿入し、レーザバー１８と摺動部３との間にスペーサ
４９を挿入する。このため、レーザバーの反射側面およ
び出射側面の近傍に壁面を形成することを避けることが
できる。

【００６０】さらに、保持枠３１がなす平面に対して垂
直な方向のスペーサ４１〜４９の幅は、保持枠３１がな
す平面に対して垂直な方向のレーザバー１１〜１８の幅
に比して小さくしておく。また、枠材３１ａおよび枠材
３１ｃの溝は、その幅を保持枠１がなす平面に対して垂
直な方向のスペーサ４１〜４９の幅よりも大きくし、ス
ペーサがスライド可能な状態にする。

【００６１】また、枠材３１ａおよび枠材３１ｃは、そ
れぞれ切り欠きを有し、切り欠きを対向させる事でスペ
ーサ挿入口を形成する。スペーサ４１〜４９は、スペー
サ挿入口から挿入および取り出しが可能で、成膜するレ
ーザバーの数に合わせてスペーサの数を増減させること
ができる。

【００６２】また、摺動部３３は、枠材３１ａの溝と枠
材３１ｃの溝とに架け渡される。さらに、摺動部３３は
軸３２と接続される。軸３２は、枠材３１ｄの貫通孔に
貫挿され、軸３２を動かすことで、摺動部３３がスライ
ドする。摺動部３３は、スライドによってスペーサ４１
〜４９およびレーザバー１１〜１８に押圧をかけること
ができる。さらに、スペーサ４１〜４９およびレーザバ
ー１１〜１８に押圧をかけた状態で、軸３２を固定し、
スペーサ４１〜４９およびレーザバー１１〜１８を固定
することができる。

【００６３】つぎに、レーザバーの配置および固定の手
順について説明する。まず、設置台３４の上に保持枠３
１を設置する。設置台３４は、保持枠載置面３４ａとレ
ーザバー載置面３４ｂとを有する。保持枠載置面３４ａ
からレーザバー載置面３４ｂまでの高さは、保持枠３１
の下面から溝までの高さに比して低くし、かつ、レーザ
バー載置面３４ｂ上に設置したレーザバーの上面の高さ
が、保持枠３１の溝に架け渡したスペーサの上面に比し
て高くなるようにする。つぎに、保持枠３１のスペーサ
挿入口からスペーサ４１を挿入する。つづいて、レーザ
バー載置面３４ｂにレーザバー１１を配置する。

【００６４】ここで、レーザバー１１の下面は、レーザ
バー載置面３４ｂと同じ高さとなる。また、スペーサ４
１は、枠材３１ａの溝と枠材３１ｃとの溝に架け渡して
保持されるので、その下面は、レーザバー載置面３４ｂ
の上面に比して高くなる。したがって、レーザバー１１
の下面は、スペーサ４１の下面に比して低くなる。ま
た、レーザバー１１の上面は、スペーサ４１の上面に比
して高くなる。

【００６５】つぎに、保持枠３１のスペーサ挿入口から
スペーサ４２を挿入し、レーザバー載置面３４ｂにレー
ザバー１２を配置する。スペーサ４２とレーザバー１２
との場合においても、レーザバー１２の下面は、スペー
サ４２の下面に比して低くなり、レーザバー１２の上面
は、スペーサ４２の上面に比して高くなる。さらに、ス
ペーサ４３〜４９の挿入と、レーザバー１３〜１８の配
置を交互に行う。

【００６６】つぎに、軸３２を動かして、摺動部３３を
スライドさせ、スペーサ４１〜４９およびレーザバー１
１〜１８に押圧をかけて固定する。

【００６７】ここで、保持枠３１が有する溝の幅および
スペーサ４１〜４９の幅と、レーザバー１１〜１８の幅
との差は、４０〜１００μｍとするのが好ましい。レー
ザバーの幅とスペーサの幅とを同一の値に設計した場
合、製造のばらつきや、配置のばらつきのために、レー
ザバーの高さとスペーサの高さとを揃えることは困難で
ある。レーザバーの高さと、スペーサの高さとがずれが
生じた場合、成膜した誘電体の膜厚に影響を与える。図
７は、レーザバーのスペーサに対する突出量と、成膜し
た誘電体膜の膜厚との相関関係を示す図である。スペー
サがレーザバーに対して突出している場合、すなわち、
レーザバーの突出量が負の値となる場合には、膜厚は小
さくなり、成膜の均一性を損なう。

【００６８】一方で、レーザバーがスペーサから突出し
た場合は、その突出量が問題となる。レーザバーの突出
量が小さい場合は、適切な成膜が行える。しかし、レー
ザバーの突出量が大きい場合は、成膜した面の周囲の面
に成膜材料が回りこんで付着する。成膜材料が周囲の面
に回りこんで付着すると、ダイボンディングやワイヤボ
ンディングなどの後の工程において接触不良を引き起こ
す原因となる。

【００６９】したがって、レーザバーの成膜面は、スペ
ーサと同一の高さか、成膜材料の回り込みを生じない程
度に突出していることが求められる。スペーサ４１〜４
９の幅と、レーザバー１１〜１８の幅との差を４０〜１
００μｍとし、レーザバー載置面３４ｂの高さを、保持
枠３１の下面から溝までの高さに比して２０〜５０μｍ
低くすることで、レーザバー載置面３４ｂに設置したレ
ーザバーは、その上面の高さが、保持枠３１の溝に架け
渡したスペーサの上面に比して２０〜５０μｍ高くな
る。ここで、スペーサおよびレーザバーに製造のばらつ
きや配置のばらつきが生じたとしても、レーザバー上面
を、スペーサの上面から突出させるか、スペーサの上面
と同一の高さに保つことができる。

【００７０】この実施の形態２に示したレーザバー保持
装置は、保持枠３１の内側に設けた溝に、レーザバー１
１〜１８に比して幅の小さいスペーサ４１〜４９を架け
渡し、スペーサ４１〜４９の間にレーザバー１１〜１８
を配置し、摺動部３３および軸３２で押圧をかけて固定
している。また、スペーサ４１〜４９の長手方向の長さ
をレーザバー１１〜１８の長手方向の長さに比して大き
くし、レーザバー１１〜１８を保持枠３１の枠材３１ａ
〜３１ｄから３ｍｍ以上離して設置するようにしてい
る。

【００７１】このレーザバー保持装置は、レーザバーの
出射側面と、反射側面とを同時に露出して保持できるの
で、一度の設置で低反射膜と、高反射膜とを行うことが
できる。したがって、レーザバーを直接取り扱う作業を
低減し、レーザバーに傷や破損が生じる可能性を低減す
ることができる。

【００７２】また、レーザバーを保持枠３１から３ｍｍ
以上離して固定することで、レーザバーの近傍における
壁面の形成を回避できるので、壁面による成膜の不均一
を回避できる。

【００７３】さらに、摺動部３３で押圧をかけて固定す
るので、レーザバーの出射側の端面と反射側の端面とを
完全に露出して保持することができ、その全面に均一に
成膜を行うことができる。

【００７４】また、スペーサの数を増減させることで、
任意の数のレーザバーを同時に保持することができる。

【００７５】さらに、レーザバーをスペーサから突出さ
せて保持するので、レーザバーおよびスペーサの製造ば
らつきや、配置のばらつきにマージンを持たせ、成膜を
均一にかつ、歩留良く行うことができる。

【００７６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、レーザバー保持装置は、ガイド部に沿ってスラ
イドする保持部材でレーザバーを挟んで押圧をかけ、レ
ーザバーの出射側面および反射側面を同時に露出して固
定するので、一度の設置でレーザバーの出射側面と反射
側面とを成膜可能なレーザバー保持装置を得ることがで
きるという効果を奏する。

【００７７】また、請求項２の発明によれば、保持部材
は、ガイド部の長手方向に形成された溝に架け渡されて
スライドし、レーザバーを狭持するので、レーザバーの
出射側面および反射側面を、同時に露出して固定し、一
度の設置でレーザバーの出射側面と反射側面とを成膜可
能なレーザバー保持装置を簡易な構成で得ることができ
るという効果を奏する。

【００７８】また、請求項３の発明によれば、レーザバ
ーと保持部材とを交互に配置し、保持部材をスライドさ
せることで、複数のレーザバーを同時に保持するので、
複数のレーザバーの出射側面および反射側面を、一度の
設置で成膜可能なレーザバー保持装置を得ることができ
るという効果を奏する。

【００７９】また、請求項４の発明によれば、レーザバ
ーの両端は、ガイド部から３ｍｍ以上の距離をおいて固
定され、レーザバーの近傍に壁面を構成することを回避
しているので、レーザバーの出射側面および反射側面の
両端部近傍においても成膜の均一性を確保できるレーザ
バー保持装置を実現し、半導体レーザ素子の歩留を向上
できるという効果を奏する。

【００８０】また、請求項５の発明によれば、レーザバ
ーは、ガイド部を平行な状態に固定するガイド部接続手
段から３ｍｍ以上の距離をおいて固定され、レーザバー
の近傍に壁面を構成することを回避しているので、保持
枠の近傍に設置されたレーザバーの出射側面および反射
側面に対して、均一に成膜可能なレーザバー保持装置を
得ることができるという効果を奏する。

【００８１】また、請求項６の発明によれば、レーザバ
ーの出射側面および反射側面を、保持部材から突出させ
ることで、レーザバーの近傍に壁面を構成することを回
避しているので、レーザバーへの成膜の均一性を向上し
たレーザバー保持装置を実現し、半導体レーザバーの歩
留を向上することができるという効果を奏する。

【００８２】また、請求項７の発明によれば、ガイド部
をガイド部載置面に載置し、レーザバーをレーザバー載
置面に載置することで、ガイド部に架け渡された保持部
材とレーザバーとの位置決めを行い、レーザバーの出射
側面および反射側面を保持部材から突出させて保持する
ので、レーザバーと保持部材との位置決めを簡便に行
い、成膜の均一性を向上したレーザバー保持装置を実現
することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１であるレーザバー保持
装置の斜視図である。

【図２】図１に示したレーザバー保持装置のＡ−Ａ線断
面図である。

【図３】図１に示したレーザバー保持装置のＢ−Ｂ線断
面図である。

【図４】この発明の実施の形態２であるレーザバー保持
装置の斜視図である。

【図５】図４に示したレーザバー保持装置のＣ−Ｃ線断
面図である。

【図６】図４に示したレーザバー保持装置のＤ−Ｄ線断
面図である。

【図７】レーザバーのスペーサに対する突出量と、成膜
した誘電体膜の膜厚との相関関係を示す図である。

【図８】レーザバーの概要構成を示す斜視図である。

【図９】従来のレーザバー保持装置に固定されたレーザ
バーを示す斜視図である。

【図１０】レーザバーの出射側端面と反射側端面とを同
時に露出する従来のレーザバー保持装置を示す図であ
る。

【図１１】レーザバーを単独で保持する従来のレーザバ
ー保持装置を示す図である。

【符号の説明】

１，３１ 保持枠 １ａ〜１ｄ，３１ａ〜３１ｄ 枠材 ２，３２ 軸 ３，３３ 摺動部 １１〜１８ レーザバー ２１〜２９，４１〜４９ スペーサ ４，３４ 設置台 ４ａ，３４ａ 保持枠載置面 ４ｂ，３４ｂ レーザバー載置面

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザバーの出射側面および反射側面に
   成膜を行うために該レーザバーを保持するレーザバー保
   持装置であって、 互いに平行に配した１対のガイド部と、 前記ガイド部に架け渡され、前記ガイド部の長手方向に
   移動可能であり、前記レーザバーの出射側面および反射
   側面を露出して該レーザバーを狭持する複数の保持部材
   と、 前記レーザバーを狭持した状態で前記保持部材を固定す
   る固定手段と、 を備えたことを特徴とするレーザバー保持装置。
2. 【請求項２】 前記１対のガイド部に溝を形成し、該溝
   に前記保持部材の端部を架け渡したことを特徴とする請
   求項１に記載のレーザバー保持装置。
3. 【請求項３】 複数の前記レーザバーと前記複数の保持
   部材とを交互に配置し、前記固定手段で固定することを
   特徴とする請求項１または２に記載のレーザバー保持装
   置。
4. 【請求項４】 前記レーザバーの長手方向の両端は、前
   記１対のガイド部から少なくとも３ｍｍの距離をおいて
   固定されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一
   つに記載のレーザバー保持装置。
5. 【請求項５】 前記１対のガイド部に接続され、該１対
   のガイド部を互いに平行な状態に固定するガイド部接続
   手段をさらに備え、 前記レーザバーは、前記ガイド部接続手段から少なくと
   も３ｍｍの距離をおいて固定されることを特徴とする請
   求項１〜４のいずれか一つに記載のレーザバー保持装
   置。
6. 【請求項６】 前記レーザバーの出射側面および反射側
   面は、前記保持部材から突出していることを特徴とする
   請求項１〜５のいずれか一つに記載のレーザバー保持装
   置。
7. 【請求項７】 前記１対のガイド部を載置するガイド部
   載置面と、前記レーザバーを載置するレーザバー載置面
   と、を有するレーザバー設置台をさらに備え、 前記ガイド部載置面に載置した前記１対のガイド部は、
   前記ガイド部載置面から前記溝までの高さが、前記レー
   ザバー載置面の高さに比して高く、 前記レーザバー載置面に載置した前記レーザーバーは、
   その上面が、前記溝に架け渡した保持部材の上面に比し
   て高いことを特徴とする請求項１〜６のいずれかひとつ
   に記載のレーザバー保持装置。