JP3217989B2 - デバイスの表面のコーティング方法とデバイス保持装置 - Google Patents
デバイスの表面のコーティング方法とデバイス保持装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体レーザダイオ
ードに関する。特に、レーザバーファセットのコーティ
ング方法及びその固定装置に関する。
ードに関する。特に、レーザバーファセットのコーティ
ング方法及びその固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体レーザダイオードの製造プロセス
において、半導体レーザチップはその対向するファセッ
トにコーティングされてミラー表面や、部分的なミラー
表面を提供する。このミラー表面は、ダイオードが駆動
され動作するときに、チップ内に生成された光のすべて
または一部を反射する。コーティングプロセスは高真空
の蒸着チャンバー内で行われる。通常バーと称される半
導体レーザチップのストリップはバーのファセット上に
光学コーティング材料をコーティングするために、固定
装置によって保持される。従来の固定装置は割に小さい
領域でバーを保持することができないため、コーティン
グ材料の蒸着は同時に処理されるすべてのバー上に均一
に成長されない。さらに、各固定装置は僅かのバーしか
保持できないため、スループットが制限されていた。
において、半導体レーザチップはその対向するファセッ
トにコーティングされてミラー表面や、部分的なミラー
表面を提供する。このミラー表面は、ダイオードが駆動
され動作するときに、チップ内に生成された光のすべて
または一部を反射する。コーティングプロセスは高真空
の蒸着チャンバー内で行われる。通常バーと称される半
導体レーザチップのストリップはバーのファセット上に
光学コーティング材料をコーティングするために、固定
装置によって保持される。従来の固定装置は割に小さい
領域でバーを保持することができないため、コーティン
グ材料の蒸着は同時に処理されるすべてのバー上に均一
に成長されない。さらに、各固定装置は僅かのバーしか
保持できないため、スループットが制限されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、光学コーティング材料の蒸着におけるレーザバーを
小さい領域で保持するレーザバーファセットのコーティ
ング方法及びその固定装置を提供し、バーファセットへ
の材料コーティングはより均一になることを実現するこ
とである。
は、光学コーティング材料の蒸着におけるレーザバーを
小さい領域で保持するレーザバーファセットのコーティ
ング方法及びその固定装置を提供し、バーファセットへ
の材料コーティングはより均一になることを実現するこ
とである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明はレーザバーファセットのコーティング方法
及びその固定装置を開示する。コーティング表面のある
デバイスを固定する保持装置は第１と第２チャンネルを
有する。このチャンネルに複数の網状薄板が取り付けら
れる。この網状薄板は第１、第２端と第１、第２デバイ
ス保持表面を有する。網状薄板の端部はそれぞれのチャ
ンネルに搭載される。網状薄板の端部はその隣接した網
状薄板の端部とかみ合う。網状薄板はチャンネルの一端
に固定されて、他端はチャンネルに沿って移動可能とな
る。この移動可能な端のチャンネルは開放状態にあると
き、コーティング処理のデバイスをそこに導入すること
ができ、締まり状態にあるとき、網状薄板のエッジがそ
こに挟まれるコーディング処理デバイスを保持する。バ
イアス部材が使用されて網状薄板を閉じた状態に保持し
てコーティング処理デバイスをつかむ。本発明の他の実
施例においては、平行六面体状のデバイス表面のコーテ
ィング方法が開示された。この方法において、少なくと
も１つの平行六面体状のデバイスを１対のデバイス保持
表面で保持装置に固定されて、この保持装置を真空チャ
ンバーに載せて、真空チャンバー内で表面コーティング
環境を実現する。
に、本発明はレーザバーファセットのコーティング方法
及びその固定装置を開示する。コーティング表面のある
デバイスを固定する保持装置は第１と第２チャンネルを
有する。このチャンネルに複数の網状薄板が取り付けら
れる。この網状薄板は第１、第２端と第１、第２デバイ
ス保持表面を有する。網状薄板の端部はそれぞれのチャ
ンネルに搭載される。網状薄板の端部はその隣接した網
状薄板の端部とかみ合う。網状薄板はチャンネルの一端
に固定されて、他端はチャンネルに沿って移動可能とな
る。この移動可能な端のチャンネルは開放状態にあると
き、コーティング処理のデバイスをそこに導入すること
ができ、締まり状態にあるとき、網状薄板のエッジがそ
こに挟まれるコーディング処理デバイスを保持する。バ
イアス部材が使用されて網状薄板を閉じた状態に保持し
てコーティング処理デバイスをつかむ。本発明の他の実
施例においては、平行六面体状のデバイス表面のコーテ
ィング方法が開示された。この方法において、少なくと
も１つの平行六面体状のデバイスを１対のデバイス保持
表面で保持装置に固定されて、この保持装置を真空チャ
ンバーに載せて、真空チャンバー内で表面コーティング
環境を実現する。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１はファセットコーティングの
ために半導体レーザバーを保持する固定装置２０の上面
図を示す。固定装置２０はフレーム２２を有し、このフ
レーム２２は他の部材を保持する。固定装置２０は基本
的に中心軸２４に関して対称となっているが、これに限
定されるものではない。ミラー表面のイメージで示され
たカバープレート２６と２８は、ガイドレール３０、ク
ロース部材３２の部分及びバネ３４を露出するために固
定装置２０の右側から除去された。図１において、中心
線２４の左側にあるカバープレート２６と２８の下に
は、もう１つのガイドレール３０、バネ３４及びクロー
ス部材３２の他端がある。同様に、カバープレート２８
を取り外すことにより、第１プレート４０、第２プレー
ト４２及び複数の網状薄板５０が露出される。
ために半導体レーザバーを保持する固定装置２０の上面
図を示す。固定装置２０はフレーム２２を有し、このフ
レーム２２は他の部材を保持する。固定装置２０は基本
的に中心軸２４に関して対称となっているが、これに限
定されるものではない。ミラー表面のイメージで示され
たカバープレート２６と２８は、ガイドレール３０、ク
ロース部材３２の部分及びバネ３４を露出するために固
定装置２０の右側から除去された。図１において、中心
線２４の左側にあるカバープレート２６と２８の下に
は、もう１つのガイドレール３０、バネ３４及びクロー
ス部材３２の他端がある。同様に、カバープレート２８
を取り外すことにより、第１プレート４０、第２プレー
ト４２及び複数の網状薄板５０が露出される。
【０００６】各網状薄板５０の構造は基本的に同様であ
り、図２には単一の網状薄板５０の拡大上面図を示す。
各網状薄板は第１と第２レーザバー保持表面５４と５
６、及び第１と第２端５８と６０を有する。本発明の実
施例においては、網状薄板５０は中心線５２に関して対
称となっているが、これに限定されるものではない。対
称性のため、１つの端部のみについて述べる。各端部は
第２レーザバー保持表面５６に近接した突起部６２を有
する。突起部６２の隣には凹部６４がある。突起部６６
が第１レーザバー保持表面５４に隣接して伸びる。突起
部６６は中心線５２に向いた末端６８を有して、第１レ
ーザバー保持表面５４との間に凹部７０を形成する。
り、図２には単一の網状薄板５０の拡大上面図を示す。
各網状薄板は第１と第２レーザバー保持表面５４と５
６、及び第１と第２端５８と６０を有する。本発明の実
施例においては、網状薄板５０は中心線５２に関して対
称となっているが、これに限定されるものではない。対
称性のため、１つの端部のみについて述べる。各端部は
第２レーザバー保持表面５６に近接した突起部６２を有
する。突起部６２の隣には凹部６４がある。突起部６６
が第１レーザバー保持表面５４に隣接して伸びる。突起
部６６は中心線５２に向いた末端６８を有して、第１レ
ーザバー保持表面５４との間に凹部７０を形成する。
【０００７】各網状薄板５０の第１と第２端５８と６０
は隣接した網状薄板の端部、あるいは第１プレート４０
または第２プレートに互にかみ合っている。網状薄板５
０の各端はプレート４０または４２の一端、あるいは両
方のレーザ保持表面５４と５６に隣接した他の網状薄板
の端部につながっているので（図１、３、４、５を参照
のこと）、網状薄板５０の端部にある様々な特徴物の寸
法は端部にある他の特徴物に関連して決められる。この
相対関係の寸法決めにおいてはすべての網状薄板５０を
同寸法にしてもかまわない。
は隣接した網状薄板の端部、あるいは第１プレート４０
または第２プレートに互にかみ合っている。網状薄板５
０の各端はプレート４０または４２の一端、あるいは両
方のレーザ保持表面５４と５６に隣接した他の網状薄板
の端部につながっているので（図１、３、４、５を参照
のこと）、網状薄板５０の端部にある様々な特徴物の寸
法は端部にある他の特徴物に関連して決められる。この
相対関係の寸法決めにおいてはすべての網状薄板５０を
同寸法にしてもかまわない。
【０００８】本発明の実施例において、突起部６２は第
２レーザバー保持表面５６と同様な幅のエッジを有して
もよいが、ライン７４に示すように凹部７０の内部エッ
ジ７２を超えて外に出てはいけない。同様に、末端６８
は中心線５２に向いて伸びるが、ライン７８に示すよう
に、凹部の内部エッジ７６を超えて中心へ入ってはいけ
ない。表面８０から第２レーザバー保持表面５６までの
突起部６２の幅は、表面８２から第１レーザバー保持表
面５４までの凹部７０の幅よりも小さい。凹部７０の幅
は、突起部６２の幅と表面９６から表面９８までのレー
ザバー９０の厚さとの和より若干大きい。同様に、表面
８２から表面８４までの末端６８の幅は表面８０と８６
間の凹部６４の幅よりも小さい。凹部６４の幅は突起部
６８の幅と表面９６から表面９８までのレーザバーの厚
さとの和より若干大きい。本発明の実施例による網状薄
板５０は放電加工のようなプロセスにより製造される。
２レーザバー保持表面５６と同様な幅のエッジを有して
もよいが、ライン７４に示すように凹部７０の内部エッ
ジ７２を超えて外に出てはいけない。同様に、末端６８
は中心線５２に向いて伸びるが、ライン７８に示すよう
に、凹部の内部エッジ７６を超えて中心へ入ってはいけ
ない。表面８０から第２レーザバー保持表面５６までの
突起部６２の幅は、表面８２から第１レーザバー保持表
面５４までの凹部７０の幅よりも小さい。凹部７０の幅
は、突起部６２の幅と表面９６から表面９８までのレー
ザバー９０の厚さとの和より若干大きい。同様に、表面
８２から表面８４までの末端６８の幅は表面８０と８６
間の凹部６４の幅よりも小さい。凹部６４の幅は突起部
６８の幅と表面９６から表面９８までのレーザバーの厚
さとの和より若干大きい。本発明の実施例による網状薄
板５０は放電加工のようなプロセスにより製造される。
【０００９】図１、３、４に示すように、網状薄板５０
−１の突起部６６は第１プレート４０とつながってい
る。網状薄板５０−１に隣接した第１プレート４０のエ
ッジは、網状薄板の構造の代わりに、レーザバー保持表
面５６’、突起部６２’、凹部６４’、内部エッジ７
６’及び表面８０’と８６’を含んだ相互関係を満足す
る。プレート４０はクロース部材３２に固定され、クロ
ース部材３２が移動するときにガイド３０に沿って移動
する。同様に図１、４、５に示すように、網状薄板５０
−ｎに隣接した第２プレート４２のエッジは、網状薄板
の構造の代わりに、レーザバー保持表面５４’、突起部
６６’、末端６８’、凹部７０’、内部エッジ７２’、
及び表面８２’と８４’を含んだ相互関係を満足する。
第２プレート４２はフレーム２２に対して安定的であ
る。
−１の突起部６６は第１プレート４０とつながってい
る。網状薄板５０−１に隣接した第１プレート４０のエ
ッジは、網状薄板の構造の代わりに、レーザバー保持表
面５６’、突起部６２’、凹部６４’、内部エッジ７
６’及び表面８０’と８６’を含んだ相互関係を満足す
る。プレート４０はクロース部材３２に固定され、クロ
ース部材３２が移動するときにガイド３０に沿って移動
する。同様に図１、４、５に示すように、網状薄板５０
−ｎに隣接した第２プレート４２のエッジは、網状薄板
の構造の代わりに、レーザバー保持表面５４’、突起部
６６’、末端６８’、凹部７０’、内部エッジ７２’、
及び表面８２’と８４’を含んだ相互関係を満足する。
第２プレート４２はフレーム２２に対して安定的であ
る。
【００１０】バネ３４がクロース部材３２にかける力を
フレーム２２の第２端に力をかけ、さらに第２プレート
４２にかける。フレーム２２が固定であるため、力がバ
ネ３４のバイアスを抵抗するためにクロース部材３２に
かかると、クロース部材３２はガイドレール３０の拘束
で第１端３６に向けて移動する。クロース部材３２は第
１端３６に向けて移動すると、第１プレート４０の突起
部６２’が第１プレートに隣接した網状薄板５０−１に
ある凹部７０を移動することによって、各網状薄板５０
は初めて安定となる。第１プレート４０の表面８０’が
網状薄板５０−１の表面８２に当たって、第１プレート
４０が網状薄板に近接したときに、第１プレート４０の
第１レーザバー保持表面５６’と網状薄板５０−１の第
１レーザバー保持表面５４との間隔は最も大きい。表面
５６’と５４の間隔はレーザバー保持空間８８を形成
し、一般的にそこに保持されるレーザバー９０の厚さよ
り若干大きい。第１プレート４０は引き続いて第１端３
６に向けて移動すると、網状薄板５０−１の突起部６２
が網状薄板５０−２の凹部７０の中を移動することによ
って、網状薄板５０−１は移動し始まって、網状薄板５
０−１の表面８０と網状薄板５０−２の表面８２は接触
するようになる。第１プレート４０と網状薄板５０−１
が引き続き第１端３６に向かって移動すると、網状薄板
５０−２が動き出す。網状薄板５０−２の移動は網状薄
板５０−１の第２レーザバー保持表面５６と網状薄板５
０−２の第１レーザバー保持表面５４の間にもう１つの
レーザバー保持空間８８を形成する。このようにして、
網状薄板５０の端部５６、５８は隣接した網状薄板とか
み合って、次から次へと網状薄板を動かして、それぞれ
対向するレーザバー保持表面の間にレーザバー保持空間
を開く。ここで、網状薄板を開くプロセスを網状薄板の
広がりと称する。
フレーム２２の第２端に力をかけ、さらに第２プレート
４２にかける。フレーム２２が固定であるため、力がバ
ネ３４のバイアスを抵抗するためにクロース部材３２に
かかると、クロース部材３２はガイドレール３０の拘束
で第１端３６に向けて移動する。クロース部材３２は第
１端３６に向けて移動すると、第１プレート４０の突起
部６２’が第１プレートに隣接した網状薄板５０−１に
ある凹部７０を移動することによって、各網状薄板５０
は初めて安定となる。第１プレート４０の表面８０’が
網状薄板５０−１の表面８２に当たって、第１プレート
４０が網状薄板に近接したときに、第１プレート４０の
第１レーザバー保持表面５６’と網状薄板５０−１の第
１レーザバー保持表面５４との間隔は最も大きい。表面
５６’と５４の間隔はレーザバー保持空間８８を形成
し、一般的にそこに保持されるレーザバー９０の厚さよ
り若干大きい。第１プレート４０は引き続いて第１端３
６に向けて移動すると、網状薄板５０−１の突起部６２
が網状薄板５０−２の凹部７０の中を移動することによ
って、網状薄板５０−１は移動し始まって、網状薄板５
０−１の表面８０と網状薄板５０−２の表面８２は接触
するようになる。第１プレート４０と網状薄板５０−１
が引き続き第１端３６に向かって移動すると、網状薄板
５０−２が動き出す。網状薄板５０−２の移動は網状薄
板５０−１の第２レーザバー保持表面５６と網状薄板５
０−２の第１レーザバー保持表面５４の間にもう１つの
レーザバー保持空間８８を形成する。このようにして、
網状薄板５０の端部５６、５８は隣接した網状薄板とか
み合って、次から次へと網状薄板を動かして、それぞれ
対向するレーザバー保持表面の間にレーザバー保持空間
を開く。ここで、網状薄板を開くプロセスを網状薄板の
広がりと称する。
【００１１】第２プレート４２の近くに、最後の網状薄
板（ここで、網状薄板５０−ｎと称される）が網状薄板
５０−（ｎ−１）の関連で動き出すと、網状薄板５０−
ｎの表面８０は第２プレート４２の表面８２’に当たる
まで移動し続ける。この状態では、網状薄板５０−ｎの
第２レーザバー保持表面５６と第２プレート４２の第１
レーザバー保持表面５４’の間が最大の距離となる。図
１に示すように、この時には、隣接した網状薄板のレー
ザバー保持表面間、あるいは網状薄板と第１または第２
プレート間の距離が最大となる。ここで、網状薄板５０
のこのよう状態をフル開放状態と称する。
板（ここで、網状薄板５０−ｎと称される）が網状薄板
５０−（ｎ−１）の関連で動き出すと、網状薄板５０−
ｎの表面８０は第２プレート４２の表面８２’に当たる
まで移動し続ける。この状態では、網状薄板５０−ｎの
第２レーザバー保持表面５６と第２プレート４２の第１
レーザバー保持表面５４’の間が最大の距離となる。図
１に示すように、この時には、隣接した網状薄板のレー
ザバー保持表面間、あるいは網状薄板と第１または第２
プレート間の距離が最大となる。ここで、網状薄板５０
のこのよう状態をフル開放状態と称する。
【００１２】前述したフル開放状態において、フレーム
２２が安定となり、クロース部材３２がフレーム２２に
相対して動ける。例えば、クロース部材３２はバネ３４
の引張力により第２端３８へ動く場合、クロース部材３
２はガイドレール３０の拘束を受ける。クロース部材３
２は第２端３８に向かって（そのため、第２プレート４
２に向かって）動くと、初期では第１プレート４０の突
起部６０’がこの第１プレート４０に隣接した網状薄板
５０−１の凹部７０内を移動して、各網状薄板５０は静
止状態を保つ。もし対向のレーザバー保持表面の間にレ
ーザバーが存在しなければ、第１プレート４０の第２レ
ーザバー保持表面５６’は網状薄板５０−１の第１レー
ザバー保持表面５４に当たり、すなわち第１プレート４
０の表面８６’は網状薄板５０−１の表面８４に接触す
る。さらに第１プレート４０を第２端３８へ移動させる
と、網状薄板５０−１も動くことになる。網状薄板５０
−１は同様な方式で網状薄板５０−２を作用して、レー
ザバー保持表面間の空間を減少させる。ここで、このレ
ーザバー保持表面間の空間減少プロセスを網状薄板の縮
みと称する。網状薄板５０、クロース部材３２とバネ３
４の最後の状態は図４に示される。
２２が安定となり、クロース部材３２がフレーム２２に
相対して動ける。例えば、クロース部材３２はバネ３４
の引張力により第２端３８へ動く場合、クロース部材３
２はガイドレール３０の拘束を受ける。クロース部材３
２は第２端３８に向かって（そのため、第２プレート４
２に向かって）動くと、初期では第１プレート４０の突
起部６０’がこの第１プレート４０に隣接した網状薄板
５０−１の凹部７０内を移動して、各網状薄板５０は静
止状態を保つ。もし対向のレーザバー保持表面の間にレ
ーザバーが存在しなければ、第１プレート４０の第２レ
ーザバー保持表面５６’は網状薄板５０−１の第１レー
ザバー保持表面５４に当たり、すなわち第１プレート４
０の表面８６’は網状薄板５０−１の表面８４に接触す
る。さらに第１プレート４０を第２端３８へ移動させる
と、網状薄板５０−１も動くことになる。網状薄板５０
−１は同様な方式で網状薄板５０−２を作用して、レー
ザバー保持表面間の空間を減少させる。ここで、このレ
ーザバー保持表面間の空間減少プロセスを網状薄板の縮
みと称する。網状薄板５０、クロース部材３２とバネ３
４の最後の状態は図４に示される。
【００１３】網状薄板５０がレーザバー保持空間８８を
ゼロまで減少させるプロセスまで説明した後、レーザバ
ーの保持については分かる。すなわち、網状薄板は最大
限に開放して、レーザバー９０をそれぞれのレーザバー
保持空間８８に入れる。その後、網状薄板は締まりレー
ザバー９０をレーザバー保持空間８８に固定する。レー
ザバーが隣接した第１と第２レーザバー保持表面５４と
５６、あるいは５６’と５４、あるいは５６と５４’の
間に挿入される状態において、クロース部材３２は第２
端３８へ移動すると、レーザバー９０は対向の第１と第
２レーザバー保持表面５４と５６の間に挟まれる。図５
はこの状態を示す。
ゼロまで減少させるプロセスまで説明した後、レーザバ
ーの保持については分かる。すなわち、網状薄板は最大
限に開放して、レーザバー９０をそれぞれのレーザバー
保持空間８８に入れる。その後、網状薄板は締まりレー
ザバー９０をレーザバー保持空間８８に固定する。レー
ザバーが隣接した第１と第２レーザバー保持表面５４と
５６、あるいは５６’と５４、あるいは５６と５４’の
間に挿入される状態において、クロース部材３２は第２
端３８へ移動すると、レーザバー９０は対向の第１と第
２レーザバー保持表面５４と５６の間に挟まれる。図５
はこの状態を示す。
【００１４】レーザは例えば、インジウム−リンあるい
はガリウム−ヒ素のようなＩＩＩ−Ｖ族あるいはＩＩ−
ＶＩ族半導体ウェーハ上で造られる。ウェーハはレーザ
バーと称されるセグメントに分割されるか、劈開され
る。図６はレーザバー９０の拡大斜視図を示す。各レー
ザバー９０は平行六面体となり、複数の単一レーザ９２
を含む。単一レーザ９２は点線９４により示される。各
レーザバーは第１対の対向主表面９６と９８と、第２対
の対向主表面１００と１０２と、端部１０４と１０６を
含む。レーザバー９０の製造において、接点１０８は第
１対の主表面の一方または両方、例えば表面９６に形成
される。接点１０８はレーザテスト及びその後のパッケ
ージングにおいてレーザを駆動することと、動作中にレ
ーザを駆動するために使用される。第２対の対向主表面
１００と１０２はコーティングされる主表面、またはフ
ァセットである。
はガリウム−ヒ素のようなＩＩＩ−Ｖ族あるいはＩＩ−
ＶＩ族半導体ウェーハ上で造られる。ウェーハはレーザ
バーと称されるセグメントに分割されるか、劈開され
る。図６はレーザバー９０の拡大斜視図を示す。各レー
ザバー９０は平行六面体となり、複数の単一レーザ９２
を含む。単一レーザ９２は点線９４により示される。各
レーザバーは第１対の対向主表面９６と９８と、第２対
の対向主表面１００と１０２と、端部１０４と１０６を
含む。レーザバー９０の製造において、接点１０８は第
１対の主表面の一方または両方、例えば表面９６に形成
される。接点１０８はレーザテスト及びその後のパッケ
ージングにおいてレーザを駆動することと、動作中にレ
ーザを駆動するために使用される。第２対の対向主表面
１００と１０２はコーティングされる主表面、またはフ
ァセットである。
【００１５】レーザバー９０をレーザバー保持空間８８
に入れるために、網状薄板５０を開く。図７は、固定装
置２０が負荷ブロック１２０に設置される状態の上面図
を示す。固定装置２０は負荷ブロック１２０に固定され
て、そのフレームは負荷ブロックに相対して静止する。
スライド１２２はクロース部材３２から伸びたピン１２
４に当たる。スライド１２２はバネ３４を引っ張って網
状薄板５０をフル開放状態に位置させる。ベース１２６
が網状薄板５０の下部表面と同一の平面にあり、レザー
バー保持空間に入れられ、レーザバー保持表面５４、５
４’、５６、５６’により保持される前に、レーザバー
９０の落下を防止する。
に入れるために、網状薄板５０を開く。図７は、固定装
置２０が負荷ブロック１２０に設置される状態の上面図
を示す。固定装置２０は負荷ブロック１２０に固定され
て、そのフレームは負荷ブロックに相対して静止する。
スライド１２２はクロース部材３２から伸びたピン１２
４に当たる。スライド１２２はバネ３４を引っ張って網
状薄板５０をフル開放状態に位置させる。ベース１２６
が網状薄板５０の下部表面と同一の平面にあり、レザー
バー保持空間に入れられ、レーザバー保持表面５４、５
４’、５６、５６’により保持される前に、レーザバー
９０の落下を防止する。
【００１６】網状薄板５０がフル開放状態にあるとき、
レーザバー９０は隣接したレーザバー保持表面の間にあ
るレーザバー保持空間８８に入れられる。レーザバー９
０は手動、または真空ピックアップツールのような自動
装置により挿入される。レーザバー９０はその第１対の
対向主表面９６と９８をレーザバー保持表面５４、５
４’、５６、５６’の何れかに隣接させるよう設置され
る。網状薄板５０が締め付けられると、レーザバー保持
表面５４、５４’、５６、５６’の何れかはレーザバー
９０の表面９６と９８に当たり、表面９６と９８のコー
ティングを防止する。網状薄板５０が締め付けられる
と、表面１００と１０２は固定装置２２の各主表面にあ
り、コーティング処理に露出される。
レーザバー９０は隣接したレーザバー保持表面の間にあ
るレーザバー保持空間８８に入れられる。レーザバー９
０は手動、または真空ピックアップツールのような自動
装置により挿入される。レーザバー９０はその第１対の
対向主表面９６と９８をレーザバー保持表面５４、５
４’、５６、５６’の何れかに隣接させるよう設置され
る。網状薄板５０が締め付けられると、レーザバー保持
表面５４、５４’、５６、５６’の何れかはレーザバー
９０の表面９６と９８に当たり、表面９６と９８のコー
ティングを防止する。網状薄板５０が締め付けられる
と、表面１００と１０２は固定装置２２の各主表面にあ
り、コーティング処理に露出される。
【００１７】網状薄板５０の厚さは表面１００と１０２
の間にコーティングされるレーザバーの厚さに等しい。
このようにして、レーザバー９０は固定装置に保持され
るとき、その表面１００と１０２は網状薄板５０の主表
面に同一平面にある。異なる厚さの網状薄板５０が対応
寸法のレーザバーに使用される。
の間にコーティングされるレーザバーの厚さに等しい。
このようにして、レーザバー９０は固定装置に保持され
るとき、その表面１００と１０２は網状薄板５０の主表
面に同一平面にある。異なる厚さの網状薄板５０が対応
寸法のレーザバーに使用される。
【００１８】同様に、隣接したレーザバー保持表面５４
と５６（あるいは５４’と５６、または５６’と５４）
の間の最大距離はコーティング処理されるレーザバーの
表面９６と９８間の距離によって変わる。レーザバーの
表面１００と１０２間の距離を”Ａ”、表面９６と９８
間の距離を”Ｂ”とすると、表１は網状薄板５０の厚さ
と、隣接したレーザバー保持表面５４と５６間の最大距
離の適切な値を与える。表内数値の単位はインチであ
る。
と５６（あるいは５４’と５６、または５６’と５４）
の間の最大距離はコーティング処理されるレーザバーの
表面９６と９８間の距離によって変わる。レーザバーの
表面１００と１０２間の距離を”Ａ”、表面９６と９８
間の距離を”Ｂ”とすると、表１は網状薄板５０の厚さ
と、隣接したレーザバー保持表面５４と５６間の最大距
離の適切な値を与える。表内数値の単位はインチであ
る。
【００１９】図８に示すように、網状薄板５０の第１と
第２端部５８と６０はチャンネル１３０内をスライドす
る。このチャンネル１３０は積層１３２と１３４及び蓋
３６から形成される。積層１３４の長さは積層１３２及
び蓋３６よりも短い。積層１３４は網状薄板５０と同程
度の厚さを有するが、網状薄板５０がチャンネル１３０
内を移動する余裕が必要である。
第２端部５８と６０はチャンネル１３０内をスライドす
る。このチャンネル１３０は積層１３２と１３４及び蓋
３６から形成される。積層１３４の長さは積層１３２及
び蓋３６よりも短い。積層１３４は網状薄板５０と同程
度の厚さを有するが、網状薄板５０がチャンネル１３０
内を移動する余裕が必要である。
【００２０】レーザバー９０はレーザバー保持空間８８
の一部またはすべてに設置されると、スライド１２２は
開放されて、クロース部材３２はバネ３４の引張力によ
り第２端３８へ引っ張られる。レーザバー保持表面５
４、５４’、５６、５６’はそれぞれのレーザバー９０
の表面９６と９８を拘束してレーザバー９０を固定装置
２２に固定する（図５を参照のこと）。固定装置２２は
負荷ブロック１２０から取り外されて、他の固定装置を
交換する。
の一部またはすべてに設置されると、スライド１２２は
開放されて、クロース部材３２はバネ３４の引張力によ
り第２端３８へ引っ張られる。レーザバー保持表面５
４、５４’、５６、５６’はそれぞれのレーザバー９０
の表面９６と９８を拘束してレーザバー９０を固定装置
２２に固定する（図５を参照のこと）。固定装置２２は
負荷ブロック１２０から取り外されて、他の固定装置を
交換する。
【００２１】レーザバー９０が固定装置２２に保持され
ると、固定装置はロードされる。このロードされた固定
装置２２は図９に示すキャリアフレーム１５０に搭載さ
れる。キャリアフレーム１５０は方位キー１５２を有
し、固定装置２２上のフランジ４４にあるキースロット
１５４とかみ合う。このキーとキースロットは固定装置
２２のキャリアフレーム１５０への挿入を唯一の方位に
合わせて、さらに表面１００と１０２をコーティングさ
せることを保証する。
ると、固定装置はロードされる。このロードされた固定
装置２２は図９に示すキャリアフレーム１５０に搭載さ
れる。キャリアフレーム１５０は方位キー１５２を有
し、固定装置２２上のフランジ４４にあるキースロット
１５４とかみ合う。このキーとキースロットは固定装置
２２のキャリアフレーム１５０への挿入を唯一の方位に
合わせて、さらに表面１００と１０２をコーティングさ
せることを保証する。
【００２２】ロードされた固定装置２２を装着した複数
のキャリアフレーム１５０は図１０に示すような蒸着装
置１６２の真空チャンバー内に配置される。各キャリア
フレーム１５０は回転固定装置１６４に搭載される。こ
の回転固定装置１６４はドライブ１６６により駆動され
る。本発明においては、搭載の方向は特に制限されな
い。固定装置１６４はその駆動軸に関して回転する。こ
の駆動軸は蒸着装置１６２がシリンダー型となる場合、
そのの中心軸になってもよい。
のキャリアフレーム１５０は図１０に示すような蒸着装
置１６２の真空チャンバー内に配置される。各キャリア
フレーム１５０は回転固定装置１６４に搭載される。こ
の回転固定装置１６４はドライブ１６６により駆動され
る。本発明においては、搭載の方向は特に制限されな
い。固定装置１６４はその駆動軸に関して回転する。こ
の駆動軸は蒸着装置１６２がシリンダー型となる場合、
そのの中心軸になってもよい。
【００２３】真空チャンバー１６０には電子ビーム源１
６８と光学コーティング材料１７２を保持する容器１７
０がある。種々の光学コーティング材料１７２を保持す
るために、容器１７０は仕切りされて、リモート制御に
より回転可能となっている。キャリアフレーム１５０が
真空チャンバーに搭載され、少なくとも１つの容器１７
０の仕切りにコーティング材料が入っていると、蒸着装
置の真空チャンバードア（図示せず）が閉じられる。真
空チャンバー１６０の雰囲気は、高真空状態になるため
には、例えば、２段ポンプ機構（図示せず）を用いて真
空チャンバー内の圧力を降下させる。高真空状態は例え
ば、１Ｅ−０６から１Ｅ−０７Ｔｏｒｒの範囲にある。
加熱ランプ（図示せず）が真空チャンバー１６０を焼
き、真空チャンバー１６０の内壁に吸着される水蒸気を
蒸発させるために、使用されてもよい。電子ビーム源１
６８は励起されて、電子ビーム１７４が容器１７０の１
つのチャンバーにあるコーティング材料１７２に集光さ
れる。コーティング材料１７２は蒸発されて蒸気１７６
を形成する。回転固定装置１６４はドライブ１６６に駆
動されてその軸に関して回転する。各キャリアフレーム
１５０は容器１７０及び蒸気１７６に面した１つの主表
面を蒸気１７６の中を通させる。このようにして、固定
装置２２に装着されたレーザバー９０の表面１００と１
０２の１つは蒸気１７６に露出されて、光学コーティン
グ材料１７２は電子ビーム蒸発されて、とりわけ装着さ
れた各々のレーザバーの表面１００または１０２に蒸着
される。固定装置２２はレーザバー９０の長さに沿って
均一の力をかけてレーザバー９０を非常に小さい領域で
保持する。その結果、コーティング材料の蒸着はバッチ
式ですべてのレーザバーに均一に処理される。さらに、
固定装置２２はレーザバー９０を表示に小さい領域で保
持するため、単一バッチのスループットは従来のレーザ
バー保持装置よりも向上された。
６８と光学コーティング材料１７２を保持する容器１７
０がある。種々の光学コーティング材料１７２を保持す
るために、容器１７０は仕切りされて、リモート制御に
より回転可能となっている。キャリアフレーム１５０が
真空チャンバーに搭載され、少なくとも１つの容器１７
０の仕切りにコーティング材料が入っていると、蒸着装
置の真空チャンバードア（図示せず）が閉じられる。真
空チャンバー１６０の雰囲気は、高真空状態になるため
には、例えば、２段ポンプ機構（図示せず）を用いて真
空チャンバー内の圧力を降下させる。高真空状態は例え
ば、１Ｅ−０６から１Ｅ−０７Ｔｏｒｒの範囲にある。
加熱ランプ（図示せず）が真空チャンバー１６０を焼
き、真空チャンバー１６０の内壁に吸着される水蒸気を
蒸発させるために、使用されてもよい。電子ビーム源１
６８は励起されて、電子ビーム１７４が容器１７０の１
つのチャンバーにあるコーティング材料１７２に集光さ
れる。コーティング材料１７２は蒸発されて蒸気１７６
を形成する。回転固定装置１６４はドライブ１６６に駆
動されてその軸に関して回転する。各キャリアフレーム
１５０は容器１７０及び蒸気１７６に面した１つの主表
面を蒸気１７６の中を通させる。このようにして、固定
装置２２に装着されたレーザバー９０の表面１００と１
０２の１つは蒸気１７６に露出されて、光学コーティン
グ材料１７２は電子ビーム蒸発されて、とりわけ装着さ
れた各々のレーザバーの表面１００または１０２に蒸着
される。固定装置２２はレーザバー９０の長さに沿って
均一の力をかけてレーザバー９０を非常に小さい領域で
保持する。その結果、コーティング材料の蒸着はバッチ
式ですべてのレーザバーに均一に処理される。さらに、
固定装置２２はレーザバー９０を表示に小さい領域で保
持するため、単一バッチのスループットは従来のレーザ
バー保持装置よりも向上された。
【００２４】様々の光学コーティング材料１７２は真空
チャンバー１６０に電子ビームにより固定装置２２に装
着されたレーザバーに蒸着される。光学コーティング材
料の種類、蒸着量及び蒸着速度は製造されるレーザの種
類に依存する。この材料はＹＳＺ(Yittra-Stabilized C
ubic Zirconia)、酸化シリコン、酸化チタンまたはシリ
コンの何れかの１／４波長層で、レーザのミラーファセ
ットとしての表面１００または１０２に成長される。材
料１７２は例えば、２Ａ／秒（以下ではＡはオングスト
ロームを意味する）から１０Ａ／秒の速度で蒸着され
る。数種類の材料１７２は順番に蒸着されることができ
る。この処理には、第１時間周期に第１種類コーティン
グ材料を蒸着し、蒸着プロセスの適切な時間で容器１７
０を第２種類のコーティング材料の仕切りに切り替え、
第２種類のコーティング材料を第２時間周期に蒸着す
る。
チャンバー１６０に電子ビームにより固定装置２２に装
着されたレーザバーに蒸着される。光学コーティング材
料の種類、蒸着量及び蒸着速度は製造されるレーザの種
類に依存する。この材料はＹＳＺ(Yittra-Stabilized C
ubic Zirconia)、酸化シリコン、酸化チタンまたはシリ
コンの何れかの１／４波長層で、レーザのミラーファセ
ットとしての表面１００または１０２に成長される。材
料１７２は例えば、２Ａ／秒（以下ではＡはオングスト
ロームを意味する）から１０Ａ／秒の速度で蒸着され
る。数種類の材料１７２は順番に蒸着されることができ
る。この処理には、第１時間周期に第１種類コーティン
グ材料を蒸着し、蒸着プロセスの適切な時間で容器１７
０を第２種類のコーティング材料の仕切りに切り替え、
第２種類のコーティング材料を第２時間周期に蒸着す
る。
【００２５】真空状態をリークせずに、固定装置１６４
にあるキャリアフレーム１５０を回転シャフト１８２に
より１８０度回転することが可能である。これにより、
キャリアフレーム１５０のもう一方の主表面、すなわち
レーザバー９０の他方の表面１００または１０２が蒸気
１７６に露出され、光学コーティング材料１７２に被覆
される。シャフト１８２は一般的に、固定装置１６４の
回転が停止し、電子ビーム１７４が止められた状態で回
転する。シャフト１８２の回転が終わると、電子ビーム
１７４は再び開始して蒸気１７６を形成する。第２主表
面にコーティングする光学材料は第１表面に成長された
材料と同様か異なる。第２主表面に成長される光学材料
は反射防止コートでもよい。この反射防止コートは通常
ＹＳＺの１／４波長コートで、５Ｅ−０５（５ｘ１
０-5）から９Ｅ−０５（９ｘ１０-5）Ｔｏｒｒ範囲の酸
素雰囲気で蒸着される。
にあるキャリアフレーム１５０を回転シャフト１８２に
より１８０度回転することが可能である。これにより、
キャリアフレーム１５０のもう一方の主表面、すなわち
レーザバー９０の他方の表面１００または１０２が蒸気
１７６に露出され、光学コーティング材料１７２に被覆
される。シャフト１８２は一般的に、固定装置１６４の
回転が停止し、電子ビーム１７４が止められた状態で回
転する。シャフト１８２の回転が終わると、電子ビーム
１７４は再び開始して蒸気１７６を形成する。第２主表
面にコーティングする光学材料は第１表面に成長された
材料と同様か異なる。第２主表面に成長される光学材料
は反射防止コートでもよい。この反射防止コートは通常
ＹＳＺの１／４波長コートで、５Ｅ−０５（５ｘ１
０-5）から９Ｅ−０５（９ｘ１０-5）Ｔｏｒｒ範囲の酸
素雰囲気で蒸着される。
【００２６】光学コーティング材料が成長した後、真空
チャンバー１６０は大気にリークされてキャリアフレー
ム１５０が取り出される。固定装置２２はキャリアフレ
ーム１５０から取り外され、再び負荷ブロック１２０に
取り付けられる。網状薄板５０は開放してフル開放状態
になり、コーティングされたレーザバーは例えば真空装
置により取り外される。このレーザバーは例えば、個別
のレーザに処理され、検査され及びパッケージされる。
チャンバー１６０は大気にリークされてキャリアフレー
ム１５０が取り出される。固定装置２２はキャリアフレ
ーム１５０から取り外され、再び負荷ブロック１２０に
取り付けられる。網状薄板５０は開放してフル開放状態
になり、コーティングされたレーザバーは例えば真空装
置により取り外される。このレーザバーは例えば、個別
のレーザに処理され、検査され及びパッケージされる。
【００２７】本発明の方法及び装置は半導体レーザチッ
プのファセットのコーティングについて述べたが、これ
に限定されるものではない。本発明は他のデバイスのコ
ーティングに利用することができる。また、本発明は他
の蒸着プロセスに使用されることができ、ここに述べた
蒸着プロセスに限定されるものではない。
プのファセットのコーティングについて述べたが、これ
に限定されるものではない。本発明は他のデバイスのコ
ーティングに利用することができる。また、本発明は他
の蒸着プロセスに使用されることができ、ここに述べた
蒸着プロセスに限定されるものではない。
【００２８】本発明は網状薄板５０の端部に機構を設け
網状薄板５０間の移動を実現するように記述されたが、
網状薄板の一部にする必要がなく、長方形の網状薄板に
することも可能である。本発明は網状薄板５０と同様な
特徴物を有する第１プレート４０と第２プレート４２を
有して、網状薄板とかみ合うように記述されたが、網状
薄板５０と同様な特徴物を有する必要がなく網状薄板が
改良されたプレートにより保持されるようにしてもよ
い。
網状薄板５０間の移動を実現するように記述されたが、
網状薄板の一部にする必要がなく、長方形の網状薄板に
することも可能である。本発明は網状薄板５０と同様な
特徴物を有する第１プレート４０と第２プレート４２を
有して、網状薄板とかみ合うように記述されたが、網状
薄板５０と同様な特徴物を有する必要がなく網状薄板が
改良されたプレートにより保持されるようにしてもよ
い。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のレーザバー
のコーティング方法及びその固定装置は、バーファセッ
トへの材料コーティングをより均一に行うことができ、
バッチ当たりに処理されるレーザバーの数を増加するこ
とにより、コーティングプロセスの生産性を向上させ
る。
のコーティング方法及びその固定装置は、バーファセッ
トへの材料コーティングをより均一に行うことができ、
バッチ当たりに処理されるレーザバーの数を増加するこ
とにより、コーティングプロセスの生産性を向上させ
る。
【図１】半導体レーザバーのファセットコーティングの
ため、レーザバーを保持する本発明の固定装置を表す上
面図であり、網状薄板は開いた状態にある。
ため、レーザバーを保持する本発明の固定装置を表す上
面図であり、網状薄板は開いた状態にある。
【図２】図１の固定装置に使用される網状薄板を表す拡
大上面図。
大上面図。
【図３】数個の隣接した、開いた状態にある網状薄板を
表す拡大上面図。
表す拡大上面図。
【図４】図１の固定装置の上面図であり、網状薄板は閉
じた状態にあるが、バーが搭載されていない。
じた状態にあるが、バーが搭載されていない。
【図５】図３の網状薄板を表す拡大上面図であり、網状
薄板は閉じた状態にありレーザバーはそこに保持され
る。
薄板は閉じた状態にありレーザバーはそこに保持され
る。
【図６】レーザバーを表す拡大斜視図。
【図７】負荷ブロックを表す上面図。
【図８】固定装置の断面図であり、固定装置にある薄板
がチャンネル上にスライド可能に固定されている。
がチャンネル上にスライド可能に固定されている。
【図９】図１の固定装置を保持するキャリアフレームを
表す平面図。
表す平面図。
【図１０】バーファセットのコーティングが行われる真
空チャンバーの側面図であり、その一部は断面で示され
ている。
空チャンバーの側面図であり、その一部は断面で示され
ている。
２０ 固定装置 ２２ フレーム ２４ 中心軸 ２６、２８ カバープレート ３０ ガイドレール ３２ クロース部材 ３４ バネ ３６ 蓋 ３８ 第２端 ４０ 第１プレート ４２ 第２プレート ４４ フランジ ５０ 網状薄板 ５２ 中心線 ５４ 第１レーザバー保持表面 ５４’、５６’ レーザバー保持表面 ５６ 第２レーザバー保持表面 ５８ 網状薄板第１端 ６０ 網状薄板第２端 ６２ 突起部 ６２’、６６’ 突起部 ６４ 凹部 ６４’、７０’ 凹部 ６６ 突起部 ６８ 末端 ６８’ 末端 ７０ 凹部 ７２、７６ 内部エッジ ７２’、７６’ 内部エッジ ８０、８２、８４、８６ 表面 ８０’、８２’、８４’、８６’ 表面 ８８ レーザバー保持空間 ９６、９８ 表面 ９０ レーザバー ９２ 単一レーザ ９６、９８ 第１対の主表面 １００、１０２ 第２対の主表面 １０４、１０６ 端部 １０８ 接点 １２０ 負荷ブロック １２２ スライド １２４ ピン １２６ ベース １３０ チャンネル １３２、１３４ 積層 １５０ キャリアフレーム １５２ 方位キー １５４ キースロット １６０ 真空チャンバー １６２ 蒸着装置 １６４ 固定装置 １６６ ドライブ １６８ 電子ビーム源 １７０ 容器 １７２ 光学コーティング材料 １７４ 電子ビーム １７６ 蒸気 １８２ シャフト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 596077259 600 Ｍｏｕｎｔａｉｎ Ａｖｅｎｕｅ, Ｍｕｒｒａｙ Ｈｉｌｌ， Ｎｅｗ Ｊ ｅｒｓｅｙ 07974−0636Ｕ．Ｓ．Ａ. (72)発明者 ポール サンゴン チェン アメリカ合衆国、19540 ペンシルバニ ア、バークス カウンティ、モントン、 マウンテン レーン 20 (72)発明者 ジョージ ジョン プルジビレク アメリカ合衆国、19518 ペンシルバニ ア、バークス カウンティ、ダグラスビ ル、カントリー レーン 11 (72)発明者 ドミニク ポール リナウド アメリカ合衆国、19510 ペンシルバニ ア、バークス カウンティ、ブランド ン、フェイス ドライブ 209 (56)参考文献 特開 昭60−140780（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−273388（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−268382（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−84971（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 5/00 - 5/50 C23C 14/00 - 14/58 H01L 21/203 H01L 21/363 H01L 21/68
Claims (14)
- 【請求項１】 コーティング処理用表面を有するデバイ
ス（９０）を固定するデバイス保持装置（２０）におい
て、 （Ａ）第１と第２のチャンネル（１３０）と、 （Ｂ）第１と第２の端部（５８、６０）と、第１と第２
のデバイス保持表面（５４、５６）を有する複数の網状
薄板（５０）と、 前記網状薄板の第１と第２の端部（５８、６０）は、そ
れぞれ前記第１と第２のチャンネル（１３０）に収納さ
れ、 前記第１と第２の 端部（５８、６０）は、同一チャンネ
ル（１３０）内の隣接する網状薄板（５０）の端部（５
８、６０）とかみ合い、前記 網状薄板は、前記チャンネルの一端に固定可能で、
固定されていない場合は移動可能であり、 （Ｃ）前記網状薄板（５０）の１つに接続されて、前記
網状薄板を網状薄板が固定されるチャンネル（１３０）
の端に向かって負荷をかける負荷部材（３４）とを含む
ことを特徴とするデバイス保持装置（２０）。 - 【請求項２】 コーティング処理用表面を有する平行六
面体状のデバイス（９０）を固定する保持装置（２０）
において、 （Ａ）チャンネル（１３０）をそれぞれ有する第１と第
２の支持部材と、 前記チャンネル（１３０）は、第１と第２チャンネルを
形成し、 前記第１と第２のチャンネルは、対向して開いており、 （Ｂ）前記第１チャンネル内に移動可能に収納される第
１端部（５８）と、前記第２チャンネル内に移動可能に
収納される第２端部（６０）とを有する各網状薄板（５
０）と、 を有し、 前記各網状薄板（５０）は、デバイス保持表面（５４、
５６）を有し、 前記網状薄板（５０）の第１端部（５８）は、第１チャ
ンネル（１３０）内にある隣接した網状薄板（５０）の
第１端部（５８）とかみ合い、 前記網状薄板（５０）の第２端部（６０）は、第２チャ
ンネル（１３０）内にある隣接した網状薄板（５０）の
第２端部（６０）とかみ合い、 前記網状薄板は、隣接する網状薄板のデバイス保持表面
（５４、５６）の間は離間しその間にデバイスを受け入
れ可能なデバイス開放状態と、隣接する網状薄板のデバ
イス保持表面（５４、５６）の間は近接してその間にデ
バイスを保持するデバイス保持状態との間を移動可能で
あることを特徴とするデバイス保持装置。 - 【請求項３】 保持装置が、真空チャンバーに搭載され
る際に、真空チャンバー側に設けられた方位キー（１５
２）に適合するキースロット（１５４）をさらに含むこ
とを特徴とする請求項２に記載の保持装置。 - 【請求項４】 前記第１と第２支持部材の間に伸びる第
１クロース部材（４２）を更に有し、 前記第１クロース部材は、前記支持部材に固定され、 前記第１クロース部材は、前記複数の網状薄板（５０）
の少なくとも１つの網状薄板の第１と第２チャンネルに
沿った移動を防止することを特徴とする請求項２に記載
の保持装置。 - 【請求項５】 前記第１と第２の支持部材の間に伸びる
第２クロース部材（３２）を更に有し、 前記第２クロース部材（３２）は、前記複数の網状薄板
（５０）の少なくとも１枚の網状薄板（５０）を第１と
第２のチャンネルに沿って移動移動させることを特徴と
する請求項２に記載の保持装置。 - 【請求項６】 前記第１と第２の支持部材の間に伸びる
第２クロース部材（３２）を更に有し、 前記第２クロース部材（３２）は、前記複数の網状薄板
（５０）の少なくとも１枚の網状薄板（５０）を第１と
第２のチャンネルに沿って移動移動させることを特徴と
する請求項５に記載の保持装置。 - 【請求項７】 前記第２クロース部材（３２）と結合さ
れ、第１と第２のチャンネル（１３０）内にある複数の
網状薄板（５０）を第１クロース部材（４２）方向に力
を加えるバイアス部材（３４）をさらに含むことを特徴
とする請求項６に記載の保持装置。 - 【請求項８】 （Ａ）第１と第２のチャンネル（１３
０）と、 （Ｂ）第１と第２の端部（５８、６０）と、第１と第２
のデバイス保持表面（５４、５６）を有する複数の網状
薄板（５０）と、 前記網状薄板の第１と第２の端部（５８、６０）は、そ
れぞれ前記第１と第２のチャンネル（１３０）に収納さ
れ、 前記第１と第２の端部（５８、６０）は、同一チャンネ
ル（１３０）内の隣接する網状薄板（５０）の端部（５
８、６０）とかみ合い、 前記網状薄板は、前記チャンネルの一端に固定可能で、
固定されていない場合は移動可能であるデバイス保持装
置（２０）を用いてコーティング処理用表面を有するデ
バイス（９０）をコーティングする方法において、 （ａ） チャンネルの第１端から最も離れた網状薄板を
チャンネルの第１端の反対方向へ移動させて、隣接した
複数の網状薄板（５０）間にデバイス保持空間（８８）
を形成するステップと、 （ｂ） コーティング用表面を有するデバイス（９０）
を、前記デバイス保持空間（８８）の少なくとも１つに
挿入するステップと、 （ｃ） 前記チャンネル（１３０）の第１端から最も離
れた網状薄板をチャンネル（１３０）の第１端に向けて
移動させ、前記デバイス保持表面（５４、５６）を少な
くとも１つのデバイス保持空間にあるデバイスに接触さ
せるステップと、 （ｄ） 前記保持装置（２０）を真空チャンバーに搭載
するステップと、 （ｅ） 前記真空チャンバー内にコーティング環境を確
立するステップとを含むことを特徴とするデバイスの表
面のコーティング方法。 - 【請求項９】 前記ステップ（ｅ）において、電子ビー
ムをコーティング材料に当てて、コーティング材料を蒸
発させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項
８に記載のコーティング方法。 - 【請求項１０】 電子ビームをコーティング材料に当て
るステップが、 （ｅ１） 第１時間周期にわたって、電子ビーム（１７
４）を第１コーティング材料（１７２）に当てるステッ
プと、 （ｅ２） 第２時間周期にわたって、電子ビーム（１７
４）を第２コーティング材料（１７２）に当てるステッ
プと、 を含むことを特徴とする請求項９に記載のコーティング
方法。 - 【請求項１１】 コーティングされるべきデバイス（９
０）を保持する装置において、 縦軸方向に沿って移動可能に一列に配列される複数の部
材（５０）を有し、 前記各部材（５０）は、第１と第２の端部（５８、６
０）を有し、 前記部材の第１端部（５８）は、隣接する部材の第１端
部（５８）とかみ合って当接し、 前記部材の第２端部（６０）は、隣接する部材の第２端
部（６０）とかみ合って当接し、 隣接する部材間に、前記コーティングされるべきデバイ
ス（９０）が挿入されるギャップ（８８）が形成される
ことを特徴とするコーティングされるべきデバイス（９
０）の保持装置。 - 【請求項１２】 前記部材（５０）が前記デバイス（９
０）を押しつけるように、前記複数の部材（５０）を前
記縦軸方向に沿って移動させるよう力をかけるバイアス
手段（３４）を更に有することを特徴とする請求項１１
に記載の保持装置。 - 【請求項１３】 前記デバイス（９０）は、一対の第１
対向表面（１００、１０２）を有する平行六面体であ
り、 前記部材（５０）は、さらに一対の対向する保持表面
（５４、５６）を有し、前記保持表面（５４、５６）
が、前記デバイス（９０）の第１対向表面（１００、１
０２）に押しつけられることを特徴とする請求項１１に
記載の保持装置。 - 【請求項１４】 前記デバイスは、さらに一対の第２対
向表面（９６、９８）を有し、 前記デバイス（９０）が前記保持表面（５４、５６）の
間に配置されたときに、前記第２対向表面（９６、９
８）が露出することを特徴とする請求項１１に記載の保
持装置。
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