KR970077848A - 홀더 및 코팅 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 레이저 바 마면 코팅(laser bar facet coating)에 대한 방법 및 고정 장치(20)를 제공한다. 코팅용 표면(96, 98)을 갖는 디바이스(90)를 고정시키는 홀더는 제 1 및 제 2 채널(130)을 포함한다. 다수의 웹 슬랫(a plurality of web slats)(50)은 채널에 수용된다. 웹 슬랫은 제 1 및 제 2 단부(58, 60)과 제 1 및 제 2 디바이스 인게이지 표면(device engaging surfaces)(54, 56)을 갖는다. 웹 슬랫(50)의 단부(58, 60)는 각각의 채널에 수용된다. 웹 슬랫의 단부(58, 60)는 인접한 웹 슬랫(50)의 단부(58, 60)와 상호 작용한다. 웹 슬랫(50)은 채널(130)의 한쪽 단부에 고정되지만, 다른 방식으로 코팅용 디바이스(90)을 수용하는 개방 위치와 웹 슬랫의 에지(54, 56)가 코팅용 디바이스(90)를 인게이지하는 폐쇄 위치 사이의 채널을 따라 이동할 수 있다. 바이어스 부재(bias member)(34)는 코팅용 디바이스(90)를 맞물리게 하는 폐쇄 위치의 웹 슬랫을 수용하는데 사용될 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 본 발명은 실질적으로 병렬 파이프형 디바이스의 표면을 코팅하는 방법을 제공한다. 본 발명의 방법은 한 쌍의 디바이스 인게이지 표면 사이에 적어도 하나의 병렬 파이프형 디바이스를 홀더(holder)에 고정시키는 단계와, 상기 홀더를 진공 챔버(vacuum chamber)에 장착하는 단계와, 진공 챔버에 표면 코팅 환경을 설정하는 단계를 포함한다.

Description

홀더 및 코팅 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 6 도는 레이저 바의 확대 투시도.

Claims (25)

  1. 코팅하기 위한 표면을 갖는 디바이스(90)를 고정시키는 홀더(a holder)(20)에 있어서, 제 1 및 제 2 채널(first and second channels)(130)과 ; 제각기 제 1 및 제 2 단부(58, 60) 및 제 1 및 제 2 디바이스 인게이지 표면(first and second device engaging surfaces)(54, 56)을 갖는 다수의 웹 슬랫(a plurality of web slats)(50)으로서, 상기 웹 슬랫의 상기 단부(58, 60)는 동일한 채널(130)의 인접한 웹 슬랫(50)의 단부(58, 60)와 상호 작용하고, 상기 웹 슬랫은 상기 채널의 하나의 단부에 고정(secure)되지만, 다른 방식으로 개방 위치(anopen position)와 폐쇄 위치(a less-opened position) 사이의 상기 채널(130)을 따라 이동가능한, 상기 다수의 웹 슬랫과 ; 상기 웹 슬랫이 고정되는 상기 채널(130)의 단부 방향으로 상기 웹 슬랫을 바이어싱하기 위해 상기 웹 슬랫들(50) 중 하나에 접속되는 바이어스 부재(a bias member)(34)를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 홀더(20)는 하나 이상의 코팅용 표면을 갖는 실질적으로 병렬 파이프형 디바이스(90)를 고정하고, 채널(130)을 제각기 갖는 제 1 및 제 2 지지부로서, 상기 채널(130)은 제 1 및 제 2 채널을 구성하고, 상기 제 1 및 제 2 채널은 서로에 대해 개방하고 트랜스버스(transverse) 방향으로 이들 채널로 연장하는, 상기 제 1 및 제 2 지지부와 ; 상기 제 1 채널에 수용되고 이 채널을 따라 이동가능한 제 1 단부(58)와, 상기 제 2 채널에 수용되고 이 채널을 따라 이동가능한 제 2 단부(60)를 갖는 각각의 상기 웹 슬랫으로서, 상기 웹 슬랫(50)의 상기 제 1 단부(58)는 상기 제 1 채널(130)의 인접한 웹 슬랫(50)의 상기 제 1 단부(58)와 상호 작용하고, 상기 웹 슬랫(50)의 상기 제 2 단부(60)는 상기 제 2 채널(130)의 인접한 웹 슬랫(50)의 상기 제 2 단부와 상호 작용하고, 상기 웹 슬랫은 인접한 웹 슬랫의 상기 디바이스 인게이지 표면(54, 56)이 이 사이에 디바이스를 수용하기 위해 떨어져 위치되는 개방 위치(an open position)와 인접한 웹 슬랫의 상기 디바이스 인게이지 표면(54, 56)이 이 사이에 포착된 디바이스 표면을 인게이지하기 위해 서로 근접하여 위치되는 포착 위치(a captured position) 사이의 상기 채널을 따라 이동가능한, 각각의 상기 웹 슬랫을 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더.
  3. 제 1 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 2개의 웹 슬랫의 상기 제 1 단부(54)가 인터록킹(interlocking)되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  4. 제 1 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인터록킹하는 제 1 단부(54)는 인접한 웹 슬랫(50) 상에 위치하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 2개의 웹 슬랫의 상기 제 2 단부(56)가 인터록킹되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인터록킹하는 제 2 단부(56)는 인접한 웹 슬랫(50) 상에 위치되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 2개의 웹 슬랫의 상기 제 2 단부(56)가 인터록킹되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 인터록킹된 제 1 단부(54)를 갖는 상기 적어도 2개의 웹 슬랫(50)은 인터록킹된 제 2 단부(56)를 갖는 상기 동일한 적어도 2개의 웹 슬랫인 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 진공 챔버(a cacuum chamber)에 장착될 때 상기 홀더(20)의 방향(orientation)을 제어하기 위해 키(a key)와 상호 작동가능한 키 슬롯(a key slot)(154)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 지지부 사이에 연장하고, 상기 지지부에 대해 고정되고, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 하나와 상호작용하여 상기 적어도 하나의 웹 슬랫이 상기 제 1 및 제 2 채널을 따라 이동하지 못하도록 하여 상기 웹 슬랫들중 하나가 실질적으로 고정되도록 하는 제 1 크로스 부재(a first corss member)(42)를 포함하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  11. 제 1 항 내지 제 10항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 지지부 사이에 연장하고, 상기 제 1 및 제 2 채널(130)과 평행하게 이동가능하고, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 하나와 상호작용하여 상기 적어도 하나의 웹 슬랫(50)이 상기 제 1 및 제 2 채널(130)을 따라 이동되도록 하는 제 2 크로스 부재(a second cross member)(32)를 포함하여, 상기 제 2 크로스 부재(32)의 움직임이 상기 적어도 하나의 웹 슬랫(50)을 이동시키고 이어서 상기 다른 웹 슬랫(50)을 이동시켜 인접한 웹 슬랫(50) 사이의 디바이스 수용 공간(a device receiving space)(88)이 개방 및 폐쇄되도록 하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 지지부 사이에 연장하고, 상기 제 1 및 제 2 채널(130)과 평행하게 이동가능하고, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 하나와 상호 작용하여 상기 적어도 하나의 웹 슬랫(50)이 상기 제 1 및 제 2 채널(130)을 따라 이동되도록 하는 제 2 크로스 부재(32)를 포함하여, 상기 제 2 크로스 부재(32)의 움직임이 상기 적어도 하나의 웹 슬랫(50)을 이동시키고 이어서 상기 다른 웹 슬랫(50)을 이동시켜 인접한 웹 슬랫(50) 사이의 디바이스 수용 공간(88)가 개방 및 폐쇄되도록 하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 2 크로스 부재(32)에 접속되고, 상기 제 1 및 제 2 채널(130)의 상기 다수의 웹 슬랫(50)이 상기 제 1 크로스 부재(42) 방향으로 바이어싱되도록 하는 바이어스 부재(34)를 포함하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  14. 디바이스 인게이지 표면을 포함하는 다수의 웹 슬랫을 갖는 홀더를 사용하여 디바이스의 적어도 하나의 표면을 코팅하는 방법으로서, 상기 다수의 웹 슬랫은 한쌍의 채널에 이동가능하고, 상기 다수의 웹 슬랫은 상기 채널의 제 1 단부에 고정되고, 상기 채널의 상기 제 1 단부로부터 최대 거리에 있는 상기 웹 슬랫이 상기 채널의 상기 제 1 단부로부터 이격되어 있는 상기 채널을 따라 이동되면, 상기 웹 슬랫은 인접한 웹 슬랫과 상호 작용하고 인접한 웹 슬랫들 사이의 디바이스 수용 공간을 개방하기 위해 상기 채널에 이동하는, 상기 코팅 방법에 있어서, 상기 채널의 상기 제 1 단부와 최대 이격된 상기 웹 슬랫(50)을 상기 채널의 제 1 단부와 이격되게 이동시켜, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 인접한 슬랫 사이의 디바이스 수용 공간(88)을 개방하는 단계와 ; 코팅될 표면을 갖기 위해 디바이스(90)를 인접한 웹 슬랫(50) 사이의 상기 디바이스 수용 공간들(88) 중 적어도 하나의 공간에 삽입하는 단계와 ; 상기 디바이스 인게이지 표면(54, 56)이 상기 적어도 하나의 디바이스 수용 공간의 상기 디바이스를 인게이지할 때까지, 상기 채널(130)의 상기 제 1 단부로부터 최대 이격된 상기 웹 슬랫(50)을 상기 채널(130)의 상기 제 1 단부 방향으로 이동시키는 단계와 ; 상기 홀더(20)를 진공 챔버에 장착하는 단계와 ; 상기 진공 챔버에 코팅 환경을 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 홀더(20)를 회전시켜 상기 디바이스(90)의 다른 표면을 코팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  16. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서, 상기 진공 챔버로부터 상기 홀더를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  17. 제 14 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 홀더로부터 상기 디바이스(90)를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  18. 제 14 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 디바이스 삽입 단계는, 디바이스(90)를 상기 디바이스 수용 공간들(88) 중 하나에 삽입하고, 상기 다음 디바이스 수용 공간(88)에 인덱싱(indexing)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  19. 제 14 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코팅 환경 설정 단계는 전자빔을 코팅 물질 상에 충돌(impinge)시켜 상기 코팅 물질을 증발시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  20. 제 14 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 충돌 단계는, 제 1 시간 주기 동안 전자빔(174)을 제 1 코팅 물질(172) 상에 충돌시키는 단계와 ; 제 2 시간 주기 동안 전자빔(174)을 제 2 코팅 물질상에 충돌시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 두개의 충돌 단계 사이에서 코팅 물질 홀더(170)를 다른 위치에 미리 인덱싱하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  22. 다수의 디바이스용 홀더에 있어서, 축에 일렬(tandem)로 배열되고 이 축을 따라 이동 가능한 다수의 부재(50)를 포함하고, 한쪽 부재가 상기 축을 따라 제 1 방향으로 전이(displace)되고 다른쪽 부재(50)가 상기 제 1 방향으로 전이될 때 인접한 부재(50)의 단부(58, 60)가 서로 접속되어 상기 디바이스(90)가 삽입가능한 갭(gaps)(88)을 형성할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 홀더.
  23. 제 22 항에 있어서, 바이어스 부재(34)를 포함하고, 상기 바이어스 부재는 상기 다수의 부재(50)가 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 전이되도록 배치되어, 상기 부재(50)가 이 사이에서 수용될 디바이스(90)에 이동(urge)되는 것을 특징으로 하는 홀더.
  24. 제 23 항에 있어서, 부재(50) 사이에 수용되는 디바이스(90)는 대향하는 한쌍의 표면(100, 102)과 병렬 파이핑(parallel-pipe)되고, 상기 부재(50)는 상기 인게이지 표면(54, 56)이 상기 디바이스(90)의 상기 대향하는 표면(100, 102)에 대해 이동되도록 한쌍의 대향된 인게이지 표면(54, 56)을 더 포함하는 홀더.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 디바이스는 제 2 쌍의 대향된 표면(96, 98)을 포함하고, 제 2 쌍의 대향된 표면(96, 98)은 디바이스(90)가 대향된 인게이지 표면(54, 56) 사이에서 수용될 때 노출되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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