KR970077848A - 홀더 및 코팅 방법 - Google Patents

홀더 및 코팅 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR970077848A
KR970077848A KR1019970017983A KR19970017983A KR970077848A KR 970077848 A KR970077848 A KR 970077848A KR 1019970017983 A KR1019970017983 A KR 1019970017983A KR 19970017983 A KR19970017983 A KR 19970017983A KR 970077848 A KR970077848 A KR 970077848A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
web
holder
slats
slat
channel
Prior art date
Application number
KR1019970017983A
Other languages
English (en)
Inventor
업탈 쿠마 차크라바티
폴 생원 첸
조지 존 프리지비렉
도미닉 폴 리나우도
Original Assignee
스미스 디 엘
루슨트 테크놀로지스 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미스 디 엘, 루슨트 테크놀로지스 인코포레이티드 filed Critical 스미스 디 엘
Publication of KR970077848A publication Critical patent/KR970077848A/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders
    • C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
    • H01S3/0933—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of a semiconductor, e.g. light emitting diode
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/028—Coatings ; Treatment of the laser facets, e.g. etching, passivation layers or reflecting layers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은 레이저 바 마면 코팅(laser bar facet coating)에 대한 방법 및 고정 장치(20)를 제공한다. 코팅용 표면(96, 98)을 갖는 디바이스(90)를 고정시키는 홀더는 제 1 및 제 2 채널(130)을 포함한다. 다수의 웹 슬랫(a plurality of web slats)(50)은 채널에 수용된다. 웹 슬랫은 제 1 및 제 2 단부(58, 60)과 제 1 및 제 2 디바이스 인게이지 표면(device engaging surfaces)(54, 56)을 갖는다. 웹 슬랫(50)의 단부(58, 60)는 각각의 채널에 수용된다. 웹 슬랫의 단부(58, 60)는 인접한 웹 슬랫(50)의 단부(58, 60)와 상호 작용한다. 웹 슬랫(50)은 채널(130)의 한쪽 단부에 고정되지만, 다른 방식으로 코팅용 디바이스(90)을 수용하는 개방 위치와 웹 슬랫의 에지(54, 56)가 코팅용 디바이스(90)를 인게이지하는 폐쇄 위치 사이의 채널을 따라 이동할 수 있다. 바이어스 부재(bias member)(34)는 코팅용 디바이스(90)를 맞물리게 하는 폐쇄 위치의 웹 슬랫을 수용하는데 사용될 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 본 발명은 실질적으로 병렬 파이프형 디바이스의 표면을 코팅하는 방법을 제공한다. 본 발명의 방법은 한 쌍의 디바이스 인게이지 표면 사이에 적어도 하나의 병렬 파이프형 디바이스를 홀더(holder)에 고정시키는 단계와, 상기 홀더를 진공 챔버(vacuum chamber)에 장착하는 단계와, 진공 챔버에 표면 코팅 환경을 설정하는 단계를 포함한다.

Description

홀더 및 코팅 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 6 도는 레이저 바의 확대 투시도.

Claims (25)

  1. 코팅하기 위한 표면을 갖는 디바이스(90)를 고정시키는 홀더(a holder)(20)에 있어서, 제 1 및 제 2 채널(first and second channels)(130)과 ; 제각기 제 1 및 제 2 단부(58, 60) 및 제 1 및 제 2 디바이스 인게이지 표면(first and second device engaging surfaces)(54, 56)을 갖는 다수의 웹 슬랫(a plurality of web slats)(50)으로서, 상기 웹 슬랫의 상기 단부(58, 60)는 동일한 채널(130)의 인접한 웹 슬랫(50)의 단부(58, 60)와 상호 작용하고, 상기 웹 슬랫은 상기 채널의 하나의 단부에 고정(secure)되지만, 다른 방식으로 개방 위치(anopen position)와 폐쇄 위치(a less-opened position) 사이의 상기 채널(130)을 따라 이동가능한, 상기 다수의 웹 슬랫과 ; 상기 웹 슬랫이 고정되는 상기 채널(130)의 단부 방향으로 상기 웹 슬랫을 바이어싱하기 위해 상기 웹 슬랫들(50) 중 하나에 접속되는 바이어스 부재(a bias member)(34)를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 홀더(20)는 하나 이상의 코팅용 표면을 갖는 실질적으로 병렬 파이프형 디바이스(90)를 고정하고, 채널(130)을 제각기 갖는 제 1 및 제 2 지지부로서, 상기 채널(130)은 제 1 및 제 2 채널을 구성하고, 상기 제 1 및 제 2 채널은 서로에 대해 개방하고 트랜스버스(transverse) 방향으로 이들 채널로 연장하는, 상기 제 1 및 제 2 지지부와 ; 상기 제 1 채널에 수용되고 이 채널을 따라 이동가능한 제 1 단부(58)와, 상기 제 2 채널에 수용되고 이 채널을 따라 이동가능한 제 2 단부(60)를 갖는 각각의 상기 웹 슬랫으로서, 상기 웹 슬랫(50)의 상기 제 1 단부(58)는 상기 제 1 채널(130)의 인접한 웹 슬랫(50)의 상기 제 1 단부(58)와 상호 작용하고, 상기 웹 슬랫(50)의 상기 제 2 단부(60)는 상기 제 2 채널(130)의 인접한 웹 슬랫(50)의 상기 제 2 단부와 상호 작용하고, 상기 웹 슬랫은 인접한 웹 슬랫의 상기 디바이스 인게이지 표면(54, 56)이 이 사이에 디바이스를 수용하기 위해 떨어져 위치되는 개방 위치(an open position)와 인접한 웹 슬랫의 상기 디바이스 인게이지 표면(54, 56)이 이 사이에 포착된 디바이스 표면을 인게이지하기 위해 서로 근접하여 위치되는 포착 위치(a captured position) 사이의 상기 채널을 따라 이동가능한, 각각의 상기 웹 슬랫을 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더.
  3. 제 1 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 2개의 웹 슬랫의 상기 제 1 단부(54)가 인터록킹(interlocking)되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  4. 제 1 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인터록킹하는 제 1 단부(54)는 인접한 웹 슬랫(50) 상에 위치하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 2개의 웹 슬랫의 상기 제 2 단부(56)가 인터록킹되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인터록킹하는 제 2 단부(56)는 인접한 웹 슬랫(50) 상에 위치되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 2개의 웹 슬랫의 상기 제 2 단부(56)가 인터록킹되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 인터록킹된 제 1 단부(54)를 갖는 상기 적어도 2개의 웹 슬랫(50)은 인터록킹된 제 2 단부(56)를 갖는 상기 동일한 적어도 2개의 웹 슬랫인 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 진공 챔버(a cacuum chamber)에 장착될 때 상기 홀더(20)의 방향(orientation)을 제어하기 위해 키(a key)와 상호 작동가능한 키 슬롯(a key slot)(154)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 지지부 사이에 연장하고, 상기 지지부에 대해 고정되고, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 하나와 상호작용하여 상기 적어도 하나의 웹 슬랫이 상기 제 1 및 제 2 채널을 따라 이동하지 못하도록 하여 상기 웹 슬랫들중 하나가 실질적으로 고정되도록 하는 제 1 크로스 부재(a first corss member)(42)를 포함하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  11. 제 1 항 내지 제 10항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 지지부 사이에 연장하고, 상기 제 1 및 제 2 채널(130)과 평행하게 이동가능하고, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 하나와 상호작용하여 상기 적어도 하나의 웹 슬랫(50)이 상기 제 1 및 제 2 채널(130)을 따라 이동되도록 하는 제 2 크로스 부재(a second cross member)(32)를 포함하여, 상기 제 2 크로스 부재(32)의 움직임이 상기 적어도 하나의 웹 슬랫(50)을 이동시키고 이어서 상기 다른 웹 슬랫(50)을 이동시켜 인접한 웹 슬랫(50) 사이의 디바이스 수용 공간(a device receiving space)(88)이 개방 및 폐쇄되도록 하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 지지부 사이에 연장하고, 상기 제 1 및 제 2 채널(130)과 평행하게 이동가능하고, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 적어도 하나와 상호 작용하여 상기 적어도 하나의 웹 슬랫(50)이 상기 제 1 및 제 2 채널(130)을 따라 이동되도록 하는 제 2 크로스 부재(32)를 포함하여, 상기 제 2 크로스 부재(32)의 움직임이 상기 적어도 하나의 웹 슬랫(50)을 이동시키고 이어서 상기 다른 웹 슬랫(50)을 이동시켜 인접한 웹 슬랫(50) 사이의 디바이스 수용 공간(88)가 개방 및 폐쇄되도록 하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 2 크로스 부재(32)에 접속되고, 상기 제 1 및 제 2 채널(130)의 상기 다수의 웹 슬랫(50)이 상기 제 1 크로스 부재(42) 방향으로 바이어싱되도록 하는 바이어스 부재(34)를 포함하는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
  14. 디바이스 인게이지 표면을 포함하는 다수의 웹 슬랫을 갖는 홀더를 사용하여 디바이스의 적어도 하나의 표면을 코팅하는 방법으로서, 상기 다수의 웹 슬랫은 한쌍의 채널에 이동가능하고, 상기 다수의 웹 슬랫은 상기 채널의 제 1 단부에 고정되고, 상기 채널의 상기 제 1 단부로부터 최대 거리에 있는 상기 웹 슬랫이 상기 채널의 상기 제 1 단부로부터 이격되어 있는 상기 채널을 따라 이동되면, 상기 웹 슬랫은 인접한 웹 슬랫과 상호 작용하고 인접한 웹 슬랫들 사이의 디바이스 수용 공간을 개방하기 위해 상기 채널에 이동하는, 상기 코팅 방법에 있어서, 상기 채널의 상기 제 1 단부와 최대 이격된 상기 웹 슬랫(50)을 상기 채널의 제 1 단부와 이격되게 이동시켜, 상기 다수의 웹 슬랫들(50) 중 인접한 슬랫 사이의 디바이스 수용 공간(88)을 개방하는 단계와 ; 코팅될 표면을 갖기 위해 디바이스(90)를 인접한 웹 슬랫(50) 사이의 상기 디바이스 수용 공간들(88) 중 적어도 하나의 공간에 삽입하는 단계와 ; 상기 디바이스 인게이지 표면(54, 56)이 상기 적어도 하나의 디바이스 수용 공간의 상기 디바이스를 인게이지할 때까지, 상기 채널(130)의 상기 제 1 단부로부터 최대 이격된 상기 웹 슬랫(50)을 상기 채널(130)의 상기 제 1 단부 방향으로 이동시키는 단계와 ; 상기 홀더(20)를 진공 챔버에 장착하는 단계와 ; 상기 진공 챔버에 코팅 환경을 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 홀더(20)를 회전시켜 상기 디바이스(90)의 다른 표면을 코팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  16. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서, 상기 진공 챔버로부터 상기 홀더를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  17. 제 14 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 홀더로부터 상기 디바이스(90)를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  18. 제 14 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 디바이스 삽입 단계는, 디바이스(90)를 상기 디바이스 수용 공간들(88) 중 하나에 삽입하고, 상기 다음 디바이스 수용 공간(88)에 인덱싱(indexing)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  19. 제 14 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코팅 환경 설정 단계는 전자빔을 코팅 물질 상에 충돌(impinge)시켜 상기 코팅 물질을 증발시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  20. 제 14 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 충돌 단계는, 제 1 시간 주기 동안 전자빔(174)을 제 1 코팅 물질(172) 상에 충돌시키는 단계와 ; 제 2 시간 주기 동안 전자빔(174)을 제 2 코팅 물질상에 충돌시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 두개의 충돌 단계 사이에서 코팅 물질 홀더(170)를 다른 위치에 미리 인덱싱하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 방법.
  22. 다수의 디바이스용 홀더에 있어서, 축에 일렬(tandem)로 배열되고 이 축을 따라 이동 가능한 다수의 부재(50)를 포함하고, 한쪽 부재가 상기 축을 따라 제 1 방향으로 전이(displace)되고 다른쪽 부재(50)가 상기 제 1 방향으로 전이될 때 인접한 부재(50)의 단부(58, 60)가 서로 접속되어 상기 디바이스(90)가 삽입가능한 갭(gaps)(88)을 형성할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 홀더.
  23. 제 22 항에 있어서, 바이어스 부재(34)를 포함하고, 상기 바이어스 부재는 상기 다수의 부재(50)가 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향으로 전이되도록 배치되어, 상기 부재(50)가 이 사이에서 수용될 디바이스(90)에 이동(urge)되는 것을 특징으로 하는 홀더.
  24. 제 23 항에 있어서, 부재(50) 사이에 수용되는 디바이스(90)는 대향하는 한쌍의 표면(100, 102)과 병렬 파이핑(parallel-pipe)되고, 상기 부재(50)는 상기 인게이지 표면(54, 56)이 상기 디바이스(90)의 상기 대향하는 표면(100, 102)에 대해 이동되도록 한쌍의 대향된 인게이지 표면(54, 56)을 더 포함하는 홀더.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 디바이스는 제 2 쌍의 대향된 표면(96, 98)을 포함하고, 제 2 쌍의 대향된 표면(96, 98)은 디바이스(90)가 대향된 인게이지 표면(54, 56) 사이에서 수용될 때 노출되는 것을 또한 특징으로 하는 홀더.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970017983A 1996-05-09 1997-05-09 홀더 및 코팅 방법 KR970077848A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US1906896P 1996-05-09 1996-05-09
US60/019068 1996-05-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR970077848A true KR970077848A (ko) 1997-12-12

Family

ID=21791244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970017983A KR970077848A (ko) 1996-05-09 1997-05-09 홀더 및 코팅 방법

Country Status (5)

Country Link
US (2) US5911830A (ko)
EP (1) EP0806494B1 (ko)
JP (1) JP3217989B2 (ko)
KR (1) KR970077848A (ko)
DE (1) DE69706754T2 (ko)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5911830A (en) * 1996-05-09 1999-06-15 Lucent Technologies Inc. Method and fixture for laser bar facet coating
DE19812562A1 (de) * 1998-03-21 1999-09-23 Joachim Sacher Beschichtungs-Verfahren und -Vorrichtung
US6026557A (en) * 1998-04-02 2000-02-22 Lucent Technologies Inc. Method for laser bar facet coating
US5989637A (en) * 1998-04-16 1999-11-23 Lucent Technologies, Inc. Method for preventing facet coating overspray
US6125530A (en) * 1999-01-05 2000-10-03 Lucent Technologies, Inc. Method and apparatus for handling laser bar
US6170132B1 (en) * 1999-09-01 2001-01-09 Lucent Technologies Inc. Magnetic laser bar clamp
US6258403B1 (en) * 1999-09-16 2001-07-10 Lucent Technologies, Inc. Method for coating facet edges of an optoelectrical device
US6249955B1 (en) * 1999-10-13 2001-06-26 Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp. Laser bar transport method
EP1333935A4 (en) * 2000-10-17 2008-04-02 Nanogram Corp PREPARATION OF A COAT BY REACTIVE DEPOSITION
JP3784639B2 (ja) * 2000-11-28 2006-06-14 シャープ株式会社 半導体レーザ端面コート方法及び固定フレーム
DE60231215D1 (de) * 2002-10-31 2009-04-02 Avago Tech Fiber Ip Sg Pte Ltd Verfahren und Träger zur Behandlung von Facetten von photonischen Bauelementen
US7208046B1 (en) * 2003-01-10 2007-04-24 White Electronic Designs Corporation Spray coating apparatus and fixtures
US20050064090A1 (en) * 2003-09-24 2005-03-24 Union Optronics Corporation Method for coating on laser-diode facet
CN1293402C (zh) * 2003-10-20 2007-01-03 中国科学院半导体研究所 具有自动识别装置的同轴封装半导体激光器耦合用夹具
US8277877B1 (en) * 2006-05-15 2012-10-02 Finisar Corporation Method for applying protective laser facet coatings
TWI417406B (zh) * 2006-10-27 2013-12-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 鍍膜用基片夾具、鍍膜用轉盤及鍍膜機
CN104368891B (zh) * 2013-08-16 2016-08-10 东方强光（北京)科技有限公司 一种激光巴条单元叠层烧结的夹具
DE102014102037A1 (de) * 2014-02-18 2015-08-20 Osram Opto Semiconductors Gmbh Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Aufbringen einer Beschichtung auf mehrere Halbleitervorrichtungen
CN104300361A (zh) * 2014-09-26 2015-01-21 北京工业大学 一种半导体激光器腔面镀膜陪片及使用
TWI794475B (zh) * 2018-05-09 2023-03-01 德商索萊爾有限公司 用於接收多個基板以進行處理之保持裝置、處理系統及方法
CN111501042B (zh) * 2020-06-02 2023-09-01 海南师范大学 一种边发射半导体激光芯片腔面镀膜夹具

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4397724A (en) * 1981-08-24 1983-08-09 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Apparatus and method for plasma-assisted etching of wafers
US4391696A (en) * 1981-08-25 1983-07-05 Rca Corporation Method and apparatus for holding styli
JPS60140780A (ja) * 1983-12-27 1985-07-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体表面処理用治具
DE3418332A1 (de) * 1984-05-17 1985-11-21 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Vorrichtung zur halterung zylinderfoermiger koerper
JPS6328859A (ja) * 1986-07-22 1988-02-06 Mitsubishi Electric Corp 蒸着装置
JPS6384971U (ko) * 1986-11-25 1988-06-03
JPS63273388A (ja) * 1987-04-30 1988-11-10 Nec Corp 半導体レ−ザ
JPS63308922A (ja) * 1987-06-11 1988-12-16 Hitachi Ltd 半導体製造用ｃｖｄ装置の排気装置
JPS63308992A (ja) * 1987-06-11 1988-12-16 Nec Corp 光半導体素子の製造方法
EP0416190B1 (en) * 1989-09-07 1994-06-01 International Business Machines Corporation Method for mirror passivation of semiconductor laser diodes
JPH03268382A (ja) * 1990-03-16 1991-11-29 Mitsubishi Electric Corp 半導体レーザ装置の製造方法
EP0457998B1 (en) * 1990-05-25 1994-01-26 International Business Machines Corporation Method and apparatus for batch cleaving semiconductor wafers and for coating the cleaved facets
US5154333A (en) * 1991-10-30 1992-10-13 International Business Machines Corporation Jaw cleaving device
US5391036A (en) * 1993-03-15 1995-02-21 International Business Machines Corporation Magnetic transfer device
US5911830A (en) * 1996-05-09 1999-06-15 Lucent Technologies Inc. Method and fixture for laser bar facet coating
US5668049A (en) * 1996-07-31 1997-09-16 Lucent Technologies Inc. Method of making a GaAs-based laser comprising a facet coating with gas phase sulphur

Also Published As

Publication number Publication date
DE69706754T2 (de) 2002-07-04
JP3217989B2 (ja) 2001-10-15
EP0806494A1 (en) 1997-11-12
US5911830A (en) 1999-06-15
US6037006A (en) 2000-03-14
DE69706754D1 (de) 2001-10-25
JPH1056232A (ja) 1998-02-24
EP0806494B1 (en) 2001-09-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970077848A (ko) 홀더 및 코팅 방법
EP1378689B1 (de) Spaltdichtung zum Abdichten eines Spalts zwischen zwei benachbarten Bauteilen
WO1999059928A3 (en) Substrate transfer shuttle
EP2609658B1 (en) Electrical connector
WO2001057406A3 (de) Vorrichtung zum verspannenden verbinden von mit abstand zueinander liegenden bauteilen
CA2231884A1 (en) Vehicle seat track assembly
CA2278953A1 (en) Method and apparatus for providing an edging structure for pavement
AU638617B2 (en) Seismic expansion joint cover
US20010017016A1 (en) Telescoping stud
ES2168156T3 (es) Metodo de desviacion de un articulo de un transportador a un impulsor y dispositivo para esto.
WO2002010706A3 (en) Optical waveguide and plate for electrophorsis apparatus
US6073781A (en) Rack for holding elongated articles
US20110005283A1 (en) Locking system for furniture drawers
DE2961551D1 (en) Set of retaining-wall elements and its application
RU93041767A (ru) Способ и устройство для получения неоднородного листового материала, листовой материал
KR100702928B1 (ko) 전시될 제품을 위한 안전 패킹
EP1211544A3 (en) A variable optical attenuator and beam splitter
DE69127989T2 (de) Massenspektrometer für neutrale gesputterte Atome, die mit Laser ionisiert sind
JP2002349564A (ja) 直線案内装置の軌道レール取付構造
DE69404695D1 (de) Strahlaustaster mit differentieller, virtueller Erdung
US8201899B2 (en) Immobilizing system, for stackable modular filing cabinets
Sarkar et al. Resonance in positron-hydrogen scattering at medium energy
EP0291487A3 (en) Wide-band extended interaction device
IT1303665B1 (it) Attuatore bistabile,particolarmente per dispositivi differenziali
ITMI951578A1 (it) Interruttore elettromeccanico di sicurezza a chiave

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid