JP2002298586A - 半導体記憶装置のデータ書き込み方法及び半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置のデータ書き込み方法及び半導体記憶装置

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JP2002298586A
JP2002298586A JP2001103485A JP2001103485A JP2002298586A JP 2002298586 A JP2002298586 A JP 2002298586A JP 2001103485 A JP2001103485 A JP 2001103485A JP 2001103485 A JP2001103485 A JP 2001103485A JP 2002298586 A JP2002298586 A JP 2002298586A
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memory device
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健吾 増田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低電源電圧でも動作不良を起こすことなくデ
ータの書き込みが可能な半導体記憶装置のデータ書き込
み方法及び半導体記憶装置を提供する。 【解決手段】 所定の電源電圧及び接地電位が供給さ
れ、電源電圧であるHighデータ及び接地電位である
Lowデータをそれぞれメモリセルで保持する半導体記
憶装置のデータ書き込み方法であって、接地電位よりも
低い所定の負電圧を生成し、メモリセルへのデータ書き
込み動作時に、Lowデータを書き込むビット線に対し
て該負電圧を供給する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置の
データ書き込み方法に関し、特に低電源電圧で動作させ
るSRAM(Static Random Access Memory)に適用し
て好適な半導体記憶装置のデータ書き込み方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年のSRAMなどの半導体記憶装置で
は、記憶容量を増大させるためにメモリセル用のトラン
ジスタサイズが微細化されている。そして、消費電力の
軽減のためにトランジスタに供給する電源電圧も低くな
る傾向にある。例えば、MOSトランジスタによってメ
モリセルが構成されるSRAMでは、電源電圧VDD
1.2[V]程度でも動作するものが開発されている。
【0003】以下、従来のSRAMの構成について図面
を用いて説明する。
【0004】図4は従来のSRAMの構成を示す回路図
である。
【0005】図4に示すように、SRAM10は、デー
タを保持するメモリセル20と、メモリセル20に対し
てデータを読み出し/書き込む際にスイッチングされる
トランスファーゲートQn31、Qn32と、トランスファー
ゲートQn31、Qn32を介してメモリセル20にデータを
書き込むための書き込み回路30とを有する構成であ
る。なお、図4では、メモリセル20及び書き込み回路
30がそれぞれ1つだけ記載され、それに対応してワー
ド線WLが1本、ビット線BLが2本だけが記載されて
いる。しかしながら、実際のSRAMは、複数のメモリ
セル20が格子状に配置され、メモリセル20の各行毎
にワード線WLがそれぞれ配置され、各列毎に2本のビ
ット線BLがそれぞれ配置される構成である。また、書
き込み回路30は、格子状に配置された各メモリセル2
0に対して、例えば8列毎にそれぞれ1つずつ設けられ
ている。
【0006】メモリセル20は、プッシュプル接続され
たPMOSトランジスタQp1及びNMOSトランジスタ
n1から成る第1のインバータ21と、プッシュプル接
続されたPMOSトランジスタQp2及びNMOSトラン
ジスタQn2から成る第2のインバータ22とを有し、第
1のインバータ21及び第2のインバータ22の入力と
出力とが互いに接続された構成である。
【0007】トランスファーゲートQn31、Qn32は、例
えば、NMOSトランジスタによって構成されている。
トランスファーゲートQn31、Qn32のゲートはそれぞれ
同一のワード線WLに接続され、ドレインは対応するビ
ット線BLにそれそれ接続されている(図4ではトラン
スファーゲートQn31のドレインがビット線BL1に接
続され、トランスファーゲートQn32のドレインがビッ
ト線BL0に接続されている)。また、トランスファー
ゲートQn31のソース(ノードC1)は第1のインバー
タ21の出力と第2のインバータ22の入力とにそれぞ
れ接続され、トランスファーゲートQn32のソース(ノ
ードC2)は第1のインバータ21の入力と第2のイン
バータ22の出力とにそれぞれ接続されている。
【0008】このような構成において、図4に示したメ
モリセル20にデータを書き込む場合、書き込み回路3
0から一方のビット線に“High”データを出力し、
他方のビット線に“Low”(接地電位:0[V])デー
タを出力し、対応するワード線WLに“High”を入
力してデータを書き込むメモリセル20を選択する。
【0009】選択されたメモリセル20にはトランスフ
ァーゲートを介して“High”または“Low”の信
号が入力され、メモリセル20は、第1のインバータ2
1及び第2のインバータ22によってビット線BL0、
BL1から入力されたデータをそれぞれ保持する。
【0010】例えば、ビット線BL1を“Low”に設
定してノードC1を“High”から“Low”に切り
替えた場合、第2のインバータ22の出力が“Hig
h”に切り替わり、第2のインバータ22の出力を入力
とする第1のインバータ21の出力が“Low”に切り
替わり、ノードC1の電位(“Low”レベル)がさら
に接地電位GNDに引かれて書き込みが行われる。この
場合、ビット線BL0に出力された“High”レベル
は書き込み動作にはほとんど寄与しない。
【0011】一方、図4に示したメモリセル20からデ
ータを読み出す場合、対応するワード線WLに“Hig
h”を入力してデータを読み出すメモリセル20を選択
する。このとき、選択されたメモリセル20に保持され
ていた信号がトランスファーゲートを介してビット線B
L0、BL1にそれぞれ出力される。例えば、トランス
ファーゲートQn31のソース(ノードC1)で“Lo
w”が保持され、トランスファーゲートQn32のソース
(ノードC2)で“High”が保持されていた場合、
ビット線BL0には“High”が出力され、ビット線
BL1には“Low”が出力される。ビット線BL0、
BL1に出力された信号は、不図示のセンスアンプによ
って増幅され、メモリセル20に保持されていたデータ
が再生されて外部に出力される。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】一般に、SRAMのメ
モリセルでは、ノイズによる誤動作を防止してデータを
安定して保持するために、NMOSトランジスタのしき
い値電圧VTHを比較的高めに設定する必要がある。しか
しながら、しきい値電圧VTHを高く設定し過ぎるとメモ
リセルに対するデータの書き込み時間が長くなるため、
例えば、電源電圧VDDが1.2[V]の場合、しきい値電
圧VTHは0.5[V]程度に設定される。
【0013】ここで、図4に示したSRAMを低電源電
圧で動作させた場合(VDD=1.2[V])、接地電位
(0[V])からの電位上昇の影響が大きくなる。
【0014】例えば、ビット線の配線抵抗による電圧降
下などの要因から、ビット線BL0を“Low”から
“High”に書き換え、ビット線BL1を“Hig
h”から“Low”に書き換える場合に、トランスファ
ーゲートQn31のゲートに印加される電圧が低下し、ト
ランスファーゲートQn31の電流駆動能力が低下してし
まう。このとき、ノードC1の電位は、PMOSトラン
ジスタQp1とトランスファーゲートQn31の電流駆動能
力比で決まるため、“High”から“Low”に反転
するまでに時間がかかるという問題が発生する。また、
ノードC1の電位を入力とする第2のインバータの出力
(ノードC2)も“Low”から“High”に反転す
るまでに時間がかかってしまう。
【0015】ビット線の接地電位(0[V])からの電位
上昇が0.00[V]の場合、図5のC1(ノードC1の
電位)、C2(ノードC2の電位)で示すように、メモ
リセルにデータを問題無く書き込むことができる。しか
しながら、接地電位からの電位上昇が0.20[V]程度
になると、図5のC1’(ノードC1の電位)、C2’
(ノードC2の電位)で示すように、ワード線WLに
“High”を印加して(0.5VDD)からノードC2
の電位が“High”に立ち上がる(0.9VDD)まで
の書き込み時間(セル反転時間)が極端に長くなってし
まう。また、電位上昇がさらに高くなるとデータが書き
込めなくなるおそれがある。なお、図5に示すCLKは
SRAMを動作させるためのタイミングクロックであ
る。
【0016】上述したように、近年のSRAMは、記憶
容量の増大に伴ってメモリセル用のトランジスタサイズ
が微細化されているため、トランジスタ特性のばらつき
も大きくなってきている。例えば、1Mbitクラスの
記憶容量を持つSRAMの場合、トランジスタのしきい
値電圧VTHのばらつきは、標準偏差をσとすると、5σ
まで拡大する。さらに、歩留まりを十分に確保するため
には6σまでのばらつきを見込む必要がある。
【0017】トランスファーゲートQn31、Qn32のしき
い値電圧VTHが0.50[V]であるSRAMのメモリセ
ルの書き込み特性(セル反転時間)を示すと、図6及び
図7のようになる。なお、図6はトランジスタのしきい
値電圧のばらつきを考慮していない場合(ばらつきが無
いと仮定したとき)の特性を示し、図7はトランジスタ
のしきい値電圧のばらつきが6σの場合の特性を示して
いる。但し、1σ=30mVであるとする。
【0018】図6に示すように、トランジスタのしきい
値電圧にばらつきが無い場合、電源電圧VDD=1.2
[V]とすると、ビット線の接地電位からの電位上昇VFL
が0.20[V]以下であれば、セル反転時間が極端に長
くなることはない。しかしながら、図7に示すように、
トランジスタのしきい値電圧のばらつきが6σの場合、
電源電圧VDD=1.2[V]とすると、ビット線の接地電
位からの電位上昇VFLが0.05[V]でも動作不良を起
こすことが分かる。すなわち、書き込み動作が可能なト
ランジスタ特性のばらつきのマージンが低下し、半導体
記憶装置の製造時の歩留まりが低下してしまう。
【0019】本発明は上記したような従来の技術が有す
る問題点を解決するためになされたものであり、低電源
電圧でも動作不良を起こすことなくデータの書き込みが
可能な半導体記憶装置のデータ書き込み方法及び半導体
記憶装置を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の半導体記憶装置のデータ書き込み方法は、所定
の電源電圧及び接地電位が供給され、前記電源電圧であ
るHighデータ及び前記接地電位であるLowデータ
をそれぞれメモリセルで保持する半導体記憶装置のデー
タ書き込み方法であって、前記接地電位よりも低い所定
の負電圧を生成し、前記メモリセルへのデータ書き込み
動作時に、前記Lowデータを書き込むビット線に対し
て前記負電圧を供給する方法である。
【0021】このとき、前記メモリセルへのデータ書き
込み動作の終了後、前記メモリセルに前記Lowデータ
を供給するトランスファーゲートを閉じてから、前記負
電圧が供給されたビット線に前記電源電圧を所定の時間
印加してもよい。
【0022】なお、前記負電圧は、PN接合に対する順
方向電圧以下であることが望ましく、前記半導体記憶装
置は、SRAMであることが望ましい。
【0023】一方、本発明の半導体記憶装置は、所定の
電源電圧及び接地電位が供給され、前記電源電圧である
Highデータ及び前記接地電位であるLowデータを
それぞれメモリセルで保持する半導体記憶装置であっ
て、前記接地電位よりも低い所定の負電圧を生成する降
圧回路と、前記メモリセルへのデータ書き込み動作時
に、前記Lowデータを書き込むビット線に対して、前
記降圧回路で生成された負電圧を供給する書き込み回路
と、を有する構成である。
【0024】このとき、前記メモリセルへのデータ書き
込み動作の終了後、前記メモリセルに前記Lowデータ
を供給するトランスファーゲートを閉じてから、前記負
電圧が供給されたビット線に前記電源電圧を所定の時間
印加するためのプリチャージ回路を有していてもよく、
前記降圧回路は、前記メモリセルへのデータ書き込み動
作時に前記接地電位を出力するパルス出力回路と、前記
パルス出力回路の出力に直列に接続される降圧用キャパ
シタと、を有する構成であってもよい。
【0025】なお、前記負電圧は、PN接合に対する順
方向電圧以下であることが望ましく、前記半導体記憶装
置は、SRAMであることが望ましい。
【0026】上記のような半導体記憶装置のデータ書き
込み方法及び半導体記憶装置では、メモリセルへのデー
タ書き込み動作時に、Lowデータを書き込むビット線
に対して接地電位よりも低い負電圧を供給することで、
ビット線の配線抵抗による接地電位からの電位上昇分が
打ち消される。
【0027】また、メモリセルへのデータ書き込み動作
の終了後、トランスファーゲートを閉じてから、負電圧
が供給されたビット線に電源電圧を所定の時間印加する
ことで、ビット線容量に蓄積された負電荷が放電される
と共に正電荷が蓄積されてHighデータへ立ち上が
る。
【0028】
【発明の実施の形態】次に本発明について図面を参照し
て説明する。
【0029】図1は、本発明の半導体記憶装置のデータ
書き込み方法を示す、SRAMの要部の動作を示す動作
波形図である。なお、図1では、SRAMの動作クロッ
クCLK、ビット線BL1、ワード線WL、及びメモリ
セルのノードC1、C2の波形をそれぞれ示している。
書き込み対象のメモリセルが異なれば対応するビット線
BL、及びワード線WLにも同様の波形の信号を印加す
ればよい。
【0030】図1に示すように、本発明の半導体記憶装
置のデータ書き込み方法は、書き込み回路からビット線
に“Low”を出力する場合に、接地電位(0[V])よ
りも低い負電圧GNDLを供給する方法である。また、
本発明の半導体記憶装置(SRAM)は、書き込み回路
に負電圧GNDLを供給する不図示の降圧回路を備え、
書き込み回路が“Low”の出力する場合に該負電圧G
NDLをビット線に供給する点が従来の構成と異なって
いる。その他の構成は図4に示した従来の半導体記憶装
置と同様の構成であるため、ここではメモリセル及びト
ランスファーゲートの構成の説明は省略する。また、以
下の説明では、メモリセルを構成するMOSトランジス
タ、トランスファーゲート、ワード線、及びビット線の
符号を、図4に示した従来の回路と同じものを用いてい
る。
【0031】図1に示すように、本発明では、SRAM
のタイミングクロックCLKが“High”になり書き
込み動作が開始されると、書き込み回路からビット線B
L1に負電圧GNDLが出力される。
【0032】続いて、ワード線WLに“High”が供
給されてデータを書き込むメモリセルが選択されると、
選択されたメモリセルのトランスファーゲートQn31
n32がそれぞれONし、メモリセルのノードC1に
“Low”データが入力される。
【0033】このとき、書き込み回路からビット線BL
1に負電圧GNDLが供給されているため、ビット線B
L1の配線抵抗による接地電位(0[V])からの電位上
昇分が打ち消され、トランスファーゲートQn31のソー
ス電位がほぼ0[V](あるいは、0[V]以下)になる。
したがって、トランスファーゲートQn31の電流駆動能
力が向上し、メモリセルのノードC1の電位が速やかに
“Low”(接地電位:0[V])に切り替わり、ノード
C2の電位も速やかに“High”(VDD)に切り替わ
る。よって、書き込み動作の不良の無いSRAMを得る
ことができる。
【0034】また、負電圧GNDLの値をトランスファ
ーゲートQn31、Qn32のしきい値電圧がばらついても動
作不良を起こさない範囲の電圧に設定すれば、SRAM
の製造時の歩留まりを向上させることができる。但し、
ビット線に印加する負電圧GNDLの最大値は、トラン
スファーゲートQn31、Qn32の寄生ダイオードがオンし
ない電圧(PN接合に対する順方向電圧=約0.5[V]
以下)であることが望ましい。このように負電圧GND
Lの値をPN接合に対する順方向電圧以下に設定すれ
ば、SRAMの構造や製造プロセスを変えて何らかの対
策を施さなくてもビット線に負電圧GNDLを印加する
ことができる。
【0035】ところで、トランスファーゲートQn31
n32の電流駆動能力を向上させることにのみ注目した
場合、本発明のように書き込み回路からビット線BLに
負電圧GNDLを供給するだけでなく、不図示のワード
線ドライバからワード線WLに電源電圧VDDよりも高い
昇圧電圧を印加する方法も考えられる。
【0036】しかしながら、ワード線WLに昇圧電圧を
印加する方法では、選択されたワード線WLに接続され
る全てのトランスファーゲートで、電源電圧VDDよりも
高い昇圧電圧が印加されることによるストレスがかかっ
てしまう。本発明のようにビット線BLに負電圧GND
Lを印加する方法でも、ビット線に接続されたトランス
ファーゲートに同様のストレスがかかってしまう。しか
しながら、本発明では書き込み対象となるビットのトラ
ンスファーゲートにのみストレスがかかるため、ワード
線WLに昇圧電圧を印加する方法に比べてストレスをか
ける素子数が少なくて済む。したがって、ワード線WL
に昇圧電圧を印加する方法に比べてSRAMの寿命の低
下を防止することができる。
【0037】また、ワード線に昇圧電圧を印加する方法
では、各ワード線毎に昇圧電圧を印加するための昇圧回
路を設ける必要がある。本発明のようにビット線に負電
圧を印加する方法では、例えば、8個のメモリセル毎に
負電圧GNDLを供給する降圧回路を設けるだけで済む
ため、少ない回路面積でトランスファーゲートの電流駆
動能力を向上させることができるという効果がある。
【0038】次に、本発明の半導体記憶装置が備える書
き込み回路について図面を参照して説明する。
【0039】図2は本発明の半導体記憶装置が有する降
圧回路及び書き込み回路の一構成例を示す回路図であ
る。
【0040】図2に示すように、負電圧GNDLを生成
する本発明の半導体記憶装置が有する降圧回路411
412は、ビット線に対応して設けられたインバータ
(パルス出力回路)451、452と、インバータ4
1、452の出力に直列に接続された降圧用キャパシタ
X0、CX1とを有する構成である。
【0041】一方、本発明の半導体記憶装置が有する書
き込み回路42は、ビット線BLを接地電位GNDに接
続するNMOSトランジスタQn41、Qn42を有する構成
である。
【0042】また、本発明の半導体記憶装置は、ビット
線BLに対する出力を“Low”から“High”へ切
替える時にビット線BLに電源電圧VDDを供給するプリ
チャージ回路43を備えている。
【0043】プリチャージ回路43は、2つのビット線
間にソース・ドレインが接続されたPMOSトランジス
タQp41と、PMOSトランジスタQp41とゲートどうし
が共通に接続され、一方のビット線と電源電圧VDD間に
ソース・ドレインが接続されたPMOSトランジスタQ
p42と、PMOSトランジスタQp41とゲートどうしが共
通に接続され、他方のビット線と電源電圧VDD間にソー
ス・ドレインが接続されたPMOSトランジスタQp43
とを有する構成である。
【0044】書き込み回路42からビット線BLに出力
された“High”または“Low”の信号は、複数の
トランスファーゲートから成るYセレクタ部44を介し
てメモリセルにそれぞれ供給される。
【0045】次に、図2に示した降圧回路及び書き込み
回路の動作について図3を用いて説明する。図3は図2
に示した降圧回路及び書き込み回路の動作を示す動作波
形図である。なお、図3ではビット線BL0に負電圧G
NDLが印加される場合の動作を示している。他のビッ
ト線に負電圧GNDLを印加する場合も対応する降圧回
路41、書き込み回路42及びプリチャージ回路43が
それぞれ同様に動作する。
【0046】図3に示すように、書き込み(Write)動
作期間において、SRAMを動作させるためのタイミン
グクロックCLKが“High”に反転し、Yセレクタ
部44の対応するトランスファーゲートがONし、書き
込み回路42のNMOSトランジスタQn41のゲート
(ノードA2)が“High”に切り替わると、ビット
線BL0に“Low”が出力される。
【0047】続いて、NMOSトランジスタQn41のゲ
ート(ノードA2)が“Low”に切り替わると、NM
OSトランジスタQn41がOFFしてビット線BL0が
フローティング状態となる。この状態で、降圧回路41
1のインバータ451の出力(ノードA1)が“Low”
に反転すると、降圧用キャパシタCX0によるカップリン
グによってビット線BL0の電位が負電圧GNDLまで
低下する。
【0048】次に、プリチャージ期間において、タイミ
ングクロックCLKが“High”に反転すると、プリ
チャージ回路43の入力(ノードA3)が“Low”に
切り換わり、PMOSトランジスタQp41〜Qp43がそれ
ぞれONして、ビット線BL0に電源電圧VDDが印加さ
れる。
【0049】このように、プリチャージ回路43により
次の動作に間に合うようにビット線BL0、BL1に電
源電圧VDDを供給することで、ビット線容量CL0に蓄積
された負電荷が放電されると共に正電荷が蓄積される。
【0050】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載する効果を奏する。
【0051】メモリセルへのデータ書き込み動作時に、
Lowデータを書き込むビット線に対して接地電位より
も低い負電圧を供給することで、ビット線の配線抵抗等
による接地電位からの電位上昇分が打ち消される。した
がって、メモリセルにLowデータを供給するトランス
ファーゲートの電流駆動能力が向上し、メモリセルのセ
ル反転時間が短縮されて書き込み動作の不良の無い半導
体記憶装置を得ることができる。
【0052】また、負電圧の値をトランスファーゲート
のしきい値電圧がばらついても動作不良を起こさない範
囲の電圧に設定すれば、半導体記憶装置の製造時の歩留
まりを向上させることができる。特に、負電圧をPN接
合に対する順方向電圧以下に設定することで、SRAM
の構造や製造プロセスを変えて何らかの対策を施さなく
てもビット線に負電圧を印加することができる。
【0053】また、メモリセルへのデータ書き込み動作
の終了後、負電圧が供給されたビット線に電源電圧を所
定の時間印加することで、ビット線容量に蓄積された負
電荷が放電されると共に正電荷が蓄積される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体記憶装置のデータ書き込み方法
を示す、SRAMの要部の動作を示す動作波形図であ
る。
【図2】本発明の半導体記憶装置が有する降圧回路及び
書き込み回路の一構成例を示す回路図である。
【図3】図2に示した降圧回路及び書き込み回路の動作
を示す動作波形図である。
【図4】従来のSRAMの構成を示す回路図である。
【図5】図4に示したSRAMの動作を示す動作波形図
である。
【図6】図4に示したSRAMのメモリセルに対する書
き込み特性を示す図であり、トランジスタのしきい値電
圧のばらつきが無い場合の様子を示すグラフである。
【図7】図4に示したSRAMのメモリセルに対する書
き込み特性を示す図であり、トランジスタのしきい値電
圧のばらつきが6σである場合の様子を示すグラフであ
る。
【符号の説明】
10 SRAM 20 メモリセル 21 第1のインバータ 22 第2のインバータ 30、42 書き込み回路 411、412 降圧回路 43 プリチャージ回路 44 Yセレクタ部 451、452 インバータ BL0、BL1、BL2、BL3 ビット線 CX0、CX1 降圧用キャパシタ Qn1、Qn2、Qn41、Qn42 NMOSトランジスタ Qn31、Qn32 トランスファーゲート Qp1、Qp2、Qp41、Qp42、Qp43 PMOSトラン
ジスタ WL ワード線

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の電源電圧及び接地電位が供給さ
    れ、前記電源電圧であるHighデータ及び前記接地電
    位であるLowデータをそれぞれメモリセルで保持する
    半導体記憶装置のデータ書き込み方法であって、 前記接地電位よりも低い所定の負電圧を生成し、 前記メモリセルへのデータ書き込み動作時に、前記Lo
    wデータを書き込むビット線に対して前記負電圧を供給
    する半導体記憶装置のデータ書き込み方法。
  2. 【請求項2】 前記メモリセルへのデータ書き込み動作
    の終了後、 前記メモリセルに前記Lowデータを供給するトランス
    ファーゲートを閉じてから、前記負電圧が供給されたビ
    ット線に前記電源電圧を所定の時間印加する請求項1記
    載の半導体記憶装置のデータ書き込み方法。
  3. 【請求項3】 前記負電圧は、PN接合に対する順方向
    電圧以下である請求項1または2記載の半導体記憶装置
    のデータ書き込み方法。
  4. 【請求項4】 前記半導体記憶装置は、SRAMである
    請求項1乃至3のいずれか1項記載の半導体記憶装置の
    データ書き込み方法。
  5. 【請求項5】 所定の電源電圧及び接地電位が供給さ
    れ、前記電源電圧であるHighデータ及び前記接地電
    位であるLowデータをそれぞれメモリセルで保持する
    半導体記憶装置であって、 前記接地電位よりも低い所定の負電圧を生成する降圧回
    路と、 前記メモリセルへのデータ書き込み動作時に、前記Lo
    wデータを書き込むビット線に対して、前記降圧回路で
    生成された負電圧を供給する書き込み回路と、を有する
    半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記メモリセルへのデータ書き込み動作
    の終了後、前記メモリセルに前記Lowデータを供給す
    るトランスファーゲートを閉じてから、前記負電圧が供
    給されたビット線に前記電源電圧を所定の時間印加する
    ためのプリチャージ回路を有する請求項5記載の半導体
    記憶装置。
  7. 【請求項7】 前記降圧回路は、 前記メモリセルへのデータ書き込み動作時に前記接地電
    位を出力するパルス出力回路と、 前記パルス出力回路の出力に直列に接続された降圧用キ
    ャパシタと、を有する請求項5記載の半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記負電圧は、PN接合に対する順方向
    電圧以下である請求項5乃至7のいずれか1項記載の半
    導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 前記半導体記憶装置は、SRAMである
    請求項5乃至8のいずれか1項記載の半導体記憶装置。
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