JP2002287351A - 感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成への使用、ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズ - Google Patents
感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成への使用、ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズInfo
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Abstract
ージンを有し、しかも、密着性に優れたパターン状薄膜
を容易に形成することができる、層間絶縁膜やマイクロ
レンズの形成に適する感放射線性樹脂組成物、その組成
物の層間絶縁膜およびマイクロレンズ形成への使用、お
よびその組成物から形成された層間絶縁膜およびマイク
ロレンズを提供すること。 【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、[A]
(a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボ
ン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、
(a3)水酸基含有不飽和化合物、及び(a4)その他
のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、並びに
[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有する。層間絶縁
膜およびマイクロレンズは上記組成物の使用により形成
される。
Description
成物に関し、詳しくは、フォトリソグラフィーによる層
間絶縁膜やマイクロレンズの作製に適するポジ型感放射
線性樹脂組成物に関する。さらに本発明は、上記感放射
線性組成物の、層間絶縁膜およびマイクロレンズへの使
用に関する。さらに本発明は、上記感放射線性組成物か
ら形成された層間絶縁膜およびマイクロレンズに関す
る。
FT」と記す。)型液晶表示素子や磁気ヘッド素子、集
積回路素子、固体撮像素子などの電子部品には、層状に
配置される配線の間を絶縁するために層間絶縁膜が設け
られている。層間絶縁膜を形成する材料としては、必要
とするパターン形状の層間絶縁膜を得るための工程数が
少なくしかも十分な平坦性を有する層間絶縁膜が得られ
るという特徴を持つ、感放射線性樹脂組成物が幅広く使
用されている。TFT型液晶表示素子は、上記の層間絶
縁膜の上に、透明電極膜を形成し、さらにその上に液晶
配向膜を形成する工程を経て製造される。
像素子等のオンチップカラーフィルターの結像光学系あ
るいは光ファイバコネクタの光学系材料として3〜10
0μm程度のレンズ径を有するマイクロレンズ、または
それらのマイクロレンズを規則的に配列したマイクロレ
ンズアレイが使用されている。マイクロレンズまたはマ
イクロレンズアレイの形成には、レンズパターンを形成
した後、加熱処理することによってパターンをメルトフ
ローさせ、そのままレンズとして利用する方法や、メル
トフローさせたレンズパターンをマスクにしてドライエ
ッチングにより下地にレンズ形状を転写させる方法等が
知られている。前記レンズパターンの形成には、望みの
曲率半径を有するマイクロレンズが得られるという特徴
を持つ、感放射線性樹脂組成物が幅広く使用されてい
る。
は、これらを形成する際の現像工程において、現像時間
が最適時間よりわずかでも過剰となると、パターンと基
板との間に現像液が浸透して剥がれが生じやすくなるた
め、現像時間を厳密に制御する必要があり、製品の歩留
まりの点で問題がある。また、配線等の周辺装置の形成
工程において、配線等の形成に用いるレジストの剥離液
に対する耐性が十分でなく、基板とマイクロレンズまた
は層間絶縁膜との界面に剥離液が染み込む現象が起こる
ことがあり、基板上から欠けることや剥がれることが問
題となる場合がある。
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
高い感放射線感度を有し、現像工程において最適現像時
間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるよう
な現像マージンを有し、しかも、密着性に優れたパター
ン状薄膜を容易に形成することができる、層間絶縁膜や
マイクロレンズの形成に適する感放射線性樹脂組成物を
提供することにある。また本発明の別の目的は、上記感
放射線性樹脂組成物の層間絶縁膜およびマイクロレンズ
形成に使用することにある。本発明のさらに別の目的
は、上記感放射線性樹脂組成物から形成された層間絶縁
膜およびマイクロレンズを提供することにある。
利点は、本発明によれば、第1に、[A](a1)不飽
和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、
(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、(a3)水酸基
含有不飽和化合物、及び(a4)その他のオレフィン系
不飽和化合物の共重合体、並びに[B]1,2-キノンジア
ジド化合物が含有されていることを特徴とする感放射線
性樹脂組成物によって達成される。本発明の目的および
利点は、第2に、上記の感放射線性組成物を層間絶縁膜
およびマイクロレンズの形成に使用することによって達
成される。本発明の目的および利点は、第3に、上記の
感放射線性組成物から形成された層間絶縁膜およびマイ
クロレンズによって達成される。
いて詳述する。本発明の感放射線性樹脂組成物は、共重
合体[A]および1,2-キノンジアジド化合物[B]から
なることを特徴とする。
化合物(a3)および化合物(a4)を溶媒中で、重合
開始剤の存在下にラジカル重合することによって製造す
ることができる。
合物(a1)から誘導される構成単位を、化合物(a
1)、(a2)、(a3)および(a4)から誘導され
る繰り返し単位の合計に基づいて、好ましくは5〜40
重量%、特に好ましくは10〜30重量%含有してい
る。この構成単位が5重量%未満である共重合体は、ア
ルカリ水溶液に溶解しにくくなり、一方40重量%を超
える共重合体はアルカリ水溶液に対する溶解性が大きく
なりすぎる傾向にある。化合物(a1)としては、例え
ばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのモノカ
ルボン酸;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサ
コン酸、イタコン酸などのジカルボン酸;およびこれら
ジカルボン酸の無水物;こはく酸モノ〔2−(メタ)ア
クリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)
アクリロイロキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン
酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステ
ル類;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)
アクリレート等の両末端にカルボキシル基と水酸基とを
有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類等が挙げ
られる。これらのうち、アクリル酸、メタクリル酸、無
水マレイン酸などが共重合反応性、アルカリ水溶液に対
する溶解性および入手が容易である点から好ましく用い
られる。これらは、単独であるいは組み合わせて用いら
れる。
合物(a2)から誘導される構成単位を、化合物(a
1)、(a2)、(a3)および(a4)から誘導され
る繰り返し単位の合計に基づいて、好ましくは10〜7
0重量%、特に好ましくは20〜60重量%含有してい
る。この構成単位が10重量%未満の場合は得られる保
護膜または絶縁膜の耐熱性、表面硬度が低下する傾向に
あり、一方70重量%を超える場合は共重合体の保存安
定性が低下する傾向にある。
酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルア
クリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリ
シジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリ
ル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−3,4
−エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプ
チル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、α−
エチルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、O-ビニ
ルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグリ
シジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテル
などが挙げられる。これらのうち、メタクリル酸グリシ
ジル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、o-ビ
ニルベンジルグリシジルエーテル、m-ビニルベンジルグ
リシジルエーテル、p-ビニルベンジルグリシジルエーテ
ルなどが共重合反応性および得られる保護膜または絶縁
膜の耐熱性、表面硬度を高める点から好ましく用いられ
る。これらは、単独であるいは組み合わせて用いられ
る。
合物(a3)から誘導される構成単位を、化合物(a
1)、(a2)、(a3)および(a4)から誘導され
る繰り返し単位の合計に基づいて、好ましくは2〜50
重量%、特に好ましくは5〜40重量%含有している。
この構成単位が5重量%未満の場合は密着性が低下する
傾向にあり、一方50重量%を超える場合は塗膜の成膜
性が低下する傾向にある。
ルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒド
ロキシブチルメタクリレート、ジエチレングリコールモ
ノメタクリレート、2,3−ジヒドロキシプロピルメタ
クリレート、2−メタクリロキシエチルグリコサイド、
4−ヒドロキシフェニルメタクリレート、5−(2’−
ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−
エン、5,6−ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプ
ト−2−エン、5,6−ジ(ヒドロキシメチル)ビシク
ロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(2’−
ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−
エン、5−ヒドロキシ−5−メチルビシクロ[2.2.
1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−エチルビ
シクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ
メチル−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−
エン等を挙げることができる。これらは単独でまたは2
種以上を組み合わせて使用することができる。
合物(a4)から誘導される構成単位を、化合物(a
1)、(a2)、(a3)および(a4)から誘導され
る繰り返し単位の合計に基づいて、好ましくは10〜7
0重量%、特に好ましくは15〜50重量%含有してい
る。この構成単位が10重量%未満の場合は、共重合体
[A]の保存安定性が低下する傾向にあり、一方70重
量%を超える場合は共重合体[A]がアルカリ水溶液に
溶解しにくくなる傾向にある。
タクリレート、エチルメタクリレート、n−ブチルメタ
クリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチ
ルメタクリレートなどのメタクリル酸アルキルエステ
ル;メチルアクリレート、イソプロピルアクリレートな
どのアクリル酸アルキルエステル;シクロヘキシルメタ
クリレート、2−メチルシクロヘキシルメタクリレー
ト、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イ
ル メタクリレート、トリシクロ[5.2.1.
02 ,6]デカン−8−イルオキシエチルメタクリレー
ト、イソボロニルメタクリレートなどのメタクリル酸環
状アルキルエステル;シクロヘキシルアクリレート、2
−メチルシクロヘキシルアクリレート、トリシクロ
[5.2.1.02,6]デカン−8−イル アクリレー
ト、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イ
ルオキシエチルアクリレート、イソボロニルアクリレー
トなどのアクリル酸環状アルキルエステル;フェニルメ
タクリレート、ベンジルメタクリレートなどのメタクリ
ル酸アリールエステル;フェニルアクリレート、ベンジ
ルアクリレートなどのアクリル酸アリールエステル;マ
レイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエ
チルなどの不飽和ジカルボン酸ジエステル;2−ヒドロ
キシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメ
タクリレートなどのヒドロキシアルキルエステル;
5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5
−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−
ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5
−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、
5−ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2
−エン、5−メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2
−エン、5−エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2
−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘ
プト−2−エン、5,6−ジメトキシビシクロ[2.
2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジエトキシビシク
ロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5
−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−
カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−
2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.
2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチ
ルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ
カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水
物、5−t−ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]
ヘプト−2−エン、5−シクロヘキシルオキシカルボニ
ルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−フェノ
キシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エ
ン、5,6−ジ(t−ブトキシカルボニル)ビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(シクロヘ
キシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト
−2−エン等のビシクロ不飽和化合物類;
イミド、ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−
3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−
4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6
−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3
−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニ
ル)マレイミド等のマレイミド化合物類;
−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエ
ン、p−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタク
リロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリル
アミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3−ブタ
ジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタ
ジエンなどが挙げられる。これらのうち、スチレン、t
−ブチルメタクリレート、ジシクロペンタニルメタクリ
レート、p−メトキシスチレン、2−メチルシクロヘキ
シルアクリレート、1,3−ブタジエン、ビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エンなどが共重合反応性およ
びアルカリ水溶液に対する溶解性の点から好ましい。こ
れらは、単独であるいは組み合わせて用いられる。
リスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」とい
う)が、通常、2×103〜1×105、好ましくは5×103〜5
×104であることが望ましい。Mwが2×103未満である
と、現像マージンに劣る場合があり、得られる被膜の残
膜率などが低下したり、またパターン形状、耐熱性など
に劣ることがあり、一方1×105を超えると、感度が低下
したりパターン形状に劣ることがある。
脂組成物は、現像する際に現像残りを生じることなく、
また膜べりすることなく、容易に所定パターン形状を形
成することができる。
しては、具体的には、例えばメタノール、エタノールな
どのアルコール類;テトラヒドロフランなどのエーテル
類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテ
ル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ
アセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテル
アセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチ
ルエーテルなどのジエチレングリコール類;プロピレン
グリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチ
ルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、
プロピレングリコールブチルエーテルなどのプロピレン
グリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコ
ールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコール
エチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロ
ピルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチル
エーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキ
ルエーテルアセテート類;プロピレングリコールメチル
エーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチル
エーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピ
ルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチ
ルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコール
アルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレンな
どの芳香族炭化水素類;
4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなどのケ
トン類;および酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピ
ル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−
ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキ
シ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸
ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸
ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒド
ロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン
酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−
ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸
メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、
メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢
酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチ
ル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プ
ロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキ
シ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロ
ピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸
メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキ
シプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブ
チル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシ
プロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピ
ル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプ
ロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、
2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロ
ピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3
−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオ
ン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−
エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン
酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エ
トキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン
酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プ
ロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピ
オン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−
ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン
酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチルなどのエ
ステル類が挙げられる。
始剤としては、一般的にラジカル重合開始剤として知ら
れているものが使用でき、例えば2,2’−アゾビスイ
ソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメ
チルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メ
トキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)などのアゾ
化合物;ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキ
シド、t−ブチルペルオキシピバレート、1,1’−ビ
ス−(t−ブチルペルオキシ)シクロヘキサンなどの有
機過酸化物;および過酸化水素が挙げられる。ラジカル
重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、過酸化物
を還元剤とともに用いてレドックス型開始剤としてもよ
い。
[B]としては、例えば、1,2−ベンゾキノンジアジ
ドスルホン酸エステル、1,2−ナフトキノンジアジド
スルホン酸エステル、1,2−ベンゾキノンジアジドス
ルホン酸アミドおよび1,2−ナフトキノンジアジドス
ルホン酸アミド等を挙げることができる。
ヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンアジ
ド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキ
シベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5
−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベン
ゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スル
ホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェ
ノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸
エステル等のトリヒドロキシベンゾフェノンの1,2−
ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル類;2,2’,
4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナ
フトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,
2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,
2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
2,3,4,3’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,
2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
2,3,4,3’−テトラヒロキシベンゾフェノン−1,2
−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,
2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,
2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、
2,3,4,2’−テトラヒドロキシ−4’−メチルベン
ゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スル
ホン酸エステル、2,3,4,2’−テトラヒドロキシ−
4’−メチルベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テ
トラヒドロキシ−3’−メトキシベンゾフェノン−1,
2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
2,3,4,4’−テトラヒドロキシ−3’−メトキシベ
ンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−ス
ルホン酸エステル等のテトラヒドロキシベンゾフェノン
の1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル;
ンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−ス
ルホン酸エステル、2,3,4,2’,6’−ペンタヒドロ
キシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−
5−スルホン酸エステル等のペンタヒドロキシベンゾフ
ェノンの1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エス
テル;2,4,6,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベ
ンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−ス
ルホン酸エステル、2,4,6,3’,4’,5’−ヘキサ
ヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジア
ジド−5−スルホン酸エステル、3,4,5,3’,4’,
5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフ
トキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、3,4,
5,3’,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン
−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エス
テル等のヘキサヒドロキシベンゾフェノンの1,2−ナ
フトキノンジアジドスルホン酸エステル;
タン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
エステル、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタ
ン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,
2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、
ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフ
トキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、トリ(p
−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノン
ジアジド−4−スルホン酸エステル、トリ(p−ヒドロ
キシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド
−5−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒド
ロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジ
ド−4−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒ
ドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジア
ジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−トリ
ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジ
アジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−ト
リヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノン
ジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2−ビス(2,
3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナ
フトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2
−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン
−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エス
テル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒド
ロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナ
フトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,
3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニ
ル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸エステル、
ロキシフェニル〕−1−メチルエチル〕フェニル〕エチ
リデン〕ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジ
ド−4−スルホン酸エステル、4,4’−〔1−〔4−
〔1−〔4−ヒドロキシフェニル〕−1−メチルエチ
ル〕フェニル〕エチリデン〕ビスフェノール−1,2−
ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス
(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−
ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジア
ジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,5−ジメチ
ル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニ
ルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホ
ン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,
1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−
ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−ス
ルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−
1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’
−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−
スルホン酸エステル、2,2,4−トリメチル−7,2’,
4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノン
ジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2,4−トリメ
チル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2
−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル等の
(ポリヒドロキシフェニル)アルカンの1,2−ナフト
キノンジアジドスルホン酸エステルが挙げられる。
ジアジドスルホン酸エステル類のエステル結合をアミド
結合に変更した1,2−ナフトキノンジアジドスルホン
酸アミド類例えば2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェ
ノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸
アミド等も好適に使用される。これらの1,2−キノン
ジアジド化合物は単独でまたは2種類以上を組み合わせ
て用いることができる。
0重量部に対して、好ましくは5〜100重量部、より
好ましくは10〜50重量部である。この割合が5重量
部未満の場合には、放射線の照射によって生成する酸量
が少ないため、放射線の照射部分と未照射部分との現像
液となるアルカリ水溶液に対する溶解度の差が小さく、
パターニングが困難となる。また、エポキシ基の反応に
関与する酸の量が少なくなるため、十分な耐熱性および
耐溶剤性が得られない。一方、この割合が100重量部
を超える場合には、短時間の放射線の照射では、未反応
の[B]成分が多量に残存するため、前記アルカリ水溶
液への不溶化効果が高すぎて現像することが困難とな
る。
組成物においては、上記の[A]成分および[B]成分
の他に、必要に応じて、[C]感熱性酸生成化合物、
[D]少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有
する重合性化合物、[E]エポキシ樹脂、[F]密着助
剤、および[G]界面活性剤を含有させることができ
る。
や硬度を向上させるために用いることができる。その具
体例としては、フッ化アンチモン類が挙げられ、市販品
としては、サンエイドSI−L80、サンエイドSI−
L110、サンエイドSI−L150(以上、三新化学
工業(株)製)等が挙げられる。
100重量部に対して、好ましくは20重量部以下、よ
り好ましくは特に5重量部以下である。この割合が20
重量部を超える場合には、析出物が発生し、パターニン
グが困難となる場合がある。
二重結合を有する重合性化合物としては、例えば単官能
(メタ)アクリレート、2官能(メタ)アクリレートま
たは3官能以上の(メタ)アクリレートを好適に用いる
ことができる。
は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、カルビトール(メタ)アクリレート、イソボロニル
(メタ)アクリレート、3−メトキシブチル(メタ)ア
クリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−
2−ヒドロキシプロピルフタレートなどが挙げられる。
これらの市販品としては、例えばアロニックスM−10
1、同M−111、同M−114(東亜合成(株)製)、
KAYARAD TC−110S、同TC−120S
(日本化薬(株)製)、ビスコート158、同2311
(大阪有機化学工業(株)製)等が挙げられる。
は、例えばエチレングリコール(メタ)アクリレート、
1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,
9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリプロ
ピレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノキ
シエタノールフルオレンジアクリレート、ビスフェノキ
シエタノールフルオレンジアクリレートなどが挙げられ
る。これらの市販品としては、例えばアロニックスM−
210、同M−240、同M−6200(東亜合成(株)
製)、KAYARAD HDDA、同HX−220、同
R−604(日本化薬(株)製)、ビスコート260、同
312、同335HP(大阪有機化学工業(株)製)など
が挙げられる。
しては、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)ア
クリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリ
レート、トリ((メタ)アクリロイロキシエチル)フォ
スフェート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アク
リレートなどが挙げられ、その市販品としては、例えば
アロニックスM−309、同M−400、同M−40
5、同M−450、同M−7100、同M−8030、
同M−8060(東亜合成(株)製)、KAYARAD
TMPTA、同DPHA、同DPCA−20、同DPC
A−30、同DPCA−60、同DPCA−120(日
本化薬(株)製)、ビスコート295、同300、同36
0、同GPT、同3PA、同400(大阪有機化学工業
(株)製)などが挙げられる。これらの単官能、2官能ま
たは3官能以上の(メタ)アクリレートは、単独である
いは組み合わせて用いられる。
100重量部に対して、好ましくは50重量部以下、よ
り好ましくは30重量部以下である。このような割合で
[D]成分を含有させることにより、本発明の感放射線
性樹脂組成物から得られる保護膜または絶縁膜の耐熱性
および表面硬度等を向上させることができる。この割合
が50重量部を超える場合には、共重合体[A]である
アルカリ可溶性樹脂に対する相溶性が不十分となり、塗
布時に膜荒れが生じることがある。
に影響がないかぎり限定されるものではないが、好まし
くはビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂、環状脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルエステル
型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、複
素環式エポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレートを
(共)重合した樹脂等を挙げることができる。これらの
中、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、クレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ
樹脂等が好ましい。
100重量部に対して、好ましくは30重量部以下であ
る。このような割合で[E]成分が含有されることによ
り、本発明の感放射線性樹脂組成物から得られる保護膜
または絶縁膜の耐熱性および表面硬度等をさらに向上さ
せることができる。この割合が30重量部を超える場合
には、共重合体[A]であるアルカリ可溶性樹脂に対す
る相溶性が不十分となり、十分な塗膜形成能が得られな
いことがある。なお、共重合体[A]も「エポキシ樹
脂」といいうるが、アルカリ可溶性を有する点で[E]
成分とは異なる。
使用することができる。その市販品としては、例えばB
M−1000、BM−1100(BM CHEMIE社
製)、メガファックF142D、同F172、同F17
3、同F183(大日本インキ化学工業(株)製)、フロ
ラードFC−135、同FC−170C、同FC−43
0、同FC−431(住友スリーエム(株)製)、サーフ
ロンS−112、同S−113、同S−131、同S−
141、同S−145、同S−382、同SC−10
1、同SC−102、同SC−103、同SC−10
4、同SC−105、同SC−106(旭硝子(株)
製)、エフトップEF301、同303、同352(新
秋田化成(株)製)、SH−28PA、SH−190、
SH−193、SZ−6032、SF−8428、DC
−57、DC−190(東レシリコーン(株)製)など
フッ素系およびシリコーン系界面活性剤が挙げられる。
シエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステ
アリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル
などのポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオ
キシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエ
チレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレ
ンアリールエーテル類;ポリオキシエチレンジラウレー
ト、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキ
シエチレンジアルキルエステル類などのノニオン系界面
活性剤;オルガノシロキサンポリマーKP341(信越
化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系共重合体ポ
リフローNo. 57、95(共栄社化学(株)製)など
を使用することができる。
00重量部に対して、好ましくは5重量部以下、より好
ましくは2重量部以下で用いられる。界面活性剤の量が
5重量部を超える場合は、塗布時の膜あれが生じやすく
なることがある。
[G]接着助剤を使用することもできる。このような接
着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好まし
く使用され、例えばカルボキシル基、メタクリロイル
基、イソシアネート基、エポキシ基などの反応性置換基
を有するシランカップリング剤が挙げられる。具体的に
はトリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプ
ロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラ
ン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプ
ロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピル
トリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘ
キシル)エチルトリメトキシシランなどが挙げられる。
00重量部に対して、好ましくは20重量部以下、より
好ましくは10重量部以下の量で用いられる。接着助剤
の量が20重量部を超える場合は、現像残りが生じやす
くなる場合がある。
共重合体[A]および1,2−キノンジアジド化合物
[B]並びに上記の如き任意的に添加するその他の配合
剤を均一に混合することによって調製される。通常、本
発明の感放射線性樹脂組成物は、適当な溶媒に溶解され
て溶液状態で用いられる。例えば共重合体[A]、1,
2−キノンジアジド[B]および任意的に添加されるそ
の他の配合剤を、所定の割合で混合することにより、溶
液状態の感放射線性樹脂組成物を調製することができ
る。
いられる溶媒としては、共重合体[A]、1,2−キノ
ンジアジド化合物[B]および任意的に配合されるその
他の配合剤の各成分を均一に溶解し、各成分と反応しな
いものが用いられる。
ルなどのアルコール類;テトラヒドロフランなどのエー
テル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチ
レングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエ
ーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソ
ルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエー
テルアセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリ
コールエチルメチルエーテルなどのジエチレングリコー
ル類;プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレ
ングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールプ
ロピルエーテル、プロピレングリコールブチルエーテル
などのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロ
ピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレ
ングリコールプロピルエーテルアセテートプロピレング
リコールブチルエーテルアセテート、などのプロピレン
グリコールアルキルエーテルアセテート類;プロピレン
グリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレン
グリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレン
グリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレ
ングリコールブチルエーテルプロピオネートなどのプロ
ピレングリコールアルキルエーテルアセテート類;トル
エン、キシレンなどの芳香族炭化水素類;メチルエチル
ケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチ
ル−2−ペンタノンなどのケトン類;
ピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチ
ル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒド
ロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ
酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、
乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−
ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピ
オン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、
2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ
酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピ
ル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキ
シ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブ
チル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、
プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブト
キシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プ
ロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン
酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メト
キシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸
ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキ
シプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロ
ピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシ
プロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチ
ル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシ
プロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチ
ル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプ
ロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチ
ル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピ
ル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシ
プロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチ
ル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポ
キシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メ
チル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシ
プロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチ
ルなどのエステル類が挙げられる。
反応性および塗膜の形成のしやすさから、グリコールエ
ーテル類、エチレングリコールアルキルエーテルアセテ
ート類、エステル類およびジエチレングリコール類が好
ましく用いられる。
することもできる。併用できる高沸点溶媒としては、例
えばN−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルム
アミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセト
アミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピ
ロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエー
テル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソ
ホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、
1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、
安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチ
ル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレ
ン、フェニルセロソルブアセテートなどが挙げられる。
は、孔径0.2μm程度のミリポアフィルタなどを用い
て濾過した後、使用に供することもできる。
層間絶縁膜、マイクロレンズを形成する方法について述
べる。 (1)調製した組成物溶液を基板表面に塗布し、プリベ
ークを行うことにより溶剤を除去して感放射線性樹脂組
成物の塗膜を形成する。 (2)形成された塗膜に所定のパターンのマスクを介し
て、放射線を照射した後、現像液を用いて現像処理して
放射線の照射部分を除去することによりパターニングを
行う。 (3)必要に応じて、さらに放射線を照射した後、ポス
トベークを行い、目的の層間絶縁膜、またはマイクロレ
ンズに対応するパターン状薄膜を得る。
塗布方法としては、特に限定されず、例えばスプレー
法、ロールコート法、回転塗布法、バー塗布法等の各種
の方法を採用することができる。プリベークの条件とし
ては、各成分の種類、使用割合等によっても異なるが、
通常60〜110℃で30秒間〜15分間程度である。
上記(2)の工程において用いられる放射線としては、
例えばg線(波長436nm)、i線(波長365n
m)等の紫外線、KrFエキシマレーザー等の遠紫外
線、シンクロトロン放射線等のX線、電子線等の荷電粒
子線が挙げられ、これらの中では、g線およびi線が好
ましいものとして挙げられる。現像処理に用いられる現
像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭
酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウ
ム、アンモニア、エチルアミン、n−プロピルアミン、
ジエチルアミン、ジエチルアミノエタノール、ジ−n−
プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルア
ミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミ
ン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエ
チルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジ
ン、1,8−ジアザビシクロ〔5,4,0〕−7−ウン
デセン、1,5−ジアザビシクロ〔4,3,0〕−5−
ノナン等のアルカリ類の水溶液を用いることができる。
また、上記のアルカリ類の水溶液にメタノール、エタノ
ール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加した
水溶液、または本発明の組成物を溶解する各種有機溶媒
を現像液として使用することができる。さらに、現像方
法としては、液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法等
を利用することができる。このときの現像時間は、組成
物の組成によって異なるが、通常30〜120秒間で行
われる。なお、従来知られている層間絶縁膜、マイクロ
レンズ用の組成物では、現像マージン(最適現像時間に
対して許容される超過時間)は15秒未満であるが、本
発明の組成物の現像マージンは、好ましくは15秒以上
であり、さらに好ましくは30秒以上でる。
薄膜に対して例えば流水洗浄によるリンス処理を行い、
さらに、高圧水銀灯などによる放射線を全面に照射する
ことにより、当該薄膜中に残存する1,2−キノンジア
ジト化合物の分解処理を行った後、この薄膜を、ホット
プレート、オーブン等の加熱装置により焼成することに
より、当該薄膜の硬化処理を行う。この硬化処理におけ
る焼成温度は、例えば150〜250℃であり、焼成時
間は、例えば5〜90分間(ホットプレート上で焼成を
行う場合には5〜30分間、オーブン中で焼成を行う場
合には30〜90分間)である。このようにして、目的
とする層間絶縁膜、またはマイクロレンズに対応する、
優れたパターン状薄膜を基板の表面上に形成することが
できる。上記のようにして形成された層間絶縁膜、マイ
クロレンズは、後述の実施例から明らかにされるよう
に、密着性、耐熱性、耐溶剤性、および透明性等に優れ
るものである。
らに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定
されるものではない。
ス(2,4−ジメチルバレロニトリル)8重量部、ジエ
チレングリコールエチルメチルエーテル220重量部を
仕込んだ。引き続きスチレン20重量部、メタクリル酸
20重量部、メタクリル酸グリシジル40重量部および
2−ヒドロキシエチルメタクリレート20重量部を仕込
み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温
度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合
体[A−1]を含む重合体溶液を得た。得られた重合体
溶液の固形分濃度は、30.6重量%であった。
量部の代わりに2,3−ジヒドロキシプロピルメタクリ
レート20重量部を用いた以外は同様な操作を行い、共
重合体[A−2]を含む重合体溶液を得た。得られた重
合体溶液の固形分濃度は31.0重量%であった。
ゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)8重量部お
よびジエチレングリコールエチルメチルエーテル220
重量部を仕込んだ。引き続きメタクリル酸20重量部、
メタクリル酸グリシジル40重量部、トリシクロ[5.
2.1.02,6]デカン−8−イル メタクリレート2
0重量部および2,3−ジヒドロキシプロピルメタクリ
レート20重量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに
撹拌を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、この温
度を5時間保持し共重合体[A−3]を含む重合体溶液
を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は31.0重
量%であった。
合体溶液(共重合体[A−1] 100重量部に相当)
と、成分[B]として2,3,4,4‘−テトラヒドロ
キシベンゾフェノン(1モル)と1,2−ナフトキノン
ジアジド−5−スルホン酸クロリド(2モル)との縮合
物(2,3,4,4‘−テトラヒドロキシベンゾフェノ
ン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エ
ステル)30重量部とを混合し、固形分濃度が30重量
%になるようにジエチレングリコールエチルメチルエー
テルに溶解させた後、孔径0.2μmのミリポアフィル
タで濾過して感放射線性樹脂組成物の溶液(S−1)を
調製した。
物(S−1)について、下記のように感放射線性の評価
を行い、さらに(S−1)がら形成されたパターン状薄
膜について耐溶剤性、耐熱性、透明性の評価を行った。
ピンナーを用いて、上記組成物(S−1)を塗布した
後、90℃で5分間ホットプレート上でプレベークして
膜厚3.0μmの塗膜を形成した。得られた塗膜に幅3
μmのパターンを有するパターンマスクを介して水銀ラ
ンプによって所定量の紫外線を照射した。次いでテトラ
メチルアンモニウムヒドロキシド0.3重量%水溶液よ
りなる現像液を用い25℃で90秒現像処理を行った
後、超純水で1分間流水洗浄を行った。このとき、幅3
μmのパターンが現像液に完全に溶解するために必要な
最小紫外線照射量(以下、「パターン形成最小露光量」
という。)を測定した。その結果を表1に示す。パター
ン形成最小露光量が80mJ/cm2未満の場合に感放
射線性は優良、80〜100mJ/cm2の場合には感
放射線性は良好、100mJ/cm2を越える場合、感
放射線性は不良と評価される。
スピンナーを用いて、上記組成物(S−1)を塗布した
後、90℃で2分間ホットプレート上でプレベークして
膜厚3.0μmの塗膜を形成した。得られた塗膜に幅3
μmのパターンを有するパターンマスクを介して水銀ラ
ンプによって80mJ/cm2の紫外線を照射した。次
いでテトラメチルアンモニウムヒドロキシド0.3重量
%水溶液よりなる現像液を用い、25℃で現像処理を行
った後、超純水で1分間流水洗浄を行った。このとき、
最適現像時間、および、最適現像時間からさらに現像を
続けた際に幅3μmのパターンが剥がれるまでの時間
(現像マージン)を測定した。その結果を表1に示す。
剥がれるまでの時間が30秒以上の場合に現像マージン
は優良、15以上30秒未満の場合を現像マージンは良
好、15秒未満の場合現像マージンは不良と評価され
る。
ンナーを用いて、上記組成物(S−1)を塗布した後、
90℃で2分間ホットプレート上でプレベークして膜厚
3.0μmの塗膜を形成した。得られた塗膜に水銀ラン
プによって積算照射量が300mJ/cm2となるよう
に紫外線を照射し、次いで、このシリコン基板をクリー
ンオーブン内で220℃で1時間焼成することにより、
塗膜の硬化処理を行い、得られた硬化膜の膜厚(T1)
を測定した。そして、この硬化膜が形成されたシリコン
基板を70℃に温度制御されたジメチルスルホキシド中
に20分間浸漬させた後、当該硬化膜の膜厚(t1)を
測定し、浸漬による膜厚変化率{(t1−T1)/T
1}×100〔%〕を算出した。この値の絶対値が5%
未満の場合に耐溶剤性は優良、5〜10%の場合に耐溶
剤性は良好、10%を越える場合、耐溶剤性は不良とい
える。結果を表1に示す。
同様にして硬化膜を形成し、得られた硬化膜の膜厚(T
2)を測定した。次いで、この硬化膜基板をクリーンオ
ーブン内で240℃で1時間追加ベークした後、当該硬
化膜の膜厚(t2)を測定し、追加ベークによる膜厚変
化率{(t2−T2)/T2}×100〔%〕を算出し
た。この値の絶対値が5%未満の場合耐熱性は優良、5
〜10%の場合耐熱性良好、10%を越える場合を耐熱
性は不良といえる。結果を表1に示す。
おいて、シリコン基板の代わりにガラス基板「コーニン
グ7059(コーニング社製)」を用いたこと以外は同
様にしてガラス基板上に硬化膜を形成した。この硬化膜
を有するガラス基板の光線透過率を分光光度計「150
−20型ダブルビーム((株)日立製作所製)」を用い
て400〜800nmの範囲の波長で測定した。このと
きの最低透過率が90%以上の場合に透明性は優良、8
5%以上で90%未満の場合透明性良好、85%未満で
ある場合透明性は不良と言える。結果を表1に示す。
液の代わりに共重合体[A−2]を含む重合体溶液を使
用した他は、実施例1と同様にして組成物溶液(S−
2)を調製し評価した。結果を表1に示す。
液の代わりに共重合体[A−3]を含む重合体溶液を使
用した他は、実施例1と同様にして組成物溶液(S−
3)を調製し評価した。結果を表1に示す。
(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル−3−フ
ェニル)プロパン(1モル)と1,2−ナフトキノンジ
アジド−5−スルホン酸クロリド(1.9モル)との縮
合物(1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒド
ロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナ
フトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル)を30
重量部用いた他は、実施例1と同様にして組成物溶液
(S−4)を調製し評価した。結果を表1に示す。
感放射線性が得られ、密着性、耐溶剤性、透明性および
耐熱性に優れたマイクロレンズ、層間絶縁膜を容易に形
成することができる。また、本発明の層間絶縁膜は、T
FT型液晶表示素子や集積回路素子に設けられる層間絶
縁膜として好適である。さらに、本発明のマイクロレン
ズは、オンチップカラーフィルターの結像光学系あるい
は光ファイバコネクタの光学系材料として好適である。
Claims (5)
- 【請求項1】 [A](a1)不飽和カルボン酸および
/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基
含有不飽和化合物、(a3)水酸基含有不飽和化合物、
及び(a4)その他のオレフィン系不飽和化合物の共重
合体、並びに[B]1,2−キノンジアジド化合物が含
有されていることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。 - 【請求項2】 請求項1に記載の感放射線性組成物の層
間絶縁膜への使用。 - 【請求項3】 請求項1に記載の感放射線性組成物のマ
イクロレンズへの使用。 - 【請求項4】 請求項1に記載の感放射線性組成物より
形成された層間絶縁膜。 - 【請求項5】 請求項1に記載の感放射線性組成物より
形成されたマイクロレンズ。
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