JP2002258126A - 部品保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学部品等の部品を迅速且つ高精度に位置決
め可能に保持する部品保持装置を提供する。 【解決手段】 微調整レバー１０の揺動中心から偏心し
た位置に設けたカムローラ１３を、粗調整レバー８の揺
動端に軸１１で揺動自在に支持した微調整レバー１２に
当接させており、微調整レバー１０の揺動変位がカムロ
ーラ１３を介して微調整レバー１２に伝達され、さらに
軸１１から偏心して微調整レバー１２に設けられたカム
ローラ１４を介して、部品ステージ４を保持するスライ
ドフレーム３Ａの位置が精密に調整されるとともに、粗
調整レバー８を揺動変位させることによって、カムロー
ラ１３を介してスライドフレーム３Ａの位置が粗く調整
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、種々の機器類にセ
ッティングされる部品のセッティング位置や姿勢を調整
可能にするための装置に関し、特に、レーザを用いた各
測定機器や加工機等におけるレンズやミラー等の光学部
品を保持して精密な焦点や光軸の調整を可能とするため
に好適に用いることができる装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザ光を用いた測定機器や加工
機等には、レンズやプリズム、ミラー等の光学部品が使
用されており、これらの光学部品は、通過するレーザ光
の焦点や光軸を調整できるように、位置調整可能なステ
ージ上に保持されている。

【０００３】光学部品を保持するステージの位置調整を
行う装置には、光軸に対して前後方向に位置調整するも
の、水平面内での傾きを調整するもの、垂直面内での傾
きを調整するもの、あるいは、これらを組み合わせて調
整可能なもの等、様々なものがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のステージの位置
調整を行う装置では、ねじ機構を用いているものが一般
的であり、手動で行うものは、マイクロメータと同様な
バーニャを備えたダイアルを手で回して位置や傾きを調
整しており、また、自動的に行うものは、コンピュータ
制御を容易にするために、ねじ軸をパルスモータ等で回
転させて行っている。

【０００５】しかしながら、このような、ねじ機構を用
いるものでは、高い精度を確保するために、ねじ軸に微
細なピッチのものを用いる必要があり、光学部品の位置
や傾斜角度を大きな範囲で変える場合には、ねじ軸の回
転量が多くなり、光学部品を指定した位置や向きに位置
決めするために時間がかかる問題があった。

【０００６】そこで、本発明は、前述したような従来技
術の問題を解決し、光学部品等の部品を迅速且つ高精度
に位置決め可能に保持する部品保持装置を提供すること
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の部品保持装置は、本体ハウジングと、本体
ハウジングに対してスライド自在に設けられたスライド
フレームと、スライドフレームで保持された部品ステー
ジと、本体ハウジングに対してスライドフレームを位置
決めするスライドフレーム位置決め手段とを有してい
る。

【０００８】前記スライドフレーム位置決め手段は、本
体ハウジングに対して第１の軸を中心に揺動自在に設け
られた粗調整レバーと、本体ハウジングに対して第１の
軸と平行な第２の軸を中心に揺動自在に設けられた第１
の微調整レバーと、粗調整レバーのスライドフレームの
スライド方向に沿って揺動変位する揺動端に対して、第
１の軸と平行な第３の軸回りに揺動自在に設けられた第
２の微調整レバーと、第１の微調整レバーに、第２の軸
から偏心した位置を中心として回転自在に設けられた第
１のカムローラと、第２の微調整レバーに、第３の軸か
ら偏心した位置を中心として回転自在に設けられた第２
のカムローラと、スライドフレームに設けられ、第２の
カムローラに当接するカムローラ当接面と、スライドフ
レームをカムローラ当接面が常時第２のカムローラに当
接する向きに付勢する付勢部材と、粗調整レバーを揺動
変位させる粗調整用アクチュエータと、第１の微調整レ
バーを揺動変位させる微調整用アクチュエータとを備え
ている。

【０００９】また、第１のカムローラは第２の微調整レ
バーに横方向から当接して、第１の微調整レバーの揺動
変位を第２の微調整レバーの第３の軸回りの揺動変位に
変換するように構成されている。

【００１０】また、本発明の部品保持装置においては、
本体ハウジングに粗調整用アクチュエータによって第１
の軸と平行な第４の軸を中心として回動する中継レバー
が設けられ、粗調整レバーには、第１の軸に対して、ス
ライドフレームのスライド方向に沿って揺動変位する揺
動端側と略反対側にカムローラ当接部が突出形成され、
前記カムローラ当接部には、中継レバーに第４の軸の中
心から偏心した位置を中心として回転自在に支持された
第３のカムローラの外周面が当接し、粗調整用アクチュ
エータによる中継レバーの揺動変位を、第３のカムロー
ラを介して粗調整レバーに伝達するように構成されてい
ることが望ましい。

【００１１】また、本発明の部品保持装置においては、
部品ステージの左右両側部分が、スライド方向を平行に
して同一高さに配置された一対のスライドフレームに対
して、上下左右両方向に回動自在に保持されているとと
もに、部品ステージの下方部分が前記一対のスライドフ
レームとスライド方向を平行にして、これらのスライド
フレームの下方に配置されたスライドフレームに対し
て、上下左右両方向に回動自在に保持され、それぞれの
スライドフレームが独立したスライドフレーム位置決め
手段によって個別に位置調整可能に構成されていること
も望ましい。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の部品保持装置は、光学部
品等の部品が取り付けられる部品ステージを、本体ハウ
ジングに対してスライド自在に設けられたスライドフレ
ームに保持し、スライドフレームをスライドフレーム位
置決め手段によって調整・位置決めして部品ステージ上
の部品の位置や姿勢を調整・位置決めするものである。

【００１３】本発明の部品保持装置は、スライド方向を
平行にして同一高さに一対のスライドフレームを配置す
るとともに、これらのスライドフレームの下方にスライ
ド方向を平行にしてさらに一つのスライドフレームを配
置し、部品ステージの左右両側部分と下方部分とをそれ
ぞれのスライドフレームに対して上下左右揺動自在に連
結保持していることが望ましい。

【００１４】この場合、３つのスライドフレームを同量
だけスライド方向に変位することにより、部品ステージ
を、向きは変えずにスライド方向に平行移動させること
ができ、また、それぞれのスライドフレームの変位量を
異ならせることによって、上下・左右両方向の傾きを調
整することができる。

【００１５】なお、部品ステージの傾斜角度を調整する
必要がない場合には、部品ステージは一つのスライドフ
レームのみに固定保持してもよく、この場合スライドフ
レーム位置決め手段も一つのみでよい。

【００１６】また、部品ステージの左右方向または左右
方向の傾きのみを調整する必要がある場合には、部品ス
テージは、同一高さまたは異なる高さにスライド方向を
平行に配置した２つのスライドフレームに連結保持すれ
ばよい。なお、この場合には、スライドフレーム位置決
め手段はスライドフレーム毎に個別に設ける必要があ
る。

【００１７】本発明の部品保持装置では、スライドフレ
ーム位置決め手段は、スライドフレームの位置を粗く調
整・位置決めするための粗調整用アクチュエータと、精
密に調整・位置決めするための微調整用アクチュエータ
を有している。

【００１８】これらのアクチュエータとしては、種々の
モータを使用することが可能であるが特にパルスモータ
が好適であり、パルスモータを使用することによって、
スライドフレームの位置を微調整する場合に、コンピュ
ータによる高精度な部品ステージの位置決め制御が可能
となる。

【００１９】本発明の部品保持装置においては、スライ
ドフレームの位置を調整・位置決めするためのスライド
フレーム位置決め手段は、粗調整用アクチュエータによ
って揺動変位される粗調整レバーと、微調整用アクチュ
エータによって揺動変位される第１の微調整レバーを有
している。

【００２０】粗調整レバーの揺動変位は、スライドフレ
ームにそのまま伝達されてこれを大きく変位させること
ができ、一方、第１の微調整レバーの揺動変位は、偏心
運動を行う第１のカムローラにより縮小されて第２の微
調整レバーに伝達され、ここからさらに、偏心運動を行
う第２のカムローラにより縮小されてスライドフレーム
に伝達されるので、スライドフレームを極めて微小な距
離だけ変位させることができる。

【００２１】なお、粗調整レバーは、粗調整用アクチュ
エータで直接揺動させてもよいが、粗調整レバーと粗調
整用アクチュエータの間に粗調整レバーを連動させる中
継レバーを設け、粗調整用アクチュエータの動きを中継
レバーに揺動変位として伝達し、中継レバーで粗調整レ
バーを揺動変位させることが好ましい。

【００２２】この場合には、中継レバーと粗調整レバー
間のレバー比を高い自由度で変えることができ、スライ
ドフレームの位置を粗調整する際に、容易に最適な移動
量を得ることができる。

【００２３】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１は、本発明の部品保持装置を前方右側から見
た斜視図、図２は、後方左側から見た斜視図、図３は、
前方左側から見た斜視図であって、この実施例における
部品保持装置１は、レーザ機器の光路中に配置される、
レンズ、ミラー、プリズム等の光学部品を保持するため
に使用されるものである。なお、図１と図２において
は、装置内部が見えるように側板を除去して図示してい
る。

【００２４】部品保持装置１は、本体ハウジング２に対
して、前後方向にスライド自在に取り付けられた左右一
対のスライドフレーム３Ａ、３Ｂと、これらのスライド
フレーム３Ａ、３Ｂの下方に同じく前後方向にスライド
自在に取り付けられたもう一つのスライドフレーム３Ｃ
を介して支持されている部品ステージ４を有しており、
前記ステージ４には、図示しないレンズを装着固定でき
るようになっている。なお、このステージ４には、レン
ズの他、反射鏡やプリズム等の光学部品を装着すること
も可能である。

【００２５】スライドフレーム３Ａ、３Ｂ、３Ｃは、そ
れぞれ図示を省略しているリニアガイド機構を介して本
体ハウジング２に対して円滑にスライド変位できるよう
に取り付けられており、また、これらのスライドフレー
ム３Ａ、３Ｂの前端部分には、それぞれ後方に向けて、
略Ｖ字状のエッジ受け部５が設けられている。

【００２６】なお、これら３つのスライドフレーム３
Ａ、３Ｂ、３Ｃは全て同一構造のものが用いられている
が、下方のスライドフレーム３Ｃは、スライドフレーム
３Ａ、３Ｂとは向きを９０度回転させて横倒しに設けら
れており、スライドフレーム３Ｃのエッジ受け部５は、
図では見えない位置にある。

【００２７】これらのエッジ受け部５は、部品ステージ
４の左右両辺と下辺からそれぞれ突出した、図４に示す
ような、ナイフエッジ６の先端に係合して部品ステージ
４を保持している。

【００２８】これらのナイフエッジ６と本体ハウジング
２との間には、図示しない圧縮コイルばねが付勢部材と
して組み込まれていて、それぞれのナイフエッジ６の先
端はこれらの圧縮コイルばねによって、常時対向するエ
ッジ受け部５に押し付けられている。

【００２９】部品ステージ４の前後位置及び上下左右方
向の傾きは、図５に模式的に示すように、スライドフレ
ーム３Ａ、３Ｂ、３Ｃの前後方向の位置を、それぞれの
スライドフレームに対応して独立して機能する３組の、
後述するスライドフレーム位置決め手段によって変位さ
せることで調整される。

【００３０】ここで、例えば、部品ステージ４を前後方
向に平行移動させる場合には、スライドフレーム３Ａ、
３Ｂ、３Ｃを同一の距離だけ前後方向に変位させる。ま
た、水平軸φ回りに回動させる場合、すなわち、部品ス
テージ４の上下方向の傾きを調整する場合には、左右一
対のスライドフレーム３Ａ、３Ｂの位置を固定し、スラ
イドフレーム３Ｃのみを前後方向に変位させて行う。

【００３１】また、部品ステージ４を垂直軸ψ回りに回
動させる場合、すなわち部品ステージ４の左右方向の傾
きを調整する場合には、スライドフレーム３Ｃの位置を
固定してスライドフレーム３Ａとスライドフレーム３Ｂ
を互いに反対方向に変位させて行う。

【００３２】なお、図中に示すａ、ｂ、ｃの各点は、そ
れぞれ前述したスライドフレーム３Ａ、３Ｂ、３Ｃのエ
ッジ受け部５と、これらのエッジ受け部５に係合してい
る部品ステージ４のナイフエッジ６との係合位置を模式
的に示しており、これらの点ａ，ｂ，ｃにおいて、部品
ステージ４は、各スライドフレーム３Ａ、３Ｂ、３Ｃに
対して、上下左右両方向に回動が可能に保持されてい
る。

【００３３】それぞれのスライドフレーム３Ａ、３Ｂ、
３Ｃに対応して設けられているスライドフレーム位置決
め手段は、本体ハウジング２に第１の軸７で揺動自在に
支持された粗調整レバー８、第２の軸９で本体ハウジン
グ２に揺動自在に支持された第１の微調整レバー１０、
粗調整レバー８の上端部に第３の軸１１で揺動自在に支
持された第２の微調整レバー１２、第１の微調整レバー
１０に第２の軸９から偏心して回転自在に支持されてい
る第１のカムローラ１３、粗調整レバー８に第３の軸１
１から偏心して回転自在に支持されている第２のカムロ
ーラ１４、粗調整用アクチュエータとしての粗調整用パ
ルスモータ１５、１６、１７及び、微調整用アクチュエ
ータとしての微調整用パルスモータ１８、１９、２０を
備えている。

【００３４】これらの粗調整用パルスモータ１５、１
６、１７と、微調整用パルスモータ１８、１９、２０
は、全て同じものであり、これらの回転軸はねじ軸で構
成され、それぞれのモータの本体側に形成されている図
示しない雌ねじに螺合しており、回転方向に応じてこれ
らのねじ軸が軸方向に進退変位する構造になっている。

【００３５】また、この実施例におけるスライドフレー
ム位置決め手段においては、本体ハウジング２に第４の
軸２１で揺動自在に支持された中継レバー２２を有して
いる。前記中継レバー２２には、第４の軸２１から偏心
した位置を中心として回転自在に第３のカムローラ２３
が設けられている。

【００３６】一方、粗調整レバー８の第１の軸７に対し
て第２のカムローラ１４が設けられている揺動端側と略
反対側にカムローラ当接部８Ａが突出形成され、ここに
第３のカムローラ２３が当接される構造になっている。

【００３７】前述したスライドフレーム位置決め手段
は、各スライドフレーム３Ａ、３Ｂ、３Ｃ全てに対して
同一構造になっているので、ここでは、スライドフレー
ム３Ａを本体ハウジング２に対して後退方向に移動調整
する場合について、図６を参照して説明する。

【００３８】スライドフレーム３Ａの移動調整は、スラ
イドフレーム３Ａの位置の粗調整から行い、先ず粗調整
用パルスモータ１５を正方向に回転駆動すると、ねじ軸
Ｓの先端は回転しながら前進し、中継レバー２２の下端
側面を押して、これを第４の軸２１を中心に反時計回り
に揺動させる。なお、ねじ軸Ｓの先端には、中継レバー
２２の下端側面との摩擦抵抗を低減するために、鋼球が
取り付けられている。

【００３９】そうすると、中継レバー２２に第４の軸２
１から偏心して設けられている第３のカムローラ２３は
粗調整レバー８に形成されているカムローラ当接部８Ａ
を押して、粗調整レバー８を第１の軸７を中心に時計回
りに揺動させる。

【００４０】その結果、第２のカムローラ１４が設けら
れている粗調整レバー８の上端側は、スライドフレーム
３Ａの後退方向に変位する。第２のカムローラ１４の外
周面には、スライドフレーム３Ａの後端部から下方に突
出しているカムローラ受け部２４に形成されているカム
ローラ当接面２４Ａが、スライドフレーム３Ａに作用す
る前述した図示しない圧縮コイルばねの付勢力によって
押し当てられている。

【００４１】したがって、粗調整レバー８の上端が後方
に揺動変位すると、第２のカムローラ２４の外周面は、
前記圧縮コイルばねの付勢力に抗してスライドフレーム
３Ａを後退方向に変位させる。

【００４２】この際、第２のカムローラ２４の中心位置
が第３の軸１１から上方に偏心しているために、第２の
微調整レバー１２は、第２のカムローラ２４にカムロー
ラ当接面２４Ａから作用する反力によって第３の軸１１
を中心とした反時計回りのモーメントを受ける。

【００４３】このモーメントは、第２の微調整レバー１
２に当接している第１のカムローラ１３の外周面で受け
止められ、第２の微調整レバー１２の前記モーメントに
よる揺動は阻止される。

【００４４】また、第１のカムローラ１３は、第２の微
調整レバー１２が粗調整レバー８の揺動に伴って前方へ
変位する際に、回転してこれを円滑に支持するガイドの
役割を果たしている。

【００４５】このようにしてスライドフレーム３Ａの位
置の粗調整を行った後、微調整用パルスモータ１８を駆
動してそのねじ軸Ｓの先端を前進させ、第１の微調整レ
バー１０を第２の軸９を中心に反時計回りに揺動変位さ
せる。

【００４６】その結果、第２の軸９から回転中心が偏心
している第１のカムローラ１３は、微小な距離だけ第２
の微調整レバー１２を押し上げてこれを第３の軸１１を
中心として時計方向に僅かに揺動させる。

【００４７】そうすると、第２の微調整レバー１２に設
けられている第２のカムローラ１４の位置が僅かに後方
に変位するので、スライドフレーム３Ａのカムローラ受
け部２４に形成されているカムローラ当接面２４Ａは、
第２のカムローラ１４によって後方に押されてスライド
フレーム３Ａは微小な距離だけ後退変位する。

【００４８】なお、スライドフレーム３Ａを前進方向へ
粗動または微動させる場合には、粗調整用パルスモータ
１５または微調整用パルスモータ１８を逆方向に駆動す
ればよい。この際、スライドフレーム３Ａを前方に押す
ように作用している図示しない圧縮スプリングの付勢力
は、第２のカムローラ１４を介して、粗調整レバー８に
第１の軸７を中心とした反時計回りの復元モーメントを
与え、さらに、中継レバー２２に第４の軸２１を中心と
した時計回りの復元モーメントを副次的に発生させてい
る。

【００４９】そのため、粗調整用パルスモータ１５を逆
方向に駆動すると、粗調整レバー８と中継レバー２２は
これらの復元モーメントの向きに揺動変位してスライド
フレーム３Ａは前進する。

【００５０】一方、前記圧縮スプリングの付勢力は、第
２のカムローラ１４を介して、第２の微調整レバー１２
に第３の軸１１を中心とした反時計回りの復元モーメン
トを与え、この復元モーメントは副次的に、第１の微調
整レバー１０に第２の軸９を中心とした時計回りの復元
モーメントを発生させている。

【００５１】その結果、微調整用パルスモータ１８を逆
方向に駆動した場合には、第１の微調整レバー１０と第
２の微調整レバー１２は、これらの復元モーメントの向
きに揺動変位してスライドフレーム３Ａは前進する。

【００５２】スライドフレーム３Ａの変位は、エッジ受
け部５とナイフエッジ６を介して部品ステージ４に伝達
される。スライドフレーム３Ｂ、スライドフレーム３Ｃ
についても同様な位置調整が行われて、部品ステージ４
の位置決めを前後位置と上下左右の傾斜角度について高
精度に行うことができる。

【００５３】なお、本実施例においては、それぞれの粗
調整用パルスモータ１５、１６、１７に入力される１パ
ルス当たりのスライドフレーム３Ａ、３Ｂ、３Ｃの移動
距離は、それぞれ８μｍで、粗調整時の移動ストローク
は、２．４ｍｍ（中央位置から前後両側に１５０パルス
分）である。

【００５４】また、微調整用パルスモータ１８、１９、
２０に入力される１パルス当たりのスライドフレーム３
Ａ、３Ｂ、３Ｃの移動距離は、それぞれ０．０５μｍで
あって、微調整時の移動ストロークは、０．１５ｍｍ
（中央位置から前後両側に１５０パルス分）である。

【００５５】また、粗調整用パルスモータ１５や微調整
用パルスモータ１８の逆方向駆動時において、動作を確
実に行うために、粗調整レバー８や第１の微調整レバー
１０等に、復元モーメントを付与する個別の巻ばね等の
付勢部材を用いてもよい。また、第１のカムローラ１
３、第２のカムローラ１４、及び、第３のカムローラ２
３には、ボールベアリングやローラベアリングをそのま
ま利用してもよい。

【００５６】

【発明の効果】以上に説明したように、請求項１記載の
発明によれば、部品ステージを保持しているスライドフ
レームの位置決めを、粗調整用アクチュエータと微調整
用アクチュエータを組み合わせて行うため、迅速且つ精
密な位置決めを行うことができる。

【００５７】また、特に、第１の微調整レバーと第２の
微調整レバーを２段に用いて、微調整用アクチュエータ
の動きを縮小してスライドフレームに伝達しているた
め、非常に微細な調整・位置決めを容易に行うことがで
きる。

【００５８】また、請求項２記載の発明によれば、粗調
整用アクチュエータの動きを中継レバーを介して粗調整
レバーに伝達しているので、中継レバーと粗調整レバー
の長さの比率や本体ハウジングへの軸支位置を変えるだ
けで、使用目的に適合した微調整用アクチュエータによ
るスライドフレームの変位と、粗調整用アクチュエータ
によるスライドフレームの変位と比率を容易に得ること
ができる。

【００５９】また、請求項３記載の発明によれば、部品
ステージを左右一対のスライドフレームと下方のスライ
ドフレームに連結して支持しているため、これらのスラ
イドフレームの位置を個別に調整することで、部品ステ
ージの前後位置並びに、上下左右両方向に対する傾斜角
を迅速且つ高精度に調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の部品保持装置を前方右側から見た斜
視図である。

【図２】 本発明の部品保持装置を後方左側から見た斜
視図である。

【図３】 本発明の部品保持装置を前方左側から見た斜
視図である。

【図４】 本発明の部品保持装置の構成部分の一部を示
す斜視図である。

【図５】 本発明の部品保持装置における部品ステージ
とスライドフレームの連結構造を模式的に示す図であ
る。

【図６】 本発明の部品保持装置の構成部分の一部を示
す側面図である。

【符号の説明】

１ 部品保持装置、 ２ 本体ハウジング、３Ａ、
３Ｂ、３Ｃ スライドフレーム、 ４ 部品ステー
ジ、５ エッジ受け部、 ６ ナイフエッジ、 ７
第１の軸、８ 粗調整レバー、 ８Ａ カムロ
ーラ当接部、 ９ 第２の軸、１０ 第１の微調整
レバー、 １１ 第３の軸、１２ 第２の微調整レ
バー、 １３ 第１のカムローラ、１４ 第２のカ
ムローラ、 １５、１６、１７ 粗調整用パルスモー
タ、１８、１９、２０ 微調整用パルスモータ、 ２
１ 第４の軸、２２ 中継レバー、 ２３ 第３
のカムローラ、２４ カムローラ受け部、 ２４Ａ
カムローラ当接面。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F078 CA00 CB02 CB10 CB12 CC04 CC11 2H043 AB02 AB06 AB08 AB09 AB10 AB27

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体ハウジングと、 本体ハウジングに対してスライド自在に設けられたスラ
   イドフレームと、 スライドフレームで保持された部品ステージと、 本体ハウジングに対してスライドフレームを位置決めす
   るスライドフレーム位置決め手段とを有し、 スライドフレーム位置決め手段は、本体ハウジングに対
   して第１の軸を中心に揺動自在に設けられた粗調整レバ
   ーと、 本体ハウジングに対して第１の軸と平行な第２の軸を中
   心に揺動自在に設けられた第１の微調整レバーと、 粗調整レバーのスライドフレームのスライド方向に沿っ
   て揺動変位する揺動端に対して、第１の軸と平行な第３
   の軸回りに揺動自在に設けられた第２の微調整レバー
   と、 第１の微調整レバーに、第２の軸から偏心した位置を中
   心として回転自在に設けられた第１のカムローラと、 第２の微調整レバーに、第３の軸から偏心した位置を中
   心として回転自在に設けられた第２のカムローラと、 スライドフレームに設けられ、第２のカムローラに当接
   するカムローラ当接面と、 スライドフレームをカムローラ当接面が常時第２のカム
   ローラに当接する向きに付勢する付勢部材と、 粗調整レバーを揺動変位させる粗調整用アクチュエータ
   と、 第１の微調整レバーを揺動変位させる微調整用アクチュ
   エータとを備え、 第１のカムローラは第２の微調整レバーに横方向から当
   接して、第１の微調整レバーの揺動変位を第２の微調整
   レバーの第３の軸回りの揺動変位に変換するように構成
   されていることを特徴とする部品保持装置。
2. 【請求項２】 本体ハウジングには、粗調整用アクチュ
   エータによって第１の軸と平行な第４の軸を中心として
   回動する中継レバーが設けられ、粗調整レバーには、第
   １の軸に対して、スライドフレームのスライド方向に沿
   って揺動変位する揺動端側と略反対側にカムローラ当接
   部が突出形成され、前記カムローラ当接部には、中継レ
   バーに第４の軸の中心から偏心した位置を中心として回
   転自在に支持された第３のカムローラの外周面が当接
   し、粗調整用アクチュエータによる中継レバーの揺動変
   位を、第３のカムローラを介して粗調整レバーに伝達す
   るように構成されていることを特徴とする請求項１記載
   の部品保持装置。
3. 【請求項３】 部品ステージの左右両側部分が、スライ
   ド方向を平行にして同一高さに配置された一対のスライ
   ドフレームに対して、上下左右両方向に回動自在に保持
   されているとともに、部品ステージの下方部分が前記一
   対のスライドフレームとスライド方向を平行にして、こ
   れらのスライドフレームの下方に配置されたスライドフ
   レームに対して、上下左右両方向に回動自在に保持さ
   れ、それぞれのスライドフレームが独立したスライドフ
   レーム位置決め手段によって個別に位置調整可能に構成
   されていることを特徴とする請求項１又は２記載の部品
   保持装置。