JP4752023B2 - 部品保持装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、種々の機器類にセッティングされる部品のセッティング位置や姿勢を調整可能にするための装置に関し、特に、レーザを用いた各測定機器や加工機等におけるレンズやミラー等の光学部品を保持して精密な焦点や光軸の調整を可能とするために好適に用いることができる装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、レーザ光を用いた測定機器や加工機等には、レンズやプリズム、ミラー等の光学部品が使用されており、これらの光学部品は、通過するレーザ光の焦点や光軸を調整できるように、位置調整可能なステージ上に保持されている。
【0003】
光学部品を保持するステージの位置調整を行う装置には、光軸に対して前後方向に位置調整するもの、水平面内での傾きを調整するもの、垂直面内での傾きを調整するもの、あるいは、これらを組み合わせて調整可能なもの等、様々なものがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来のステージの位置調整を行う装置では、ねじ機構を用いているものが一般的であり、手動で行うものは、マイクロメータと同様なバーニャを備えたダイアルを手で回して位置や傾きを調整しており、また、自動的に行うものは、コンピュータ制御を容易にするために、ねじ軸をパルスモータ等で回転させて行っている。
【0005】
しかしながら、このような、ねじ機構を用いるものでは、高い精度を確保するために、ねじ軸に微細なピッチのものを用いる必要があり、光学部品の位置や傾斜角度を大きな範囲で変える場合には、ねじ軸の回転量が多くなり、光学部品を指定した位置や向きに位置決めするために時間がかかる問題があった。
【0006】
そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決し、光学部品等の部品を迅速且つ高精度に位置決め可能に保持する部品保持装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明の部品保持装置は、本体ハウジングと、本体ハウジングに対してスライド自在に設けられたスライドフレームと、スライドフレームで保持された部品ステージと、本体ハウジングに対してスライドフレームを位置決めするスライドフレーム位置決め手段とを有している。
【0008】
前記スライドフレーム位置決め手段は、本体ハウジングに対して第1の軸を中心に揺動自在に設けられた粗調整レバーと、本体ハウジングに対して第1の軸と平行な第2の軸を中心に揺動自在に設けられた第1の微調整レバーと、粗調整レバーのスライドフレームのスライド方向に沿って揺動変位する揺動端に対して、第1の軸と平行な第3の軸回りに揺動自在に設けられた第2の微調整レバーと、第1の微調整レバーに、第2の軸から偏心した位置を中心として回転自在に設けられた第1のカムローラと、第2の微調整レバーに、第3の軸から偏心した位置を中心として回転自在に設けられた第2のカムローラと、スライドフレームに設けられ、第2のカムローラに当接するカムローラ当接面と、スライドフレームをカムローラ当接面が常時第2のカムローラに当接する向きに付勢する付勢部材と、粗調整レバーを揺動変位させる粗調整用アクチュエータと、第1の微調整レバーを揺動変位させる微調整用アクチュエータとを備えている。
【0009】
また、第1のカムローラは第2の微調整レバーにその揺動方向から当接して、第1の微調整レバーの揺動変位を第2の微調整レバーの第3の軸回りの揺動変位に変換するように構成されている。
【0010】
また、本発明の部品保持装置においては、本体ハウジングに粗調整用アクチュエータによって第1の軸と平行な第4の軸を中心として回動する中継レバーが設けられ、粗調整レバーには、第1の軸に対して、スライドフレームのスライド方向に沿って揺動変位する揺動端側と略反対側にカムローラ当接部が突出形成され、前記カムローラ当接部には、中継レバーに第4の軸の中心から偏心した位置を中心として回転自在に支持された第3のカムローラの外周面が当接し、粗調整用アクチュエータによる中継レバーの揺動変位を、第3のカムローラを介して粗調整レバーに伝達するように構成されていることが望ましい。
【0011】
また、本発明の部品保持装置においては、部品ステージの左右両側部分が、スライド方向を平行にして同一高さに配置された一対のスライドフレームに対して、上下左右両方向に回動自在に保持されているとともに、部品ステージの下方部分が前記一対のスライドフレームとスライド方向を平行にして、これらのスライドフレームの下方に配置されたスライドフレームに対して、上下左右両方向に回動自在に保持され、それぞれのスライドフレームが独立したスライドフレーム位置決め手段によって個別に位置調整可能に構成されていることも望ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の部品保持装置は、光学部品等の部品が取り付けられる部品ステージを、本体ハウジングに対してスライド自在に設けられたスライドフレームに保持し、スライドフレームをスライドフレーム位置決め手段によって調整・位置決めして部品ステージ上の部品の位置や姿勢を調整・位置決めするものである。
【0013】
本発明の部品保持装置は、スライド方向を平行にして同一高さに一対のスライドフレームを配置するとともに、これらのスライドフレームの下方にスライド方向を平行にしてさらに一つのスライドフレームを配置し、部品ステージの左右両側部分と下方部分とをそれぞれのスライドフレームに対して上下左右揺動自在に連結保持していることが望ましい。
【0014】
この場合、3つのスライドフレームを同量だけスライド方向に変位することにより、部品ステージを、向きは変えずにスライド方向に平行移動させることができ、また、それぞれのスライドフレームの変位量を異ならせることによって、上下・左右両方向の傾きを調整することができる。
【0015】
なお、部品ステージの傾斜角度を調整する必要がない場合には、部品ステージは一つのスライドフレームのみに固定保持してもよく、この場合スライドフレーム位置決め手段も一つのみでよい。
【0016】
また、部品ステージの左右方向または左右方向の傾きのみを調整する必要がある場合には、部品ステージは、同一高さまたは異なる高さにスライド方向を平行に配置した2つのスライドフレームに連結保持すればよい。なお、この場合には、スライドフレーム位置決め手段はスライドフレーム毎に個別に設ける必要がある。
【0017】
本発明の部品保持装置では、スライドフレーム位置決め手段は、スライドフレームの位置を粗く調整・位置決めするための粗調整用アクチュエータと、精密に調整・位置決めするための微調整用アクチュエータを有している。
【0018】
これらのアクチュエータとしては、種々のモータを使用することが可能であるが特にパルスモータが好適であり、パルスモータを使用することによって、スライドフレームの位置を微調整する場合に、コンピュータによる高精度な部品ステージの位置決め制御が可能となる。
【0019】
本発明の部品保持装置においては、スライドフレームの位置を調整・位置決めするためのスライドフレーム位置決め手段は、粗調整用アクチュエータによって揺動変位される粗調整レバーと、微調整用アクチュエータによって揺動変位される第1の微調整レバーを有している。
【0020】
粗調整レバーの揺動変位は、スライドフレームにそのまま伝達されてこれを大きく変位させることができ、一方、第1の微調整レバーの揺動変位は、偏心運動を行う第1のカムローラにより縮小されて第2の微調整レバーに伝達され、ここからさらに、偏心運動を行う第2のカムローラにより縮小されてスライドフレームに伝達されるので、スライドフレームを極めて微小な距離だけ変位させることができる。
【0021】
なお、粗調整レバーは、粗調整用アクチュエータで直接揺動させてもよいが、粗調整レバーと粗調整用アクチュエータの間に粗調整レバーを連動させる中継レバーを設け、粗調整用アクチュエータの動きを中継レバーに揺動変位として伝達し、中継レバーで粗調整レバーを揺動変位させることが好ましい。
【0022】
この場合には、中継レバーと粗調整レバー間のレバー比を高い自由度で変えることができ、スライドフレームの位置を粗調整する際に、容易に最適な移動量を得ることができる。
【0023】
【実施例】
以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。図1は、本発明の部品保持装置を前方右側から見た斜視図、図2は、後方左側から見た斜視図、図3は、前方左側から見た斜視図であって、この実施例における部品保持装置1は、レーザ機器の光路中に配置される、レンズ、ミラー、プリズム等の光学部品を保持するために使用されるものである。
なお、図1と図2においては、装置内部が見えるように側板を除去して図示している。
【0024】
部品保持装置1は、本体ハウジング2に対して、前後方向にスライド自在に取り付けられた左右一対のスライドフレーム3A、3Bと、これらのスライドフレーム3A、3Bの下方に同じく前後方向にスライド自在に取り付けられたもう一つのスライドフレーム3Cを介して支持されている部品ステージ4を有しており、前記ステージ4には、図示しないレンズを装着固定できるようになっている。
なお、このステージ4には、レンズの他、反射鏡やプリズム等の光学部品を装着することも可能である。
【0025】
スライドフレーム3A、3B、3Cは、それぞれ図示を省略しているリニアガイド機構を介して本体ハウジング2に対して円滑にスライド変位できるように取り付けられており、また、これらのスライドフレーム3A、3Bの前端部分には、それぞれ後方に向けて、略V字状のエッジ受け部5が設けられている。
【0026】
なお、これら3つのスライドフレーム3A、3B、3Cは全て同一構造のものが用いられているが、下方のスライドフレーム3Cは、スライドフレーム3A、3Bとは向きを90度回転させて横倒しに設けられており、スライドフレーム3Cのエッジ受け部5は、図では見えない位置にある。
【0027】
これらのエッジ受け部5は、部品ステージ4の左右両辺と下辺からそれぞれ突出した、図4に示すような、ナイフエッジ6の先端に係合して部品ステージ4を保持している。
【0028】
これらのナイフエッジ6と本体ハウジング2との間には、図示しない圧縮コイルばねが付勢部材として組み込まれていて、それぞれのナイフエッジ6の先端はこれらの圧縮コイルばねによって、常時対向するエッジ受け部5に押し付けられている。
【0029】
部品ステージ4の前後位置及び上下左右方向の傾きは、図5に模式的に示すように、スライドフレーム3A、3B、3Cの前後方向の位置を、それぞれのスライドフレームに対応して独立して機能する3組の、後述するスライドフレーム位置決め手段によって変位させることで調整される。
【0030】
ここで、例えば、部品ステージ4を前後方向に平行移動させる場合には、スライドフレーム3A、3B、3Cを同一の距離だけ前後方向に変位させる。
また、水平軸φ回りに回動させる場合、すなわち、部品ステージ4の上下方向の傾きを調整する場合には、左右一対のスライドフレーム3A、3Bの位置を固定し、スライドフレーム3Cのみを前後方向に変位させて行う。
【0031】
また、部品ステージ4を垂直軸ψ回りに回動させる場合、すなわち部品ステージ4の左右方向の傾きを調整する場合には、スライドフレーム3Cの位置を固定してスライドフレーム3Aとスライドフレーム3Bを互いに反対方向に変位させて行う。
【0032】
なお、図中に示すa、b、cの各点は、それぞれ前述したスライドフレーム3A、3B、3Cのエッジ受け部5と、これらのエッジ受け部5に係合している部品ステージ4のナイフエッジ6との係合位置を模式的に示しており、これらの点a,b,cにおいて、部品ステージ4は、各スライドフレーム3A、3B、3Cに対して、上下左右両方向に回動が可能に保持されている。
【0033】
それぞれのスライドフレーム3A、3B、3Cに対応して設けられているスライドフレーム位置決め手段は、本体ハウジング2に第1の軸7で揺動自在に支持された粗調整レバー8、第2の軸9で本体ハウジング2に揺動自在に支持された第1の微調整レバー10、粗調整レバー8の上端部に第3の軸11で揺動自在に支持された第2の微調整レバー12、第1の微調整レバー10に第2の軸9から偏心して回転自在に支持されている第1のカムローラ13、粗調整レバー8に第3の軸11から偏心して回転自在に支持されている第2のカムローラ14、粗調整用アクチュエータとしての粗調整用パルスモータ15、16、17及び、微調整用アクチュエータとしての微調整用パルスモータ18、19、20を備えている。
【0034】
これらの粗調整用パルスモータ15、16、17と、微調整用パルスモータ18、19、20は、全て同じものであり、これらの回転軸はねじ軸で構成され、それぞれのモータの本体側に形成されている図示しない雌ねじに螺合しており、回転方向に応じてこれらのねじ軸が軸方向に進退変位する構造になっている。
【0035】
また、この実施例におけるスライドフレーム位置決め手段においては、本体ハウジング2に第4の軸21で揺動自在に支持された中継レバー22を有している。
前記中継レバー22には、第4の軸21から偏心した位置を中心として回転自在に第3のカムローラ23が設けられている。
【0036】
一方、粗調整レバー8の第1の軸7に対して第2のカムローラ14が設けられている揺動端側と略反対側にカムローラ当接部8Aが突出形成され、ここに第3のカムローラ23が当接される構造になっている。
【0037】
前述したスライドフレーム位置決め手段は、各スライドフレーム3A、3B、3C全てに対して同一構造になっているので、ここでは、スライドフレーム3Aを本体ハウジング2に対して後退方向に移動調整する場合について、図6を参照して説明する。
【0038】
スライドフレーム3Aの移動調整は、スライドフレーム3Aの位置の粗調整から行い、先ず粗調整用パルスモータ15を正方向に回転駆動すると、ねじ軸Sの先端は回転しながら前進し、中継レバー22の下端側面を押して、これを第4の軸21を中心に反時計回りに揺動させる。
なお、ねじ軸Sの先端には、中継レバー22の下端側面との摩擦抵抗を低減するために、鋼球が取り付けられている。
【0039】
そうすると、中継レバー22に第4の軸21から偏心して設けられている第3のカムローラ23は粗調整レバー8に形成されているカムローラ当接部8Aを押して、粗調整レバー8を第1の軸7を中心に時計回りに揺動させる。
【0040】
その結果、第2のカムローラ14が設けられている粗調整レバー8の上端側は、スライドフレーム3Aの後退方向に変位する。第2のカムローラ14の外周面には、スライドフレーム3Aの後端部から下方に突出しているカムローラ受け部24に形成されているカムローラ当接面24Aが、スライドフレーム3Aに作用する前述した図示しない圧縮コイルばねの付勢力によって押し当てられている。
【0041】
したがって、粗調整レバー8の上端が後方に揺動変位すると、第2のカムローラ24の外周面は、前記圧縮コイルばねの付勢力に抗してスライドフレーム3Aを後退方向に変位させる。
【0042】
この際、第2のカムローラ24の中心位置が第3の軸11から上方に偏心しているために、第2の微調整レバー12は、第2のカムローラ24にカムローラ当接面24Aから作用する反力によって第3の軸11を中心とした反時計回りのモーメントを受ける。
【0043】
このモーメントは、第2の微調整レバー12に当接している第1のカムローラ13の外周面で受け止められ、第2の微調整レバー12の前記モーメントによる揺動は阻止される。
【0044】
また、第1のカムローラ13は、第2の微調整レバー12が粗調整レバー8の揺動に伴って前方へ変位する際に、回転してこれを円滑に支持するガイドの役割を果たしている。
【0045】
このようにしてスライドフレーム3Aの位置の粗調整を行った後、微調整用パルスモータ18を駆動してそのねじ軸Sの先端を前進させ、第1の微調整レバー10を第2の軸9を中心に反時計回りに揺動変位させる。
【0046】
その結果、第2の軸9から回転中心が偏心している第1のカムローラ13は、微小な距離だけ第2の微調整レバー12を押し上げてこれを第3の軸11を中心として時計方向に僅かに揺動させる。
【0047】
そうすると、第2の微調整レバー12に設けられている第2のカムローラ14の位置が僅かに後方に変位するので、スライドフレーム3Aのカムローラ受け部24に形成されているカムローラ当接面24Aは、第2のカムローラ14によって後方に押されてスライドフレーム3Aは微小な距離だけ後退変位する。
【0048】
なお、スライドフレーム3Aを前進方向へ粗動または微動させる場合には、粗調整用パルスモータ15または微調整用パルスモータ18を逆方向に駆動すればよい。
この際、スライドフレーム3Aを前方に押すように作用している図示しない圧縮スプリングの付勢力は、第2のカムローラ14を介して、粗調整レバー8に第1の軸7を中心とした反時計回りの復元モーメントを与え、さらに、中継レバー22に第4の軸21を中心とした時計回りの復元モーメントを副次的に発生させている。
【0049】
そのため、粗調整用パルスモータ15を逆方向に駆動すると、粗調整レバー8と中継レバー22はこれらの復元モーメントの向きに揺動変位してスライドフレーム3Aは前進する。
【0050】
一方、前記圧縮スプリングの付勢力は、第2のカムローラ14を介して、第2の微調整レバー12に第3の軸11を中心とした反時計回りの復元モーメントを与え、この復元モーメントは副次的に、第1の微調整レバー10に第2の軸9を中心とした時計回りの復元モーメントを発生させている。
【0051】
その結果、微調整用パルスモータ18を逆方向に駆動した場合には、第1の微調整レバー10と第2の微調整レバー12は、これらの復元モーメントの向きに揺動変位してスライドフレーム3Aは前進する。
【0052】
スライドフレーム3Aの変位は、エッジ受け部5とナイフエッジ6を介して部品ステージ4に伝達される。スライドフレーム3B、スライドフレーム3Cについても同様な位置調整が行われて、部品ステージ4の位置決めを前後位置と上下左右の傾斜角度について高精度に行うことができる。
【0053】
なお、本実施例においては、それぞれの粗調整用パルスモータ15、16、17に入力される1パルス当たりのスライドフレーム3A、3B、3Cの移動距離は、それぞれ8μmで、粗調整時の移動ストロークは、2.4mm(中央位置から前後両側に150パルス分)である。
【0054】
また、微調整用パルスモータ18、19、20に入力される1パルス当たりのスライドフレーム3A、3B、3Cの移動距離は、それぞれ0.05μmであって、微調整時の移動ストロークは、0.15mm(中央位置から前後両側に150パルス分)である。
【0055】
また、粗調整用パルスモータ15や微調整用パルスモータ18の逆方向駆動時において、動作を確実に行うために、粗調整レバー8や第1の微調整レバー10等に、復元モーメントを付与する個別の巻ばね等の付勢部材を用いてもよい。
また、第1のカムローラ13、第2のカムローラ14、及び、第3のカムローラ23には、ボールベアリングやローラベアリングをそのまま利用してもよい。
【0056】
【発明の効果】
以上に説明したように、請求項1記載の発明によれば、部品ステージを保持しているスライドフレームの位置決めを、粗調整用アクチュエータと微調整用アクチュエータを組み合わせて行うため、迅速且つ精密な位置決めを行うことができる。
【0057】
また、特に、第1の微調整レバーと第2の微調整レバーを2段に用いて、微調整用アクチュエータの動きを縮小してスライドフレームに伝達しているため、非常に微細な調整・位置決めを容易に行うことができる。
【0058】
また、請求項2記載の発明によれば、粗調整用アクチュエータの動きを中継レバーを介して粗調整レバーに伝達しているので、中継レバーと粗調整レバーの長さの比率や本体ハウジングへの軸支位置を変えるだけで、使用目的に適合した微調整用アクチュエータによるスライドフレームの変位と、粗調整用アクチュエータによるスライドフレームの変位と比率を容易に得ることができる。
【0059】
また、請求項3記載の発明によれば、部品ステージを左右一対のスライドフレームと下方のスライドフレームに連結して支持しているため、これらのスライドフレームの位置を個別に調整することで、部品ステージの前後位置並びに、上下左右両方向に対する傾斜角を迅速且つ高精度に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の部品保持装置を前方右側から見た斜視図である。
【図2】 本発明の部品保持装置を後方左側から見た斜視図である。
【図3】 本発明の部品保持装置を前方左側から見た斜視図である。
【図4】 本発明の部品保持装置の構成部分の一部を示す斜視図である。
【図5】 本発明の部品保持装置における部品ステージとスライドフレームの連結構造を模式的に示す図である。
【図6】 本発明の部品保持装置の構成部分の一部を示す側面図である。
【符号の説明】
1 部品保持装置、 2 本体ハウジング、
3A、3B、3C スライドフレーム、 4 部品ステージ、
5 エッジ受け部、 6 ナイフエッジ、 7 第1の軸、
8 粗調整レバー、 8A カムローラ当接部、 9 第2の軸、
10 第1の微調整レバー、 11 第3の軸、
12 第2の微調整レバー、 13 第1のカムローラ、
14 第2のカムローラ、 15、16、17 粗調整用パルスモータ、
18、19、20 微調整用パルスモータ、 21 第4の軸、
22 中継レバー、 23 第3のカムローラ、
24 カムローラ受け部、 24A カムローラ当接面。
Claims (3)
- 本体ハウジングと、
本体ハウジングに対してスライド自在に設けられたスライドフレームと、
スライドフレームで保持された部品ステージと、
本体ハウジングに対してスライドフレームを位置決めするスライドフレーム位置決め手段とを有し、
スライドフレーム位置決め手段は、本体ハウジングに対して第1の軸を中心に揺動自在に設けられた粗調整レバーと、
本体ハウジングに対して第1の軸と平行な第2の軸を中心に揺動自在に設けられた第1の微調整レバーと、
粗調整レバーのスライドフレームのスライド方向に沿って揺動変位する揺動端に対して、第1の軸と平行な第3の軸回りに揺動自在に設けられた第2の微調整レバーと、
第1の微調整レバーに、第2の軸から偏心した位置を中心として回転自在に設けられた第1のカムローラと、
第2の微調整レバーに、第3の軸から偏心した位置を中心として回転自在に設けられた第2のカムローラと、
スライドフレームに設けられ、第2のカムローラに当接するカムローラ当接面と、
スライドフレームをカムローラ当接面が常時第2のカムローラに当接する向きに付勢する付勢部材と、
粗調整レバーを揺動変位させる粗調整用アクチュエータと、
第1の微調整レバーを揺動変位させる微調整用アクチュエータとを備え、
第1のカムローラは第2の微調整レバーにその揺動方向から当接して、第1の微調整レバーの揺動変位を第2の微調整レバーの第3の軸回りの揺動変位に変換するように構成されていることを特徴とする部品保持装置。 - 本体ハウジングには、粗調整用アクチュエータによって第1の軸と平行な第4の軸を中心として回動する中継レバーが設けられ、粗調整レバーには、第1の軸に対して、スライドフレームのスライド方向に沿って揺動変位する揺動端側と略反対側にカムローラ当接部が突出形成され、前記カムローラ当接部には、中継レバーに第4の軸の中心から偏心した位置を中心として回転自在に支持された第3のカムローラの外周面が当接し、粗調整用アクチュエータによる中継レバーの揺動変位を、第3のカムローラを介して粗調整レバーに伝達するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の部品保持装置。
- 部品ステージの左右両側部分が、スライド方向を平行にして同一高さに配置された一対のスライドフレームに対して、上下左右両方向に回動自在に保持されているとともに、部品ステージの下方部分が前記一対のスライドフレームとスライド方向を平行にして、これらのスライドフレームの下方に配置されたスライドフレームに対して、上下左右両方向に回動自在に保持され、それぞれのスライドフレームが独立したスライドフレーム位置決め手段によって個別に位置調整可能に構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の部品保持装置。
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