JPH0588092A

JPH0588092A - 走査型顕微鏡の光軸調整装置

Info

Publication number: JPH0588092A
Application number: JP27858091A
Authority: JP
Inventors: Takaaki Kojima; 孝明小島; Yoshiaki Shiraishi; 吉昭白石
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1991-09-30
Filing date: 1991-09-30
Publication date: 1993-04-09
Anticipated expiration: 2014-12-13
Also published as: JP2988762B2

Abstract

(57)【要約】【目的】光軸の角度調整や位置調整を簡単にかつ正確
に行える走査型顕微鏡の光軸調整装置を提供すること。【構成】角度調整機構20の各ベース部材22, 23間に配
置されたダイヤル29を回し、ボール30を支点としてベー
ス部材23に対してベース部材22を傾斜させて光軸の角度
調整を行う。また、位置調整機構40の溝52,53 にハンド
ル56を挿入して左右方向に動かし、中間ベース部材44に
対してベース部材42をピン47を中心に動かして光軸の相
対位置調整を行う。調整装置４の側面からの操作で角度
調整および位置調整を行えるため、光軸調整装置４に接
続している走査型レーザ装置および光学顕微鏡の光軸を
簡単にかつ正確に一致させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、走査型顕微鏡の光軸調
整装置に係り、特に光学顕微鏡に走査型レーザ装置を取
付けて構成される走査型顕微鏡において光学顕微鏡と走
査型レーザ装置との光軸を調整して一致させる光軸調整
装置に関する。

【０００２】

【背景技術】近年、高コントラストで高い分解能が得ら
れるととともに、分解能を損なうことなく焦点深度を増
長させることができる等の一般的な光学顕微鏡にない特
徴を有するレーザ光を利用した走査型顕微鏡が利用され
るようになった。この走査型顕微鏡の中で、低コストで
実現できるものとして、光学顕微鏡に走査型レーザ装置
を取付けたものがある。この走査型顕微鏡は、光学顕微
鏡の上端のアダプタに、円筒状のジョイント部材を介し
て走査型レーザ装置を取付けたものである。

【０００３】ところで、このような走査型顕微鏡では、
走査型レーザ装置の光軸と、光学顕微鏡の光軸とを正確
に一致させる必要がある。この光軸を一致させるため
に、従来はジョイント部材を、一方の円筒の端面から挿
通されて他方の円筒に螺合されるねじを用いて連結され
た２つの円筒で構成していた。そして、光軸の傾きを調
整する場合にはねじを緩めて２つの円筒間に適宜スペー
サを配置して一方の円筒に対して他方の円筒を傾けるこ
とで調整していた。また、光軸に直交するＸ−Ｙ軸方向
の位置調整は、前記一方の円筒のねじが挿通される孔を
ばか孔とし、ねじを緩めて一方の円筒に対して他方の円
筒をずらして固定することで調整していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、傾きや位置決めの調整を行うため
に、ねじを緩める必要があり、このねじは光学顕微鏡や
走査型レーザ装置に連結される端面から螺合されている
ので、傾きや位置の調整を行うにはジョイント部材を光
学顕微鏡や走査型レーザ装置から外して行う必要があっ
た。このため、各調整作業が極めて煩雑となるととも
に、ジョイント部材を外して調整するために光軸の正確
な調整が難しいという問題があった。

【０００５】本発明の目的は、光軸の角度調整や位置調
整を簡単にかつ正確に行える走査型顕微鏡の光軸調整装
置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の走査型顕
微鏡の光軸調整装置は、走査型顕微鏡の光学顕微鏡と走
査型レーザ装置との間に介在され、かつ角度調整機構お
よび位置調整機構を備えて構成され、前記角度調整機構
は、走査型レーザ装置側に取付けられた角度調整用レー
ザ側ベース部材と、光学顕微鏡側に取付けられた角度調
整用顕微鏡側ベース部材と、前記各ベース部材の中心軸
から離れて設けられた回動支点部と、側面からの操作に
より前記回動支点部を支点として一方のベース部材を他
方のベース部材に対して傾斜させる傾斜手段と、を備え
て構成され、前記位置調整機構は、走査型レーザ装置側
に取付けられた位置調整用レーザ側ベース部材と、光学
顕微鏡側に取付けられた位置調整用顕微鏡側ベース部材
と、これら各ベース部材間に介在された中間ベース部材
と、前記位置調整用レーザ側ベース部材および中間ベー
ス部材の中心軸から離れて設けられて両ベース部材をそ
の中心軸に直交する方向に回動自在に連結する第１のピ
ンと、この第１のピンから中心軸回りに略９０度離れた
位置に設けられて前記顕微鏡側ベース部材および中間ベ
ース部材をその中心軸に直交する方向に回動自在に連結
する第２のピンと、側面からの操作により中間ベース部
材に対して位置調整用レーザ側ベース部材を第１のピン
を中心に回動させる第１の回動手段と、側面からの操作
により中間ベース部材に対して位置調整用顕微鏡側ベー
ス部材を第２のピンを中心に回動させる第２の回動手段
と、を備えて構成されることを特徴とするものである。

【０００７】また、本発明の第２の光軸調整装置は、前
記第１の光軸調整装置の位置調整機構を、走査型レーザ
装置側に取付けられた位置調整用レーザ側ベース部材
と、光学顕微鏡側に取付けられた位置調整用顕微鏡側ベ
ース部材と、これら両ベース部材を相対移動可能に連結
する連結部材と、前記各ベース部材のいずれか一方のベ
ース部材の中心軸から離れた２か所にそれぞれ回動自在
に設けられかつ偏心部を有する２本の偏心ピンと、前記
他方のベース部材に設けられて前記偏心ピンの偏心部が
それぞれ挿入可能にかつ互いに長手方向が直交するよう
に形成された２つの長孔と、側面からの操作により前記
各偏心ピンをそれぞれ回動させる回動手段と、を備えて
構成したことを特徴とするものである。

【０００８】

【作用】本発明の第１の光軸調整装置においては、角度
調整機構の傾斜手段を側面から操作して角度調整用レー
ザ側ベース部材および顕微鏡側ベース部材を回転支持部
を支点として相対的に傾斜させる。この傾斜角度を傾斜
手段を操作して調整することで各ベース部材の中心軸の
相対角度、つまり走査型レーザ装置の光軸と、光学顕微
鏡の光軸との相対角度が調整されて各光軸を平行に調整
することが可能となる。

【０００９】また、位置調整機構の第１の回動手段を側
面から操作して、中間ベース部材に対して位置調整用レ
ーザ側ベース部材を第１のピンを中心に回動させると、
中間ベース部材の中心軸に対してレーザ側ベース部材の
中心軸が第１のピンを中心とする円周上を移動して位置
が調整される。一方、位置調整機構の第２の回動手段を
側面から操作して、中間ベース部材に対して位置調整用
顕微鏡側ベース部材を第２のピンを中心に回動させる
と、中間ベース部材の中心軸に対して顕微鏡側ベース部
材の中心軸が第２のピンを中心とする円周上を移動して
位置が調整される。ここで、第１のピンと第２のピンと
は、中心軸回りに略９０度直交する位置に設けられてい
るので、各回動手段を操作することで、レーザ側ベース
部材および顕微鏡側ベース部材は中間ベース部材に対し
て互いに直交する方向に回動し、各ベース部材の中心軸
の相対位置は中心軸に直交するＸ−Ｙ軸方向に位置調整
され、つまり走査型レーザ装置および光学顕微鏡の光軸
の相対位置がＸ−Ｙ軸方向に位置調整され、各光軸を一
致する位置に調整することが可能となる。このため、光
軸調整装置を取外すことなく、側面からの操作のみで光
軸の角度調整および位置調整、つまり走査型レーザ装置
および光学顕微鏡の各光軸を一致させる調整を簡単にか
つ正確に行える。

【００１０】一方、本発明の第２の光軸調整装置におい
ては、光軸の角度調整は第１の光軸調整装置と同様の操
作で調整される。また、位置調整機構の２本の偏心ピン
の一方を側面からの操作により回転させると長孔に挿入
された偏心ピンの偏心部が移動し、各ベース部材は長孔
の長手方向に直交する方向に相対移動する。２本の偏心
ピンの各偏心部が挿入される長孔は、その長手方向が互
いに直交するように構成されているので、各偏心ピンを
回動させることで、各ベース部材は互いに直交する２方
向つまりＸ−Ｙ軸方向に位置調整され、これにより各ベ
ース部材の中心軸つまり走査型レーザ装置および光学顕
微鏡の光軸の相対位置がＸ−Ｙ軸方向に位置調整され、
各光軸を一致する位置に調整することが可能となる。こ
のため、本発明の第２の光軸調整装置においても、第１
の光軸調整装置と同様に、光軸調整装置を取外すことな
く、側面からの操作のみで走査型レーザ装置および光学
顕微鏡の各光軸を一致させる調整を簡単にかつ正確に行
える。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の第１実施例を図面に基づいて
説明する。図１には、本実施例の走査型顕微鏡１が示さ
れている。走査型顕微鏡１は、走査型レーザ装置である
レーザカメラ部２と光学顕微鏡３とを連結する光軸調整
装置４を備えている。レーザカメラ部２は、半導体レー
ザ５と、複数のレンズ６と、フィルター７と、偏光ビー
ムスプリッタあるいはハーフミラー８と、スキャナ９
と、フォトダイオード等の光検出器１０とを備えて構成
される。スキャナ９は、Ｘ軸方向に回動されるミラー１
１とＹ軸方向に回動されるミラー１２とで構成されてい
る。

【００１２】光軸調整装置４は、図２に示すように、角
度調整機構２０および位置調整機構４０により構成され
ている。角度調整機構２０は、図３〜５にも示すよう
に、中心に貫通孔２１が形成された略リング状の角度調
整用レーザ側ベース部材２２および角度調整用顕微鏡側
ベース部材２３を備えている。各ベース部材２２，２３
には、連結用の雄ねじ２４が形成されている。

【００１３】レーザ側ベース部材２２には、貫通孔２１
の中心軸２１Ａ回りに略１２０度間隔で３つの孔２５が
形成され、この各孔２５には下端が顕微鏡側ベース部材
２３に螺合されたガイドロッド２６が挿入され、このガ
イドロッド２６およびベース部材２２間には各ベース部
材２２，２３を互いに近接する方向に常時付勢する付勢
手段としての皿ばね２７が設けられている。

【００１４】また、各ベース部材２２，２３間には、中
心軸２１Ａ回りに略１２０度間隔で１つのピン２８およ
び２つのダイヤル２９が設けられている。なお、これら
のピン２８、ダイヤル２９とガイドロッド２６とは中心
軸２１Ａ回りに略６０度ずれて設けられている。

【００１５】ピン２８は下端部が顕微鏡側ベース部材２
３に嵌合固定され、その上端面には円錐状の凹部２８Ａ
が形成されている。この円錐状の凹部２８Ａに対向する
ベース部材２２の面にも円錐状の凹部２２Ａが形成さ
れ、これら凹部２２Ａ，２８Ａ間にはボール３０が設け
られている。

【００１６】ダイヤル２９は、その下端部が顕微鏡側ベ
ース部材２３に螺合され、円板状の上端部の一部が各ベ
ース部材２２，２３の側面から突出する大きさに形成さ
れている。この上端部には、ピン２８と同様に円錐状の
凹部２９Ａが形成され、この凹部２９Ａとベース部材に
形成された凹部２２Ａとの間にもボール３０が設けられ
ている。これら各ベース部材２２，２３間に介在された
ボール３０により本発明の回動支点部が構成され、また
ダイヤル２９により本発明の傾斜手段が構成されてい
る。

【００１７】一方、位置調整機構４０は、図６〜９に示
すように、中心に貫通孔４１が形成された略リング状の
位置調整用レーザ側ベース部材４２、位置調整用顕微鏡
側ベース部材４３および中間ベース部材４４を備えてい
る。ベース部材４２，４３には、連結用の雌ねじ４５が
形成されている。

【００１８】レーザ側ベース部材４２には、貫通孔４１
の中心軸４１Ａ回りに略１２０度間隔で３つの孔４６が
形成され、このうちの１つの孔４６には中間ベース部材
４４まで第１のピン４７が嵌挿され、他の２つの孔４６
には、図７に示すように、中間ベース部材４４に螺合さ
れたねじ４８が設けられている。ねじ４８が挿入された
ベース部材４２の孔４６はねじ４８よりも径の大きな、
いわゆるばか孔とされ、ねじ４８はワッシャ４９を介し
て螺合されている。従って、ベース部材４２，４４はね
じ４８により孔４６の径寸法分だけ第１のピン４７を中
心に回動自在に連結されている。

【００１９】一方、顕微鏡側ベース部材４３には、図
６，９に示すように、ベース部材４２と同様に貫通孔４
１の中心軸４１Ａ回りに略１２０度間隔で３つの孔５０
が形成され、このうちの１つの孔５０には中間ベース部
材４４まで第２のピン５１が嵌挿され、他の２つの孔５
０には、ワッシャ４９を介してねじ４８が螺合されてい
る。この孔５０もばか孔とされ、ベース部材４３，４４
もねじ４８により孔５０の径寸法分だけ第２のピン５１
を中心に回動自在に連結されている。なお、第１のピン
４７および第２のピン５１は、図６に示すように中心軸
回りに略９０度離れた位置に設けられている。

【００２０】また、図８〜１０に示すように、レーザ側
ベース部材４２および中間ベース部材４４のピン４７に
対向する側面には、互いに連通する溝５２，５３が形成
されている。中間ベース部材４４に設けられた溝５３は
ベース部材４２に設けられた溝５２に比べて小さな幅寸
法で形成されている。同様に、顕微鏡側ベース部材４３
および中間ベース部材４４のピン５１に対向する側面に
も、互いに連通する溝５４，５５が形成されており、中
間ベース部材４４に設けられた溝５５はベース部材４３
に設けられた溝５４に比べて小さな幅寸法で形成されて
いる。

【００２１】溝５２，５３あるいは溝５４，５５には、
ハンドル５６が挿入される。ハンドル５６は、溝５２，
５４と略同じ幅寸法で形成された作用点部５６Ａと、小
幅の溝５３，５５に挿入可能な支点部５６Ｂとを備えて
構成されている。これらの溝５２，５３およびハンドル
５６により第１の回動手段が構成され、溝５４，５５お
よびハンドル５６により第２の回動手段が構成される。

【００２２】このような本実施例においては、角度調整
機構２０および位置調整機構４０の雄ねじ２４および雌
ねじ４５を螺合して取付け、角度調整機構２０のレーザ
側ベース部材２２をレーザカメラ部２に取付け、位置調
整機構４０の顕微鏡側ベース部材４３を光学顕微鏡３に
取付けて走査型顕微鏡１を組み立てる。

【００２３】走査型顕微鏡１において、レーザカメラ部
２および光学顕微鏡３の各光軸の角度が異なる場合に
は、角度調整機構２０の各ダイヤル２９を回すと、ダイ
ヤル２９は顕微鏡側ベース部材２３に螺合されているた
め、中心軸２１Ａに沿って上下方向に移動する。このダ
イヤル２９の移動に伴い、レーザ側ベース部材２２はピ
ン２８上のボール３０および他のダイヤル２９上のボー
ル３０を結ぶ軸を支点として顕微鏡側ベース部材２３に
対して傾き、これにより光学顕微鏡３の光軸に対するレ
ーザカメラ部２の光軸の相対角度が調整される。

【００２４】一方、レーザカメラ部２および光学顕微鏡
３の各光軸のＸ−Ｙ軸方向の位置が異なる場合には、位
置調整機構４０の溝５２，５３あるいは溝５４，５５の
一方にハンドル５６を挿入し、このハンドル５６を支点
部５６Ｂを支点として左右に動かすと、ハンドル５６の
作用点部５６Ａにより各ベース部材４２，４３はハンド
ル５６を挿入した溝５２，５３あるいは溝５４，５５に
対向する位置に設けられた第１のピン４７あるいは第２
のピン５１を中心として中間ベース部材４４に対してそ
れぞれ回動する。これにより、各ベース部材４２，４３
の中心軸４１Ａは各ピン４７，５１を中心とする円弧上
を移動する。この際、各ピン４７，５１が中心軸４１Ａ
回りに略９０度離れて設けられているので、各ベース部
材４２，４３は直交する２方向、つまりＸ−Ｙ方向に位
置調整され、光学顕微鏡３の光軸に対するレーザカメラ
部２の光軸の相対位置が調整される。従って、角度調整
機構２０および位置調整機構４０を適宜操作することで
レーザカメラ部２の光軸と光学顕微鏡３の光軸とを一致
させることができる。

【００２５】このような構成の本実施例によれば、レー
ザカメラ部２および光学顕微鏡３の各光軸を一致させる
ための光軸の角度調整および位置調整をそれぞれ角度調
整機構２０および位置調整機構４０の側面からの操作で
行うことができる。このため、角度調整機構２０および
位置調整機構４０からなる光軸調整装置４をレーザカメ
ラ部２や光学顕微鏡３に取付けた状態で操作することが
でき、極めて簡単にかつ正確に光軸調整を行うことがで
きる。

【００２６】また、角度調整および位置調整をそれぞれ
別々の角度調整機構２０および位置調整機構４０により
行っているので、各機構２０，４０の構成を簡易にでき
て組立やメンテナンスを容易に行うことができる。

【００２７】さらに、角度調整機構２０の傾斜手段であ
るダイヤル２９とピン２８とを中心軸２１Ａ回りに略１
２０度間隔で設けるとともに、各ダイヤル２９およびピ
ン２８上に回動支点部となるボール３０を配置したの
で、２つのダイヤル２９を適宜操作することで各ベース
部材２２，２３の相対角度を自由に調整でき、レーザカ
メラ部２および光学顕微鏡３の光軸の角度を確実に一致
させることができる。また、回動支点部としてボール３
０を用いているので、ダイヤル２９を操作してベース部
材２２に対してベース部材２３を傾斜させる際の摩擦等
の抵抗を小さくでき、ダイヤル２９に必要以上の力が加
わることもなくて円滑に操作することができ、このため
微小な角度調整も行えて光軸の角度を正確に一致させる
ことができる。

【００２８】さらに、傾斜手段としてダイヤル２９を用
いているので、極めて簡単に操作することができる。ま
た、ガイドロッド２６部分に皿ばね２７を介在させてい
るので、ダイヤル２０の上下動に合わせて各ベース部材
２２，２３を即座にかつ確実に傾斜させることができ
る。

【００２９】また、位置調整機構４０をレーザ側ベース
部材４２、顕微鏡側ベース部材４３、中間ベース部材４
４の３つの部材から構成し、第１および第２のピン４
７，５１や第１および第２の回動手段を設けたので、中
間ベース部材４４に対するベース部材４２およびベース
部材４３の位置調整を別々に行うことができる。このた
め、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の位置調整を第１あるいは
第２の回動手段を操作することで別々に行うこともで
き、光軸の位置調整をより簡単にかつ正確に行うことが
できる。

【００３０】さらに、位置調整機構４０ではハンドル５
６を用いて操作しているので、調整後にハンドル５６を
外してしまえば、走査型顕微鏡１の使用時に位置調整が
ずれることがない。また、ハンドル５６はいわゆるてこ
の原理を利用して各ベース部材４２，４３を回動させて
おり、小さな力で操作できるとともに、作用点部５６Ａ
および支点部５６Ｂ間の長さに比べて力点部となるハン
ドル５６の把手部分から支点部５６Ｂまでが長くされて
いるので、ベース部材４２，４３の中間ベース部材４４
に対する移動量を微小に制御できて正確に位置調整する
ことができる。

【００３１】次に、本発明の第２実施例について図１１
〜１５を参照して説明する。なお、前記第１実施例と同
様の構成部分には同一符号を付し、説明を省略あるいは
簡略する。本実施例は、前記実施例の光軸調整装置４の
位置調整機構４０の代わりに構成の異なる別の位置調整
機構６０を用いたものである。また、図１１に示すよう
に、光軸調整装置４部分に、光路切換え用のミラー８０
を設け、ＣＣＤカメラ８１を用いてモニタにより走査画
像を観察できるようにしている。

【００３２】本実施例の光軸調整装置４は、図１２に示
すように、第１実施例と同じ角度調整機構２０と、第１
実施例の位置調整機構４０とは構成の異なる位置調整機
構６０からなっている。位置調整機構６０は、図１３〜
１５に示すように、中心に貫通孔６１が形成された略リ
ング状の位置調整用レーザ側ベース部材６２と、位置調
整用顕微鏡側ベース部材６３とを備えている。ベース部
材６２には、角度調整機構２０との連結用の雌ねじ６４
が形成されている。

【００３３】レーザ側ベース部材６２には、その中心軸
６１Ａ回りに略１２０度間隔で３つの孔６５が形成さ
れ、これら各孔６５には、図１４に示すように顕微鏡側
ベース部材６３に螺合されたねじ６６が設けられてい
る。ねじ６６が設けられた各孔６５は、ねじ６６の径よ
りも大きな、いわゆるばか孔とされ、ねじ６６はワッシ
ャ６７を介して螺合されている。従って、ベース部材６
２，６３は、ねじ６６により孔６５の径寸法分だけ相対
移動可能に連結され、このねじ６６により本発明の連結
部材が構成されている。

【００３４】一方、顕微鏡側ベース部材６３には、中心
軸を挟んで対向する位置に偏心ピン６８，６９が回動自
在に挿入されている。偏心ピン６８，６９の上端には偏
心部６８Ａ，６９Ａがそれぞれ設けられ、この偏心部６
８Ａ，６９Ａはレーザ側ベース部材６２に設けられた長
孔７０，７１内にそれぞれ配置されている。

【００３５】レーザ側ベース部材６２の長孔７０，７１
は、中心軸６１Ａを挟んで対向する位置に設けられ、偏
心部６８Ａ，６９Ａが配置可能な幅寸法で形成されると
ともに、長孔７０，７１の長手方向が互いに直交するよ
うに設けられている。また、偏心ピン６８，６９の高さ
方向中間には、互いに直交する２つの貫通孔７２Ａ，７
２Ｂが中心軸６１Ａに直交する方向にそれぞれ形成され
ている。

【００３６】顕微鏡側ベース部材６３の側面には、貫通
孔７２Ａ，７２Ｂが露出するように溝７３が設けられ、
この溝７３から貫通孔７２Ａ，７２Ｂにハンドル７４の
先端を差し込んで、中心軸６１の直交方向に移動させる
ことで偏心ピン６８，６９が回動されるように構成され
ている。従って、これら貫通孔７２Ａ，７２Ｂ、溝７３
およびハンドル７５により本発明の回動手段が構成され
る。

【００３７】このような本実施例においては、角度調整
機構２０の雄ねじ２４と位置調整機構６０の雌ねじ６４
を螺合して光軸調整装置４を構成し、この光軸調整装置
４を介してレーザカメラ部２および光学顕微鏡３を接合
して走査型顕微鏡１を組み立てる。また、光軸調整装置
４内あるいはその上下に回動自在に構成された光路調整
用のミラー８０を設ける。

【００３８】走査型顕微鏡１の組立後、光軸の角度調整
および位置調整を行ってレーザーカメラ部２および光学
顕微鏡３の光軸を一致させる。この際、光軸の角度調整
は、前記第１実施例と同様に角度調整機構２０のダイヤ
ル２９を回して行う。一方、光軸のＸ−Ｙ軸方向の位置
調整は、ハンドル７４を一方の偏心ピン６８，６９の貫
通孔７２Ａ，７２Ｂに差し込み、中心軸６１Ａの直交方
向に移動させて一方の偏心ピン６８，６９を回動させ
る。

【００３９】偏心ピン６８を回動させると、偏心部６８
Ａは偏心ピン６８の中心軸を中心とする円周方向に移動
し、長孔７０を介してレーザ側ベース部材６２は顕微鏡
側ベース部材６３に対して長孔７０の長手方向に直交す
る方向に移動する。また、偏心ピン６９を回動させる
と、偏心部６９Ａは偏心ピン６９の中心軸を中心とする
円周方向に移動し、長孔７１を介してレーザ側ベース部
材６２は顕微鏡側ベース部材６３に対して長孔７１の長
手方向に直交する方向に移動する。この際、長孔７０，
７１はその長手方向が互いに直交するように形成されて
いるので、偏心ピン６８，６９を適宜回動させると、レ
ーザ側ベース部材６２は顕微鏡側ベース部材６３に対し
て中心軸６１Ａに直交するＸ−Ｙ軸方向に位置調整さ
れ、これによりレーザカメラ部２および光学顕微鏡３の
各光軸のＸ−Ｙ軸方向の相対位置が調整される。従っ
て、角度調整機構２０および位置調整機構６０を適宜操
作することでレーザカメラ部２および光学顕微鏡３の各
光軸を一致させることができる。

【００４０】また、光路切換え用のハーフミラー８０を
回動して光軸上に配置し、光学顕微鏡３から戻ってくる
レーザ光を反射してＣＣＤカメラ８１に入射させればモ
ニタ上で走査画像を観察することができる。

【００４１】このような本実施例によっても前記第１実
施例と同様の効果が得られる。すなわち、角度調整機構
２０および位置調整機構６０の側面からの操作で光軸の
角度調整、位置調整を行うことができ、よって角度調整
機構２０および位置調整機構６０からなる光軸調整装置
４をレーザカメラ部２や光学顕微鏡３に取付けた状態で
操作することができるので、極めて簡単にかつ正確に光
軸調整を行うことができる。また、角度調整および位置
調整をそれぞれ別々の角度調整機構２０および位置調整
機構６０により行っているので、各機構２０，６０の構
成を簡易にできて組立やメンテナンスを容易に行うこと
ができる。さらに、位置調整機構６０は主にレーザ側ベ
ース部材６２、顕微鏡側ベース部材６３の２つの部材か
ら構成されているので前記第１実施例の位置調整機構４
０に比べて構成部品を少なくでき、組立やメンテナンス
をより簡単にできる。

【００４２】また、各偏心ピン６８，６９を回動させる
ことでベース部材６２，６３間のＸ軸方向およびＹ軸方
向の位置調整を別々に行うことができるので、光軸の位
置調整をより簡単にかつ正確に行うことができる。

【００４３】さらに、位置調整機構４０と同様にハンド
ル７４を用いて操作しているので、調整後にハンドル７
４を外してしまえば、走査型顕微鏡１の使用時に位置調
整がずれることがない。また、ベース部材６２，６３間
の位置調整量は各偏心ピン６８，６９が１回転する際の
調整量のみであり、例えば調整時に誤操作して偏心ピン
６８，６９を数回転させたとしてもベース部材６２，６
３は一定範囲内で位置が調整されるだけであり、このた
め誤操作してもベース部材６２，６３の相対位置が大幅
にずれることがなく、正確な位置に容易に調整すること
ができる。

【００４４】なお、本発明は前述の各実施例に限定され
るものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変
形、改良等は本発明に含まれるものである。例えば、前
記各実施例の角度調整機構４０では、傾斜手段としてダ
イヤル２９を設け、このダイヤル２９を回動させること
で各ベース部材２２，２３を傾斜させていたが、傾斜手
段としてダイヤル２９の代わりにピン等を設け、このピ
ンを位置調整機構４０，６０のようにハンドルで回動さ
せて各ベース部材２２，２３を傾斜させてもよい。ま
た、傾斜手段としては顕微鏡側ベース部材２３に螺合さ
れて回動させることで上下動して各ベース部材２２，２
３を傾斜させるものに限らず、回動支点部を支点として
一方のベース部材に対して他方のベース部材を傾斜させ
ることができるものであればよい。

【００４５】さらに、回動支点部としてもボール３０に
限らず、他の構成でもよい。また、角度調整機構４０の
各ベース部材２２，２３の形状や材質等は実施にあたっ
て適宜設定すればよい。さらに、傾斜手段としてダイヤ
ル２９を用いた場合には、誤操作を防ぐためにダイヤル
２９を覆うカバー等を設けてもよい。

【００４６】また、各位置調整機構４０，６０の各ベー
ス部材４２，４３，４４，６２，６３の形状や材質等も
実施にあたって適宜設定すればよい。さらに、各位置調
整機構４０，６０ではハンドル５６，７４を用いて操作
していたが、角度調整機構４０のようにダイヤルを設け
て操作してもよい。また、前記第２実施例の位置調整機
構６０では、偏心ピン６８，６９および長孔７０，７１
を中心軸６１Ａを挟んだ対向位置に配置していたが、例
えば中心軸６１Ａ回りに９０度離れた位置など他の位置
に設けてもよく、要するに各長孔７０，７１の長手方向
が互いに直交するように設けられていればよい。

【００４７】

【発明の効果】このような本発明によれば、光軸の角度
調整や位置調整を簡単にかつ正確に行うことができると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の走査型顕微鏡の全体構成
を示す概略図である。

【図２】第１実施例の光軸調整装置の全体構成を示す縦
断面図である。

【図３】第１実施例の光軸調整装置の角度調整機構を示
す平面図である。

【図４】図３のIV−IV線に沿った縦断面図である。

【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。

【図６】第１実施例の光軸調整装置の位置調整機構を示
す平面図である。

【図７】図６のVII −VII 線に沿った縦断面図である。

【図８】図６のVIII−VIII線に沿った縦断面図である。

【図９】図６のIX−IX線に沿った縦断面図である。

【図10】第１実施例の位置調整機構を示す斜視図であ
る。

【図11】本発明の第２実施例の走査型顕微鏡の全体構成
を示す概略図である。

【図12】第２実施例の光軸調整装置の全体構成を示す縦
断面図である。

【図13】第２実施例の光軸調整装置の位置調整機構を示
す平面図である。

【図14】図13のXIV −XIV 線に沿った縦断面図である。

【図15】図13のXV−XV線に沿った縦断面図である。

【符号の説明】

１走査型顕微鏡２走査型レーザ装置であるレーザカメラ部３光学顕微鏡４光軸調整装置 20 角度調整機構 22 角度調整用レーザ側ベース部材 23 角度調整用顕微鏡側ベース部材 29 傾斜手段であるダイヤル 30 回動支点部であるボール 40 位置調整機構 42 位置調整用レーザ側ベース部材 43 位置調整用顕微鏡側ベース部材 44 中間ベース部材 47 第１のピン 51 第２のピン 52,53,54,55 溝 56 ハンドル 60 位置調整機構 62 位置調整用レーザ側ベース部材 63 位置調整用顕微鏡側ベース部材 66 連結部材であるねじ 68,69 偏心ピン 68A,69A 偏心部 70,71 長孔 72A,72B 貫通孔 73 溝 74 ハンドル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学顕微鏡と走査型レーザ装置とを組み
合わせて構成される走査型顕微鏡において、前記光学顕
微鏡および走査型レーザ装置間に介在されて走査型レー
ザ装置の光軸と光学顕微鏡の光軸とを一致させる光軸調
整装置であって、走査型レーザ装置側に取付けられた角度調整用レーザ側
ベース部材と、光学顕微鏡側に取付けられた角度調整用
顕微鏡側ベース部材と、前記各ベース部材の中心軸から
離れて設けられた回動支点部と、側面からの操作により
前記回動支点部を支点として一方のベース部材を他方の
ベース部材に対して傾斜させる傾斜手段と、を備えて構
成される角度調整機構と、走査型レーザ装置側に取付けられた位置調整用レーザ側
ベース部材と、光学顕微鏡側に取付けられた位置調整用
顕微鏡側ベース部材と、これら各ベース部材間に介在さ
れた中間ベース部材と、前記位置調整用レーザ側ベース
部材および中間ベース部材の中心軸から離れて設けられ
て両ベース部材をその中心軸に直交する方向に回動自在
に連結する第１のピンと、この第１のピンから中心軸回
りに略９０度離れた位置に設けられて前記顕微鏡側ベー
ス部材および中間ベース部材をその中心軸に直交する方
向に回動自在に連結する第２のピンと、側面からの操作
により中間ベース部材に対して位置調整用レーザ側ベー
ス部材を第１のピンを中心に回動させる第１の回動手段
と、側面からの操作により中間ベース部材に対して位置
調整用顕微鏡側ベース部材を第２のピンを中心に回動さ
せる第２の回動手段と、を備えて構成される位置調整機
構と、を有することを特徴とする走査型顕微鏡の光軸調整装
置。
【請求項２】光学顕微鏡と走査型レーザ装置とを組み
合わせて構成される走査型顕微鏡において、前記光学顕
微鏡および走査型レーザ装置間に介在されて走査型レー
ザ装置の光軸と光学顕微鏡の光軸とを一致させる光軸調
整装置であって、走査型レーザ装置側に取付けられた角度調整用レーザ側
ベース部材と、光学顕微鏡側に取付けられた角度調整用
顕微鏡側ベース部材と、前記各ベース部材の中心軸から
離れて設けられた回動支点部と、側面からの操作により
前記回動支点部を支点として一方のベース部材を他方の
ベース部材に対して傾斜させる傾斜手段と、を備えて構
成される角度調整機構と、走査型レーザ装置側に取付けられた位置調整用レーザ側
ベース部材と、光学顕微鏡側に取付けられた位置調整用
顕微鏡側ベース部材と、これら両ベース部材を相対移動
可能に連結する連結部材と、前記各ベース部材のいずれ
か一方のベース部材の中心軸から離れた２か所にそれぞ
れ回動自在に設けられかつ偏心部を有する２本の偏心ピ
ンと、前記他方のベース部材に設けられて前記偏心ピン
の偏心部がそれぞれ挿入可能にかつ互いに長手方向が直
交するように形成された２つの長孔と、側面からの操作
により前記各偏心ピンをそれぞれ回動させる回動手段
と、を備えて構成される位置決め調整機構と、を有することを特徴とする走査型顕微鏡の光軸調整装
置。