JP2002181602A - 流量計測装置 - Google Patents
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ素系シール材を用いてケーシングの取付
板挿通溝をシールすることにより、被測流体中の揮発油
成分等に対して耐久性、信頼性を向上させる。 【解決手段】 エンジンの吸入空気流量を検出する流量
検出素子２４の一部をケーシング１１の取付板挿通溝１
６から回路収容部１４内に延設し、回路基板２３と接続
する。また、回路収容部１４内には、回路基板２３を覆
うシリコン充填材２６と、取付板挿通溝１６をシールす
るフッ素系シール材２７とを設ける。これにより、例え
ば吸入空気中に揮発油成分が含まれる場合でも、フッ素
系シール材２７により回路収容部１４内を吸入空気から
安定的に遮断でき、シリコン充填材２６が揮発油成分よ
り劣化して溶け出すのを防止することができる。
板挿通溝をシールすることにより、被測流体中の揮発油
成分等に対して耐久性、信頼性を向上させる。 【解決手段】 エンジンの吸入空気流量を検出する流量
検出素子２４の一部をケーシング１１の取付板挿通溝１
６から回路収容部１４内に延設し、回路基板２３と接続
する。また、回路収容部１４内には、回路基板２３を覆
うシリコン充填材２６と、取付板挿通溝１６をシールす
るフッ素系シール材２７とを設ける。これにより、例え
ば吸入空気中に揮発油成分が含まれる場合でも、フッ素
系シール材２７により回路収容部１４内を吸入空気から
安定的に遮断でき、シリコン充填材２６が揮発油成分よ
り劣化して溶け出すのを防止することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車用エ
ンジン等の吸入空気流量を検出するのに用いて好適な流
量計測装置に関する。
ンジン等の吸入空気流量を検出するのに用いて好適な流
量計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、自動車用エンジン等では、吸入
空気と燃料とを混合して適切な空燃比の混合気を形成す
るため、エンジンの吸入空気流量を流量計測装置によっ
て検出し、その検出値に応じて燃料の噴射量等を定める
構成としている。
空気と燃料とを混合して適切な空燃比の混合気を形成す
るため、エンジンの吸入空気流量を流量計測装置によっ
て検出し、その検出値に応じて燃料の噴射量等を定める
構成としている。
【０００３】この種の従来技術による流量計測装置は、
エンジンの吸入空気が流通する吸気管に取付けられ基板
取付凹部が設けられると共に該基板取付凹部を取囲む周
壁部位を吸気管内に面した位置で切欠くことにより取付
板挿通溝が設けられたケーシングと、ケーシングの基板
取付凹部に配置される基板取付部と該基板取付部から取
付板挿通溝を介してケーシングの基板取付凹部の外側に
延びた素子取付部とを有する取付板と、該取付板の基板
取付部に設けられ電子部品が実装された回路基板と、取
付板の素子取付部に設けられ吸入空気の流量を検出する
流量検出素子とを備えたものが知られている（例えば、
特開２０００−２５７２号公報等）。
エンジンの吸入空気が流通する吸気管に取付けられ基板
取付凹部が設けられると共に該基板取付凹部を取囲む周
壁部位を吸気管内に面した位置で切欠くことにより取付
板挿通溝が設けられたケーシングと、ケーシングの基板
取付凹部に配置される基板取付部と該基板取付部から取
付板挿通溝を介してケーシングの基板取付凹部の外側に
延びた素子取付部とを有する取付板と、該取付板の基板
取付部に設けられ電子部品が実装された回路基板と、取
付板の素子取付部に設けられ吸入空気の流量を検出する
流量検出素子とを備えたものが知られている（例えば、
特開２０００−２５７２号公報等）。
【０００４】ここで、流量検出素子は、例えばシリコン
基板上に白金等の金属薄膜を用いて感温抵抗体とヒータ
とが形成されており、その一部はケーシングの取付板挿
通溝からケーシングの基板取付凹部内に延設され、回路
基板と接続されてブリッジ回路等を構成している。そし
て、流量検出素子は、感温抵抗体がヒータにより加熱さ
れた状態で吸入空気の流れと接触して冷却されることに
より、その温度（抵抗値）の変化を吸入空気の流量とし
て検出するものである。
基板上に白金等の金属薄膜を用いて感温抵抗体とヒータ
とが形成されており、その一部はケーシングの取付板挿
通溝からケーシングの基板取付凹部内に延設され、回路
基板と接続されてブリッジ回路等を構成している。そし
て、流量検出素子は、感温抵抗体がヒータにより加熱さ
れた状態で吸入空気の流れと接触して冷却されることに
より、その温度（抵抗値）の変化を吸入空気の流量とし
て検出するものである。
【０００５】また、エンジンの運転中には、吸気管内を
流通する吸入空気の一部が取付板挿通溝を介してケーシ
ングの基板取付凹部内に侵入し易いため、従来技術で
は、例えばシリコンゲルを基板取付凹部内に予め充填し
て固化させ、このシリコンゲルを用いて回路基板を覆う
ことにより、吸入空気中に含まれるダスト、水分等の異
物から回路基板を保護する構成としている。
流通する吸入空気の一部が取付板挿通溝を介してケーシ
ングの基板取付凹部内に侵入し易いため、従来技術で
は、例えばシリコンゲルを基板取付凹部内に予め充填し
て固化させ、このシリコンゲルを用いて回路基板を覆う
ことにより、吸入空気中に含まれるダスト、水分等の異
物から回路基板を保護する構成としている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術では、例えばシリコンゲルをケーシングの基板取
付凹部内に充填して固化させることにより、吸入空気中
に含まれるダスト、水分等の異物から基板取付凹部内の
回路基板を保護する構成としている。
来技術では、例えばシリコンゲルをケーシングの基板取
付凹部内に充填して固化させることにより、吸入空気中
に含まれるダスト、水分等の異物から基板取付凹部内の
回路基板を保護する構成としている。
【０００７】しかし、例えば自動車等の車両にあって
は、燃料タンク内で揮発する燃料ガス（エバポガス）が
大気中に放出されるのを防ぐためにエバポガスを吸気管
内に流入させ、吸入空気と一緒に燃焼させる機構（所謂
エバポージ機構）を搭載しているものがある。また、エ
ンジンの排気ガスを浄化するために排気ガスの一部を吸
気管内に還流させ、吸入空気と一緒に燃焼させる機構
（排ガス再循環燃焼機構）を搭載している車種もある。
は、燃料タンク内で揮発する燃料ガス（エバポガス）が
大気中に放出されるのを防ぐためにエバポガスを吸気管
内に流入させ、吸入空気と一緒に燃焼させる機構（所謂
エバポージ機構）を搭載しているものがある。また、エ
ンジンの排気ガスを浄化するために排気ガスの一部を吸
気管内に還流させ、吸入空気と一緒に燃焼させる機構
（排ガス再循環燃焼機構）を搭載している車種もある。
【０００８】この結果、エンジンの吸入空気中には、こ
れらのエバポガス、排気ガス等に含まれるガソリン、軽
油等の揮発油成分が混入している場合があり、吸入空気
が流量計測装置の基板取付凹部内に侵入してシリコンゲ
ルに接触すると、このシリコンゲル等は揮発油成分への
耐久性が低いため、膨潤等により劣化して溶け出すこと
がある。
れらのエバポガス、排気ガス等に含まれるガソリン、軽
油等の揮発油成分が混入している場合があり、吸入空気
が流量計測装置の基板取付凹部内に侵入してシリコンゲ
ルに接触すると、このシリコンゲル等は揮発油成分への
耐久性が低いため、膨潤等により劣化して溶け出すこと
がある。
【０００９】このため、従来技術では、基板取付凹部内
のシリコンゲルが膨潤等により取付板挿通溝から外部に
溶け出し、感温抵抗体等に付着することがあるため、空
気流量の検出精度が不安定となる虞れがあり、信頼性が
低下するという問題がある。
のシリコンゲルが膨潤等により取付板挿通溝から外部に
溶け出し、感温抵抗体等に付着することがあるため、空
気流量の検出精度が不安定となる虞れがあり、信頼性が
低下するという問題がある。
【００１０】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、本発明の目的は、ケーシングの基板取付
凹部内に充填されたシリコン材が被測流体中に含まれる
成分によって劣化するのを防止でき、流量検出素子によ
り被測流体の流量を長期間に亘って安定的に検出できる
と共に、信頼性を向上できるようにした流量計測装置を
提供することにある。
されたもので、本発明の目的は、ケーシングの基板取付
凹部内に充填されたシリコン材が被測流体中に含まれる
成分によって劣化するのを防止でき、流量検出素子によ
り被測流体の流量を長期間に亘って安定的に検出できる
と共に、信頼性を向上できるようにした流量計測装置を
提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために本発明は、被測気体が流通する管路に取付けられ
基板取付凹部が設けられると共に該基板取付凹部を取囲
む周壁部位を前記管路内に面した位置で切欠くことによ
り取付板挿通溝が設けられたケーシングと前記ケーシン
グの基板取付凹部に配置される基板取付部と該基板取付
部から前記取付板挿通溝を介してケーシングの基板取付
凹部の外側に延びた素子取付部とを有する取付板と、該
取付板の基板取付部に設けられ電子部品が実装された回
路基板と、前記取付板の素子取付部に設けられ前記被測
流体の流量を検出する流量検出素子と、シリコン材料に
より形成され前記ケーシングの基板取付凹部内に充填さ
れて前記回路基板を覆うシリコン充填材とからなる流量
計測装置に適用される。
ために本発明は、被測気体が流通する管路に取付けられ
基板取付凹部が設けられると共に該基板取付凹部を取囲
む周壁部位を前記管路内に面した位置で切欠くことによ
り取付板挿通溝が設けられたケーシングと前記ケーシン
グの基板取付凹部に配置される基板取付部と該基板取付
部から前記取付板挿通溝を介してケーシングの基板取付
凹部の外側に延びた素子取付部とを有する取付板と、該
取付板の基板取付部に設けられ電子部品が実装された回
路基板と、前記取付板の素子取付部に設けられ前記被測
流体の流量を検出する流量検出素子と、シリコン材料に
より形成され前記ケーシングの基板取付凹部内に充填さ
れて前記回路基板を覆うシリコン充填材とからなる流量
計測装置に適用される。
【００１２】そして、請求項１の発明が採用する構成の
特徴は、ケーシングの基板取付凹部内であって取付板挿
通溝の近傍には、フッ素系高分子材料により形成され前
記取付板挿通溝をシールすることにより前記シリコン充
填材をケーシングの基板取付凹部内に保持するフッ素系
シール材を設ける構成としたことにある。
特徴は、ケーシングの基板取付凹部内であって取付板挿
通溝の近傍には、フッ素系高分子材料により形成され前
記取付板挿通溝をシールすることにより前記シリコン充
填材をケーシングの基板取付凹部内に保持するフッ素系
シール材を設ける構成としたことにある。
【００１３】このように構成することにより、フッ素系
シール材は、例えばガソリン、軽油等の揮発油成分に対
して高い耐久性を有しているので、このフッ素系シール
材を用いてケーシングの取付板挿通溝をシールすること
により、ケーシングの基板取付凹部内に充填されたシリ
コン充填材を被測流体から遮断でき、被測流体中に揮発
油成分が含まれる場合でも、シリコン充填材を保護する
ことができる。
シール材は、例えばガソリン、軽油等の揮発油成分に対
して高い耐久性を有しているので、このフッ素系シール
材を用いてケーシングの取付板挿通溝をシールすること
により、ケーシングの基板取付凹部内に充填されたシリ
コン充填材を被測流体から遮断でき、被測流体中に揮発
油成分が含まれる場合でも、シリコン充填材を保護する
ことができる。
【００１４】また、請求項２の発明によると、流量検出
素子の一部を前記ケーシングの取付板挿通溝から前記ケ
ーシングの基板取付凹部内に延設し、前記フッ素系シー
ル材によって前記流量検出素子の表面部位をシールする
構成としている。
素子の一部を前記ケーシングの取付板挿通溝から前記ケ
ーシングの基板取付凹部内に延設し、前記フッ素系シー
ル材によって前記流量検出素子の表面部位をシールする
構成としている。
【００１５】これにより、例えば流量検出素子のうち被
測流体と接触させる検出部位をケーシングの基板取付凹
部の外側に配置し、回路基板と接続する接続部位を取付
板挿通溝から基板取付凹部内に延設することができる。
そして、フッ素系シール材は、取付板挿通溝の位置で流
量検出素子の表面部位をシールすることができる。
測流体と接触させる検出部位をケーシングの基板取付凹
部の外側に配置し、回路基板と接続する接続部位を取付
板挿通溝から基板取付凹部内に延設することができる。
そして、フッ素系シール材は、取付板挿通溝の位置で流
量検出素子の表面部位をシールすることができる。
【００１６】また、請求項３の発明によると、ケーシン
グには前記取付板挿通溝を閉塞して前記フッ素系シール
材が取付板挿通溝から外部に流出するのを防止するスト
ッパ部材を設ける構成としている。
グには前記取付板挿通溝を閉塞して前記フッ素系シール
材が取付板挿通溝から外部に流出するのを防止するスト
ッパ部材を設ける構成としている。
【００１７】これにより、例えばフッ素系シール材とな
るゲル状の材料を基板取付凹部内で取付板挿通溝の近傍
に塗布するときには、取付板挿通溝をストッパ部材によ
って予め閉塞しておくことにより、フッ素系シール材が
固化する前に取付板挿通溝から外部に流出するのを防止
することができる。また、フッ素系シール材が経時劣化
等によって外部に散逸するのも防ぐことができる。
るゲル状の材料を基板取付凹部内で取付板挿通溝の近傍
に塗布するときには、取付板挿通溝をストッパ部材によ
って予め閉塞しておくことにより、フッ素系シール材が
固化する前に取付板挿通溝から外部に流出するのを防止
することができる。また、フッ素系シール材が経時劣化
等によって外部に散逸するのも防ぐことができる。
【００１８】さらに、請求項４の発明によると、ケーシ
ングには前記取付板の素子取付部を臨む位置に通路部を
形成する通路形成体を設け、該通路形成体には前記通路
部を閉塞してバイパス通路を形成する蓋体を設け、該蓋
体には前記ストッパ部材を設ける構成としている。
ングには前記取付板の素子取付部を臨む位置に通路部を
形成する通路形成体を設け、該通路形成体には前記通路
部を閉塞してバイパス通路を形成する蓋体を設け、該蓋
体には前記ストッパ部材を設ける構成としている。
【００１９】これにより、通路形成体と蓋体とは、管路
内を流通する被測流体の一部を流量検出素子の周囲に導
くバイパス通路を形成することができる。また、流量計
測装置の組立時には、蓋体を通路形成体に取付けること
によってストッパ部材をケーシングの取付板挿通溝に配
置することができる。
内を流通する被測流体の一部を流量検出素子の周囲に導
くバイパス通路を形成することができる。また、流量計
測装置の組立時には、蓋体を通路形成体に取付けること
によってストッパ部材をケーシングの取付板挿通溝に配
置することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態による
流量計測装置を、自動車用エンジンに用いた場合を例に
挙げ、添付図面を参照して詳細に説明する。
流量計測装置を、自動車用エンジンに用いた場合を例に
挙げ、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】１は例えば樹脂材料、金属材料等によって
円筒状に形成された管路で、該管路１はエンジンの吸気
管等の途中に接続され、その内部は被測流体となる吸入
空気がエアクリーナ側からエンジンの燃焼室（いずれも
図示せず）側に向けて図１中の矢示Ａに流通する流路２
となっている。また、管路１の周壁３には後述のケーシ
ング１１が取付けられるボス部４が径方向に突設されて
いる。
円筒状に形成された管路で、該管路１はエンジンの吸気
管等の途中に接続され、その内部は被測流体となる吸入
空気がエアクリーナ側からエンジンの燃焼室（いずれも
図示せず）側に向けて図１中の矢示Ａに流通する流路２
となっている。また、管路１の周壁３には後述のケーシ
ング１１が取付けられるボス部４が径方向に突設されて
いる。
【００２２】１１は流量計測装置の本体部分を構成する
ケーシングで、該ケーシング１１は例えば樹脂材料、金
属材料等からなり、図２、図３に示す如く、後述の取付
部１２、回路収容部１４、通路形成体１８等を一体に形
成することにより構成されている。そして、ケーシング
１１は取付部１２が管路１のボス部４に取付けられ、該
取付部１２には、管路１の外部に面してピン端子１３Ａ
を有するコネクタ部１３が設けられている。
ケーシングで、該ケーシング１１は例えば樹脂材料、金
属材料等からなり、図２、図３に示す如く、後述の取付
部１２、回路収容部１４、通路形成体１８等を一体に形
成することにより構成されている。そして、ケーシング
１１は取付部１２が管路１のボス部４に取付けられ、該
取付部１２には、管路１の外部に面してピン端子１３Ａ
を有するコネクタ部１３が設けられている。
【００２３】１４は略長方形の箱形状に形成された回路
収容部で、該回路収容部１４は取付部１２から管路１内
に向けて延設され、先端側が管路１内に突出している。
そして、回路収容部１４は、図３中の左側に開口した収
容ケース１４Ａと、該収容ケース１４Ａの開口側を閉塞
した四角形状の蓋板１４Ｂとによって構成され、その内
部には後述の回路基板２３が取付られる基板取付凹部１
５が設けられている。
収容部で、該回路収容部１４は取付部１２から管路１内
に向けて延設され、先端側が管路１内に突出している。
そして、回路収容部１４は、図３中の左側に開口した収
容ケース１４Ａと、該収容ケース１４Ａの開口側を閉塞
した四角形状の蓋板１４Ｂとによって構成され、その内
部には後述の回路基板２３が取付られる基板取付凹部１
５が設けられている。
【００２４】また、収容ケース１４Ａのうち後述のバイ
パス通路２１に面した周壁部１４Ａ1には、図６に示す
如く、該周壁部１４Ａ1を略四角形状に切欠くことによ
りバイパス通路２１内に開口した取付板挿通溝１６と、
該取付板挿通溝１６を挟んで左，右両側に配置され、後
述する蓋体１９の爪部１９Ａ，１９Ａが嵌合される嵌合
穴１７，１７とが設けられている。
パス通路２１に面した周壁部１４Ａ1には、図６に示す
如く、該周壁部１４Ａ1を略四角形状に切欠くことによ
りバイパス通路２１内に開口した取付板挿通溝１６と、
該取付板挿通溝１６を挟んで左，右両側に配置され、後
述する蓋体１９の爪部１９Ａ，１９Ａが嵌合される嵌合
穴１７，１７とが設けられている。
【００２５】１８は管路１内に突出する回路収容部１４
の突出端側に設けられた通路形成体で、該通路形成体１
８は例えば樹脂材料、金属材料等からなり、回路収容部
１４の収容ケース１４Ａと一体に形成されると共に、そ
の側面には略Ｕ字状またはコ字状をなす通路部としての
凹溝１８Ａが設けられている。
の突出端側に設けられた通路形成体で、該通路形成体１
８は例えば樹脂材料、金属材料等からなり、回路収容部
１４の収容ケース１４Ａと一体に形成されると共に、そ
の側面には略Ｕ字状またはコ字状をなす通路部としての
凹溝１８Ａが設けられている。
【００２６】１９は通路形成体１８の側面に取付けられ
た蓋体で、該蓋体１９は例えば樹脂板、金属板等により
形成され、その外縁側には、図４、図６に示す如く回路
収容部１４に向けて突出した２個の爪部１９Ａが設けら
れている。また、蓋体１９には、各爪部１９Ａ間に位置
して後述のストッパ部材２０が一体に形成されている。
そして、蓋体１９は、各爪部１９Ａが回路収容部１４の
嵌合穴１７に嵌合され、例えば接着等の手段を用いて通
路形成体１８の側面に固定されると共に、その凹溝１８
Ａを閉塞することによってバイパス通路２１を形成して
いる。
た蓋体で、該蓋体１９は例えば樹脂板、金属板等により
形成され、その外縁側には、図４、図６に示す如く回路
収容部１４に向けて突出した２個の爪部１９Ａが設けら
れている。また、蓋体１９には、各爪部１９Ａ間に位置
して後述のストッパ部材２０が一体に形成されている。
そして、蓋体１９は、各爪部１９Ａが回路収容部１４の
嵌合穴１７に嵌合され、例えば接着等の手段を用いて通
路形成体１８の側面に固定されると共に、その凹溝１８
Ａを閉塞することによってバイパス通路２１を形成して
いる。
【００２７】２０は通路形成体１８の蓋体１９に設けら
れたストッパ部材で、該ストッパ部材２０は、蓋体１９
から取付板挿通溝１６に向けて突出した板状の小片によ
り形成され、取付板挿通溝１６に対応する幅寸法を有し
ている。また、蓋体１９を通路形成体１８に取付けた状
態では、図４、図５に示す如く、ストッパ部材２０が取
付板挿通溝１６を閉塞し、その先端側が後述する流量検
出素子２４の感温抵抗体２４Ｂと接続部２４Ｃとの間で
基板２４Ａの表面にほぼ接触した状態となる。
れたストッパ部材で、該ストッパ部材２０は、蓋体１９
から取付板挿通溝１６に向けて突出した板状の小片によ
り形成され、取付板挿通溝１６に対応する幅寸法を有し
ている。また、蓋体１９を通路形成体１８に取付けた状
態では、図４、図５に示す如く、ストッパ部材２０が取
付板挿通溝１６を閉塞し、その先端側が後述する流量検
出素子２４の感温抵抗体２４Ｂと接続部２４Ｃとの間で
基板２４Ａの表面にほぼ接触した状態となる。
【００２８】これにより、ストッパ部材２０は、回路収
容部１４の基板取付凹部１５内とバイパス通路２１との
間を仕切るように配置され、後述の如く流量計測装置の
組立時にフッ素系シール材２７となるゲル状の材料が基
板取付凹部１５から取付板挿通溝１６を介して外部に流
出したり、流量計測装置の使用時にフッ素系シール材２
７が経時劣化等により外部に散逸するのを防止するもの
である。
容部１４の基板取付凹部１５内とバイパス通路２１との
間を仕切るように配置され、後述の如く流量計測装置の
組立時にフッ素系シール材２７となるゲル状の材料が基
板取付凹部１５から取付板挿通溝１６を介して外部に流
出したり、流量計測装置の使用時にフッ素系シール材２
７が経時劣化等により外部に散逸するのを防止するもの
である。
【００２９】２１は通路形成体１８の凹溝１８Ａと蓋体
１９との間に形成されたバイパス通路で、該バイパス通
路２１は、図２、図６に示す如く略Ｕ字状またはコ字状
に屈曲し、その一端側は管路１の上流側に面した流入口
２１Ａとなり、他端側は通路形成体１８の下面側に開口
した流出口２１Ｂとなっている。
１９との間に形成されたバイパス通路で、該バイパス通
路２１は、図２、図６に示す如く略Ｕ字状またはコ字状
に屈曲し、その一端側は管路１の上流側に面した流入口
２１Ａとなり、他端側は通路形成体１８の下面側に開口
した流出口２１Ｂとなっている。
【００３０】２２は回路収容部１４に設けられた取付板
で、該取付板２２は例えば略四角形状の金属板等からな
り、収容ケース１４Ａの基板取付凹部１５内に取付けら
れ回路基板２３が搭載される基板取付部２２Ａと、該基
板取付部２２Ａから回路収容部１４の取付板挿通溝１６
を介してバイパス通路２１内に突出した素子取付部２２
Ｂとによって構成されている。そして、素子取付部２２
Ｂには、後述の流量検出素子２４を取付ける四角形状の
凹部２２Ｃが設けられている。
で、該取付板２２は例えば略四角形状の金属板等からな
り、収容ケース１４Ａの基板取付凹部１５内に取付けら
れ回路基板２３が搭載される基板取付部２２Ａと、該基
板取付部２２Ａから回路収容部１４の取付板挿通溝１６
を介してバイパス通路２１内に突出した素子取付部２２
Ｂとによって構成されている。そして、素子取付部２２
Ｂには、後述の流量検出素子２４を取付ける四角形状の
凹部２２Ｃが設けられている。
【００３１】２３は取付板２２の基板取付部２２Ａに搭
載された四角形状の回路基板で、該回路基板２３は回路
収容部１４の基板取付凹部１５内に収容されている。ま
た、回路基板２３上には、流量検出素子２４との間で電
気信号を入出力する複数の電子部品が搭載され、これら
の電子部品はボンディングワイヤ等を介してコネクタ１
３のピン端子１３Ａと接続されている。
載された四角形状の回路基板で、該回路基板２３は回路
収容部１４の基板取付凹部１５内に収容されている。ま
た、回路基板２３上には、流量検出素子２４との間で電
気信号を入出力する複数の電子部品が搭載され、これら
の電子部品はボンディングワイヤ等を介してコネクタ１
３のピン端子１３Ａと接続されている。
【００３２】２４は取付板２２の素子取付部２２Ｂに取
付けられた流量検出素子で、該流量検出素子２４は、図
５に示す如く、シリコン板等により細長い四角形状に形
成され取付板２２の凹部２２Ｃ内に固着された基板２４
Ａと、該基板２４Ａ上に白金等の金属薄膜を用いて形成
された感温抵抗体２４Ｂと、該感温抵抗体２４Ｂを加熱
するヒータ（図示せず）とを含んで構成されている。
付けられた流量検出素子で、該流量検出素子２４は、図
５に示す如く、シリコン板等により細長い四角形状に形
成され取付板２２の凹部２２Ｃ内に固着された基板２４
Ａと、該基板２４Ａ上に白金等の金属薄膜を用いて形成
された感温抵抗体２４Ｂと、該感温抵抗体２４Ｂを加熱
するヒータ（図示せず）とを含んで構成されている。
【００３３】また、感温抵抗体２４Ｂは基板２４Ａの長
さ方向に対して一側に配置され、バイパス通路２１内に
露出されている。また、基板２４Ａの他側部位は、感温
抵抗体２４Ｂとヒータからそれぞれ延びる複数の電極パ
ッド（図示せず）等が設けられた接続部２４Ｃとなり、
該接続部２４Ｃは回路収容部１４の取付板挿通溝１６を
介してストッパ部材２０の内側位置まで延びると共に、
その各電極パッド等はボンディングワイヤ２５，２５，
…を介して回路基板２３と接続されている。
さ方向に対して一側に配置され、バイパス通路２１内に
露出されている。また、基板２４Ａの他側部位は、感温
抵抗体２４Ｂとヒータからそれぞれ延びる複数の電極パ
ッド（図示せず）等が設けられた接続部２４Ｃとなり、
該接続部２４Ｃは回路収容部１４の取付板挿通溝１６を
介してストッパ部材２０の内側位置まで延びると共に、
その各電極パッド等はボンディングワイヤ２５，２５，
…を介して回路基板２３と接続されている。
【００３４】そして、流量検出素子２４は、感温抵抗体
２４Ｂがヒータにより加熱された状態で吸入空気の流れ
と接触して冷却されることにより、その温度（抵抗値）
の変化を吸入空気の流量として検出し、回路基板２３、
コネクタ１３等を介して外部に検出信号を出力するもの
である。
２４Ｂがヒータにより加熱された状態で吸入空気の流れ
と接触して冷却されることにより、その温度（抵抗値）
の変化を吸入空気の流量として検出し、回路基板２３、
コネクタ１３等を介して外部に検出信号を出力するもの
である。
【００３５】２６は回路収容部１４の基板取付凹部１５
内に設けられた絶縁性のシリコン充填材で、該シリコン
充填材２６は、例えばシリコンゲル等のゲル材料を基板
取付凹部１５内に充填して固化させることにより形成さ
れ、図３ないし図５に示す如く、フッ素系シール材２７
と共に回路基板２３をほぼ全体に亘って覆っている。
内に設けられた絶縁性のシリコン充填材で、該シリコン
充填材２６は、例えばシリコンゲル等のゲル材料を基板
取付凹部１５内に充填して固化させることにより形成さ
れ、図３ないし図５に示す如く、フッ素系シール材２７
と共に回路基板２３をほぼ全体に亘って覆っている。
【００３６】２７は回路収容部１４の基板取付凹部１５
内で取付板挿通溝１６の近傍に充填して設けられた絶縁
性のフッ素系シール材で、該フッ素系シール材２７は、
例えばフッ素エラストマと呼ばれるゴム状の弾性材料か
らなり、フッ素を含有したゲル状の高分子材料を図４、
図５に示す如く回路収容部１４内に予め塗布して固化さ
せることにより形成されると共に、ガソリン、軽油等の
揮発油成分に対して高い耐久性を有している。
内で取付板挿通溝１６の近傍に充填して設けられた絶縁
性のフッ素系シール材で、該フッ素系シール材２７は、
例えばフッ素エラストマと呼ばれるゴム状の弾性材料か
らなり、フッ素を含有したゲル状の高分子材料を図４、
図５に示す如く回路収容部１４内に予め塗布して固化さ
せることにより形成されると共に、ガソリン、軽油等の
揮発油成分に対して高い耐久性を有している。
【００３７】また、フッ素系シール材２７は、取付板挿
通溝１６の開口近傍と蓋体１９のストッパ部材２０の内
側面とに亘って固着され、取付板挿通溝１６、取付板２
２、流量検出素子２４の表面部位とストッパ部材２０と
の間に形成される微小な隙間をシールすると共に、スト
ッパ部材２０と協働して取付板挿通溝１６を気密状態で
閉塞している。
通溝１６の開口近傍と蓋体１９のストッパ部材２０の内
側面とに亘って固着され、取付板挿通溝１６、取付板２
２、流量検出素子２４の表面部位とストッパ部材２０と
の間に形成される微小な隙間をシールすると共に、スト
ッパ部材２０と協働して取付板挿通溝１６を気密状態で
閉塞している。
【００３８】そして、フッ素系シール材２７は、管路１
内を流通する吸入空気が取付板挿通溝１６から回路収容
部１４内に侵入するのを防止し、シリコン充填材２６と
協働して回路基板２３、ボンディングワイヤ２５等を吸
入空気中のダスト、水分等から保護している。また、フ
ッ素系シール材２７は、シリコン充填材２６を吸入空気
から遮断することにより、吸入空気中に揮発油成分が含
まれている場合でも、シリコン充填材２６が揮発油成分
と接触することにより劣化して取付板挿通溝１６から回
路収容部１４の外部に溶け出すのを防止するものであ
る。
内を流通する吸入空気が取付板挿通溝１６から回路収容
部１４内に侵入するのを防止し、シリコン充填材２６と
協働して回路基板２３、ボンディングワイヤ２５等を吸
入空気中のダスト、水分等から保護している。また、フ
ッ素系シール材２７は、シリコン充填材２６を吸入空気
から遮断することにより、吸入空気中に揮発油成分が含
まれている場合でも、シリコン充填材２６が揮発油成分
と接触することにより劣化して取付板挿通溝１６から回
路収容部１４の外部に溶け出すのを防止するものであ
る。
【００３９】本実施の形態による流量計測装置は上述の
如き構成を有するもので、次にその作動について説明す
る。
如き構成を有するもので、次にその作動について説明す
る。
【００４０】まず、エンジンの運転中には、図１に示す
如く、その吸入空気が管路１内を矢示Ａ方向に流通する
と、吸入空気の一部がバイパス通路２１内に向けて流入
口２１Ａから流入し、この空気はバイパス通路２１によ
り整流された状態で流量検出素子２４の位置を通過した
後に、流出口２１Ｂから管路１内へと流出する。そし
て、流量検出素子２４は吸入空気の流量を検出し、回路
基板２３、コネクタ１３等を介して検出信号を外部に出
力する。
如く、その吸入空気が管路１内を矢示Ａ方向に流通する
と、吸入空気の一部がバイパス通路２１内に向けて流入
口２１Ａから流入し、この空気はバイパス通路２１によ
り整流された状態で流量検出素子２４の位置を通過した
後に、流出口２１Ｂから管路１内へと流出する。そし
て、流量検出素子２４は吸入空気の流量を検出し、回路
基板２３、コネクタ１３等を介して検出信号を外部に出
力する。
【００４１】このとき、ケーシング１１内の回路基板２
３等は、シリコン充填材２６とフッ素系シール材２７と
によって吸入空気から遮断されているため、回路基板２
３等を吸入空気中に含まれるダスト、水分等の異物から
保護することができる。
３等は、シリコン充填材２６とフッ素系シール材２７と
によって吸入空気から遮断されているため、回路基板２
３等を吸入空気中に含まれるダスト、水分等の異物から
保護することができる。
【００４２】また、例えば吸入空気中に燃料ガス（エバ
ポガス）、排気ガスに含まれるガソリン、軽油等の揮発
油成分が混入している場合でも、回路収容部１４の取付
板挿通溝１６は、これらの揮発油成分に対して高い耐久
性を有するフッ素系シール材２７によって閉塞されてい
るため、シリコン充填材２６が吸入空気中の揮発油成分
と接触することによって溶け出すのを確実に防止するこ
とができる。
ポガス）、排気ガスに含まれるガソリン、軽油等の揮発
油成分が混入している場合でも、回路収容部１４の取付
板挿通溝１６は、これらの揮発油成分に対して高い耐久
性を有するフッ素系シール材２７によって閉塞されてい
るため、シリコン充填材２６が吸入空気中の揮発油成分
と接触することによって溶け出すのを確実に防止するこ
とができる。
【００４３】一方、ケーシング１１の組立時には、図６
に示す如く、まず回路収容部１４の収容ケース１４Ａ側
に取付板２２、回路基板２３、流量検出素子２４等を組
付けた後に、通路形成体１８の側面に蓋体１９を取付け
て凹溝１８Ａを閉塞し、バイパス通路２１を形成する。
これにより、収容ケース１４Ａの取付板挿通溝１６は蓋
体１９のストッパ部材２０によってほぼ遮断され、流量
検出素子２４は、接続部２４Ｃが回路収容部１４の基板
取付凹部１５内に配置されると共に、感温抵抗体２４Ｂ
がバイパス通路２１内に配置された状態となる。
に示す如く、まず回路収容部１４の収容ケース１４Ａ側
に取付板２２、回路基板２３、流量検出素子２４等を組
付けた後に、通路形成体１８の側面に蓋体１９を取付け
て凹溝１８Ａを閉塞し、バイパス通路２１を形成する。
これにより、収容ケース１４Ａの取付板挿通溝１６は蓋
体１９のストッパ部材２０によってほぼ遮断され、流量
検出素子２４は、接続部２４Ｃが回路収容部１４の基板
取付凹部１５内に配置されると共に、感温抵抗体２４Ｂ
がバイパス通路２１内に配置された状態となる。
【００４４】そして、フッ素系シール材２７となるゲル
状材料を収容ケース１４Ａの開口側から取付板挿通溝１
６とストッパ部材２０の近傍に塗布し、これを固化させ
ることによってフッ素系シール材２７を形成する。さら
に、シリコン充填材２６となるゲル状材料を基板取付凹
部１５内に充填して固化させる。
状材料を収容ケース１４Ａの開口側から取付板挿通溝１
６とストッパ部材２０の近傍に塗布し、これを固化させ
ることによってフッ素系シール材２７を形成する。さら
に、シリコン充填材２６となるゲル状材料を基板取付凹
部１５内に充填して固化させる。
【００４５】これにより、回路基板２３は、シリコン充
填材２６とフッ素系シール材２７とによりほぼ全体に亘
って覆われた状態となるので、収容ケース１４Ａの開口
側に蓋板１４Ｂを取付けて基板取付凹部１５を閉塞し、
ケーシング１１を組立てることができる。
填材２６とフッ素系シール材２７とによりほぼ全体に亘
って覆われた状態となるので、収容ケース１４Ａの開口
側に蓋板１４Ｂを取付けて基板取付凹部１５を閉塞し、
ケーシング１１を組立てることができる。
【００４６】かくして、本実施の形態によれば、回路収
容部１４の基板取付凹部１５内には、取付板挿通溝１６
の近傍に位置してフッ素系シール材２７を設ける構成と
したので、例えばバイパス通路２１内を流通する吸入空
気中に揮発油成分が含まれている場合でも、高い耐久性
と弾性を有するフッ素系シール材２７により取付板挿通
溝１６、取付板２２、流量検出素子２４の表面部位とス
トッパ部材２０との間に形成される微小な隙間を確実に
シールでき、回路収容部１４内のシリコン充填材２６を
吸入空気から安定的に遮断し続けることができる。
容部１４の基板取付凹部１５内には、取付板挿通溝１６
の近傍に位置してフッ素系シール材２７を設ける構成と
したので、例えばバイパス通路２１内を流通する吸入空
気中に揮発油成分が含まれている場合でも、高い耐久性
と弾性を有するフッ素系シール材２７により取付板挿通
溝１６、取付板２２、流量検出素子２４の表面部位とス
トッパ部材２０との間に形成される微小な隙間を確実に
シールでき、回路収容部１４内のシリコン充填材２６を
吸入空気から安定的に遮断し続けることができる。
【００４７】これにより、フッ素系シール材２７は、シ
リコン充填材２６が吸入空気中の揮発油成分と接触する
ことにより劣化して回路収容部１４の取付板挿通溝１６
から外部に溶け出し、流量検出素子２４の感温抵抗体２
４Ｂ等に付着するのを確実に防止でき、流量検出素子２
４の検出動作を長期間に亘って良好に保持できると共
に、耐久性、信頼性を向上させることができる。
リコン充填材２６が吸入空気中の揮発油成分と接触する
ことにより劣化して回路収容部１４の取付板挿通溝１６
から外部に溶け出し、流量検出素子２４の感温抵抗体２
４Ｂ等に付着するのを確実に防止でき、流量検出素子２
４の検出動作を長期間に亘って良好に保持できると共
に、耐久性、信頼性を向上させることができる。
【００４８】この場合、フッ素系シール材２７を、回路
収容部１４内で取付板挿通溝１６の近傍部位に配設した
ので、回路収容部１４内の他の部位では、シリコンゲル
等により汎用品として形成されたシリコン充填材２６に
より回路基板２３の大部分を覆うことができ、フッ素系
シール材２７の使用量を節約してコストダウンを図るこ
とができる。
収容部１４内で取付板挿通溝１６の近傍部位に配設した
ので、回路収容部１４内の他の部位では、シリコンゲル
等により汎用品として形成されたシリコン充填材２６に
より回路基板２３の大部分を覆うことができ、フッ素系
シール材２７の使用量を節約してコストダウンを図るこ
とができる。
【００４９】また、通路形成体１８の蓋体１９にストッ
パ部材２０を設け、このストッパ部材２０により回路収
容部１４の取付板挿通溝１６を閉塞したので、フッ素系
シール材２７は、例えば取付板挿通溝１６内でストッパ
部材２０の周囲に形成される微小な隙間をシールすれば
よくなり、少量のフッ素系シール材２７によってシール
性能を安定的に発揮することができる。
パ部材２０を設け、このストッパ部材２０により回路収
容部１４の取付板挿通溝１６を閉塞したので、フッ素系
シール材２７は、例えば取付板挿通溝１６内でストッパ
部材２０の周囲に形成される微小な隙間をシールすれば
よくなり、少量のフッ素系シール材２７によってシール
性能を安定的に発揮することができる。
【００５０】しかも、流量計測装置の組立時には、蓋体
１９を通路形成体１８に取付けることによってストッパ
部材２０を取付板挿通溝１６内に容易に配置でき、その
後にフッ素系シール材２７となるゲル状の高分子材料を
取付板挿通溝１６の近傍に塗布して固化させるだけで、
フッ素系シール材２７を各ボンディングワイヤ２５等の
間に隙間なく簡単に充填することができる。
１９を通路形成体１８に取付けることによってストッパ
部材２０を取付板挿通溝１６内に容易に配置でき、その
後にフッ素系シール材２７となるゲル状の高分子材料を
取付板挿通溝１６の近傍に塗布して固化させるだけで、
フッ素系シール材２７を各ボンディングワイヤ２５等の
間に隙間なく簡単に充填することができる。
【００５１】また、この充填作業時には、ゲル状の高分
子材料が取付板挿通溝１６から流量検出素子２４の感温
抵抗体２４Ｂ側に流出するのをストッパ部材２０によっ
て防止できるから、充填作業を円滑に実行することでき
る。さらに、流量計測装置の使用時には、フッ素系シー
ル材２７が経時劣化等により外部に散逸するのを防ぐこ
とができ、耐久性をより高めることができる。
子材料が取付板挿通溝１６から流量検出素子２４の感温
抵抗体２４Ｂ側に流出するのをストッパ部材２０によっ
て防止できるから、充填作業を円滑に実行することでき
る。さらに、流量計測装置の使用時には、フッ素系シー
ル材２７が経時劣化等により外部に散逸するのを防ぐこ
とができ、耐久性をより高めることができる。
【００５２】なお、実施の形態では、ケーシング１１に
よって回路収容部１４と通路形成体１８とを一体に形成
し、このケーシング１１を管路１に取付ける構成とした
が、本発明はこれに限らず、例えば図７、図８に示す変
形例のように、通路形成体１８′をケーシング１１′で
はなく管路１′と一体に設け、取付板２２′の素子取付
部２２Ｂ′を通路形成体１８′の上側からバイパス通路
２１′内に挿入する構成とした流量計測装置に適用して
もよい。
よって回路収容部１４と通路形成体１８とを一体に形成
し、このケーシング１１を管路１に取付ける構成とした
が、本発明はこれに限らず、例えば図７、図８に示す変
形例のように、通路形成体１８′をケーシング１１′で
はなく管路１′と一体に設け、取付板２２′の素子取付
部２２Ｂ′を通路形成体１８′の上側からバイパス通路
２１′内に挿入する構成とした流量計測装置に適用して
もよい。
【００５３】この場合、回路収容部１４′の先端側に
は、図８に示す如く収容ケース１４Ａ′と蓋板１４Ｂ′
との間を密閉する蓋体３１が取付けられ、該蓋体３１に
は取付板挿通溝１６′を閉塞するストッパ部材３２が設
けられている。
は、図８に示す如く収容ケース１４Ａ′と蓋板１４Ｂ′
との間を密閉する蓋体３１が取付けられ、該蓋体３１に
は取付板挿通溝１６′を閉塞するストッパ部材３２が設
けられている。
【００５４】
【発明の効果】以上詳述した通り、請求項１の発明によ
れば、ケーシングの基板取付凹部内には、取付板挿通溝
の近傍に位置してフッ素系シール材を設ける構成とした
ので、例えば被測流体中に揮発油成分が含まれている場
合でも、この揮発油成分に対して高い耐久性を有するフ
ッ素系シール材により取付板挿通溝を確実にシールで
き、ケーシングの基板取付凹部内に充填されたシリコン
充填材を被測流体から安定的に遮断し続けることができ
る。これにより、シリコン充填材が被測流体中の揮発油
成分と接触することにより劣化して取付板挿通溝から外
部に溶け出し、流量検出素子の検出部位等に付着するの
を確実に防止でき、その検出動作を長期間に亘って良好
に保持できると共に、耐久性、信頼性を向上させること
ができる。
れば、ケーシングの基板取付凹部内には、取付板挿通溝
の近傍に位置してフッ素系シール材を設ける構成とした
ので、例えば被測流体中に揮発油成分が含まれている場
合でも、この揮発油成分に対して高い耐久性を有するフ
ッ素系シール材により取付板挿通溝を確実にシールで
き、ケーシングの基板取付凹部内に充填されたシリコン
充填材を被測流体から安定的に遮断し続けることができ
る。これにより、シリコン充填材が被測流体中の揮発油
成分と接触することにより劣化して取付板挿通溝から外
部に溶け出し、流量検出素子の検出部位等に付着するの
を確実に防止でき、その検出動作を長期間に亘って良好
に保持できると共に、耐久性、信頼性を向上させること
ができる。
【００５５】また、請求項２の発明によれば、流量検出
素子の一部をケーシングの取付板挿通溝からケーシング
の基板取付凹部内に延設し、その表面部位をフッ素系シ
ール材によってシールする構成としたので、取付板挿通
溝を介して基板取付凹部の内，外に延設された流量検出
素子の表面部位をフッ素系シール材によって確実にシー
ルでき、基板取付凹部内を被測流体から安定的に遮断す
ることができる。
素子の一部をケーシングの取付板挿通溝からケーシング
の基板取付凹部内に延設し、その表面部位をフッ素系シ
ール材によってシールする構成としたので、取付板挿通
溝を介して基板取付凹部の内，外に延設された流量検出
素子の表面部位をフッ素系シール材によって確実にシー
ルでき、基板取付凹部内を被測流体から安定的に遮断す
ることができる。
【００５６】また、請求項３の発明によれば、ケーシン
グには取付板挿通溝を閉塞するストッパ部材を設ける構
成としたので、流量計測装置の組立時には、フッ素系シ
ール材となるゲル状の材料が固化する前に取付板挿通溝
から外部に流出するのをストッパ部材によって確実に防
止でき、その充填作業を円滑に実行できると共に、フッ
素系シール材の使用量を節約することができる。また、
流量計測装置の使用時には、フッ素系シール材が経時劣
化等により外部に散逸するのを防止でき、耐久性をより
高めることができる。
グには取付板挿通溝を閉塞するストッパ部材を設ける構
成としたので、流量計測装置の組立時には、フッ素系シ
ール材となるゲル状の材料が固化する前に取付板挿通溝
から外部に流出するのをストッパ部材によって確実に防
止でき、その充填作業を円滑に実行できると共に、フッ
素系シール材の使用量を節約することができる。また、
流量計測装置の使用時には、フッ素系シール材が経時劣
化等により外部に散逸するのを防止でき、耐久性をより
高めることができる。
【００５７】さらに、請求項４の発明によれば、ストッ
パ部材を通路形成体の蓋体に設ける構成としたので、流
量計測装置の組立時には、蓋体を通路形成体に取付ける
ことによってストッパ部材を取付板挿通溝内に容易に配
置でき、組立作業を円滑に行うことができる。
パ部材を通路形成体の蓋体に設ける構成としたので、流
量計測装置の組立時には、蓋体を通路形成体に取付ける
ことによってストッパ部材を取付板挿通溝内に容易に配
置でき、組立作業を円滑に行うことができる。
【図１】本発明の実施の形態による流量計測装置を管路
に取付けた状態で示す縦断面図である。
に取付けた状態で示す縦断面図である。
【図２】本発明の実施の形態による流量計測装置を一部
破断して示す正面図である。
破断して示す正面図である。
【図３】図２中の矢示III − III方向からみた流量計測
装置の縦断面図である。
装置の縦断面図である。
【図４】シリコン充填材、フッ素系シール材等を示すケ
ーシングの部分拡大正面図である。
ーシングの部分拡大正面図である。
【図５】図４中の矢示Ｖ−Ｖ方向からみたケーシングの
部分拡大断面図である。
部分拡大断面図である。
【図６】通路形成体に蓋体を取付ける前の状態を示す分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図７】実施の形態の変形例による流量計測装置を管路
に取付けた状態で示す縦断面図である。
に取付けた状態で示す縦断面図である。
【図８】シリコン充填材、フッ素系シール材等を示すケ
ーシングの部分拡大断面図である。
ーシングの部分拡大断面図である。
１ 管路 ２ 流路 １１ ケーシング １２ 取付部 １４ 回路収容部 １４Ａ 収容ケース １４Ａ1 周壁部 １５ 基板取付凹部 １６ 取付板挿通溝 １８ 通路形成体 １８Ａ 凹溝（通路部） １９ 蓋体 ２０，３２ ストッパ部材 ２１ バイパス通路 ２２ 取付板 ２２Ａ 基板取付部 ２２Ｂ 素子取付部 ２３ 回路基板 ２４ 流量検出素子 ２６ シリコン充填材 ２７ フッ素系シール材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉井 清 神奈川県厚木市恩名1370番地 株式会社ユ ニシアジェックス内 Ｆターム(参考） 2F035 AA02 EA03 EA05 EA08
Claims (4)
- 【請求項１】 被測気体が流通する管路に取付けられ基
板取付凹部が設けられると共に該基板取付凹部を取囲む
周壁部位を前記管路内に面した位置で切欠くことにより
取付板挿通溝が設けられたケーシングと、 前記ケーシングの基板取付凹部に配置される基板取付部
と該基板取付部から前記取付板挿通溝を介してケーシン
グの基板取付凹部の外側に延びた素子取付部とを有する
取付板と、 該取付板の基板取付部に設けられ電子部品が実装された
回路基板と、 前記取付板の素子取付部に設けられ前記被測流体の流量
を検出する流量検出素子と、 シリコン材料により形成され前記ケーシングの基板取付
凹部内に充填されて前記回路基板を覆うシリコン充填材
とからなる流量計測装置において、 前記ケーシングの基板取付凹部内であって取付板挿通溝
の近傍には、フッ素系高分子材料により形成され前記取
付板挿通溝をシールすることにより前記シリコン充填材
をケーシングの基板取付凹部内に保持するフッ素系シー
ル材を設ける構成としたことを特徴とする流量計測装
置。 - 【請求項２】 前記流量検出素子の一部を前記ケーシン
グの取付板挿通溝から前記ケーシングの基板取付凹部内
に延設し、前記フッ素系シール材によって前記流量検出
素子の表面部位をシールする構成としてなる請求項１に
記載の流量計測装置。 - 【請求項３】 前記ケーシングには前記取付板挿通溝を
閉塞して前記フッ素系シール材が取付板挿通溝から外部
に流出するのを防止するストッパ部材を設けてなる請求
項１または２に記載の流量計測装置。 - 【請求項４】 前記ケーシングには前記取付板の素子取
付部を臨む位置に通路部を形成する通路形成体を設け、
該通路形成体には前記通路部を閉塞してバイパス通路を
形成する蓋体を設け、該蓋体には前記ストッパ部材を設
ける構成としてなる請求項３に記載の流量計測装置。
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