JP2000002572A

JP2000002572A - 気体流量計測装置

Info

Publication number: JP2000002572A
Application number: JP10183366A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Morota; 清諸田
Original assignee: Unisia Jecs Corp
Current assignee: Hitachi Unisia Automotive Ltd
Priority date: 1998-06-15
Filing date: 1998-06-15
Publication date: 2000-01-07

Abstract

(57)【要約】【課題】基板取付凹部内に充填されたシール材がケー
シング外に突出した流量検出素子側に漏出するのを防止
し、流量検出素子の表面にシール材が付着するのを防止
し、流量検出素子での検出感度のばらつきを抑える。【解決手段】流量計測装置９を、ケーシング１０、取
付板１７、回路基板２０、流量検出素子２２、シール材
２７、蓋体２８等から構成する。また、ケーシング１０
の基板取付凹部１４には取付板嵌合溝を形成し、この取
付板嵌合溝内に取付板１７の素子取付部１９を嵌合した
状態で、ケーシング１０にストッパ部材２４を取付け
る。このとき、ストッパ部材２４は、ストッパ本体部２
５と、その先端に固着されたシリコンゴムからなる弾性
突起２６とによって構成しており、この弾性突起２６は
流量検出素子２２の表面に弾性変形状態で当接する。こ
れにより、流量検出素子２２の表面に、シール材２７が
漏出するのを防止している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車用エ
ンジン等の吸入空気流量を検出するのに用いて好適な気
体流量計測装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、自動車用エンジン等では、エン
ジン本体の燃焼室内で燃料と吸入空気との混合気を燃焼
させ、その燃焼圧からエンジンの回転出力を取出すよう
にしており、燃料の噴射量等を高精度に演算するために
吸入空気流量を検出することが要求されている。

【０００３】そこで、この種の従来技術として、例えば
特開平９−３２９４７２号公報に示す気体流量計測装置
が知られている。

【０００４】ここで、この気体流量計測装置は、被測気
体が流通する管路に取付けられ、管路内に位置する部位
に周壁によって囲まれた基板取付凹部が形成されると共
に該周壁の一部が切欠かれて取付板嵌合溝が形成された
ケーシングと、該ケーシングに取付けられた板状体から
なり、前記基板取付凹部と対向した位置に基板取付部を
有すると共に取付板嵌合溝からケーシング外に延びる素
子取付部を有する取付板と、該取付板の基板取付部に設
けられた回路基板と、一部分が前記ケーシング外に延出
した状態で前記取付板の素子取付部に取付けられ、管路
内の被測気体の流量を検出する流量検出素子と、前記取
付板の素子取付部を前記ケーシングの取付板嵌合溝に嵌
合した状態で、該取付板嵌合溝を閉塞するためケーシン
グに取付けられたストッパ部材と、該ストッパ部材と前
記周壁とで囲まれた前記基板取付凹部内に回路基板の表
面を覆うように充填されたシール材とから構成されてい
る。

【０００５】また、この従来技術による流量検出素子
は、シリコン基板と、該シリコン基板の表面に形成さ
れ、中央に位置したヒータと該ヒータの左右に位置した
２個の測温抵抗体とから構成されている。そして、被測
気体が流量検出素子の表面を流れるとき、この空気流に
よって冷却される各測温抵抗体の抵抗値変化を利用し
て、流量を検出するものである。

【０００６】さらに、従来技術による気体流量計測装置
では、管路にバイパス通路を有する通路形成体を設け、
流量検出素子をバイパス通路の途中に配設する構成とし
ている。これにより、管路内に脈動が発生したときで
も、バイパス通路内を流れる被測気体を整流化した状態
で流量検出素子に接触させ、被測気体の流量を精度良く
検出し得ることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術による気体流量計測装置では、取付板の回路取付
部に回路基板を設け、取付板の素子取付部に流量検出素
子を設け、該回路基板と素子取付部との間は、ボンディ
ングワイヤによって電気的に接続されている。

【０００８】さらに、このボンディングワイヤによる短
絡（ショート）防止と回路基板に実装された電子部品の
保護等を図るために、通路形成体の基板取付凹部内には
ボンディングワイヤと共に回路基板の表面を覆うように
してシール材が充填されている。

【０００９】また、シール材を充填する前に、取付板の
素子取付部をケーシングの取付板嵌合溝に嵌合した状態
で、ケーシングにストッパ部材を取付け、該ストッパ部
材によって取付板嵌合溝を閉塞している。しかも、スト
ッパ部材には、当接部が形成され、素子取付部に設けら
れた流量検出素子の表面にストッパ部材の当接部を当接
させている。

【００１０】しかし、従来技術では、ストッパ部材を硬
質の樹脂材料によって形成しているから、当接部と流量
検出素子の表面との間に隙間をなくすために、当接部を
強く当接させると、素子の表面が傷付いたり、破壊する
虞れがある。一方、当接部を流量検出素子の表面に対し
て軽く当接させた場合には、当接部と流量検出素子の表
面との間には微小な隙間が形成され易くなる。

【００１１】これにより、シール材を充填するときに、
該シール材が当接部と流量検出素子の表面との間に形成
された隙間からケーシング外に延出した流量検出素子の
表面に付着してしまう。このため、流量検出素子に付着
したシール材によって、この流量検出素子の表面を流れ
る被測気体による冷却作用を鈍らせ、該流量検出素子の
検出感度をばらつかせてしまい、その信頼性を低下させ
てしまうという問題がある。

【００１２】一方、シール材の充填時に前記隙間からシ
ール材が漏出しなかった場合でも、経時変化等によって
シール材が流量検出素子の表面に漏出してしまうことも
あり、これを防止するためには、特別に調合したシール
材を用いる場合もある。しかし、この場合には、特別に
調合したシール材は汎用品に比べてコスト高になるとい
う問題がある。

【００１３】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、本発明は基板取付凹部内に充填されたシ
ール材がケーシング外に延出した流量検出素子側に漏出
するのを防止し、該流量検出素子によって管路内を流れ
る被測気体の流量を精度良く測定することのできる気体
流量計測装置を提供することを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１の発明では、被測気体が流通する管路
に取付けられ、管路内に位置する部位に周壁によって囲
まれた基板取付凹部が形成されると共に該周壁の一部が
切欠かれて取付板嵌合溝が形成されたケーシングと、該
ケーシングに取付けられた板状体からなり、前記基板取
付凹部と対向した位置に基板取付部を有すると共に取付
板嵌合溝からケーシング外に延びる素子取付部を有する
取付板と、該取付板の基板取付部に設けられた回路基板
と、一部分が前記ケーシング外に延出した状態で前記取
付板の素子取付部に取付けられ、管路内の被測気体の流
量を検出する流量検出素子と、前記取付板の素子取付部
を前記ケーシングの取付板嵌合溝に嵌合した状態で、該
取付板嵌合溝を閉塞するためケーシングに取付けられた
ストッパ部材と、該ストッパ部材と前記周壁とで囲まれ
た前記基板取付凹部内に回路基板の表面を覆うように充
填されたシール材とからなる気体流量計測装置におい
て、前記ストッパ部材を、前記シール材が取付板嵌合溝
から流量検出素子のうちケーシング外に延出した部位に
漏出するのを防止するため、前記流量検出素子の表面に
弾性的に当接する構成としたことを特徴としている。

【００１５】このように構成したことにより、ストッパ
部材を流量検出素子の表面に対して弾性変形状態で当接
させ、基板取付凹部内のシール材がケーシング外に延出
した流量検出素子側に漏出するのを、ストッパ部材によ
って阻止できる。

【００１６】請求項２の発明では、ストッパ部材に、該
ストッパ部材をケーシングに取付けたとき流量検出素子
の表面に向けて延びる当接部を形成し、該ストッパ部材
の当接部は少なくともその先端部分を弾性材料によって
形成する構成としたことにある。

【００１７】このような構成としたことにより、弾性材
料からなるストッパ部材の当接部は流量検出素子の表面
に弾性的に当接し、素子表面を保護することができる。
この結果、流量検出素子の表面とストッパ部材の当接部
との間に隙間が残るのを防止でき、ケーシング外に延出
した流量検出素子側にシール材が漏出するのを阻止する
ことができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る気体流量計測
装置の実施の形態を、図１ないし図９を参照しつつ、被
測気体として吸入空気を用いた場合を例に挙げて説明す
る。

【００１９】１は管路で、該管路１は例えば樹脂材料、
金属材料等によって円筒状に形成され、該管路１は、そ
の内部が被測気体となる吸入空気が流通する通気路２と
なった管壁１Ａと、該管壁１Ａのほぼ中間部に位置して
径方向外側に向けて突設した小径筒状の取付口１Ｂとか
ら大略構成され、該取付口１Ｂには後述する流量計測装
置９が取付けられる。

【００２０】ここで、管路１はエンジンの吸気管の途中
に接続され、その一端側にはエアクリーナ（図示せず）
が接続され、他端側にはエンジンのシリンダ内と連通す
る吸気マニホールドがスロットルバルブ（いずれも図示
せず）等を介して接続されている。そして、エアクリー
ナで清浄化された空気は、管路１内を矢示Ａ方向に流通
するものである。

【００２１】３は後述のバイパス通路４を形成する通路
形成体で、該通路形成体３は管路１の取付口１Ｂと対向
する位置で、前記管路１の管壁１Ａから通気路２の軸中
心Ｏ−Ｏ位置まで半径方向内向きに突出し、前記管路１
と一体構造をなす縦長の矩形状体として形成されてい
る。

【００２２】４は通路形成体３内に設けられたバイパス
通路で、該バイパス通路４は、図１に示すように、前記
通路形成体３内にほぼＵ字状に形成され、流入口５は通
路形成体３の前面で通気路２の軸中心Ｏ−Ｏの近傍位置
に開口し、流出口６は通路形成体３の側面に開口してい
る。また、通路形成体３内で縦方向に延びる通路の途中
部位は通路絞り部７となり、該絞り通路部７はバイパス
通路４内を流れる空気流を整流化するものである。

【００２３】８は素子挿入口で、該素子挿入口８は通路
形成体３の先端側に形成されている。そして、この素子
挿入口８内には後述の素子取付部１９が挿入され、これ
によって流量計測装置９の流量検出素子２２はバイパス
通路４内に配設される。

【００２４】９は気体流量計測装置としての流量計測装
置で、該流量計測装置９は後述のケーシング１０、取付
板１７、回路基板２０、流量検出素子２２等によって構
成され、その基端側を管路１の取付口１Ｂに取付けるこ
とにより、流量検出素子２２は素子挿入口８を挿通して
バイパス通路４の途中に配設される。

【００２５】１０は例えば樹脂材料によって段付円柱状
に形成され、流量計測装置９の基台となるケーシング
で、該ケーシング１０は、図２、図３等に示すように、
その基端側に形成された鍔状の取付部１１と、該取付部
１１から管路１内に向けて延び全体として略長方形の箱
形状に形成された回路収容部１２と、管路１の外側に位
置して前記取付部１１に形成され、外部と信号の授受を
行うコネクタ部１３とから構成され、該コネクタ部１３
の各端子１３Ａは、その基端側が後述する基板取付凹部
１４内へと延びている。

【００２６】また、回路収容部１２には、矩形状をなす
周壁１４Ａによって囲まれ、管路１内に配置される基板
取付凹部１４と、該基板取付凹部１４の周壁１４Ａのう
ちケーシング１０の先端側に位置した部位を切欠くこと
により形成された取付板嵌合溝１５と、該取付板嵌合溝
１５の両側に位置して後述するストッパ部材２４の嵌合
突起２５Ｂが嵌合される嵌合穴１６，１６とが設けられ
ている。

【００２７】１７はケーシング１０の基板取付凹部１４
に取付けられた板状体からなる取付板で、該取付板１７
は例えば金属板からなり、図４に示す如く、基板取付凹
部１４と対向した位置に左右を折曲げて形成された基板
取付部１８と、該基板取付部１８の先端側に一体的に形
成され、取付板嵌合溝１５に嵌合されて先端側がケーシ
ング１０外に延びた素子取付部１９とからなり、該素子
取付部１９には流量検出素子２２を収容する長方形状の
素子収容凹部１９Ａが形成されている。

【００２８】２０は取付板１７の基板取付部１８に設け
られた回路基板で、該回路基板２０は流量検出素子２２
との間で電気信号の授受を行う電子部品が実装されてい
る。また、これらの電子部品は、流量検出素子２２のヒ
ータを制御するヒータ制御回路、各測温抵抗体の検出信
号を増幅する増幅回路、逆流検知回路等を含んで構成し
ている。また、該回路基板２０とコネクタ部１３の各端
子１３Ａとは複数本のボンディングワイヤ２１によって
接続されている。

【００２９】２２は素子取付部１９の素子収容凹部１９
Ａ内に設けられたプレート型の流量検出素子で、該流量
検出素子２２は、図６に示すように、長方形状のシリコ
ン基板２２Ａと、該シリコン基板の表面のうち、基板取
付凹部１４側に位置した基端側に形成された接続部２２
Ｂと、取付板嵌合溝１５から延びた先端側に形成され、
該接続部２２Ｂと配線パターン（図示せず）を用いて接
続された検出部２２Ｃとから構成され、該検出部２２Ｃ
は、中央に位置したヒータと、該ヒータの左右に位置し
た２個の測温抵抗体（いずれも図示せず）とから大略構
成されている。

【００３０】そして、流量検出素子２２では、その表面
を吸入空気が流れるとき、この空気流によって冷却され
る検出部２２Ｃの各測温抵抗体での抵抗値変化を利用し
て、流量を検出する。また、該流量検出素子２２の接続
部２２Ｂと回路基板２０とは、複数本のボンディングワ
イヤ２３によって接続されている。さらに、流量検出素
子２２を素子収容凹部１９Ａに取付けることにより、流
量検出素子２２のうち、先端側に位置している部分はケ
ーシング１０外に延出した状態となっている。

【００３１】２４はケーシング１０の取付板嵌合溝１５
に取付けられたストッパ部材で、該ストッパ部材２４
は、後述するストッパ本体部２５と、弾性突起２６とに
よって構成されている。ここで、ストッパ部材２４を構
成するストッパ本体部２５は、図５に示すように、取付
板嵌合溝１５を横切るように平板状に延びた細長板部２
５Ａと、該細長板部２５Ａの左右両側に位置して回路収
容部１２の嵌合穴１６に向けて突出し、該各嵌合穴１６
内に嵌合される左右の嵌合突起２５Ｂと、該各嵌合突起
２５Ｂ間に位置して取付板嵌合溝１５内に嵌合され、図
８に示す如くボンディングワイヤ２３に近接した位置ま
で延びる中央突起２５Ｃと、該中央突起２５Ｃと細長板
部２５Ａとの間に形成された凹部２５Ｄとにより構成さ
れている。

【００３２】２６はストッパ部材２４の当接部となる弾
性突起で、該弾性突起２６は、ストッパ本体部２５の中
央突起２５Ｃの下側に固着されている。ここで、弾性突
起２６は、例えばシリコンゴム等の柔軟性を有した弾性
材料によって形成され、左右の嵌合突起２５Ｂよりも長
い突出寸法を有している。また、弾性突起２６は取付板
嵌合溝１５の溝幅に対応する幅寸法を有し、その左右両
端側が取付板嵌合溝１５に接触する。そして、該弾性突
起２６は、ストッパ部材２４を取付板嵌合溝１５に取付
けたとき、流量検出素子２２の表面に対して弾性変形状
態で当接される（図８参照）。

【００３３】ここで、ストッパ部材２４は、図５ないし
図８に示すように、ストッパ本体部２５の左右の嵌合突
起２５Ｂをケーシング１０側の各嵌合穴１６内に嵌合さ
せることにより、ケーシング１０の取付板嵌合溝１５内
に取付けられる。そして、ストッパ本体部２５の中央突
起２５Ｃは弾性突起２６と共に取付板嵌合溝１５に嵌合
し、ストッパ部材２４によって取付板嵌合溝１５は閉塞
される。さらにこのとき、ストッパ部材２４の弾性突起
２６の先端は、図６の点線で示す位置、即ち接続部２２
Ｂと検出部２２Ｃとの間に位置した流量検出素子２２の
表面に対して弾性変形状態で当接される。

【００３４】２７はシール材で、該シール材２７はシリ
コンゲルによって形成され、図３に示す如く、回路基板
２０を表面側から覆うように、基板取付凹部１４内に充
填されている。そして、該シール材２７は、ボンディン
グワイヤ２１，２３による短絡（ショート）防止と回路
基板２０に実装された電子部品の保護等を行うものであ
る。

【００３５】２８は基板取付凹部１４を施蓋する蓋体
で、該蓋体２８はシール材２７との間に空間をもってケ
ーシング１０に設けられ、その外縁部が基板取付凹部１
４の周壁１４Ａ等に接着されている。

【００３６】本実施の形態による流量計測装置９は、上
述の如き構成を有するもので、次にその検出動作につい
て述べる。

【００３７】即ち、管路１の取付口１Ｂに流量計測装置
９を取付ることにより、バイパス通路４の途中に流量検
出素子２２を配設する。そして、通気路２内を矢示Ａ方
向に吸入空気が流れたとき、該流量検出素子２２には、
バイパス通路４によって整流化された吸入空気が接触す
るから、流量計測装置９は吸入空気の流量を精度良く検
出することができる。

【００３８】ここで、本実施の形態では、ケーシング１
０に形成した取付板嵌合溝１５に素子取付部１９を嵌合
させることにより、ケーシング１０から流量検出素子２
２の先端部分を延出させると共に、取付板嵌合溝１５を
閉塞するためケーシング１０にストッパ部材２４を取付
ける構成としている。しかも、ストッパ部材２４のうち
シリコンゴムによって形成された弾性突起２６は、流量
検出素子２２の表面に対して弾性変形状態で当接してい
る。

【００３９】これにより、弾性突起２６は、流量検出素
子２２の表面に形成された配線パターンを傷付けること
なく、流量検出素子２２の表面に対して隙間なく当接す
ることができる。しかも、流量検出素子２２の表面が配
線パターン等によって若干の凸凹形状となっていたとし
ても、ストッパ部材２４の弾性突起２６は、流量検出素
子２２の表面に対して弾性変形状態で当接しているか
ら、この凸凹部分との間に隙間を残さず、流量検出素子
２２の表面に密着するように当接することができる。

【００４０】このように、流量検出素子２２の表面に弾
性変形状態で当接されたストッパ部材２４は、基板取付
凹部１４内に充填されたシール材２７が、ケーシング１
０外に延出した流量検出素子２２側に漏出するのを阻止
することができる。

【００４１】さらに、図４に示す如く、ケーシング１０
の基板取付凹部１４内に取付板１７を取付け、次にスト
ッパ部材２４を取付板嵌合溝１５近傍に位置してケーシ
ング１０の嵌合穴１６に取付けることにより、ストッパ
部材２４の弾性突起２６によって取付板嵌合溝１５を閉
塞し、シール材２７を回路基板２０の表面側を覆うよう
にして充填する。このとき、図８に示すように、ストッ
パ本体部２５に形成した中央突起２５Ｃと凹部２５Ｄと
は、基板取付凹部１４内に充填するときのシール材２７
の圧力が、弾性突起２６に直接的に加わるのを抑制し、
シール材２７が漏出するのをより確実に防止することが
できる。

【００４２】かくして、本実施の形態では、ストッパ部
材２４の弾性突起２６によって取付板嵌合溝１５を閉塞
することにより、基板取付凹部１４内のシール材２７が
ケーシング１０外に延出した流量検出素子２２側に漏出
するのを阻止し、流量検出素子２２の表面にシール材２
７が付着するのを防止することができる。この結果、流
量検出素子２２では、付着したシール材による冷却作用
の変動をなくし、検出感度のばらつきを抑え、流量計測
装置９の信頼性を高めることができる。

【００４３】さらに、従来技術では、このシール材２７
の経時劣化等による漏出を防止するために、シール材に
特別な調合を行ったものを用いる場合もあったが、スト
ッパ部材２４の弾性突起２６によって取付板嵌合溝１５
を確実に閉塞することにより、シール材２７に汎用品と
してのシリコンゲルを用いることができ、コスト低減も
図ることができる。

【００４４】なお、実施の形態では、バイパス通路４が
形成された通路形成体３を管路１に設け、該バイパス通
路４の途中に流量検出素子２２を設けるものについて述
べたが、本発明はこれに限らず、図９の変形例に示す流
量計測装置９′のように、ケーシング１０′の先端側に
通路形成体３′を形成し、該通路形成体３′内に形成し
たバイパス通路４′の途中に流量検出素子２２を配設し
たものに適用してもよい。

【００４５】また、実施の形態では、ストッパ部材２４
のうち弾性突起２６をシリコンゴムによって形成した場
合について述べたが、ストッパ部材２４全体をシリコン
ゴムによって形成してもよく、流量検出素子２２の表面
に当接部が弾性的に当接する構造であればよい。

【００４６】

【発明の効果】以上詳述した如く、請求項１の発明で
は、ストッパ部材を素子取付部に設けられた流量検出素
子の表面に対して弾性的に当接させることにより、基板
取付凹部内のシール材がケーシング外に延出した流量検
出素子側に漏出して付着するのをストッパ部材によって
防止し、該流量検出素子での検出感度のばらつきを抑
え、気体流量計測装置の信頼性を高めることができる。

【００４７】しかも、ストッパ部材によってシール材の
漏出を長期に亘って防止でき、仮にシール材が経時劣化
した場合でも、流量検出素子の表面側へとシール材が漏
出することはなく、特別に調合したシール材等を不要に
でき、コスト低減も図ることができる。

【００４８】請求項２の発明では、弾性材料からなるス
トッパ部材の当接部を、流量検出素子の表面に弾性変形
状態で当接させることができ、素子表面の保護を図ると
共に、当接部と流量検出素子の表面との間に隙間が残る
のを防止でき、ケーシング外に延出した流量検出素子側
にシール材が漏出して付着するのを阻止し、流量検出素
子での検出感度のばらつきを抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態による流量計測装置を管路に取付
けた状態を示す縦断面図である。

【図２】図１中の流量計測装置を蓋体の一部を破断とし
て示す正面図である。

【図３】図２中の矢示III −III 方向からみた流量計測
装置の縦断面図である。

【図４】ケーシングに取付板、蓋体等を取付ける前の状
態を分解して示す分解断面図である。

【図５】ケーシングの取付板嵌合溝にストッパ部材を取
付ける前の状態を拡大して示す要部斜視図である。

【図６】ケーシングの取付板嵌合溝に素子取付部を取付
けた状態を拡大して示す要部正面図である。

【図７】ケーシングの取付板嵌合溝にストッパ部材を取
付けた状態を拡大して示す要部正面図である。

【図８】図３中のａ部を拡大して示す拡大縦断面図であ
る。

【図９】実施の形態の変形例による流量計測装置を管路
に取付けた状態を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１管路９，９′ 流量計測装置（気体流量計測装置）１０，１０′ ケーシング１４基板取付凹部１４Ａ周壁１５取付板嵌合溝１７取付板１８基板取付部１９素子取付部２０回路基板２１，２３ボンディングワイヤ２２流量検出素子２４ストッパ部材２５ストッパ本体部２６弾性突起（当接部）２７シール材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測気体が流通する管路に取付けられ、
管路内に位置する部位に周壁によって囲まれた基板取付
凹部が形成されると共に該周壁の一部が切欠かれて取付
板嵌合溝が形成されたケーシングと、該ケーシングに取
付けられた板状体からなり、前記基板取付凹部と対向し
た位置に基板取付部を有すると共に取付板嵌合溝からケ
ーシング外に延びる素子取付部を有する取付板と、該取
付板の基板取付部に設けられた回路基板と、一部分が前
記ケーシング外に延出した状態で前記取付板の素子取付
部に取付けられ、管路内の被測気体の流量を検出する流
量検出素子と、前記取付板の素子取付部を前記ケーシン
グの取付板嵌合溝に嵌合した状態で、該取付板嵌合溝を
閉塞するためケーシングに取付けられたストッパ部材
と、該ストッパ部材と前記周壁とで囲まれた前記基板取
付凹部内に回路基板の表面を覆うように充填されたシー
ル材とからなる気体流量計測装置において、前記ストッパ部材は、前記シール材が取付板嵌合溝から
流量検出素子のうちケーシング外に延出した部位に漏出
するのを防止するため、前記流量検出素子の表面に弾性
的に当接する構成としたことを特徴とする気体流量計測
装置。
【請求項２】前記ストッパ部材には、該ストッパ部材
を前記ケーシングに取付けたとき前記流量検出素子の表
面に向けて延びる当接部を形成し、該ストッパ部材の当
接部は少なくともその先端部分を弾性材料によって形成
する構成としてなる請求項１記載の気体流量計測装置。