JP2001338490A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- G11C—STATIC STORES
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- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
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- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
する。 【解決手段】 インバータ1段又は奇数段のインバータ
で構成したワードリセット回路7を設け、リダンダンシ
メインワードデコーダ25が出力するリダンダンシメイ
ンワード信号RWLPをワードリセット回路7に導き、
ワードリセット回路7の出力信号を、選択したワードド
ライバ回路14及びリダンダンシワードドライバ回路2
4に入力すると共に、メインワード信号WLPとリダン
ダンシメインワード信号RWLPとが同じタイミングで
立ち上がり、立ち下がるように制御することを特徴とす
る。
Description
係わり、特に、高速動作を可能にしたDRAMに好適な
半導体記憶装置に関する。
て説明する。
である。
と呼ぶ一定単位の領域で分け、ブロックセレクト回路1
の出力であるブロックセレクト信号2で選択される領域
の一部を示している。
と、アドレス信号3に基づきワードデコード信号(R
A、RA+1の二つのみを代表として示した)を出力す
るワードデコーダ13と、前記ワードデコード信号(R
A、RA+1)で所定のメモリセル11を活性化するた
め、所定のワード線(WL、WL+1の二つのみを代表
として示した)をドライブするために設けた複数のワー
ドドライバ回路14と、前記複数のワードドライバ回路
14から所定のワードドライバ回路14を選択するため
のメインワード信号(WLP〜WLP+n)を出力する
メインワードデコーダ15と、リダンダンシメモリセル
21と、アドレス信号に基づきリダンダンシワードデコ
ード信号(RRA、RRA+1の二つのみを代表として
示した)を出力するリダンダンシワードデコーダ23
と、前記リダンダンシワードデコード信号(RRA、R
RA+1)で所定のリダンダンシメモリセル21を活性
化するため、所定のリダンダンシワード線(RWL、R
WL+1の二つのみを代表として示した)をドライブす
るために設けたリダンダンシワードドライバ回路24
と、前記リダンダンシワードドライバ回路24を選択す
るためのリダンダンシメインワード信号RWLPを出力
するリダンダンシメインワードデコーダ25と、ブロッ
クセレクト信号2からワードリセット信号WLRを生成
し、選択したワードドライバ回路14及びリダンダンシ
ワードドライバ回路24を制御するワードリセット回路
27と、ビット線を1/2VCCにチャージするプリチ
ャージ回路31と、ビット線(BL、BLB)に読み出
したセルデータを増幅するセンスアンプ32とを有して
いる。
21は、図9に示したように、nMOSFETと容量素
子とで構成されている。基準電位は、1/2VCCであ
る。
レイ回路27aと、NAND27bと,インバータ27
c、27dで構成されている。
ジスタT3を介して、メインワード線WLPの電位で制
御され、ワード線WLをワードデコード信号RAにより
活性化するトランジスタT1と、活性化したワード線W
Lをプルダウン信号14aで非活性化するトランジスタ
T2と、ドレインが高位側電源VCCに接続され、ソー
スがプルダウン信号14a用のプルダウン信号線14L
に接続され、ゲートが前記ワードリセット回路27の出
力に接続されるトランジスタT4と、ドレインがプルダ
ウン信号線14Lに接続され、ソースが低位側電源GN
Dに接続され、ゲートが前記メインワード線WLPに接
続されるトランジスタT5とで構成している。
4も、ワードドライバ回路14と同様に構成され、ワー
ドリセット回路27のワードリセット信号WLRで、リ
ダンダンシドライバ回路24が選択されるように構成さ
れている。
ミングを図10を用いて説明する。
ド線RWLPは、本セル(メモリセル11)を選択する
場合は動作せず、リダンダンシセル21を選択する時の
み動作する。従って、ワードリセット回路27の入力
は、ブロックセレクト信号2を用いていた。
線WLPのタイミングにおいて、図7のトランジスタT
4、T5の貫通電流を防ぐ必要がある。
うに、論理ゲート数段で構成し、一般にアドレスの数が
増えるとゲート段数も増え、ゲート遅延も加算する。
ダ回路の構成に合わせて、ディレイ回路を備えている。
のトランジスタT4、T5が同時オンしないようにして
いる。
セレクト信号2がHIGHになり、時間t1後、ワード
リセット信号WLRがLOWになる。更に、時間t3
後、メインワード線WLPがHIGHになり、更に、時
間t5後、接点RがLOWになる。
るときは、メインワード線WLPがLOWになってか
ら、時間t4後、ワードリセット信号WLRがHIGH
になり、更に、時間t6後に、接点RがHIGHにな
る。
ランジスタT4はON、T5はOFF、時間t3におい
て、トランジスタT4、T5が共にOFF、時間t5以
降において、トランジスタT4はOFF、T5はON、
又、時間t4において、トランジスタT4、T5が共に
OFF、時間t6において、トランジスタT4はON、
T5はOFFであり、特に、ばらつきを考慮し、ディレ
イ回路27aで時間t4にマージンを持たせた設計を行
っていた。
回路27aを使うことにより期待した動作の実現が可能
であるが、動作マージンを確保するため、ワードリセッ
ト信号WLRの立ち上がりタイミングを遅らせるので、
高速化が困難であった。
した従来技術の欠点を改良し、特に、高速動作を可能に
した新規な半導体記憶装置を提供することにある。
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。
1態様は、メモリセルと、アドレス信号に基づきワード
デコード信号を出力するワードデコーダと、前記ワード
デコード信号で所定のメモリセルを活性化するため、所
定のワード線をドライブするために設けた複数のワード
ドライバ回路と、前記複数のワードドライバ回路から所
定のワードドライバ回路を選択するためのメインワード
信号を出力するメインワードデコーダと、リダンダンシ
メモリセルと、アドレス信号に基づきリダンダンシワー
ドデコード信号を出力するリダンダンシワードデコーダ
と、前記リダンダンシワードデコード信号で所定のリダ
ンダンシメモリセルを活性化するため、所定のリダンダ
ンシワード線をドライブするために設けたリダンダンシ
ワードドライバ回路と、前記リダンダンシワードドライ
バ回路を選択するためのリダンダンシメインワード信号
を出力するリダンダンシメインワードデコーダとを少な
くとも含む半導体記憶装置において、インバータ1段又
は奇数段のインバータで構成したワードリセット回路を
設け、前記リダンダンシメインワードデコーダが出力す
るリダンダンシメインワード信号を前記ワードリセット
回路に導き、前記ワードリセット回路の出力信号を、選
択した前記ワードドライバ回路及びリダンダンシワード
ドライバ回路に入力すると共に、前記メインワード信号
とリダンダンシメインワード信号とが同じタイミングで
立ち上がり、立ち下がるように制御することを特徴とす
るものであり、叉、第2態様は、メモリセルと、アドレ
ス信号に基づきワードデコード信号を出力するワードデ
コーダと、前記ワードデコード信号で所定のメモリセル
を活性化するため、所定のワード線をドライブするため
に設けた複数のワードドライバ回路と、前記複数のワー
ドドライバ回路から所定のワードドライバ回路を選択す
るためのメインワード信号を出力するメインワードデコ
ーダと、リダンダンシメモリセルと、アドレス信号に基
づきリダンダンシワードデコード信号を出力するリダン
ダンシワードデコーダと、前記リダンダンシワードデコ
ード信号で所定のリダンダンシメモリセルを活性化する
ため、所定のリダンダンシワード線をドライブするため
に設けたリダンダンシワードドライバ回路と、前記リダ
ンダンシワードドライバ回路を選択するためのリダンダ
ンシメインワード信号を出力するリダンダンシメインワ
ードデコーダとを少なくとも含む半導体記憶装置におい
て、それぞれの前記ワードドライバ回路に対応してイン
バータ1段又は奇数段のインバータで構成したワードリ
セット回路を設け、前記メインワードデコーダが出力す
るメインワード信号を前記ワードリセット回路に導き、
前記ワードリセット回路の出力信号を、選択した前記ワ
ードドライバ回路に入力するように構成すると共に、前
記メインワード信号とリダンダンシメインワード信号と
が同じタイミングで立ち上がり、立ち下がるように制御
することを特徴とするものであり、叉、第3態様は、イ
ンバータ1段又は奇数段のインバータで構成したリダン
ダンシワードリセット回路を設け、前記リダンダンシメ
インワードデコーダが出力するリダンダンシメインワー
ド信号を前記リダンダンシワードリセット回路に導き、
前記リダンダンシワードリセット回路の出力信号を、前
リダンダンシワードドライバ回路に入力するように構成
したことを特徴とするものであり、叉、第4態様は、前
記ワードドライバ回路は、前記メインワード線の電位で
制御され、前記ワード線を前記ワードデコード信号によ
り活性化する第1のトランジスタと、前記活性化したワ
ード線をプルダウン信号で非活性化する第2のトランジ
スタと、ドレインが高位側電源に接続され、ソースが前
記プルダウン信号用のプルダウン信号線に接続され、ゲ
ートが前記ワードリセット回路に接続される第3のトラ
ンジスタと、ドレインが前記プルダウン信号線に接続さ
れ、ソースが低位側電源に接続され、ゲートが前記メイ
ンワード線に接続される第4のトランジスタとで構成
し、前記第4のトランジスタのトランジスタサイズを、
前記第3のトランジスタのトランジスタサイズより小さ
く形成したことを特徴とするものであり、叉、第5態様
は、前記リダンダンシワードドライバ回路は、前記リダ
ンダンシメインワード線の電位で制御され、前記リダン
ダンシワード線を前記リダンダンシワードデコード信号
により活性化する第5のトランジスタと、前記活性化し
たリダンダンシワード線をプルダウン信号で非活性化す
る第6のトランジスタと、ドレインが高位側電源に接続
され、ソースが前記プルダウン信号用のプルダウン信号
線に接続され、ゲートが前記リダンダンシワードリセッ
ト回路に接続される第7のトランジスタと、ドレインが
前記プルダウン信号線に接続され、ソースが低位側電源
に接続され、ゲートが前記リダンダンシメインワード線
に接続される第8のトランジスタとで構成し、前記第8
のトランジスタのトランジスタサイズを、前記第7のト
ランジスタのトランジスタサイズより小さく形成したこ
とを特徴とするものである。
は、メモリセルと、アドレス信号に基づきワードデコー
ド信号を出力するワードデコーダと、前記ワードデコー
ド信号で所定のメモリセルを活性化するため、所定のワ
ード線をドライブするために設けた複数のワードドライ
バ回路と、前記複数のワードドライバ回路から所定のワ
ードドライバ回路を選択するためのメインワード信号を
出力するメインワードデコーダと、リダンダンシメモリ
セルと、アドレス信号に基づきリダンダンシワードデコ
ード信号を出力するリダンダンシワードデコーダと、前
記リダンダンシワードデコード信号で所定のリダンダン
シメモリセルを活性化するため、所定のリダンダンシワ
ード線をドライブするために設けたリダンダンシワード
ドライバ回路と、前記リダンダンシワードドライバ回路
を選択するためのリダンダンシメインワード信号を出力
するリダンダンシメインワードデコーダとを少なくとも
含む半導体記憶装置において、インバータ1段又は奇数
段のインバータで構成したワードリセット回路を設け、
前記リダンダンシメインワードデコーダが出力するリダ
ンダンシメインワード信号を前記ワードリセット回路に
導き、前記ワードリセット回路の出力信号を、選択した
前記ワードドライバ回路及びリダンダンシワードドライ
バ回路に入力すると共に、前記メインワード信号とリダ
ンダンシメインワード信号とが同じタイミングで立ち上
がり、立ち下がるように制御することを特徴とするもの
である。
体例を図面を参照しながら詳細に説明する。
は、同一符号を付して、その説明を省略した。
係わる半導体記憶装置の第1の具体例を示す図であっ
て、これらの図には、メモリセル11と、アドレス信号
3に基づきワードデコード信号(RA、RA+1)を出
力するワードデコーダ13と、前記ワードデコード信号
(RA、RA+1)で所定のメモリセル11を活性化す
るため、所定のワード線(WL、WL+1)をドライブ
するために設けた複数のワードドライバ回路14と、前
記複数のワードドライバ回路14から所定のワードドラ
イバ回路を選択するためのメインワード信号(WLP〜
WLP+1)を出力するメインワードデコーダ15と、
リダンダンシメモリセル21と、アドレス信号3に基づ
きリダンダンシワードデコード信号(RRA、RRA+
1)を出力するリダンダンシワードデコーダ23と、前
記リダンダンシワードデコード信号(RRA、RRA+
1)で所定のリダンダンシメモリセル21を活性化する
ため、所定のリダンダンシワード線(RWL、RWL+
1)をドライブするために設けたリダンダンシワードド
ライバ回路24と、前記リダンダンシワードドライバ回
路24を選択するためのリダンダンシメインワード信号
RWLPを出力するリダンダンシメインワードデコーダ
25とを少なくとも含む半導体記憶装置において、イン
バータ1段又は奇数段のインバータで構成したワードリ
セット回路7を設け、前記リダンダンシメインワードデ
コーダ25が出力するリダンダンシメインワード信号R
WLPを前記ワードリセット回路7に導き、前記ワード
リセット回路7の出力信号を、選択した前記ワードドラ
イバ回路14及びリダンダンシワードドライバ回路24
に入力すると共に、前記メインワード信号WLPとリダ
ンダンシメインワード信号RWLPとが同じタイミング
で立ち上がり、立ち下がるように制御することを特徴と
する半導体記憶装置が示されている。
は、前記メインワード線WLPの電位で制御され、ワー
ド線(WL、WL+1)を前記ワードデコード信号(R
A、RA+1)により活性化する第1のトランジスタT
1と、前記活性化したワード線(WL、WL+1)をプ
ルダウン信号14aで非活性化する第2のトランジスタ
T2と、ドレインが高位側電源VCCに接続され、ソー
スが前記プルダウン信号14a用のプルダウン信号線1
4Lに接続され、ゲートが前記ワードリセット回路7に
接続される第3のトランジスタT4と、ドレインが前記
プルダウン信号線14Lに接続され、ソースが低位側電
源GNDに接続され、ゲートが前記メインワード線WL
Pに接続される第4のトランジスタT5とで構成し、前
記第4のトランジスタT5のトランジスタサイズを、前
記第3のトランジスタT4のトランジスタサイズより小
さく形成したものである。
4も、ワードドライバ回路14と同様に構成され、リダ
ンダンシセル21を選択するときは、本セル用のメイン
ワードデコーダ15、及びワードデコーダ13をリダン
ダンシ切り換え信号により非選択状態に制御する。
ミング図を用いて詳細に説明する。
クト信号2がHIGHになり、その後、選択したメイン
ワード線WLPがHIGHになり、図2のトランジスタ
T1、T6、T5がオンする。
ンワード線RWLPと本セルのメインワード線WLP
は、リダンダンシセル使用時の不具合を防ぐため、ほぼ
同じタイミングで立ち上がり、立ち下がるように調整さ
れている。
LPを反転させたワードリセット信号WLRが、時間t
1後にLOWになり、トランジスタT4がオフする。こ
の結果、図2の接点RはLOWになり、トランジスタT
2、T7はオフする。
Wになるタイミングと、トランジスタT4がオフ、即
ち、ワードリセット信号WLRがLOWになるタイミン
グは、トランジスタゲート1段とインバータ1段+配線
負荷の遅延差になり、この差がトランジスタT5の閾値
Vtを超えるとトランジスタT4、T5間に電流が流れ
るが(図3の時間t1)、トランジスタT5のトランジ
スタサイズを小さくすることで、トランジスタT5の電
流能力を小さくし、接点RをLOWにするスピードを遅
らせることで、トランジスタT4、T5の電流を小さく
している。
ード信号RAがHIGHになり、ワード線WLがHIG
Hになり所望のセルを選択する。
ので、リダンダンシワードデコード信号RRA、RRA
+1はLOWのままである。
ードデコード信号RAをLOWにして、ワードドライバ
回路14を介してワード線WLをLOWにする。
シメインワード線RWLPをほぼ同時にLOWにして、
トランジスタT1、T6、T5はオフし、これにより、
時間t2後に、ワードリセット信号WLRをHIGHに
する。従って、時間t2後に、トランジスタT4がオン
して、時間t4後に、接点RはHIGHになり、トラン
ジスタT2、T7がオンし、ワード線WLはLOWを保
持する。
し、次にトランジスタT4がオンするので、トランジス
タT4、T5間に電流は流れない。
いてのみ説明したが、リダンダンシセルを選択する場合
も全く同様なタイミングで動作する。
具体例の構成を示すブロック図である。
路7への入力は、リダンダンシメインワード線RWLP
の代わりに、本セルのメインワード線WLPを用いてい
る。
けワードリセット回路7を配置する。そして、各ワード
ドライバ回路14は、それぞれのワードドライバ回路1
4に対応して設けられたワードリセット回路7で制御さ
れる。
ライバ回路も、ワードドライバ回路と同様に構成する。
と、アドレス信号に基づきワードデコード信号を出力す
るワードデコーダと、前記ワードデコード信号で所定の
メモリセルを活性化するため、所定のワード線をドライ
ブするために設けた複数のワードドライバ回路と、前記
複数のワードドライバ回路から所定のワードドライバ回
路を選択するためのメインワード信号を出力するメイン
ワードデコーダと、リダンダンシメモリセルと、アドレ
ス信号に基づきリダンダンシワードデコード信号を出力
するリダンダンシワードデコーダと、前記リダンダンシ
ワードデコード信号で所定のリダンダンシメモリセルを
活性化するため、所定のリダンダンシワード線をドライ
ブするために設けたリダンダンシワードドライバ回路
と、前記リダンダンシワードドライバ回路を選択するた
めのリダンダンシメインワード信号を出力するリダンダ
ンシメインワードデコーダとを少なくとも含む半導体記
憶装置において、それぞれの前記ワードドライバ回路に
対応してインバータ1段又は奇数段のインバータで構成
したワードリセット回路を設け、前記メインワードデコ
ーダが出力するメインワード信号を前記ワードリセット
回路に導き、前記ワードリセット回路の出力信号を、選
択した前記ワードドライバ回路に入力するように構成す
ると共に、前記メインワード信号とリダンダンシメイン
ワード信号とが同じタイミングで立ち上がり、立ち下が
るように制御するように構成したものであり、この場
合、インバータ1段又は奇数段のインバータで構成した
リダンダンシワードリセット回路を設け、前記リダンダ
ンシメインワードデコーダが出力するリダンダンシメイ
ンワード信号を前記リダンダンシワードリセット回路に
導き、前記リダンダンシワードリセット回路の出力信号
を、前リダンダンシワードドライバ回路に入力するよう
に構成したものである。
具体例の構成を示すブロック図であるこの第3の具体例
では、ワードドライバ回路14のワード線(WL、WL
+1)をLOWに固定するトランジスタT2、T7を制
御するトランジスタをそれぞれ個別に配置し、トランジ
スタT2をトランジスタT4、T5で制御し、トランジ
スタT7をトランジスタT9、T10で制御するように
構成したものである。
のように構成したので、以下のような効果を奏する。 (1)従来技術では、素子のばらつきを考慮して、マー
ジンを確保するように設計していたので、ディレイ回路
を入れた分動作が遅くなっていた。しかし、本発明で
は、リダンダンシメインワード線を使うので、ばらつき
の考慮は必要なくなり、その結果、高速動作が可能にな
った。 (2)従来技術では、ディレイ回路を用いていたが、本
発明では、ディレイ回路素子を削減することにより、電
流を減らすことができ、その結果、消費電力を削減する
こともできた。 (3)ディレイ回路が不要になり、その結果、安価に製
造することが可能になった。
である。
である。
である。
Claims (5)
- 【請求項1】 メモリセルと、アドレス信号に基づきワ
ードデコード信号を出力するワードデコーダと、前記ワ
ードデコード信号で所定のメモリセルを活性化するた
め、所定のワード線をドライブするために設けた複数の
ワードドライバ回路と、前記複数のワードドライバ回路
から所定のワードドライバ回路を選択するためのメイン
ワード信号を出力するメインワードデコーダと、 リダンダンシメモリセルと、アドレス信号に基づきリダ
ンダンシワードデコード信号を出力するリダンダンシワ
ードデコーダと、前記リダンダンシワードデコード信号
で所定のリダンダンシメモリセルを活性化するため、所
定のリダンダンシワード線をドライブするために設けた
リダンダンシワードドライバ回路と、前記リダンダンシ
ワードドライバ回路を選択するためのリダンダンシメイ
ンワード信号を出力するリダンダンシメインワードデコ
ーダとを少なくとも含む半導体記憶装置において、 インバータ1段又は奇数段のインバータで構成したワー
ドリセット回路を設け、前記リダンダンシメインワード
デコーダが出力するリダンダンシメインワード信号を前
記ワードリセット回路に導き、前記ワードリセット回路
の出力信号を、選択した前記ワードドライバ回路及びリ
ダンダンシワードドライバ回路に入力すると共に、前記
メインワード信号とリダンダンシメインワード信号とが
同じタイミングで立ち上がり、立ち下がるように制御す
ることを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項2】 メモリセルと、アドレス信号に基づきワ
ードデコード信号を出力するワードデコーダと、前記ワ
ードデコード信号で所定のメモリセルを活性化するた
め、所定のワード線をドライブするために設けた複数の
ワードドライバ回路と、前記複数のワードドライバ回路
から所定のワードドライバ回路を選択するためのメイン
ワード信号を出力するメインワードデコーダと、 リダンダンシメモリセルと、アドレス信号に基づきリダ
ンダンシワードデコード信号を出力するリダンダンシワ
ードデコーダと、前記リダンダンシワードデコード信号
で所定のリダンダンシメモリセルを活性化するため、所
定のリダンダンシワード線をドライブするために設けた
リダンダンシワードドライバ回路と、前記リダンダンシ
ワードドライバ回路を選択するためのリダンダンシメイ
ンワード信号を出力するリダンダンシメインワードデコ
ーダとを少なくとも含む半導体記憶装置において、 それぞれの前記ワードドライバ回路に対応してインバー
タ1段又は奇数段のインバータで構成したワードリセッ
ト回路を設け、前記メインワードデコーダが出力するメ
インワード信号を前記ワードリセット回路に導き、前記
ワードリセット回路の出力信号を、選択した前記ワード
ドライバ回路に入力するように構成すると共に、前記メ
インワード信号とリダンダンシメインワード信号とが同
じタイミングで立ち上がり、立ち下がるように制御する
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項3】 インバータ1段又は奇数段のインバータ
で構成したリダンダンシワードリセット回路を設け、前
記リダンダンシメインワードデコーダが出力するリダン
ダンシメインワード信号を前記リダンダンシワードリセ
ット回路に導き、前記リダンダンシワードリセット回路
の出力信号を、前リダンダンシワードドライバ回路に入
力するように構成したことを特徴とする請求項2記載の
半導体記憶装置。 - 【請求項4】 前記ワードドライバ回路は、前記メイン
ワード線の電位で制御され、前記ワード線を前記ワード
デコード信号により活性化する第1のトランジスタと、
前記活性化したワード線をプルダウン信号で非活性化す
る第2のトランジスタと、ドレインが高位側電源に接続
され、ソースが前記プルダウン信号用のプルダウン信号
線に接続され、ゲートが前記ワードリセット回路に接続
される第3のトランジスタと、ドレインが前記プルダウ
ン信号線に接続され、ソースが低位側電源に接続され、
ゲートが前記メインワード線に接続される第4のトラン
ジスタとで構成し、前記第4のトランジスタのトランジ
スタサイズを、前記第3のトランジスタのトランジスタ
サイズより小さく形成したことを特徴とする請求項1乃
至3のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 【請求項5】 前記リダンダンシワードドライバ回路
は、前記リダンダンシメインワード線の電位で制御さ
れ、前記リダンダンシワード線を前記リダンダンシワー
ドデコード信号により活性化する第5のトランジスタ
と、前記活性化したリダンダンシワード線をプルダウン
信号で非活性化する第6のトランジスタと、ドレインが
高位側電源に接続され、ソースが前記プルダウン信号用
のプルダウン信号線に接続され、ゲートが前記リダンダ
ンシワードリセット回路に接続される第7のトランジス
タと、ドレインが前記プルダウン信号線に接続され、ソ
ースが低位側電源に接続され、ゲートが前記リダンダン
シメインワード線に接続される第8のトランジスタとで
構成し、前記第8のトランジスタのトランジスタサイズ
を、前記第7のトランジスタのトランジスタサイズより
小さく形成したことを特徴とする請求項4記載の半導体
記憶装置。
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