JP2001334448A - ウエハの多段面取り加工方法 - Google Patents

ウエハの多段面取り加工方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハの多段面取り加工時におけるウエハ周
辺部の寸法精度を維持しつつ、ウエハの取り代量を低減
することができるウエハの多段面取り加工方法を提供す
る。 【解決手段】 ウエハ周辺部を粗研削した後、更に精研
削するウエハの多段面取り加工方法である。精研削時に
設定されたウエハ周辺部の取り代を考慮して、粗研削砥
石の溝形状を最適化することにより、精研削時における
ウエハ周辺部の先端部とテーパ部との取り代を均一にす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、ウエハの多段面
取り加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 シリコンウエハは堅くて脆く、劈開面
に沿っては極度に割れやすい性質を持っている。特に、
ウエハ切断（スライシング）されたウエハは、ウエハ周
辺部が切断されたままの直角の状態であると、外部から
の衝撃に対して非常に弱く、カケやチップが生じやすい
という問題点があった。
【０００３】 上記の点を解消するため、ウエハ周辺部
は、面取り（ベベリング）加工することにより、ウエハ
周辺部の衝撃強度の向上が行われていた（図５参照）。
ウエハの面取り加工は、例えば、図６に示すような所定
の溝を有する研削砥石（ホイール）１０にウエハ周辺部
３２を押し当て、水を流しながら研削するものである。
【０００４】 最近、ウエハの大口径等に伴い、ウエハ
の面取り加工は、ウエハ周辺部を粗研削した後、更に精
研削することが行われている。
【０００５】 しかしながら、粗研削及び精研削時に、
溝形状が同じ研削砥石（ホイール）を使用している（図
３〜４参照）ため、精研削時にウエハ周辺部のエッジ部
の取り代量（Ｘ2）とテーパー部における取り代量
（Ｘ1）とが不均一（Ｘ 2＞Ｘ1）になり、精研削時にお
けるウエハ周辺部の加工精度を十分に得ることができな
いという問題点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 本発明は、このよう
な従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、
その目的とするところは、ウエハの多段面取り加工時に
おけるウエハ周辺部の寸法精度を維持しつつ、ウエハの
取り代量を低減することができるウエハの多段面取り加
工方法を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 すなわち、本発明によ
れば、ウエハ周辺部を粗研削した後、更に精研削するウ
エハの多段面取り加工方法であって、精研削時に設定さ
れたウエハ周辺部の取り代を考慮して、粗研削砥石の溝
形状を最適化することにより、精研削時におけるウエハ
周辺部の先端部とテーパ部との取り代を均一にすること
を特徴とするウエハの多段面取り加工方法が提供され
る。このとき、精研削時におけるウエハ周辺部は、精研
削砥石の溝形状と均一に接触することが好ましい。
【０００８】 また、本発明では、粗研削砥石の溝形状
が、溝部の曲率半径又はフラット長さにより最適化され
ていることが好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】 本発明の面取り加工方法は、精
研削時に設定されたウエハ周辺部の取り代を考慮して、
粗研削砥石の溝形状を最適化することにより、精研削時
におけるウエハ周辺部の先端部とテーパ部との取り代を
均一にすることにある。これにより、ウエハの多段面取
り加工時におけるウエハ周辺部の寸法精度を維持しつ
つ、ウエハの取り代量を低減することができる。
【００１０】 以下、本発明の面取り加工方法につい
て、図面に基づいて更に詳細に説明する。図１〜２は、
本発明で用いる粗研削砥石の溝形状の各例を示す説明図
である。ここで、本発明の面取り加工方法は、例えば、
図１に示すように、粗研削砥石の溝部１２の曲率半径
（Ｒａ）、精研削砥石の溝部１４の曲率半径（Ｒｂ）、
設定される精研削時におけるウエハの取り代量（Ｘ）と
すると、「Ｒａ＝Ｒｂ＋Ｘ」の式に基づいて、粗研削砥
石の溝形状１２を最適化することが好ましい。
【００１１】 また、本発明の面取り加工方法は、例え
ば、図２に示すように、粗研削砥石の溝部１２のフラッ
ト長さ（Ｔａ）、精研削砥石の溝部１４のフラット長さ
（Ｔｂ）、設定される精研削時におけるウエハの取り代
量（Ｘ）、溝部のテーパー角（θ）とすると、「Ｔａ＝
Ｔｂ＋２Ｘ（１−ｓｉｎθ）／ｃｏｓθ」の式に基づい
て、粗研削砥石１０の溝形状を最適化することもでき
る。
【００１２】 以上のことから、本発明の面取り加工方
法は、設定される粗研削時におけるウエハの取り代量
（Ｘ）を考慮して粗研削砥石の溝形状を最適化すること
により、精研削時におけるウエハ周辺部を、精研削砥石
の溝形状と均一に接触させることができる。即ち、本発
明の面取り加工方法は、精研削時にウエハ周辺部のエッ
ジ部の取り代量（Ｘ2）とテーパー部における取り代量
（Ｘ1）とを均一（Ｘ2＝Ｘ1）にすることができる。
【００１３】
【発明の効果】 以上説明した通り、本発明の面取り加
工方法は、ウエハの多段面取り加工時におけるウエハ周
辺部の寸法精度を維持しつつ、ウエハの取り代量を低減
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明で用いる粗研削砥石の溝形状の一例を
示す説明図である。
【図２】 本発明で用いる粗研削砥石の溝形状の他の例
を示す説明図である。
【図３】 従来から用いられている粗研削砥石の溝形状
の一例を示す説明図である。
【図４】 従来から用いられている粗研削砥石の溝形状
の他の例を示す説明図である。
【図５】 ウエハの面取り形状の各例を示す断面模式図
である。
【図６】 ウエハの多段面取り加工の一例を示す概要図
である。
【符号の説明】
１０…研削砥石（ホイール）、１２…粗研削砥石の溝
部、１４…精研削砥石の溝部、３０…ウエハ、３２…ウ
エハ周辺部。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ウエハ周辺部を粗研削した後、更に精研
    削するウエハの多段面取り加工方法であって、 精研削時に設定されたウエハ周辺部の取り代を考慮し
    て、粗研削砥石の溝形状を最適化することにより、精研
    削時におけるウエハ周辺部の先端部とテーパ部との取り
    代を均一にすることを特徴とするウエハの多段面取り加
    工方法。
  2. 【請求項２】 精研削時におけるウエハ周辺部が、精研
    削砥石の溝形状と均一に接触する請求項１に記載のウエ
    ハの多段面取り加工方法。
  3. 【請求項３】 粗研削砥石の溝形状が、溝部の曲率半径
    により最適化された請求項１又は２に記載のウエハの多
    段面取り加工方法。
  4. 【請求項４】 粗研削砥石の溝形状が、溝部のフラット
    長さにより最適化された請求項１又は２に記載のウエハ
    の多段面取り加工方法。
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