JP2001283652A - 通信ケーブル - Google Patents
通信ケーブルInfo
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Abstract
みを効率的に抑制すること。 【解決手段】 信号を伝える伝導部分(11,12,1
3)と、この伝導部分を覆うシース(14)とを持つ通
信ケーブル(10)に於いて、シース(14)の表面の
少なくとも一部に磁気損失膜(15)が形成されてい
る。通信ケーブルは、例えば、伝導部分として、中心導
体(11)と、この中心導体と同心で、間に絶縁体(1
3)を挟んだ円筒状の外部導体(12)と有する同軸ケ
ーブルであって良い。また、磁気損失膜としては、グラ
ニュラー磁性薄膜を使用することができる。グラニュラ
ー磁性薄膜は、例えば、スパッタ法により形成されたス
パッタ膜であっても良いし、蒸着法により形成された蒸
着膜であっても良い。
Description
部分と、その伝導部分を覆う外皮とを持つ通信ケーブル
に関する。
の普及が著しい。その例として,ランダムアクセスメモ
リ(RAM),リードオンリーメモリ(ROM),マイ
クロプロセッサ(MPU),中央演算処理装置(CP
U)又は画像プロセッサ算術論理演算装置(IPAL
U)等の論理回路素子がある。これらの能動素子におい
ては,演算速度や信号処理速度が日進月歩の勢いで高速
化されており、高速電子回路を伝播する電気信号は、電
圧,電流の急激な変化を伴うために,誘導性の高周波ノ
イズの主要因となっている。
化,小型化の流れも止まる事を知らぬが如く急速な勢い
で進行している。それに伴い,半導体素子の集積度や、
プリント配線基板への電子部品実装密度の高密度化が著
しい。従って、過密に集積あるいは実装された電子素子
や信号線が、互いに極めて接近することになり,前述し
た信号処理速度の高速化と併わせて、高周波輻射ノイズ
が誘発され易い状況となっている。
部品や電子機器からと、およびそれに接続された同軸ケ
ーブルなどの通信ケーブルを介して高周波電流として漏
洩することになる。
制するために、電源ラインにデカップリングコンデンサ
等の集中定数部品を挿入する等の対策がなされている。
して、特開平11−185542号公報が知られてい
る。この先行技術には、パソコン等のOA機器、ゲーム
機、通信機器間を結ぶインタフェースケーブルや機器内
配線用ケーブル等に使われる「薄膜磁性体シールド付き
ケーブル」が開示されている。
磁性体シールド付きケーブルは、複数本からなる信号導
電線の周りに絶縁テープを施し、その上に導電率の高い
金属箔に薄膜の高透磁率材又は積層した薄膜の高透磁率
材を1枚ないし複数枚をラミネートしてテープにしたも
のを巻き付け、更にその上に絶縁体を施したものであ
る。このような構造によれば、導電率の高い金属箔(銅
箔等)にて遮蔽し、その外側に薄膜の高透磁率材をラミ
ネートすることで、銅箔にて吸収しきれない輻射ノイズ
を薄膜磁性体にて遮蔽することができる。その結果、広
域にわたりシールド効果をあげ、扱いやすく、ケーブル
径をさほど太くすることなく美観も保てる。また、先行
技術に開示された第2番目の薄膜磁性体シールド付きケ
ーブルは、上記第1番目のテープにスリットを設けてい
る。このような構造によれば、ケーブル全体でのアンテ
ナ効果を無くしかつ高透磁率材の渦電流の影響を小さく
押さえることにより、広帯域にわたり輻射ノイズの影響
が出ないようにすることが出来る。
周波電流(高周波輻射ノイズ)は高調波成分を含むため
に、信号の経路が分布定数的な振る舞いをするようにな
り、従来の集中定数回路を前提にしたノイズ対策が効を
発しない状況が生じていた。
ては、代表的なものとしてパーマロイ(Ni−Fe系)
を圧延処理した薄膜磁性体を使用している。このような
薄膜磁性体は、その磁気特性が特に高周波において周波
数特性(f特性)が非常に悪く、しかも電気特性までも
鈍らせて劣化するという問題点がある。また、Co基ア
モルファス(例えば、Co−Fe系)を用いた高透磁率
材も考えられるが、これもその磁気特性が高周波におい
て周波数特性があまり良くないという問題点がる。しか
も、Co基アモルファスは、実験室レベルでは作製でき
ても、値段が高いという問題点があり、工業的には非現
実的なレベルである。
周波電流のみを効率的に抑制することが可能な通信ケー
ブルを提供することにある。
上記抑制効果を達成することができる通信ケーブルを提
供することにある。
周波での磁気損失の大きな複合磁性体を発明し、これを
不要輻射源の近傍に配置する事で、上記した半導体素子
や電子回路などから発生する不要輻射を効果的に抑制す
る方法を見出している。この様な磁気損失を利用した不
要輻射減衰の作用機構については、最近の研究から、不
要輻射源となっている電子回路に対して等価的な抵抗成
分が付与されることによることが分かっている。ここ
で、等価的な抵抗成分の大きさは、磁性体の磁気損失項
μ”の大きさに依存している。より詳しくは、電子回路
に等価的に挿入される抵抗成分の大きさは、磁性体の面
積が一定の場合にはμ”と磁性体の厚さに略比例する。
したがって、より小さなあるいはより薄い磁性体で所望
の不要輻射減衰を得るためには、より大きなμ”が必要
になってくる。例えば、半導体素子のモールド内部のよ
うな微小領域において磁気損失体を用いた不要輻射対策
を行う為には、磁気損失項μ”がきわめて大きな値であ
る必要があり、従来の磁気損失材料に比べて格段に大き
なμ”を有する磁性体が求められていた。本発明は、か
かる現状に鑑みてなされたものである。
蒸着法による軟磁性体の研究過程において、微小な磁性
金属粒子が、セラミックスのような非磁性体中に均質に
分散されたグラニュラー磁性体の優れた透磁率特性に着
目し、磁性金属粒子とそれを囲う非磁性体の微細構造を
研究した結果、グラニュラー磁性体中に占める磁性金属
粒子の濃度が特定の範囲にある場合に、高周波領域にお
いて優れた磁気損失特性が得られる事を見出した。M−
X−Y(Mは磁性金属元素、YはOあるいはN,Fのい
づれか、XはM、Y以外の元素)なる組成を有するグラ
ニュラー磁性体については、これまでに多くの研究がな
され、低損失で大きな飽和磁化を有する事が知られてい
る。このM−X−Yグラニュラー磁性体において、飽和
磁化の大きさは、M成分の占める体積率に依存するの
で、大きな飽和磁化を得るためには、M成分の比率を高
くする必要がある。そのため、高周波インダクタ素子あ
るいはトランス等の磁心として用いるような一般的な用
途にはM−X−Yグラニュラー磁性体中のM成分の割合
は、M成分のみからなるバルク金属磁性体の飽和磁化の
おおむね80%以上の飽和磁化が得られる範囲に限られ
ていた。
元素、YはOあるいはN,Fのいづれか、XはM、Y以
外の元素)なる組成を有するグラニュラー磁性体におい
て、M成分の占める割合を広い範囲で検討した結果、い
ずれの組成系でも磁性金属Mが特定濃度の範囲にある場
合に、高周波領域で大きな磁気損失を示すことを見出
し、本発明に至った。
ク金属磁性体の飽和磁化に対して80%以上の飽和磁化
を示すような最も高い領域は、従来より盛んに研究され
ている高飽和磁化で低損失なM−X−Yグラニュラー磁
性体の領域である。この領域にある材料は、実数部透磁
率(μ’)と飽和磁化の値が共に大きいため、前述した
高周波インダクタのような高周波マイクロ磁気デバイス
に用いられるが、電気抵抗を左右するX−Y成分の占め
る割合が少ないので、電気抵抗率が小さい。その為に膜
厚が厚くなると高周波領域でのうず電流損失の発生に伴
って高周波での透磁率が劣化するので、ノイズ対策に用
いるような比較的厚い磁性膜には不向きである。M成分
の比率が、M成分のみからなるバルク金属磁性体の飽和
磁化の80%以下で60%以上となる飽和磁化を示す領
域は、電気抵抗率がおおむね100μΩ・cm以上と比
較的大きい為に、材料の厚さが数μm程度あってもうず
電流による損失が少なく、磁気損失はほとんど自然共鳴
による損失となる。その為、磁気損失項μ”の周波数分
散巾が狭くなるので、挟帯域な周波数範囲でのノイズ対
策(高周波電流抑制)に適している。M成分の比率が、
M成分のみからなるバルク金属磁性体の飽和磁化の60
%以下で35%以上の飽和磁化を示す領域は、電気抵抗
率がおおむね500μΩ・cm以上と更に大きいため
に、うず電流による損失は極めて小さく、M成分間の磁
気的な相互作用が小さくなることで、スピンの熱擾乱が
大きくなり自然共鳴の生じる周波数に揺らぎが生じ、そ
の結果、磁気損失項μ”は広い範囲で大きな値を示すよ
うになる。したがって、この組成領域は広帯域な高周波
電流の抑制に適している。
更に小さな領域は、M成分間の磁気的相互作用がほとん
ど生じなくなるので超常磁性となる。
高周波電流を抑制する際の材料設計の目安は、磁気損失
項μ”と磁気損失材料の厚さδの積μ”・δで与えら
れ、数100MHzの周波数の高周波電流に対して効果
的な抑制を得るには、おおむねμ”・δ≧1000(μ
m)が必要となる。したがって、μ”=1000の磁気
損失材料では1μm以上の厚さが必要になり、うず電流
損失の生じ易い低電気抵抗な材料は好ましくなく、電気
抵抗率が100μΩcm以上となるような組成、すなわ
ち本発明の組成系では、M成分の比率が、M成分のみか
らなるバルク金属磁性体の飽和磁化の80%以下となる
飽和磁化を示し、かつ、超常磁性の発現しない領域即
ち、M成分のみからなるバルク金属磁性体の飽和磁化に
対して35%以上の飽和磁化を示す領域が適している。
のような磁気損失膜を応用した発明である。ここで、
「グラニュラー磁性薄膜」とは、磁性を担う粒子の大き
さが数nm〜数十nmと極めて小さく、各々の粒子がセ
ラミック成分からなる粒界にて区切られた微細構造を有
し、数十MHz〜数GHzの高周波において非常に大き
な磁気的損失を示す磁性薄膜のことをいい、この技術分
野では「微結晶薄膜」とも呼ばれている。
術の「高透磁率材」と本発明に係る「磁気損失膜」と
は、材料が全く異なり、したがって、周波数特性も全く
異なるということである。すなわち、先行技術の「高透
磁率材」は高周波において周波数特性が悪いのに対し
て、上述したように、本発明に係る「磁気損失膜」は高
周波において周波数特性が極めて良好である、という極
めて顕著な相違がある。
信号を伝える伝導部分と、この伝導部分を覆うシースと
を持つ通信ケーブルに於いて、シースの表面のうち少な
くとも表側の一部に磁気損失膜を形成してなる通信ケー
ブルが得られる。
を伝える伝導部分と、該伝導部分を覆う内部シースとを
持つ通信ケーブルに於いて、内部シースの表面のうち少
なくとも表側の一部に磁気損失膜を形成している外側
に、さらに外部シースを形成してなる通信ケーブルが得
られる。
分として、中心導体と、この中心導体と同心で、間に絶
縁体を挟んだ円筒状の外部導体と有する同軸ケーブルで
あって良い。また、磁気損失膜としては、グラニュラー
磁性薄膜を使用することができる。グラニュラー磁性薄
膜は、例えば、スパッタ法により形成されたスパッタ膜
であっても良いし、蒸着法により形成された蒸着膜であ
っても良い。
て図面を参照して説明する。
態に係る通信ケーブル10について説明する。図示の通
信ケーブル10は、同軸ケーブルであって、中心導体1
1と、この中心導体と同心の円筒状の外部導体12とを
有し、中心導体11と外部導体12との間には絶縁体1
3が挟まれている。中心導体11は内部導体とも呼ば
れ、例えば、軟銅線が使用される。絶縁体13の材料に
は、例えば、誘電体損の小さいポリエチレンが使用され
る。図示の外部導体12は銅線編組を使用している。こ
れに限定せず、外部導体12は、アルミニウムパイプや
アルミニウムテープを使用してもよい。
絶縁体13との組合せは、信号を伝える伝導部分として
働く。この伝導部分は外皮(外被)14で覆われてい
る。外皮14はシースとも呼ばれ、その材料としては、
例えば、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリイミド樹
脂などが使用される。
ブル)10において、本実施の形態では、外皮12の表
面の一部に磁気損失膜15を形成している。
形態に係る通信ケーブルは、磁気損失膜15の外側に、
さらに(絶縁)外皮16を形成した点を除いて、図1に
示されたものと同様の構成を有する。この(絶縁)外皮
16はケーブル表面を絶縁することを目的としたもので
ある。(絶縁)外皮16は外部シースとも呼ばれ、これ
に関連して、外皮14を(絶縁)外皮16と区別するた
めに、外皮14は内部シースとも呼ばれる。
者らが既に出願済み(平成12年1月24日出願の20
00年特願第52507号)のグラニュラー磁性薄膜
(以下、「先願」と呼ぶ。)を使用することができる。
そのようなグラニュラー磁性薄膜は、先願の明細書中に
記載されているように、スパッタ法や反応性スパッタ法
或いは蒸着法を用いて製造することができる。換言すれ
ば、グラニュラー磁性薄膜は、スパッタ法や反応性スパ
ッタ法により形成されたスパッタ膜であっても良いし、
或いは、蒸着法により形成された蒸着膜であっても良
い。尚、グラニュラー磁性薄膜を製造する場合、実際に
は、上記スパッタ膜や上記蒸着膜を所定温度にて所定時
間、真空磁場中で熱処理を施している。
法については、上記先願に詳しく説明してあるので、そ
れを参照されたい。
性薄膜は、膜厚が薄く(例えば、2.0μm以下)て
も、数十MHz〜数GHzの高周波において非常に大き
な磁気的損失を示すことを、本発明者らは実験で既に確
認している。
磁気損失項μ”分散を示す本発明に係るグラニュラー磁
性薄膜は、厚さが約500倍の複合磁性体シートと同等
の高周波電流抑制効果を示すことを実験で既に確認して
いる。従って、本発明に係るグラニュラー磁性薄膜は、
1GHzに近い高速クロックで動作するような半導体集
積素子等のEMI対策に用いる材料として有望であると
いえる。
してのグラニュラー磁性薄膜を製造する装置の一例とし
てスパッタリング製造装置について説明する。このスパ
ッタリング製造装置は、真空容器(チャンバ)18と、
このチャンバ18に結合されたガス供給装置22及び真
空ポンプ23とを備える。チャンパ18内では、シャッ
タ21を挟んで基板23とターゲット25とが対向した
配置されている。ターゲット25は、組成分X,Y、或
いは組成分Xから成るチップ24を所定の間隔で配置さ
れた組成分Mから成る。チップ24及びターゲット25
の支持部側には、RF電源26の一端が接続され、RF
電源26の他端は接地されている。
造装置を用いて製造されるグラニュラー磁性薄膜(試料
1)の製造例について説明する。
0mmのFe製円板上にチップ24となる寸法=縦5m
m×横5mm×厚さ2mmの総計120個のAl2O3チ
ップを配備した。そして、真空ポンプ27で真空容器1
8内を真空度約1.33×10-4Paとなるように保っ
た状態で、ガス供給装置22により真空容器18内へA
rガスを供給することにより、真空容器18内をArガ
ス雰囲気にする。この状態において、RF電源26より
高周波の電源を供給する。このような条件下において、
スパッタ法により基板23となるガラス基板上に磁性薄
膜を成膜した。その後、更に得られた磁性薄膜を300
℃の温度条件の真空磁場中で2時間熱処理を施すことに
よって、上述したグラニュラー磁性薄膜による試料1を
得た。
分析したところ膜の組成は、Fe72Al11O17の組成を
有し、膜厚は2.0μm、直流抵抗率は530μΩ・c
mであった。また、試料1の異方性磁界Hkは18(O
e)であり、飽和磁化Msは1.68T(テスラ)であ
った。さらに、試料1の複素透磁率特性上で磁気損失項
μ”にあっても最大値μ”maxに対して50%以上とな
る周波数帯域をその中心周波数で規格化した半幅分相当
の半値巾μ”50は148%であった。また、試料1の飽
和磁化Ms(M−X−Y)と組成分Mのみから成る金属
磁性体の飽和磁化Ms(M)との比率{Ms(M−X−
Y)/Ms(M)}×100%は72.2%であった。
に、周波数fに対する透磁率μ特性(μ−f特性)を次
のようにして調べた。すなわち、μ−f特性の測定は、
短冊状に加工した検出コイルに試料1を挿入して、バイ
アス磁場を印加しながらインピーダンスを測定すること
により行った。この結果に基づいて、磁気損失項μ”の
周波数特性(μ”−f特性)を得た。
である。図4において、横軸は周波数f(MHz)を、
縦軸は磁気損失項μ”をそれぞれ表している。図4か
ら、試料1の磁気損失項μ”は、その分散がやや急峻で
ピーク値が非常に大きくなっており、共鳴周波数も70
0MHz付近と高くなっていることが判る。
制効果測定装置30を用いて試料1における高周波電磁
干渉抑制効果を検証実験した。但し、高周波電磁干渉抑
制効果測定装置30は、線路長が75mmで特性インピ
ーダンスZc=50Ωのマイクロストリップ線路31の
長手方向の両側にマイクロストリップ線路31と図示し
ないネットワークアナライザ(HP8753D)とを接
続するための同軸線路32を配備した上で、マイクロス
トリップ線路31の試料配置部31aの真上に磁性体試
料33を配置することにより、2ポート間の伝送特性S
21を測定可能なものである。
の構成のように、伝送路の真近に磁気損失材料を配置し
た伝送路に等価的な抵抗成分を付与することで高周波電
流を抑制する場合において、高周波電流の抑制効果の大
きさは磁気損失項μ”の大きさと磁性体の厚さδとの積
μ”・δにほぼ比例すると考えられる。
により試料磁性体の高周波電流抑制効果を測定した結果
を示す周波数f(MHz)に対する伝送特性S21(d
B)を示したものである。
0MHz以上から減少し、2GHz近くで−10dBの
極小値を示した後に増加していることが判る。この結果
により、伝送特性S21が磁性体の磁気損失項μ”の分散
に依存すると共に、抑制効果の大きさが上述した積μ”
・δに依存することが判る。
体は、図7に示されるように、寸法がlであって、透磁
率μ、誘電率εの分布定数線路として構成されるものと
みなすことができる。この場合、単位長さ(Δl)当た
りの等価回路定数として、直列接続された形態の単位イ
ンダクタンスΔL、単位抵抗ΔR、並びにこれらと接地
線との間に介在される単位静電容量ΔC、単位接地コン
ダクタンスΔGを有する。これらを伝送特性S21に基づ
いて試料寸法に換算した場合、試料1は、等価回路定数
としてインダクタンスL、抵抗R、並びに静電容量C、
接地コンダクタンスGを有する等価回路とみなすことが
できる。
討のように、磁性体のマイクロストリップ線路31上に
配置した場合、伝送特性S21の変化は等価回路において
主にインダクタンスLに対して直列に付加される抵抗R
の成分によるものであることから、抵抗Rの値を求めて
その周波数依存性を調べることができる。
て、図7に示した等価回路のインダクタンスLに対して
直列に付加される抵抗Rの値に基づいて算出した、周波
数f(MHz)に対する抵抗値R(Ω)の特性を示した
ものである。
域で単調に増加し、3GHzでは数10Ωとなり、その
周波数依存特性は1GHz付近に極大を持った磁気損失
項μ”の周波数分散とは異なる傾向になっていることが
判る。これは上述した積μ”・δに加えて波長に対する
試料寸法の比率が単調増加することを反映している結果
と考えられる。
失項μ”分散を示す試料は、厚さが約500倍の複合磁
性体シートと同等の高周波電流抑制効果を示すため、1
GHzにおける高周波電磁干渉抑制対策へ適用すること
が有効であるといえる。
ず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の変更・
変形が可能なのは勿論である。例えば、本発明の実施の
形態では、グラニュラー磁性薄膜の製造方法としてスパ
ッタ法による製造例のみを示したが、真空蒸着法やイオ
ンビーム蒸着法、ガス・デポジション法などの他の製造
方法でも良く、本発明に係る磁気損失膜が均一に実現で
きる方法であれば、製法に限定されない。
真空磁場中での熱処理を施しているが、アズ・デポジシ
ョンの膜で、本発明の性能が得られる組成あるいは成膜
法であれば、実施の形態に記載の成膜後処理に限定され
ない。
ーブル10として同軸ケーブルを例に挙げて説明した
が、同軸ケーブルに限定せず、他の各種シールドケーブ
ルにも適用可能であるのは勿論である。また、上記実施
の形態では、通信ケーブル10の外皮14の表面の一部
に磁気損失膜15を形成した場合の例についてのみ述べ
ているが、例えば、外皮14の表面全面に磁気損失膜1
5を形成しても良いし、断続的に所々に磁気損失膜15
を形成しても良い。とにかく、外皮14の表面の少なく
とも一部に磁気損失膜15を形成したものであれば良
い。
4の表面の一部に磁気損失膜15を直接形成した場合の
例についてのみ説明しているが、例えば、磁気損失膜が
表面に形成されている粘着テープを、外皮14の表面の
一部に貼り付けるようにしても良いのは勿論である。ま
た、上記実施の形態では、磁気損失膜15がグラニュラ
ー磁性薄膜である場合を例に挙げて説明したが、それに
限定されず、数十MHz〜数GHzの高周波において非
常に大きな磁気的損失を示すものであればどのような膜
でも良い。
ケーブルのシース表面の少なくとも一部に磁気損失膜を
形成しているので、スペースをとらずに、通信ケーブル
の外周に生じる漏洩高周波電流のみを効率的に抑制する
ことができる。又、バラン或いはその補助的な用途にも
適用することができる。
(同軸ケーブル)の一例を、要部をカットして示した概
略正面図である。
(同軸ケーブル)の一例を、要部をカットして示した概
略正面図である。
ある。
μ”の周波数依存性の一例を示す図である。
抑制体の抑制効果を見るための測定系を示す斜視図であ
る。
の周波数特性を示す図である。
ある。
より算出した抵抗値Rの周波数特性を示す図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 信号を伝える伝導部分と、該伝導部分を
覆うシースとを持つ通信ケーブルに於いて、前記シース
の表面のうち少なくとも表側の一部に磁気損失膜を形成
してなる通信ケーブル。 - 【請求項2】 信号を伝える伝導部分と、該伝導部分を
覆う内部シースとを持つ通信ケーブルに於いて、前記内
部シースの表面のうち少なくとも表側の一部に磁気損失
膜を形成している外側に、さらに外部シースを形成して
なる通信ケーブル。 - 【請求項3】 前記通信ケーブルが、前記伝導部分とし
て、中心導体と、該中心導体と同心で、間に絶縁体を挟
んだ円筒状の外部導体と有する同軸ケーブルである、請
求項1又は2に記載の通信ケーブル。 - 【請求項4】 前記磁気損失膜がグラニュラー磁性薄膜
である、請求項1乃至3のいずれか1つに記載の通信ケ
ーブル。 - 【請求項5】 前記グラニュラー磁性薄膜がスパッタ法
により形成されたスパッタ膜である、請求項4に記載の
通信ケーブル。 - 【請求項6】 前記グラニュラー磁性薄膜が蒸着法によ
り形成された蒸着膜である、請求項4に記載の通信ケー
ブル。
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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