JP2001274218A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003076141A1 (en) * 2002-03-12 2003-09-18 Rorze Corporation End effecter for carrying sheet, carrier having the end effecter, and sheet processing system
WO2003102475A1 (fr) * 2002-06-03 2003-12-11 Sankyo Seiki Mfg. Co., Ltd. Module d'assemblage propre, appareillage de production le contenant, robot industriel et systeme antipollution
JP2004009172A (ja) * 2002-06-04 2004-01-15 Yaskawa Electric Corp 多関節ロボットおよびその制御装置
KR100479494B1 (ko) * 2002-09-18 2005-03-30 삼성전자주식회사 기판 반송 로봇
KR20040038783A (ko) * 2002-10-30 2004-05-08 가부시기가이샤 산교세이기 세이사꾸쇼 산업용 로봇
US7246985B2 (en) * 2004-04-16 2007-07-24 Axcelis Technologies, Inc. Work-piece processing system
KR101032340B1 (ko) * 2004-11-22 2011-05-06 엘지디스플레이 주식회사 평판표시장치용 기판이송로봇
JP2006321019A (ja) * 2005-05-19 2006-11-30 Nidec Sankyo Corp ダブルアーム型ロボット
KR100759890B1 (ko) 2006-02-01 2007-09-18 주식회사 에스에프에이 스토커 장치
KR100760200B1 (ko) * 2006-05-03 2007-09-20 삼성전자주식회사 반송로봇
CN101484281B (zh) * 2006-07-11 2011-10-26 株式会社安川电机 多关节机器人及配线方法
JP4655228B2 (ja) * 2006-07-11 2011-03-23 株式会社安川電機 多関節ロボットおよび多関節ロボットの移送方法
JP4168410B2 (ja) * 2006-07-11 2008-10-22 株式会社安川電機 多関節ロボット
WO2008023560A1 (en) * 2006-08-21 2008-02-28 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Double arm robot
JP4770663B2 (ja) * 2006-09-20 2011-09-14 株式会社安川電機 基板吸着装置およびそれを用いた基板搬送ロボット
KR100810488B1 (ko) * 2006-11-15 2008-03-07 주식회사 로보스타 더블암형 로봇
JP5016302B2 (ja) * 2006-12-01 2012-09-05 日本電産サンキョー株式会社 アーム駆動装置及び産業用ロボット
JP5006927B2 (ja) * 2007-03-26 2012-08-22 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット及びその運搬方法
PL1982799T3 (pl) * 2007-04-10 2010-10-29 Erowa Ag Układ manipulacji
JP5177835B2 (ja) * 2007-04-27 2013-04-10 株式会社安川電機 双腕型ロボットマニピュレータ
KR101183807B1 (ko) 2007-09-13 2012-09-17 가부시키가이샤 야스카와덴키 이송 로봇, 이송 로봇의 이송 방법, 및 이송 로봇의 제어 방법
KR100955405B1 (ko) * 2008-03-26 2010-04-29 가부시키가이샤 야스카와덴키 다관절 로봇 및 그의 감속기 교환 방법
KR101502130B1 (ko) * 2008-07-10 2015-03-13 주식회사 원익아이피에스 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는진공처리시스템
JP2010023195A (ja) * 2008-07-22 2010-02-04 Nidec Sankyo Corp 産業用ロボット
JP5280132B2 (ja) * 2008-08-26 2013-09-04 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2010064219A (ja) * 2008-09-12 2010-03-25 Yaskawa Electric Corp 多関節ロボット
JP5263945B2 (ja) * 2008-09-17 2013-08-14 株式会社レクザム ダブルアーム型ロボット
EP2353797B1 (en) 2008-10-07 2014-08-06 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Substrate transfer robot and system
JP5474328B2 (ja) * 2008-10-07 2014-04-16 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボット
KR200466172Y1 (ko) * 2010-04-28 2013-04-09 히라따기꼬오 가부시키가이샤 기판반송로봇
JP5578973B2 (ja) * 2010-07-16 2014-08-27 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP2012024900A (ja) * 2010-07-27 2012-02-09 Rexxam Co Ltd ダブルアーム型ロボット
JP4962880B2 (ja) * 2010-11-05 2012-06-27 株式会社安川電機 多関節ロボット及び生産設備の製造方法
KR101682465B1 (ko) * 2010-11-17 2016-12-05 삼성전자 주식회사 기판이송로봇
JP5847393B2 (ja) * 2010-11-30 2016-01-20 川崎重工業株式会社 搬送ロボット
KR101689896B1 (ko) * 2011-11-29 2016-12-27 현대중공업 주식회사 승강이송로봇용 부품교체장치
CN102602039B (zh) * 2012-03-29 2015-09-23 奇瑞汽车股份有限公司 一种压力机机械手的传送机构
CN103624772A (zh) * 2013-12-06 2014-03-12 苏州晓炎自动化设备有限公司 一种机器人回转底座
JP2018000126A (ja) * 2016-07-05 2018-01-11 シンフォニアテクノロジー株式会社 細胞搬送装置
CN106216859B (zh) * 2016-08-17 2018-02-27 江苏大学 一种激光间接冲击成形柔性加载的快速取用装置及其方法
KR200484525Y1 (ko) 2016-11-17 2017-09-26 주식회사 본테크 스틸 벨트를 갖는 기판반송로봇
JP6873881B2 (ja) * 2017-10-13 2021-05-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN109877824A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种单取纠偏机器人及其纠偏方法
CN109877822A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种双取纠偏双臂机器人及其纠偏方法
CN109879052A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种单放纠偏机器人及其纠偏方法
CN111376232B (zh) * 2018-12-30 2023-09-29 昆山智能装备研究院 一种双臂搬运机器人
JP2021046273A (ja) * 2019-09-17 2021-03-25 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP7222378B2 (ja) * 2020-05-13 2023-02-15 株式会社ダイフク 物品搬送装置
TWI831505B (zh) * 2022-12-07 2024-02-01 迅得機械股份有限公司 收放板機構及移載機構
CN117798954B (zh) * 2024-03-01 2024-05-07 灌云利民再生资源科技发展有限公司 一种瓦楞纸卷取放机械手

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2852821B1 (de) * 1978-12-07 1980-04-30 Walter Reis Maschinenbau, 8753 Obernburg Manipulator
JPS58109284A (ja) * 1981-12-22 1983-06-29 株式会社小松製作所 ロボツト装置
JPH0163137U (enExample) * 1987-10-16 1989-04-24
JP2919925B2 (ja) * 1990-07-26 1999-07-19 東京エレクトロン株式会社 処理装置
JP2831820B2 (ja) * 1990-07-30 1998-12-02 株式会社プラズマシステム 基板搬送装置
JPH04163937A (ja) * 1990-10-29 1992-06-09 Fujitsu Ltd 半導体製造装置
JPH05109866A (ja) * 1991-10-16 1993-04-30 Nec Corp ウエハ移載ロボツト
JPH06126663A (ja) * 1992-10-16 1994-05-10 Toshiba Corp 複腕ロボット
JPH06262553A (ja) * 1993-03-08 1994-09-20 Hitachi Ltd ダブルアーム機構ロボット
JP3011034B2 (ja) * 1994-10-31 2000-02-21 村田機械株式会社 自動倉庫
JPH09102526A (ja) * 1995-10-05 1997-04-15 Kokusai Electric Co Ltd 真空内基板搬送装置
JP3129985B2 (ja) * 1997-03-25 2001-01-31 新明和工業株式会社 クリーンロボット
JPH11188670A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Daihen Corp 2アーム方式の搬送用ロボット装置

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