JP2001226782A - チタン−ニッケル合金材の表面処理方法 - Google Patents

チタン−ニッケル合金材の表面処理方法

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JP2001226782A
JP2001226782A JP2000368774A JP2000368774A JP2001226782A JP 2001226782 A JP2001226782 A JP 2001226782A JP 2000368774 A JP2000368774 A JP 2000368774A JP 2000368774 A JP2000368774 A JP 2000368774A JP 2001226782 A JP2001226782 A JP 2001226782A
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nickel alloy
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oxide film
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Mitsunori Yamamoto
本 光 紀 山
Hiroyuki Nakamura
村 裕 之 中
Toshimitsu Ogisu
巣 敏 充 荻
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Fuji Heavy Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 チタン−ニッケル合金材の接着性能の向上を
図るチタン−ニッケル合金材の表面処理方法を提供す
る。 【解決手段】 チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被
膜を除去し、酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金
材の表面粗さを増加する処理を施すことで接着剤に対す
る接着性能をの向上させる。表面粗さ増加処理は、ゾル
ゲル処理、イオン照射処理、クロム処理、チタン処理に
より行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、チタン−ニッケル
合金材の表面粗さを増加させることで、接着性能の向上
を図るチタン−ニッケル合金材の表面処理方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】チタンは軽量であり、しかも耐熱性がア
ルミニウムよりも高いために航空機材料や宇宙材料等に
使用されている。また、チタンは耐食性にも優れるため
医療用材料にも使用されている。チタンは構造部材とし
て使用する場合、通常、合金化して使用するのが一般的
であり、Ti−Al−V合金が使用される。
【0003】チタン−ニッケル合金は、チタン50%と
ニッケル50%で構成されるものであり、一般的に形状
記憶合金と呼ばれている。形状記憶合金は、変形させた
ものが、加熱するだけで変形前の元の形状に戻る特性や
曲げたり伸ばしたりしても力を除くと元に戻る特性を有
する合金であり、家電、自動車などの分野でセンサー兼
アクチュエーターとして使用されている。
【0004】また、形状記憶合金は、例えば携帯電話用
アンテナ芯線や眼鏡フレーム及び静止衛星用姿勢制御シ
ステム等に使用されている。形状記憶合金の形状として
は極細線、ばね、箔等の形状が可能である。
【0005】形状記憶合金に歪ゲージを貼り、歪ゲージ
の応力の変化により構造部材の損傷を検出し、形状記憶
合金の形状の復元性を利用して損傷の拡大を防止する考
えがあるが、その場合には、形状記憶合金を基板にして
歪ゲージ接着することが必要であり、形状記憶合金と基
板との接着強度を必要なレベルまで高くすることが要求
されている。
【0006】チタンの接着性を向上させる方法として
は、りん酸等による化成被膜処理が一般に行なわれてい
るが、現在量産されているチタン−ニッケル合金材にお
いては、チタン−ニッケル合金材の熱処理時に表面に生
成される酸化被膜が、構造的に緻密で強固であるため、
この酸化被膜を一般的なチタン合金材に用いられている
表面処理方法によって除去することができない。
【0007】一方、チタン−ニッケル合金箔は、知的複
合材料等のように材料内部に埋め込んで使用されること
があり、チタン−ニッケル合金箔と複合材料の高強度樹
脂とを高い接着強度で接着することが必要であるが、チ
タン−ニッケル合金材に生成される酸化被膜が、チタン
−ニッケル合金材と複合材料の高強度樹脂を高い接着強
度で接着することの障害となっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】酸洗処理した形状記憶
合金にチタンで適用されている接着前処理方法であるり
ん酸による化成被膜処理を適用し、形状記憶合金をエポ
キシ系接着剤を使用して基板に接着した場合、形状記憶
合金とエポキシ系接着剤との接着強度は、使用条件によ
っては改善が望まれるものであり、形状記憶合金と接着
剤との界面で破断が生じた。その理由として考えられる
のは形状記憶合金に含まれているニッケルの影響によ
り、化成被膜処理の効果が得られなかったものと考えら
れ、形状記憶合金にあった接着前処理を開発することが
課題となっている。
【0009】本発明は上記した点を考慮してなされたも
ので、チタン−ニッケル合金材の接着性能の向上を図る
チタン−ニッケル合金材の表面処理方法を提供すること
を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明のチタン−ニッケ
ル合金材の表面処理方法は、チタン−ニッケル合金材の
表面の酸化被膜を除去し、その表面に粗さを増加する処
理を施すことによりチタン−ニッケル合金材と接着剤と
の接着強度を向上させる。
【0011】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜を
除去し、ゾルゲル処理を施すことで、チタン−ニッケル
合金材の表面に酸化物(アルミナ、シリカ等)がコーテ
ィングされ、ゾルゲル法によるコーティングされた酸化
被膜は多孔質であるため、エポキシ系接着剤等の接着剤
が酸化被膜の孔に食い込んだり、樹脂剤と酸化被膜が一
部反応することによりチタン−ニッケル合金材と接着剤
との接着強度を向上させる。
【0012】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜を
除去し、イオン照射処理を施すことで、チタン−ニッケ
ル合金材の表面をイオン化されたアルゴンガス等で荒ら
し、エポキシ樹脂系接着剤等の接着剤がチタン−ニッケ
ル合金材の荒れた表面に食い込むことでチタン−ニッケ
ル合金材と接着剤との接着強度を向上させる。
【0013】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜を
除去し、クロム被膜処理を施すことで、緻密で密着性の
あるクロムコーティング層が得られ、チタン−ニッケル
合金材と接着剤との接着強度を向上させる。
【0014】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜を
除去し、その表面をチタンコーティングし、チタンコー
ティング面に化成被膜処理を施すことで、緻密で密着性
のあるチタンコーティング層が得られ、このチタンコー
ティング層を化成被膜処理することで、チタン−ニッケ
ル合金材の表面に凹凸のある酸化被膜が形成され、チタ
ン−ニッケル合金材と接着剤との接着強度を向上させ
る。
【0015】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜を
除去し、その表面をアルミニウムコーティングし、アル
ミニウムコーティング面を陽極酸化被膜処理すること
で、アルミニウムコーティング層の上に陽極酸化被膜が
形成され、チタン−ニッケル合金材と接着剤との接着強
度を向上させる。
【0016】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、チタン−ニッケル合金材をフッ酸と硝酸の混
合水溶液の常温浴に所定時間浸漬して表面に生成された
酸化被膜を除去し、酸化被膜を除去したチタン−ニッケ
ル合金材を水酸化ナトリウム溶液で陽極酸化処理してチ
タン−ニッケル合金材の表面に陽極酸化被膜を生成し、
チタン−ニッケル合金材の接着特性とコーティング特性
を向上させることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
つき説明する。
【0018】図1は本発明によるチタン−ニッケル合金
材の表面処理方法の1つの実施の形態を示すブロック図
を示し、図1で示すチタン−ニッケル合金材の表面処理
方法は、ゾルゲル法により接着性向上を図っている。
【0019】図1で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法においては、チタン−ニッケル合金材は、脱脂
処理されその後アルカリ洗浄され、アルカリ洗浄された
後、ふっ酸−硝酸の混合水溶液で酸洗処理され、チタン
−ニッケル合金材の表面に生成された酸化被膜がチタン
−ニッケル合金材から除去される。ふっ酸−硝酸の混合
水溶液は、ふっ酸の濃度が3%、硝酸の濃度が10〜1
5%であることが好ましい。
【0020】酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金
材は、ゾルゲル溶液(アルミナ、シリカ等の溶液)に浸
漬されるか、表面にゾルゲル溶液(アルミナ、シリカ等
の溶液)がスプレーされる。
【0021】チタン−ニッケル合金材の表面に付着した
ゾルゲル溶液は、チタン−ニッケル合金材を室温で所定
時間乾燥することで、チタン−ニッケル合金材の表面に
酸化被膜を形成する。
【0022】酸化被膜を形成したチタン−ニッケル合金
材は、120℃で1時間加熱されて、酸化被膜が焼成処
理される。
【0023】酸化被膜が焼成処理されたチタン−ニッケ
ル合金材は、樹脂をコーティングするプライマー処理が
なされ、エポキシ系接着剤を介して他の部材、たとえば
基板に接着される。
【0024】チタン−ニッケル合金材は、表面にコーテ
ィングされた酸化被膜が多孔質であるため、エポキシ系
接着剤等の接着剤が酸化被膜の孔に食い込んだり、エポ
キシ系接着剤とゾルゲル法により形成された酸化被膜が
一部反応することにより、エポキシ系接着剤等の接着剤
との接着強度が増加する。
【0025】図2ないし図6は本発明によるチタン−ニ
ッケル合金材の表面処理方法の他の実施の形態を示すブ
ロック図を示す。
【0026】図2で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法は、イオン照射処理により接着性向上を図って
いる。
【0027】図2で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法においては、図1のチタン−ニッケル合金材の
表面処理方法と同様に、チタン−ニッケル合金材は、脱
脂処理されその後アルカリ洗浄され、アルカリ洗浄され
た後、ふっ酸−硝酸等で酸洗処理され、チタン−ニッケ
ル合金材の表面に生成された酸化被膜がチタン−ニッケ
ル合金材から除去される。
【0028】酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金
材は、表面にイオン化されたアルゴンガス等が照射され
る。チタン−ニッケル合金材の表面は、照射されるアル
ゴンイオン等により粗い面になる。
【0029】表面を粗い面としたチタン−ニッケル合金
材は、樹脂をコーティングするプライマー処理がなさ
れ、エポキシ系接着剤を介して他の部材、たとえば基板
に接着される。
【0030】チタン−ニッケル合金材は、粗い表面にエ
ポキシ樹脂系接着剤等の接着剤が食い込むことで、エポ
キシ系接着剤等の接着剤との接着強度が増加する。
【0031】図3で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法は、クロム被覆処理により接着性向上を図って
いる。
【0032】図3で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法においては、図1のチタン−ニッケル合金材の
表面処理方法と同様に、チタン−ニッケル合金材は、脱
脂処理されその後アルカリ洗浄され、アルカリ洗浄され
た後、ふっ酸−硝酸等で酸洗処理され、チタン−ニッケ
ル合金材の表面に生成された酸化被膜がチタン−ニッケ
ル合金材から除去される。
【0033】酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金
材は、イオンプレーティング法により表面にクロムが1
〜2μmコーティングされる。イオンプレーティング法
を、蒸着、スパッタリング、CVD等に変更することも
できる。緻密で密着性のあるクロムコーティング層を得
るためには、イオンプレーティング法によることが望ま
しい。クロムコーティングの膜厚は1〜2μm程度が望
ましい。膜厚が厚くなるとチタン−ニッケル合金材とク
ロムの間で剥離が生じるからである。
【0034】表面にクロムコーティング層を設けたチタ
ン−ニッケル合金材は、樹脂をコーティングするプライ
マー処理がなされ、エポキシ系接着剤を介して他の部材
たとえば基板に接着される。
【0035】チタン−ニッケル合金材は、表面に設けら
れたクロムコーティング層が緻密で密着性があるため、
エポキシ系接着剤等の接着剤との接着強度が増加する。
【0036】図4で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法は、チタン被覆処理により接着性向上を図って
いる。
【0037】図4で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法においては、図1のチタン−ニッケル合金材の
表面処理方法と同様に、チタン−ニッケル合金材は、脱
脂処理されその後アルカリ洗浄され、アルカリ洗浄され
た後、ふっ酸−硝酸等で酸洗処理され、チタン−ニッケ
ル合金材の表面に生成された酸化被膜がチタン−ニッケ
ル合金材から除去される。
【0038】酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金
材は、イオンプレーティング法により表面にチタンが1
〜2μmコーティングされる。イオンプレーティング法
を、蒸着、スパッタリング、CVD等に変更することも
できるが、緻密で密着性のあるチタンコーティング層を
得るためには、イオンプレーティングによることが望ま
しい。チタンコーティングの膜厚は1〜2μm程度が望
ましい。膜厚が厚くなるとチタン−ニッケル合金材とチ
タンの間で剥離が生じるからである。
【0039】表面にチタンコーティング層を設けたチタ
ン−ニッケル合金材は、りん酸等により化成被膜処理が
施され、表面に凹凸のある酸化被膜が形成される。
【0040】表面に凹凸のある酸化被膜を設けたチタン
−ニッケル合金材は、樹脂をコーティングするプライマ
ー処理がなされ、エポキシ系接着剤を介して他の部材た
とえば基板に接着される。
【0041】チタン−ニッケル合金材は、表面に設けら
れた凹凸のある酸化被膜により、エポキシ系接着剤等の
接着剤との接着強度が増加する。
【0042】図5で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法は、アルミニウム被覆処理により接着性向上を
図っている。
【0043】図5で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法においては、図1のチタン−ニッケル合金材の
表面処理方法と同様に、チタン−ニッケル合金材は、脱
脂処理されその後アルカリ洗浄され、アルカリ洗浄され
た後、ふっ酸−硝酸等で酸洗処理され、チタン−ニッケ
ル合金材の表面に生成された酸化被膜がチタン−ニッケ
ル合金材から除去される。
【0044】酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金
材は、イオンプレーティング法により表面にアルミニウ
ムが1〜2μmコーティングされる。イオンプレーティ
ング法を、蒸着、スパッタリング、CVD等に変更する
こともできる。
【0045】表面にアルミニウムコーティング層を設け
たチタン−ニッケル合金材は、硫酸重クロム酸等による
エッチング処理又はりん酸等により化成被膜処理が施さ
れ、表面に凹凸のある酸化被膜が形成される。
【0046】表面に凹凸のある酸化被膜を設けたチタン
−ニッケル合金材は、樹脂をコーティングするプライマ
ー処理がなされ、エポキシ系接着剤を介して他の部材た
とえば基板に接着される。
【0047】チタン−ニッケル合金材は、表面に設けら
れた凹凸のある酸化被膜により、エポキシ系接着剤等の
接着剤との接着強度が増加する。
【0048】ゾルゲル法、イオン照射処理、クロム処
理、チタン処理において接着特性を評価した結果を表1
に示す。接着前処理を行なっていないものに比べて全て
の接着前処理を行なったものの剥離強度は向上している
が、特にゾルゲル処理、チタン被覆処理を施したものが
接着特性において優れていた。
【0049】
【表1】
【0050】図6で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法は、チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜
を除去するために、チタン−ニッケル合金材をフッ酸と
硝酸の混合水溶液の常温浴に所定時間浸漬し、チタン−
ニッケル合金材の接着特性とコーティング特性を向上さ
せるために、酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金
材を水酸化ナトリウム溶液で陽極酸化処理してチタン−
ニッケル合金材の表面に陽極酸化被膜を生成する。
【0051】図6で示すチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法においては、チタン−ニッケル合金材の表面の
酸化被膜を除去するために、チタン−ニッケル合金材1
を下記する処理条件1で処理した。
【0052】 チタン−ニッケル合金材の処理条件1 試料 チタン−ニッケル合金箔 処理液 (1)3%濃度フッ酸と5%濃度の硝酸の混合水溶液 (2)3%濃度フッ酸と10%濃度の硝酸の混合水溶液 (3)3%濃度フッ酸と15%濃度の硝酸の混合水溶液 処理液温度 室温 処理時間(1)1分間浸漬 (2)3分間浸漬 (3)5分間浸漬 処理条件1の実験結果を図7に示す。図7において、チ
タン−ニッケル合金箔1に付着した酸化被膜(斜線部
分)を符号2で示し、チタン−ニッケル合金箔1の酸化
被膜2が除去された部位(白抜き部分)を符号3で示
す。
【0053】チタン−ニッケル合金箔1の酸化被膜2
は、3%濃度フッ酸と5%濃度の硝酸の混合水溶液に室
温で3分間浸漬しても一部が除去されるだけであり、3
%濃度フッ酸と10%濃度の硝酸の混合水溶液に室温で
1分間浸漬すると一部が除去され、室温で5分間浸漬す
ると完全に除去され、3%濃度フッ酸と15%濃度の硝
酸の混合水溶液に室温で1分間浸漬すると一部が除去さ
れ、室温で3分間浸漬すると完全に除去された。
【0054】図8はチタン−ニッケル合金箔1の酸洗前
の表面粗さを示す図であり、図9はチタン−ニッケル合
金箔1の酸洗を行い被膜を除去した後の表面粗さを示す
図である。
【0055】チタン−ニッケル合金箔1は、酸洗前の段
階では、表面に酸化被膜2が付着しており、表面粗さ
は、Raが0.07〜0.09、Rtが0.45〜0.
67であり、酸洗後の段階では、酸化被膜2が除去さ
れ、Raが0.22〜0.37、Rtが2.37〜5.
12である。
【0056】チタン−ニッケル合金材の表面処理方法に
おいて、チタン−ニッケル合金材と他の材料を接着する
場合の接着性向上のために、チタン−ニッケル合金材1
を下記する処理条件2で処理した。
【0057】チタン−ニッケル合金材の処理条件2 処理液 10%〜15%NaOH 処理液温度 10〜20℃ 電圧 10〜20V 電解時間 30〜60秒 なお、処理液であるNaOHの濃度を10%以下にする
と、処理時間が長くなって品質のばらつきが多くなり、
NaOHの濃度を15%以上にすると、母材であるチタ
ン−ニッケル合金材の溶出または浸食が大きいので安定
した処理ができない。
【0058】図10は、陽極酸化処理したチタン−ニッ
ケル合金材の表面粗さを示す図であり、酸化被膜2を除
去したチタン−ニッケル合金箔1の表面に別の陽極酸化
被膜が生成されており、表面粗さは、Raが0.033
〜0.45、Rtが3.80〜4.30である。
【0059】図11は、本発明による処理方法で処理さ
れたチタン−ニッケル合金箔および従来の方法で処理さ
れたチタン−ニッケル合金箔をASTM D3167に
より測定した引き剥がし強度を示すグラフである。
【0060】図11において、タイプAは、1.2%濃
度フッ酸と35%濃度の硝酸の混合水溶液で酸洗いし、
リン酸3ナトリウム,弗化ナトリウムおよび弗化水素の
混合溶液で化成被膜処理したチタン−ニッケル合金箔、
タイプBは、1.2%濃度フッ酸と35%濃度の硝酸の
混合水溶液で酸洗いしたチタン−ニッケル合金箔、タイ
プCは本発明の処理条件1の処理液(3)と処理時間
(2)の条件で処理されたチタン−ニッケル合金箔、タ
イプDは、本発明の処理条件1の処理液(3)と処理時
間(2)の処理と処理条件2で処理されたチタン−ニッ
ケル合金箔を示す。
【0061】図11に示す測定結果によれば、処理条件
1の処理液(3)と処理時間(2)で処理により酸洗い
したチタン−ニッケル合金箔(タイプC)は、従来のタ
イプAのチタン−ニッケル合金箔およびタイプBのチタ
ン−ニッケル合金箔と平均荷重および平均強度において
ほとんど差がないが、処理条件1の処理液(3)と処理
時間(2)の処理と処理条件2で処理したチタン−ニッ
ケル合金箔(タイプD)は、従来のタイプA、タイプB
および本発明のタイプCのチタン−ニッケル合金箔と比
較して、平均荷重および平均強度が約2倍である。
【0062】
【発明の効果】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面
処理方法は、酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金
材の表面に粗さを増加する処理を施すことで、接着剤と
の接着性を向上させる。
【0063】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金材
の表面にゾルゲル処理を施すことで、チタン−ニッケル
合金材の表面に多孔質のセラミック被膜が形成され、多
孔質セラミック被膜の孔中にエポキシ樹脂等の接着剤を
浸透させること及びセラミック被膜とエポキシ樹脂等の
接着剤を反応させることとで接着剤との接着性を向上さ
せる。
【0064】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金材
の表面にイオン照射処理を施すことで、チタン−ニッケ
ル合金材の表面を荒らし、チタン−ニッケル合金材の荒
らした表面にエポキシ樹脂等の接着剤を適用させること
で接着剤との接着性を向上させる。
【0065】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金材
の表面にクロム被膜処理を施すことで、クロムコーティ
ングとエポキシ樹脂等の接着剤とを反応させることで接
着剤との接着性を向上させる。
【0066】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金材
の表面をチタンコーティングし、このチタンコーティン
グ面に化成被膜処理を施すことで、チタン−ニッケル合
金材の表面に凹凸のある酸化被膜が形成され。凹凸のあ
る酸化被膜とエポキシ樹脂等の接着剤との食い付き及び
反応により接着剤との接着性を向上させる。
【0067】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、酸化被膜を除去したチタン−ニッケル合金材
の表面をアルミニウムコーティングし、アルミニウムコ
ーティング面を陽極酸化被膜処理することで、チタン−
ニッケル合金材の表面に凹凸のある酸化被膜が形成さ
れ、凹凸のある酸化被膜とエポキシ樹脂等の接着剤との
食い付き及び反応により接着剤との接着性を向上させ
る。
【0068】本発明のチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法は、チタン−ニッケル合金材をフッ酸と硝酸の混
合水溶液の常温浴に所定時間浸漬することで、チタン−
ニッケル合金材の表面に生成された酸化被膜を完全に除
去することができ、酸化被膜を除去したチタン−ニッケ
ル合金材を水酸化ナトリウム溶液で陽極酸化処理して、
チタン−ニッケル合金材の表面に陽極酸化被膜を生成す
ることで、チタン−ニッケル合金材を他の材料に接着す
る際の接着性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法の一実施の形態を示すブロック図。
【図2】本発明によるチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法の他の実施の形態を示すブロック図。
【図3】本発明によるチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法の他の実施の形態を示すブロック図。
【図4】本発明によるチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法の他の実施の形態を示すブロック図。
【図5】本発明によるチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法の他の実施の形態を示すブロック図。
【図6】本発明によるチタン−ニッケル合金材の表面処
理方法の他の実施の形態を示すブロック図。
【図7】図6のチタン−ニッケル合金材の表面処理方法
で表面処理されたチタン−ニッケル合金材の酸洗い前後
の外観を示す図。
【図8】図7のチタン−ニッケル合金材の酸洗い前の表
面粗さを示す図。
【図9】図7のチタン−ニッケル合金材の酸洗い後の表
面粗さを示す図。
【図10】図6のチタン−ニッケル合金材の表面処理方
法で表面処理されたチタン−ニッケル合金材の陽極酸化
処理後の表面粗さを示す図。
【図11】図6のチタン−ニッケル合金材の表面処理方
法で表面処理されたチタン−ニッケル合金材の引き剥が
し強度を示す図。
【符号の説明】
1 チタン−ニッケル合金箔 2 酸化被膜 3 チタン−ニッケル合金箔の酸化被膜が除去された部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C25D 11/26 302 C25D 11/26 302

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜
    を除去し、その表面に粗さを増加する処理を施すことを
    特徴とするチタン−ニッケル合金材の表面処理方法。
  2. 【請求項2】チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜
    を除去しゾルゲル処理を施すことを特徴とするチタン−
    ニッケル合金材の表面処理方法。
  3. 【請求項3】ゾルゲル処理はアルミナ−シリカ系ゾルゲ
    ル処理であることを特徴とする請求項2に記載のチタン
    −ニッケル合金材の表面処理方法。
  4. 【請求項4】チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜
    を除去しイオン照射処理を施すことを特徴とするチタン
    −ニッケル合金材の表面処理方法。
  5. 【請求項5】イオン照射処理はアルゴンイオン照射処理
    であることを特徴とする請求項4に記載のチタン−ニッ
    ケル合金材の表面処理方法。
  6. 【請求項6】チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜
    を除去しクロム被膜処理を施すことを特徴とするチタン
    −ニッケル合金材の表面処理方法。
  7. 【請求項7】クロム被膜処理はイオンプレーティング法
    により行われることを特徴とする請求項6に記載のチタ
    ン−ニッケル合金材の表面処理方法。
  8. 【請求項8】チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被膜
    を除去し、その表面をチタンコーティングし、チタンコ
    ーティング面に化成被膜処理を施すことを特徴とするチ
    タン−ニッケル合金材の表面処理方法。
  9. 【請求項9】チタンコーティングはイオンプレーティン
    グ法による行われることを特徴とする請求項8に記載の
    チタン−ニッケル合金材の表面処理方法。
  10. 【請求項10】チタン−ニッケル合金材の表面の酸化被
    膜を除去し、その表面をアルミニウムコーティングし、
    アルミニウムコーティング面を陽極酸化被膜処理するこ
    とを特徴とするチタン−ニッケル合金材の表面処理方
    法。
  11. 【請求項11】チタン−ニッケル合金材をフッ酸と硝酸
    の混合水溶液の常温浴に所定時間浸漬して表面に生成さ
    れた酸化被膜を除去し、酸化被膜を除去したチタン−ニ
    ッケル合金材を水酸化ナトリウム溶液で陽極酸化処理
    し、チタン−ニッケル合金材の表面に陽極酸化被膜を生
    成することを特徴とするチタン−ニッケル合金材の表面
    処理方法。
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