JP2001105270A - リニアモータが適用されたヘッドモジュール - Google Patents

リニアモータが適用されたヘッドモジュール

Info

Publication number
JP2001105270A
JP2001105270A JP2000245908A JP2000245908A JP2001105270A JP 2001105270 A JP2001105270 A JP 2001105270A JP 2000245908 A JP2000245908 A JP 2000245908A JP 2000245908 A JP2000245908 A JP 2000245908A JP 2001105270 A JP2001105270 A JP 2001105270A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head module
head
linear motor
plural
linear motors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000245908A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3515054B2 (ja
Inventor
Hyun Wan Jii
ジー、ヒュン、ワン
Do-Hyun Kim
ドー、ヒュン、キム
Hyun-Joo Hwang
ヒュン、ヨー、ワン
Jang-Sung Chun
ヤン、スン、チュン
Wan Kan Noo
ノー、ワン、カン
Kyoo Yun Hyun
ヒュン、キョー、ユン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mire KK
Original Assignee
Mire KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mire KK filed Critical Mire KK
Publication of JP2001105270A publication Critical patent/JP2001105270A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3515054B2 publication Critical patent/JP3515054B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/58Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28Electric drives
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K16/00Machines with more than one rotor or stator

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 表面実装装置における複数のヘッドモジュー
ルの大きさを小型化させながら高い駆動力を発生させる
ことができる。 【解決手段】 本発明は複数のヘッドを具備する表面実
装装置のヘッドモジュールに関する。このヘッドモジュ
ール100は、表面実装用部品を把持するための複数の
中空シャフト112と、複数の中空シャフトを内側に装
着して垂直運動させる複数のリニアモータ111と、を
備え、複数のリニアモータは高さ位置レベルを上下に交
互にずらして配置される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータが適
用されたヘッドモジュールに係るもので、特に、表面実
装装置において電子部品を取って移動させて実装するヘ
ッドモジュールに適用された複数のリニアモータを交互
にずれるように配置したリニアモータが適用されたヘッ
ドモジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】半導体素子の製造技術の発達で高集積化
された半導体素子の大量生産が可能になった。このよう
な半導体素子を印刷回路基板により速く且つ精密に装着
させるため、表面実装装置が登場するようになった。
【0003】表面実装装置は、部品を供給するフィーダ
と、フィーダから供給された部品を供給受けるヘッド
と、ヘッドを移動させて印刷回路基板の所定位置に部品
を実装させる移送手段と、印刷回路基板を移送させる搬
送装置と、から構成される。
【0004】以下、このような構成をもつ表面実装装置
を図面を用いて詳しく説明する。
【0005】図4は、従来の表面実装装置の正面図であ
る。図示したように、ベースキャビネット50の上部に
は一対のYフレーム52が設置され、Yフレーム52に
Xフレーム54が装着される。Xフレーム54にはヘッ
ドモジュール10が所定位置に位置する。ヘッドモジュ
ール10は印刷回路基板56上に電子部品58を安着さ
せるため、テープフィーダ60から供給される電子部品
をピックアンドプレース(取上げと配置)ができるよう
に構成される。そして、電子部品を所定のビジョン装置
62で原点調整した後、ヘッドモジュール10は電子部
品を印刷回路基板56に装着する。
【0006】図5は、図4に示した従来のヘッドモジュ
ールの正面図である。図示したように、ヘッドモジュー
ル10は複数のリニアモータが適用された複数のヘッド
11,12,13,14からなり、各ヘッド11,1
2,13,14はリニアモータ11a,12a,13
a,14a、空気バルブ11b,12b,13b,14
b、及び中空シャフト11c,12c,13c,14c
を備えている。
【0007】ヘッド11,12,13,14は、部品を
取上げるためにリニアモータ11a,12a,13a,
14aにより中空シャフト11c,12c,13c,1
4cの先端を電子部品が置かれてある位置に移動される
ように中空シャフトを上下方向に移動させ、移動が完了
されると、空気バルブ11b,12b,13b,14b
により中空シャフト11c,12c,13c,14cの
内側に空気の吸入を制御して電子部品を取るか、又は定
められた位置に安着させるように動作させられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】然るに、従来のヘッド
モジュールは、図5に示したように、一定間隔mを置い
て配列される。即ち、各ヘッド11,12間、ヘッド1
2,13間、及びヘッド13,14間がそれぞれ一定間
隔mを置いて保持した状態に設置されるため、中空シャ
フト11c,12c,13c,14cを上下に移動させ
るリニアモータ11a,12a,13a,14aの大き
さが制限されてリニアモータの駆動力が制限されるとい
う問題点があった。
【0009】そこで、本発明の目的は、ヘッドモジュー
ルの大きさを小型化させながら高い駆動力を発生させる
ことができるヘッドモジュールを提供するにある。
【0010】
【発明を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明によるリニアモータが適用されたヘッドモジュー
ルは、中空シャフトを上下に移動させる駆動原としてリ
ニアモータが適用された複数のヘッドと、複数のヘッド
に高さ位置レベルを交互にずらして配置されたリニアモ
ータと、から構成されることを特徴とする。
【0011】上記のように本発明は、表面実装装置のヘ
ッドモジュールに適用された複数のリニアモータを高さ
位置レベルを交互にずらして配置することにより、ヘッ
ドモジュールの大きさを小型化しながら高い駆動力を発
生し、高速で精密にヘッドの移動を制御できるという長
所がある。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。
【0013】図1は、本発明によるヘッドモジュールの
正面図、図2は、図1に示したヘッドの側断面図、図3
は、図1に示したヘッドの断面図である。
【0014】図1なしいし図3に示すように、中空シャ
フト112,122,132,142を上下に移動させ
る駆動原としてリニアモータ111,121,131,
141が適用された複数のヘッド110,120,13
0,140と、複数のヘッド110,120,130,
140に適用されたリニアモータ111,121,13
1,141を高さ位置レベルを交互にずらして配置され
る。
【0015】一方、本発明に適用されたヘッドモジュー
ル100は、第1ヘッド110、第2ヘッド120、第
3ヘッド130、及び第4ヘッド140からなり、各ヘ
ッド110,120,130,140はリニアモータ1
11,121,131,141、中空シャフト112,
122,132,142、及びシャフト113,12
3,133,143が同一に適用される。同一の構成を
有する各ヘッド110,120,130,140はそれ
ぞれのリニアモータ111,121,131,141を
図1に示したように高さ位置レベルを交互にずらして配
置することによりヘッドモジュール100を構成する。
【0016】それぞれのリニアモータ111,121,
131,141を高さ位置レベルを交互にずらして配置
することにより、より大きいリニアモータ111,12
1,131,141でヘッドモジュール100を構成す
ることができて、表面実装装置の制限空間でより高い駆
動力を発生するリニアモータが適用されたヘッドモジュ
ール100を構成できるようになる。
【0017】それぞれのヘッド110,120,13
0,140に適用されたリニアモータ111,121,
131,141の内部構成は、図2に示すように、第1
ヘッド110のリニアモータ111の構成を参考にして
説明する。第1ヘッド110においてリニアモータ11
1は1次側固定子111aの側壁に永久磁石111bが
配列され、永久磁石111bと対向するように2次側可
動子111cが配置される。
【0018】また、2次側可動子111cの内側にはシ
ャフト113が配置され、シャフト113の一端には中
空シャフト112が締結される。中空シャフト112に
は図3に示すように、一端に空気バルブ114が装着さ
れる。空気バルブ114は中空シャフト112を通じて
被処理部品を取ったり放したりするための空気の吸入を
制御する。
【0019】第1ヘッド110が電子部品(図示しな
い)が位置する所定位置に移動するため、リニアモータ
111が作動する。リニアモータ111の2次側可動子
111cに電流が供給されると、1次側固定子111a
に装着された永久磁石111bの間に電磁力が発生して
可動子111cが移動する。
【0020】このとき、可動子111cが移動するに従
い可動子111cに締結されたシャフト113が移動
し、シャフト113に締結された中空シャフト112が
下方に移動して電子部品が位置したところに到達するよ
うになる。
【0021】中空シャフト112の一端が電子部品が位
置したところに到達すると、リニアモータ111の内側
に内蔵された空気バルブ114は空気を吸入し、この吸
入力により電子部品を吸着した後、所定位置に移動す
る。
【0022】一方、空気バルブ114により吸入された
空気は吸気管114aを通して外部に放出され、所定位
置に移動した電子部品は、空気バルブ114を制御して
吸入力を低くして定められた位置に安着される。このよ
うに電子部品を吸着するか放するための空気バルブ11
4は自動に空気を吸入するためにソレノイドバルブを用
いて構成する。
【0023】このような第1ヘッド110の構成と動作
は、残りの第2ないし第4ヘッド120、130、14
0にも同一に適用され、各リニアモータ111,12
1,131,141を高さ位置レベルを交互にずらして
配置することにより、より大きい駆動力を得ることがで
きるようになる。
【0024】また、各リニアモータ111,121,1
31,141の駆動力が大きくなることにより、上下方
向に移動する第1ヘッド110を高速かつ精密に調整で
きるし、また、空気バルブ114をリニアモータ111
に内蔵することにより、ヘッドモジュール100をより
小型化させて構成することができる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、表面実装
装置のヘッドモジュールに適用された複数のリニアモー
タを高さ位置レベルを交互にずらして配置することによ
り、ヘッドモジュールの大きさを小型化しながら高い駆
動力を発生させて、より高速で精密にヘッドの移動を制
御できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるヘッドモジュールの正面図であ
る。
【図2】図1に示したヘッドの側断面図である。
【図3】図1に示したヘッドの断面図である。
【図4】従来の表面実装装置の斜視図である。
【図5】図4に示した従来のヘッドモジュールの正面図
である。
【符号の説明】
100 ヘッドモジュール 110 第1ヘッド 111 リニアモータ 111a 固定子 111b 永久磁石 111c 可動子 112 中空シャフト 113 シャフト 114 空気バルブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヒュン、ヨー、ワン 大韓民国キュンキ‐ドー、ユイワン‐シ、 オユン‐ドン、216−1、シナン、アパー トメント、1−315 (72)発明者 ヤン、スン、チュン 大韓民国ソール、スンブク‐ク、ドナム- ドン、ドンソムンハンジン、アパートメン ト、202−811 (72)発明者 ノー、ワン、カン 大韓民国キュンキ‐ドー、クンポ‐シ、ジ ェムジョン‐ドン、876、ユルゴク、アパ ートメント、341−904 (72)発明者 ヒュン、キョー、ユン 大韓民国キュンキ‐ドー、ソンナム‐シ、 ブンダン‐ク、ユイメー‐ドン、キョンョ ン、アパートメント、104−1201

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のヘッドを具備する表面実装装置のヘ
    ッドモジュールにおいて、 表面実装用部品を把持するための複数の中空シャフト
    と、 前記複数の中空シャフトを内側に装着して垂直運動させ
    る複数のリニアモータと、 を備え、前記複数のリニアモータは高さ位置レベルを上
    下に交互にずらして配置されていることを特徴とするリ
    ニアモータが適用されたヘッドモジュール。
  2. 【請求項2】前記リニアモータの内側には前記中空シャ
    フトを通じて部品を取ったり放したりするための空気の
    吸入を制御する空気バルブが内蔵されることを特徴とす
    る請求項1に記載のリニアモータが適用されたヘッドモ
    ジュール。
  3. 【請求項3】前記空気バルブはソレノイドバルブである
    ことを特徴とする請求項2に記載のリニアモータが適用
    されたヘッドモジュール。
JP2000245908A 1999-08-13 2000-08-14 リニアモータが適用されたヘッドモジュール Expired - Fee Related JP3515054B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990033445A KR100300521B1 (ko) 1999-08-13 1999-08-13 리니어 모터가 적용된 헤드 모듈
KR1999-33445 1999-08-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001105270A true JP2001105270A (ja) 2001-04-17
JP3515054B2 JP3515054B2 (ja) 2004-04-05

Family

ID=19607184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000245908A Expired - Fee Related JP3515054B2 (ja) 1999-08-13 2000-08-14 リニアモータが適用されたヘッドモジュール

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6426573B1 (ja)
JP (1) JP3515054B2 (ja)
KR (1) KR100300521B1 (ja)
TW (1) TW497321B (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003174285A (ja) * 2001-12-05 2003-06-20 Juki Corp 電子部品実装装置の装着ヘッド
WO2006011341A1 (ja) * 2004-07-29 2006-02-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. シャフト型リニアモータ、該リニアモータを備える実装ヘッド及び部品実装装置、並びに該リニアモータ駆動用シャフトの位置検出方法
JP2006180645A (ja) * 2004-12-24 2006-07-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多軸リニアモータ、及び該多軸リニアモータを利用する実装ヘッド、部品実装装置、並びに磁力遮蔽材及び磁力遮蔽方法
JP2007155656A (ja) * 2005-12-08 2007-06-21 Nippon Pulse Motor Co Ltd 流体供給装置
WO2009119648A1 (ja) * 2008-03-28 2009-10-01 ヤマハ発動機株式会社 リニアモータユニットおよび該リニアモータユニットを備えた電子部品移載装置
JP2010283298A (ja) * 2009-06-08 2010-12-16 Juki Corp 部品実装装置
KR20140127764A (ko) * 2013-04-25 2014-11-04 산요 덴키 가부시키가이샤 축 회전형 직선형 모터 및 축 회전형 직선형 모터 유닛
US8987950B2 (en) 2011-10-20 2015-03-24 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Actuator and actuator cooling method
WO2020080253A1 (ja) * 2018-10-19 2020-04-23 Thk株式会社 アクチュエータユニットおよびアクチュエータ

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10018230A1 (de) * 2000-04-12 2001-10-25 Webasto Vehicle Sys Int Gmbh Antrieb für ein verstellbares Fahrzeugteil
JP4705118B2 (ja) 2008-01-11 2011-06-22 ヤマハ発動機株式会社 多軸リニアモータ及び部品移載装置
JP6026981B2 (ja) * 2013-09-24 2016-11-16 山洋電気株式会社 リニアモータユニット

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3730090A (en) * 1971-02-16 1973-05-01 North American Rockwell Adjusting arrangement for ink fountain blade
US4426907A (en) * 1981-09-10 1984-01-24 Scholz Donald T Automatic tuning device
GB2110886B (en) * 1981-12-01 1985-12-11 Bunker Ramo Electrical connector member
US4927380A (en) * 1988-12-23 1990-05-22 The Siemon Company Printed circuit board connector
EP0638375B1 (de) * 1993-07-13 1996-11-13 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Ratterüberwachung bei Zwillingsantrieben von Walzgerüsten
DE19639861A1 (de) * 1995-09-28 1997-04-10 Brainlab Med Computersyst Gmbh Lamellenkollimator für die Strahlentherapie
US5960821A (en) * 1996-11-12 1999-10-05 Johnson; Edwin Lee Flow sensor device and associated vacuum holding system
JP4085185B2 (ja) * 1997-02-14 2008-05-14 モレックス インコーポレーテッド マルチ電気ハーネス製造装置に於ける電線測長装置
US6252705B1 (en) * 1999-05-25 2001-06-26 Schlumberger Technologies, Inc. Stage for charged particle microscopy system

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003174285A (ja) * 2001-12-05 2003-06-20 Juki Corp 電子部品実装装置の装着ヘッド
WO2006011341A1 (ja) * 2004-07-29 2006-02-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. シャフト型リニアモータ、該リニアモータを備える実装ヘッド及び部品実装装置、並びに該リニアモータ駆動用シャフトの位置検出方法
JP2006067771A (ja) * 2004-07-29 2006-03-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd シャフト型リニアモータ、該リニアモータ備える実装ヘッド及び部品実装装置、並びに該リニアモータ駆動用シャフトの位置検出方法
JP2006180645A (ja) * 2004-12-24 2006-07-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多軸リニアモータ、及び該多軸リニアモータを利用する実装ヘッド、部品実装装置、並びに磁力遮蔽材及び磁力遮蔽方法
JP4731903B2 (ja) * 2004-12-24 2011-07-27 パナソニック株式会社 部品実装用実装ヘッド、及び該実装ヘッドを備えた部品実装装置
JP4715487B2 (ja) * 2005-12-08 2011-07-06 日本パルスモーター株式会社 分注機等における液体供給装置
JP2007155656A (ja) * 2005-12-08 2007-06-21 Nippon Pulse Motor Co Ltd 流体供給装置
WO2009119648A1 (ja) * 2008-03-28 2009-10-01 ヤマハ発動機株式会社 リニアモータユニットおよび該リニアモータユニットを備えた電子部品移載装置
CN101981790A (zh) * 2008-03-28 2011-02-23 雅马哈发动机株式会社 线性电动机组及具备该线性电动机组的电子元件移载装置
JP4669021B2 (ja) * 2008-03-28 2011-04-13 ヤマハ発動機株式会社 リニアモータユニットおよび該リニアモータユニットを備えた電子部品移載装置
JP2009247056A (ja) * 2008-03-28 2009-10-22 Yamaha Motor Co Ltd リニアモータユニットおよび該リニアモータユニットを備えた電子部品移載装置
US8643226B2 (en) 2008-03-28 2014-02-04 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Linear motor and electronic component transfer device equipped with linear motor unit
JP2010283298A (ja) * 2009-06-08 2010-12-16 Juki Corp 部品実装装置
US8987950B2 (en) 2011-10-20 2015-03-24 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Actuator and actuator cooling method
KR20140127764A (ko) * 2013-04-25 2014-11-04 산요 덴키 가부시키가이샤 축 회전형 직선형 모터 및 축 회전형 직선형 모터 유닛
JP2014217180A (ja) * 2013-04-25 2014-11-17 山洋電気株式会社 軸回転型リニアモータ、および軸回転型リニアモータユニット
US9712030B2 (en) 2013-04-25 2017-07-18 Sanyo Denki Co., Ltd. Shaft rotary type linear motor and shaft rotary type linear motor unit
KR101952145B1 (ko) 2013-04-25 2019-02-26 산요 덴키 가부시키가이샤 축 회전형 직선형 모터 및 축 회전형 직선형 모터 유닛
WO2020080253A1 (ja) * 2018-10-19 2020-04-23 Thk株式会社 アクチュエータユニットおよびアクチュエータ
JP2020065426A (ja) * 2018-10-19 2020-04-23 Thk株式会社 アクチュエータユニットおよびアクチュエータ

Also Published As

Publication number Publication date
TW497321B (en) 2002-08-01
KR20010017777A (ko) 2001-03-05
JP3515054B2 (ja) 2004-04-05
KR100300521B1 (ko) 2001-11-01
US6426573B1 (en) 2002-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001105270A (ja) リニアモータが適用されたヘッドモジュール
JP2006180645A5 (ja)
JPH0245360B2 (ja)
JP2002198694A (ja) 表面実装装置及びその方法
JP4728759B2 (ja) 電子部品の実装装置
JP5525956B2 (ja) 実装機
JP4399124B2 (ja) 電子部品実装機の装着ヘッド
JP5084189B2 (ja) リニアモータ及び部品搭載装置
JP2930378B2 (ja) 電子部品実装装置
JP5457143B2 (ja) 部品実装装置
JP4842085B2 (ja) 部品実装装置
KR100445530B1 (ko) 반도체장치
KR101968827B1 (ko) Vcm 방식 카메라 모듈 조립용 볼 공급장치
JP5211295B2 (ja) 部品供給装置および部品供給方法
JPH11126996A (ja) 部品搭載装置
JP2858453B2 (ja) 電子部品実装装置
JP3749160B2 (ja) 表面実装装置及びその方法
JP2002198693A (ja) 表面実装装置及びその方法
JPH09181494A (ja) チップ部品装着装置
JP3571318B2 (ja) フィーダーステージの位置調整装置
JP3853378B2 (ja) 部品供給方法及び部品実装装置
JP5201483B2 (ja) 電子部品装着装置
JP3116848B2 (ja) チップ供給装置
JP2002198691A (ja) 表面実装機の部品供給装置
JP2004288745A (ja) 表面実装機

Legal Events

Date Code Title Description
A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040114

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090123

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100123

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110123

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120123

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120123

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130123

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130123

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140123

Year of fee payment: 10

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees