JP2001101639A - 磁気ヘッドサスペンションの製造方法および磁気ヘッドサスペンション用の金属基板の検査方法 - Google Patents
磁気ヘッドサスペンションの製造方法および磁気ヘッドサスペンション用の金属基板の検査方法Info
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- JP2001101639A JP2001101639A JP27792599A JP27792599A JP2001101639A JP 2001101639 A JP2001101639 A JP 2001101639A JP 27792599 A JP27792599 A JP 27792599A JP 27792599 A JP27792599 A JP 27792599A JP 2001101639 A JP2001101639 A JP 2001101639A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/484—Integrated arm assemblies, e.g. formed by material deposition or by etching from single piece of metal or by lamination of materials forming a single arm/suspension/head unit
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 長尺状の金属基板上に形成される複数の磁気
ヘッドサスペンションのタング部の反りのばらつきを低
減し、良品率を向上させることが可能な磁気ヘッドサス
ペンションの製造方法および磁気ヘッドサスペンション
用の金属基板の検査方法を提供することである。 【解決手段】 ステンレス鋼からなる長尺状の基板１０
の先端部の領域において基板１０の幅方向ＴＤに平行な
複数本の試験片７０を採取する。採取された試験片７０
の曲率のばらつきを測定する。曲率のばらつきが０．０
０２［１／ｍｍ］以下の基板１０を磁気ヘッドサスペン
ション用の基板として選択する。選択された基板１０を
長さ方向に搬送しつつ、基板１０上に絶縁層および導体
層を積層して複数の磁気ヘッドサスペンションを形成す
る。
ヘッドサスペンションのタング部の反りのばらつきを低
減し、良品率を向上させることが可能な磁気ヘッドサス
ペンションの製造方法および磁気ヘッドサスペンション
用の金属基板の検査方法を提供することである。 【解決手段】 ステンレス鋼からなる長尺状の基板１０
の先端部の領域において基板１０の幅方向ＴＤに平行な
複数本の試験片７０を採取する。採取された試験片７０
の曲率のばらつきを測定する。曲率のばらつきが０．０
０２［１／ｍｍ］以下の基板１０を磁気ヘッドサスペン
ション用の基板として選択する。選択された基板１０を
長さ方向に搬送しつつ、基板１０上に絶縁層および導体
層を積層して複数の磁気ヘッドサスペンションを形成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に用いられる磁気ヘッドサスペンションの製造方法およ
び磁気ヘッドサスペンション用の金属基板の検査方法に
関する。
に用いられる磁気ヘッドサスペンションの製造方法およ
び磁気ヘッドサスペンション用の金属基板の検査方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置において、回転する磁
気ディスクの所望のトラックに磁気ヘッドを位置決めす
るために磁気ヘッドサスペンションと呼ばれる板状の支
持体が用いられる。この磁気ヘッドサスペンションに
は、複数の配線パターンが形成されるとともに、先端部
近傍に磁気ヘッドを搭載する磁気ヘッド搭載部（以下、
タング部と呼ぶ）が設けられている。磁気ヘッドサスペ
ンションの製造の際には、金属からなる基板上に絶縁
層、配線パターンおよび被覆層が順に形成される。
気ディスクの所望のトラックに磁気ヘッドを位置決めす
るために磁気ヘッドサスペンションと呼ばれる板状の支
持体が用いられる。この磁気ヘッドサスペンションに
は、複数の配線パターンが形成されるとともに、先端部
近傍に磁気ヘッドを搭載する磁気ヘッド搭載部（以下、
タング部と呼ぶ）が設けられている。磁気ヘッドサスペ
ンションの製造の際には、金属からなる基板上に絶縁
層、配線パターンおよび被覆層が順に形成される。
【０００３】近年、磁気ヘッドサスペンションを大量生
産するために、長尺状の基板をロールで連続的または断
続的に搬送しながら、長尺状の基板上に絶縁層の形成工
程、配線パターンの形成工程および被覆層の形成工程を
順次行う製造方法が提案されている（特開平１０−３２
０７３６号公報）。
産するために、長尺状の基板をロールで連続的または断
続的に搬送しながら、長尺状の基板上に絶縁層の形成工
程、配線パターンの形成工程および被覆層の形成工程を
順次行う製造方法が提案されている（特開平１０−３２
０７３６号公報）。
【０００４】図１２は上記の従来の製造方法における長
尺状の基板の平面図である。図１２に示すように、長尺
状の基板１００上には、露光処理の単位となる複数の矩
形の領域１１０が基板１００の長手方向に沿って２列に
設けられている。各領域１１０内には複数の磁気ヘッド
サスペンション１０１が６列および１６行に形成され
る。
尺状の基板の平面図である。図１２に示すように、長尺
状の基板１００上には、露光処理の単位となる複数の矩
形の領域１１０が基板１００の長手方向に沿って２列に
設けられている。各領域１１０内には複数の磁気ヘッド
サスペンション１０１が６列および１６行に形成され
る。
【０００５】このような長尺状の基板１００を連続的ま
たは断続的に搬送しつつ基板１００上の各領域１１０に
所定の工程を順次行うことにより長尺状の基板１００上
に多数の磁気ヘッドサスペンションを同時に形成するこ
とが可能となる。
たは断続的に搬送しつつ基板１００上の各領域１１０に
所定の工程を順次行うことにより長尺状の基板１００上
に多数の磁気ヘッドサスペンションを同時に形成するこ
とが可能となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ヘッド
サスペンションのタング部に磁気ヘッドを搭載する際に
は、タング部がサスペンション本体部（磁気ヘッドサス
ペンションのタング部を除く部分）に対して所定の角度
をなすようにタング部を曲げ加工する。タング部の曲げ
加工の際には、複数の磁気ヘッドサスペンションのタン
グ部の角度を一定にする必要がある。
サスペンションのタング部に磁気ヘッドを搭載する際に
は、タング部がサスペンション本体部（磁気ヘッドサス
ペンションのタング部を除く部分）に対して所定の角度
をなすようにタング部を曲げ加工する。タング部の曲げ
加工の際には、複数の磁気ヘッドサスペンションのタン
グ部の角度を一定にする必要がある。
【０００７】しかしながら、ロールに巻かれた長尺状の
基板は、ある程度の反りを有する。したがって、このよ
うな基板上に形成された複数の磁気ヘッドサスペンショ
ンでは、タング部に反りが発生している。
基板は、ある程度の反りを有する。したがって、このよ
うな基板上に形成された複数の磁気ヘッドサスペンショ
ンでは、タング部に反りが発生している。
【０００８】タング部の曲げ加工の際には、複数の磁気
ヘッドサスペンションのタング部の角度を一定にするた
めに複数の磁気ヘッドサスペンションでタング部の反り
が一定であることが望ましい。したがって、長尺状の基
板において各領域での反りのばらつきが小さいことが求
められる。
ヘッドサスペンションのタング部の角度を一定にするた
めに複数の磁気ヘッドサスペンションでタング部の反り
が一定であることが望ましい。したがって、長尺状の基
板において各領域での反りのばらつきが小さいことが求
められる。
【０００９】本発明の目的は、長尺状の金属基板上に形
成される複数の磁気ヘッドサスペンションのタング部の
反りのばらつきを低減し、良品率を向上させることが可
能な磁気ヘッドサスペンションの製造方法および磁気ヘ
ッドサスペンション用の金属基板の検査方法を提供する
ことである。
成される複数の磁気ヘッドサスペンションのタング部の
反りのばらつきを低減し、良品率を向上させることが可
能な磁気ヘッドサスペンションの製造方法および磁気ヘ
ッドサスペンション用の金属基板の検査方法を提供する
ことである。
【００１０】
【課題を解決するための手段および発明の効果】本発明
者は、種々の実験および検討を行った結果、長尺状の金
属基板の幅方向における曲率のばらつきとその金属基板
上に形成された複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気
ヘッド搭載部の反りのばらつきとの間に相関関係があ
り、長尺状の金属基板の一部領域の幅方向における曲率
のばらつきが所定値以下の場合にその金属基板上に形成
された複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭
載部の反りのばらつきが低減されることを見出した。そ
して、この結果に基づいて以下の本発明を案出した。
者は、種々の実験および検討を行った結果、長尺状の金
属基板の幅方向における曲率のばらつきとその金属基板
上に形成された複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気
ヘッド搭載部の反りのばらつきとの間に相関関係があ
り、長尺状の金属基板の一部領域の幅方向における曲率
のばらつきが所定値以下の場合にその金属基板上に形成
された複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭
載部の反りのばらつきが低減されることを見出した。そ
して、この結果に基づいて以下の本発明を案出した。
【００１１】第１の発明に係る磁気ヘッドサスペンショ
ンの製造方法は、長尺状の金属基板の一部領域の幅方向
における曲率のばらつきを測定し、曲率のばらつきが所
定値以下の金属基板を選択し、選択された金属基板を長
さ方向に搬送しつつ、金属基板上に絶縁層および導体層
を積層して複数の磁気ヘッドサスペンションを形成する
ものである。
ンの製造方法は、長尺状の金属基板の一部領域の幅方向
における曲率のばらつきを測定し、曲率のばらつきが所
定値以下の金属基板を選択し、選択された金属基板を長
さ方向に搬送しつつ、金属基板上に絶縁層および導体層
を積層して複数の磁気ヘッドサスペンションを形成する
ものである。
【００１２】長尺状の金属基板の一部領域の幅方向にお
ける曲率のばらつきが所定値以下の場合には、その金属
基板のほぼ全長にわたって各領域の反りのばらつきが一
定値以下に低減されている。したがって、一部領域の幅
方向における曲率のばらつきが所定値以下の金属基板を
選択し、その選択された金属基板上に絶縁層および導体
層を積層して複数の磁気ヘッドサスペンションを形成す
ることにより、金属基板のほぼ全長にわたって複数の磁
気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭載部の反りのば
らつきを低減することができる。その結果、磁気ヘッド
サスペンションの良品率が向上し、かつ磁気ヘッド搭載
部の曲げ加工の精度が向上する。
ける曲率のばらつきが所定値以下の場合には、その金属
基板のほぼ全長にわたって各領域の反りのばらつきが一
定値以下に低減されている。したがって、一部領域の幅
方向における曲率のばらつきが所定値以下の金属基板を
選択し、その選択された金属基板上に絶縁層および導体
層を積層して複数の磁気ヘッドサスペンションを形成す
ることにより、金属基板のほぼ全長にわたって複数の磁
気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭載部の反りのば
らつきを低減することができる。その結果、磁気ヘッド
サスペンションの良品率が向上し、かつ磁気ヘッド搭載
部の曲げ加工の精度が向上する。
【００１３】所定値が２．０×１０-3ｍｍ-1以下である
ことが好ましい。この場合には、長尺状の金属基板上に
形成された複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッ
ド搭載部の反りのばらつきが十分に低減される。したが
って、磁気ヘッドサスペンションの良品率がさらに向上
し、磁気ヘッド搭載部の曲げ加工の精度がさらに向上す
る。
ことが好ましい。この場合には、長尺状の金属基板上に
形成された複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッ
ド搭載部の反りのばらつきが十分に低減される。したが
って、磁気ヘッドサスペンションの良品率がさらに向上
し、磁気ヘッド搭載部の曲げ加工の精度がさらに向上す
る。
【００１４】複数の磁気ヘッドサスペンションの長さ方
向が金属基板の幅方向と平行になるように金属基板上に
複数の磁気ヘッドサスペンションを形成してもよい。
向が金属基板の幅方向と平行になるように金属基板上に
複数の磁気ヘッドサスペンションを形成してもよい。
【００１５】この場合、金属基板上に形成された複数の
磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭載部の曲げ加
工の方向が金属基板の反りの方向と一致する。金属基板
のほぼ全長にわたって幅方向における反りのばらつきが
一定値以下となるので、金属基板上に形成される複数の
磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭載部の反りの
ばらつきが十分に低減される。
磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭載部の曲げ加
工の方向が金属基板の反りの方向と一致する。金属基板
のほぼ全長にわたって幅方向における反りのばらつきが
一定値以下となるので、金属基板上に形成される複数の
磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭載部の反りの
ばらつきが十分に低減される。
【００１６】金属基板は１５μｍ以上５０μｍ以下の厚
みを有するステンレス鋼からなってもよい。また、金属
基板は１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下の幅を有するステ
ンレス鋼からなってもよい。これらの場合に、一部領域
の幅方向における曲率のばらつきが所定値以下の金属基
板を選択することにより、金属基板のほぼ全長にわたっ
て複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭載部
の反りのばらつきを十分に低減することができる。
みを有するステンレス鋼からなってもよい。また、金属
基板は１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下の幅を有するステ
ンレス鋼からなってもよい。これらの場合に、一部領域
の幅方向における曲率のばらつきが所定値以下の金属基
板を選択することにより、金属基板のほぼ全長にわたっ
て複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッド搭載部
の反りのばらつきを十分に低減することができる。
【００１７】第２の発明に係る磁気ヘッドサスペンショ
ン用の金属基板の検査方法は、長尺状の金属基板の一部
領域の幅方向における曲率のばらつきを測定し、曲率の
ばらつきが所定値以下の金属基板を磁気ヘッドサスペン
ション用の金属基板として選択するものである。
ン用の金属基板の検査方法は、長尺状の金属基板の一部
領域の幅方向における曲率のばらつきを測定し、曲率の
ばらつきが所定値以下の金属基板を磁気ヘッドサスペン
ション用の金属基板として選択するものである。
【００１８】長尺状の金属基板の一部領域の幅方向にお
ける曲率のばらつきが所定値以下の場合には、その金属
基板のほぼ全長にわたって各領域の反りのばらつきが一
定値以下に低減されている。したがって、一部領域の幅
方向における曲率のばらつきが所定値以下の金属基板を
磁気ヘッドサスペンション用の金属基板として選択する
ことにより、金属基板上に形成される複数の磁気ヘッド
サスペンションの磁気ヘッド搭載部の反りのばらつきを
低減することができる。その結果、磁気ヘッドサスペン
ションの良品率が向上し、かつ磁気ヘッド搭載部の曲げ
加工の精度が向上する。
ける曲率のばらつきが所定値以下の場合には、その金属
基板のほぼ全長にわたって各領域の反りのばらつきが一
定値以下に低減されている。したがって、一部領域の幅
方向における曲率のばらつきが所定値以下の金属基板を
磁気ヘッドサスペンション用の金属基板として選択する
ことにより、金属基板上に形成される複数の磁気ヘッド
サスペンションの磁気ヘッド搭載部の反りのばらつきを
低減することができる。その結果、磁気ヘッドサスペン
ションの良品率が向上し、かつ磁気ヘッド搭載部の曲げ
加工の精度が向上する。
【００１９】所定値が２．０×１０-3ｍｍ-1以下である
ことが好ましい。この場合には、長尺状の金属基板上に
形成された複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッ
ド搭載部の反りのばらつきが十分に低減される。したが
って、磁気ヘッドサスペンションの良品率がさらに向上
し、磁気ヘッド搭載部の曲げ加工の精度がさらに向上す
る。
ことが好ましい。この場合には、長尺状の金属基板上に
形成された複数の磁気ヘッドサスペンションの磁気ヘッ
ド搭載部の反りのばらつきが十分に低減される。したが
って、磁気ヘッドサスペンションの良品率がさらに向上
し、磁気ヘッド搭載部の曲げ加工の精度がさらに向上す
る。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例における
磁気ヘッドサスペンションの製造方法について説明す
る。
磁気ヘッドサスペンションの製造方法について説明す
る。
【００２１】本実施例の磁気ヘッドサスペンションの製
造方法では、まず、以下に示す検査方法でステンレス鋼
からなる長尺状の基板を検査し、幅方向における曲率の
ばらつきが所定値以下の基板を選択する。次に、その選
択された基板上に後述する方法で複数の磁気ヘッドサス
ペンションを形成する。
造方法では、まず、以下に示す検査方法でステンレス鋼
からなる長尺状の基板を検査し、幅方向における曲率の
ばらつきが所定値以下の基板を選択する。次に、その選
択された基板上に後述する方法で複数の磁気ヘッドサス
ペンションを形成する。
【００２２】まず、磁気ヘッドサスペンション用の基板
の検査方法について説明する。図１は本実施例における
磁気ヘッドサスペンションの製造に用いる基板の検査方
法を説明するための平面図である。また、図２は図１の
基板の幅方向における曲率のばらつきの測定方法を説明
するための図である。
の検査方法について説明する。図１は本実施例における
磁気ヘッドサスペンションの製造に用いる基板の検査方
法を説明するための平面図である。また、図２は図１の
基板の幅方向における曲率のばらつきの測定方法を説明
するための図である。
【００２３】図１において、基板１０の厚みは、例えば
１５〜５０μｍであり、基板１０の幅は、例えば１００
〜５００ｍｍであり、基板１０の長さは、例えば約２５
ｍである。基板１０の先端部の領域において、基板１０
の幅方向ＴＤに平行な１０本の試験片７０をエッチング
により採取する。この場合、基板１０上の先端部の領域
において試験片７０の部分のみにエッチングレジストの
パターンを形成し、基板１０の他の部分をエッチングに
より除去する。試験片７０は、基板１０の長さ方向ＭＤ
において２．５ｍｍの幅を有し、基板１０の幅方向ＴＤ
において３０ｍｍの長さを有する。１０本の試験片７０
は、基板１０の幅方向ＴＤの全長にわたって一定距離ｄ
１ずつずれた位置に配置する。
１５〜５０μｍであり、基板１０の幅は、例えば１００
〜５００ｍｍであり、基板１０の長さは、例えば約２５
ｍである。基板１０の先端部の領域において、基板１０
の幅方向ＴＤに平行な１０本の試験片７０をエッチング
により採取する。この場合、基板１０上の先端部の領域
において試験片７０の部分のみにエッチングレジストの
パターンを形成し、基板１０の他の部分をエッチングに
より除去する。試験片７０は、基板１０の長さ方向ＭＤ
において２．５ｍｍの幅を有し、基板１０の幅方向ＴＤ
において３０ｍｍの長さを有する。１０本の試験片７０
は、基板１０の幅方向ＴＤの全長にわたって一定距離ｄ
１ずつずれた位置に配置する。
【００２４】次に、図２に示すように、採取された試験
片７０をレーザ顕微鏡のステージ８０上に設置する。そ
して、試験片７０の長さ方向において１０ｍｍおきに３
つの測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を設定し、それらの測定点
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３においてステージ８０から試験片７０
の高さｈ1 ，ｈ2 ，ｈ3 をそれぞれ測定する。この測定
では、３つの測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３において試験片７
０の幅方向の中心部を測定する。次に、３つの測定点Ｐ
１，Ｐ２，Ｐ３のうち両端の２つの測定点Ｐ１，Ｐ３に
おける高さを０とした場合の中央部の測定点Ｐ２におけ
る高さｈを次式により求める。
片７０をレーザ顕微鏡のステージ８０上に設置する。そ
して、試験片７０の長さ方向において１０ｍｍおきに３
つの測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を設定し、それらの測定点
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３においてステージ８０から試験片７０
の高さｈ1 ，ｈ2 ，ｈ3 をそれぞれ測定する。この測定
では、３つの測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３において試験片７
０の幅方向の中心部を測定する。次に、３つの測定点Ｐ
１，Ｐ２，Ｐ３のうち両端の２つの測定点Ｐ１，Ｐ３に
おける高さを０とした場合の中央部の測定点Ｐ２におけ
る高さｈを次式により求める。
【００２５】ｈ＝ｈ2 −（ｈ1 ＋ｈ3 ）／２ …（１） 次に、上式（１）により求めた中央部の測定点Ｐ２の高
さｈを用いて試験片７０の曲率ｋ［１／ｍｍ］を次式に
より求める。
さｈを用いて試験片７０の曲率ｋ［１／ｍｍ］を次式に
より求める。
【００２６】ｋ＝２ｈ／（ｈ2 ＋１００） …（２） 上式（２）により基板１０の幅方向ＴＤにおける１０本
の試験片７０の曲率ｋの最大値と最小値との差を幅方向
ＴＤにおける曲率ｋのばらつきとする。
の試験片７０の曲率ｋの最大値と最小値との差を幅方向
ＴＤにおける曲率ｋのばらつきとする。
【００２７】このようにして求めた基板１０の幅方向Ｔ
Ｄにおける曲率ｋのばらつきが０．００２［１／ｍｍ］
以下の基板１０を良品として選択し、幅方向ＴＤにおけ
る曲率ｋのばらつきが０．００２［１／ｍｍ］よりも大
きい基板１０を不良品とする。選択された基板１０上に
以下の方法により複数の磁気ヘッドサスペンションを形
成する。
Ｄにおける曲率ｋのばらつきが０．００２［１／ｍｍ］
以下の基板１０を良品として選択し、幅方向ＴＤにおけ
る曲率ｋのばらつきが０．００２［１／ｍｍ］よりも大
きい基板１０を不良品とする。選択された基板１０上に
以下の方法により複数の磁気ヘッドサスペンションを形
成する。
【００２８】なお、上記のように、幅方向ＴＤにおける
曲率ｋのばらつきが０．００２［１／ｍｍ］以下の基板
１０を良品として選択することが好ましく、後述するよ
うに、幅方向ＴＤにおける曲率ｋのばらつきが０．００
１［１／ｍｍ］以下の基板１０を良品として選択するこ
とがさらに好ましい。
曲率ｋのばらつきが０．００２［１／ｍｍ］以下の基板
１０を良品として選択することが好ましく、後述するよ
うに、幅方向ＴＤにおける曲率ｋのばらつきが０．００
１［１／ｍｍ］以下の基板１０を良品として選択するこ
とがさらに好ましい。
【００２９】次に、磁気ヘッドサスペンションの製造方
法について説明する。図３は本発明の実施例における製
造方法により製造される磁気ヘッドサスペンションの平
面図である。また、図４（ａ）は図３の磁気ヘッドサス
ペンションのＡ−Ａ線断面図、図４（ｂ）は図３の磁気
ヘッドサスペンションのＢ−Ｂ線断面図である。
法について説明する。図３は本発明の実施例における製
造方法により製造される磁気ヘッドサスペンションの平
面図である。また、図４（ａ）は図３の磁気ヘッドサス
ペンションのＡ−Ａ線断面図、図４（ｂ）は図３の磁気
ヘッドサスペンションのＢ−Ｂ線断面図である。
【００３０】図３に示すように、磁気ヘッドサスペンシ
ョン１は、ステンレス鋼からなる長尺状の基板１０によ
り形成されるサスペンション本体部２０を備える。サス
ペンション本体部２０上には配線パターン２５が形成さ
れている。サスペンション本体部２０の先端部には、Ｕ
字状の開口部２６を形成することにより磁気ヘッド搭載
部（以下、タング部と呼ぶ）２４が設けられている。タ
ング部２４は、サスペンション本体部２０に対して所定
の角度をなすように破線Ｒの箇所で折り曲げ加工され
る。
ョン１は、ステンレス鋼からなる長尺状の基板１０によ
り形成されるサスペンション本体部２０を備える。サス
ペンション本体部２０上には配線パターン２５が形成さ
れている。サスペンション本体部２０の先端部には、Ｕ
字状の開口部２６を形成することにより磁気ヘッド搭載
部（以下、タング部と呼ぶ）２４が設けられている。タ
ング部２４は、サスペンション本体部２０に対して所定
の角度をなすように破線Ｒの箇所で折り曲げ加工され
る。
【００３１】タング部２４の端部には４つの電極パッド
２２が形成されている。サスペンション本体部２０の他
端部には４つの電極パッド２７が形成されている。タン
グ部２４上の電極パッド２２とサスペンション本体部２
０の他端部の電極パッド２７とは配線パターン２５によ
り電気的に接続されている。また、サスペンション本体
部２０には複数の孔部２８が形成されている。なお、図
３には、被覆層は示されていない。
２２が形成されている。サスペンション本体部２０の他
端部には４つの電極パッド２７が形成されている。タン
グ部２４上の電極パッド２２とサスペンション本体部２
０の他端部の電極パッド２７とは配線パターン２５によ
り電気的に接続されている。また、サスペンション本体
部２０には複数の孔部２８が形成されている。なお、図
３には、被覆層は示されていない。
【００３２】図４（ａ）に示すように、基板１０上には
ポリイミドからなる絶縁層１１が形成されている。絶縁
層１１上の４箇所に、クロム膜１２、銅からなる導体層
パターン１６およびニッケル膜１７が順に積層され、ニ
ッケル膜１７上に金からなる電極パッド２７が形成され
ている。絶縁層１１の上面は、電極パッド２７の上面を
除いてポリイミドからなる被覆層１８で被覆されてい
る。
ポリイミドからなる絶縁層１１が形成されている。絶縁
層１１上の４箇所に、クロム膜１２、銅からなる導体層
パターン１６およびニッケル膜１７が順に積層され、ニ
ッケル膜１７上に金からなる電極パッド２７が形成され
ている。絶縁層１１の上面は、電極パッド２７の上面を
除いてポリイミドからなる被覆層１８で被覆されてい
る。
【００３３】図４（ｂ）に示すように、絶縁層１１上の
一方の側部側および他方の側部側のそれぞれ２箇所に、
クロム膜１２、銅からなる導体層パターン１６およびニ
ッケル膜１７が順に積層されている。各側部側の２組の
クロム膜１２、導体層パターン１６およびニッケル膜１
７はポリイミドからなる絶縁層１８で被覆されている。
それにより、配線パターン２５が形成される。
一方の側部側および他方の側部側のそれぞれ２箇所に、
クロム膜１２、銅からなる導体層パターン１６およびニ
ッケル膜１７が順に積層されている。各側部側の２組の
クロム膜１２、導体層パターン１６およびニッケル膜１
７はポリイミドからなる絶縁層１８で被覆されている。
それにより、配線パターン２５が形成される。
【００３４】ここで、図３の磁気ヘッドサスペンション
の製造工程について説明する。図５、図６および図７は
図３の磁気ヘッドサスペンションの製造工程を示す模式
的工程断面図である。
の製造工程について説明する。図５、図６および図７は
図３の磁気ヘッドサスペンションの製造工程を示す模式
的工程断面図である。
【００３５】まず、図５（ａ）に示すように、厚み１５
〜５０μｍのステンレス鋼からなる基板１０上に、厚さ
５〜２５μｍの感光性ポリイミド樹脂前駆体１１ａを塗
布する。次に、図５（ｂ）に示すように、露光機におい
て所定のマスクを介して基板１０上の感光性ポリイミド
樹脂前駆体１１ａに２００〜７００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外
線を照射し、ポリイミドからなる絶縁層１１を形成す
る。
〜５０μｍのステンレス鋼からなる基板１０上に、厚さ
５〜２５μｍの感光性ポリイミド樹脂前駆体１１ａを塗
布する。次に、図５（ｂ）に示すように、露光機におい
て所定のマスクを介して基板１０上の感光性ポリイミド
樹脂前駆体１１ａに２００〜７００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外
線を照射し、ポリイミドからなる絶縁層１１を形成す
る。
【００３６】その後、図５（ｃ）に示すように、基板１
０上および絶縁層１１上に、クロムおよび銅の連続的な
スパッタリングにより、厚さ１００〜６００Åのクロム
膜１２および厚さ５００〜２０００Åで０．６Ω／□以
下のシート抵抗を有する銅めっきベース１３を順に形成
する。
０上および絶縁層１１上に、クロムおよび銅の連続的な
スパッタリングにより、厚さ１００〜６００Åのクロム
膜１２および厚さ５００〜２０００Åで０．６Ω／□以
下のシート抵抗を有する銅めっきベース１３を順に形成
する。
【００３７】次に、図５（ｄ）に示すように、銅めっき
ベース１３上に、所定のパターンを有するめっき用のレ
ジスト１４を形成する。そして、図５（ｅ）に示すよう
に、レジスト１４の開口部に、銅の電解めっきにより厚
さ２〜１５μｍの銅めっき層１５を形成する。本実施例
では、銅めっき層１５の厚さは約１０μｍである。
ベース１３上に、所定のパターンを有するめっき用のレ
ジスト１４を形成する。そして、図５（ｅ）に示すよう
に、レジスト１４の開口部に、銅の電解めっきにより厚
さ２〜１５μｍの銅めっき層１５を形成する。本実施例
では、銅めっき層１５の厚さは約１０μｍである。
【００３８】次いで、図５（ｆ）に示すように、レジス
ト１４を除去した後、アルカリ性処理液により銅めっき
ベース１３をエッチングにより除去し、銅からなる導体
層パターン１６を形成する。さらに、図６（ｇ）に示す
ように、アルカリ性処理液（フェリシアン化カリウム
液）により基板１０上および絶縁層１１上に露出したク
ロム膜１２をエッチングにより除去する。
ト１４を除去した後、アルカリ性処理液により銅めっき
ベース１３をエッチングにより除去し、銅からなる導体
層パターン１６を形成する。さらに、図６（ｇ）に示す
ように、アルカリ性処理液（フェリシアン化カリウム
液）により基板１０上および絶縁層１１上に露出したク
ロム膜１２をエッチングにより除去する。
【００３９】次に、図６（ｈ）に示すように、ニッケル
の無電解めっきにより基板１０上および導体層パターン
１６上に、厚さ０．０５〜０．１μｍのニッケル膜１７
を形成する。このニッケル膜１７は、導体層パターン１
６と被覆層１８との密着性を向上させるためおよび銅の
マイグレーションを防止するために設けられる。
の無電解めっきにより基板１０上および導体層パターン
１６上に、厚さ０．０５〜０．１μｍのニッケル膜１７
を形成する。このニッケル膜１７は、導体層パターン１
６と被覆層１８との密着性を向上させるためおよび銅の
マイグレーションを防止するために設けられる。
【００４０】次いで、図６（ｉ）に示すように、ニッケ
ル膜１７上および絶縁層１１上に感光性ポリイミド樹脂
前駆体を塗布し、露光処理、加熱処理、現像処理および
加熱硬化処理を順に行うことにより、絶縁層１１上およ
びニッケル膜１７上に所定のパターンを有する厚さ３〜
５μｍのポリイミドからなる被覆層１８を形成する。こ
の場合、被覆層１８の所定の位置には電極パッド形成用
の開口部１９が設けられる。また、電極パッドの電解め
っき用リード部２９としてニッケル膜１７の一部が露出
される。
ル膜１７上および絶縁層１１上に感光性ポリイミド樹脂
前駆体を塗布し、露光処理、加熱処理、現像処理および
加熱硬化処理を順に行うことにより、絶縁層１１上およ
びニッケル膜１７上に所定のパターンを有する厚さ３〜
５μｍのポリイミドからなる被覆層１８を形成する。こ
の場合、被覆層１８の所定の位置には電極パッド形成用
の開口部１９が設けられる。また、電極パッドの電解め
っき用リード部２９としてニッケル膜１７の一部が露出
される。
【００４１】次に、図７（ｊ）に示すように、露出した
ニッケル膜１７を剥離した後、被覆層１８の開口部１９
内に、電解めっきにより厚さ１〜５μｍのニッケル膜２
１および厚さ１〜５μｍの金からなる電極パッド２２を
形成する。その後、図７（ｋ）に示すように、電極パッ
ドの電解めっき用リード部２９をエッチングにより除去
する。
ニッケル膜１７を剥離した後、被覆層１８の開口部１９
内に、電解めっきにより厚さ１〜５μｍのニッケル膜２
１および厚さ１〜５μｍの金からなる電極パッド２２を
形成する。その後、図７（ｋ）に示すように、電極パッ
ドの電解めっき用リード部２９をエッチングにより除去
する。
【００４２】次に、図７（ｌ）に示すように、基板１０
上および被覆層１８上に所定のパターンを有するフォト
レジスト２３を形成する。そして、図７（ｍ）に示すよ
うに、塩化第二鉄溶液および塩化第二銅溶液を用いて基
板１０をエッチングし、開口部２６を形成した後、フォ
トレジスト２３を除去する。最後に、水洗を行う。この
ようにして、図３に示した磁気ヘッドサスペンション１
が製造される。
上および被覆層１８上に所定のパターンを有するフォト
レジスト２３を形成する。そして、図７（ｍ）に示すよ
うに、塩化第二鉄溶液および塩化第二銅溶液を用いて基
板１０をエッチングし、開口部２６を形成した後、フォ
トレジスト２３を除去する。最後に、水洗を行う。この
ようにして、図３に示した磁気ヘッドサスペンション１
が製造される。
【００４３】次に、図８、図９および図１０を参照しな
がら長尺状の基板上における複数の磁気ヘッドサスペン
ションの形成方法について説明する。図８は本発明の実
施例の製造方法における長尺状の基板の平面図、図９は
図８の長尺状の基板上の１つの領域の平面図、図１０は
図９のサブ領域内の１つの区域の一部の平面図である。
がら長尺状の基板上における複数の磁気ヘッドサスペン
ションの形成方法について説明する。図８は本発明の実
施例の製造方法における長尺状の基板の平面図、図９は
図８の長尺状の基板上の１つの領域の平面図、図１０は
図９のサブ領域内の１つの区域の一部の平面図である。
【００４４】図８に示すように、ステンレス鋼からなる
長尺状の基板１０は長さ方向ＭＤに搬送される。基板１
０上には、長さ方向ＭＤに沿って矩形の複数の領域３０
が設けられる。各領域３０は、基板１０の長さ方向ＭＤ
に沿って２列および幅方向ＴＤに沿って２行に配置され
た４つのサブ領域３１に区分されている。サブ領域３１
は露光機による露光処理の単位であり、領域３０は図７
（ｊ）の電極パッドのめっき処理以降のバッチ処理の単
位である。
長尺状の基板１０は長さ方向ＭＤに搬送される。基板１
０上には、長さ方向ＭＤに沿って矩形の複数の領域３０
が設けられる。各領域３０は、基板１０の長さ方向ＭＤ
に沿って２列および幅方向ＴＤに沿って２行に配置され
た４つのサブ領域３１に区分されている。サブ領域３１
は露光機による露光処理の単位であり、領域３０は図７
（ｊ）の電極パッドのめっき処理以降のバッチ処理の単
位である。
【００４５】基板１０の幅Ｗは、５０〜５００ｍｍであ
り、好ましくは１２５〜３００ｍｍであり、本実施例で
は２５０ｍｍである。また、基板１０の厚みは、１０〜
６０μｍであり、振動を防止する点から好ましくは１０
〜３０μｍであり、本実施例では２５μｍである。
り、好ましくは１２５〜３００ｍｍであり、本実施例で
は２５０ｍｍである。また、基板１０の厚みは、１０〜
６０μｍであり、振動を防止する点から好ましくは１０
〜３０μｍであり、本実施例では２５μｍである。
【００４６】領域３０の面積は２５〜２５００ｃｍ2 で
ある。本実施例では、領域３０の幅Ｄ１は約２００ｍｍ
であり、長さＬ１は約２３５ｍｍである。サブ領域３１
の面積は領域３０の面積をサブ領域の数で割った大きさ
となる。本実施例ではサブ領域３１は４つであるが、３
つ、あるいは２つでもよい。また、サブ領域３１はなく
てもよい。本実施例では、サブ領域３１の幅Ｄ２は約１
００ｍｍであり、長さＬ２は約１１０ｍｍである。
ある。本実施例では、領域３０の幅Ｄ１は約２００ｍｍ
であり、長さＬ１は約２３５ｍｍである。サブ領域３１
の面積は領域３０の面積をサブ領域の数で割った大きさ
となる。本実施例ではサブ領域３１は４つであるが、３
つ、あるいは２つでもよい。また、サブ領域３１はなく
てもよい。本実施例では、サブ領域３１の幅Ｄ２は約１
００ｍｍであり、長さＬ２は約１１０ｍｍである。
【００４７】さらに、長さ方向ＭＤにおける領域３０間
の間隔Ｓ１は、５〜５０ｍｍであり、本実施例では約２
０ｍｍである。幅方向ＴＤにおける領域３０の外側の幅
Ｓ２は、１０〜５０ｍｍであり、本実施例では約２５ｍ
ｍである。
の間隔Ｓ１は、５〜５０ｍｍであり、本実施例では約２
０ｍｍである。幅方向ＴＤにおける領域３０の外側の幅
Ｓ２は、１０〜５０ｍｍであり、本実施例では約２５ｍ
ｍである。
【００４８】サブ領域３１内には、長さ方向ＭＤに沿っ
て２〜２００個、幅方向ＴＤに沿って１〜３０個、合計
２〜６０００個の磁気ヘッドサスペンションが配置され
る。サブ領域３１の面積およびサブ領域３１内に形成さ
れる磁気ヘッドサスペンションの個数は、良品率を向上
させるためにできるだけ多い方が好ましい。
て２〜２００個、幅方向ＴＤに沿って１〜３０個、合計
２〜６０００個の磁気ヘッドサスペンションが配置され
る。サブ領域３１の面積およびサブ領域３１内に形成さ
れる磁気ヘッドサスペンションの個数は、良品率を向上
させるためにできるだけ多い方が好ましい。
【００４９】図９に示すように、各サブ領域３１は複数
の区域３２に区分されている。本実施例では、各サブ領
域３１は長さ方向ＭＤに沿って延びる３つの区域３２に
区分されている。本実施例では、長さ方向ＭＤにおいて
隣接するサブ領域３１間の間隔Ｓ３は１４ｍｍであり、
幅方向ＴＤにおいて隣接するサブ領域３１間の間隔Ｓ４
は４ｍｍである。
の区域３２に区分されている。本実施例では、各サブ領
域３１は長さ方向ＭＤに沿って延びる３つの区域３２に
区分されている。本実施例では、長さ方向ＭＤにおいて
隣接するサブ領域３１間の間隔Ｓ３は１４ｍｍであり、
幅方向ＴＤにおいて隣接するサブ領域３１間の間隔Ｓ４
は４ｍｍである。
【００５０】図１０に示すように、各区域３２内には、
複数の磁気ヘッドサスペンション１が幅方向ＴＤに平行
に配列されている。ここで、長さ方向ＭＤに沿った複数
の磁気ヘッドサスペンション１の並びを列と呼び、幅方
向ＴＤに沿った複数の磁気ヘッドサスペンション１の並
びを行と呼ぶ。本実施例では、各区域３２内に複数の磁
気ヘッドサスペンション１が２列および２４行に配列さ
れている。したがって、各サブ領域３１内には、磁気ヘ
ッドサスペンション１が６列および２４行に配列され、
各領域３０には、磁気ヘッドサスペンション１が１２列
および４８行に配列されている。
複数の磁気ヘッドサスペンション１が幅方向ＴＤに平行
に配列されている。ここで、長さ方向ＭＤに沿った複数
の磁気ヘッドサスペンション１の並びを列と呼び、幅方
向ＴＤに沿った複数の磁気ヘッドサスペンション１の並
びを行と呼ぶ。本実施例では、各区域３２内に複数の磁
気ヘッドサスペンション１が２列および２４行に配列さ
れている。したがって、各サブ領域３１内には、磁気ヘ
ッドサスペンション１が６列および２４行に配列され、
各領域３０には、磁気ヘッドサスペンション１が１２列
および４８行に配列されている。
【００５１】
【実施例】ここで、３つの基板１０について上記実施例
の検査方法により試験片７０の曲率ｋのばらつきを測定
した後、それらの３つの基板１０上に図３〜図１０の製
造方法により複数の磁気ヘッドサスペンション１を作製
し、タング部２４の反りのばらつきを調べた。以下、３
つの基板１０をそれぞれ実施例１、実施例２および比較
例とする。
の検査方法により試験片７０の曲率ｋのばらつきを測定
した後、それらの３つの基板１０上に図３〜図１０の製
造方法により複数の磁気ヘッドサスペンション１を作製
し、タング部２４の反りのばらつきを調べた。以下、３
つの基板１０をそれぞれ実施例１、実施例２および比較
例とする。
【００５２】実施例１、実施例２および比較例において
は、ステンレス鋼からなる長尺状の基板１０を用いた。
基板１０の幅Ｗは２５０ｍｍであり、厚みは２５μｍで
ある。
は、ステンレス鋼からなる長尺状の基板１０を用いた。
基板１０の幅Ｗは２５０ｍｍであり、厚みは２５μｍで
ある。
【００５３】まず、これらの基板１０の先端部の領域上
に感光性レジストを塗布し、露光および現像により図１
に示した１０本の試験片７０に対応する領域上にめっき
レジストのパターンを形成した。次に、基板１０の先端
部の領域を塩化第二鉄溶液でエッチングすることにより
１０本の試験片７０を採取した。
に感光性レジストを塗布し、露光および現像により図１
に示した１０本の試験片７０に対応する領域上にめっき
レジストのパターンを形成した。次に、基板１０の先端
部の領域を塩化第二鉄溶液でエッチングすることにより
１０本の試験片７０を採取した。
【００５４】その後、図２に示した方法で各試験片７０
の曲率ｋを上式（１），（２）により求め、１０本の試
験片７０の曲率ｋの最大値と最小値との差を試験片７０
の曲率ｋのばらつきとして求めた。
の曲率ｋを上式（１），（２）により求め、１０本の試
験片７０の曲率ｋの最大値と最小値との差を試験片７０
の曲率ｋのばらつきとして求めた。
【００５５】次に、図３〜図１０に示した製造方法によ
り実施例１、実施例２および比較例の基板１０上に複数
の磁気ヘッドサスペンション１を作製した。各サブ領域
３１の幅Ｄ２は１００ｍｍであり、長さＬ２は１１０ｍ
ｍである。長さ方向ＭＤにおいて隣接する領域３０間の
間隔Ｓ１は約２０ｍｍであり、幅方向ＴＤにおける各領
域３０の外側の幅Ｓ２は約２５ｍｍである。
り実施例１、実施例２および比較例の基板１０上に複数
の磁気ヘッドサスペンション１を作製した。各サブ領域
３１の幅Ｄ２は１００ｍｍであり、長さＬ２は１１０ｍ
ｍである。長さ方向ＭＤにおいて隣接する領域３０間の
間隔Ｓ１は約２０ｍｍであり、幅方向ＴＤにおける各領
域３０の外側の幅Ｓ２は約２５ｍｍである。
【００５６】各領域３０内の各サブ領域３１には複数の
磁気ヘッドサスペンション１が６列および２４行に配列
される。すなわち、基板１０の幅方向ＴＤの全長にわた
る２つのサブ領域３１内に複数の磁気ヘッドサスペンシ
ョン１が１２列および２４行に配列される。
磁気ヘッドサスペンション１が６列および２４行に配列
される。すなわち、基板１０の幅方向ＴＤの全長にわた
る２つのサブ領域３１内に複数の磁気ヘッドサスペンシ
ョン１が１２列および２４行に配列される。
【００５７】これらの１２列および２４行の磁気ヘッド
サスペンション１のタング部２４の反りをタケシバ電機
株式会社製のＨＧＡ／サスペンション角度測定装置ＳＡ
Ｍ−８０００を用いて次の測定原理で測定した。タング
部２４の４隅の４点およびタンク部２４の中央部の４点
の計８点のＸＹＺ座標をレーザ顕微鏡で測定する。次
に、８点のＸＹＺ座標より最小二乗法により平面を算出
し、その平面が基準水平面（サスペンション本体部２
０）に対してなす上下方向の角度を反りとして求める。
この場合、８点以上の測定点から反りを求めてもよい。
サスペンション１のタング部２４の反りをタケシバ電機
株式会社製のＨＧＡ／サスペンション角度測定装置ＳＡ
Ｍ−８０００を用いて次の測定原理で測定した。タング
部２４の４隅の４点およびタンク部２４の中央部の４点
の計８点のＸＹＺ座標をレーザ顕微鏡で測定する。次
に、８点のＸＹＺ座標より最小二乗法により平面を算出
し、その平面が基準水平面（サスペンション本体部２
０）に対してなす上下方向の角度を反りとして求める。
この場合、８点以上の測定点から反りを求めてもよい。
【００５８】これらの磁気ヘッドサスペンション１の各
列ごとに長さ方向ＭＤにおける２４個のタング部２４の
反りの平均値を算出し、１２列の磁気ヘッドサスペンシ
ョン１のタング部２４の反りの平均値の最大値と最小値
との差を求め、その差をタング部２４の反りのばらつき
とした。
列ごとに長さ方向ＭＤにおける２４個のタング部２４の
反りの平均値を算出し、１２列の磁気ヘッドサスペンシ
ョン１のタング部２４の反りの平均値の最大値と最小値
との差を求め、その差をタング部２４の反りのばらつき
とした。
【００５９】実施例１、実施例２および比較例における
試験片７０の曲率ｋのばらつきと磁気ヘッドサスペンシ
ョン１のタング部２４の反りのばらつきとの関係の測定
結果を表１および図１１に示す。
試験片７０の曲率ｋのばらつきと磁気ヘッドサスペンシ
ョン１のタング部２４の反りのばらつきとの関係の測定
結果を表１および図１１に示す。
【００６０】
【表１】
【００６１】表１および図１１に示すように、基板１０
の先端部の領域から採取した試験片７０の曲率ｋのばら
つきとその基板１０上に形成された複数の磁気ヘッドサ
スペンション１のタング部２４の反りのばらつきとの間
には良好な相関関係があることがわかる。すなわち、基
板１０の先端部の領域から採取された試験片７０の曲率
ｋのばらつきが小さくなる程、その基板１０上に形成さ
れた複数の磁気ヘッドサスペンション１のタング部２４
の反りのばらつきが小さくなる。
の先端部の領域から採取した試験片７０の曲率ｋのばら
つきとその基板１０上に形成された複数の磁気ヘッドサ
スペンション１のタング部２４の反りのばらつきとの間
には良好な相関関係があることがわかる。すなわち、基
板１０の先端部の領域から採取された試験片７０の曲率
ｋのばらつきが小さくなる程、その基板１０上に形成さ
れた複数の磁気ヘッドサスペンション１のタング部２４
の反りのばらつきが小さくなる。
【００６２】試験片７０の曲率ｋのばらつきが０．００
２［１／ｍｍ］の場合には、タング部２４の反りのばら
つきは約０．６°となる。また、試験片７０の曲率ｋの
ばらつきが０．００１［１／ｍｍ］の場合には、タング
部２４の反りのばらつきは約０．５°となる。
２［１／ｍｍ］の場合には、タング部２４の反りのばら
つきは約０．６°となる。また、試験片７０の曲率ｋの
ばらつきが０．００１［１／ｍｍ］の場合には、タング
部２４の反りのばらつきは約０．５°となる。
【００６３】したがって、試験片７０の曲率ｋのばらつ
きが０．００２［１／ｍｍ］以下の基板１０を磁気ヘッ
ドサスペンション１用の基板として選択することが好ま
しく、試験片７０の曲率ｋのばらつきが０．００１［１
／ｍｍ］以下の基板１０を磁気ヘッドサスペンション１
用の基板として選択することがさらに好ましい。
きが０．００２［１／ｍｍ］以下の基板１０を磁気ヘッ
ドサスペンション１用の基板として選択することが好ま
しく、試験片７０の曲率ｋのばらつきが０．００１［１
／ｍｍ］以下の基板１０を磁気ヘッドサスペンション１
用の基板として選択することがさらに好ましい。
【００６４】それにより、磁気ヘッドサスペンション１
のタング部２４の反りのばらつきを低減し、良品率を向
上させることが可能となる。その結果、磁気ヘッドサス
ペンション１のタング部２４の曲げ加工精度が向上す
る。
のタング部２４の反りのばらつきを低減し、良品率を向
上させることが可能となる。その結果、磁気ヘッドサス
ペンション１のタング部２４の曲げ加工精度が向上す
る。
【図１】本発明の一実施例における磁気ヘッドサスペン
ションの製造に用いる基板の検査方法を説明するための
平面図である。
ションの製造に用いる基板の検査方法を説明するための
平面図である。
【図２】図１の基板の幅方向における曲率のばらつきの
測定方法を説明するための図である。
測定方法を説明するための図である。
【図３】本発明の実施例における製造方法により製造さ
れる磁気ヘッドサスペンションの平面図である。
れる磁気ヘッドサスペンションの平面図である。
【図４】図３の磁気ヘッドサスペンションのＡ−Ａ線断
面図およびＢ−Ｂ線断面図である。
面図およびＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図３の磁気ヘッドサスペンションの製造工程を
示す模式的工程断面図である。
示す模式的工程断面図である。
【図６】図３の磁気ヘッドサスペンションの製造工程を
示す模式的工程断面図である。
示す模式的工程断面図である。
【図７】図３の磁気ヘッドサスペンションの製造工程を
示す模式的工程断面図である。
示す模式的工程断面図である。
【図８】本発明の一実施例の製造方法における長尺状の
基板の平面図である。
基板の平面図である。
【図９】図８の長尺状の基板上の１つの領域の平面図で
ある。
ある。
【図１０】図９のサブ領域内の１つの区域の一部の平面
図である。
図である。
【図１１】試験片の曲率のばらつきとタング部の反りの
ばらつきとの関係の測定結果を示す図である。
ばらつきとの関係の測定結果を示す図である。
【図１２】従来の製造方法における長尺状の基板の平面
図である。
図である。
１０ 基板 １１ 絶縁層 １８ 被覆層 ２０ サスペンション本体部 ２４ タング部 ２５ 配線パターン ３０ 領域 ３１ サブ領域 ３２ 区域 ７０ 試験片 ＭＤ 長さ方向 ＴＤ 幅方向 Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３ 測定点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東條 泰久 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内 (72)発明者 表 利彦 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 NA01 PA10 TA07 5D059 AA01 BA01 CA16 DA31 DA35 DA36 EA08
Claims (7)
- 【請求項１】 長尺状の金属基板の一部領域の幅方向に
おける曲率のばらつきを測定し、前記曲率のばらつきが
所定値以下の金属基板を選択し、前記選択された金属基
板を長さ方向に搬送しつつ、前記金属基板上に絶縁層お
よび導体層を積層して複数の磁気ヘッドサスペンション
を形成することを特徴とする磁気ヘッドサスペンション
の製造方法。 - 【請求項２】 前記所定値が２．０×１０-3ｍｍ-1であ
ることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドサスペン
ションの製造方法。 - 【請求項３】 前記複数の磁気ヘッドサスペンションの
長手方向が前記金属基板の幅方向と平行になるように前
記金属基板上に前記複数の磁気ヘッドサスペンションを
形成することを特徴とする請求項１または２記載の磁気
ヘッドサスペンションの製造方法。 - 【請求項４】 前記金属基板が１５μｍ以上５０μｍ以
下の厚みを有するステンレス鋼からなることを特徴とす
る請求項１〜３のいずれかに記載の磁気ヘッドサスペン
ションの製造方法。 - 【請求項５】 前記金属基板が１００ｍｍ以上５００ｍ
ｍ以下の幅を有するステンレス鋼からなることを特徴と
する請求項１〜４のいずれかに記載の磁気ヘッドサスペ
ンションの製造方法。 - 【請求項６】 長尺状の金属基板の一部領域の幅方向に
おける曲率のばらつきを測定し、前記曲率のばらつきが
所定値以下の金属基板を磁気ヘッドサスペンション用の
金属基板として選択することを特徴とする磁気ヘッドサ
スペンション用の金属基板の検査方法。 - 【請求項７】 所定値が２．０×１０-3ｍｍ-1であるこ
とを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドサスペンショ
ン用の金属基板の検査方法。
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