JP2001057428A - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
半導体素子の製造方法Info
- Publication number
- JP2001057428A JP2001057428A JP2000194452A JP2000194452A JP2001057428A JP 2001057428 A JP2001057428 A JP 2001057428A JP 2000194452 A JP2000194452 A JP 2000194452A JP 2000194452 A JP2000194452 A JP 2000194452A JP 2001057428 A JP2001057428 A JP 2001057428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- epitaxial growth
- selective epitaxial
- forming
- boron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims abstract description 16
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 16
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 59
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 20
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims description 15
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 8
- 238000011066 ex-situ storage Methods 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 7
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims 1
- -1 phosphorus ions Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
- H01L29/66651—Lateral single gate silicon transistors with a single crystalline channel formed on the silicon substrate after insulating device isolation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/10—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode not carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/1025—Channel region of field-effect devices
- H01L29/1029—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors
- H01L29/1033—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure
- H01L29/105—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure with vertical doping variation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
- H01L29/66613—Lateral single gate silicon transistors with a gate recessing step, e.g. using local oxidation
- H01L29/66628—Lateral single gate silicon transistors with a gate recessing step, e.g. using local oxidation recessing the gate by forming single crystalline semiconductor material at the source or drain location
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
くて均一な濃度のカウンタドープトボロン層を形成する
ことができ、素子のチャネル特性を改善することのでき
る半導体素子の製造方法を提供する。 【解決手段】 シリコン基板21に素子分離膜22を形
成し、ボロンのドープされた選択的エピタキシャル成長
膜23を形成した後、ゲート酸化膜24、ゲート電極2
5及びマスク酸化膜26を順次形成する。パターニング
されたゲート構造の側壁に酸化膜27及び窒化膜28の
二重スペーサを形成し、露出したシリコン基板21上に
選択的エピタキシャル成長膜29を形成して、これを介
してイオン注入を行ない、熱処理してエレベイテッドソ
ースS及びドレイン領域Dが形成することによりチャネ
ル特性の向上した埋込みチャネル素子を形成する。
Description
法に係り、特に選択的エピタキシャル成長(Selective E
pitaxial Growth:以下、「SEG」という)技術を用い
てエレベイテッドソース/ドレイン(Elevated Source/D
rain:ESD)構造を形成する際、ゲート酸化膜の下部
に均一で高い濃度のボロンがドープされた選択的エピタ
キシャル成長膜を形成することにより、素子の短チャネ
ル効果を改善し得る半導体素子の製造方法に関する。
スリバー(Self-aligned Epitaxial Silicon Sliver:以
下、「SESS」という)を有する埋込みチャネルPM
OSエレベイテッドソース/ドレイン構造の半導体素子
は、イオン注入によるしきい値電圧Vt調節方法はその
まま使用する一方、ファシット(facet)を可及的抑制し
て、チャネルに隣接した接合の深さを容易に減少させる
ことにより素子の短チャネル特性を向上させることがで
きる。
造方法を説明するため順次に示した素子の断面図であ
り、PMOS素子を形成する場合を例にとって説明する
と、次の通りである。
2を形成し、PMOS形成のためにN型ウェルを形成し
た状態を示す。
オン注入工程を行ない、しきい値電圧調節用イオン注入
領域13を形成した後、ゲート酸化膜14を成長させ、
全体構造上にゲート電極15及びマスク酸化膜16を順
次形成した後、マスク酸化膜16、ゲート電極15及び
ゲート酸化膜14をパターニングした状態を示す。
酸化膜及び窒化膜を順次に形成し、全面エッチング工程
を行なって、パターニングされた構造の側壁に酸化膜ス
ペーサ17及び窒化膜スペーサ18からなる二重スペー
サの構造を形成する。その後、露出したシリコン基板1
1上に化学気相成長法でエピタキシャル層19を選択的
に成長させる。エピタキシャル層19の成長時にはSE
SS(A)側に自己整列的なシリコン成長がなされる。
を施してドーパントを活性化させることにより、注入さ
れたドーパントが基板内に少々拡散するようにしてエレ
ベイテッドソースS及びドレインD領域を形成した状態
を示す。
テッドソース/ドレイン構造を形成する場合には、ファ
シットBの発生を可及的抑制しているため、チャネルに
隣接した接合(S、D)の深さを容易に減少させること
ができる。これにより、素子の短チャネル特性がある程
度向上することは事実であるが、イオン注入されたしき
い値電圧のプロファイルは既存の素子と殆ど差がない。
即ち、このような構造ではチャネルエンジニアリングで
ない接合エンジニアリングによって短チャネル特性が改
善される。
うな接合エンジニアリングのみでは短チャネル特性を改
善することが限界であるという問題点が生じる。よっ
て、チャネルエンジニアリングによってチャネル特性を
根本的に改善する方法が要求されている。
は、ウェル形成後しきい値電圧調節のためにボロンがド
ープされた選択的エピタキシャル層をインサイチュで成
長させることにより、しきい値電圧調節用イオン注入層
より一層高くて均一な濃度のカウンタドープトボロン層
を形成することができ、素子のチャネル特性を改善する
ことのできる半導体素子の製造方法を提供することにあ
る。
の本発明に係る半導体素子の製造方法は、シリコン基板
に素子分離膜を形成し、PMOS素子を形成するための
n型ウェル領域を形成する段階と、ボロンのドープされ
た選択的エピタキシャル成長膜を形成する段階と、全体
構造上にゲート酸化膜、ゲート電極及びマスク酸化膜を
順次形成した後、選択された領域のマスク酸化膜、ゲー
ト電極及びゲート酸化膜をパターニングしてゲート領域
を確保する段階と、全体構造上に酸化膜及び窒化膜を形
成し、全面エッチング工程を行なって、パターニングさ
れた構造の側壁に酸化膜スペーサ及び窒化膜スペーサの
二重スペーサを形成する段階と、露出した前記シリコン
基板上に選択的エピタキシャル成長膜を形成する段階
と、前記選択的エピタキシャル成長膜を介してイオン注
入工程を行ない、熱処理してドーパントが前記シリコン
基板内に拡散してエレベイテッドソース及びドレイン領
域が形成される段階とを含んでなることを特徴とする。
ェル領域形成後、ゲート酸化膜を形成する前、インサイ
チュでボロンのドープされたエピタキシャル成長膜を選
択的に形成し、これを用いてチャネルしきい値電圧を調
節する。この方法は既存のイオン注入によって形成され
たしきい値電圧調節層より一層高くて均一な濃度で表面
にカウンタドープトボロン層が形成できるようにする。
これにより、チャネル領域におけるしきい値電圧プロフ
ァイルが一層シャープになり、結果的にチャネル及び接
合エンジニアリング(engineering)の組合せによって
素子の短チャネル特性が更に改善された素子を製作する
ことができる。
明する。
子の製造方法を説明するため順次に示した素子の断面図
であり、PMOS素子を形成する場合を例にとって説明
する。
2を形成し、PMOS素子を形成するためのn型ウェル
を形成した状態を示す。n型ウェル領域は燐(P)イオ
ンを800乃至1200KeVで1×1013乃至3×
1013ion/cm2でイオン注入した後、ファーネスを用
いて900乃至1000℃で25乃至35分間熱処理し
てドーパントを活性化させることにより形成される。
に成長された自然酸化膜を除去するための洗浄工程を行
ない、チャネルのしきい値電圧調節のためにボロンがド
ープされた選択的エピタキシャル成長膜23を形成した
後、ゲート酸化膜24を成長させる。洗浄工程はエクス
サイチュとインサイチュの連続工程で行なう。エクスサ
イチュで行なう場合にはRCA洗浄或いはUV-O3洗
浄と、HF浸漬(dipping)との混合工程を利用し、イン
サイチュで行なう場合には800乃至900℃の温度で
1乃至5分間水素ベークを行なう。その次に、全体構造
上にゲート電極25及びマスク酸化膜26を順次形成し
た後、選択された領域のマスク酸化膜26、ゲート電極
25及びゲート酸化膜24をパターニングしてゲート領
域を確保する。ボロンがドープされた選択的エピタキシ
ャル成長膜23は低圧化学気相成長法を用いてインサイ
チュで形成し、膜厚100乃至200Åとなるように
し、ボロンのドーピング濃度は3×1012乃至7×1
012ion/cm2とする。また、蒸着ガスとしてはジクロ
ロシランDCSと塩酸HClを使用するが、DCSの流
量は30乃至300sccmとし、HClの流量は30
乃至200sccmとし、ドーピングのためにジボラン
(diborane)B2H6を約100乃至300sccm程度
流してやる。この際、蒸着圧力は5乃至50Torrと
し、蒸着温度は750乃至950℃とする。
成する場合には、イオン注入によってしきい値電圧調節
層を形成した場合よりシャープなプロファイルを有する
しきい値電圧特性を得ることができる。
及び窒化膜を形成し、全面エッチング工程を行なって、
パターニングされた構造の側壁に酸化膜スペーサ27及
び窒化膜スペーサ28の二重スペーサを形成する。ここ
で、酸化膜は膜厚100乃至300Åに形成し、窒化膜
は膜厚200乃至500Åに形成する。その後、化学気
相成長法で露出されたシリコン基板21上に選択的にエ
ピタキシャル膜29を成長させる。この選択的エピタキ
シャル成長膜29はアンドープトシリコン膜であり、8
00乃至2000Åの厚さに形成する。選択的エピタキ
シャル成長膜29は化学気相成長法を用いてインサイチ
ュで形成し、蒸着ガスとしてはジクロロシランDCSと
塩酸HClを使用するが、DCSの流量は30乃至30
0sccmとし、HClの流量は30乃至200scc
mとする。更に、蒸着圧力は5乃至50Torrとし、
蒸着温度は750乃至950℃とする。
時、SESS(C)側へ自己整列的なシリコン成長がな
される。選択的エピタキシャル成長膜29を形成する
前、表面の自然酸化膜などを除去するための洗浄工程を
行なう。洗浄工程はエクスサイチュとインサイチュの連
続工程で行なう。エクスサイチュで行なう場合にはRC
A洗浄或いはUV-O3洗浄と、HF浸漬(dipping)との
混合工程を利用し、インサイチュで行なう場合には80
0乃至900℃の温度で1乃至5分間水素ベークを行な
う。
注入されたドーパントを活性化させるために熱処理する
ことにより、ドーパントがシリコン基板21内にやや拡
散してエレベイテッドソースS及びドレインD領域が形
成された状態を示す素子の断面図である。ソースS及び
ドレインD領域を形成するためのイオン注入時にはドー
パントをBF2として10乃至60KeVで1×101
5乃至5×1015ion/cm2程度の高濃度でドープす
る。
無によるボロンの集中度とボロンドーピングの深さとの
関係を示すグラフであり、図4はエピタキシャル成長チ
ャネル適用有無によるチャネル長さとしきい値電圧との
関係を示すグラフである。また、図5はエピタキシャル
成長チャネル適用有無によるチャネル長さと飽和電流密
度との関係を示すグラフであり、図6はエピタキシャル
成長チャネル適用有無によるチャネル長さとチャネルパ
ンチスルー電圧との関係を示すグラフである。
濃度を比較する場合、本発明のようにエピタキシャル成
長チャネル構造とエレベイテッドソース/ドレイン構造
を同時に適用(32)すると、既存のイオン注入によっ
てしきい値電圧層が形成されたもの(31)より一層シ
ャープで薄いチャネル層を形成することができる。図4
乃至図6においても同様に、エピタキシャル成長チャネ
ル構造とエレベイテッドソース/ドレイン構造を同時に
適用した場合(42、52、62)にはエレベイテッド
ソース/ドレイン構造のみを適用した場合(41、5
1、61)と比較してしきい値電圧のロールオフ(roll-
off)特性が多少向上し、且つほぼ同様の飽和電流密度下
でも0.2μm以下においてパンチスルー特性が著しく
改善されたことが分かる。
ングを同時に適用することにより、チャネル特性の向上
した埋込みチャネル(Buried ChannelMOS素子を形成
することができる。
を有する埋込みチャネルPMOSエレベイテッドソース
/ドレイン構造が接合エンジニアリング(engineering)
によって短チャネル特性を向上させることに対し、ゲー
ト酸化膜を形成する前にインサイチュでボロンがドープ
された選択的エピタキシャル層を成長させ、これを用い
てチャネルしきい値電圧を調節することにより、一層高
くて均一な濃度のカウンタドープトボロン層を作ること
ができる。これにより、チャネルにおけるしきい値電圧
プロファイルが更にシャープであって、チャネル及び接
合エンジニアリングの組合せによって一層向上した短チ
ャネル特性を有する素子を製造し得るという効果があ
る。
法を説明するため順次に示した素子の断面図である。
製造方法を説明するため順次に示した素子の断面図であ
る。
ロン集中度とボロンドーピング深さとの関係を示すグラ
フである。
ャネル長さとしきい値電圧との関係を示すグラフであ
る。
ャネル長さと飽和電流密度との関係を示すグラフであ
る。
ャネル長さとチャネルパンチスルー電圧との関係を示す
グラフである。
膜 24 ゲート酸化膜 25 ゲート電極 26 マスク酸化膜 27 酸化膜スペーサ 28 窒化膜スペーサ 29 選択的エピタキシャル成長膜 A,C SESS B ファシット S ソース D ドレイン
Claims (25)
- 【請求項1】 シリコン基板に素子分離膜を形成し、P
MOS素子を形成するためのn型ウェル領域を形成する
段階と、 前記シリコン基板上にボロンのドープされた選択的エピ
タキシャル成長膜を形成する段階と、 全体構造上にゲート酸化膜、ゲート電極及びマスク酸化
膜を順次形成した後、選択された領域のマスク酸化膜、
ゲート電極及びゲート酸化膜をパターニングしてゲート
領域を確保する段階と、 全体構造上に酸化膜及び窒化膜を形成し、全面エッチン
グ工程を行なって、パターニングされた構造の側壁に酸
化膜スペーサ及び窒化膜スペーサの二重スペーサを形成
する段階と、 前記露出したシリコン基板上に選択的エピタキシャル成
長膜を形成する段階と、 前記選択的エピタキシャル成長膜を介してイオン注入工
程を行ない、熱処理してドーパントが前記シリコン基板
内に拡散してエレベイテッドソース/ドレイン領域が形
成される段階とを含んでなることを特徴とする半導体素
子の製造方法。 - 【請求項2】 前記n型ウェル領域は800乃至120
0KeVで1×1013乃至3×1013ion/cm2によ
って燐イオン注入した後、ファーネスを用いて900乃
至1000℃で25乃至35分間熱処理して形成するこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項3】 前記ボロンがドープされた選択的エピタ
キシャル成長膜は低圧化学気相成長法を用いて形成する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体素子の製造方
法。 - 【請求項4】 前記ボロンがドープされた選択的エピタ
キシャル成長膜はインサイチュで形成することを特徴と
する請求項1記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項5】 前記ボロンがドープされた選択的エピタ
キシャル成長膜は膜厚100乃至200Åに形成するこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項6】 前記ボロンがドープされた選択的エピタ
キシャル成長膜はボロンのドーピング濃度を3×101
2乃至7×1012ion/cm2として形成することを特徴
とする請求項1記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項7】 前記ボロンがドープされたエピタキシャ
ル成長膜はジクロロシランと塩酸を蒸着ガスとして使用
することを特徴とする請求項1記載の半導体素子の製造
方法。 - 【請求項8】 前記ジクロロシランの流量は30乃至3
00sccmとし、前記塩酸の流量は30乃至200s
ccmとすることを特徴とする請求項7記載の半導体素
子の製造方法。 - 【請求項9】 前記ボロンがドープされた選択的エピタ
キシャル成長膜は膜厚100乃至300sccmのジボ
ランをドーピングガスとして使用することを特徴とする
請求項1記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項10】 前記ボロンがドープされた選択的エピ
タキシャル成長膜は5乃至50Torrの圧力条件及び
750乃至950℃の温度条件で形成することを特徴と
する請求項1記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項11】 前記酸化膜は膜厚100乃至300Å
に形成し、前記窒化膜は膜厚200乃至500Åに形成
することを特徴とする請求項1記載の半導体素子の製造
方法。 - 【請求項12】 前記二重スペーサの形成後、シリコン
基板に成長された選択的エピタキシャル成長膜はアンド
ープトシリコン膜であることを特徴とする請求項1記載
の半導体素子の製造方法。 - 【請求項13】 前記選択的エピタキシャル成長膜は膜
厚800乃至2000Åに形成することを特徴とする請
求項12記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項14】 前記選択的エピタキシャル成長膜は低
圧化学気相成長法を用いてインサイチュで形成すること
を特徴とする請求項12記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項15】 前記選択的エピタキシャル成長膜はジ
クロロシランと塩酸を蒸着ガスとして用いて形成するこ
とを特徴とする請求項12記載の半導体素子の製造方
法。 - 【請求項16】 前記ジクロロシランの流量は30乃至
300sccmとし、塩酸の流量は30乃至200sc
cmとすることを特徴とする請求項15記載の半導体素
子の製造方法。 - 【請求項17】 前記選択的エピタキシャル成長膜は5
乃至50Torrの圧力条件と750乃至950℃の温
度条件で形成することを特徴とする請求項12記載の半
導体素子の製造方法。 - 【請求項18】 前記ソース及びドレイン領域を形成す
るためのイオン注入時にはドーパントとしてBF2を用
いて10乃至60KeVで1×1015乃至5×101
5ion/cm2の濃度で注入することを特徴とする請求項1
記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項19】 前記n型ウェル領域形成後、前記シリ
コン基板上に成長された自然酸化膜を除去するための1
次洗浄工程を行ない、前記二重スペーサ形成の後、露出
した全面に対して2次洗浄工程を行なう段階をさらに含
むことを特徴とする請求項1記載の半導体素子の製造方
法。 - 【請求項20】 前記1次洗浄工程は、エクスサイチュ
或いはインサイチュで行なうことを特徴とする請求項1
9記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項21】 前記1次洗浄工程はRCA洗浄或いは
UV-O3洗浄と、HF浸漬との混合工程を用いてエク
スサイチュ方式で行なうことを特徴とする請求項19記
載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項22】 前記1次洗浄工程は800乃至900
℃の温度で1乃至5分間水素ベークを行なうインサイチ
ュ方式で行なうことを特徴とする請求項19記載の半導
体素子の製造方法。 - 【請求項23】 前記2次洗浄工程はエクスサイチュ或
いはインサイチュで行なうことを特徴とする請求項19
記載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項24】 前記2次洗浄工程はRCA洗浄或いは
UV-O3洗浄と、HF浸漬との混合工程を用いたエク
スサイチュ方式で行なうことを特徴とする請求項19記
載の半導体素子の製造方法。 - 【請求項25】 前記2次洗浄工程は800乃至900
℃の温度で1乃至5分間水素ベークを行なうインサイチ
ュ方式で行なうことを特徴とする請求項19記載の半導
体素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990025760A KR100301246B1 (ko) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 반도체 소자의 제조 방법 |
KR99-25760 | 1999-06-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001057428A true JP2001057428A (ja) | 2001-02-27 |
Family
ID=19597676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000194452A Pending JP2001057428A (ja) | 1999-06-30 | 2000-06-28 | 半導体素子の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6376318B1 (ja) |
JP (1) | JP2001057428A (ja) |
KR (1) | KR100301246B1 (ja) |
TW (1) | TW466598B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100781549B1 (ko) | 2006-11-03 | 2007-12-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법 및 그에 의해 제조된반도체 집적 회로 장치 |
JP2013247127A (ja) * | 2012-05-23 | 2013-12-09 | Renesas Electronics Corp | トランジスタ及びその製造方法 |
KR20160034156A (ko) * | 2014-09-19 | 2016-03-29 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 돌출 하부를 갖는 게이트 스페이서를 갖는 반도체 장치 구조물 및 그 형성 방법 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6703688B1 (en) * | 2001-03-02 | 2004-03-09 | Amberwave Systems Corporation | Relaxed silicon germanium platform for high speed CMOS electronics and high speed analog circuits |
US6830976B2 (en) | 2001-03-02 | 2004-12-14 | Amberwave Systems Corproation | Relaxed silicon germanium platform for high speed CMOS electronics and high speed analog circuits |
US6762469B2 (en) * | 2002-04-19 | 2004-07-13 | International Business Machines Corporation | High performance CMOS device structure with mid-gap metal gate |
WO2003105206A1 (en) * | 2002-06-10 | 2003-12-18 | Amberwave Systems Corporation | Growing source and drain elements by selecive epitaxy |
US6982474B2 (en) * | 2002-06-25 | 2006-01-03 | Amberwave Systems Corporation | Reacted conductive gate electrodes |
KR100534485B1 (ko) * | 2002-12-02 | 2005-12-26 | 주식회사 유니테스트 | 실란계 화합물을 이용한 표면 또는 몸체 미세가공 기술의점착 방지 방법 |
US6998305B2 (en) * | 2003-01-24 | 2006-02-14 | Asm America, Inc. | Enhanced selectivity for epitaxial deposition |
KR100499159B1 (ko) * | 2003-02-28 | 2005-07-01 | 삼성전자주식회사 | 리세스 채널을 갖는 반도체장치 및 그 제조방법 |
US6911367B2 (en) * | 2003-04-18 | 2005-06-28 | Micron Technology, Inc. | Methods of forming semiconductive materials having flattened surfaces; methods of forming isolation regions; and methods of forming elevated source/drain regions |
KR101025740B1 (ko) * | 2003-12-19 | 2011-04-04 | 주식회사 하이닉스반도체 | 증착 접합을 갖는 트랜지스터의 제조 방법 |
KR100670401B1 (ko) * | 2003-12-27 | 2007-01-16 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 소자의 게이트 산화막 형성 방법 |
US6881635B1 (en) * | 2004-03-23 | 2005-04-19 | International Business Machines Corporation | Strained silicon NMOS devices with embedded source/drain |
KR100882930B1 (ko) * | 2004-12-17 | 2009-02-10 | 삼성전자주식회사 | 소오스 및 드레인 영역들을 갖는 씨모스 반도체 소자들 및 그 제조방법들 |
US8278176B2 (en) | 2006-06-07 | 2012-10-02 | Asm America, Inc. | Selective epitaxial formation of semiconductor films |
JP4552926B2 (ja) * | 2006-11-20 | 2010-09-29 | エルピーダメモリ株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US7759199B2 (en) * | 2007-09-19 | 2010-07-20 | Asm America, Inc. | Stressor for engineered strain on channel |
US20100038715A1 (en) * | 2008-08-18 | 2010-02-18 | International Business Machines Corporation | Thin body silicon-on-insulator transistor with borderless self-aligned contacts |
US8367528B2 (en) * | 2009-11-17 | 2013-02-05 | Asm America, Inc. | Cyclical epitaxial deposition and etch |
CN102403335A (zh) * | 2010-09-07 | 2012-04-04 | 无锡华润上华半导体有限公司 | Mos器件及其制造方法 |
CN102479816B (zh) * | 2010-11-29 | 2014-04-09 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 金属氧化物半导体型场效应管及其制造方法 |
US8809170B2 (en) | 2011-05-19 | 2014-08-19 | Asm America Inc. | High throughput cyclical epitaxial deposition and etch process |
US10026843B2 (en) | 2015-11-30 | 2018-07-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Fin structure of semiconductor device, manufacturing method thereof, and manufacturing method of active region of semiconductor device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0684939A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-25 | Fujitsu Ltd | Mis電界効果半導体装置の製造方法 |
JPH08330582A (ja) * | 1995-06-02 | 1996-12-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | Mosfetおよびその製造方法 |
JPH0963964A (ja) * | 1995-08-23 | 1997-03-07 | Nec Corp | 選択シリコンエピタキシャル膜の成長方法 |
JPH09246534A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Oki Electric Ind Co Ltd | pMOSの製造方法、及びCMOSの製造方法 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54158880A (en) | 1978-06-06 | 1979-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Compound semiconductor device and its manufacture |
US5032538A (en) | 1979-08-10 | 1991-07-16 | Massachusetts Institute Of Technology | Semiconductor embedded layer technology utilizing selective epitaxial growth methods |
US4738937A (en) | 1985-10-22 | 1988-04-19 | Hughes Aircraft Company | Method of making ohmic contact structure |
US4728623A (en) | 1986-10-03 | 1988-03-01 | International Business Machines Corporation | Fabrication method for forming a self-aligned contact window and connection in an epitaxial layer and device structures employing the method |
KR880010481A (ko) | 1987-02-21 | 1988-10-10 | 강진구 | 액상 박막 결정 성장방법 및 장치 |
US5322814A (en) | 1987-08-05 | 1994-06-21 | Hughes Aircraft Company | Multiple-quantum-well semiconductor structures with selective electrical contacts and method of fabrication |
US5594280A (en) | 1987-10-08 | 1997-01-14 | Anelva Corporation | Method of forming a thin film and apparatus of forming a metal thin film utilizing temperature controlling means |
JPH01105529A (ja) | 1987-10-19 | 1989-04-24 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH0237745A (ja) | 1988-07-28 | 1990-02-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
US5030583A (en) | 1988-12-02 | 1991-07-09 | Advanced Technolgy Materials, Inc. | Method of making single crystal semiconductor substrate articles and semiconductor device |
JPH02260667A (ja) | 1989-03-31 | 1990-10-23 | Mitsubishi Electric Corp | シリコン基板上化合物半導体太陽電池およびその作製方法 |
US5378652A (en) | 1989-04-19 | 1995-01-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of making a through hole in multi-layer insulating films |
KR920008886B1 (ko) | 1989-05-10 | 1992-10-10 | 삼성전자 주식회사 | 디램셀 및 그 제조방법 |
JP2656397B2 (ja) | 1991-04-09 | 1997-09-24 | 三菱電機株式会社 | 可視光レーザダイオードの製造方法 |
JP3229012B2 (ja) | 1992-05-21 | 2001-11-12 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
US5633201A (en) | 1992-11-30 | 1997-05-27 | Hyundai Electronics Industries, Co., Ltd. | Method for forming tungsten plugs in contact holes of a semiconductor device |
US5322802A (en) | 1993-01-25 | 1994-06-21 | North Carolina State University At Raleigh | Method of fabricating silicon carbide field effect transistor |
EP0671770B1 (en) | 1993-02-09 | 2000-08-02 | GENERAL SEMICONDUCTOR, Inc. | Multilayer epitaxy for a silicon diode |
KR100320364B1 (ko) | 1993-03-23 | 2002-04-22 | 가와사키 마이크로 엘렉트로닉스 가부시키가이샤 | 금속배선및그의형성방법 |
JPH06296060A (ja) | 1993-04-08 | 1994-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体可視光レーザダイオードの製造方法 |
US5405795A (en) * | 1994-06-29 | 1995-04-11 | International Business Machines Corporation | Method of forming a SOI transistor having a self-aligned body contact |
US5494837A (en) | 1994-09-27 | 1996-02-27 | Purdue Research Foundation | Method of forming semiconductor-on-insulator electronic devices by growing monocrystalline semiconducting regions from trench sidewalls |
JP2586345B2 (ja) | 1994-10-14 | 1997-02-26 | 日本電気株式会社 | コバルトシリサイド膜より成る半導体装置及び該装置の製造方法 |
US5677219A (en) | 1994-12-29 | 1997-10-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Process for fabricating a DRAM trench capacitor |
JP2964960B2 (ja) | 1996-09-27 | 1999-10-18 | 日本電気株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US5804470A (en) | 1996-10-23 | 1998-09-08 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of making a selective epitaxial growth circuit load element |
US5773350A (en) | 1997-01-28 | 1998-06-30 | National Semiconductor Corporation | Method for forming a self-aligned bipolar junction transistor with silicide extrinsic base contacts and selective epitaxial grown intrinsic base |
US5843826A (en) * | 1997-06-03 | 1998-12-01 | United Microeletronics Corp. | Deep submicron MOSFET device |
JPH1197519A (ja) | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
US5902125A (en) * | 1997-12-29 | 1999-05-11 | Texas Instruments--Acer Incorporated | Method to form stacked-Si gate pMOSFETs with elevated and extended S/D junction |
KR100347544B1 (ko) * | 1999-02-13 | 2002-08-07 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 접합 제조 방법 |
KR100314276B1 (ko) * | 1999-04-12 | 2001-11-15 | 박종섭 | 반도체 소자의 제조방법 |
KR100332119B1 (ko) * | 1999-06-28 | 2002-04-10 | 박종섭 | 반도체 소자 제조 방법 |
-
1999
- 1999-06-30 KR KR1019990025760A patent/KR100301246B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-06-28 JP JP2000194452A patent/JP2001057428A/ja active Pending
- 2000-06-29 TW TW089112804A patent/TW466598B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-06-30 US US09/609,531 patent/US6376318B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0684939A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-25 | Fujitsu Ltd | Mis電界効果半導体装置の製造方法 |
JPH08330582A (ja) * | 1995-06-02 | 1996-12-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | Mosfetおよびその製造方法 |
JPH0963964A (ja) * | 1995-08-23 | 1997-03-07 | Nec Corp | 選択シリコンエピタキシャル膜の成長方法 |
JPH09246534A (ja) * | 1996-03-06 | 1997-09-19 | Oki Electric Ind Co Ltd | pMOSの製造方法、及びCMOSの製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100781549B1 (ko) | 2006-11-03 | 2007-12-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법 및 그에 의해 제조된반도체 집적 회로 장치 |
JP2013247127A (ja) * | 2012-05-23 | 2013-12-09 | Renesas Electronics Corp | トランジスタ及びその製造方法 |
KR20160034156A (ko) * | 2014-09-19 | 2016-03-29 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 돌출 하부를 갖는 게이트 스페이서를 갖는 반도체 장치 구조물 및 그 형성 방법 |
US9502412B2 (en) | 2014-09-19 | 2016-11-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Semiconductor device structure with gate spacer having protruding bottom portion and method for forming the same |
KR101693084B1 (ko) * | 2014-09-19 | 2017-01-04 | 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 | 돌출 하부를 갖는 게이트 스페이서를 갖는 반도체 장치 구조물 및 그 형성 방법 |
US9997417B2 (en) | 2014-09-19 | 2018-06-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device structure with gate spacer having protruding bottom portion and method for forming the same |
US10163730B2 (en) | 2014-09-19 | 2018-12-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device structure with gate spacer having protruding bottom portion and method for forming the same |
US10522422B2 (en) | 2014-09-19 | 2019-12-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device structure with gate spacer having protruding bottom portion and method for forming the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW466598B (en) | 2001-12-01 |
US6376318B1 (en) | 2002-04-23 |
KR20010004981A (ko) | 2001-01-15 |
KR100301246B1 (ko) | 2001-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001057428A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
US6707062B2 (en) | Transistor in a semiconductor device with an elevated channel and a source drain | |
KR100621546B1 (ko) | 엘리베이티드 소오스/드레인 구조의 모스트랜지스터 및 그제조방법 | |
US5766998A (en) | Method for fabricating narrow channel field effect transistors having titanium shallow junctions | |
KR100332106B1 (ko) | 반도체 소자의 트랜지스터 제조 방법 | |
US6902980B2 (en) | Method of fabricating a high performance MOSFET device featuring formation of an elevated source/drain region | |
JP4590151B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR100347544B1 (ko) | 반도체 소자의 접합 제조 방법 | |
KR20070029711A (ko) | 트랜지스터 형성 방법 | |
JP2004095639A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR100314276B1 (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
KR100332107B1 (ko) | 반도체 소자의 트랜지스터 제조 방법 | |
US6924182B1 (en) | Strained silicon MOSFET having reduced leakage and method of its formation | |
KR100280809B1 (ko) | 반도체 소자의 접합부 형성 방법 | |
KR100578218B1 (ko) | 엘리베이티드 소오스/드레인을 갖는 반도체소자 제조방법 | |
JP2733082B2 (ja) | Mos装置の製法 | |
KR100333727B1 (ko) | 엘리베이티드소오스/드레인구조의모스트랜지스터제조방법 | |
JP2000311861A (ja) | 半導体膜の選択成長方法および半導体装置の製造方法 | |
KR20000043199A (ko) | 반도체소자의 트랜지스터 형성방법 | |
JPH10321860A (ja) | Mosトランジスタ及びその製造方法 | |
JPH04346476A (ja) | Mos型fetの製造方法 | |
KR100318460B1 (ko) | 반도체소자제조방법 | |
KR100497221B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
KR100476666B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
KR100286903B1 (ko) | 모스 트랜지스터 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060421 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100304 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101102 |