JP2001038306A - ウエブの除塵方法及び装置 - Google Patents
ウエブの除塵方法及び装置Info
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Abstract
を与えたりすることなく、表面に付着した異物、ゴミ、
塵等を除去できるウエブの除塵方法及び装置を提供す
る。 【解決手段】周面が弾性体14で被覆された駆動ローラ
16の一部を洗浄液22に浸漬し、該駆動ローラ16を
回転させることにより弾性体14の表面を洗浄液22で
濡らし、この洗浄液22で濡れた弾性体14で走行する
フィルム10を連続的に擦る。次いで、弾性体14で擦
った面にリンスノズル18から洗浄液を噴射する。フィ
ルム10に付着した異物は弾性体14の剪断力で擦り落
とされ、弾性体14で擦り落とされなかった異物は、リ
ンスノズル18から噴射した洗浄液で洗い流される。
Description
及び装置に関し、特に熱可塑性支持体(単に「フィル
ム」と言うこともある。)の表面に付着した異物、ゴ
ミ、塵等を精密に除去するウエブの除塵方法及び装置に
関する。
して工業的な価値を発現させる製品には、写真感光材
料、磁気記録テープ、光学用途フィルムなどが挙げられ
る。これらの多くは、熱可塑性支持体の表面に感光性物
質、帯磁性物質、光変換物質等を塗布して製造される
が、近年、生産性を上げるために、これらの物質の塗布
速度は向上しており、支持体表面に異物、ゴミ、塵等が
付着していると、塗布欠陥がこれらの異物の大きさの数
百倍にも達することがしばしば生じる。このため、塗布
に先立って支持体表面に付着した塵埃等の異物を強制的
に除去する、いわゆる除塵処理が行われている。
膜する際、フィルムが固化するまでに表面に存在して埋
め込まれたもの、フィルムの製膜から機能性材料を塗布
するまでの間に分子間力等で付着したもの、フィルム表
面が帯電することで生じた静電力により付着したもの、
固形物を含む液体が付着して、後に乾燥して固化したも
の、などさまざまな原因で付着する。そして、これらの
異物の組成やフィルムに対する付着力は様々であり、ま
た大きさもサブミクロンから数ミリ大までが欠陥原因の
対象となる。
9−150571号公報に開示されているように、フィ
ルム表面に不織布やブレード等を押し付ける方法や、特
開平10−309553号公報に開示されているよう
に、清浄度の高い空気を高速で吹き付けて付着物をフィ
ルム表面から剥離させるとともに、近接した吸い込み口
に導入して除去する方法などが知られている。特に、超
音波振動する圧縮空気を吹き付けて付着物を剥離させ、
吸引するものには、ニューウルトラクリーナーの商品名
で伸興社から市販されている。この装置の特徴は、空気
流による剪断力と超音波による振動作用とを組み合わせ
ることにより、高い除塵作用を得ようとするものであ
る。
力を利用したものがあり、特開平10−290964号
公報に開示されているように、正、負の空気イオンを注
入しながら電荷を中和させ、剥離した異物を別の空気流
によって除去する方法が知られている。
の除塵方法もあり、洗浄槽内にフィルムを導入し、超音
波振動子により付着物を剥離させる方法や、特公昭49
−13020号公報に開示されているように、フィルム
に洗浄液を供給した後、高速空気の吹き付け、吸い込み
を行う方法などが知られている。
μm以上の比較的大きな付着物、あるいは付着力の弱い
付着物には有効であるが、数μm以下の小さな付着物、
あるいは付着力の強い付着物については、ほとんど効果
が認められなかった。
19号公報では、溶剤を塗着した後、溶剤が残存してい
る間にフィルムの搬送方向と逆に回転するロッド部材を
フィルムの表面に押し付け、付着物を掻き落とす方法が
提案された。この方法によれば、フィルムとロッド部材
との間に小さな間隙を形成し、この隙間より大きな付着
物の通過を阻止するとともに、溶剤液体を介して剪断力
を伝搬して付着物を剥離させることにより、より小さな
付着物、あるいは付着力の強い付着物についても効果が
あることが認められた。
65872号公報では、フィルムの走行方向と反対方向
に回転するロッド部材の代わりに、シャープエッジを有
するブレードを配置することにより、洗浄効果を高める
方法が提案されている。
5−50419号公報や特開昭62−65872号公報
に開示されている方法は、ロッド部材等を直接熱可塑性
支持体表面に接触させているため、ロッド部材等には平
滑かつ耐摩耗性に優れた超硬合金などが用いられている
が、フィルムとロッド部材等との間に固い異物が進入す
るとフィルムに傷が発生するという欠点がある。また、
フィルム表面とロッド部材等との間の液膜が途切れる
と、フィルム表面を損傷するばかりか、これによって異
物を発生させてしまうという欠点もある。
たもので、ウエブ状巻物表面にキズを付けたり、ダメー
ジを与えたりすることなく、表面に付着した異物、ゴ
ミ、塵等を除去できるウエブの除塵方法及び装置を提供
することを目的とする。
成するために、走行するウエブを液体で濡らした弾性体
で連続的に擦った後、該弾性体で擦った面に液体を噴射
することを特徴とする。
ルム表面を擦る方法は、同じ剪断速度を形成した場合、
気体を用いた乾式の除塵方法に比べて千倍以上の剪断応
力が与えられるため、より小さく強固に付着した異物に
対しても除去効果が得られる。また、金属ロッドやブレ
ードに比べて弾性体の硬度が小さいため、フィルムに押
し当てた場合に表面にキズやダメージを与える可能性は
極めて小さくなる。
かった異物や液体に同伴されて再付着した異物は、弾性
体の下流で液体を噴射して洗い流すことで解決される。
異物の一部は弾性体表面に残存し、時間が経過するとと
もに蓄積してフィルム表面に再付着するため、異物の除
去率が小さくなるばかりか、残存した異物の硬度がフィ
ルムのそれを上回る場合にはフィルムの損傷の原因とな
る。本発明では、フィルムを擦った後に弾性体表面に超
音波を放射し、転写した異物を脱落させることで、これ
を防止できる。
るウエブの除塵方法及び装置の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。
一実施形態を示す模式図である。同図に示すように、本
実施の形態の除塵装置は、主としてウエブ状のフィルム
10の走行をガイドするガイドローラ12A〜12D、
そのガイドローラ12A〜12Dにガイドされて走行す
るフィルム10を表面に被覆された弾性体14で連続的
に擦る駆動ローラ16、駆動ローラ16に擦られた面を
すすぎ洗浄するリンスノズル18から構成されている。
しない送り出し装置から供給されて除塵装置に導かれ
る。そして、除塵装置内を図1において左側から右側へ
と搬送され、最終的に巻き取り装置へと導かれて再びロ
ール状に巻き取られる。
ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチ
レンナフタレート、硝酸セルロース、セルロースエステ
ル、ポリビニルアセタール、ポリカーボネート、ポリ塩
化ビニル、ポリ塩化ビニデリン、ポリイミド、ポリアミ
ド、及び関連する又は樹脂状の材料、並びに紙、金属な
どを含む。可撓性基材、特に部分的にアセチル化され
た、若しくはバライタ及び/又はα−オレフィンポリ
マ、特にポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−ブ
テンコポリマなどの炭素数2〜10であるα−オレフィ
ンのポリマによりコートされた紙支持体が、典型的に用
いられる。さらに、これら熱可塑性支持体にそれぞれの
機能を付加して工業的な価値を発現させる。その代表的
な例としては写真感光材料、磁気記録テープ、光学用途
フィルムなどが挙げられ、これらの多くは、熱可塑性支
持体の表面に感光性物質、帯磁性物質、光変換物質等を
塗布して製造される。
内におけるフィルム10の走行をガイドする。ここで、
各ガイドローラ12A〜12Dは、それぞれ所定の位置
に配置されるが、この際重要なのが、フィルム10が駆
動ローラ16に対して正のラップ角をもってその表面に
被覆された弾性体14と接触すること、及び、その同じ
面を後続のリンスノズル18に近接するようガイドする
ことである。
ガイドローラ12Cとの間に配設されており、図示しな
いモータに駆動されて回転する。この駆動ローラ16
は、ローラの外周面に弾性体14を被覆して形成したも
のであり、下半分が洗浄液槽20内に配置された洗浄液
22に浸漬されている。フィルム10は、この回転する
駆動ローラ16の表面に被覆された弾性体14に連続的
に擦られて、表面に付着した異物が除去される。
2に浸漬されているため、回転することにより、表面に
被覆された弾性体14は、その表面が常に洗浄液22で
濡れた状態となる。これにより、気体を用いた乾式の除
塵方法に比べて千倍以上の剪断応力が与えられるように
なり、より小さく強固に付着した異物に対しても除去効
果が得られる。
搬送方向に対して順転しても逆転してもよいが、フィル
ム10と駆動ローラ16との線速度の差の絶対値が5m
/分以上に保たれるように直径と回転速度を設定するこ
とが好ましい。
面上に0.5mm以上、好ましくは0.5〜100m
m、特に好ましくは1.0〜50mmの厚みで被覆す
る。また、被覆材料は、公知の各種素材から選定するこ
とができる。例えば、6−ナイロン、66−ナイロン、
共重合体ナイロン等のポリアミドや、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリブチレンテレフタレート、共重合ポリ
エステル等のポリエステルや、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン等のポリオレフィンや、ポリ塩化ビニル、ポリフ
ッ化ビニデリン、テフロン等のポリハロゲン化ビニル
や、天然ゴム、ネオプレンゴム、ニトリルゴム、ノーデ
ル、バイトンゴム、ハイパロン、ポリウレタン、レイヨ
ン、セルロース類等を挙げることができる。これらの弾
性体は、単体で使用しても混合物や積層構造、繊維を織
込んだり不織布として使用してもいい。材質を選定する
観点は、使用する洗浄液によって軟化したり溶出したり
しないことの他に擦るフィルムを傷つけないよう、フィ
ルム表面の硬度よりも高くないことが指定される。
0のラップ角は、駆動ローラ16の前後に配置されたガ
イドローラ12B、12Cの配置で決定される。ラップ
角を大きくとることは、駆動ローラ16上のフィルム1
0の通過の滞留時間を延長できるため、より高い洗浄効
果が得られるが、シワ、擦りキズ、蛇行を起こさず安定
に搬送するためには180度未満、好ましくは1度以上
135度未満、さらに好ましくは5度以上90度未満に
設定する。また、駆動ローラ16の直径を大きくするこ
とでも同様に滞留時間を延長できるが、占有空間や価格
の問題より直径200cm未満、好ましくは5cm以上
100cm未満、さらに好ましくは10cm以上50c
m未満を用いる。
に掛かる面圧は、フィルム搬送系のテンションとロール
径で決まるが、ロール径は上記滞留時間とも関わるの
で、搬送系のテンションを制御することが好ましい。異
物を除去するためには面圧を高く保つことが好ましい
が、あまり高く設定すると洗浄液の液膜が破断し弾性体
14とフィルム10とが直接接触することで擦りキズが
発生しやすくなる。通常は100Kgf/m幅以下が好
ましく、さらに好ましくは5Kgf/m幅以上100K
gf/m幅、さらに好ましくは5Kgf/m幅以上50
Kgf/m幅に設定する。
とガイドローラ12Dとの間に配設されており、フィル
ム10の駆動ローラ16に擦られた面に洗浄液を噴射す
る。ここで、このリンスノズル18から噴射する洗浄液
は、洗浄液槽20内に貯留された洗浄液22を浄化した
ものが用いられる。すなわち、洗浄液槽20とリンスノ
ズル18とは配管24を介して連結されており、洗浄液
槽20に貯留された洗浄液22は、配管24の途中に設
けられた圧送ポンプ26により引き抜かれ、濾過フィル
タ28で浄化されたのち、リンスノズル18へと供給さ
れて噴射される。フィルム10は、このリンスノズル1
8から噴射された洗浄液によって駆動ローラ16の弾性
体14に擦られた面をすすぎ洗浄され、これにより、弾
性体14による剪断力で擦り落とせなかった異物や液体
に同伴されて再付着した異物が洗い流される。なお、リ
ンスノズル18から噴射された洗浄液は、前記駆動ロー
ラ16の弾性体14で擦られた面に当たり、自重で落下
して洗浄液槽20に回収される。すなわち、洗浄液は循
環供給される。
て汚染された洗浄液の浄化方法は、駆動ローラ16の下
流にあるリンスノズル18に供給する送液系と兼用して
もよいし、また、別の循環送液系を組んで濾過してもよ
い。ここで使用される濾過フィルタは除去すべき異物の
大きさによって異なるが、フィルタの公称分画サイズ
は、分離したい異物の大きさの2分の1、より好ましく
は2分の1から10分の1を選定する。また、濾過寿命
や取り扱いの簡便性より、プリーツ折り込み型のカート
リッジフィルタが有利に選定できる。
持ち込まれる異物により洗浄液槽内の異物数が経時と共
に増加しないように設定する必要がある。洗浄液中に浮
遊する異物数の定量化には、野崎産業社製HIAC/R
OYCO液体微粒子カウンターモデル4100が簡便に
利用され、除去すべきサイズの粒子が運転時間とともに
増加しないよう、フィルタの分画サイズや循環流量を調
節することができる。
に含まれる成分、あるいはベース表面に塗工その他の方
法で組み込まれた下引き層などを溶解/抽出、又は洗浄
液がそれらに浸透しないものを選択することが好まし
い。たとえば、ゼラチンなどの水溶性物質を下引き層と
して設けた場合は、非水系溶剤で、かつ極性の低いもの
を選定する。本発明に用いられる溶剤の例としては、新
版溶剤ポケットブック(オーム社、1994年刊)など
に挙げられるが、本発明はこれに限定されるものではな
い。また、本発明で使用する溶剤の沸点としては、速乾
性の観点より30℃以上80℃以下のものが好ましく、
また、流体のハンドリングしやすさより使用温度におい
て粘度は50mPa・s以下が好ましい。洗浄液は、単
独で使っても、複数組み合わせてもよい。
動子である。この超音波振動子30は、駆動ローラ16
の表面に被覆された弾性体14の表面に超音波を放射
し、転写した異物を脱落させる。なお、超音波振動子3
0は、放射した超音波を弾性体14の表面へと効率よく
伝搬するために、弾性体14との間に洗浄液22が保持
されるよう配置する。
超音波が放射される面において、駆動ローラ16の幅以
上であり、フィルムの搬送方向にはローラの直径の少な
くとも50%以上を投影することが好ましい。もし、振
動子1個の大きさがこれより小さい場合には、複数の振
動子を並べて同様の投影面積をカバーすることができ
る。この場合、隣接する振動子からの超音波の重なりが
一様になるよう、超音波振動子間の間隔を決定する必要
がある。
常の20KHzからメガヘルツと呼ばれる1000KH
z以上までを使用することができる。駆動ローラ16の
材質がキャビテーションやエロージョンに対して脆弱な
ものである場合、500KHz未満の周波数では弾性体
表面の損傷を起こすことがあるため、高価ではあるが、
メガヘルツの振動子を用いることが好ましい。また、周
波数によって作用する異物の大きさが異なるため(高周
波ほど小さい異物に作用)、異なる周波数を発振する複
数の振動子を組み合わせたり、周波数変調が可能な振動
子を使用することができる。
1W/cm2 〜2W/cm2 を使用することができる。
振動子30から駆動ローラ16までの距離には定在波の
存在から最適点が有り、以下の式の整数倍の距離にする
ことが望ましい。
波数である。
エブの除塵装置の作用は次のとおりである。
ガイドローラ12A〜12Dにガイドされて走行し、そ
の走行過程で回転する駆動ローラ16の弾性体14によ
って、その表面が連続的に擦られる。これにより、フィ
ルム10は、その表面に付着した異物が除去される。
転することにより、常に表面が洗浄液22で濡れた状態
にあり、このため、気体を用いた乾式の除塵方法の場合
に比べて千倍以上の剪断応力が与えられるようになる。
この結果、より小さく強固に付着した異物に対しても容
易に剥離除去することができる。また、金属ロッドやブ
レードに比べて弾性体の硬度が小さいため、フィルム1
0に押し当てた場合に表面にキズやダメージを与える可
能性は極めて小さくなる。
は、回転して洗浄液中を通過する際に、その表面に超音
波振動子30から超音波が放射される。これにより、フ
ィルム10の表面から擦り落とされた異物が弾性体14
の表面に付着した場合であっても、洗浄液中を通過する
際に超音波振動の作用で除去することができる。したが
って、弾性体14は常に清浄な状態でフィルム10を擦
ることができ、残存した異物等によりフィルム10をキ
ズ付けたり、ダメージを与えたりすることもない。
の後、下流部においてリンスノズル18から洗浄液が噴
射され、これにより、弾性体14による剪断力で擦り落
とせなかった異物や洗浄液に同伴されて再付着した異物
が洗い流される。
浄液には、洗浄液槽20に貯留された洗浄液22が使用
されるが、濾過フィルタ28で浄化するようにしている
ため、フィルム10から除去された異物が再付着するこ
ともない。
置によれば、フィルム10にキズを付けたり、ダメージ
を与えたりすることなく、表面に付着した異物、ゴミ、
塵等を除去できる。
を1本のみ設置しているが、これに限定されるものでは
ない。フィルム10の汚染度が高いような場合には、複
数設置することができる。この場合、駆動ローラ1基に
対してリンスノズル1基の組み合わせで増やすこともで
きるし、駆動ローラ16を複数基直列に配列した下流に
リンスノズルを設置する方法も採れる。
は、超音波振動子30や圧送ポンプ26の発熱等による
温度上昇を吸収するためにジャケット構造を設けて熱媒
を循環したり、また液中に沈めた熱交換器に熱媒を循環
したりして洗浄液22の温度を一定に保つことができ
る。
8から噴射する洗浄液は、洗浄液槽20に貯留された洗
浄液22を浄化して循環供給するようにしているが、別
途設置した洗浄液槽から供給するようにしてもよい。
するが、本発明が適用される形態はこれに限定されるべ
きものではない。 実施例1[従来技術] 図2に示す搬送機において、送り出し装置1より厚み1
00μm、幅100cmのポリエチレンテレフタレート
フィルムを毎分50mの速度で送り出し、塗布ヘッド2
において平均粒子径10μmのラテックスを含む塗布液
を塗布し、第1乾燥ゾーン3において蒸発させ異物付着
量がコントロールされたフィルムを作成した。
す。
ックスを含んでいる。この塗布液を25cc/m2 の量
フィルム上に塗布し、乾燥後のフィルム表面を顕微鏡で
観察すると、約300ヶ/m2 の密度で均一にラテック
ス粒子が固着していた。
く、図2の湿式除塵ゾーン4に導き除塵処理を行った。
ここでは、特公平5−50419号に示されるようにフ
ァウンテンコータでメタノールを20cc/m2 塗布し
た直後にフィルムの幅方向に1.1m、直径10mmの
回転するワイヤーバーを押し付けて除塵操作を行った。
また、湿式除塵ゾーン4は、ゾーンの前後でテンション
分離されており、12Kgf/m幅であった。
となく、図2の第2乾燥ゾーン5で溶剤を乾燥させ、巻
き取り装置6にて巻き取った。除塵効果を評価するサン
プルは、第2乾燥ゾーン5と巻き取り装置6の間で搬送
方向に1m採取し、50倍の実体顕微鏡を用いて残存す
るラテックス粒子を数えた。この時、フィルム表面に損
傷が認められる場合は、その程度を記録した。評価ラン
クを以下に示す。
処理した後の2回行い、経時安定性を確認した。
れ10rpmと50rpmの速度でワイヤーバーをフィ
ルムの搬送方向と逆に回転させて擦った結果を示す。ラ
テックスの個数は、除塵処理前の300ヶ/mから約1
0分の1に減少しているが、50m処理後に比べて30
00m処理後には若干異物個数が増えていること、並び
にフィルム表面にはキズが発生していることが認められ
た。 実施例2[従来技術] 実施例1と同じようにラテックス粒子を付着させて湿式
除塵を行った。ただし、図2の湿式除塵ゾーン4ではフ
ァウンテンコータでメタノールを20cc/m 2 塗布し
た直後に、回転するワイヤーバーではなく、フィルムの
幅方向に1.1m、先端厚みが0. 5mmのSUS30
4製ブレードコーター用ブレードを取り付けて除塵操作
を行った。
が、水準A、Bよりも残留ラテックスの数は多く、また
フィルム表面のキズは無数に発生していた。 実施例3[比較技術] 実施例1と同じようにラテックス粒子を付着させて湿式
除塵を行った。ただし、図2の湿式除塵ゾーン4には図
1に示す様なフィルムの幅方向に1.1m、ロール径2
0cmのアルミ製ローラの表面に、厚み10mmのバイ
トンゴムを被覆したローラを設置した。さらに、フィル
ムのラップ角が50度になるよう前後ローラを調整し、
バイトンゴム被覆ローラ下部をメタノールに10cm浸
けて搬送方向と逆に回転させた。
果を示す。水準A〜Cの従来技術に比べて50m処理後
の異物個数は減少しており、駆動ローラの除塵作用が高
いことが示された。一方、3000m処理後では異物数
が倍に増えており、長時間適性はないと言える。300
0m除塵操作を行った後のバイトンゴムの表面を観察し
たところ、ラテックス粒子が付着して白っぽくなってい
た。 実施例4[本発明] 実施例3と同じように駆動ローラを用いた湿式除塵を行
った。ただし、図2の湿式除塵ゾーン4には図1に示す
様なバイトンゴム被覆アルミ製ローラの他に、メタノー
ルを循環濾過し、リンスノズルに供給する送液装置と超
音波振動子を設置した。
0cm、先端の開口が1mmのクリアランスのものを用
い、送液流量は30L/分、フィルタは公称分画サイズ
0.2μmの富士写真フイルム社製アストロポアフィル
タを使用した。
別仕様機種をフィルムの幅方向に2台ならべてバイトン
ゴム被覆ローラの幅全体に放射できるようにした。この
振動子1台の大きさはフィルムの幅方向に50cm、搬
送方向に30cmであり、100KHzの超音波を10
00Wのパワーで出力する。
す。水準Fと水準Gとは、比較技術DとEに対してフィ
ルタで浄化したメタノールをリンスノズルで噴射する本
発明の基本形態を試験した例であるが、50m処理後の
残留異物数はさらに減少しており、また3000m処理
した後も異物数の増加はほとんど認められず、本発明の
優れた除塵効果が示された。
超音波振動子を作動させた。残留異物個数はさらに減少
し、ほぼゼロに近づいた。
合わせて100rpmとした。この時の走行フィルムと
の線速度の差は19m/分であり、異物個数が減ってい
ることから掻き取り作用は十分発現していると言える。
の比較技術で発生していたフィルム表面のキズも皆無と
なった。これらの実施形態においても本発明の優れた除
塵効果が証明された。
で浸した弾性体で連続的に擦った後、清浄な同一液体を
前記ウエブの同じ面に供給してすすぎ操作を行うことに
より、ウエブ状巻物表面にキズを付けたりダメージを与
えたりすることなく、ウエブに付着した異物、ゴミ、塵
等を従来達しえなかった精密度と安定性をもって除去す
ることができる。
示す模式図
送機の模式図
ン、4…湿式除塵ゾーン、5…第2乾燥ゾーン、6…巻
き取り装置、10…フィルム(熱可塑性支持体)、12
A〜12D…ガイドローラ、14…弾性体、16…駆動
ローラ、18…リンスノズル、20…洗浄液槽、22…
洗浄液、24…配管、26…圧送ポンプ、28…濾過フ
ィルタ、30…超音波振動子
Claims (6)
- 【請求項1】 走行するウエブを液体で濡らした弾性体
で連続的に擦った後、該弾性体で擦った面に液体を噴射
することを特徴とするウエブの除塵方法。 - 【請求項2】 前記ウエブを擦った弾性体に超音波を放
射して、該弾性体から異物を除去することを特徴とする
請求項1記載のウエブの除塵方法。 - 【請求項3】 走行するウエブに液体で濡らした弾性体
を擦り付ける弾性体擦付手段と、 前記弾性体擦付手段の下流部に設置され、前記ウエブの
前記弾性体に擦られた面に液体を噴射する液体噴射手段
と、からなることを特徴とするウエブの除塵装置。 - 【請求項4】 前記弾性体擦付け手段は、 前記ウエブに当接し、周面に弾性体が被覆されたローラ
と、 前記ローラを回転させる回転駆動手段と、 前記液体が貯留され、前記ローラの一部が浸漬される液
槽と、からなることを特徴とする請求項3記載のウエブ
の除塵装置。 - 【請求項5】 液体噴射手段は、 前記ウエブに液体を噴射するノズルと、 前記液槽に貯留された液体を前記ノズルに供給するポン
プと、 前記ノズルに供給される液体を浄化する濾過フィルタ
と、からなることを特徴とする請求項4記載のウエブの
除塵装置。 - 【請求項6】 前記弾性体に超音波を放射して、該弾性
体から異物を除去する超音波振動子を備えたことを特徴
とする請求項3、4又は5記載のウエブの除塵装置。
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