JP2000352716A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 基板上に、トランジスタと、反射電極と、当該反射電極間に形成された遮光膜と、前記反射電極に凹凸部を付与するための導電膜と、当該導電膜と前記反射電極との間に設けられた層間絶縁膜を有する液晶パネル基板において、
   前記導電膜は、
   不規則な凹部が形成された領域と、
   前記反射電極の端部から前記凹部が形成された領域の端部までの間に前記凹部が形成されない領域と、を有することを特徴とする液晶パネル用基板。
2. 前記遮光膜は、前記基板に垂直な方向から見て前記反射電極の間隙を遮光するとともに、前記導電膜と同一膜から形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル用基板。
3. 前記反射電極の端部から前記凹部が形成された領域の端部までの距離が３μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル用基板。
4. 前記導電膜と前記基板との間には、層間絶縁膜を介して他の導電膜が更に積層されており、該他の導電膜の存在及び不存在により該他の導電膜の上方に位置する前記導電膜に段差が生じていることを特徴とする請求項２に記載の液晶パネル用基板。
5. 前記基板は、半導体基板からなることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の液晶パネル用基板。
6. 前記基板は、単結晶シリコンで形成されていることを特徴とする請求項５に記載の液晶パネル用基板。
7. 前記基板は、透明基板からなることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の液晶パネル用基板。
8. 前記基板は、ガラスで形成されていることを特徴とする請求項７に記載の液晶パネル用基板。
9. 前記層間絶縁膜には、ＳＯＧ（Silicon On Glass）膜が含まれていることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の液晶パネル用基板。
10. 前記ＳＯＧ膜は、エッチバックされることを特徴とする請求項９に記載の液晶パネル用基板。
11. 請求項１から１０のいずれか一項に記載の液晶パネル用基板と透明な対向基板との間に液晶が挟持されてなることを特徴とする液晶パネル。
12. 請求項１１に記載の液晶パネルを具備することを特徴とする電子機器。