JP2000343016A - 複数の媒体用ノズルによって複数の媒体を射出する装置 - Google Patents
複数の媒体用ノズルによって複数の媒体を射出する装置Info
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- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
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- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Threshing Machine Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】複数の媒体を時間的な順番に複数のノズルから
射出することができ、滴下の問題を解決し、更に、出来
る限り少ない機械的又は技術的コストを必然的に伴う装
置を提供する。 【解決手段】各々の媒体用ノズルが夫々の媒体用アーム
（１０，２０，３０）にある、複数の媒体用ノズルから
２つ又はそれより多い媒体を射出する装置であって、媒
体用アーム用の各懸架装置を具備し、複数の媒体用ノズ
ルが互いに別々に同一の軸線（Ｚ）を中心として回動運
動を実行することができる装置（１）。
射出することができ、滴下の問題を解決し、更に、出来
る限り少ない機械的又は技術的コストを必然的に伴う装
置を提供する。 【解決手段】各々の媒体用ノズルが夫々の媒体用アーム
（１０，２０，３０）にある、複数の媒体用ノズルから
２つ又はそれより多い媒体を射出する装置であって、媒
体用アーム用の各懸架装置を具備し、複数の媒体用ノズ
ルが互いに別々に同一の軸線（Ｚ）を中心として回動運
動を実行することができる装置（１）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の媒体用ノズ
ルで複数の媒体を射出する装置に関する。
ルで複数の媒体を射出する装置に関する。
【０００２】このタイプの媒体用ノズルは、例えば、半
導体ウェハ（例えば、シリコンウェハ）のようなディス
ク状の物品の処理の際に、用いられている。また、、こ
れらの媒体用ノズルは、フラットスクリーン（フラット
・パネル・ディスプレイ）の製造中に、これらの処理の
際に、用いられ得る。この場合、これらの媒体用ノズル
は、特別に形成されたノズルであってもよく、あるい
は、単に、ダクトの、開いた注ぎ口であってもよい。
導体ウェハ（例えば、シリコンウェハ）のようなディス
ク状の物品の処理の際に、用いられている。また、、こ
れらの媒体用ノズルは、フラットスクリーン（フラット
・パネル・ディスプレイ）の製造中に、これらの処理の
際に、用いられ得る。この場合、これらの媒体用ノズル
は、特別に形成されたノズルであってもよく、あるい
は、単に、ダクトの、開いた注ぎ口であってもよい。
【０００３】媒体用アームとは、曲がっていても、真っ
直ぐであることもある実質的に剛性のアームであっても
よい。媒体用ノズルに通じるダクトは、媒体用アームの
外側で案内されるか、あるいは、媒体用アームが例えば
パイプであるときは、媒体用アームの内側で案内される
ことができる。
直ぐであることもある実質的に剛性のアームであっても
よい。媒体用ノズルに通じるダクトは、媒体用アームの
外側で案内されるか、あるいは、媒体用アームが例えば
パイプであるときは、媒体用アームの内側で案内される
ことができる。
【０００４】複数の媒体用ノズルを通って射出される媒
体は、液体、例えば、合成樹脂溶液（例えばフォトレジ
スト）、洗浄剤、腐蝕剤又は溶剤、しかし又ガス、例え
ば空気又は純窒素であってもよい。このような媒体は、
半導体ウェハの処理のために用いられる。処理は、例え
ば、被覆、腐蝕及び／又は洗浄であり得る。ガスの使用
の場合には、これは乾燥のためである。アルコール（例
えばイソプレパノール）の蒸気は、ガスと混ぜ合わされ
ることができる。
体は、液体、例えば、合成樹脂溶液（例えばフォトレジ
スト）、洗浄剤、腐蝕剤又は溶剤、しかし又ガス、例え
ば空気又は純窒素であってもよい。このような媒体は、
半導体ウェハの処理のために用いられる。処理は、例え
ば、被覆、腐蝕及び／又は洗浄であり得る。ガスの使用
の場合には、これは乾燥のためである。アルコール（例
えばイソプレパノール）の蒸気は、ガスと混ぜ合わされ
ることができる。
【０００５】回動とは、複数の媒体用アームが回転軸
（回動軸）に対し或る角度で取着されているときの回転
運動と理解されたい。単数の媒体用アームの端部に取着
された単数の媒体用ノズルは、かくて、円軌道を描く。
このノズルの動きは静止位置と作動位置との間でなされ
る。あるいは、ノズルは、スイッチの入れられた状態
（媒体が流れる）で、２つの反転位置の間で往復動され
る。
（回動軸）に対し或る角度で取着されているときの回転
運動と理解されたい。単数の媒体用アームの端部に取着
された単数の媒体用ノズルは、かくて、円軌道を描く。
このノズルの動きは静止位置と作動位置との間でなされ
る。あるいは、ノズルは、スイッチの入れられた状態
（媒体が流れる）で、２つの反転位置の間で往復動され
る。
【０００６】更に、本発明は、少なくとも２つの媒体に
よって１つのディスク状の物品を処理し、ディスク状の
物品を保持する支持体を具備し、このような装置が用い
られるユニットに関する。２つの媒体は代わる代わる塗
布される。第１の媒体は洗浄液であり、第２の媒体は乾
燥ガスであることができる。
よって１つのディスク状の物品を処理し、ディスク状の
物品を保持する支持体を具備し、このような装置が用い
られるユニットに関する。２つの媒体は代わる代わる塗
布される。第１の媒体は洗浄液であり、第２の媒体は乾
燥ガスであることができる。
【０００７】
【従来の技術】US 5,089,305は、２つ又はそれより多い
媒体を特に回転形の半導体ウェハに塗布することができ
るこのような複数の装置の種々のタイプを記載してい
る。
媒体を特に回転形の半導体ウェハに塗布することができ
るこのような複数の装置の種々のタイプを記載してい
る。
【０００８】US 5,089,305に記載の１つのユニットに
は、２つのノズルを有する１つの媒体用アームはリニア
モータによって動かされる。このユニットの欠点は、１
つの媒体が塗布され、塗布の間に、他の媒体のノズルか
ら滴が漏れるとき、この滴が不都合にも半導体ウェハの
表面を濡らすことである。このことは、最悪の場合に、
ウェハの破壊、又はウェハの上にある構造体の破壊に繋
がることがある。
は、２つのノズルを有する１つの媒体用アームはリニア
モータによって動かされる。このユニットの欠点は、１
つの媒体が塗布され、塗布の間に、他の媒体のノズルか
ら滴が漏れるとき、この滴が不都合にも半導体ウェハの
表面を濡らすことである。このことは、最悪の場合に、
ウェハの破壊、又はウェハの上にある構造体の破壊に繋
がることがある。
【０００９】US 5,089,305に記載の他のユニットでは、
この問題は、複数の媒体用ノズルが別々の媒体用アーム
に取着されていることによって、解決される。複数の媒
体用アームは静止位置から作動位置へ回動される。この
ユニットの欠点は、各媒体用アームのために、スペース
及び特別な駆動機構を用いる必要があるときことであ
る。
この問題は、複数の媒体用ノズルが別々の媒体用アーム
に取着されていることによって、解決される。複数の媒
体用アームは静止位置から作動位置へ回動される。この
ユニットの欠点は、各媒体用アームのために、スペース
及び特別な駆動機構を用いる必要があるときことであ
る。
【００１０】US 5,089,305の第３のユニットは、種々の
媒体用アームを静止位置（準備位置）から取り出すこと
ができ、これらの媒体用ノズルを互いに別々に作動位置
にもたらすことができる唯一の媒体用アームを規定して
いる。媒体用アームは２つのリニアモータによって動か
されるか、あるいは、関節腕として作られていることが
できる。
媒体用アームを静止位置（準備位置）から取り出すこと
ができ、これらの媒体用ノズルを互いに別々に作動位置
にもたらすことができる唯一の媒体用アームを規定して
いる。媒体用アームは２つのリニアモータによって動か
されるか、あるいは、関節腕として作られていることが
できる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】いずれの場合でも、駆
動機構は多くのスペースを必要とし、非常に高価であ
る。更に、複数の媒体用ノズルを静止位置から取り出す
ためのスムーズな操作のために、ユニットの極めて正確
な調節が必要である。このことは追加のコストを必然的
に伴う。
動機構は多くのスペースを必要とし、非常に高価であ
る。更に、複数の媒体用ノズルを静止位置から取り出す
ためのスムーズな操作のために、ユニットの極めて正確
な調節が必要である。このことは追加のコストを必然的
に伴う。
【００１２】従って、本発明の課題は、複数の媒体を時
間的な順番に種々のノズルから射出することができ、滴
下の問題を解決し、更に、出来る限り少ない機械的又は
技術的コストを必然的に伴う装置を提供することであ
る。
間的な順番に種々のノズルから射出することができ、滴
下の問題を解決し、更に、出来る限り少ない機械的又は
技術的コストを必然的に伴う装置を提供することであ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題は、各々の媒体
用ノズルが夫々の媒体用アームにある、複数の媒体用ノ
ズルから２つ又はそれより多い媒体を射出する装置であ
って、媒体用アーム用の各懸架装置を具備し、複数の媒
体用ノズルが互いに別々に同一の軸線を中心として回動
運動を実行することができる装置によって解決される。
用ノズルが夫々の媒体用アームにある、複数の媒体用ノ
ズルから２つ又はそれより多い媒体を射出する装置であ
って、媒体用アーム用の各懸架装置を具備し、複数の媒
体用ノズルが互いに別々に同一の軸線を中心として回動
運動を実行することができる装置によって解決される。
【００１４】各媒体用ノズルから媒体（ガス又は液体）
が射出されることができる。媒体用アームは各媒体用ノ
ズルに割り当てられている。その目的は、或る媒体用ノ
ズルが作動していない（媒体が流れていない）とき、こ
の媒体用ノズルが静止位置にあることができることが保
証されていることができるためである。
が射出されることができる。媒体用アームは各媒体用ノ
ズルに割り当てられている。その目的は、或る媒体用ノ
ズルが作動していない（媒体が流れていない）とき、こ
の媒体用ノズルが静止位置にあることができることが保
証されていることができるためである。
【００１５】各々の媒体用アーム用の各々の懸架装置に
よって、媒体用アームを互いに別々に動かすことができ
ることが保証される。懸架は、複数の媒体用アームの回
動運動（回転運動）を共通の回転軸線（回動軸線）を中
心として実行することができるように、なされなければ
ならない。
よって、媒体用アームを互いに別々に動かすことができ
ることが保証される。懸架は、複数の媒体用アームの回
動運動（回転運動）を共通の回転軸線（回動軸線）を中
心として実行することができるように、なされなければ
ならない。
【００１６】この最も一般的な実施の形態では、各媒体
用アームは自身の駆動ユニット（モータ）を有すること
ができる。
用アームは自身の駆動ユニット（モータ）を有すること
ができる。
【００１７】従来技術に対する本発明の本質的な利点
は、複数の不要な媒体用ノズルが静止位置に留まること
ができるが、しかし、その時々に割り当てられた媒体用
アームにしっかりと取り付けられており、かくして、装
置が僅かなスペースしか必要としないこと、である。
は、複数の不要な媒体用ノズルが静止位置に留まること
ができるが、しかし、その時々に割り当てられた媒体用
アームにしっかりと取り付けられており、かくして、装
置が僅かなスペースしか必要としないこと、である。
【００１８】複数の媒体用アームが、使用後に、他の媒
体用アームの作用領域から取り除かれる必要がないよう
に、或る実施の形態では、媒体用アームは、回動運動を
実行するために、共通の軸線に回転自在に取り付けられ
ている。それ故に、これらの媒体用アームは回動運動の
最中に互いに妨げない。
体用アームの作用領域から取り除かれる必要がないよう
に、或る実施の形態では、媒体用アームは、回動運動を
実行するために、共通の軸線に回転自在に取り付けられ
ている。それ故に、これらの媒体用アームは回動運動の
最中に互いに妨げない。
【００１９】或る実施の形態は、回動運動を実行し、す
べての媒体用アームに共通に割り当てられている駆動ユ
ニットと、１つ又は複数の回動されるべき媒体用アーム
を選択し、複数の動かされるべき媒体用アーム又は１つ
の動かされるべき媒体用アームを駆動ユニットと接続し
て、この駆動ユニットのトルクを１つの媒体用アームに
伝達するカップリングと、を具備すること、を規定して
いる。
べての媒体用アームに共通に割り当てられている駆動ユ
ニットと、１つ又は複数の回動されるべき媒体用アーム
を選択し、複数の動かされるべき媒体用アーム又は１つ
の動かされるべき媒体用アームを駆動ユニットと接続し
て、この駆動ユニットのトルクを１つの媒体用アームに
伝達するカップリングと、を具備すること、を規定して
いる。
【００２０】今や駆動部が作動すると、カップリングに
よって駆動部と結合されている媒体用アームのみが動か
される。この場合、理論的には、例えば４つの媒体用ア
ームのうちの２つが同時に動かされ、回動されることも
できる。
よって駆動部と結合されている媒体用アームのみが動か
される。この場合、理論的には、例えば４つの媒体用ア
ームのうちの２つが同時に動かされ、回動されることも
できる。
【００２１】駆動ユニットは、通常、モータ、すなわ
ち、圧力媒体用モータ（液圧式モータ）又は電動モータ
（例えばステップモータ）であるだろう。駆動は多かれ
少なかれ直接に又は１つの歯車装置によってなされるこ
とができる。駆動部は往復動を引き起こすことができな
ければならない。
ち、圧力媒体用モータ（液圧式モータ）又は電動モータ
（例えばステップモータ）であるだろう。駆動は多かれ
少なかれ直接に又は１つの歯車装置によってなされるこ
とができる。駆動部は往復動を引き起こすことができな
ければならない。
【００２２】１つの媒体用アームは静止位置と作動位置
との間で回動され、あるいは、スイッチオンされた状態
（媒体が流される）では、２つの反転位置の間で往復動
される。回動範囲は１０°乃至１８０°の角度を含むこ
とができる。
との間で回動され、あるいは、スイッチオンされた状態
（媒体が流される）では、２つの反転位置の間で往復動
される。回動範囲は１０°乃至１８０°の角度を含むこ
とができる。
【００２３】或る実施の形態では、複数の媒体用アーム
は同一のシャフトに位置している複数のハブに取り付け
られている。これらの媒体用アームは、トルクをシャフ
トからハブに伝達するために、シャフトを１つ又は複数
のハブに接続するカップリングを有する。
は同一のシャフトに位置している複数のハブに取り付け
られている。これらの媒体用アームは、トルクをシャフ
トからハブに伝達するために、シャフトを１つ又は複数
のハブに接続するカップリングを有する。
【００２４】複数の媒体用アームの静止状態では、ハブ
はシャフトに回転自在であり、かくて、シャフトが回転
するとき、シャフトと共に回転されない。ハブがカップ
リングによってシャフトと接続されると、ハブはシャフ
トと共に回転し、シャフトに取り付けられた媒体用アー
ムは相応に回動される。
はシャフトに回転自在であり、かくて、シャフトが回転
するとき、シャフトと共に回転されない。ハブがカップ
リングによってシャフトと接続されると、ハブはシャフ
トと共に回転し、シャフトに取り付けられた媒体用アー
ムは相応に回動される。
【００２５】他の実施の形態では、複数のカップリング
は、シャフトに取り付けられているばねと、このばねが
係合することができる先である、１つのハブにつき少な
くとも１つのキー溝とからなり、ばねは、軸方向でのシ
ャフトの移動によって、移動されることができて、ばね
は、動かされるべき媒体用アームを有するハブの、その
キー溝に係合することができる。
は、シャフトに取り付けられているばねと、このばねが
係合することができる先である、１つのハブにつき少な
くとも１つのキー溝とからなり、ばねは、軸方向でのシ
ャフトの移動によって、移動されることができて、ばね
は、動かされるべき媒体用アームを有するハブの、その
キー溝に係合することができる。
【００２６】この場合、ばねは常に１つのハブのキー溝
にのみ係合することができるので、常に１つのハブのみ
がシャフトによって回転され、従ってまた、１つの媒体
用アームのみが駆動される。一方の駆動用アームから他
方の駆動用アームへの変換は静止位置でのみなされるこ
とができる。何故ならば、そうでないとき、ばねは、ハ
ブのキー溝に係合することができないからである。静止
位置では、ばねは、シャフトの、軸線に沿っての昇降、
すなわち移動によって、移動され、かくて、ハブの所望
のキー溝に係合し、かくて、駆動ユニットはシャフト及
びハブによって媒体用アームに結合する。
にのみ係合することができるので、常に１つのハブのみ
がシャフトによって回転され、従ってまた、１つの媒体
用アームのみが駆動される。一方の駆動用アームから他
方の駆動用アームへの変換は静止位置でのみなされるこ
とができる。何故ならば、そうでないとき、ばねは、ハ
ブのキー溝に係合することができないからである。静止
位置では、ばねは、シャフトの、軸線に沿っての昇降、
すなわち移動によって、移動され、かくて、ハブの所望
のキー溝に係合し、かくて、駆動ユニットはシャフト及
びハブによって媒体用アームに結合する。
【００２７】この場合、駆動ユニットが軸方向に共に回
転されるべきでないとき、シャフトは駆動部の回転部分
に取着されて、軸方向に沿ってのシャフトの移動の際
に、駆動装置はシャフトと共に移動されない。
転されるべきでないとき、シャフトは駆動部の回転部分
に取着されて、軸方向に沿ってのシャフトの移動の際
に、駆動装置はシャフトと共に移動されない。
【００２８】このことは、例えば、スプラインシャフト
のハブ（又は内歯車付きのハブ）と軸方向に移動可能に
接続されているスプラインシャフト（又はセレーテッド
・シャフト）の、その形状を有するシャフトによって、
なされることができる。今やスプラインシャフトのハブ
が駆動ユニットによって駆動されると、トルクは、シャ
フトに対するハブの軸方向位置に関係なく、スプライン
シャフトに伝達される。
のハブ（又は内歯車付きのハブ）と軸方向に移動可能に
接続されているスプラインシャフト（又はセレーテッド
・シャフト）の、その形状を有するシャフトによって、
なされることができる。今やスプラインシャフトのハブ
が駆動ユニットによって駆動されると、トルクは、シャ
フトに対するハブの軸方向位置に関係なく、スプライン
シャフトに伝達される。
【００２９】シャフトが、媒体用アームの数に対応する
数の位置を占めることができる空気式装置によって、軸
方向に移動されてなる他の実施の形態が提案されてい
る。
数の位置を占めることができる空気式装置によって、軸
方向に移動されてなる他の実施の形態が提案されてい
る。
【００３０】シャフトが、複数の媒体用アームが位置し
ている複数のハブを駆動する、実施の形態とは異なり、
他の実施の形態では、駆動ユニットはカムを駆動し、こ
のカムに係合することができるカップリングは各媒体用
アームに割り当てられている。
ている複数のハブを駆動する、実施の形態とは異なり、
他の実施の形態では、駆動ユニットはカムを駆動し、こ
のカムに係合することができるカップリングは各媒体用
アームに割り当てられている。
【００３１】カップリングは、必要に応じて、カムを、
回転可能に取り付けられている媒体用アームと接続する
ことができる。この実施の形態では、媒体用アームのう
ちの２つ又はそれより多くが同時に動かされることがで
きる。動かされる媒体用アームは、同時の回動の際に、
互いに平行のままである。
回転可能に取り付けられている媒体用アームと接続する
ことができる。この実施の形態では、媒体用アームのう
ちの２つ又はそれより多くが同時に動かされることがで
きる。動かされる媒体用アームは、同時の回動の際に、
互いに平行のままである。
【００３２】或る実施の形態では、カムは、複数の媒体
用アームが回転自在に取着されている軸に平行にかつこ
の軸から間隔をあけて位置しているストリップである。
このストリップはこの軸を中心として回転運動を実行す
ることができる。カップリングは、この場合、ピンに割
り当てられておりストリップにある孔に係合するピンで
あってよいし、あるいは、ストリップを両側で囲むフォ
ークであってもよい。このようなカップリングの駆動は
空気式で又は電磁石によってなされることができる。
用アームが回転自在に取着されている軸に平行にかつこ
の軸から間隔をあけて位置しているストリップである。
このストリップはこの軸を中心として回転運動を実行す
ることができる。カップリングは、この場合、ピンに割
り当てられておりストリップにある孔に係合するピンで
あってよいし、あるいは、ストリップを両側で囲むフォ
ークであってもよい。このようなカップリングの駆動は
空気式で又は電磁石によってなされることができる。
【００３３】本発明の他の部分は、１つのディスク状の
物品を媒体で処理する前記複数の装置の少なくとも１つ
を有するユニットである。このユニットは、ディスク状
の物品を保持する支持体を有する。
物品を媒体で処理する前記複数の装置の少なくとも１つ
を有するユニットである。このユニットは、ディスク状
の物品を保持する支持体を有する。
【００３４】複数のディスク状の物品は例えば半導体ウ
ェハ（例えばシリコンからなる）であることができる。
処理に用いられる複数の媒体は、液体、例えば合成樹脂
溶液（例えばフォトレジスト）、洗浄剤、腐蝕剤又は溶
剤、しかし又、空気や純窒素のようなガスであってもよ
い。
ェハ（例えばシリコンからなる）であることができる。
処理に用いられる複数の媒体は、液体、例えば合成樹脂
溶液（例えばフォトレジスト）、洗浄剤、腐蝕剤又は溶
剤、しかし又、空気や純窒素のようなガスであってもよ
い。
【００３５】支持体は真空用支持体又はベルヌーイの原
理に基づく支持体であってもよい。
理に基づく支持体であってもよい。
【００３６】ユニットの或る実施の形態では、複数の媒
体用ノズルの流出口は、支持体の、ディスク状の物品に
向いている平坦面に対し実質的に直角方向に向けられて
いる。「実質的に直角方向」とは、ここでは、＋／―
４５°の範囲を含むのである。この整列は、特に、或る
液体が層流となって低圧下で媒体用ノズルから流出する
ときに、重要である。
体用ノズルの流出口は、支持体の、ディスク状の物品に
向いている平坦面に対し実質的に直角方向に向けられて
いる。「実質的に直角方向」とは、ここでは、＋／―
４５°の範囲を含むのである。この整列は、特に、或る
液体が層流となって低圧下で媒体用ノズルから流出する
ときに、重要である。
【００３７】他の実施の形態は、ユニットが、支持体を
（及び、これと共に、この上にあるディスク状の物品）
を回転させるための手段を有すること、を規定してい
る。液体が物品の表面に塗布されるとき、液体は物品の
縁部から振り落とされる。
（及び、これと共に、この上にあるディスク状の物品）
を回転させるための手段を有すること、を規定してい
る。液体が物品の表面に塗布されるとき、液体は物品の
縁部から振り落とされる。
【００３８】或る実施の形態では、支持体の回転軸線
は、支持体の回動軸線に対し実質的に平行である。
は、支持体の回動軸線に対し実質的に平行である。
【００３９】本発明の複数の他の詳細、特徴及び利点
は、複数の図面に示された、本発明の実施の形態の、以
下の記述から明らかである。
は、複数の図面に示された、本発明の実施の形態の、以
下の記述から明らかである。
【００４０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。参照符号２は、複数の媒体用アー
ム１０，２０及び３０の複数のノズルから射出されるべ
き媒体が塗布される先であるディスク状の物品（ウェ
ハ）を示す。矢印Ｈは、処理中の、軸線Ｚ’を中心とし
たウェハの回転運動方向を示す。この回動軸線Ｚ’は、
複数の媒体用アームが回動されるときの中心となる回動
軸線Ｚに平行である。
施の形態を説明する。参照符号２は、複数の媒体用アー
ム１０，２０及び３０の複数のノズルから射出されるべ
き媒体が塗布される先であるディスク状の物品（ウェ
ハ）を示す。矢印Ｈは、処理中の、軸線Ｚ’を中心とし
たウェハの回転運動方向を示す。この回動軸線Ｚ’は、
複数の媒体用アームが回動されるときの中心となる回動
軸線Ｚに平行である。
【００４１】前記複数の媒体用アーム１０，２０及び３
０は、これらが回動されることができるときの中心とな
る垂直軸線Ｚに対し実質的に直角に延び、かつ、この垂
直軸線から離間して、複数のハブ１１，２１及び３１に
取り付けられている。換言すれば、これらの媒体用アー
ムは、水平方向に延びるように取り付けられている。２
つの媒体用アーム１０及び３０は図１では静止位置（準
備位置）にある。真ん中の媒体用アーム２０の静止位置
２０ｓは点線で示されている。静止位置では、３つの媒
体用アームは平行に重なり合っている。
０は、これらが回動されることができるときの中心とな
る垂直軸線Ｚに対し実質的に直角に延び、かつ、この垂
直軸線から離間して、複数のハブ１１，２１及び３１に
取り付けられている。換言すれば、これらの媒体用アー
ムは、水平方向に延びるように取り付けられている。２
つの媒体用アーム１０及び３０は図１では静止位置（準
備位置）にある。真ん中の媒体用アーム２０の静止位置
２０ｓは点線で示されている。静止位置では、３つの媒
体用アームは平行に重なり合っている。
【００４２】３つの媒体用アーム１０，２０及び３０の
各々は、パイプとして作られている。運ばれるべき媒体
は直接にこのパイプの中か、あるいは、パイプに挿入さ
れたダクトの中を案内されることができる。複数の媒体
用アームは、射出側で、複数のエルボ（曲折部）１７，
２７，３７によって９０°に下に曲げられている。これ
によって、複数のノズル１５，２５，３５は垂直方向に
下方に向いている。ノズルから流出した媒体は、かく
て、処理されるディスクの表面にぶつかる。
各々は、パイプとして作られている。運ばれるべき媒体
は直接にこのパイプの中か、あるいは、パイプに挿入さ
れたダクトの中を案内されることができる。複数の媒体
用アームは、射出側で、複数のエルボ（曲折部）１７，
２７，３７によって９０°に下に曲げられている。これ
によって、複数のノズル１５，２５，３５は垂直方向に
下方に向いている。ノズルから流出した媒体は、かく
て、処理されるディスクの表面にぶつかる。
【００４３】複数のノズル１５，２５，３５とディスク
２との間隔が同じであることを、３つの媒体用アームす
べてに対して保証するために、各媒体用アームの複数の
端部分１８，２８又は３８（すなわち、エルボとノズル
との間の垂直部分）は異なった長さを有しなければなら
ない。これに応じて、下方の媒体用アーム１０の端部分
１８は、真ん中の媒体用アームの端部分２８よりも短く
て、この端部分２８は同様に上方の媒体用アームの端部
分３８よりも短い。
２との間隔が同じであることを、３つの媒体用アームす
べてに対して保証するために、各媒体用アームの複数の
端部分１８，２８又は３８（すなわち、エルボとノズル
との間の垂直部分）は異なった長さを有しなければなら
ない。これに応じて、下方の媒体用アーム１０の端部分
１８は、真ん中の媒体用アームの端部分２８よりも短く
て、この端部分２８は同様に上方の媒体用アームの端部
分３８よりも短い。
【００４４】複数の媒体用アームが自らの回動運動中に
互いに妨げないように、複数のエルボは、回動軸線Ｚか
ら以下のように互いに対応した間隔を回動軸線Ｚに対し
て有している。すなわち、下方の媒体用アームのエルボ
１７は、真ん中の媒体用アームのエルボ２５よりも軸線
Ｚに近く、上方の媒体用アームのエルボ３７はエルボ２
５よりも軸線から更に離れている。
互いに妨げないように、複数のエルボは、回動軸線Ｚか
ら以下のように互いに対応した間隔を回動軸線Ｚに対し
て有している。すなわち、下方の媒体用アームのエルボ
１７は、真ん中の媒体用アームのエルボ２５よりも軸線
Ｚに近く、上方の媒体用アームのエルボ３７はエルボ２
５よりも軸線から更に離れている。
【００４５】複数のノズルが回動軸線Ｚに対し直角の同
一平面に位置し、この軸線Ｚから種々の間隔に位置して
いるので、これらのノズルは、複数の媒体用アームが回
動されるときに、矢印Ｄ，Ｅ及びＦによって示されるよ
うに、同心円のアーチに沿って案内される。
一平面に位置し、この軸線Ｚから種々の間隔に位置して
いるので、これらのノズルは、複数の媒体用アームが回
動されるときに、矢印Ｄ，Ｅ及びＦによって示されるよ
うに、同心円のアーチに沿って案内される。
【００４６】複数の媒体がウェハの同一の点にぶつかる
ことが必要であるとき、複数のノズルは対応して向けら
れなければならない。このことは、下方の媒体用アーム
のエルボ１７が９０°より少なく（例えば８０°）曲げ
られ、上方の媒体用アームのエルボ３７が９０°より大
きく（例えば１００°）曲げられる（図示せず）ことに
よって、なされ得る。
ことが必要であるとき、複数のノズルは対応して向けら
れなければならない。このことは、下方の媒体用アーム
のエルボ１７が９０°より少なく（例えば８０°）曲げ
られ、上方の媒体用アームのエルボ３７が９０°より大
きく（例えば１００°）曲げられる（図示せず）ことに
よって、なされ得る。
【００４７】複数の媒体用アームが取り付けられている
複数のハブ１１，２１及び３１は、重ね合っており、同
一の軸線Ｚを有する。軸方向に可動であるシャフト４０
が、これらのハブの所に配置されている。このシャフト
の移動方向は矢印Ｃによって示されている。
複数のハブ１１，２１及び３１は、重ね合っており、同
一の軸線Ｚを有する。軸方向に可動であるシャフト４０
が、これらのハブの所に配置されている。このシャフト
の移動方向は矢印Ｃによって示されている。
【００４８】これらのハブは、外側に取着された軸受
（図示せず）によって、共通のハウジング（図示せず）
内に保持されている。ハウジングは、媒体用アームの動
きを妨げないように、適切な開口部を有する。
（図示せず）によって、共通のハウジング（図示せず）
内に保持されている。ハウジングは、媒体用アームの動
きを妨げないように、適切な開口部を有する。
【００４９】各ハブ１１，２１又は３１は、内側にハブ
のキー溝１２，２２又は３２を有する（図２）。複数の
媒体用アームが静止位置にあるとき、これらハブのキー
溝は整列している。
のキー溝１２，２２又は３２を有する（図２）。複数の
媒体用アームが静止位置にあるとき、これらハブのキー
溝は整列している。
【００５０】シャフト４０には、ばね４２が取り付けら
れている。すなわち、このばねは、シャフトのキー溝に
押し込まれている。ばね４２は、ハブのキー溝１２，２
２又は３２の各々に係合することができる。ばねはシャ
フトから所望のハブへのトルクの伝達に用いられる。ば
ね４２の移動は、シャフト４０の軸方向の移動（矢印Ｃ
方向の移動）によってなされる。このことは３つの位置
を取り得る空気式シリンダによってなされることができ
る（図示せず）。Ｃ方向での移動中に、シャフト４０が
ハブの内側と接触しないように、ガイドエレメント４５
（図２では断面していない）がシャフトの上端に取着さ
れている。
れている。すなわち、このばねは、シャフトのキー溝に
押し込まれている。ばね４２は、ハブのキー溝１２，２
２又は３２の各々に係合することができる。ばねはシャ
フトから所望のハブへのトルクの伝達に用いられる。ば
ね４２の移動は、シャフト４０の軸方向の移動（矢印Ｃ
方向の移動）によってなされる。このことは３つの位置
を取り得る空気式シリンダによってなされることができ
る（図示せず）。Ｃ方向での移動中に、シャフト４０が
ハブの内側と接触しないように、ガイドエレメント４５
（図２では断面していない）がシャフトの上端に取着さ
れている。
【００５１】前記ハブのキー溝１２，２２、３２は、す
べての媒体用アームが静止位置にあるときにのみ整列し
ているので、この位置においてのみシャフト４０の（こ
れと共にばね４２の）移動が可能である。図２及び図３
では、このばね４２は、真ん中のハブ２１のキー溝２２
に係合している（静止位置がここでは示されている）状
態が示されている。今、シャフト４０が或る角度回転さ
れると（図１の矢印Ｇ方向）、真ん中の媒体アーム２０
は、図１に示されるように、同じ角度だけ回動される
（矢印Ｅ方向）。この媒体アーム２０の動作位置は固定
されることも、媒体が射出される間、媒体用アーム２０
は２つの転換点の間で往復動されることもできる。
べての媒体用アームが静止位置にあるときにのみ整列し
ているので、この位置においてのみシャフト４０の（こ
れと共にばね４２の）移動が可能である。図２及び図３
では、このばね４２は、真ん中のハブ２１のキー溝２２
に係合している（静止位置がここでは示されている）状
態が示されている。今、シャフト４０が或る角度回転さ
れると（図１の矢印Ｇ方向）、真ん中の媒体アーム２０
は、図１に示されるように、同じ角度だけ回動される
（矢印Ｅ方向）。この媒体アーム２０の動作位置は固定
されることも、媒体が射出される間、媒体用アーム２０
は２つの転換点の間で往復動されることもできる。
【００５２】前記シャフト４０は、このシャフトに押し
込められたスプラインシャフト用ハブ４３を介して、ス
プラインシャフト５２によって駆動される。このスプラ
インシャフト５２は接続部５１によってモータ５０に接
続されている。このシャフト４０の領域４１は、シャフ
トが移動されるとき、シャフト内でスプラインシャフト
５２に余地を与えるために、中空である。シャフト４０
が軸方向に移動するとき、複数のハブ１１，２１及び３
１に対するスプラインシャフト５２の相対位置は変わら
ない。このことによって、複数のハブが収容されている
ハウジング（図示せず）と、モータ５０とを、互いに動
かないように結合された複数のエレメント（例えば共通
の複数の支持プレート）に取り付けることは可能であ
る。
込められたスプラインシャフト用ハブ４３を介して、ス
プラインシャフト５２によって駆動される。このスプラ
インシャフト５２は接続部５１によってモータ５０に接
続されている。このシャフト４０の領域４１は、シャフ
トが移動されるとき、シャフト内でスプラインシャフト
５２に余地を与えるために、中空である。シャフト４０
が軸方向に移動するとき、複数のハブ１１，２１及び３
１に対するスプラインシャフト５２の相対位置は変わら
ない。このことによって、複数のハブが収容されている
ハウジング（図示せず）と、モータ５０とを、互いに動
かないように結合された複数のエレメント（例えば共通
の複数の支持プレート）に取り付けることは可能であ
る。
【図１】３つの媒体用アームを有する、本発明に係わる
実施の形態の斜視略図である。
実施の形態の斜視略図である。
【図２】この実施の形態の機構の一部分の、図３のＡ―
Ａに沿った縦断面図である。
Ａに沿った縦断面図である。
【図３】この実施の形態の機構の一部分の、図2のＢ―
Ｂに沿った横断面図である。
Ｂに沿った横断面図である。
１ 射出装置 ２ 物品 １０ 媒体用アーム １５ 媒体用ノズル ２０ 媒体用アーム ３０ 媒体用アーム ３５ 媒体用ノズル Ｚ 軸線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Claims (13)
- 【請求項１】 各々の媒体用ノズルが夫々の媒体用アー
ムに設けられ、複数の媒体用ノズルから複数の媒体を射
出する装置であって、複数の媒体用ノズルが互いに別々
に同一の軸線を中心として回動可能なように媒体用アー
ムを支持する懸架装置を具備する装置。 - 【請求項２】 前記媒体用ノズルは、回動運動を実行す
べく、共通軸線上に回動自在に取り付けられていて、互
いの回動運動が妨げられない、請求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 すべての媒体用アームに共通に割り当て
られており、回動運動を実行するための駆動ユニット
と、１つ又は複数の回動されるべき媒体用アームを選択
し、前記複数の動かされるべき媒体用アーム又は前記１
つの動かされるべき媒体用アームを前記駆動ユニットと
接続して、この駆動ユニットのトルクを前記１つの媒体
用アームに伝達するカップリングと、を具備する請求項
２に記載の装置。 - 【請求項４】 前記複数の媒体用アームは同一のシャフ
トに配置された位置している複数のハブに取り付けられ
ており、複数のカップリングは、トルクを前記シャフト
から前記１つのハブに伝達するために、前記シャフトを
１つ又は複数のハブに接続する、請求項３に記載の装
置。 - 【請求項５】 前記カップリングは、前記シャフトに取
り付けられているばねと、このばねが係合することがで
きる先である、１つのハブにつき少なくとも１つのキー
溝とからなり、前記ばねは、軸方向での前記シャフトの
移動によって、移動されることができて、前記ばねは、
動かされるべき媒体用アームを有する前記ハブの、その
キー溝に係合することができる、請求項４に記載の装
置。 - 【請求項６】 前記シャフトは駆動部の回転部分に取着
されており、軸方向での前記シャフトの移動の際に、前
記駆動部が移動されない、請求項５に記載の装置。 - 【請求項７】 前記シャフトは、前記媒体用アームの数
に対応する数の位置を占めることができる空気式装置に
よって、軸方向に移動される、請求項５に記載の装置。 - 【請求項８】 前記駆動ユニットはカムを駆動し、この
カムに係合することができるカップリングは各媒体用ア
ームに割り当てられている、請求項３に記載の装置。 - 【請求項９】 前記カムは、前記複数の媒体用アームが
回転自在に取着ざれている軸に平行にかつこの軸から間
隔をあけて位置しているストリップであり、このストリ
ップは前記軸を中心として回転運動を実行することがで
きる、請求項８に記載の装置。 - 【請求項１０】 １つのディスク状の物品を媒体で処理
する前記装置の少なくとも１つを有し、このディスク状
の物品を保持する支持体を具備するユニット。 - 【請求項１１】 前記複数の媒体用ノズルの流出口は、
前記支持体の、前記ディスク状の物品に向いている平坦
面に対し実質的に直角方向に向けられている、請求項１
０に記載のユニット。 - 【請求項１２】 前記支持体を回転させるための手段を
具備する、請求項１０に記載のユニット。 - 【請求項１３】 前記支持体の回転軸線は前記複数の媒
体用アームの回動軸線に対し実質的に平行である、請求
項１２に記載のユニット。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP99106780.2 | 1999-04-06 | ||
| EP99106780A EP1038593B1 (de) | 1999-04-06 | 1999-04-06 | Einrichtung zum Austrag von zwei oder mehreren Medien mit Mediendüsen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000343016A true JP2000343016A (ja) | 2000-12-12 |
| JP4521091B2 JP4521091B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=8237909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000102011A Expired - Lifetime JP4521091B2 (ja) | 1999-04-06 | 2000-04-04 | 複数の媒体用ノズルによって複数の媒体を射出する装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6383331B1 (ja) |
| EP (1) | EP1038593B1 (ja) |
| JP (1) | JP4521091B2 (ja) |
| KR (1) | KR100587902B1 (ja) |
| AT (1) | ATE196747T1 (ja) |
| DE (1) | DE59900011D1 (ja) |
| SG (1) | SG90109A1 (ja) |
| TW (1) | TW487603B (ja) |
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| KR101066594B1 (ko) | 2008-10-31 | 2011-09-22 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치, 이의 노즐 셋팅 방법 및 이를 이용한 기판처리 방법 |
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