CN106423646A - 带实时高度调节的晶圆喷淋头结构 - Google Patents

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CN106423646A CN201610881589.XA CN201610881589A CN106423646A CN 106423646 A CN106423646 A CN 106423646A CN 201610881589 A CN201610881589 A CN 201610881589A CN 106423646 A CN106423646 A CN 106423646A
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吕耀安
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0278—Arrangement or mounting of spray heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/60—Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
    • B05B15/68—Arrangements for adjusting the position of spray heads

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  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明涉及一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，包括固定安装于喷淋头安装板上的竖向气缸，所述竖向气缸的活塞杆下端固定安装有喷淋头及测距仪，喷淋头位于活塞杆的一侧，测距仪位于活塞杆的下端；还包括一控制器，所述测距仪的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸的行程控制单元连接。本发明采用实时检测喷淋距离，并实时调节，提高喷淋的均匀度。

Description

带实时高度调节的晶圆喷淋头结构
技术领域
本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及晶圆的喷淋设备。
背景技术
半导体镀膜工艺中，通常采用喷淋头对着晶圆喷淋高温金属气体，为了保证喷淋的均匀性，需要将喷淋头整平，使得所有喷淋头与晶圆之间的距离相等。目前采用的喷淋结构，只能喷淋前对喷淋头的高度位置调节，而喷淋过程中无法实时调节，从而由于喷淋过程中喷淋头高度的变化，导致还存在喷淋不均匀的现象。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题，申请人进行研究及改进，提供一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，能实时调节喷淋高度，保证均匀喷淋。
为了解决上述问题，本发明采用如下方案：
一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，包括固定安装于喷淋头安装板上的竖向气缸，所述竖向气缸的活塞杆下端固定安装有喷淋头及测距仪，喷淋头位于活塞杆的一侧，测距仪位于活塞杆的下端；还包括一控制器，所述测距仪的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸的行程控制单元连接。
本发明的技术效果在于：
本发明采用实时检测喷淋距离，并实时调节，提高喷淋的均匀度。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中：1、晶圆支撑台；2、喷淋头安装板；3、竖向气缸；4、喷淋头；5、测距仪；6、晶圆。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。
如图1所示，本实施例的晶圆的喷淋结构，包括固定安装于机架上的晶圆支撑台1及位于晶圆支撑台1上方的喷淋头安装板2，喷淋头安装板2上固定安装有多个竖向气缸3，竖向气缸3的活塞杆下端固定安装有喷淋头4及测距仪5，喷淋头4位于活塞杆的一侧，测距仪5位于活塞杆的下端；本发明还包括一控制器，测距仪5的输出端与控制器的输入端连接，控制器的输出端与竖向气缸3的行程控制单元连接。
使用时，通过测距仪5检测喷淋头4与晶圆6之间的距离，当检测的距离大于或小于设定的距离时，控制器向对应的竖向气缸3的行程控制单元发送信号，从而控制竖向气缸3的活塞杆伸出长度，直至检测距离等于原始的设定距离。
以上所举实施例为本发明的较佳实施方式，仅用来方便说明本发明，并非对本发明作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本发明所提技术特征的范围内，利用本发明所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且未脱离本发明的技术特征内容，均仍属于本发明技术特征的范围内。

Claims (1)

1.一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，其特征在于：包括固定安装于喷淋头安装板(2)上的竖向气缸(3)，所述竖向气缸(3)的活塞杆下端固定安装有喷淋头(4)及测距仪(5)，喷淋头(4)位于活塞杆的一侧，测距仪(5)位于活塞杆的下端；还包括一控制器，所述测距仪(5)的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸(3)的行程控制单元连接。
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PB01 Publication
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
WW01 Invention patent application withdrawn after publication
WW01 Invention patent application withdrawn after publication

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