JP2000195280A - 記憶装置とその記憶方法 - Google Patents

記憶装置とその記憶方法

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JP2000195280A JP36946798A JP36946798A JP2000195280A JP 2000195280 A JP2000195280 A JP 2000195280A JP 36946798 A JP36946798 A JP 36946798A JP 36946798 A JP36946798 A JP 36946798A JP 2000195280 A JP2000195280 A JP 2000195280A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】セルに書き込むデータの数が増加するに従いラ
ッチ回路が増加し、ベリファイに要する時間が長くなっ
ていた。 【解決手段】電位Vbi’でベリファイ動作をする場
合、電位Vai+1でセルのデータを予備リードし、こ
の状態をラッチ回路に記憶する。次に、電位Vbi’で
ベリファイリードする。ここで、セルの状態がAi+1
より高い場合は強制的にベリファイリード結果をローレ
ベルとする。nビットの情報を記憶する場合でも常に、
書き込みデータを記憶するための1つのラッチ回路と、
Ai+1より高いセルかどうか予備リードを行ない、こ
の結果を記憶するための1つのラッチ回路の合計2つの
ラッチ回路のみとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば不揮発性半
導体記憶装置に係わり、特に、多値データを記憶する記
憶装置とその記憶方法に関する。
【0002】
【従来の技術】電気的に書き換え可能な不揮発性半導体
記憶としてのEEPROMを用いたNAND型フラッシ
ュメモリが提案されている。このNAND型フラッシュ
メモリは、隣接して配置された複数のメモリセルのソー
ス、ドレインが直列接続され、この直列接続された複数
のメモリセルが1単位としてビット線に接続される。こ
のNAND型フラッシュメモリにおいて、ロウ方向に配
列された複数のセルの全て、又は半数のセルに対して一
括して書き込み、又は読み出し動作が行なわれる。
【0003】近年、このNAND型フラッシュメモリの
1つのセルに複数のデータ(nビット)を書き込む多値
メモリが開発されている。この多値メモリの場合、1つ
のセルに複数のデータを書き込み、さらに1つのセルに
書き込んだ複数のデータを読み出すために、1つのセル
に対して少なくともn個の書き込み及び読み出し用のラ
ッチ回路が必要であった。なぜならこれらラッチ回路に
ラッチされているデータの内容に応じて、セルの閾値が
決まるからである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、1つのセルに
記憶するデータの数nが大きくなるに従い、データラッ
チ回路の数もn倍となり、チップ内におけるラッチ回路
の占める面積が大きくなるという問題を有していた。
【0005】また、セルにデータを記憶する場合、セル
の閾値が書き込んだデータに対応しているかどうかをベ
リファイする必要がある。このベリファイの回数はセル
に書き込むデータの数が増加するに従い増えるため、デ
ータの書き込み及び書き込みベリファイに要する時間が
長くなるという問題を有している。
【0006】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的とするところはチップ内にお
けるラッチ回路が占める面積の増大を防止するととも
に、書き込みベリファイに要する時間の増大を抑えるこ
とが可能な記憶装置とその記憶方法を提供しようとする
ものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、状態“1”、状態“2”、…状態“n”
(3≦n、nは自然数)からなるn個の状態を有する記
憶素子において、外部から入力される第1の記憶論理レ
ベルのデータあるいは第2の記憶論理レベルのデータを
データ記憶回路に記憶し、前記データ記憶回路のデータ
が第1の記憶論理レベルのデータである場合、前記記憶
素子の状態“i−1”を“i”とし、前記データ記憶回
路のデータが第2の記憶論理レベルのデータである場
合、前記記憶素子の状態を維持し、前記記憶素子の状態
が、“i”の状態に達しており、かつ前記記憶素子の状
態が“1”〜“i”である場合、前記データ記憶回路の
データを第1の記憶論理レベルから第2の記憶論理レベ
ルに変え、前記記憶素子の状態が、“i”の状態に達し
ておらず、かつ前記記憶素子の状態が“1”〜“i”で
ある場合、前記データ記憶回路のデータを第1の記憶論
理レベルに保持し、前記記憶素子の状態が、“i+1”
〜“n”である場合、前記データ記憶回路のデータを保
持し、前記記憶素子の状態が“i−1”から“i”の状
態に遷移する際、前記記憶素子の状態は一時的にでも
“i+1”から“n”の状態とならないように前記記憶
素子の状態を制御する制御ステップを有することを特徴
とする記憶装置の記憶方法。
【0008】前記制御ステップは、外部から入力される
第1のデータに応じて、前記記憶素子を状態“1”又は
状態“n/2”に設定し、外部から入力される第2のデ
ータに応じて、前記記憶素子を状態“n/4”、及び状
態“3n/4”に設定し、外部から入力される第3のデ
ータに応じて、前記記憶素子を状態“n/8”、“3n
/8”、“5n/8”、“7n/8”に設定し、外部か
ら入力される第kのデータに応じて、前記記憶素子を状
態“n/2k”、“3n/2k”、“5n/2k”、…
“(2k-1)n/2k”に設定する。
【0009】前記記憶方法において、“i”(i≦ni
は自然数)の状態に達しているかベリファイ動作を行な
う時、状態“i”よりより十分に小さい状態でのベリフ
ァイ動作を省略する。
【0010】前記記憶方法において、“i”(i≦n、
iは自然数)の状態に達しているかベリファイ動作を行
なう時、状態“i”よりより十分に大きい状態でのベリ
ファイ動作を省略する。
【0011】前記記憶素子は、不揮発性半導体記憶素子
により構成されている。
【0012】前記n個の状態は、前記不揮発性半導体記
憶素子の閾値の違いにより区別される。
【0013】また、本発明は、状態“1”、状態
“2”、…状態“n”(3≦n、nは自然数)からなる
n個の状態を有する記憶素子と、前記記憶素子の状態を
読み出す読み出し回路と、前記読み出し回路によって読
み出された前記記憶素子の状態が“1”〜“i”の場合
に、第1の読み出し論理レベルのデータを記憶し、前記
読み出し回路によって読み出された前記記憶素子の状態
が“i”〜“n”の場合に、第2の読み出し論理レベル
のデータを記憶する第1のデータ記憶回路と、外部から
入力される、第1の記憶論理レベルのデータあるいは第
2の記憶論理レベルのデータを記憶する第2のデータ記
憶回路と、前記第2のデータ記憶回路のデータが第1の
記憶論理レベルのデータである場合、記憶素子の状態
“i−1”を“i”の状態に遷移させ、前記第2のデー
タ記憶回路のデータが第2の記憶論理レベルのデータで
ある場合、前記記憶素子の状態を維持する書き込み回路
と、前記記憶素子の状態が、“i”の状態に達してお
り、かつ前記第1のデータ記憶回路のデータが第1の読
み出し論理レベルである場合に、前記第2のデータ記憶
回路のデータを第1の記憶論理レベルから第2の記憶論
理レベルに変え、前記記憶素子の状態が、“i”の状態
に達しておらず、かつ前記第1のデータ記憶回路のデー
タが第1の読み出し論理レベルである場合に、前記第2
のデータ記憶回路のデータを保持し、前記第1のデータ
記憶回路のデータが第2の読み出し論理レベルである場
合、前記第2のデータ記憶回路のデータを保持する、書
き込みベリファイ回路と、前記記憶素子の状態が“i−
1”から“i”の状態に遷移する際、前記記憶素子の状
態が一時的にでも“i+1”から“n”の状態にならな
いように前記記憶素子の状態を制御する書き込み状態制
御回路とを具備している。
【0014】前記第2の記憶回路に接続され、外部より
データを取り込むための第1の転送手段と、前記第2の
記憶回路に接続され、前記記憶素子から読み出されたデ
ータを外部に転送するための第2の転送手段とをさらに
具備している。
【0015】前記記憶素子は、不揮発性半導体記憶素子
により構成されている。
【0016】さらに、本発明は、状態“1”、状態
“2”、…状態“n”(3≦n、nは自然数)のn個の
状態を有する記憶素子と、前記記憶素子より出力された
電位が第1の入力端にそれぞれ供給され、第2の入力端
に異なる電位のリファレンス電位がそれぞれ供給される
少なくとも1つの差動増幅器を有する差動増幅回路部
と、前記少なくとも1つの差動増幅器の出力信号を選択
的に取り出すロジック回路と、前記記憶素子に接続さ
れ、外部から入力される第1の記憶論理レベルのデータ
あるいは第2の記憶論理レベルのデータを記憶するデー
タ記憶回路と、前記データ記憶回路のデータが第1の記
憶論理レベルのデータである場合、前記記憶素子の状態
“i−1”を“i”とし、前記データ記憶回路のデータ
が第2の記憶論理レベルのデータである場合、前記記憶
素子の状態を維持し、前記記憶素子の状態が“i”の状
態に達しており、かつ前記記憶素子の状態が“1”〜
“i”である場合、前記データ記憶回路のデータを第1
の記憶論理レベルから第2の記憶論理レベルに変え、前
記記憶素子の状態が、“i”の状態に達しておらず、か
つ前記記憶素子の状態が“1”〜“i”である場合、前
記データ記憶回路のデータを第1の記憶論理レベルに保
持し、前記記憶素子の状態が“i+1”〜“n”である
場合、前記データ記憶回路のデータを保持し、前記記憶
素子の状態が“i−1”から“i”の状態に遷移する
際、前記記憶素子の状態が一時的にでも“i+1”から
“n”の状態にならないように前記記憶素子の状態を制
御する制御回路とを具備している。
【0017】前記データ記憶回路に接続され、前記デー
タ記憶回路に記憶されたデータをロジック回路に転送す
る第1の転送手段と、前記データ記憶回路に接続され、
前記複数の差動増幅器及びロジック回路により検出され
たデータを前記データ記憶回路に転送する第2の転送手
段とをさらに具備している。
【0018】前記データ記憶回路は一対の記憶素子ごと
に配置され、前記差動回路部及び前記増幅回路部及び前
記ロジック回路は複数の前記記憶素子に選択的に接続さ
れている。
【0019】前記記憶素子は、負の閾値を有する不揮発
性半導体記憶素子により構成されている。
【0020】さらに、本発明の記憶装置の記憶方法は、
n値の状態を有する記憶素子において、外部から入力さ
れる第1の論理レベルあるいは第2の論理レベルのデー
タをデータ記憶回路に記憶し、記憶素子より読み出され
る第1の論理レベルあるいは第2の論理レベルによっ
て、データ記憶回路に記憶されている論理レベルを変更
し、この変更されたデータ記憶回路に記憶されている論
理レベルが第1の論理レベルの場合、前記記憶素子の状
態を変え、第2の論理レベルの場合、前記記憶素子の状
態を維持することを特徴とする。
【0021】また、本発明の記憶装置の記憶読み出し方
法は、kビットn(=2)値の状態を有する記憶素子
において、(2−1)/k以上のうちで一番小さい整
数により、n値の状態から1ビットの状態を区別するよ
うに記憶素子の状態を決めることを特徴とする。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。 <第1の実施の形態>先ず、本発明の第1の実施の形態
について、概略的に説明する。
【0023】本発明は、1回の書き込み動作時に、1つ
のセルに1ビットのデータを書き込み、このセルに次の
1ビットのデータを書き込む時、外部よりデータを新た
に入れ書き込み動作を行なう。以後順次、1回の書き込
み動作につき1ビットずつ書き込みを行なう。
【0024】従来、例えば初めに1ビットのデータをセ
ルに書き込むと、セルはデータの“1”又は“0”に応
じて2つの閾値の状態になり、次の1ビットのデータを
書き込むと、この書き込んだデータに応じて、先の2つ
の閾値の状態それぞれに対して、1ずつ新たな閾値の状
態が必要となる。このため、先の2つ閾値の状態と、書
き込み非選択である状態の3つの閾値の状態を記憶する
ため、少なくとも2つのラッチ回路が必要であった。さ
らに、次の1ビットのデータを書き込む場合、先の4つ
の状態それぞれに対して、1ずつ新たな状態が必要とな
るため、先の4つの閾値の状態と、書き込み非選択であ
る状態の合計5つの状態を記憶する必要がある。このた
め、少なくとも3つのラッチ回路が必要となる。従っ
て、1つのセルにnビット書き込もうとするとn個のラ
ッチ回路が必要となる。
【0025】本発明において、1つのセルにn−1ビッ
トのデータが書かれている場合、セルの閾値はM=2
(n-1 )値、存在する。図1に示すように、A1〜Amま
でm値の閾値のレベルがある場合、セルの閾値はこれら
レベルの内のどれかの値になっている。次の1ビットの
データを、図1に示すBiのように、Ai、Ai+1の
間に設定し、書き込む1ビットのデータがデータ“1”
(書き込みを行なわない)の時は、セルの閾値を変化さ
せずAiのままとし、データ“0”(書き込みを行な
う)の時は、書き込み動作を行ないBiとする。このよ
うとすると、前に書かれている状態がA1〜Amの何れ
であっても、今回書き込みを行なうデータが“1”の場
合は書き込みを行なわず、“0”の場合は、書き込みを
行なうようとすることができる。つまり、セルに書かれ
ているデータによらず書き込み動作を開始することがで
きる。
【0026】次に、今回書き込んだ接続の閾値がBiの
レベルまで書き込まれたか、ベリファイ動作を行なう必
要がある。この場合、セルのゲート電位をVbi’と
し、この時、セルがオンするかオフするかを調べ、オフ
した場合、セルの閾値が電位Vbi’より高いため書き
込み終了となる。
【0027】しかし、初めのセルの状態がA1〜Amの
うちどこにあるか分からないため、電位Vbi’〜Vb
m’の全ての閾値でベリファイ動作を行ない、Aiから
Biに書き込み動作が行なわれているセルのみ正しく書
き込まれているかどうか判断しなくてはならない。
【0028】電位Vbi’でベリファイ動作をする場
合、セルの閾値がAi+1より高い場合も、セルがオ
フ、つまりベリファイOKとなってしまう。従って、電
位Vai+1でセルのデータを予備リードし、この状態
をラッチ回路に記憶する。次に、電位Vbi’でベリフ
ァイリードする。ここで、セルの状態がAi+1より高
い場合は強制的にベリファイリード結果をローレベル
(ベリファイNG)とする。一方、このときセルの状態
がAi未満にある場合はセルが必ずオンするためベリフ
ァイNGになる。従って、ビット線のレベルは、Biで
のベリファイOKの時のみハイレベルとなる。
【0029】次に、書き込みデータが記憶されているラ
ッチ回路がハイレベル(書き込みを行なわない)の場合
は、ビット線を強制的にハイレベルとする。この動作に
よって、ビット線は、ベリファイOKもしくは初めから
ハイレベルがラッチされている(書き込みを行なわな
い)場合のみハイレベルとなる。この結果を、書き込む
データがラッチされているラッチ回路にラッチする。一
方、書き込みNGの場合のみローレベルとなる。
【0030】このようにして、電位Vb1’〜Vbm’
の全てでベリファイ動作を行なうが、AiからBiに書
き込み動作が行われているセルで電位Vbi’のベリフ
ァイOKの時のみ、データラッチ回路が書き込み非選択
(データ“1”)となり、他のベリファイ電位ではデー
タラッチ回路の内容が変わらない。
【0031】以上の動作により、本発明の場合、nビッ
トの情報を記憶する場合でも常に、書き込みデータを記
憶するための1つのラッチ回路と、Ai+1より高いセ
ル(ベリファイを無視するセル)かどうか予備リードを
行ない、この結果を記憶するための1つのラッチ回路
の、合計2つのラッチ回路のみとなる。
【0032】図2は、本発明の不揮発性半導体記憶装置
の概略構成を示すものであり、例えば8値(3ビット)
を記憶するNAND型フラッシュメモリの構成を示して
いる。
【0033】メモリセルアレイ1は複数のビット線と複
数のワード線と共通ソース線を含み、例えばEEPRO
Mセルからなる電気的にデータを書き換え可能なメモリ
セルがマトリクス状に配置されている。このメモリセル
アレイ1には、ビット線を制御するためのビット制御回
路2とワード線制御回路6が接続されている。
【0034】ビット線制御回路2は、後述するように複
数のデータ記憶回路を含み、ビット線を介してメモリセ
ルアレイ1中のメモリセルのデータを読み出したり、ビ
ット線を介してメモリセルアレイ1中のメモリセルの状
態を検出したり、ビット線を介してメモリセルアレイ1
中のメモリセルに書き込み制御電圧を印加してメモリセ
ルに書き込みを行う。ビット線制御回路2には、カラム
デコーダ3、データ入出力バッファ4が接続されてい
る。ビット線制御回路2内のデータ記憶回路はカラムデ
コーダ3によって選択され、このデータ記憶回路に読み
出されたメモリセルのデータは、前記データ入出力バッ
ファ4を介してデータ入出力端子5から外部へ出力され
る。
【0035】また、外部からデータ入出力端子5に入力
された書き込みデータは、データ入出力バッファ4を介
して、カラムデコーダ3によって選択されたデータ記憶
回路に入力される。
【0036】ワード線制御回路6は、メモリセルアレイ
1に接続されている。このワード線制御回路6は、メモ
リセルアレイ1中のワード線を選択し、読み出しあるい
は書き込みあるいは消去に必要な電圧を与える。
【0037】メモリセルアレイ1、ビット線制御回路
2、カラムデコーダ3、データ入出力バッファ4、及び
ワード線制御回路6は、制御信号発生回路7a及び制御
電圧発生回路7bに接続され、この制御信号発生回路7
a及び制御電圧発生回路7bよって制御される。制御信
号発生回路7a及び制御電圧発生回路7bは、制御信号
入力端子8に接続され、外部から制御信号入力端子8を
介して入力される制御信号によって制御される。
【0038】図3は、図2に示すメモリセルアレイ1及
びビット線制御回路2の構成を示している。ビット線制
御回路2は複数のデータ記憶回路310、311〜31
2112を有している。各データ記憶回路310、31
1〜312112はカラムセレクトゲート320、32
1〜322112を介して前記データ入出力バッファ4
に接続されている。これらカラムセレクトゲート32
0、321〜322112はカラム選択信号CSL0、
CSL1〜CSL2112により制御される。各データ
記憶回路310、311〜312112には一対のビッ
ト線が接続される。すなわち、データ記憶回路310に
はビット線BL0、BL1が接続され、データ記憶回路
311にはビット線BL2、BL3が接続され、データ
記憶回路312112にはビット線BL4222、BL
4223が接続されている。
【0039】メモリセルアレイ1には複数のNANDセ
ルが配置されている。1つのNANDセルは直列接続さ
れた例えば16個のEEPROMからなるメモリセルM
1、M2、M3〜M16と、このメモリセルM1に接続
された選択ゲートS1と、メモリセルM16に接続され
た選択ゲートS2とにより構成されている。第1の選択
ゲートS1はビット線BL0に接続され、第2の選択ゲ
ートS2はソース線SRCに接続されている。各行に配
置されたメモリセルM1、M2、M3〜M16の制御ゲ
ートはワード線WL1、WL2、WL3〜WL16に共
通接続されている。また、第1の選択ゲートS1はセレ
クト線SG1に共通接続され、第2の選択ゲートS2は
セレクト線SG2に共通接続されている。
【0040】1ブロックは4223個のNANDセルに
より構成され、このブロック単位でデータが消去され
る。1つのワード線に接続されたメモリセルは1セクタ
を構成し、このセクタ毎にデータが書き込まれ、読み出
される。また、1セクタには例えば3ページ分のデータ
が記憶される。
【0041】図4(a)(b)はメモリセル及び選択ト
ランジスタの断面図を示している。図4(a)はメモリ
セルを示している。基板41にはメモリセルのソース、
ドレインとしてのn型拡散層42が形成されている。基
板41の上にはゲート絶縁膜43を介して浮遊ゲート4
4が形成され、この浮遊ゲート44の上には絶縁膜45
を介して制御ゲート46が形成されている。図4(b)
は選択トランジスタを示している。基板41にはソー
ス、ドレインとしてのn型拡散層47が形成されてい
る。基板41の上にはゲート絶縁膜48を介して制御ゲ
ート49が形成されている。
【0042】図5は、メモリセルアレイの1つのNAN
Dセルの断面を示している。この例において、1つのN
ANDセルは、図4(a)に示す構成の16個のメモリ
セルM1〜M16が直列接続されて構成されている。N
ANDセルのドレイン側、ソース側には、図4(b)に
示す構成の第1の選択ゲートS1及び第2の選択ゲート
S2が設けられている。
【0043】図6は、図3に示すデータ記憶回路310
を示している。データ記憶回路は全て同一構成であるた
め、データ記憶回路310についてのみ説明する。
【0044】ビット線BLiにはNチャネルトランジス
タ61aの電流通路の一端が接続されている。このトラ
ンジスタ61aのゲートには信号BLTRが供給されて
いる。このトランジスタ61aの電流通路の他端はトラ
ンジスタ61bの電流通路の一端、およびトランジスタ
61cの電流通路の一端に接続されている。前記トラン
ジスタ61bの電流通路の他端は端子62aに接続され
ている。この端子62aには電圧VBLAが供給されて
いる。また、前記トランジスタ61bのゲートには信号
PREAが供給されている。前記トランジスタ61cの
ゲートには信号BLSAが供給されている。
【0045】また、ビット線BLi+1にはNチャネル
トランジスタ61dの電流通路の一端が接続されてい
る。このトランジスタ61dのゲートには前記信号BL
TRが供給されている。このトランジスタ61dの電流
通路の他端はトランジスタ61eの電流通路の一端、お
よびトランジスタ61fの電流通路の一端に接続されて
いる。前記トランジスタ61eの電流通路の他端は端子
62bに接続されている。この端子62bには電圧VB
LBが供給されている。また、前記トランジスタ61e
のゲートには信号PREBが供給されている。前記トラ
ンジスタ61fのゲートには信号BLSBが供給されて
いる。トランジスタ61b、61eは信号PREA、P
REBに応じて非選択のビット線を電位VBLA、VB
LBにプリチャージする。前記トランジスタ61c、6
1fは信号BLSA、BLSBに応じてビット線を選択
する。
【0046】前記トランジスタ61c、61fの電流通
路の他端はトランジスタ61gを介して端子62cに接
続されるとともに、ノードNEに接続されている。前記
トランジスタ61gのゲートには信号BIASが供給さ
れ、端子62cには電圧VCCが供給されている。この
トランジスタ61gはデータ読み出し時に、信号BIA
Sに応じてビット線をプリチャージする。
【0047】前記ノードNEにはトランジスタ61hの
電流通路の一端が接続されている。このトランジスタ6
1hのゲートには信号BLC1が供給され、このトラン
ジスタ61hの電流通路の他端には第1のラッチ回路L
AT(A)が接続されている。この第1のラッチ回路L
AT(A)は2つのクロックドインバータ回路61i、
61jにより構成されている。クロックドインバータ回
路61iは信号SEN1、SEN1B(Bは反転信号を
示す)により制御され、クロックドインバータ回路61
jは信号LAT1、LAT1Bにより制御される。この
第1のラッチ回路LAT(A)は、書き込みデータをラ
ッチする。
【0048】また、前記ノードNEにはトランジスタ6
1k、61lが直列接続されている。トランジスタ61
kのゲートは前記第1のラッチ回路LAT(A)のノー
ドNCに接続され、トランジスタ61lのゲートには信
号VRFY1が供給されている。さらに、トランジスタ
61lの電流通路には電圧VREGが供給されている。
これらトランジスタ61k、61lは第1のラッチ回路
LAT(A)にラッチされたデータに応じてビット線の
電位を設定する。
【0049】また、前記第1のラッチ回路LAT(A)
のノードNAは、Pチャネルトランジスタ61mを介し
て端子62dに接続されている。このトランジスタ61
mのゲートには信号PRSTB1が供給され、前記端子
62dには電圧VCCが供給されている。このトランジ
スタ61mはデータの書き込み時、又は読み出し時に第
1のラッチ回路LAT(A)のノードNAをハイレベル
に設定する。さらに、ノードNAは、キャパシタ61n
を介して接地されている。このキャパシタ61nはデー
タの読み出し時に、ノードNAの電荷を保持する。
【0050】さらに、前記ノードNAは並列接続された
トランジスタ61oとクロックドインバータ回路61p
を介して、図示せぬ前記カラムセレクトゲートに接続さ
れる。トランジスタ61oのゲートには、信号SPBが
供給され、クロックドインバータ回路61pは信号Os
ac、Osacbにより制御される。トランジスタ61
oはデータの書き込み時に前記カラムセレクトゲートを
介して供給されるデータを第1のラッチ回路LAT
(A)に転送する。前記クロックドインバータ回路61
pは、データの読み出し時にバッファとして動作する。
【0051】一方、前記ノードNEにはトランジスタ6
1qの電流通路の一端が接続されている。このトランジ
スタ61qのゲートには信号BLC2が供給され、この
トランジスタ61qの電流通路の他端には第2のラッチ
回路LAT(B)が接続されている。この第2のラッチ
回路LAT(B)は2つのクロックドインバータ回路6
1r、61sにより構成されている。クロックドインバ
ータ回路61rは信号SEN2、SEN2Bにより制御
され、クロックドインバータ回路61sは信号LAT
2、LAT2Bにより制御される。この第2のラッチ回
路LAT(B)は、メモリセルから読み出されたデータ
をラッチする。
【0052】また、前記ノードNEにはトランジスタ6
1t、61uが直列接続されている。トランジスタ61
tのゲートは前記第2のラッチ回路LAT(B)のノー
ドNDに接続され、トランジスタ61uのゲートには信
号VRFY2が供給されている。さらに、トランジスタ
61uの電流通路には電圧VREGが供給されている。
これらトランジスタ61t、61uは第2のラッチ回路
LAT(B)にラッチされたデータに応じてビット線の
電位を設定する。
【0053】また、前記第2のラッチ回路LAT(B)
のノードNBは、Pチャネルトランジスタ61vを介し
て端子62eに接続されている。このトランジスタ61
vのゲートには信号PRSTB2が供給され、前記端子
62eには電圧VCCが供給されている。このトランジ
スタ61vはベリファイリード時に第2のラッチ回路L
AT(B)のノードNBをハイレベルに設定する。さら
に、ノードNBは、キャパシタ61wを介して接地され
ている。このキャパシタ61wはベリファイリード時
に、ノードNBの電荷を保持する。
【0054】上記構成において動作について説明する。
【0055】図7、図8に示すように、メモリセルのデ
ータとメモリセルの閾値電圧の関係を定義する。図7に
おいて、メモリセルのデータ“0”〜“7”は、メモリ
セルの閾値の低いほうから高い方へと定義されている。
また、a〜gはリード動作時におけるワード線の電位を
示し、a’〜g’はベリファイリード動作時におけるワ
ード線の電位を示している。
【0056】このメモリは、多値メモリであるため、1
セルに3ビットのデータを記憶することができる。この
3ビットの切り替えはアドレス(第1ページ、第2ペー
ジ、第3ページ)によって行なう。図8に示すように、
例えばアドレスに第1ページを指定すると、メモリセル
のデータが“0”〜“3”であるとデータ“1”、メモ
リセルのデータが“4”〜“7”であるとデータ“0”
となる。次に、アドレスに第2ページを指定すると、メ
モリセルのデータが“0”,“1”,“4”,“5”で
あるとデータ“1”、メモリセルのデータが“2”,
“3”,“6”,“7”であるとデータ“0”となる。
さらに、アドレスに第3ページを指定すると、メモリセ
ルのデータが“0”,“2”,“4”,“6”であると
データ“1”、メモリセルのデータが“1”,“3”,
“5”,“7”であるとデータ“0”となる。
【0057】消去動作を行なうとメモリセルのデータは
“0”となり、アドレスに第1、第2、第3ページの何
れを指定しても読み出されるデータは“1”となる。 (セル選択方法)読み出し(リード)動作、プログラム
ベリファイ動作及びプログラム動作時では、データ記憶
回路に接続されている2本のビット線(BLi、BLi
+1)のうち、外部より指定されたアドレスにより1本
のビット線が選択される。さらに、外部アドレスによ
り、1本のワード線が選択され、図3に示す、1セクタ
が選択される。このセクタの切り替えはアドレスによっ
て行われる。
【0058】消去(イレーズ)動作は、図3に示すブロ
ック単位で行う。また、データ記憶回路に接続されてい
る2本のビット線(BLi、BLi+1)について同時
に行う。
【0059】イレーズベリファイ動作は、1回の動作
で、データ記憶回路に接続されている2本のビット線
(BLi、BLi+1)のうち1本のビット線(BL
i)についてベリファイリード動作を行い、この結果を
図6に示す第1のラッチ回路LAT(A)に記憶する。
次に、他方のビット線(BLi+1)についてベリファ
イ動作を行ない、この結果と前のベリファイリードの結
果の論理和を第1のラッチ回路LAT(A)に記憶す
る。このイレーズベリファイ動作は、全ての第1のラッ
チ回路LAT(A)のノードNAがローレベルとなるま
で繰り返される。 (プログラム及びプログラムベリファイ) (第1ページプログラム)プログラム動作は、先ず、ア
ドレスを指定し、図3に示す1つのセクタを選択する。
このメモリは、3ページのうち、第1ページ、第2ペー
ジ、第3ページの順でしかプログラム動作できない。し
たがって、初めにアドレスで第1ページを選択する。
【0060】次に、書き込みデータをデータ入出力バッ
ファ4、カラムセレクトゲート、図6に示すトランジス
タ61oを介して、全てのデータ記憶回路内の第1のラ
ッチ回路LAT(A)に記憶する。外部よりデータ
“1”(書き込みを行なわない)が入力されると、第1
のラッチ回路LAT(A)のノードNAはハイレベルに
設定され、データ“0”(書き込みを行なう)が入力さ
れると、ローレベルに設定される。以後、第1のラッチ
回路LAT(A)のデータはデータ記憶回路のノードN
Aの電位、第2のラッチ回路LAT(B)のデータはデ
ータ記憶回路のノードNBの電位とする。
【0061】図6に示すトランジスタ61hのゲートに
信号BLC1として電圧VCC+Vthを供給すると、
第1のラッチ回路LAT(A)にデータ“1”が記憶さ
れている時、ビット線は電源電位VCCとなり、データ
“0”が記憶されている時、ビット線は接地電位VSS
となる。また、選択されたワード線に接続され、非選択
ページ(クラスタ)の(ビット線が非選択である)セル
は書き込みが行われてはならない。このため、これらの
セルに接続されているビット線もデータ“1”が記憶さ
れている場合と同様に電源電位VCCとする。
【0062】図9は、プログラム時の動作シーケンスを
示している。ここで、選択されているブロックのセレク
ト線SG1をVCC、選択ワード線にVPGM(20
V)、非選択ワード線にVpass(10V)を与える
と、ビット線がVSSになっている場合、セルのチャネ
ルがVSS、ワード線がVPGMであるためセルの浮遊
ゲートに電子が注入され、書き込みが行なわれる。一
方、ビット線がVCCになっている場合、第1の選択ゲ
ートS1がオフする。このため、セルのチャネルはVS
SでなくVpassであり、カップリングでVpass
/2となるためプログラムが行われない。
【0063】データ“0”の書き込みの場合、図8に示
すように、メモリセルのデータを“4”とする。データ
“1”の書き込み時の、メモリセルのデータは“0”の
ままである。 (第1ページのベリファイ) {最も高い閾値を持つセルのベリファイ}図10、図1
3(a)を参照して最も高い閾値を持つセルのベリファ
イ動作について説明する。
【0064】第1ページのベリファイは、選択されてい
るワード線にリードの時の電位dより少し高い電位d’
を与える。以後“’”を付した電位はベリファイ電位を
示し、リードの電位より若干高い値とする。
【0065】次に、選択されているブロック内の非選択
ワード線及びセレクト線SG1に電圧Vreadを供給
するとともに、図6に示すトランジスタ61gのゲート
に供給される信号BIASをハイレベルとし、ビット線
をプリチャージする。この後、セルのソース側のセレク
ト線SG2をハイレベルとする。閾値電圧がd’より高
い時は、セルがオフするためビット線はハイレベルのま
まであり、閾値電圧d’に達していない場合、セルがオ
ンするためビット線はVSSとなる。
【0066】ここで、書き込みを行なう場合、図6に示
す第1のラッチ回路LAT(A)にローレベルが記憶さ
れ、書き込みを行なわない場合、第1のラッチ回路LA
T(A)にハイレベルが記憶されている。このため、V
REGをVCCとし、VRFY1をハイレベルとする
と、書き込みを行なわない場合のみビット線がハイレベ
ルになる。この動作の後、ビット線の電位を第1のラッ
チ回路LAT(A)に読み込む。第1のラッチ回路LA
T(A)にハイレベルがラッチされるのは、セルが閾値
電圧に達した場合と、書き込みを行なわない場合であ
る。また、第1のラッチ回路LAT(A)にローレベル
がラッチされる場合は、セルが閾値電圧に達しない場合
だけである。したがって、第1のラッチ回路LAT
(A)がローレベルの場合は再び書き込み動作を行な
い、全てのデータ記憶回路のデータがハイレベルになる
までこのプログラム動作とベリファイ動作を繰り返す。
【0067】以上は2値の場合と全く同じ動作である。 (第2ページのプログラム)第2ページのプログラムも
第1ページのプログラムと同様に、次の書き込みデータ
を全てのデータ記憶回路の第1のラッチ回路LAT
(A)に記憶する。次に、所定の電圧を供給することに
より選択されているページ全てのセルについて書き込み
を行なう。
【0068】図8に示すように、第1ページのメモリセ
ルのデータが“0”になっている(第1ページに書き込
み動作を行なわなかった)場合、このメモリセルに対し
て書き込みを行なうと、このメモリセルのデータは
“2”となる。また、書き込みを行なわない場合、この
メモリセルのデータは“0”のままである。一方、第1
ページのメモリセルのデータが“4”となっている(第
1ページに書き込み動作を行なった)場合、このメモリ
セルに対して書き込みを行なうとメモリセルのデータは
“6”となる。また、書き込みを行なわないとメモリセ
ルのデータは“4”のままである。このように、第2ペ
ージのプログラムは、メモリセルのデータが“2”に書
き込まれる場合と、“6”に書き込まれる場合がある。 (第2ページのベリファイ) {最も高い閾値を持つセルのベリファイ}先ず、図1
0、図13(b)を参照してメモリセルのデータが
“6”の場合のベリファイ動作について説明する。この
ベリファイは前述した第1ページベリファイと全く同じ
である。なぜなら、電位f’より高いセルはデータ
“6”のセル以外存在しないためである。第1ページの
ベリファイでは、メモリセルのデータが“4”になった
かベリファイをするためワード線に電位d’を与えてい
たが、今回は、メモリセルのデータが“6”になったか
ベリファイするため、ワード線に電位f’を供給してベ
リファイを行なう。第1ページのベリファイと同様の動
作をし、この結果、第1のラッチ回路LAT(A)にハ
イレベルがラッチされるのは、セルが閾値電圧に達した
場合と、書き込みを行なわない(初めから第1のラッチ
回路LAT(A)にハイレベルがラッチされている)場
合である。また、第1のラッチ回路LAT(A)にロー
レベルがラッチされる場合は、セルが閾値電圧に達しな
い場合、つまりメモリセルにデータ“6”が十分に書き
込まれていない場合と、メモリセルにデータ“2”を書
き込んでいる場合である。 {中間の閾値を持つセルのベリファイ}次に、図11、
図13(c)を参照して中間の閾値を持つセル、例えば
メモリセルのデータが“2”になる場合のベリファイ動
作について説明する。このベリファイは、ワード線に電
位b’を与えてベリファイすれば良い。しかし、メモリ
セルのデータが“4”以上になっているセルも閾値電圧
が高いため、このメモリセルもオフしてベリファイOK
となってしまう。このため、予めメモリセルのデータが
“4”以上になっているか調べておく必要がある。そこ
で、ワード線に電位dを供給してリード動作を行い、こ
の結果を図6に示すデータ記憶回路の第2のラッチ回路
LAT(B)に記憶する。メモリセルのデータが“4”
以上である場合、第2のラッチ回路LAT(B)にハイ
レベルが記憶される。
【0069】次に、ワード線に電位b’を供給してリー
ド動作を行なうと、このリード結果はビット線が閾値電
圧b’に達しているか、メモリセルのデータが“4”以
上であるとハイレベルとなり、閾値電圧がb’に達して
いないか、メモリセルのデータが“0”の場合、ローレ
ベルとなる。ここで、図6に示す電位VREGを電位V
SS、トランジスタ61uのゲートに供給される電位V
RFY2をハイレベルとすると、第2のラッチ回路LA
T(B)がハイレベルになっている場合、トランジスタ
61tがオンしてビット線がローレベルとなる。つま
り、メモリセルのデータが“4”以上である場合、ビッ
ト線がローレベルになる。
【0070】次に、前のベリファイの操作と同様に、V
REGをVCCとし、VRFY1をハイレベルとする
と、第1のラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラッ
チされている(書き込みを行なわない場合)時、ビット
線がハイレベルになる。この動作の後、ビット線の電位
を第1のラッチ回路LAT(A)に読み込む。第1のラ
ッチ回路LAT(A)にハイレベルがラッチされるの
は、データ“2”を書き込んだメモリセルが閾値電圧に
達した場合と、書き込みを行なわない場合である。ま
た、第1のラッチ回路LAT(A)にローレベルがラッ
チされる場合は、データ“2”の書き込みを行なってい
るメモリセルが閾値電圧に達しない場合と、書き込みを
行なっているメモリセルのデータが“4”以上である場
合である。
【0071】したがって、第2ページのベリファイは、
メモリセルがデータ“2”に書き込まれる場合のベリフ
ァイと、データ“6”に書き込まれる場合のベリファイ
の2回の動作を行ない、第1のラッチ回路LAT(A)
がローレベルの場合は再び書き込み動作を行ない、全て
のデータ記憶回路のデータがハイレベルになるまでこの
プログラム動作とベリファイ動作を繰り返す。しかし、
メモリセルのデータが“6”の場合、閾値電圧が高いた
め、書き込みに時間を要する。このため、繰り返し行な
うプログラムベリファイ動作のうち、初めの数回はメモ
リセルのデータが“6”になったかどうかのベリファイ
動作を省略することができる。また、数回プログラムベ
リファイ動作を繰り返すと、閾値電圧の低いデータ
“2”の書き込みは終了しているはずである。このた
め、この後、メモリセルのデータ“2”についてのベリ
ファイ動作は省略することが可能である。
【0072】また、第2ページのベリファイでは、デー
タ“2”を書き込むメモリセルのベリファイ動作中、メ
モリセルのデータが“4”以上になっているか調べてお
くため、ワード線にdの電位を供給してリード動作を行
い、この結果をデータ記憶回路の第2のラッチ回路LA
T(B)に記憶したが、第2のラッチ回路LAT(B)
はこの動作以外に使用しないため、繰り返し行なうプロ
グラムとベリファイ動作のうち初めの1回のみ行なえば
よい。 (第3ページのプログラム)第3ページのプログラムも
第1、第2ページプログラムと同様に、次の書き込みデ
ータを全てのデータ記憶回路の第1のラッチ回路LAT
(A)に記憶する。次に、ワード線に所定の電圧を供給
することにより選択されているページ全てのセルについ
て書き込みを行なう。
【0073】図8に示すように、メモリセルのデータが
“0”である場合、書き込みを行なうとメモリセルのデ
ータが“1”となり、書き込みを行なわないとメモリセ
ルのデータは“0”のままである。メモリセルのデータ
が“2”である場合、書き込みを行なうとメモリセルの
データが“3”となり、書き込みを行なわないとメモリ
セルのデータは“2”のままである。メモリセルのデー
タが“4”である場合、書き込みを行なうとメモリセル
のデータが“5”となり、書き込みを行なわないとメモ
リセルのデータは“4”のままである。メモリセルのデ
ータが“6”である場合、書き込みを行なうとメモリセ
ルのデータが“7”となり、書き込みを行なわないとメ
モリセルのデータは“6”のままである。 (第3ページのベリファイ)第3ページのベリファイ
は、メモリセルのデータが“7”、“5”、“3”、
“1”の4通りに書き込まれるため4動作行なう。 {最も高い閾値を持つセルのベリファイ}先ず、図1
0、図14(a)(b)を参照してメモリセルのデータ
が“7”になる場合のベリファイについて説明する。こ
のベリファイは前記第1ページのベリファイでメモリセ
ルのデータが“4”になるベリファイ、あるいは第2ペ
ージのベリファイでメモリセルのデータが“6”になる
ベリファイと全く同じである。なぜなら、gの電位より
高いセルはデータ“7”のセルとする以外存在しないた
めである。この場合、ワード線に電位はg’を供給して
ベリファイ動作を行なう。
【0074】この動作の結果、第1のラッチ回路LAT
(A)にハイレベルがラッチされるのは、セルが閾値電
圧に達した場合と、書き込みを行なわない(初めから第
1のラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラッチされ
ている)場合である。また、第1のラッチ回路LAT
(A)にローレベルがラッチされる場合は、セルが閾値
電圧に達しない場合、つまり、メモリセルにデータ
“7”が十分に書き込まれていない場合と、メモリセル
に“1”、“3”、“5”のデータを書き込んでいる場
合である。 {中間の閾値を持つセルのベリファイ}次に、メモリセ
ルのデータが“5”になる場合のベリファイについて説
明する。このベリファイは第2ページのベリファイのメ
モリセルのデータが“2”になるベリファイと同じであ
る。
【0075】但し、メモリセルのデータが“5”になっ
ているかどうかをベリファイするのであるため、前もっ
てメモリセルのデータを読んでおく場合、ワード線は電
位fとされ、次のベリファイリード時、ワード線は電位
e’とされる。図11、図15(a)(b)に示す。 {中間の閾値を持つセルのベリファイ}次に、メモリセ
ルのデータが“3”になる場合のベリファイについて説
明する。このベリファイは第2ページのベリファイのメ
モリセルのデータが“2”になる場合のベリファイ、第
3ページのベリファイのメモリセルのデータが“5”に
なる場合のベリファイと同じである。
【0076】但し、メモリセルのデータが“3”になっ
ているかどうかをベリファイするのであるため、前もっ
てメモリセルのデータを読んでおく場合のワード線電位
は、dであり、次のベリファイリード時のワード線電位
はc’である。この動作を図11、図16(a)(b)
に示す。 {中間の閾値を持つセルのベリファイ}次に、メモリセ
ルのデータが“1”になる場合のベリファイについて説
明する。このベリファイは第2ページのベリファイのメ
モリセルのデータが“2”になるベリファイ、第3ペー
ジのベリファイのメモリセルのデータ“5”、“3”に
なる場合と同じである。
【0077】但し、メモリセルのデータが“1”になっ
ているかどうかをベリファイするのであるため、前もっ
てメモリセルのデータを読んでおく場合のワード線電位
は、bであり、次のベリファイリード時のワード線電位
はa’である。この動作を図11、図17(a)(b)
に示す。
【0078】上記のようとして、第3ページのベリファ
イは、メモリセルのデータが“7”、“5”、“3”、
“1”に書き込まれる場合のベリファイ4回の動作を行
なう。この結果、第1のラッチ回路LAT(A)がロー
レベルの場合は再び書き込み動作を行ない全てのデータ
記憶回路のデータがハイレベルになるまでこのプログラ
ム動作とベリファイ動作を繰り返す。しかし、第2ペー
ジのプログラムベリファイ動作と同じように、メモリセ
ルのデータが高い閾値電圧であるほど、書き込みに要す
る時間が長い。このため、繰り返し行なうプログラムベ
リファイ動作のうち初めの数回はメモリセルのデータが
“7”、“5”、“3”を省略し、データが“1”のみ
に行なう。この後、数回メモリセルのデータ“1”と
“3”でベリファイ動作し、次に、データ“1”と
“3”と“5”でベリファイし、最後に“1”、
“3”、“5”、“7”で行なう。また、数回繰り返し
動作を行なうと、閾値電圧の低いデータが“1”のメモ
リセルは、書き込みが終了しているはずである。このた
め、この後、“3”、“5”、“7”、次に“5”、
“7”、最後に“7”のみベリファイ動作することによ
り、ベリファイ時間を短縮することも可能である。
【0079】また、予備リードはベリファイ時毎回行な
う必要はなく、図6の第2のラッチ回路LAT(B)に
データが残っている場合、この予備リードを省略するこ
とができる。 (リード動作) (第1ページのリード) {最も高い閾値を持つセルのリード}第1ページのリー
ドは、選択されているワード線にリードの時の電位dを
与える。
【0080】次に、選択されているブロック内の非選択
ワード線及びセレクト線SG1に電位Vread(4.
5V)を供給し、図6のトランジスタ61gのゲートに
供給される電位BIASをハイレベルとし、ビット線を
プリチャージする。この後、セルのソース側のセレクト
線SG2をハイレベルとする。閾値電圧が電位dより高
い時、セルがオフするためビット線はハイレベルのまま
であり、閾値電圧dに達していない場合セルがオンする
ため、ビット線がVSSとなる。図8に示すように、メ
モリセルのデータとメモリセルの閾値電圧を定義してい
るため、メモリセルのデータが“0”、“1”、
“2”、“3”であると、ビット線の電位はローレベ
ル、メモリセルのデータが“4”、“5”、“6”、
“7”であると、ビット線の電位はハイレベルとなる。
【0081】次に、これらビット線の電位を第1のラッ
チ回路LAT(A)に読み込むとメモリセルのデータが
“0”、“1”、“2”、“3”であるとローレベル、
メモリセルのデータが“4”、“5”、“6”、“7”
であるとハイレベルになる。しかし、第1のラッチ回路
LAT(A)に記憶されたデータを出力する時、図6に
示すクロックドインバータ回路61pの信号Osacが
イネーブルとなる。このため、データ記憶回路から出力
されるデータは、メモリセルのデータが、“0”、
“1”、“2”、“3”であると“1”、メモリセルの
データが“4”、“5”、“6”、“7”であると
“0”となる。この動作を図12、図18(a)に示
す。
【0082】上記リード動作は、2値の場合と同様であ
る。 (第2ページのリード)第2ページのリードで出力され
るデータが“0”の場合は、図8に示すように、メモリ
セルのデータが“2”と“3”、及び“6”と“7”と
の2つの離れた領域になっている。
【0083】したがって、最初にメモリセルのデータが
“6”、“7”であるかを判断し、次にメモリセルのデ
ータが“2”、“3”であるかを判断する。 {最も高い閾値を持つセルのリード}先ず、メモリセル
のデータが“6”、“7”にあるかを調べる。これは、
前述した第1ページのリードと同じである。なぜなら、
電位fより高いセルはデータ“6”が“7”のセル以外
存在しないためである。第1ページのリードでは、メモ
リセルのデータが“4”、“5”、“6”、“7”であ
るか調べるためにワード線に電位dを供給したが、今回
は、メモリセルのデータが“6”か“7”であるかを調
べるため電位fでリード動作する。
【0084】第1ページのリードと同様に、この動作の
結果、第1のラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラ
ッチされるのは、メモリセルのデータが“6”、“7”
の場合だけである。また、第1のラッチ回路LAT
(A)にローレベルがラッチされる場合は、メモリセル
のデータが“0”、“1”、“2”、“3”、“4”、
“5”である場合である。図12、図18(b)に上記
動作を示す。 {中間の閾値を持つセルのリード}次に、メモリセルの
データが“2”、“3”にあるかを調べるリード動作に
ついて説明する。このリードは、ワード線に電位bを供
給リードすれば良いが、メモリセルのデータが“4”以
上になっているセルも閾値電圧が高いため、オフしてし
まう。このため、予めメモリセルのデータが“4”以上
になっているか調べておく必要がある。そこで、ワード
線に電位dを供給してリード動作を行い、この結果を図
6に示す第2のラッチ回路LAT(B)に記憶する。次
に、ワード線に電位bを供給してリード動作を行なう
と、ビット線はメモリセルのデータが“2”以上である
とハイレベル、メモリセルのデータが“0”又は“1”
であるとローレベルとなる。
【0085】ここで、電位VREGを接地電位VSS、
信号VRFY2をハイレベルとしてトランジスタ61U
をオンさせると、第2のラッチ回路LAT(B)がハイ
レベルになっている場合、ビット線がローレベルにな
る。つまり、メモリセルのデータが“4”以上である場
合、ビット線がローレベルになる。したがって、現時点
では、メモリセルのデータが“2”、“3”であるとき
のみハイレベルとなる。このレベルを第1のラッチ回路
LAT(A)に取り込むことが考えられる。しかし、メ
モリセルのデータが“6”、“7”であった場合、先ほ
ど読み出し第1のラッチ回路LAT(A)に記憶した内
容が無くなってしまうため、VREGを電源電位VCC
とし、信号VRFY1をハイレベルとしてトランジスタ
61lをオンとする。第1のラッチ回路LAT(A)に
ハイレベルがラッチされている(メモリセルのデータが
“6”、“7”)場合、ビット線がハイレベルとされ
る。
【0086】この動作の後、ビット線の電位を第1のラ
ッチ回路LAT(A)に読み込む。第1のラッチ回路L
AT(A)にハイレベルがラッチされるのは、メモリセ
ルのデータが“2”、“3”、“6”、“7”のときで
あり、ローレベルがラッチされるのは、メモリセルのデ
ータが“0”、“1”、“4”、“5”のときである。
第1ページのリードと同様に、第1のラッチ回路LAT
(A)に記憶されたデータを出力する時は図6に示すク
ロックドインバータ回路61pの信号Osacがイネー
ブルとなる。このため、データ記憶回路からは、メモリ
セルのデータが“0”、“1”、“4”、“5”である
とデータ“1”が出力され、メモリセルのデータが
“2”、“3”、“6”、“7”であるとデータ“0”
が出力される。図11、図18(b)(c)に上記動作
を示す。
【0087】また、第2ページのリードでは、メモリセ
ルのデータが“2”、“3”になる場合のリード動作
中、メモリセルのデータが“4”以上になっているか調
べておくため、ワード線に電位dを印加してリード動作
を行い、この結果を図6に示す第2のラッチ回路LAT
(B)に記憶させた。しかし、第1ページのリード後に
第2ページのリードを行なう場合、第1のラッチ回路L
AT(A)にはメモリセルのデータが“4”以上になっ
ている場合、ハイレベルがラッチされている。このた
め、この第1のラッチ回路LAT(A)の内容を第2の
ラッチ回路LAT(B)に転送することにより省略する
ことも可能である。 (第3ページのリード)第3ページのリードにおいて、
出力されるデータが“0”の場合、図8に示すように、
メモリセルのデータが“1”、“3”、“5”、“7”
である。
【0088】従って、初めにメモリセルのデータが
“7”であるかを判断し、次にメモリセルのデータが
“5”であるかを判断し、次にメモリセルのデータが
“3”であるかを判断し、最後にメモリセルのデータが
“1”であるかを判断するため、4回の動作を行なう。 {最も高い閾値を持つセルのリード}先ず、メモリセル
のデータが“7”であるかを調べる。これは、前記第1
ページのリードと第2ページのリードのメモリセルのデ
ータが“6”、“7”にある場合と同様である。なぜな
ら、電位gより高いセルはデータ“7”のセル以外存在
しないためである。第1ページのリードでは、メモリセ
ルのデータが4”、“5”、“6”、“7”であるかを
調べるためにワード線に電位dを供給し、第2ページの
リードでは、メモリセルのデータが“6”、“7”にあ
るため、ワード線に電位fを供給していた。しかし、今
回は、メモリセルのデータが“7”にあるかを調べるた
め電位gでリード動作を行う。
【0089】第1ページのリードのメモリセルのデータ
が“4”、“5”、“6”、“7”である場合である
と、第2ページのリードのメモリセルのデータが
“6”、“7”にある場合と同様に、この動作の結果、
第1のラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラッチさ
れるのは、メモリセルのデータが“7”の場合だけであ
る。また、第1のラッチ回路LAT(A)にローレベル
がラッチされる場合は、メモリセルのデータが“0”、
“1”、“2”、“3”、“4”、“5”、“6”であ
る場合である。上記動作を図12、図19(a)に示
す。 {中間の閾値を持つセルのリード}次に、メモリセルの
データが“5”になっている場合のリード動作について
説明する。このリード動作は、第2ページのリードのメ
モリセルのデータが“2”、“3”である場合と同じで
ある。
【0090】但し、メモリセルのデータが“5”である
かどうかを判断するため、前もってメモリセルのデータ
を読んでおく場合、ワード線には、電位fが供給され、
次のリード時、ワード線には電位eが供給される。この
動作を図19(b)に示す。 {中間の閾値を持つセルのリード}次に、メモリセルの
データが“3”になっている場合のリード動作について
説明する。このリード動作は、第2ページのリードのメ
モリセルのデータが“2”、“3”である場合、第3ペ
ージのリードのメモリセルのデータが“5”になってい
る場合と同じである。
【0091】但し、メモリセルのデータが“3”である
かどうかを判断するため、前もってメモリセルのデータ
を読んでおく場合、ワード線には電位dが供給され、次
のリード時にはワード線に電位cが供給される。この動
作を図19(c)に示す。 {中間の閾値を持つセルのリード}次に、メモリセルの
データが“1”になっている場合のリード動作について
説明する。このリード動作は、第2ページのリードのメ
モリセルのデータが“2”、“3”である場合、第3ペ
ージのリードのメモリセルのデータが“5”及び“3”
になっている場合と同じである。
【0092】但し、メモリセルのデータが“1”である
かどうかを判断するため、前もってメモリセルのデータ
を読んでおく場合、ワード線には電位bが供給され、次
のリード時、ワード線には電位aが供給される。この動
作を図19(d)に示す。
【0093】以上の4つの動作により、メモリセルのデ
ータが第1のラッチ回路LAT(A)に取り込まれる。 (イレーズ及びイレーズベリファイ動作) (イレーズ)図20はイレーズ動作を示している。イレ
ーズ動作は、先ず、アドレスを指定し、図3に点線で示
すブロックを選択する。イレーズ動作を行なうと、メモ
リセルのデータは“0”となり第1ページ、第2ペー
ジ、第3ページ何れでリードを行なってもデータ“1”
が出力される。 (イレーズベリファイ)図21はイレーズベリファイ動
作を示している。イレーズベリファイ動作は、1回の動
作で、データ記憶回路に接続されている2本のビット線
(BLi、BLi+1)のうち1本のビット線(BL
i)についてリード動作を行い、この結果を図6に示す
第1のラッチ回路LAT(A)に記憶させる。このイレ
ーズベリファイ動作は、リード動作と殆ど同じである
が、ブロック全てのセルについて行なうため、選択され
ているブロック内の全てのワード線を選択状態、すなわ
ち接地電位VSSとする。セレクト線SG1に電位Vr
eadを供給し、図6に示すトランジスタ61gのゲー
トに供給される信号BIASをハイレベルとし、ビット
線をプリチャージする。この後、セルのソース側のセレ
クト線SG2をハイレベルとする。
【0094】消去が十分に行なわれ、セルの閾値電圧が
基準値(0V)以下であると、ビット線の電位がローレ
ベルとなり、消去が不十分、つまりセルの閾値電圧が基
準値(0V)以上であると、ビット線の電位がハイレベ
ルになる。このデータを第1のラッチ回路LAT(A)
にラッチする。消去が不十分の時第1のラッチ回路LA
T(A)にはハイレベルがラッチされ、消去が十分であ
る場合、第1のラッチ回路LAT(A)にはローレベル
がラッチされる。
【0095】次に、他方のビット線(BLi+1)につ
いてベリファイ動作が行われる。この結果を第1のラッ
チ回路LAT(A)に取り込むことが考えられるが、第
1のラッチ回路LAT(A)に記憶した内容が無くなっ
てしまうため、電位VREGを電源電位VCCとし、信
号VRFY1をハイレベルとしてトランジスタ61lを
オンとする。第1のラッチ回路LAT(A)にハイレベ
ルがラッチされている(消去不十分)時、トランジスタ
61k、61lを介してビット線がハイレベルとされ
る。この動作の後、ビット線の電位を第1のラッチ回路
LAT(A)に読み込む。第1のラッチ回路LAT
(A)にハイレベルがラッチされるのは、両方のビット
線(BLi、BLi+1)の何れかが消去不十分である
時である。
【0096】このようにして、全ての第1のラッチ回路
LAT(A)のデータがローレベルになるまでイレー
ズ、イレーズベリファイ動作が繰り返される。
【0097】尚、本実施例では、1セルに8値の3ビッ
トを記憶するメモリとしたが、1セルに16値4ビット
を記憶する場合は、第3ページで決めた8値の間に1ず
つ設定値を決め、全く同じプログラム動作及びプログラ
ムベリファイ動作を行なえば良い。したがって、本発明
を用いると、データ記憶回路及びこれを制御する動作を
ほとんど変更すること無く16値以降についても行なう
ことができる。
【0098】上記第1の実施の形態によれば、1回の書
き込みシーケンスで、1つのセルに1ビットのデータの
みが書き込まれる。n−1ビットのデータが書かれてい
る場合、セルの閾値は2(n-1 )値、存在する。次の1ビ
ットのデータの書き込みにより、2n 値のレベルにな
る。しかし、新たに設定するレベルをすでに存在する閾
値と閾値の間に決めると、この新たに設定した閾値に達
したかベリファイするとき、既にこの閾値より高い所に
データが書き込まれているかどうかを調べ、この結果を
取り除くことで、ここで設定した閾値でのベリファイ結
果のみを出すことができる。このため、前に書き込んだ
データの全てをラッチ回路に読み込む必要が無い。した
がって、第1の実施の形態の場合、書き込みデータを記
憶するための1つの第1のラッチ回路と、ベリファイ動
作時に所定の閾値より高い所にデータがあるかどうかを
調べた結果を記憶するための1つの第2のラッチ回路と
を有していればよい。よって、nの値が大きくなって
も、2つのラッチ回路のみで構成できるため、チップに
対するラッチ回路の占有面積の増大を防止できる。
【0099】また、このラッチ回路を動かす基本シーケ
ンスは、ワード線の電位と回数のみ変更するだけでよい
ため、制御を容易化できる利点を有している。
【0100】さらに、図6に示すデータ記憶回路におい
て、第1のラッチ回路LAT(A)のみがトランジスタ
61oとクロックドインバータ回路61p、図示せぬカ
ラムセレクトゲートを介してデータ入出力バッファ4に
接続され、第2のラッチ回路LAT(B)はデータ入出
力バッファ4に接続されない。このため、パターン面積
を縮小できる。 <第2の実施の形態>上記第1の実施の形態では、第n
ページ時のプログラムベリファイ動作、及びリード動作
の際、ワード線をハイレベルとしてセルのデータを読み
ラッチする動作を、2n 回行なわなくてはならない。し
たがって、nの値が大きくなるに従い、プログラムベリ
ファイ及びリード時間が増大する。
【0101】NAND型セルでは、セルの閾値電圧を負
とすると、この閾値電圧に対応する電圧をビット線に出
力することができる。したがって、全てのデータに対応
する閾値電圧を負に設定し、1回の操作でビット線にメ
モリセルの閾値電圧に相当する電位を出力させ、複数の
差動アンプより同時にベリファイし、OKかNGを判断
したり、もしくはデータが“1”か“0”かを判別す
る。このようにするとプログラムベリファイ及びリード
時間の増大を抑制できる。しかし、複数の差動アンプ及
びこれらの出力に接続されるロジック回路は大きなパタ
ーンとなる。このため、1つの差動アンプ及びロジック
回路を複数のセンスアンプに共有させ、時分割で使用す
る。以下、第2の実施の形態について説明する。
【0102】第2の実施の形態における不揮発性半導体
記憶装置の全体構成は図2と同様である。
【0103】図22は、図2に示すメモリセルアレイ1
及びビット線制御回路2の構成を示すものであり、図3
と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についての
み説明する。図22において、ビット線制御回路2を構
成するデータ記憶回路220、221〜222112が
図3と異なっている。各データ記憶回路220、221
〜222112は、差動アンプとロジック回路とに接続
される。
【0104】すなわち、図23に示すように、264個
の差動アンプ部231とロジック回路232は264個
のYセレクタ233を介して8個のデータ記憶回路毎に
接続されている。各Yセレクタ233において、各デー
タ記憶回路と差動アンプ部231とロジック回路232
の間には一対のトランジスタが接続され、これら一対の
トランジスタは信号YA0〜YA7により制御され、各
データ記憶回路と差動アンプ部231とロジック回路2
32とを接続する。
【0105】図24は図22、図23に示すデータ記憶
回路の構成を示している。1つのデータ記憶回路は1つ
のラッチ回路を含んでいる。ビット線BLiにはNチャ
ネルトランジスタ241aの電流通路の一端が接続され
ている。このトランジスタ241aのゲートには信号B
LTRが供給されている。このトランジスタ241aの
電流通路の他端はトランジスタ241bの電流通路の一
端、およびトランジスタ241cの電流通路の一端に接
続されている。前記トランジスタ241bの電流通路の
他端は端子242aに接続されている。この端子242
aには電圧VBLAが供給されている。また、前記トラ
ンジスタ241bのゲートには信号PREAが供給され
ている。前記トランジスタ241cのゲートには信号B
LSAが供給されている。
【0106】また、ビット線BLi+1にはNチャネル
トランジスタ241dの電流通路の一端が接続されてい
る。このトランジスタ241dのゲートには前記信号B
LTRが供給されている。このトランジスタ241dの
電流通路の他端はトランジスタ241eの電流通路の一
端、およびトランジスタ241fの電流通路の一端に接
続されている。前記トランジスタ241eの電流通路の
他端は端子242bに接続されている。この端子242
bには電圧VBLBが供給されている。また、前記トラ
ンジスタ241eのゲートには信号PREBが供給され
ている。前記トランジスタ241fのゲートには信号B
LSBが供給されている。トランジスタ241b、24
1eは信号PREA、PREBに応じて非選択のビット
線を電位VBLA、VBLBにプリチャージする。前記
トランジスタ241c、241fは信号BLSA、BL
SBに応じてビット線を選択する。
【0107】前記トランジスタ241c、241fの電
流通路の他端はノードNEに接続されている。このノー
ドNEにはトランジスタ241hの電流通路の一端が接
続されている。このトランジスタ241hのゲートには
信号BLC1が供給され、このトランジスタ241hの
電流通路の他端にはラッチ回路LAT(C)が接続され
ている。このラッチ回路LAT(C)は2つのクロック
ドインバータ回路241i、241jにより構成されて
いる。クロックドインバータ回路241iは信号SEN
1、SEN1B(Bは反転信号を示す)により制御さ
れ、クロックドインバータ回路241jは信号LAT
1、LAT1Bにより制御される。このラッチ回路LA
T(C)は、書き込みデータをラッチする。
【0108】また、前記ラッチ回路LAT(C)のノー
ドNAは、Pチャネルトランジスタ241mを介して端
子242dに接続されている。このトランジスタ241
mのゲートには信号PRSTB1が供給され、前記端子
242dには電圧VCCが供給されている。このトラン
ジスタ241mはデータの書き込み時、又は読み出し時
にラッチ回路LAT(C)のノードNAをハイレベルに
設定する。
【0109】さらに、前記ノードNAは並列接続された
トランジスタ241oとクロックドインバータ回路24
1pを介して、図示せぬ前記ロジック回路232および
前記カラムセレクトゲートに接続される。トランジスタ
241oのゲートには、信号SPBが供給され、クロッ
クドインバータ回路241pは信号Osac、Osac
bにより制御される。トランジスタ241oはデータの
書き込み時に前記カラムセレクトゲートを介して供給さ
れるデータをラッチ回路LAT(C)に転送する。前記
クロックドインバータ回路241pは、データの読み出
し時にバッファとして動作する。また、前記ノードNE
は前記Yセレクタを介して図示せぬ前記差動アンプ部2
31に接続される。
【0110】図25は差動アンプ部231とロジック回
路232を示している。差動アンプ部231は、7個の
差動アンプDFA1〜DFA7を有している。本実施の
形態では1つのセルに8値(3ビット)記憶しているた
め7個必要であるが、1つのセルに2n 値(nビット)
記憶する場合は、(2n )−1個必要である。前記差動
アンプDFA1〜DFA7の反転入力端には、前記デー
タ記憶回路のノードNEから出力された信号がそれぞれ
供給され、非反転入力端には、制御電圧発生回路253
から所定の電圧が供給される。
【0111】前記差動アンプDFA3の出力端にはイン
バータ回路251aの入力端が接続されている。このイ
ンバータ回路251aの出力信号、差動アンプDFA2
の出力信号、および信号EN1はノア回路251bに供
給されている。前記差動アンプDFA5の出力端にはイ
ンバータ回路251cの入力端が接続されている。この
インバータ回路251cの出力信号、差動アンプDFA
4の出力信号、および信号EN1、EN2はノア回路2
51dに供給されている。前記差動アンプDFA7の出
力端にはインバータ回路251eの入力端が接続されて
いる。このインバータ回路251eの出力信号、差動ア
ンプDFA6の出力信号、および信号EN1、EN2は
ノア回路251fに供給されている。
【0112】前記ロジック回路232において、ノア回
路252aには前記データ記憶回路の出力信号と信号V
erifyBが供給されている。このノア回路252a
の出力信号、差動アンプDFA1の出力信号、およびノ
ア回路251b、251d、251fの出力信号は、ノ
ア回路252bに供給されている。このノア回路252
bの出力信号は、ラッチ回路LAT(D)に供給され
る。このラッチ回路LAT(D)はクロックドインバー
タ回路252c、252dにより構成されている、これ
らクロックドインバータ回路252c、252dは信号
PDにより制御される。このラッチ回路LAT(D)の
出力信号はインバータ回路252e、クロックドインバ
ータ回路252fを介して前記Yセレクタ、データ記憶
回路に接続される。
【0113】図26は、前記制御電圧発生回路7bによ
り発生される電圧と、その電圧の差動アンプDFA1〜
DFA7への供給位置を示している。
【0114】図27、図28に示すように、メモリセル
のデータとメモリセルの閾値を定義する。全ての閾値が
負であることが分かる。ここで、メモリセルのデータ
“0”〜“7”は、メモリセルの閾値の低いほうから高
い方へと、定義されている。また、このメモリは、多値
メモリであるため、1セルに3ビットのデータを記憶す
ることができるためこの3ビットの切り替えはアドレス
(第1ページ、第2ページ、第3ページ)によって行な
う。例えば、アドレスに第1ページを指定すると、メモ
リセルのデータが“0”〜“3”であるとデータ
“1”、メモリセルのデータが“4”〜“7”であると
データ“0”となる。アドレスに第2ページを指定する
と、メモリセルのデータが“0”、“1”、“4”、
“5”であるとデータ“1”、メモリセルのデータが
“2”、“3”、“6”、“7”であるとデータ“0”
となる。アドレスに第3ページを指定すると、メモリセ
ルのデータが“0”、“2”、“4”、“6”であると
データ“1”、メモリセルのデータが“1”、“3”、
“5”、“7”であるとデータ“0”となる。
【0115】消去動作を行なうとメモリセルのデータは
“0”になり、アドレスに第1、第2、第3ページの何
れを指定しても読み出されるデータは“1”となる。 (セル選択方法)セル選択方法は、第1の実施の形態と
同様であり、リード動作、プログラムベリファイ動作及
びプログラム動作時では、図22に示す、1セクタ(3
ページ)が選択される。この3ページはアドレスによっ
て切り替えられる。イレーズ動作は、図22に示すブロ
ック単位で行われる。イレーズベリファイ動作も、初め
に、1本のビット線(BLi)についてベリファイリー
ド動作を行い、この結果を図24に示すラッチ回路LA
T(C)に記憶される。次に、他方のビット線(BLi
+1)についてベリファイ動作を行ない、この結果と前
のベリファイリードの結果の和がラッチ回路LAT
(C)に記憶される。 (プログラム及びプログラムベリファイ) (第1ページのプログラム)図29はプログラム動作の
シーケンスを示しており、各部の電位をこのように設定
して、プログラム動作が実行される。すなわち、第1の
実施の形態と同様に、先ず、書き込むデータを外部より
入力し、全てのデータ記憶回路のラッチ回路LAT
(C)に記憶する。外部よりデータ“1”(書き込みを
行なわない)が入力されると、図24に示すラッチ回路
LAT(C)のノードNAがハイレベルとされ、データ
“0”(書き込みを行なう)が入力されるとノードNA
がローレベルとされる。この記憶されたデータに従っ
て、選択されているページの全てのセルについて書き込
みが行なわれる。
【0116】データ“0”の書き込みの時は、図28に
示すように、メモリセルのデータを“4”とする。デー
タ“1”の書き込み時、メモリセルのデータは“0”の
ままである。 (第1ページのベリファイ)図30はプログラムベリフ
ァイ及びリードの動作を示している。選択されたブロッ
ク内の非選択ワード線及びセレクト線SG1を電位Vr
ead7(=Vread+Vth)、ソース線SRCを
電位Vread、選択ワード線を接地電位VSSに設定
した後、セルのソース側のセレクト線SG2を電位Vr
ead7とする。各部の電位をこのように設定すると、
図28に示すように、セルの閾値電圧に応じて、ビット
線に電位が出力される。このビット線の電位はYセレク
タ233を介して時分割で差動アンプ部231、及びロ
ジック回路232に供給される。
【0117】第1ページのベリファイは、図25に示す
7個の差動アンプのうち、差動アンプDFA1のみが使
用される。このため、信号EN1がハイレベルとされ、
ノア回路251b、251d、251fの出力信号がロ
ーレベルに固定される。
【0118】次に、図26、図31、図32に示すよう
に、差動アンプDFA1の非反転入力端に、制御電圧発
生回路253よりリファレンス電位として、リードの時
の電位dより少し低い電位d’が供給される。以
後“’”はベリファイ電位を示し、リードの電位より若
干低い値とする。ここで、Yセレクタ233を介して1
つのデータ記憶回路の出力信号が差動アンプ部231及
びロジック回路232に接続される。また、ベリファイ
中であるため、ロジック回路232のノア回路252a
に供給される信号VerifyBはローレベルとされ、
データ記憶回路のラッチ回路LAT(C)に記憶されて
いるデータがロジック回路232に供給される。データ
記憶回路のラッチ回路LAT(C)にデータ“1”がラ
ッチされている(書き込みを行なわない)場合、クロッ
クドインバータ回路241pにより反転されたデータ
“0”が、図25に示すノア回路252aに供給され
る。このため、ラッチ回路LAT(D)の出力端NDに
は、差動アンプDFA1の出力信号にかかわらず、ハイ
レベルがラッチされる。
【0119】一方、データ記憶回路のラッチ回路LAT
(C)にデータ“0”がラッチされている(書き込みを
行なう)場合の動作は、図33(a)に示すようにな
る。
【0120】すなわち、ビット線に読み出された電位が
リファレンス電位d’より低い時(十分に書き込まれて
いる時)は、差動アンプDFA1の出力信号はハイレベ
ルとなるので、ラッチ回路LAT(D)の出力端NDに
はハイレベルがラッチされる。
【0121】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位d’より高い時(書き込み不十分)は、差動アン
プDFA1の出力信号はローレベルとなるので、ラッチ
回路LAT(D)の出力端はローレベルにラッチされ
る。
【0122】前記ラッチ回路LAT(D)は、図25、
図30に示す信号PDをローレベルとすることで入力信
号をラッチする。このラッチ回路LAT(D)にラッチ
されたデータはインバータ回路252e、クロックドイ
ンバータ回路252fを介して前記データ記憶回路へ供
給される。次に、図24のトランジスタ241oのゲー
トに供給される信号SPBが、図30に示すように、ハ
イレベルとされると、このトランジスタ241oを介し
てロジック回路232からのデータがデータ記憶回路の
ラッチ回路LAT(C)に供給される。このため、ラッ
チ回路LAT(C)のデータがロジック回路232のラ
ッチ回路LAT(D)に記憶されているデータとされ
る。つまり、データ記憶回路のラッチ回路LAT(C)
にデータ“1”がラッチされている(書き込みを行なわ
ない)時、ラッチ回路LAT(C)のデータは“1”の
ままであり、ラッチ回路LAT(C)にデータ“0”が
ラッチされている(書き込みを行なう)時で、セルの書
き込みが不十分のときはデータ“0”のまま、書き込み
が十分のときはデータが“1”に変えられる。
【0123】次に、Yセレクタ233を切り替え、デー
タ記憶回路の出力信号に対して上記一連の動作を順次行
なう。この時、セルのデータはビット線に読み出されて
いるため、Yセレクタ233を切り替え、差動アンプ部
231とロジック回路232を動作するだけで良い。
【0124】上記動作を繰り返し、全てのデータ記憶回
路のデータがハイレベルとなるまでこのプログラム動作
とベリファイ動作を繰り返す。 (第2ページのプログラム)第2ページのプログラムも
第1ページのプログラムと同様に、先ず、外部より供給
された次の書き込みデータを全てのデータ記憶回路のラ
ッチ回路LAT(C)に記憶する。次に、このラッチ回
路LAT(C)に記憶されたデータに応じて選択されて
いるページの全てのセルに書き込みを行なう。
【0125】図28に示すように、メモリセルのデータ
が“0”になっている(第1ページに書き込み動作を行
なわなかった)場合、このセルに書き込みを行なうと、
このセルのデータは“2”となり、書き込みを行なわな
いと、このメモリセルのデータは“0”のままである。
メモリセルのデータが“4”になっている(第1ページ
に書き込み動作を行なった)場合、このセルに対して書
き込みを行なうと、このセルのデータは“6”となり、
書き込みを行なわないと、このセルのデータは“4”の
ままである。 (第2ページのベリファイ)先ず、第1ページのベリフ
ァイと同様に、ビット線に閾値電圧に応じた電位を出力
させる。図25に示すように、第2ページのベリファイ
は、7個の差動アンプのうち、差動アンプDFA1〜D
FA3を使用する。このため、信号EN2をハイレベル
として、ノア回路251d、251fの出力信号をロー
レベルに固定する。次に、図26、図31、図32に示
すように、差動アンプDFA1〜DFA3の非反転入力
端にリファレンス電位としてf’、d、b’を供給す
る。この後、Yセレクタ233により選択された1つの
データ記憶回路が、この差動アンプDFA1〜DFA3
及びロジック回路232に接続される。また、ベリファ
イ中であるため、信号VerifyBはローレベルとさ
れ、データ記憶回路のラッチ回路LAT(C)に記憶さ
れているデータもロジック回路232に供給される。ラ
ッチ回路LAT(C)にデータ“1”がラッチされてい
る(書き込みを行なわない)場合、ロジック回路232
のラッチ回路LAT(D)の出力端は、差動アンプDF
A1〜DFA3の出力にかかわらず、ハイレベルにラッ
チされる。
【0126】一方、データ記憶回路のラッチ回路LAT
(C)にデータ“0”がラッチされている(書き込みを
行なう)場合は、図33(b)に示すようになる。
【0127】すなわち、ビット線に読み出された電位が
リファレンス電位f’より低い時(書き込み十分の時)
は、差動アンプDFA1の出力信号がハイレベルとな
る。このため、ラッチ回路LAT(D)出力端にはハイ
レベルがラッチされる。
【0128】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位dより低く、f’より高い時(書き込み不十分)
は、差動アンプDFA3はハイレベルとなるが、差動ア
ンプDFA2の出力もハイレベルであるため、ラッチ回
路LAT(D)の出力端にはローレベルがラッチされ
る。
【0129】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位b’より低くdより高い時(書き込み十分)は、
差動アンプDFA3の出力信号はハイレベルとなるの
で、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはハイレベルが
ラッチされる。
【0130】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位b’より高い時(書き込み不十分)は、差動アン
プDFA1〜DFA3の出力信号が全てローレベルであ
るので、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはローレベ
ルがラッチされる。
【0131】尚、ロジック回路232のラッチ回路LA
T(D)にデータをラッチした後の動作は、第1ページ
のベリファイと同様である。この結果、データ記憶回路
のラッチ回路LAT(C)に“1”がラッチされている
(書き込みを行なわない)時は、データ“1”のままで
あり、データ記憶回路のラッチ回路LAT(C)にデー
タ“0”がラッチされている(書き込みを行なう)時
で、書き込み不十分のときはデータ“0”のまま、書き
込み十分のときはデータ“1”に変わる。次に、Yセレ
クタを順次切り替えて、上記と同様の動作が行われる。
【0132】このようにして、全てのデータ記憶回路の
データがハイレベルになるまでこのプログラム動作とベ
リファイ動作が繰り返される。 (第3ページのプログラム)第3ページのプログラムも
第1、第2ページのプログラムと同様に、先ず、外部よ
り供給される次の書き込みデータが全てのデータ記憶回
路のラッチ回路LAT(C)に記憶される。次に、これ
らラッチ回路LAT(C)に記憶されたデータに従っ
て、選択されているページの全てのセルについて書き込
みが行なわれる。
【0133】図28に示すように、メモリセルのデータ
が“0”になっている場合、このメモリセルに対して書
き込みを行なうとメモリセルのデータが“1”となり、
書き込みを行なわないとメモリセルのデータは“0”の
ままである。メモリセルのデータが“2”になっている
場合、このメモリセルに対して書き込みを行なうとメモ
リセルのデータが“3”となり、書き込みを行なわない
とメモリセルのデータは“2”のままである。メモリセ
ルのデータが“4”になっている場合、このメモリセル
に対して書き込みを行なうとメモリセルのデータが
“5”となり、書き込みを行なわないとメモリセルのデ
ータは“4”のままである。メモリセルのデータが
“6”になっている場合、このメモリセルに対して書き
込みを行なうとメモリセルのデータが“7”となり、書
き込みを行なわないとメモリセルのデータは“6”のま
まである。 (第3ページのベリファイ)第1、第2ページのベリフ
ァイと同様に、ビット線にメモリセルの閾値電圧に応じ
た電位を出力させる。第3ページのベリファイは、図2
5に示す全ての差動アンプDFA1〜DFA7を使用す
る。この場合、差動アンプDFA1〜DFA7の非反転
入力端にはリファレンス電位として、図26、図31、
図32に示すg’、f’、e’、d、c’、b、a’が
供給される。ここで、Yセレクタ233により選択され
た1つのデータ記憶回路が、差動アンプ部231及びロ
ジック回路232に接続される。また、ベリファイ中で
あるため、VerifyBはローレベルとなり、データ
記憶回路のラッチ回路LAT(C)に記憶されているデ
ータがロジック回路232に供給される。データ記憶回
路のラッチ回路LAT(C)にデータ“1”がラッチさ
れている(書き込みを行なわない)場合、前述したよう
に、ラッチ回路LAT(D)の出力端には、差動アンプ
DFA1〜DFA7の出力信号にかかわらず、ハイレベ
ルがラッチされる。
【0134】一方、データ記憶回路のラッチ回路LAT
(C)にデータ“0”がラッチされている(書き込みを
行なう)場合は、図33(c)に示すようになる。
【0135】すなわち、ビット線に読み出された電位が
リファレンス電位g’より低い時(書き込み十分の
時)、差動アンプDFA1の出力信号がハイレベルとな
る。このため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはハ
イレベルがラッチされる。
【0136】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位がfより低く、g’より高い時(書き込み不十分
の時)、差動アンプDFA3の出力信号はハイレベルと
なるが、差動アンプDFA2の出力信号もハイレベルで
あるため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはローレ
ベルがラッチされる。
【0137】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位e’より低く、fより高い時(書き込み十分の
時)、差動アンプDFA3の出力信号はハイレベル、差
動アンプDFA2の出力信号はローレベルとなるため、
ラッチ回路LAT(D)の出力端にはハイレベルがラッ
チされる。
【0138】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位dより低く、e’より高い時(書き込み不十分の
時)、差動アンプDFA5の出力信号はハイレベルとな
るが、差動アンプDFA4の出力信号もハイレベルであ
るため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはローレベ
ルがラッチされる。
【0139】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位c’より低く、dより高い時(書き込み十分の
時)、差動アンプDFA5の出力信号はハイレベルとな
るため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはハイレベ
ルがラッチされる。
【0140】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位bより低く、c’より高い時(書き込み不十分の
時)、差動アンプDFA7の出力信号はハイレベルとな
るが、差動アンプDFA6の出力信号もハイレベルであ
るため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはローレベ
ルがラッチされる。
【0141】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位a’より低く、bより高い時(書き込み十分の
時)、差動アンプDFA7の出力信号はハイレベルとな
るため、ラッチ回路LAT(D)にはハイレベルがラッ
チされる。
【0142】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位a’より高い時(書き込み不十分の時)、差動ア
ンプDFA1〜DFA7の出力信号が全てローレベルで
あるため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはローレ
ベルがラッチされる。
【0143】尚、ロジック回路のラッチ回路LT(D)
にデータをラッチした後の動作は、第1、第2ページの
ベリファイと同様である。この結果、データ記憶回路の
ラッチ回路LAT(C)にデータ“1”がラッチされて
いる(書き込みを行なわない)時は、データ“1”のま
まであり、ラッチ回路LAT(C)にデータ“0”がラ
ッチされている(書き込みを行なう)時で、書き込み不
十分のときはデータ“0”のまま、書き込み十分のとき
はラッチ回路LAT(C)のデータが“1”に変わる。
次に、Yセレクタ233を順次切り替えて、上記と同様
の動作が繰り返される。
【0144】このようにして、全てのデータ記憶回路の
データがハイレベルになるまでこのプログラム動作とベ
リファイ動作が繰り返される。 (リード動作) (第1ページのリード)リード動作において、先ず、プ
ログラムベリファイと同様に、ビット線にメモリセルの
閾値電圧に応じた電位を出力させる。第1ページのリー
ドは第1ページのベリファイと同様に、図25に示す7
個の差動アンプのうち、差動アンプDFA1のみを使用
する。このため、信号EN1はハイレベルとされ、ノア
回路251b、251d、251fの出力信がをローレ
ベルに固定される。次に、図26、図31、図32に示
すように、差動アンプDFA1の非反転入力端にリファ
レンス電位としてdを供給する。ここで、Yセレクタ2
33により選択された1つのデータ記憶回路が差動アン
プ部231及びロジック回路232に接続される。リー
ド中であるため、VerifyBはハイレベルとされ、
データ記憶回路のラッチ回路LAT(C)に記憶されて
いるデータ(不定)はロジック回路232に供給されな
い。
【0145】図34(a)は第1ページのリード動作を
示している。ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位dより低い時(メモリセルのデータが“4”、
“5”、“6”、“7”の時)、差動アンプDFA1の
出力信号はハイレベルとなる。このため、ラッチ回路L
AT(D)の出力端にはハイレベルがラッチされる。
【0146】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位d’より高い時(メモリセルのデータが“0”、
“1”、“2”、“3”の時)、差動アンプDFA1の
出力信号はローレベルとなる。このため、ラッチ回路L
AT(D)の出力端にはローレベルがラッチされる。
【0147】ラッチ回路LAT(D)にラッチされたデ
ータはデータ記憶回路へ供給される。この時、図30に
示すように、信号SPBがハイレベルとされ、図24に
示すトランジスタ241oを介して、ラッチ回路LAT
(D)からのデータがラッチ回路LAT(C)に供給さ
れる。次に、Yセレクタ233を切り替え、上記一連の
動作を順次行なう。この時、セルのデータはビット線に
読み出されているため、Yセレクタ233によりデータ
記憶回路を切り替え、差動アンプ部231とロジック回
路232を動作するだけで良い。このようにしてYセレ
クタ233を切り替えて同様の動作を行うことにより、
全てのデータ記憶回路に第1ページ時のデータが記憶さ
れる。
【0148】図28に示すように、メモリセルのデータ
とメモリセルの閾値を定義しているため、ラッチ回路L
AT(C)にはメモリセルのデータが“0”、“1”、
“2”、“3”であるとローレベルが記憶され、
“4”、“5”、“6”、“7”であるとハイレベルが
記憶される。しかし、ラッチ回路LAT(C)に記憶さ
れたデータはクロックドインバータ回路241pを介し
てデータ入出力バッファ4に出力される。このため、デ
ータ入出力バッファ4にはメモリセルのデータが
“0”、“1”、“2”、“3”であるとデータ“1”
が供給され、メモリセルのデータが“4”、“5”、
“6”、“7”であるとデータ“0”が供給される。 (第2ページのリード)第2ページのリードは第1ペー
ジのリードと同様に、先ず、ビット線にメモリセルの閾
値電圧に応じた電位を出力させる。第2ページのベリフ
ァイは、7個の差動アンプのうち、差動アンプDFA1
〜DFA3を使用する。このため、信号EN2をハイレ
ベルとすることにより、ノア回路251b、251d、
251fの出力信号をローレベルに固定する。次に、図
26、図31、図32に示すように、差動アンプの非反
転入力端にリファレンスとしてf、b、dを供給する。
ここで、Yセレクタ233により選択された1つのデー
タ記憶回路が、差動アンプ部231及びロジック回路2
32に接続される。リード中であるため、信号Veri
fyBはハイレベルとされ、ラッチ回路LAT(C)に
記憶されたデータはロジック回路232に供給されな
い。
【0149】図34(b)は第2ページのリード動作を
示している。ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位fより低い時(メモリセルのデータが“6”、
“7”の時)、差動アンプDFA1の出力信号がハイレ
ベルとなる。このため、ロジック回路232のラッチ回
路LAT(D)の出力端にはハイレベルがラッチされ
る。
【0150】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位dより低く、fより高い時(メモリセルのデータ
が“4”、“5”の時)、差動アンプDFA3の出力信
号はハイレベルとなる。また、差動アンプDFA2の出
力信号もハイレベルであるのでラッチ回路LAT(D)
にはローレベルがラッチされる。
【0151】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位bより低く、dより高い時(メモリセルのデータ
が“2”、“3”の時)、差動アンプDFA3の出力信
号はハイレベルとなる。このため、ラッチ回路LAT
(D)にはハイレベルがラッチされる。
【0152】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位bより高い時(メモリセルのデータが“0”、
“1”の時)、差動アンプDFA1〜DFA7の出力信
号が全てローレベルであるため、ラッチ回路LAT
(D)の出力端にはローレベルがラッチされる。
【0153】ロジック回路232のラッチ回路LAT
(D)にデータをラッチした後の動作は、第1ページの
リードと同様である。この結果、データ記憶回路のラッ
チ回路LAT(C)には、メモリセルのデータが
“0”、“1”、“4”、“5”であると、ローレベル
が記憶され、メモリセルのデータが“2”、“3”、
“6”、“7”であるとハイレベルが記憶される。ラッ
チ回路LAT(C)に記憶されたデータはクロックドイ
ンバータ回路241pを介してデータ入出力バッファ4
に供給される。このため、データ入出力バッファ4には
メモリセルのデータが“0”、“1”、“4”、“5”
であるとデータ“1”が供給され、メモリセルのデータ
が“2”、“3”、“6”、“7”であるとデータ
“0”が供給される。 (第3ページのリード)第3ページのリードは、第1、
第2ページのリードと同様に、先ず、ビット線にメモリ
セルの閾値電圧に応じた電位を出力させる。第3ページ
のベリファイは、7個の差動アンプ全てを使用する。各
差動アンプDFA1〜DFA7の非反転入力端にはリフ
ァレンス電位としてg、f、e、d、c、b、aを供給
する。ここで、Yセレクタ233により選択された1つ
のデータ記憶回路が、差動アンプ部231及びロジック
回路232に接続される。リード中であるため、Ver
ifyBはハイレベルとされ、データ記憶回路のラッチ
回路LAT(C)に記憶されたデータ(不定)はロジッ
ク回路232に供給されない。
【0154】図34(c)は第3ページのリード動作を
示している。ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位gより低い時(メモリセルのデータが“7”の
時)、差動アンプDFA1の出力信号がハイレベルとな
る。このため、ロジック回路232のラッチ回路LAT
(D)の出力端にはハイレベルがラッチされる。
【0155】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位fより低く、gより高い時(メモリセルのデータ
が“6”の時)、差動アンプDFA3の出力信号はハイ
レベルとなるが、差動アンプDFA2の出力信号もハイ
レベルであるのでラッチ回路LAT(D)の出力端には
ローレベルがラッチされる。
【0156】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位eより低く、fより高い時(メモリセルのデータ
が“5”)、差動アンプDFA3の出力信号はハイレベ
ルとなるため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはハ
イレベルがラッチされる。
【0157】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位dより低く、eより高い時(メモリセルのデータ
が“4”の時)、差動アンプDFA5の出力信号はハイ
レベルとなるが、差動アンプDFA4の出力信号もハイ
レベルであるため、ラッチ回路LAT(D)の出力端に
はハイレベルがラッチされる。
【0158】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位cより低く、dより高い時(メモリセルのデータ
が“3”の時)、差動アンプDFA5の出力信号はハイ
レベルとなるため、ラッチ回路LAT(D)の出力端に
はハイレベルがラッチされる。
【0159】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位bより低く、cより高い時(メモリセルのデータ
が“2”の時)、差動アンプDFA7の出力信号はハイ
レベルとなるが、差動アンプDFA6の出力信号もハイ
レベルであるため、ラッチ回路LAT(D)の出力端に
はローレベルがラッチされる。
【0160】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位aより低く、bより高い時(メモリセルのデータ
が“1”の時)、差動アンプDFA7はハイレベルとな
るため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはハイレベ
ルがラッチされる。
【0161】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位aより高い時(メモリセルのデータが“0”の
時)、差動アンプDFA1〜DFA7の出力信号が全て
ローレベルであるため、ラッチ回路LAT(D)の出力
端にはローレベルがラッチされる。
【0162】ロジック回路のラッチ回路LAT(D)に
データをラッチした後の動作は、第1、第2ページのリ
ードと同様である。この結果、データ記憶回路のラッチ
回路LAT(C)には、メモリセルのデータが“0”、
“2”、“4”、“6”であるとローレベルが記憶さ
れ、メモリセルのデータが“1”、“3”、“5”、
“7”であるとハイレベルが記憶される。ラッチ回路L
AT(C)に記憶されたデータはクロックドインバータ
回路241pを介してデータ入出力バッファ4に供給さ
れる。このため、データ入出力バッファ4にはメモリセ
ルのデータが“0”、“2”、“4”、“6”であると
データ“1”が供給され、メモリセルのデータが
“1”、“3”、“5”、“7”であるとデータ“0”
が供給される。 (イレーズ及びイレーズベリファイ動作) (イレーズ)イレーズ動作は、第1の実施の形態と同様
である。先ず、アドレスを指定し、図22に示す1つの
ブロックを選択する。
【0163】図35に示すシーケンスに従ってイレーズ
動作を行なうと、メモリセルのデータは全て“0”とな
り、第1ページ、第2ページ、第3ページ何れでリード
を行なってもデータ“1”が出力される。 (イレーズベリファイ)イレーズベリファイ動作は、1
回の動作で、データ記憶回路に接続されている2本のビ
ット線(BLi、BLi+1)のうち1本のビット線
(BLi)についてリード動作を行い、この結果を図2
4に示す、データ記憶回路のラッチ回路LAT(C)に
記憶する。このイレーズベリファイ動作は、リード動作
と殆ど同様であるが、1つのブロック内の全てのセルに
ついて行なうため、選択されているブロック内の全ての
ワード線を選択状態、すなわち、接地電位VSSとす
る。
【0164】次に、図30に示すように、プログラムベ
リファイ及びリードと同様に、ビット線にメモリセルの
閾値電圧に応じた電位を出力させる。イレーズベリファ
イは第1ページのベリファイ及びリードと同様に、図2
5に示す7個の差動アンプのうち、差動アンプDFA1
のみを使用する。このため、信号EN1をハイレベルと
することにより、ノア回路251b、251d、251
fの出力信号をローレベルに固定する。
【0165】次に、図31、図32に示すように、差動
アンプDFA1の非反転入力端にリファレンス電位とし
てイレーズベリファイ電位(4.0V)を供給する。こ
こで、Yセレクタにより選択された1つのデータ記憶回
路が差動アンプ部231及びロジック回路232に接続
される。1回目のイレーズベリファイにおいて、Ver
ifyBはハイレベルとされ、データ記憶回路のラッチ
回路LAT(C)に記憶されているデータ(不定)はロ
ジック回路232に供給されない。
【0166】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位より低い時(イレーズが十分に行われていない
時)、差動アンプDFA1の出力信号はハイレベルとな
るため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはハイレベ
ルがラッチされる。
【0167】ビット線に読み出された電位がリファレン
ス電位より高い時(イレーズが十分に行われている
時)、差動アンプDFA1の出力信号はローレベルとな
るため、ラッチ回路LAT(D)の出力端にはローレベ
ルがラッチされる。
【0168】ロジック回路232のラッチ回路LAT
(D)にラッチされたデータは、図24のトランジスタ
241oを介してデータ記憶回路のラッチ回路LAT
(C)に転送され記憶される。次に、セレクト信号YA
0〜YA7に応じてYセレクタ233を切り替えて上記
一連の動作を行なう。この時、セルのデータは既にビッ
ト線に読み出されているため、Yセレクタ233を切り
替え、差動アンプ部231とロジック回路232を動作
するだけで良い。このようにしてYセレクタ233を切
り替えて同じ動作を行い、全てのデータ記憶回路に第1
ページのセルのデータが記憶される。
【0169】図28に示すように、メモリセルのデータ
とメモリセルの閾値電圧を定義しているため、ラッチ回
路LAT(C)にはイレーズが十分に行なわれていると
ローレベルが記憶され、イレーズが不十分だとハイレベ
ルが記憶される。
【0170】上記動作の後、ビット線(BLi+1)に
ついて、上記と全く同じ動作を行なう。この時、ロジッ
ク回路232のVerifyBをローレベルとする。こ
のようとすると、前記1回目のイレーズベリファイにお
いて、ベリファイが不良であると、ラッチ回路LAT
(C)のノードNAがハイレベルとなっているため、2
回目のイレーズベリファイの結果にかかわらずラッチ回
路LAT(C)にはハイレベルがラッチされる。つま
り、ラッチ回路LAT(C)にハイレベルがラッチされ
るのは、ビット線(BLi、BLi+1)の何れかがイ
レーズベリファイにおいて、不良である時である。した
がって、全てのラッチ回路LAT(C)のデータがロー
レベルになるまで、イレーズ、イレーズベリファイ動作
を繰り返される。
【0171】上記第2の実施の形態においても、第1の
実施の形態と同様に、記憶するデータの数が増加した場
合においてもラッチ回路の増加を防止できる。しかも、
差動アンプ部231及びロジック回路232は、複数の
データ記憶回路につき1つずつ配置し、Yセレクタによ
り時分割で、データ記憶回路に接続している。したがっ
て、面積の大きな差動アンプ部231及びロジック回路
232の数を削減できるため、チップサイズの増大を抑
制することができる。
【0172】また、第1の実施の形態において、第nペ
ージのプログラムベリファイ及びリード動作の際、ワー
ド線をハイレベルとしてセルのデータを読みラッチする
動作を、2n 回行なわなくてはならない。しかし、第2
の実施の形態の場合、差動アンプを用いて一括してメモ
リセルの閾値電圧を判断しているため、nが大きくなっ
ても、差動アンプの数を増やすだけで、プログラムベリ
ファイ及びリード時間が増大することを防止できる。
【0173】<第3の実施の形態>第1の実施の形態で
は、第nページ時のリード動作を行なう際、(2
1)回ワード線のレベルを換えてリード動作を行なう必
要がある。これに対して、第3の実施の形態はリード動
作回数を低減可能としている。すなわち、第3の実施の
形態では、第(n−1)ページ書き込み後、第nページ
書き込みを行なう場合、外部から入力されれるデータを
そのまま書き込まず、この外部より入力されるデータと
内部に既に書き込まれているデータとの間で、論理を取
った値を書き込む。このようにして記憶すると第nペー
ジ時のリード動作では、(2−1)回ワード線のレベ
ルを換えてリード動作を行なう必要がなく、(2
2)回で読み出すことが可能となる。例えば8値の例の
場合、第3ページのリードは第1の実施の形態では7回
リード動作を行なっているが、第3の実施の形態では、
4回で読み出しが可能となる。
【0174】以下、第3の実施の形態について説明す
る。第3の実施の形態において、回路構成は第1の実施
の形態と全く同じである。
【0175】図7、図36に示すように、メモリセルの
データとメモリセルの閾値を定義する。ここで、メモリ
セルのデータ“0”〜“7”は、メモリセルの閾値の低
いほうから高い方へと定義されている。また、本メモリ
は、多値メモリであるため、1セルに3ビットのデータ
を記憶することができる。この3ビットの切り替えはア
ドレス(第1ページ、第2ページ、第3ページ)によっ
て行なう。このように定義すると、アドレスに第1ペー
ジを指定すると、メモリセルのデータが“0”〜“3”
であると“1”データ、メモリセルのデータが“4”〜
“7”であると“0”データとなる。次にアドレスに第
2ページを指定すると、メモリセルのデータが“0”,
“1”,“6”,“7”であると“1”データ、メモリ
セルのデータが“2”〜“5”であると“0”データと
なる。したがって、第2ページでは、メモリセルのデー
タが“1”以下か、“2”以上かの判断とメモリセルの
データが“5”以下か、“6”以上かの判断の2回の動
作で判断することができる。アドレスに第3ページを指
定すると、メモリセルのデータが“0”,“3”,
“4”,“7”であると“1”データ、メモリセルのデ
ータが“1”,“2”,“5”,“6”であると“0”
データとなる。したがって、第3ページでは、メモリセ
ルのデータが“0”以下か、“1”以上かの判断、メモ
リセルのデータが“2”以下か、“3”以上かの判断、
メモリセルのデータが“4”以下か、“5”以上かの判
断、メモリセルのデータが“6”以下か、“7”以上か
の判断、の4回の動作で判断することができる。
【0176】消去動作を行なうとメモリセルのデータは
“0”になり、アドレスに第1、第2、第3ページの何
れを指定しても読み出されるデータは“1”となる。 (セル選択方法)リード動作、プログラムベリファイ動
作及びプログラム動作時では、図3に示すデータ記憶回
路310〜312112に接続されている2本のビット
線(BLi、BLi+1)のうち外部より指定されたア
ドレスにより1本のビット線が選択される。さらに、外
部アドレスにより、1本のワード線が選択され、図3に
点線で示す3ページが選択される。この3ページの切り
替えはアドレスによって行われる。
【0177】イレーズ動作は、前述したように、ブロッ
ク単位で行う。また、データ記憶回路310〜3121
12に接続されている2本のビット線(BLi、BLi
+1)について同時に行う。
【0178】イレーズベリファイ動作は、1回の動作
で、データ記憶回路310〜312112に接続されて
いる2本のビット線(BLi、BLi+1)のうち1本
のビット線(BLi)について行われ、この結果は図6
のラッチ回路LAT(A)に記憶される。次に、他方の
ビット線(BLi+1)についてベリファイ動作が行な
われ、この結果と前のベリファイリードの結果の和がラ
ッチ回路LAT(A)に記憶される。 (プログラム及びプログラムベリファイ) (第1ページのプログラム)プログラム動作は、先ずア
ドレスを指定し、図3に示す3ページを選択する。この
メモリは、この3ページのうち、第1ページ、第2ペー
ジ、第3ページの順でしか、プログラム動作をできな
い。したがって、初めにアドレスに応じて第1ページを
選択する。
【0179】次に、書き込むべきデータ(読み出される
データ)を、外部より入力し全てのデータ記憶回路31
0〜312112内のラッチ回路LAT(A)に記憶す
る。第1ページのプログラムは第1の実施の形態と全く
同じであり、ラッチ回路LAT(A)のデータが“1”
であると書き込みを行なわず、メモリセルのデータを
“0”のままとし、ラッチ回路LAT(A)のデータが
“0”であると書き込みを行ない、メモリセルのデータ
を“4”にする。 (第2ページのプログラム)第2ページのプログラムも
第1ページのプログラムと全く同様に、次に書き込むべ
きデータ(読み出されるデータ)を、外部より入力し、
全てのデータ記憶回路310〜312112のラッチ回
路LAT(A)に記憶する。次に、第1ページのプログ
ラムでメモリセルのデータが“0”となっている場合
で、外部より入力されたデータが“1”である場合は、
書き込みを行なわず、外部より入力されたデータが
“0”である場合、書き込みを行ないメモリセルのデー
タを“2”にする。第1ページのプログラムでメモリセ
ルのデータが“4”になっている場合で、外部より入力
されたデータが“1”である場合は、書き込みを行いメ
モリセルのデータを“6”とし、外部より入力されたデ
ータが“0”である場合、書き込みを行なわずメモリセ
ルのデータを“4”のままにしなくてはならない。しか
し、ラッチ回路LAT(A)のデータが“0”であると
書き込みが行われてしまうため、メモリセルの状態が
“4”である場合、ラッチ回路LAT(A)に記憶され
ているデータの“1”と“0”を反転させなくてはなら
ない。 (内部入力データ変換)第1ページのプログラムでメモ
リセルのデータが“0”か、メモリルのデータが“4”
になっているかを調べるため、選択されているワード線
に図7に示すリード時の電位dを印加してリード動作を
行い、この結果をラッチ回路LAT(B)に記憶させ
る。ここで、ラッチ回路LAT(B)には、メモリセル
のデータが“0”の場合ローレベルが記憶され、メモリ
セルのデータが“4”の場合、ハイレベルが記憶され
る。
【0180】ここで、ビット線はラッチ回路LAT
(B)と同じデータのレベルである。図6に示す電圧V
REGを接地電位VSSとし、信号VRFY1をハイレ
ベルにすると、ラッチ回路LAT(A)がハイレベルに
なっている時、ビット線のデータがローレベルになる。
次に、信号BLSAを接地電位VSSとしてビット線か
らデータ記憶回路を切離す。電圧VREGを接地電位V
SS、信号VRFY2及び信号BLC1をハイレベルに
すると、ラッチ回路LAT(B)にハイレベルが記憶さ
れている場合、ラッチ回路LAT(A)のデータは強制
的にローレベルとなる。再び信号BLSAをハイレベル
にしてビット線をデータ記憶回路に接続し、電圧VRE
Gをハイレベル、信号VRFY1をハイレベルにする
と、ラッチ回路LAT(A)がハイレベルの時、ビット
線がハイレベルになる。ここで、ビット線のデータをラ
ッチ回路LAT(A)に取り込む。この結果、図37に
示すように、メモリセルのデータが“0”であり、外部
より“1”データが入力された場合、ラッチ回路LAT
(A)はハイレベルとなり、外部より“0”データが入
力された場合、ラッチ回路LAT(A)はローレベルと
なる。メモリセルのデータが“4”であり、外部より
“1”データが入力された場合、ラッチ回路LAT
(A)はローレベルとなり、外部より“0”データが入
力された場合、ラッチ回路LAT(A)はハイレベルと
なり、この状態で書き込みを行なうとメモリセルにデー
タ“2”,“6”がそれぞれ書き込まれる。この後の、
プログラム及びベリファイ方法は、第1の実施の形態と
全く同じである。 (第3ページのプログラム)第3ページのプログラムも
第1ページ、第2ページのプログラムと全く同様に、次
に、書き込むべきデータ(読み出されるデータ)を、外
部より入力し、全てのデータ記憶回路310〜3121
12のラッチ回路LAT(A)に記憶する。次に、第
1、2ページのプログラムでメモリセルのデータが
“0”になっている場合で、外部より入力されたデータ
が“1”である場合、書き込みを行なわず、外部より入
力されたデータが“0”である場合、書き込みを行ない
メモリセルのデータを“1”とする。第1、2ページの
プログラムでメモリセルのデータが“2”になっている
場合で、外部より入力されたデータが“1”である場
合、書き込みを行いメモリセルのデータを“3”にし、
外部より入力されたデータが“0”である場合、書き込
みを行なわずメモリセルのデータを“2”のままにしな
くてはならない。
【0181】第1及び2ページのプログラムにおいて、
モリセルのデータが“4”になっている場合で、外部よ
り入力されれたデータが“1”である場合、書き込みを
行なわない。また、外部より入力されたデータが“0”
である場合、書き込みを行ないメモリセルのデータを
“5”にする。第1及び2ページのプログラムでメモリ
セルのデータが“6”になっている場合で、外部より入
力されたデータが“1”である場合、書き込みを行いメ
モリセルのデータを“7”とし、外部より入力されたデ
ータが“0”である場合、書き込みを行なわずメモリセ
ルのデータを“6”のままにしなくてはならない。しか
し、ラッチ回路LAT(A)のデータが“0”であると
書き込みが行われてしまう。このため、メモリセルの状
態が“2”,“6”にある場合、ラッチ回路LAT
(A)に記憶されているデータの“1”と“0”を反転
させなくてはならない。 (内部入力データ変換)第1及び2ページのプログラム
でメモリセルのデータがどの状態となっているかを調べ
るため、選択されているワード線に図7に示すリード時
の電位fを印加してリード動作を行い。その結果をラッ
チ回路LAT(B)に記憶する。ここで、ラッチ回路L
AT(B)には、メモリセルのデータが“0”,
“2”,“4”の場合ローレベルが記憶され、メモリセ
ルのデータが“6”の場合ハイレベルが記憶される。次
に、ワード線にリード時の電位dを与えリード動作を行
い、ビット線にデータを読み出す。ここで、ラッチ回路
LAT(B)がハイレベルの場合、強制的に、ビット線
をローレベルとし、この結果をラッチ回路LAT(B)
に記憶させる。この場合、ラッチ回路LAT(B)に
は、メモリセルのデータが“0”,“2”,“6”の場
合ローレベルが記憶され、メモリセルのデータが“4”
の場合ハイレベルが記憶される。次に、ワード線にリー
ドの時の電位bを印加してリード動作を行い、ビット線
にデータを読み出す。ここで、ラッチ回路LAT(B)
がハイレベルの場合、強制的にビット線をローレベルと
し、この結果をラッチ回路LAT(B)に記憶させる。
この場合、ラッチ回路LAT(B)には、メモリセルの
データが“0”,“4”の場合ローレベルが記憶され、
メモリセルのデータが“2”,“6”の場合ハイレベル
が記憶される。
【0182】ここで、ビット線にはラッチ回路LAT
(B)と同じデータのレベルである。図6に示す電圧V
REGを接地電位VSSとし、信号VRFY1をハイレ
ベルにすると、ラッチ回路LAT(A)がハイレベルに
なっている時、ビット線のデータがローレベルとなる。
次に、信号BLSAを接地電位VSSとしてビット線か
らデータ記憶回路310〜312112を切離す。電圧
VREGを接地電位VSS、信号VRFY2をBLC1
をハイレベルにするとラッチ回路LAT(B)にハイレ
ベルが記憶されている場合、ラッチ回路LAT(A)の
データは強制的にローレベルとなる。再び信号BLSA
をハイレベルにしてビット線をデータ記憶回路310〜
312112に接続し、電圧VREGをハイレベル、信
号VRFY1をハイレベルにすると、ラッチ回路LAT
(A)がハイレベルの時、ビット線がハイレベルにな
る。ここで、ビット線のデータをラッチ回路LAT
(A)に取り込む。
【0183】この結果、図38に示すように、メモリセ
ルのデータが“0”であり、外部より“1”データが入
力された場合、ラッチ回路LAT(A)はハイレベルと
なり、外部より“0”データが入力された場合、ラッチ
回路LAT(A)はローレベルとなる。メモリセルのデ
ータが“2”にあり、外部より“1”データが入力され
た場合、ラッチ回路LAT(A)はローレベルとなり、
外部より“0”データが入力された場合、ラッチ回路L
AT(A)はハイレベルとなる。メモリセルのデータが
“4”であり、外部より“1”データが入力された場
合、ラッチ回路LAT(A)はハイレベルとなり、外部
より“0”データが入力された場合、ラッチ回路LAT
(A)はローレベルとなる。メモリセルのデータが
“6”であり、外部より“1”データが入力された場
合、ラッチ回路LAT(A)はローレベルとなり、外部
より“0”データが入力された場合、ラッチ回路LAT
(A)はハイレベルとなる。この状態で書き込みを行な
うと、メモリセルのデータが“1”,“3”,“5”,
“7”にそれぞれ書き込まれる。ラッチ回路LAT
(A)のデータが確定した後の、プログラム及びベリフ
ァイ方法は、第1の実施の形態と全く同じである。 (リード動作) (第1ページのリード)図39(a)は第1ページのリ
ード動作を示している。図36に示すように、第1ペー
ジのリードで出力されるデータが“0”の場合、メモリ
セルのデータは“4”〜“7”の範囲にあり、出力され
るデータが“1”の場合、メモリセルのデータは“0”
〜“3”の範囲に存在する。このため、第1ページのリ
ードは、選択されているワード線に、図7に示すリード
時の電位dを印加する。
【0184】次に、選択されているブロック内の非選択
ワード線及びセレクト線SG1に電位Vread(4.
5V)を供給し、図6に示すデータ記憶回路の信号bi
asをハイレベルとして、ビット線をプリチャージした
後、セルのソース側のセレクト線SG2をハイレベルに
する。閾値が図7に示す電位dより高い時、セルがオフ
するためビット線はハイレベルのままであり、閾値が電
位dに達していない場合セルがオンするため、ビット線
は接地電位VSSとなる。
【0185】図39(a)に示すように、メモリセルの
データとメモリセルの閾値を定義しているため、ビット
線の電位は、メモリセルのデータが“0”,“1”,
“2”,“3”であるとローレベル、“4”,“5”,
“6”,“7”であるとハイレベルとなる。
【0186】次に、これらビット線の電位をラッチ回路
LAT(A)に読み込むと、ラッチ回路LAT(A)は
メモリセルのデータが“0”,“1”,“2”,“3”
であるとローレベル、“4”,“5”,“6”,“7”
であるとハイレベルになる。しかし、ラッチ回路LAT
(A)のデータを出力する時、図6に示すクロックドイ
ンバータ回路61pの信号Osac、Osacbがイネ
ーブルとなるためデータ記憶回路の出力端にはメモリセ
ルのデータが“0”,“1”,“2”,“3”であると
“1”データが出力され、“4”,“5”,“6”,
“7”であると“0”データが出力される。以上は2
値、第1の実施の形態の場合と全く同じ動作である。 (第2ページのリード)図39(b)は第2ページのリ
ード動作を示している。図36に示すように、第2ペー
ジのリードで出力されるデータが“0”の場合、メモリ
セルのデータは“2”,“3”,“4”,“5”の範囲
にあり、出力されるデータが“1”の場合、メモリセル
のデータは“0”,“1”,“6”,“7”の範囲に存
在する。
【0187】先ず、メモリセルのデータが“0”〜
“5”にあるか、“6”,“7”にあるかを調べる。こ
のため、ワード線の電位を図7に示すfとして、リード
動作を実行し、この結果を、ラッチ回路LAT(A)に
記憶させる。ラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラ
ッチされるのは、メモリセルのデータが“6”,“7”
の場合だけである。また、ラッチ回路LAT(A)にロ
ーレベルがラッチされる場合は、メモリセルのデータが
“0”,“1”,“2”,“3”,“4”,“5”の場
合である。
【0188】次に、メモリセルのデータが“0”〜
“3”にあるか、“4”〜“7”にあるかを調べる。こ
のため、ワード線の電位を図7に示すcとし、リード動
作を行なう。ここで、ラッチ回路LAT(A)にハイレ
ベルがラッチされている場合、ビット線を強制的にロー
レベルにする。この結果を、ラッチ回路LAT(A)に
記憶させる。ラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラ
ッチされるのは、メモリセルのデータが“2”〜“5”
の場合である。また、ラッチ回路LAT(A)にローレ
ベルがラッチされる場合は、メモリセルのデータが
“0”,“1”,“6”,“7”の場合である。しか
し、ラッチ回路LAT(A)のデータ出力する時、図6
に示すクロックドインバータ回路61pの信号Osa
c、Osacbがイネーブルとなる。このため、出力端
にはメモリセルのデータが“0”,“1”,“6”,
“7”であると“1”データが出力され、“2”〜
“5”であると“0”データが出力される。
【0189】上記第1の実施の形態では、第2ページの
リード時に、リード動作を3回行なっていた。これに対
して、第3の実施の形態では第2ページのリード動作が
2回で終了する。したがって、第2ページのリード動作
を高速化できる。 (第3ページのリード)図40は第3ページのリード動
作を示している。図36に示すように、第3ページのリ
ードで出力されるデータが“0”の場合、メモリセルの
データは“1”,“2”,“5”,“6”の範囲にあ
り、出力されるデータが“1”の場合、メモリセルのデ
ータは“0”,“3”,“4”,“7”の範囲に存在す
る。
【0190】先ず、メモリセルのデータが“0”〜
“6”にあるか、“7”にあるかを調べる。このため、
ワード線の電位を図7に示す電位gとしてリード動作を
実行し、この結果を、ラッチ回路LAT(A)に記憶さ
せる。ラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラッチさ
れるのは、メモリセルのデータが“7”の場合だけであ
る。また、ラッチ回路LAT(A)にローレベルがラッ
チされる場合は、メモリセルのデータが“0”,
“1”,“2”,“3”,“4”,“5”,“6”であ
る場合である。
【0191】次に、メモリセルのデータが“0”〜
“4”にあるか、“5”〜“7”にあるかを調べる。こ
のため、ワード線の電位を図7に示す電位eとしてリー
ド動作を行なう。ここで、ラッチ回路LAT(A)にハ
イレベルがラッチされている場合、ビット線を強制的に
ローレベルとし、この結果をラッチ回路LAT(A)に
記憶させる。ラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラ
ッチされるのは、メモリセルのデータが“5”,“6”
の場合である。また、ラッチ回路LAT(A)にローレ
ベルがラッチされる場合は、メモリセルのデータが
“0”〜“4”,“7”である場合である。
【0192】次に、メモリセルのデータが“0”〜
“2”にあるか、“3”〜“7”にあるかを調べる。こ
のため、ワード線の電位を図7に示す電位cとしてリー
ド動作を行なう。ここで、ラッチ回路LAT(A)にハ
イレベルがラッチされている場合、ビット線を強制的に
ローレベルとし、この結果をラッチ回路LAT(A)に
記憶させる。ラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラ
ッチされるのは、メモリセルのデータが“3”,
“4”,“7”の場合である。また、ラッチ回路LAT
(A)にローレベルがラッチされる場合は、メモリセル
のデータが“0”〜“2”,“5”,“6”である場合
である。
【0193】次に、メモリセルのデータが“0”にある
か、“1”〜“7”にあるかを調べる。このため、ワー
ド線の電位を図7に示す電位aとしてリード動作を行な
う。ここで、ラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラ
ッチされている場合、ビット線を強制的にローレベルと
し、この結果をラッチ回路LAT(A)に記憶させる。
ラッチ回路LAT(A)にハイレベルがラッチされるの
は、メモリセルのデータが“1”,“2”,“5”,
“6”の場合である。また、ラッチ回路LAT(A)に
ローレベルがラッチされる場合は、メモリセルのデータ
が“0”,“3”,“4”,“7”である場合である。
【0194】ラッチ回路LAT(A)のデータ出力する
時、図6に示すクロックドインバータ回路61pの信号
Osac、Osacbがイネーブルとなる。このため、
出力端にはメモリセルのデータが“0”,“3”,
“4”,“7”であると“1”データが出力され、
“1”,“2”,“5”,“6”であると“0”データ
が出力される。
【0195】上記第1の実施の形態では、第3ページの
リードにおいて、リード動作を7回行なっていた。これ
に対して、第3の実施の形態では第3ページのリード動
作が4回で終了する。このため、第3ページのリード動
作を高速化できる。 (イレーズ及びイレーズベリファイ)イレーズ及びイレ
ーズベリファイ動作は第1の実施の形態と全く同じであ
る。すなわち、消去動作を行なうとメモリセルのデータ
は“0”となり、アドレスに第1、第2、第3ページの
何れを指定しても読み出されるデータは“1”となる。
【0196】上記第3の実施の形態によれば、第(n−
1)ページ書き込み後、第nページ書き込みを行なう場
合、外部から入力されれるデータをそのまま書き込ま
ず、この外部より入力されるデータと内部に既に書き込
まれているデータとの間で、論理を取った値を書き込ん
でいる。このため、第nページ時のリード動作では、
(2−1)回ワード線のレベルを換えてリード動作を
行なう必要がなく、(2/2)回で読み出すことが可
能となる。したがって、リード動作回数を低減でき、リ
ード動作を高速化できる。
【0197】上記第3の実施の形態では、図36に示す
ように外部から入力される書き込みデータ、及び読み出
されるデータを定義したため、読み出し動作において、
第1ページでは1回、第2ページでは2回、第3ページ
では4回の合計7回のリード動作を行なったが、これに
限定されるものではない。
【0198】例えば図41に示すように、外部から入力
される書き込みデータ及び読み出されるデータを定義し
た場合、読み出し動作において、第1ページは3回、第
2ページは2回、第3ページは3回のリード動作を行な
えばよい。この場合、3ページを読むトータルの回数
は、図36に示す場合の7回から8回に増加してしま
う。しかし、最もアクセス時間の長い第3ページのリー
ド動作を4回から3回とすることができるため、トータ
ルのリード動作時間を短縮できる。
【0199】尚、第1乃至第3の実施の形態において、
1セルには8値、3ビットのデータを記憶したが、1セ
ルに16値、4ビットのデータを記憶することも可能で
ある。この場合、第3ページで決めた8つの閾値電圧の
間に1ずつ新たな閾値電圧を決め、上述したと同様のプ
ログラム動作及びプログラムベリファイ動作を行なえば
良い。したがって、本発明は、セルに記憶するビット数
が増加した場合においても、データ記憶回路及びこれを
制御する動作を殆ど変更する必要がない利点を有してい
る。
【0200】また、第1、第2の実施の形態は、NAN
D型セルを用いたが、これに限定されるものではなく、
NOR型セル、DINOR型セル等を用いることも可能
である。
【0201】その他、この発明は上記実施例に限定され
るものではなく、発明の要旨を変えない範囲で種々変形
実施可能なことは勿論である。
【0202】
【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、チップ内におけるラッチ回路が占める面積の増大を
防止するとともに、書き込みベリファイに要する時間の
増大を抑えることが可能な記憶装置とその記憶方法を提
供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の動作を概略的に示す図。
【図2】本発明の第1の実施の形態を示すものであり、
不揮発性半導体記憶装置の概略構成を示す構成図。
【図3】図2に示すメモリセルアレイ及びビット線制御
回路を示す回路図。
【図4】図4(a)(b)はメモリセル及び選択トラン
ジスタを示す断面図。
【図5】NANDセルの一例を示す断面。
【図6】本発明の第1の実施の形態を示すものであり、
図3に示すデータ記憶回路の一例を示す回路図。
【図7】本発明の第1の実施の形態を示すものであり、
メモリセルのデータとメモリセルの閾値電圧との関係を
示す図。
【図8】メモリセルのデータとメモリセルの閾値電圧と
の関係を示す図。
【図9】プログラム時の動作を示すタイミングチャー
ト。
【図10】最高値を有するセルのベリファイ動作を示す
タイミングチャート。
【図11】中間の閾値を持つセルのベリファイ動作を示
すタイミングチャート。
【図12】最高値を有するセルのリード動作を示すタイ
ミングチャート。
【図13】図13(a)は第1ページのプログラムベリ
ファイ動作を示し、図13(b)(c)は第2ページの
プログラムベリファイ動作を示す図。
【図14】図14(a)(b)は第3ページの最も高い
閾値を持つセルのプログラムベリファイ動作を示す図。
【図15】図15(a)(b)は第3ページの中間の閾
値を持つセルのプログラムベリファイ動作を示す図。
【図16】図16(a)(b)は第3ページの中間の閾
値を持つセルのプログラムベリファイ動作を示す図。
【図17】図17(a)(b)は第3ページの中間の閾
値を持つセルのプログラムベリファイ動作を示す図。
【図18】図18(a)は第1ページのリード動作を示
し、図18(b)(c)は第2ページのリード動作を示
す図。
【図19】図19(a)乃至(d)は第3ページのリー
ド動作を示す図。
【図20】イレーズ動作を示すタイミングチャート。
【図21】イレーズベリファイ動作を示すタイミングチ
ャート。
【図22】本発明の第2の実施の形態を示すものであ
り、メモリセルアレイ及びビット線制御回路の構成を示
す回路図。
【図23】本発明の第2の実施の形態を示すものであ
り、データ記憶回路と差動アンプ部及びロジック回路を
示す構成図。
【図24】本発明の第2の実施の形態を示すものであ
り、図23に示すデータ記憶回路の一例を示す回路図。
【図25】本発明の第2の実施の形態を示すものであ
り、図23に示す差動アンプ部及びロジック回路を示す
回路図。
【図26】差動アンプ部とリファレンス電位の関係を示
す図。
【図27】本発明の第2の実施の形態におけるデータと
閾値電圧の関係を示す図。
【図28】本発明の第2の実施の形態におけるデータと
閾値電圧の関係を示す図。
【図29】プログラム動作を示すタイミングチャート。
【図30】プログラムベリファイ及びリードの動作を示
すタイミングチャート。
【図31】差動アンプに供給されるレファレンス電位を
示す図。
【図32】メモリセルのデータとレファレンス電位との
関係を示す図。
【図33】図33(a)(b)(c)はベリファイ動作
を示す図。
【図34】図34(a)(b)(c)はリード動作を示
す図。
【図35】イレーズ動作を示すタイミングチャート。
【図36】本発明の第3の実施例を示すものであり、メ
モリセルのデータとメモリセルの閾値電圧との関係を示
す図。
【図37】本発明の第3の実施例における第2ページの
プログラム動作を示す図。
【図38】本発明の第3の実施例における内部入力デー
タ変換動作を示す図。
【図39】図39(a)(b)はそれぞれ第1ページ、
第2ページのリード動作を示す図。
【図40】図40は第3ページのリード動作を示す図。
【図41】本発明の第3の実施例を示すものであり、メ
モリセルのデータとメモリセルの閾値電圧との他の関係
を示す図。
【符号の説明】
1…メモリセルアレイ、 2…ビット線制御回路、 310、311〜312112…データ記憶回路、 3…カラムデコーダ、 4…データ入出力バッファ、 6…ワード線制御回路、 7a…制御信号発生回路、 7b…制御電圧発生回路、 BLi、BLi+1…ビット線、 LAT(A)、LAT(B)…第1、第2のラッチ回
路、 LAT(C)、LAT(D)…ラッチ回路、 231…差動アンプ部、 232…ロジック回路、 241o…トランジスタ、 241p…クロックドインバータ回路、 253…制御電圧発生回路、 DFA1〜DFA7…差動アンプ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5B025 AA03 AB01 AC01 AD00 AD04 AD05 AE05 5F001 AA01 AB08 AD53 AE02 AE03 AE08 AF20 AG40 5F083 EP02 EP23 EP32 EP76 ER21 GA01 GA09 GA30 LA04 LA05 LA07 LA10 LA12 LA16 ZA21

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 状態“1”、状態“2”、…状態“n”
    (3≦n、nは自然数)からなるn個の状態を有する記
    憶素子において、 第1の記憶論理レベルのデータあるいは第2の記憶論理
    レベルのデータをデータ記憶回路に記憶し、 前記データ記憶回路のデータが第1の記憶論理レベルの
    データである場合、前記記憶素子の状態“i−1”を
    “i”とし、前記データ記憶回路のデータが第2の記憶
    論理レベルのデータである場合、前記記憶素子の状態を
    維持し、 前記記憶素子の状態が、“i”の状態に達しており、か
    つ前記記憶素子の状態が“1”〜“i”である場合、前
    記データ記憶回路のデータを第1の記憶論理レベルから
    第2の記憶論理レベルに変え、 前記記憶素子の状態が、“i”の状態に達しておらず、
    かつ前記記憶素子の状態が“1”〜“i”である場合、
    前記データ記憶回路のデータを第1の記憶論理レベルに
    保持し、 前記記憶素子の状態が、“i+1”〜“n”である場
    合、前記データ記憶回路のデータを保持し、 前記記憶素子の状態が“i−1”から“i”の状態に遷
    移する際、前記記憶素子の状態は一時的にでも“i+
    1”から“n”の状態とならないように前記記憶素子の
    状態を制御する制御ステップを有することを特徴とする
    記憶装置の記憶方法。
  2. 【請求項2】 前記制御ステップは、外部から入力され
    る第1のデータに応じて、前記記憶素子を状態“1”又
    は状態“n/2”に設定し、外部から入力される第2の
    データに応じて、前記記憶素子を状態“n/4”、及び
    状態“3n/4”に設定し、外部から入力される第3の
    データに応じて、前記記憶素子を状態“n/8”、“3
    n/8”、“5n/8”、“7n/8”に設定し、外部
    から入力される第kのデータに応じて、前記記憶素子を
    状態“n/2k”、“3n/2k”、“5n/2k”、…
    “(2k-1)n/2k”に設定することを特徴とする請
    求項1記載の記憶装置の記憶方法。
  3. 【請求項3】 前記記憶方法において、“i”(i≦n
    iは自然数)の状態に達しているかベリファイ動作を行
    なう時、状態“i”よりより十分に小さい状態でのベリ
    ファイ動作を省略することを特徴とする請求項1記載の
    記憶装置の記憶方法。
  4. 【請求項4】 前記記憶方法において、“i”(i≦
    n、iは自然数)の状態に達しているかベリファイ動作
    を行なう時、状態“i”よりより十分に大きい状態での
    ベリファイ動作を省略することを特徴とする請求項1記
    載の記憶装置の記憶方法。
  5. 【請求項5】 前記記憶素子は、不揮発性半導体記憶素
    子からなることを特徴とする請求項1記載の記憶装置の
    記憶方法。
  6. 【請求項6】 前記n個の状態は、前記不揮発性半導体
    記憶素子の閾値の違いにより区別されることを特徴とす
    る請求項1記載の記憶装置の記憶方法。
  7. 【請求項7】 状態“1”、状態“2”、…状態“n”
    (3≦n、nは自然数)からなるn個の状態を有する記
    憶素子と、 前記記憶素子の状態を読み出す読み出し回路と、 前記読み出し回路によって読み出された前記記憶素子の
    状態が“1”〜“i”の場合に、第1の読み出し論理レ
    ベルのデータを記憶し、前記読み出し回路によって読み
    出された前記記憶素子の状態が“i”〜“n”の場合
    に、第2の読み出し論理レベルのデータを記憶する第1
    のデータ記憶回路と、 第1の記憶論理レベルのデータあるいは第2の記憶論理
    レベルのデータを記憶する第2のデータ記憶回路と、 前記第2のデータ記憶回路のデータが第1の記憶論理レ
    ベルのデータである場合、記憶素子の状態“i−1”を
    “i”の状態に遷移させ、前記第2のデータ記憶回路の
    データが第2の記憶論理レベルのデータである場合、前
    記記憶素子の状態を維持する書き込み回路と、 前記記憶素子の状態が、“i”の状態に達しており、か
    つ前記第1のデータ記憶回路のデータが第1の読み出し
    論理レベルである場合に、前記第2のデータ記憶回路の
    データを第1の記憶論理レベルから第2の記憶論理レベ
    ルに変え、 前記記憶素子の状態が、“i”の状態に達しておらず、
    かつ前記第1のデータ記憶回路のデータが第1の読み出
    し論理レベルである場合に、前記第2のデータ記憶回路
    のデータを保持し、 前記第1のデータ記憶回路のデータが第2の読み出し論
    理レベルである場合、前記第2のデータ記憶回路のデー
    タを保持する、書き込みベリファイ回路と、 前記記憶素子の状態が“i−1”から“i”の状態に遷
    移する際、前記記憶素子の状態が一時的にでも“i+
    1”から“n”の状態にならないように前記記憶素子の
    状態を制御する書き込み状態制御回路とを具備すること
    を特徴とする記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記第2の記憶回路に接続され、外部よ
    りデータを取り込むための第1の転送手段と、 前記第2の記憶回路に接続され、前記記憶素子から読み
    出されたデータを外部に転送するための第2の転送手段
    とをさらに具備することを特徴とする請求項7の記憶装
    置。
  9. 【請求項9】 前記記憶素子は、不揮発性半導体記憶素
    子であることを特徴とする請求項7記載の記憶装置。
  10. 【請求項10】 状態“1”、状態“2”、…状態
    “n”(3≦n、nは自然数)のn個の状態を有する記
    憶素子と、 前記記憶素子より出力された電位が第1の入力端にそれ
    ぞれ供給され、第2の入力端に異なる電位のリファレン
    ス電位がそれぞれ供給される少なくとも1つの差動増幅
    器を有する差動増幅回路部と、 前記少なくとも1つの差動増幅器の出力信号を選択的に
    取り出すロジック回路と、 前記記憶素子に接続され、第1の記憶論理レベルのデー
    タあるいは第2の記憶論理レベルのデータを記憶するデ
    ータ記憶回路と、 前記データ記憶回路のデータが第1の記憶論理レベルの
    データである場合、前記記憶素子の状態“i−1”を
    “i”とし、前記データ記憶回路のデータが第2の記憶
    論理レベルのデータである場合、前記記憶素子の状態を
    維持し、前記記憶素子の状態が“i”の状態に達してお
    り、かつ前記記憶素子の状態が“1”〜“i”である場
    合、前記データ記憶回路のデータを第1の記憶論理レベ
    ルから第2の記憶論理レベルに変え、前記記憶素子の状
    態が、“i”の状態に達しておらず、かつ前記記憶素子
    の状態が“1”〜“i”である場合、前記データ記憶回
    路のデータを第1の記憶論理レベルに保持し、前記記憶
    素子の状態が“i+1”〜“n”である場合、前記デー
    タ記憶回路のデータを保持し、前記記憶素子の状態が
    “i−1”から“i”の状態に遷移する際、前記記憶素
    子の状態が一時的にでも“i+1”から“n”の状態に
    ならないように前記記憶素子の状態を制御する制御回路
    とを具備することを特徴とする記憶装置。
  11. 【請求項11】 前記データ記憶回路に接続され、前記
    データ記憶回路に記憶されたデータをロジック回路に転
    送する第1の転送手段と、 前記データ記憶回路に接続され、前記複数の差動増幅器
    及びロジック回路により検出されたデータを前記データ
    記憶回路に転送する第2の転送手段とをさらに具備する
    ことを特徴とする請求項10記載の記憶装置。
  12. 【請求項12】 前記データ記憶回路は一対の記憶素子
    ごとに配置され、前記差動回路部及び前記増幅回路部及
    び前記ロジック回路は複数の前記記憶素子に選択的に接
    続されることを特徴とする請求項11記載の記憶装置。
  13. 【請求項13】 前記記憶素子は、負の閾値を有する不
    揮発性半導体記憶素子からなることを特徴とする請求項
    11記載の記憶装置。
  14. 【請求項14】 n値の状態を有する記憶素子におい
    て、外部から入力される第1の論理レベルあるいは第2
    の論理レベルのデータをデータ記憶回路に記憶し、記憶
    素子より読み出される第1の論理レベルあるいは第2の
    論理レベルによって、データ記憶回路に記憶されている
    論理レベルを変更し、この変更されたデータ記憶回路に
    記憶されている論理レベルが第1の論理レベルの場合、
    前記記憶素子の状態を変え、第2の論理レベルの場合、
    前記記憶素子の状態を維持することを特徴とする記憶装
    置の記憶方法。
  15. 【請求項15】 kビットn(=2)値の状態を有す
    る記憶素子において、(2−1)/k以上のうちで一
    番小さい整数により、n値の状態から1ビットの状態を
    区別するように記憶素子の状態を決めることを特徴とす
    る記憶装置の記憶読み出し方法。
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