JP2000059209A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2000059209A JP10222637A JP22263798A JP2000059209A JP 2000059209 A JP2000059209 A JP 2000059209A JP 10222637 A JP10222637 A JP 10222637A JP 22263798 A JP22263798 A JP 22263798A JP 2000059209 A JP2000059209 A JP 2000059209A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クロック同期形メモリ等で使用されるクロッ
ク再生回路において外部クロックを一時的に遮断して、
再度外部クロックから内部クロックを発生する際の同期
時間が短くすること。 【解決手段】 外部クロックを入力して複数の参照クロ
ックを発生する遅延回路列と、外部クロックと複数の参
照クロックの位相を比較して同期に必要な遅延回路の遅
延段数を検出する制御回路を持つクロック再生回路で、
同期に必要な遅延段数を保持するラッチ手段を設ける。 【効果】 一旦同期を検出して同期に必要な遅延段数が
ラッチ回路に保持してしまえば、一時的に外部クロック
の供給を止めても短時間で内部クロックが発生できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部から入力され
るクロック信号に同期した内部クロック信号を発生する
クロック発生回路を有する半導体装置に関する。特に、
外部から入力されるクロック信号と内部クロック信号と
のタイミング誤差が微小である内部クロック信号を発生
するクロック発生回路と、そのクロック発生回路により
形成されたクロック信号の半導体装置への応用に関す
る。
【0002】
【従来の技術】この明細書で参照される文献は以下の通
りである。 [文献1]:1993 International Solid-Stat
e Circuit Conference Digest of Technical Papers, p
p. 160-161, Feb. 1993。 [文献2]:1994 Internatio
nal Solid-State Circuit Conference Digest of Techn
ical Papers, pp. 300-301, Feb. 1994。 [文献3]:
特開平8−237091号公報。 [文献4]:特開平1
0−126254号公報。以上の文献は以下文献番号で
参照される。
【0003】外部クロックに位相の同期した内部クロッ
クを発生するクロック再生回路としては、文献1及び文
献2に示されているように、フェーズ・ロックト・ルー
プ(PLL)あるいはディレイ・ロックト・ループ(D
LL)が知られている。これらの回路は、フィードバッ
ク回路であるため、位相を合わせるまでに比較的長い時
間を要する。
【0004】位相を合わせるまでの時間を短縮するクロ
ック再生回路としては文献3及び文献4に記載される、
いわゆるシンクロナス・ミラー・ディレイ(SMD)と
呼ばれるものが知られている。
【0005】文献3に記載のSMDは、基準クロックか
ら複数の参照クロック列を作る第1遅延回路列と、基準
クロックと比較して位相の近い複数の参照クロック列の
一つのクロックを選び出して通過させる制御回路と、制
御回路で選ばれた一つのクロックに第1遅延回路列で通
過した段数と同じ遅延を加算して内部クロックとして出
力する第2遅延回路を持つ。このためSMDの位相同期
の精度は遅延回路1段当たりの遅延時間で決まる。文献
3の図12,13には、SMDの第1遅延回路列の入力
部にSMDの遅延回路より小さな遅延時間の整数倍刻み
で調整を行う可変遅延回路を挿入することが記載され
る。この可変遅延回路の遅延時間は、遅延回路に入力さ
れる基準クロックとSMDの第2遅延回路列によって形
成された内部クロックと位相比較回路により帰還制御さ
れる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本願発明者等は、高速
なダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(DRA
M)として、外部から入力されるクロック信号に同期し
てデータの授受を行うシンクロナスDRAM(SDRA
M)について検討した。その動作周波数を向上させクロ
ックサイクル時間を短縮していく上で、外部クロックが
入力されてからデータが出力されるまでのクロックアク
セス時間が問題となる。SDRAMから読み出されたデ
ータのセットアップ時間を確保するために、クロックア
クセス時間はクロックサイクル時間よりも十分短くなけ
ればならないためである。そのため、外部クロック信号
からSDRAM内の内部クロックを発生させるクロック
発生回路(またはクロック再生回路とも呼ぶ)が重要で
ある。
【0007】このような応用に対して求められる、クロ
ック発生回路の課題は以下の通りである。(1)SDR
AMを低消費電力モードとするため、外部クロックを一
時的に遮断して、再度外部クロックから内部クロックを
発生する際の同期時間が短いこと。(2)外部クロック
と内部クロックの同期誤差を低減しながら、なおかつ内
部クロックを発生するまでの同期時間が短いこと。
(3)クロック再生回路の低消費電力化。(4)回路規
模が小さく半導体基板上での面積が小さいこと。これに
対して、文献1や文献2に記載のDLL及びPLLで
は、内部クロックが高い精度で発生され(同期誤差が小
さい)、ジッタの問題も小さいという点に利点がある
が、内部クロックが再生されるまでの時間が比較的長
い。文献3の図12に記載の回路は、内部クロックを粗
調整するSMDと微調整する可変遅延回路の2つを持つ
ため、理想的に動作すれば内部クロックの同期誤差は小
さくなるなると思われる。しかし、この回路ではSMD
と微調整する可変遅延回路の2つがそれぞれに独立した
帰還経路を持つが、系の安定性について考慮されていな
い。
【0008】本願発明の目的の一つは、外部クロックと
内部クロックの同期誤差を低減しながら、クロック再生
回路の安定性を保ち、内部クロック発生までの同期時間
を低減することにある。
【0009】また、本願発明の他の目的の一つは、外部
クロックを一時的に遮断して、再度外部クロックから内
部クロックを発生する際の同期時間を短縮することにあ
る。
【0010】また、本願発明の更なる目的の一つは、ク
ロック再生回路の低面積化や低消費電力化を図ることで
ある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の代表的な本発明の構成は、外部クロックを受けて、前
記外部クロックに同期した内部クロックを発生するクロ
ック再生回路を有する半導体装置であって、前記クロッ
ク再生回路は、前記外部クロックが結合され第1基準ク
ロックを出力するための入力基準ノードと、前記入力基
準ノードにその初段が結合され、それぞれに位相の異な
る複数の参照クロックを出力するための複数の第1遅延
回路と、前記第1基準クロックと比較して前記複数の参
照クロックのうち最も位相の近い一つを検出することに
より同期に必要な所定の遅延段数を検出する比較回路
と、前記所定の遅延段数の情報を保持するラッチ回路を
持つ制御回路と、前記第1基準クロックがスイッチを介
して入力される入力ノードをそれぞれに持つ複数の第2
遅延回路と、前記第2遅延回路の最終段に結合され前記
内部クロックを出力するための出力基準ノードとを備
え、前記内部クロックは、前記制御回路で検出された前
記所定の遅延段数に対応する前記複数の第2遅延回路の
一つの前記入力ノードに前記第1基準クロックを入力し
て最終段まで伝搬させることで形成される。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に沿
って説明する。以下に述べる各ブロックを構成する回路
素子は、特に制限されないが、公知のCMOS(相補型
MOS)やバイポーラトランジスタ等の集積回路技術に
よって、単結晶シリコンのような1個の半導体基板上に
形成される。
【0013】<実施例1>本発明によるクロック再生回
路の構成例を図1に示す。図1に示すクロック再生回路
は、外部クロックと内部クロックとのタイミング誤差を
自動的に判別してその差を微調整しながら、外部クロッ
クをその周期に応じて遅延させて内部クロックを発生さ
せることが特長である。このクロック再生回路は、粗調
整用クロック再生回路CTC(以下粗調整回路と呼ぶ)及
び微調整用クロック再生回路FTC(以下微調整回路と呼
ぶ)で構成されている。粗調整回路CTCはクロック入力
バッファCIB0及びCIB、クロックバッファCB0、CB1、CB2
及びCB3、遅延モニタDMC、進行方向遅延回路列FDA、制
御回路MCC、逆方向遅延回路列BDA0、遅延時間微調整回
路FTD及びクロックドライバCIDで構成され、微調整回路
FTCは遅延時間微調整回路FTD、位相比較回路PC、制御信
号生成回路CSG、シフトレジスタSR、クロックドライバC
IDで構成されている。
【0014】[1-1.粗調整用クロック再生回路の構成]進
行方向遅延回路列FDAは、(m+1)個の遅延回路FDE0〜FDEm
が直列接続されており、それぞれ一方の入力端子が電源
電圧VCCに接続された2個のNAND回路の直列接続で構
成されている。DMCからFDAに入力されたクロックは遅延
回路を通過するたびに一定量の遅延(tD)が加算され、複
数の出力端子(NF0〜NFm)からそれぞれ遅延時間が等差
的に加算された複数の遅延クロック信号(複数の参照ク
ロック信号)を出力する。
【0015】制御回路MCCは、クロック入力バッファCIB
とそれぞれ遅延回路FDE0〜FDEmの出力NF0〜Nfmが入力さ
れた(m+1)個のアービタARB0〜ARBmと、それぞれ隣接す
る2個のアービタの出力の論理をとるm個の論理回路PCL1
〜PCLmと、論理回路PCL1〜PCLmの出力結果を保持するm
個のラッチ回路LB1〜LBmにより構成されている。アービ
タARB0〜ARBmのそれぞれは、通常RSラッチと呼ばれる
回路を例示したが、その機能は第1及び第2入力から入
力されるクロック信号の位相を比較して所定の位相条件
に従った出力を発生するものである。即ち、第1入力を
基準クロック(例えば図1ではNCI1)として第2入力に
入力するクロック(例えば図1ではNF0)の位相が進ん
でいる場合には所定レベル(図1のアービタではハイレ
ベル)を出力する。逆に第2入力に入力するクロックの
位相が遅れている場合には、第1入力に入力した基準ク
ロックをそのまま通過させて出力する(図1のアービタ
では反転した基準クロックが通過する)ものである。入
力する2つのクロック信号の位相が完全に一致しても回
路のわずかな非対称から上述した2通りのいずれかに動
作は確定する。
【0016】論理回路PCL1〜PCLmのそれぞれは、2入力
NAND回路の入力の片側から反転した信号を入力させ
たものである。第1入力と第2入力(インバータのつい
た側の入力)に入力される信号のレベルが同じ時には常
に所定のレベル(例えば図1ではハイレベル)を出力す
る。また、第1入力と第2入力に入力される信号が同じ
位相で周期的にハイとロウレベルに変化する内部基準ク
ロック信号であっても常に出力は所定レベルとなる。第
1入力が常にハイレベルで第2入力がロウレベルの時に
は、第2入力がロウレベルの期間だけロウレベルを出力
する。
【0017】ラッチ回路LB1〜LBmのそれぞれは、伝達ゲ
ート及び2入力NORの一方とクロック・インバータを接続
して構成したラッチからなる。即ち、2入力NORの他方を
ロウレベルとしているとき基準クロック(例えば図1で
はNCI2T)がハイレベルのときには、論理回路PCL1〜PCL
mのそれぞれの出力信号をラッチ回路に取り込み、内部
基準クロックがロウレベルの時には、その取り込んだ信
号レベルを保持する。また、LB1〜LBmには共通にリセッ
ト信号PORが供給される。電源投入時等に、ラッチ情報
をすべて消去するためである。なお、この図の伝達ゲー
トに示されるように、この明細書の図面のトランジスタ
記号ではP形MISFETのゲートには○印を付し、N
形MISFETにのゲートにはなにもつけないことにす
る。
【0018】制御回路MCCの動作を説明する。一例とし
て、i番目のアービタARB(i-1)に入力するNF(i-1)が基準
クロックNCI1よりも進んでいて(i+1)番目のアービタARB
iに入力するNFiが基準クロックNCI1よりも遅れていると
する。このとき、ARB0〜ARB(i-1)の出力NQ0〜NQ(i-1)に
は全てハイレベルが出力され、ARBi〜ARBmの出力NQi〜N
Qmは全て基準クロックNCI1を反転してそのまま通過させ
ることになる。つまり、ARB0〜ARBmの中で隣接する2個
のアービタの出力で異なるものはARB(i-1)とARBiの組と
なる。従ってARB(i-1)とARBiの出力NQ(i-1)とNQiを受け
る論理回路PLCiはその出力NRiからNQiの出力である基準
クロックNCI1を反転した信号を出力する。論理回路PLC1
〜PLC(i-1)及びPLC(i+1)〜PLCmはそれぞれの2つの入力
に同じレベルの信号が入力されるので全てその出力NR1
〜NR(i-1)及びNR(i+1)〜NRmからハイレベルを出力する
ことになる。さらに、NRiだけがロウレベルを出力し、
この信号を受けるラッチ回路LBiはその出力NMiから反転
したハイレベルの信号を出力する。論理回路LB1〜Lb(i-
1)及びLB(i+1)〜LBmはそれぞれの入力にハイレベルが入
力されるので全てその出力NM1〜NM(i-1)及びNM(i+1)〜N
Mmからロウレベルを出力することになる。
【0019】以上の制御回路MCCに必要な機能をまとめ
ると以下のようになる。即ち、MCCは位相がそれぞれ異
なる複数の遅延クロック信号を受ける複数の第1入力端
子(NF0〜NFm)と、基準クロック(NCI1)を受ける第2
の入力端子と、前記複数の第1入力端子に対応させて設
けられた複数の第1出力端子(NM1〜NMm)を持つ。そし
て、それぞれ位相の異なる複数の遅延クロック信号と基
準クロックとの位相を比較して、基準クロックの位相に
最も近い位相を持つ複数の遅延クロック信号の少なくと
も一つを選択して、選択された遅延クロックが入力する
第1入力端子に対応する第1出力端子にはハイレベルを
出力し、それ以外の複数の第1出力端子からはロウレベ
ルを出力する。更に、位相の比較結果をラッチして、リ
セットされない限り、複数の第1出力端子からの信号
は、固定される。
【0020】逆方向遅延回路列BDA0は、m+1個の遅延回
路BDE0〜BDEmが直列接続されたものである。BDE0〜BDEm
の各々は、出力端が無接続(開放)の第1NAND回路と、
直列接続された第2及び第3NAND回路を共通に含む。第
1NAND回路の一方の入力は第2NAND回路の出力に接続さ
れる。また第3NAND回路の一方の入力は前段の遅延回路
の出力に接続される。第1及び第3NAND回路の他方の入
力はVccに接続される。
【0021】BDE0の第2NAND回路の他方の入力端子はV
ccに接続されるのに対して、他の遅延回路BDE1〜BDEm
には第4NAND回路の出力が結合される。第4NAND回路の
一方の端子には、共通にクロックバッファCB3から内部
基準クロックNCI3が供給され、他方の端子は、それぞれ
MCCの出力ノードNM1〜NMmに接続される。即ち、第4NAN
D回路は一種のスイッチの役割をしており、MCCが同期検
出をするとNM1〜NMmの一つだけがハイレベルを出力する
ので、その同期ステージに相当する一つの遅延回路から
内部基準クロックNCI3が入力され、そこから順に伝搬し
て所定段数の遅延が加算されてBDE0から出力される構成
になっている。
【0022】このような構成にすることで、少ないゲー
ト数で遅延回路の遅延時間のマッチングがとれる。すな
わち、FDAとBDA0のそれぞれに用いる遅延回路は、進行
方向と逆方向との遅延が等しくなるように、1段当たり
の遅延時間が同等な同じ回路形式のものを用いている。
BDA0は複数の入力端子を持ち、クロックが入力された端
子の位置により異なる遅延が加えられたクロックを出力
し、FDAで加えられた遅延時間と同じ遅延が加算され
る。
【0023】図3〜8にクロック入力バッファ及びクロ
ックドライバの具体例を示す。クロック入力バッファCI
B0は、図3に示すように一方の入力端子にクロック入力
信号CKEを入力したNAND回路と、インバータの直列接続
により構成できる。クロック入力バッファCIBは、図4に
示すように、駆動能力を高めるためのカスケードドライ
バと呼ばれるインバータ列により構成できる。クロック
ドライバCIDは、例えば図5に示すように駆動能力を高め
るためのインバータ列の直列接続により構成できる。ク
ロックバッファCB0、CB1、CB2及びCB3は、図6、図7、図
8にそれぞれ示すように、クロック制御信号EN0、EN1、E
N2が入力されるNAND回路と、駆動能力を高めるためのカ
スケードドライバと呼ばれるインバータ列により同じよ
うに構成できる。このように構成することにより駆動能
力を高めるためのカスケードドライバと呼ばれるインバ
ータ列を短くしてクロックバッファにおける遅延時間を
短縮でき、またクロック制御信号に応じて基準クロック
をNAIからNCI0及びNCI1、NCI2T、NCI3に分配できる。
【0024】図9に示す遅延モニタDMCは、クロック入
力バッファCIB0及びCIB、クロックバッファCB0、CB1、C
B2、CB3、進行方向遅延回路列FDAを構成する遅延回路FD
E0〜FDEm及び逆方向遅延回路列BDAを構成する遅延回路B
DE0〜BDEm、遅延時間微調整回路FTD、クロックドライバ
CIDなどの遅延時間をモニタする回路である。DMCは、CI
B0のダミー回路DCIB0と、CIBのダミー回路DCIBと、CB
0、CB1、CB2、CB3のいずれか1個に対するダミー回路DC
Bと、遅延回路FDE0〜FDEm及びBDE0〜BDEmのダミー回路D
DAと、FTDのダミー回路DFTD、CIDのダミー回路DCIDとで
構成されている。ここで、ダミー回路とは対応する回路
の遅延時間を等価的に作りだす回路である。ダミー回路
DCIB0、DCIB、DCB、DDAのNAND回路の一方の入力端子に
は電源電圧レベルVCCが入力される。ダミー回路DCIB、D
CB及びDCIDは、出力を開放にしたインバータを負荷とし
て接続したインバータ列により構成している。このよう
に構成することにより、占有面積の大きなCIBやCB0、CB
1、CB2、CB3、CIDと同じゲート幅の大きなMOSトラン
ジスタにより構成したインバータを用いなくてもカスケ
ードドライバの遅延時間をモニタできる。さらに、ダミ
ー回路DCBで出力を開放にしたNAND回路は、図1に示すク
ロック入力バッファCIBの出力に接続されたゲート容量
に等しい負荷容量である。
【0025】[1-2.微調整用クロック再生回路の構成]次
に、微調整回路FTCの構成を説明する。遅延時間微調整
回路FTDは、例えば図2に示すように、電流制御型イン
バータINFとINBが直列接続されている。FTDは、多段階
に微少な遅延時間が可変できる可変遅延回路である。電
流制御型インバータINBはドレインで互いに接続されたP
型MOSトランジスタPTB0とN型MOSトランジスタNTB0のゲ
ートに逆方向遅延回路列BDA0の出力である遅延クロック
(例えば図1ではNB0)を入力し、P型MOSトランジスタP
TB0のソースと電源の間に電流制御用P型MOSトランジス
タ列PTBAが接続され、電流制御用N型MOSトランジスタNT
B0のソースと電源の間にN型MOSトランジスタ列NTBAが接
続される。PTBAはゲート寸法の異なるn個のP型MOSFET P
TB1〜PTBnを大きい順に並列接続して構成されている。N
TBAもPTBAと対をなすようにゲート寸法の異なるn個のN
型MOSFET NTB1〜NTBmを大きい順に並列接続して構成さ
れる。PTB1〜PTBm及びNTB1〜NTBmのゲートには制御信号
QB1〜QBn(後述するシフトレジスタSRから供給される)
から発生する相補の信号がそれぞれ入力され、ある一組
のP型及びN型MOSFETが選択されてオンする。これによ
り、tdyの時間刻みでn段階に遅延時間が調整できる。電
流制御型インバータINFもINBと同様に構成されm段階に
遅延時間が調整できる。特に制限されないが、INFやINB
における、遅延時間の刻み幅tdyは粗調整回路CTCの1段
あたりの遅延回路の遅延時間の約1/10にされる。好
ましくは、1/10〜1/20が妥当な範囲である。
【0026】一例としてシフトレジスタ出力QBjとQFiだ
けがハイレベルで、他はロウレベルとする。このとき、
INBでは一組のPTBjとNTBjが選択されてオンし、INFでは
一組のPTFiとNTFiが選択されてオンして、FDAの遅延回
路FDE0〜FDEm及びBDAの遅延回路BDE0〜BDEmにおける遅
延時間とは異なる遅延時間を生成することができる。
【0027】位相比較回路PCは、例えば図10に示すよ
うに、ダミー回路DCIB0、進行方向遅延回路列FDAを構成
する遅延回路FDE0〜FDEm及び逆方向遅延回路列BDA0を構
成する遅延回路BDE0〜BDEmのダミー回路DDA及びDDA1、
遅延時間微調整回路FTD0及びFTD1、2個のインバータが
直列接続された3組の波形整形用遅延回路、2個のアー
ビタABP0及びABP1、さらに2個のラッチ回路LA0及びLA1
により構成されている。
【0028】アービタABP0及びABP1のそれぞれは、通常
RSラッチと呼ばれる回路と同一のものを例示した。ア
ービタABP0の一方の入力端子にはチップ内部基準クロッ
クCLKRからダミー回路DDA1、遅延時間微調整回路FTD0及
び波形整形用遅延回路を通じた出力NPC0を接続し、他方
の入力端子には内部クロックCLKIからクロック入力バッ
ファDCIB0、ダミー回路DDA、遅延時間微調整回路FTD0及
び波形整形用遅延回路を通じた出力NPC1を接続する。ま
た、アービタABP1の一方の入力端子はノードNPC0を接続
し、他方の入力端子には内部クロックCLKIからクロック
入力バッファDCIB0、ダミー回路DDA、遅延時間微調整回
路FTD1及び波形整形用遅延回路(2個のインバータ)を
通じた出力NPC2を接続する。さらに、ノードNPC0の負荷
容量と同じになるように、ノードNPC1及びNPC2のそれぞ
れには一方の入力端子を接地電圧レベルVSSに接続し、
出力端子を開放にしたNAND回路がそれぞれ接続されてい
る。ラッチ回路LA0及びLA1のそれぞれは通常RSラッチ
と呼ばれる回路であり、ショットパルス信号を除去する
ために2個のNOR回路の出力端子にそれぞれインバー
タを2段直列接続してその出力端子をそれぞれ襷掛けし
た構成のものを例示した。
【0029】図10に例示したダミー回路DDA1は、ダミ
ー回路DDAでも同じ回路が使用される。DDAではDDA1でEN
3が入力されているノードがVccとなっている点が異
なる。DDA1のクロック制御信号EN3は例えば既知のクロ
ックカウンタの出力信号であり、初期状態ではロウレベ
ルである。しかし、外部クロックCLKEから図1に示すク
ロック再生回路を通じて出力された内部クロックCLKIが
クロックカウンタに入力されるとクロック制御信号EN3
はロウレベルからハイレベルに変化して、チップ内基準
クロックCLKRがノードNPC0に出力される。このとき、内
部クロックCLKIもNPC1及びNPC2に出力されるので、図1
0に示す位相比較回路PCは内部クロックCLKIが出力され
てから位相比較動作を始める。これにより、粗調整回路
CTCとの競合を防止する。
【0030】二つの遅延時間微調整回路FTD0及びFTD1
は、それぞれ図2に示したFTDと同様の回路が使用され
る。但し、FTD0とFTD1とは異なる電流制御用MOSトラン
ジスタの組が選択された状態に設定する。即ち、FTD0及
びFTD1はそれぞれ異なる遅延時間を生成するよう設定し
ておく。設定は設計において配線によりゲートの制御信
号を所定の電位に接続することで行う。完成した後に、
更に微調整の必要があれば、ヒューズ等で選択できるよ
うすると良い。第1の遅延回路の一方にチップ内部基準
クロック(例えば図1ではCLKR)が入力し、第1の遅延
回路の他方と第2の遅延回路に内部クロックCLKIを入力
する。
【0031】一例とし、遅延時間微調整回路FTD1におけ
る遅延時間の方がFTD0における遅延時間よりもΔtdzだ
け大きいとする。このΔtdzは位相比較器PCの時間不感
帯幅(即ち位相の決定精度)であり適切な値を選ばなけ
ればならない。Δtdzを無限小にすると安定性が損なわ
れ、クロックジッタが発生するためである。このとき、
内部クロックCLKIからダミー回路DCIB0を通じた出力CLK
IRの立ち上がりがチップ内部基準クロックCLKRの立ち上
がりと比べてΔtdzより遅い場合、CLKRのハイレベルと
同じ期間ハイレベル信号NSL0を出力する。このときNFA0
はロウレベルを出力する。また、CLKIRの立ち上がりがC
LKRの立ち上がりと比べてΔtdzより早い場合、CLKIRの
ハイレベルと同じ期間ハイレベル信号NFA0を出力する。
このときNSL0はロウレベルを出力する。一方、CLKIRの
立ち上がりとCLKRの立ち上がりとを比べてその差(タイ
ミング誤差)がΔtdzより小さい場合、位相比較回路出
力NSL0及びNFA0はロウレベルのままである。
【0032】図11に示すシフトレジスタ制御信号生成
回路CSGは、1個のTフリップフロップT F/F、2個のD
フリップフロップD F/F、NAND回路、インバータ回路か
らなる論理回路、及び駆動能力を高めるため2個のイン
バータからなるカスゲードドライバにより構成される。
T F/Fは通常RSラッチを用いて構成したJKフリップフ
ロップと呼ばれる回路を用いて構成でき、入力端子を電
源電圧VCCに接続し、イネーブル信号端子をチップ内基
準クロックCLKRに接続することにより、外部クロック信
号CLKEが入力されてから偶数番目のクロックサイクル時
間にハイレベル、奇数番目のクロックサイクル時間にロ
ウレベルの信号を発生する。D F/Fは通常RSラッチを
2段縦続接続して前段と後段では逆位相のイネーブル信
号で動作するようにしたマスタスレーブフリップフロッ
プ、もしくはエッジトリガフリップフロップで構成でき
る。イネーブル信号端子をチップ内基準クロックCLKRに
接続することにより、外部クロック信号の遷移のときの
み出力の値が変化する。
【0033】一例とし、チップ内基準クロックCLKRと内
部クロックCLKIの位相が比較されて位相比較回路出力NS
L0がハイレベルになり、NAND回路の一方の入力端子に入
力されたとする。このとき、 NAND回路の他方の入力端
子には外部クロック信号CLKEが入力されてから偶数番目
のクロックサイクル時間にハイレベルとなるTフリップ
フロップの出力Qが接続されるので、外部クロック信号C
LKEが入力されてから偶数番目のクロックサイクルの時
の位相比較回路出力NSL0によりハイレベルのシフトレジ
スタ制御信号NSL1が生成される。さらに、この偶数番目
の内部基準クロックがロウレベルになってから次のクロ
ックサイクルのロウレベルになる間Dフリップフロップ
によりシフトレジスタ制御信号NSL1のレベルが保持され
るから、この信号NSL1と内部クロックCLKIのバー信号CL
KBがNAND回路に入力された結果、シフトレジスタ制御信
号NSL1が生成された次の外部クロックサイクルの間にハ
イレベルのシフトレジスタ制御信号NSL2が生成される。
以上の例と同様にして、位相比較回路出力NFA0からシフ
トレジスタ制御信号NFA1及びNFA2が生成される。
【0034】図12に示すシフトレジスタSRは、m個の
ラッチ回路で構成されるシフトレジスタSRF及びn個のラ
ッチ回路で構成されるSRBによって構成できる。シフト
レジスタSRF及びSRBのそれぞれは2組のラッチ回路から
なるマスタスレーブ型で、シフトレジスタ制御信号NSL1
及びNSL2、NFA1、NFA2をシフトレジスタ制御回路SRCに
入力して生成されるシフトレジスタ制御信号NSLF1及びN
SLF2、NFAF1、NFAF2、NSLB1及びNSLB2、NFAB1、NFAB2に
よって制御される双方向シフトレジスタである。またシ
フトレジスタSRF及びSRBのそれぞれは、シフトレジスタ
出力QF1〜QFm及びQB1〜QBnのなかでそれぞれ1個だけが
ハイレベルで残りの全てがロウレベルとなるように制御
できる。さらにシフトレジスタSRF及びSRBのそれぞれ
を、一方のシフトレジスタにおけるハイレベルを出力す
るシフトレジスタ出力の位置が変化しているとき、他方
のシフトレジスタにおけるハイレベルを出力するシフト
レジスタ出力の位置は変化しないように制御することが
できる。
【0035】一例として、シフトレジスタ出力QFi及びQ
B1がハイレベルで、その他のQF1〜QF(i-1)及びQF(i-1)
〜QFmとQB2〜QBnの全てがロウレベルである状態を初期
状態として考える。このとき、ロウレベルのシフトレジ
スタ制御信号NSL1及びNSL2とハイレベルのNFA1及びNFA2
がシフトレジスタSRに入力されると、シフトレジスタ制
御回路によりロウレベルのNSLF1、NSLF2、NSLB1、NSLB
2、NFAB1、NFAB2及びハイレベルのNFAF1、NFAF2を生成
することができる。これらにより外部クロックの2クロ
ックサイクルの時間で、シフトレジスタ出力QF(i+1)及
びQB1がハイレベルでその他のQF1〜QFi及びQF(i+2)〜QF
mとQB2〜QBnの全てがロウレベルになるようにすること
ができる。
【0036】一方、上記の例と同じ初期状態から、ロウ
レベルのNFA1及びNFA2とハイレベルのNSL1及びNSL2がシ
フトレジスタSRに入力されると、シフトレジスタ制御回
路によりロウレベルのNFAF1、NFAF2、NSLB1、NSLB2、NF
AB1、NFAB2及びハイレベルのNSLF1、NSLF2を生成するこ
とができる。これらにより外部クロックの2クロックサ
イクルの時間で、シフトレジスタ出力QF(i-1)及びQB1が
ハイレベルでシフトレジスタ出力QF1〜QF(i-2)及びQFi
〜QFmとQB2〜QBnの全てがロウレベルになるようにする
ことができる。
【0037】[1-3. 粗調整用クロック再生回路の動作]
図1のクロック再生回路は粗調整回路CTCと微調整回路F
TCの二つの回路で構成されるため、クロック制御信号EN
0、EN1及びEN2に応じて動作する部分が異なる。はじめ
に一例として、図13に従い、クロックサイクル時間が
比較的長く(遅延モニタの遅延時間tDMCに対してクロッ
クサイクル時間tCKが約2倍程度)、クロックイネーブ
ル信号CKEを投入してから3クロックサイクル遅れで内
部クロックCLKIが発生する粗調整回路CTCの基本動作を
説明する。
【0038】まず、電源投入時にハイレベルのパワーオ
ンリセット信号PORが入力されるのでラッチ回路LB1〜LB
mの出力NM1〜NMmの初期値はロウレベルである。このリ
セット信号PORは、クロック再生回路が搭載される半導
体装置に電源モニタを設け、外部から供給される動作電
源の電圧により所定のシーケンスで発出されるようにさ
れる。特に後述するSDRAM等で使用する際には、動作ク
ロックの大幅な変更動作等に備え、コマンド(SDRAMの
モード設定コマンド)でリセットできるようにしておく
と良い。装置の条件によっては専用のリセット端子(ピ
ン)を設けても良い。また、クロック制御信号EN0及びE
N1はハイレベル、EN2はロウレベルに設定される。
【0039】次に、クロックイネーブル信号CKEがハイ
レベルになると外部クロックCLKEはクロック入力バッフ
ァCIB0からノードCLKRに出力され、クロック入力バッフ
ァCIBを通じてノードNAIに出力される。このクロックの
数を例えばモードレジスタで設定された数だけ既知のカ
ウンタで数えてクロック制御信号EN0、EN1及びEN2を制
御し、ノードNAIのクロックを粗調整回路CTCの各部分に
分配する。
【0040】まず、チップ内部基準クロックCLKRはクロ
ック制御信号EN0がハイレベルであるのでクロックバッ
ファCB0からノードNCI0に出力され、遅延モニタDMCを通
じて進行方向遅延回路列FDAに入力されてFDA内の遅延回
路FDE0〜FDEmを順次伝播する。また、チップ内部基準ク
ロックCLKRはクロック制御信号EN1がハイレベルである
のでクロックバッファCB1からノードNCI1にも出力され
る。よって、遅延回路FDE0〜FDEmの出力ノードNF0〜NFm
のパルスが制御回路MCCに入力され、クロック入力バッ
ファCIB1の出力ノードNCI1のパルスと立ち上がりのタイ
ミングがアービタARB0〜ARBmにより比較される。
【0041】図13に示すように、基本動作では(i+1)
番目の遅延回路FDEiの入力NF(i-1)が立ち上がってから
出力NFiが立ち上がるまでにNCI1が2度目の立ち上がりと
なる。即ち、MCCにおける同期の検出は2クロックサイ
クルで行われる。i番目までのアービタARB0〜ARB(i-1)
では、入力NF0〜NF(i-1)がNCI1よりも先に立ちあがるた
め、入力NF0〜NF(i-1)がローレベルになるまでハイレベ
ルを保つ。一方、(i+1)番目以降のアービタARBi〜ARBm
では、入力NFi〜NFmがNCI1よりも後に立ちあがることに
より、出力NQi〜NQは、NCI1が立ち上がるとローレベル
になり、NCI1が立ち下がるとハイレベルになる。すなわ
ち、NCI1のパルスがそのままアービタARBi〜ARBmを通過
する。これらの出力が論理回路PCL1〜PCLmに入力され、
隣あったアービタの出力が比較される。その結果、論理
回路PCL1〜PCLmのうち、出力NQ(i-1)とNQiの出力を受け
るPCLiの出力NRiだけがロウレベルとなる。これら論理
回路PCL1〜PCLmの出力NR1〜NRmがラッチ回路LB1〜LBmに
入力されると、それらのうちラッチ回路LBiの出力NMiだ
けがハイレベルとなる。
【0042】以上のような動作を可能にするためには、
ノードNAIにおける1つ目のクロックがハイレベルの期
間、クロック制御信号EN0は必ずハイレベルでなければ
ならない。また、ノードNAIにおける2つ目のクロック
がハイレベルの期間、クロック制御信号EN1は必ずハイ
レベルでなければならない。さらに、論理回路PCL1〜PC
Lmの出力NR1〜NRmが発生した直後にラッチ回路LB1〜LBm
の出力を固定するために、ノードNAIにおける2つ目の
クロックがハイレベルからロウレベルになるとき、クロ
ック制御信号EN1をハイレベルからロウレベルにしなけ
ればならない。一度ラッチ回路LB1〜LBmの出力を固定す
れば、クロック制御信号EN0をロウレベルにして進行方
向遅延回路列FDAを停止しておくことができる。即ち内
部クロックの同期条件がMCCで一旦決定してしまえばラ
ッチ回路によりその情報は保持される。従って、FDA
や、MCCにもはや内部基準クロックを供給する必要性は
無い。従って、同期が確立したタイミングでEN0やEN1で
内部基準クロックの供給を停止すれば、FDAやMCCの多く
のゲート回路の動作が停止され低消費電力に大きく寄与
する。この点がMCCの出力にラッチ回路を用いることの
大きな特徴である。
【0043】一方、クロック制御信号EN2をロウレベル
に初期設定していたのは、FDAと制御回路MCCが動作中、
逆方向遅延回路列BDA0を停止しておくことができるから
である。しかし、ラッチ回路LB1〜LBmの出力が固定した
後は、ノードNAIにおける3つ目のクロックがハイレベ
ルになる前に、すなわちノードNAIにおける2つ目のク
ロックがハイレベルからロウレベルになるときにクロッ
ク制御信号EN2をハイレベルにする。そして、ノードNAI
における3つ目のクロックをクロックバッファCB3から
ノードNCI3を通じて逆方向遅延回路列BDA0内の遅延回路
BDEiに入力する。
【0044】ラッチ回路LB1〜LB(i-1)及びLB(i+1)〜LBm
の出力NM1〜NM(i-1)及びNM(i+1)〜NMmはロウレベルを保
つため、遅延回路BDE1〜 BDE(i-1)及びBDE(i+1)〜 BDEm
にはチップ内基準クロックCLKRが入力されず、遅延回路
BDE(i-1)〜BDE1は順次パルスを伝播する。そして、逆方
向遅延回路列BDA0からノードNB0へ出力されたパルス
は、さらに任意の遅延時間に設定された遅延時間微調整
回路FTDを通じてノードNBOに出力され、最後にクロック
ドライバCIDがそれを増幅して内部クロックCLKIとして
出力する。BDA0ではFDAで加算されたのと同じ遅延が加
算されるので、外部クロックCLKEから内部クロックCLKI
までの経路での遅延は1サイクルである。結局、クロッ
クの経路を固定するために外部クロックCLKEを入力して
から3サイクル後に内部クロックCLKIが発生する。
【0045】以上、図13において、1回の位相比較で
ラッチ回路LB1〜LBmを固定する動作の例を説明したが、
位相比較の回数やクロックサイクル時間に応じてモード
レジスタを設定すれば、クロック制御信号EN0、EN1及び
EN2を適切に制御して内部クロックを発生することがで
きる。
【0046】そこで図14に別の例として、クロックサ
イクル時間が短いとき(遅延モニタの遅延時間tDMCに対
してクロックサイクル時間tCKが短い時)、クロックイ
ネーブル信号CKEを投入してから5クロックサイクル遅
れで内部クロックCLKIが発生する粗調整回路CTCの動作
を示す。
【0047】まず、電源投入時にハイレベルのパワーオ
ンリセット信号PORが入力されるので、ラッチ回路LB1〜
LBmの出力NM1〜NMmの初期値はロウレベルである。ま
た、クロック制御信号EN0及びEN1はハイレベル、EN2は
ロウレベルである。クロックイネーブル信号CKEがハイ
レベルになると、外部クロックCLKEは、クロック入力バ
ッファCIBから遅延モニタDMCを通じて、進行方向遅延回
路列FDAへ入力される。ここで、 tCK<tDMC ...................(式1) であるとき、FDAの入力ノードNFIが立ちあがる前に、ノ
ードNAIが2度目の立ち上がりとなる。この場合、入力NF
(i-1)が立ち上がってから出力NFiが立ち上がるまでにNC
I1が2度目の立ち上がりとなる遅延回路FDEiは存在せ
ず、ノードNCI0に対して1クロックサイクル時間だけ遅
らせるために必要な遅延時間をFDA内の遅延回路の段数
として求めることはできない。しかし、ノードNFIに入
力されたパルスは、遅延回路FDE0〜FDEmを順次伝播して
いき、入力NF(j-1)が立ち上がってから出力NFjが立ち上
がるまでにNCI1が3度目の立ち上がりとなる遅延回路FDE
jが存在する。よって、クロックサイクル時間が(式
1)の関係にあるときには、アービタARB0〜ARBmはノー
ドNAIからクロックバッファCB0を通じたFDAの複数の出
力NF0〜NFmでのクロックと、その2サイクル後にノード
NAIからクロックバッファCB1を通じた基準クロックNCI1
の位相を比較しなければならない。
【0048】したがって、ノードNAIにおける1つ目の
クロックがハイレベルの期間、クロック制御信号EN0は
必ずハイレベルでなければならない。また、ノードNAI
における3つ目のクロックがハイレベルの期間、クロッ
ク制御信号EN1は必ずハイレベルでなければならない。
さらに、論理回路PCL1〜PCLmの出力NR1〜NRmが発生した
直後にラッチ回路LB1〜LBmの出力を固定するために、ノ
ードNAIにおける3つ目のクロックがハイレベルからロ
ウレベルになるとき、クロック制御信号EN1をハイレベ
ルからロウレベルにしなければならない。
【0049】一度ラッチ回路LB1〜LBmの出力を固定すれ
ば、クロック制御信号EN0をロウレベルにして進行方向
遅延回路列FDAを停止しておくことができる。一方、ク
ロック制御信号EN2をロウレベルに初期設定していたの
は、進行方向遅延回路列FDAと制御回路MCCが動作中、逆
方向遅延回路列BDA0を停止しておくことができるからで
ある。しかし、ラッチ回路LB1〜LBmの出力が固定した後
は、ノードNAIにおける4つ目のクロックがハイレベル
になる前に、すなわちノードNAIにおける3つ目のクロ
ックがハイレベルからロウレベルになるときにクロック
制御信号EN2をハイレベルにする。そして、ノードNAIに
おける4つ目のクロックをクロックバッファCB3からノ
ードNCI3を通じて逆方向遅延回路列BDA0内の遅延回路BD
Ejに入力する。
【0050】ラッチ回路LB1〜LB(j-1)及びLB(j+1)〜LBm
の出力NM1〜NM(j-1)及びNM(j+1)〜NMmはロウレベルを保
つため、遅延回路BDE1〜 BDE(j-1)及びBDE(j+1)〜 BDEm
にはチップ内基準クロックCLKRが入力されず、遅延回路
BDE(j-1)〜BDE1は順次パルスを伝播する。そして、BDA0
からノードNB0へ出力されたパルスは、さらに任意の遅
延時間に設定されたFTDを通じてノードNBOに出力され、
最後にクロックドライバCIDがそれを増幅して内部クロ
ックCLKIとして出力する。BDA0ではFDAで加算されたの
と同じ遅延が加算されるので、外部クロックCLKEから内
部クロックCLKIまでの経路での遅延は2サイクルであ
る。結局、クロックの経路を固定するために外部クロッ
クCLKEを入力してから5サイクル後に内部クロックCLKI
が発生する。
【0051】以上図14に示したように、クロックサイ
クル時間tCKが遅延モニタの遅延時間tDMCより短くて
も、モードレジスタの設定を変えてクロック制御信号EN
0、EN1及びEN2を適切に制御して外部クロックCLKEに同
期した内部クロックCLKIを出力できる。さらに外部クロ
ックサイクル時間が短い場合、モードレジスタの設定を
変えて、外部クロックCLKEを入力してから7、9、…ク
ロックサイクル後に内部クロックCLKIを出力できる。
【0052】以上図13,14に示したように、図1に
示す粗調整回路CTCでは、ノードNCI0に対して整数倍の
クロックサイクル時間だけクロックを遅らせるために必
要な遅延時間を進行方向遅延回路FDA内の遅延回路の段
数として求め、それと同じだけさらに逆方向遅延回路BD
A内で遅らせる。すなわち、クロックの伝播経路を決め
るために外部クロックCLKEをnクロックサイクル分遅延
させ(nは1以上の整数)、次の1クロックサイクルで
クロックの伝播経路を固定し、さらに外部クロックCLKE
をnクロックサイクル分遅延させて内部クロックCLKIを
出力する。したがって、クロックイネーブル信号CKEを
投入してから(2n+1)クロックサイクル後に内部クロッ
クCLKIが発生する。このようなセットアップ時の動作に
対して、一旦同期動作を行えば、例えば図1に示すクロ
ックイネーブル信号CKEをローレベルからハイレベルと
してCTCを待機状態から復帰させる時、パワーオンリセ
ット信号PORを入力しない限り内部クロックの同期条件
がMCC内のラッチ回路に保持されるので、クロックイネ
ーブル信号CKEを投入してからnクロックサイクル後に内
部クロックCLKIが発生する。クロックサイクル時間が比
較的長い場合は、僅か1サイクルで内部クロックが発生
することも可能である。
【0053】以上の説明から、図1に示すCTCはMCC内に
ラッチ回路を持つために、FDAやMCCのゲートを停止する
ことができ、さらに待機状態から復帰する時のロックサ
イクルをセットアップ時よりも短くすることができるの
で、消費電力低減に有効である。
【0054】[1-4. 微調整用クロック再生回路の動作]
次に、図15に従い、図1に示す微調整回路FTCの動作
を説明する。粗調整回路CTCにより内部クロックCLKIが
生成されているとする。クロックイネーブル信号CKEが
ハイレベルになり外部クロックCLKEが図1に示すクロッ
ク再生回路に入力されてから偶数番目のクロックサイク
ルのチップ内部基準クロックCLKRの立ち上がりとCLKIか
らダミー回路DCIB0を通じた出力CLKIRの立ち上がりのタ
イミングが、図10に示す位相比較回路PCで比較され
る。
【0055】ここでCLKIRの立ち上がりのタイミングが2
k番目のチップ内部基準クロックCLKRよりも早く、その
差が遅延時間微調整回路FTD0とFTD1との間の遅延時間差
Δtdzよりも大きいとき、図10に示したアービタABP1
及びラッチ回路LA1によりハイレベルの位相比較回路出
力NFA0が内部クロックCLKIと同じ期間出力され、さらに
図11に示したシフトレジスタ制御信号生成回路CSGに
おいてT F/Fの出力Qがハイレベルなので、カスケード
ドライバを通じてシフトレジスタ制御信号NFA1を出力す
る。また、位相比較回路PCの出力NFA0はシフトレジスタ
制御信号生成回路CSGにおいてD F/Fを通じてNAND回路の
一方の入力端子に入力され、さらにNAND回路の他方の入
力端子に入力されるクロックドライバCLKD出力の反転信
号であるクロックバー信号CLKBがハイレベルになると
き、シフトレジスタ制御信号NFA2を出力する。
【0056】ここで図15に示すように、(2k-1)クロッ
クサイクルまでにシフトレジスタ出力信号QFi及びQB1が
ハイレベルに設定され、他のQF1〜QF(i-1)及びQF(i+1)
〜QFm、QB2〜QBnがロウレベルに設定されているとき
に、2kクロックサイクルでシフトレジスタ制御信号NFA1
が入力され、さらに(2k+1)クロックサイクルでNFA2が入
力されてQFiがハイレベルからロウレベルに遷移し、QF
(i+1)がロウレベルからハイレベル遷移する。こうし
て、FTDにおいて選択する電流制御用MOSFETをPTFiとNTF
i及びPTB1とNTB1の組み合わせからPTF(i+1)とNTF(i+1)
及びPTB1とNTB1の組み合わせにすることで、FTDを伝播
するクロックの遅延時間を遅らせて内部クロックCLKIの
立ち上がりと外部クロックCLKEの立ち上がりのタイミン
グ誤差を小さくすることができる。ここで、クロックCL
KIRの立ち上がりが(2k+1)番目のチップ内部基準クロッ
クCLKRより早く、その差がFTD0とFTD1との間の遅延時間
差Δtdzよりも大きいとき位相比較回路PCにおいて位相
比較回路出力NFA0が生成される。しかし、シフトレジス
タ制御信号生成回路CSGにおいてT F/Fの出力Qがロウレ
ベルであるのでシフトレジスタ制御信号NFA1及びNFA2が
生成されず、(2k+2)クロックサイクルのときシフトレジ
スタ出力QF1〜QFm及びQB1〜QBnにおける信号レベルの遷
移はない。すなわち、シフトレジスタの制御は2サイク
ルおきに行われる。
【0057】続いて、クロックCLKIRの立ち上がりのタ
イミングが(2k+2)番目及び(2k+3)番目のチップ内部基準
クロックCLKRよりも早く、その差がΔtdzよりも小さい
とき、位相比較回路PCの出力NFA0及びNSL0はロウレベル
のままであるのでシフトレジスタ出力QF1〜QFm及びQB1
〜QBnにおける信号レベルの遷移はない。
【0058】一方、クロックCLKIRの立ち上がりのタイ
ミングが(2k+4)番目のCLKRよりも遅いとき、アービタAB
P0及びラッチ回路LA0によりハイレベルの位相比較回路
出力NSL0がCLKIと同じ期間出力され、さらにシフトレジ
スタ制御信号生成回路CSGにおいてT F/Fの出力Qがハイ
レベルであるのでカスケードドライバを通じてシフトレ
ジスタ制御信号NSL1を出力する。また、位相比較回路PC
の出力NSL0はシフトレジスタ制御信号生成回路CSGにお
いてD F/Fを通じてNAND回路の一方の入力端子に入力さ
れ、さらにNAND回路の他方の入力端子に入力されるクロ
ックドライバCLKD出力の反転信号であるクロックバー信
号CLKBがハイレベルになるとき、シフトレジスタ制御信
号NSL2を出力する。
【0059】図15では、(2k+3)クロックサイクルまで
にQF(i+1)及びQB1がハイレベルに設定されQF1〜QFi及び
QF(i+2)〜QFm、QB2〜QBnがロウレベルに設定されている
ので、(2k+4)クロックサイクルでシフトレジスタ制御信
号NSL1が入力される。そして、(2k+5)クロックサイクル
でシフトレジスタ制御信号NSL2が入力されてQF(i+1)が
ハイレベルからロウレベルに遷移し、QFiがロウレベル
からハイレベルに遷移する動作をする。こうして、遅延
時間微調整回路において選択する電流制御用MOSFETをPT
F(i+1)とNTF(i+1)及びPTB1とNTB1の組み合わせからPTFi
とNTFi及びPTB1とNTB1の組み合わせにすることで、FTD
を伝播するクロックの遅延時間を速めて内部クロックCL
KIの立ち上がりと外部クロックCLKEの立ち上がりのタイ
ミング誤差を小さくすることができる。ただし、先に述
べたようにシフトレジスタの制御を2サイクル毎に行う
ので、クロックCLKIRの立ち上がりのタイミングが(2k+
5)番目のチップ内部基準クロックCLKRよりも遅いとき位
相比較回路PCにおいて位相比較回路出力NSL0が生成され
るが、シフトレジスタ制御信号生成回路CSGにおいてT F
/Fの出力Qがロウレベルであるのでシフトレジスタ制御
信号NSL1及びNSL2が生成されず、(2k+5)クロックサイク
ルのときシフトレジスタ出力QF1〜QFm及びQB1〜QBnにお
ける信号レベルの遷移はない。
【0060】以上のように、この微調整回路FTCは、粗
調整回路CTCで生じるチップ内部基準クロックCLKRの立
ち上がりと内部クロックCLKIからダミー回路DCIB0を通
じた出力CLKIRの立ち上がりのタイミング誤差を位相比
較回路PCで判定し、その結果を基に生成された信号によ
りシフトレジスタを制御して遅延微調整回路FTDに必要
な遅延時間を生成する電流制御用MOSトランジスタを選
択することを逐次行って、外部クロックCLKEの立ち上が
りと内部クロックの立ち上がりCLKIのタイミング誤差を
小さくする。先に述べたように、シフトレジスタSRにお
いて出力がハイレベルである位置は双方向に転移するこ
とができるので、図1に示すクロック再生回路が動作中
に発生するチップ温度や外部クロック周波数の変化に追
随して外部クロックCLKEの立ち上がりと内部クロックCL
KIの立ち上がりのタイミング誤差を小さくすることが可
能である。したがって、図2に示すFTDが多段直列接続
されてFTCが構成されているならば、さらに大きな動作
環境変化に追随してタイミング誤差の小さな内部クロッ
クを出力することが可能である。また、粗調整回路CTC
におけるクロックパルスの伝播経路をラッチ回路LB1〜L
Bmで固定する粗調整動作の後に微調整回路FTCで微調整
動作を行うので、二重のフィードバックループが生じる
ことがない。
【0061】[1-5. 動作シミュレーション]さて、図1
3の動作で、出力を得るまでに要する時間及び外部クロ
ックCLKEの立ち上がりと内部クロックCLKIの立ち上がり
のタイミング誤差を考える。遅延モニタDMCの遅延時間
をtDMCとし、遅延回路FDE0〜FDEm及びBDE0〜BDEmの1段
当たり及びこれらに相当するダミー遅延回路DDAの遅延
時間をtDとする。また、i番目のアービタARB(i-1)の入
力NF(i-1)が立ち上がってから時間Δt後にノードNCI1が
立ち上がるとする。ただし、 Δt<tD ...................(式2) である。クロックサイクル時間tCKは、ノードNCI0のサイクルから、 tCK=tDMC+i・tD+Δt ..............(式3) と表せる。さらに、制御回路MCCでの遅延時間をtMCC、
クロック入力バッファCIB0の遅延時間をtCIB0、クロッ
ク入力バッファCIBの遅延時間をtCIB、クロックバッフ
ァCB0、CB1、CB2及びCB3の遅延時間をtCB、遅延時間微
調整回路FTDの遅延時間をtFTDj、クロックドライバの遅
延時間をtCIDとすると、図9に示す遅延モニタDMCの遅
延時間tDMCは、 tDMC=tCIB0+tCIB+tCB+tD+tFTDj+tCID ......(式4) となるように設定している。図1と図9から制御回路MC
Cの論理回路の段数は遅延モニタDMCの論理回路の段数よ
り少ないので、 tMCC<tDMC ..................(式5) である。よって、逆方向遅延回路BDA0に必要な遅延回路
の段数を進行方向遅延回路FDAによって求めた後、直ち
に1クロックサイクル以内に制御回路MCCの出力NM1〜NM
mの状態を固定してチップ内部基準クロックCLKRを入力
すべき逆方向遅延回路BDA0を設定することができる。し
かし、図1と図8から制御回路MCCの論理回路の段数は
クロックバッファCB3の論理回路の段数より多いので、 tMCC>tCB ...................(式6) である。したがって、制御回路MCCの出力NM1〜NMmの状
態を固定中はチップ内部基準クロックCLKRを逆方向遅延
回路BDA0に入力することができず、次のクロックサイク
ルのCLKRをBDA0に入力しなければならない。このとき遅
延微調整回路FTDの遅延時間をtFTDkとすると、クロック
伝播経路での遅延時間tLBは、 tLB=tCIB0+tCIB+tCB+i・tD+tD+tFTDk+tCID ....(式7) である。したがって(式3)、(式4)、(式7)か
ら、外部クロックCLKEから内部クロックCLKIまでの遅延
時間の合計tDBは最短で、 tDB=[(tCIB0+tCIB)+(tDMC+i・tD+Δt)]+[tCK-(tCIB0+tCIB)] +[tCIB0+tCIB+tCB+(i+1)・tD+tFTDk+tCID] =[(tCIB0+tCIB+tCB+tD+tFTDj+tCID)+i・tD+Δt] +tCK+[tCIB0+tCIB+tCB+(i+1)・tD+tFTDk+tCID] =3・tCK-Δt............. ....(式8) となる。すなわち、内部クロックCLKIは外部クロックCL
KEから最短で3サイクル遅れてほぼ同期して出力され
る。ただし、tFTDjとtFTDjは等しいと仮定した。また同
様に、図14の動作に対する外部クロックCLKEから内部
クロックCLKIまでの遅延時間の合計は、最短で(5・tCK-
Δt)と考えられる。
【0062】(式8)から外部クロックCLKEの立ち上がり
から内部クロックCLKIの立ち上がりまでのタイミング誤
差δは、 δ=-Δt ...................(式9) となる。これは、逆方向遅延回路BDA0を伝搬して決まる
遅延時間がクロックサイクル時間tCKに対して離散時間
的な値をとるために生ずる。しかし、このタイミング誤
差δの絶対値は、(式2)から遅延回路FDE0〜FDEm及び
BDE0〜BDEmの1段当たりの遅延時間tDよりも小さく、tD
はNANDゲート2段分の遅延時間に等しい。しかも、タイ
ミング誤差δの値自体は、遅延モニタDMCの精度に依存
する。そこで、このタイミング誤差δを小さくするため
に、遅延時間微調整回路FTDを構成する電流制御用MOSト
ランジスタに求められる条件を考える。
【0063】図2に示すFTDは、 y=m+n-1 ..................(式10) を満たすy個の遅延時間を生成する。この遅延時間の最小値tFTD(min)を、 tFTD(min)=tD+td1 ..............(式11) とし、遅延時間の最大値を、 tFTD(max)=tD+(td1+td2+td3+…+tdy) .....(式12) とするとき、 td1,td2,td3,…, tdm, td(m+1), td(m+
2), …,tdyは遅延時間微調整回路FTDにおける遅延時間
の変化量であり、それぞれは電流制御用MOSトランジス
タの組み合わせ、(PTF1,NTF1,PTB1,NTB1),(PTF2,NTF2,P
TB1,NTB1),(PTF3,NTF3,PTB1,NTB1),…, (PTFm,NTFm,PTB
1,NTB1), (PTFm,NTFm,PTB2,NTB2), (PTFm,NTFm,PTB3,NT
B3), …, (PTFm,NTFm,PTBn,NTBn)により生成される。し
たがって、これらの電流制御用MOSトランジスタは、 td1,td2, …,tdy>0........... ...(式13) tFTD(max)-tFTD(min)=td2+td3+…+tdy >tD ........ ...(式14) を満たすようなゲートサイズであり、これらが電流制御
用MOSトランジスタ列PTFA、PTBA、NTFA及びNTBAに順番
に配列されなければならない。ここで、(式4)に示す
遅延モニタ回路DMC内の遅延時間微調整回路DFTDの遅延
時間tFTDjを、 tFTDj=tFTD(min)=定数 ............(式15) とし、遅延時間微調整回路DFTDの遅延時間tFTDkの初期
値もtFTD(min)に設定されているとする。このとき、図
15に示すようにFTCが動作して、FTDの遅延時間tFTDk
がtFTD(min)から遅延時間が逐次増加するので、(式1
3)及び(式14)より、(式9)に示す外部クロック
CLKEの立ち上がりから内部クロックCLKIの立ち上がりま
でのタイミング誤差δは、 δ=-Δt→0 .................(式16) となる。すなわち、(式8)で示す外部クロックCLKEを
入力してから3クロックサイクル後に粗調整回路CTCに
よって出力された内部クロックCLKIと外部クロックCLKE
のタイミング誤差δを、微調整回路FTCが制御する遅延
時間微調整回路FTDによって小さくすることができる。
だたし、その精度は位相比較回路PC内の遅延時間微調整
回路FTD0とFTD1の遅延時間差Δtdzである。ここでは、
説明を簡単にするために、FTD0の遅延時間を(tD+td1)、
FTD1の遅延時間を(tD+td1+td2)として、FTD0とFTD1の遅
延時間差Δtdzをtd2とした。しかし、実際には、FTDに
おける遅延時間の変化量td1,td2,…,tdyのなかで一番大
きい値と等しくなるように、図10における位相比較回
路PC内のFTD0及びFTD1の電流制御用MOSトランジスタを
選択してΔtdzを設定して、外部クロックCLKEの立ち上
がりと内部クロックCLKIの立ち上がりのタイミング誤差
がΔtdz未満になるようにFTDが制御されて、図1に示す
クロック再生回路はタイミング誤差が小さく安定した内
部クロックCLKIを出力する。
【0064】以上で説明したクロック再生回路のシミュ
レーション結果を、以下に示す。電源電圧はVCC=2.7[V]
とした。逆方向遅延回路列BDA内の遅延回路数mは32とし
た。外部クロックCLKEの立ち上がりと立ち下がりの時間
はそれぞれ0.1[ns]とした。各論理ゲートの論理しきい
電圧は1.35[V]である。遅延回路FDE0〜FDEm及びBDE1〜B
DEmの遅延時間tDは約0.25[ns]であり、遅延モニタDMCの
遅延時間tDMCは約2.4[ns]である。遅延時間微調整回路F
TDにおける遅延時間の変化量td1,td2,…,tdyは約0.03[n
s]未満であり、遅延時間微調整回路FTD0とFTD1との間の
遅延時間差Δtdzは約0.035[ns]である。
【0065】図16は、クロックサイクル時間tCKを6[n
s](周波数167[MHz])とした場合のチップ内部基準クロ
ックCLKRの立ち上がりと内部クロックの立ち上がりのタ
イミング誤差δを示している。外部クロックCLKEのデュ
ーティを0.5とした。外部クロックCLKEの4〜14番目
とほぼ同期した内部クロックCLKIのタイミング誤差が示
されており、図13に示したように外部クロックCLKEを
3クロックサイクル分だけ遅延させて内部クロックCLKI
が出力されている。外部クロックCLKEの4番目とほぼ同
期した内部クロックCLKIはチップ内部基準クロックCLKR
よりも約0.06[ns]早く出力されている。このタイミング
誤差はFTD0とFTD1の間の遅延時間差Δtdz(ここでは約
0.035[ns])よりも大きい。
【0066】この誤差は、図15で説明したように2ク
ロックサイクル毎に遅延時間微調整回路FTDの遅延時間
を制御することにより低減される。すなわち、外部クロ
ックCLKEの6番目とほぼ同期した内部クロックCLKIは外
部クロックCLKEよりも約0.04[ns]早く出力される。この
タイミング誤差は、チップ内部基準クロックCLKRの4番
目とほぼ同期した内部クロックCLKIのものよりも約0.03
[ns]小さく、FTDにおける遅延時間の変化量に等しい値
だけ補正されている。しかし、依然としてこのタイミン
グ誤差はΔtdz(ここでは約0.035[ns])よりも大きいの
で、さらに微調整回路FTC内のFTDの遅延時間を制御して
タイミング誤差を低減する。
【0067】すなわち、外部クロックCLKEの8番目とほ
ぼ同期した内部クロックCLKIは外部クロックCLKEよりも
約0.01[ns]早く出力される。このタイミング誤差はΔtd
z(ここでは約0.035[ns])よりも小さいので、微調整回
路FTCは安定状態となる。すなわち、8番目以降の外部
クロックCLKEにほぼ同期した内部クロックCLKIは外部ク
ロックCLKEよりも約0.01[ns]早く出力され、この出力タ
イミングが保持される。このように、本発明によるクロ
ック再生回路では粗調整回路CTCにより3クロックサイ
クルで外部クロックCLKEと内部クロックCLKIの同期をと
った後、微調整回路FTCで数クロックサイクルで内部ク
ロックCLKIの出力タイミングの微調整を行い、外部クロ
ックCLKEとのタイミング誤差が小さな内部クロックCLKI
を発生できることがシミュレーションにより確かめられ
た。
【0068】ここで、微調整回路FTCによりタイミング
誤差が小さな内部クロックCLKIを安定に出力するまでに
かかるクロックサイクル数は、遅延回路FDE0〜FDEm及び
BDE0〜BDEmの1段当たりの遅延時間tD及び遅延時間微調
整回路FTDにおける遅延時間の変化量tdyに依存する。外
部クロックCLKEと内部クロックCLKIのタイミング誤差δ
の精度を遅延回路FDE0〜FDEm及びBDE0〜BDEmの1段当た
りの遅延時間tDの1/10とするとき、10段階の遅延時間
を生成するように構成されたFTDをシフトレジスタが逐
次制御する場合を考える。
【0069】図17は、図12に示すシフトレジスタSR
における2つのシフトレジスタSRF及びSRBの出力QF1〜Q
Fm及びQB1〜QBnの初期状態を示している。H及びLはシ
フトレジスタSRF及びSRBの出力QF1〜QFm及びQB1〜QBnが
それぞれハイレベル及びロウレベルであることを示す。
また、○印は初期値がハイレベルであることを示し、□
印は初期値のハイレベルが転移すべき場所を示す。さら
に、実線の矢印は初期値のハイレベルが転移する1番目
の経路を示し、破線の矢印はハイレベルが転移する2番
目の経路を示す。一例とし、ここではQF1とQB1がハイレ
ベルに初期設定されている。
【0070】このとき、ハイレベルの位置は(QF2,QB
1),(QF3,QB1),・・・, (QFm,QB1),(QFm,QB2), ・・・,
(QFm,QBn)という具合に順番に転移するので、微調整
回路が動作し始めてからタイミング誤差の小さい内部ク
ロックCLKIを発生するまで最高20クロックサイクルか
かる。ここで、シフトレジスタを双方向動作可能な構成
にしているので、外部クロックCLKEと内部クロックCLKI
の位相比較の結果に応じて、ハイレベルの位置が逆方向
に転移することできる。これにより、周囲温度などの環
境変化により遅延時間微調整回路FTDの遅延時間が長く
なりすぎた場合などで、遅延時間を短くする方向に本シ
フトレジスタの出力が動き、タイミング誤差が小さい状
態に保てる。
【0071】また別の例とし、図18に示すようにQFm
とQB1をハイレベルに初期設定するとき、ハイレベルの
位置は(QFm,QB2), (QFm,QB3),・・・, (QFm,QBn)と
いう具合に順番に転移するので、微調整回路が動作し始
めてからタイミング誤差の小さい内部クロックCLKIを発
生するまでの時間は図17の例の約半分のクロックサイ
クル数に短縮できる。ここでも、シフトレジスタは双方
向動作が可能なので外部クロックCLKEと内部クロックCL
KIの位相比較の結果により、ハイレベルの位置が逆方向
に転移することもできる。
【0072】さらに別の例とし、図19に示すように、
図17の例と同じようにQF1とQB1をハイレベルに初期
設定されているが、シフトレジスタSRが二分探作方式で
制御されている場合、ハイレベルの位置が(QFm,QB1),
(QFm,Qbn), (QFm,Qbj),・・・という具合に順番に転
移するので、微調整回路回路が動作し始めてからタイミ
ング誤差の小さい内部クロックCLKIを発生するまでのク
ロックサイクル数をさらに短縮できる。この場合も、シ
フトレジスタは双方向動作が可能なので外部クロックCL
KEと内部クロックCLKIの位相比較の結果により、ハイレ
ベルの位置が逆方向に転移することも有り得る。さら
に、以上のような方式に加えて、1クロックサイクル内
に位相比較とシフトレジスタの制御を行えるようにシフ
トレジスタをダイナミック型にすれば、微調整回路回路
が動作し始めてからタイミング誤差の小さい内部クロッ
クCLKIを発生するまでのクロックサイクル数をさらに短
縮できる。これらのクロックサイクル数は通常のDLL
に比べて短いので、本クロック再生回路は電源投入時や
待機状態から復帰する時の消費電力低減の面で優れてい
る。
【0073】<実施例2>図20に示す本発明によるク
ロック再生回路の構成例2を説明する。本クロック再生
回路は実施例1のクロック再生回路の粗調整回路に相当
するが、この構成によって待機状態から復帰する時に従
来よりも短いクロックサイクル数で外部クロックCLKEと
タイミングの合った内部クロックCLKIを発生できること
が特長である。図20の構成は、図1において微調整回
路FTCとBDA0内のBDE0を削除し、遅延回路BDE1の出力を
ノードNB0に直結したものである。この変更に伴って遅
延モニタをDMCAにチューニングし直した。DMCAは図21
に示されるが、図9のDMCとの違いは、DFTDとDDAを削除
したことである。この実施例の構成及びその動作の理解
には、<実施例1>の1-1.、1-3.、1-5.の説明が参照で
きる。
【0074】実施例1の粗調整回路CTCの回路動作で述
べたように一旦制御回路MCCの出力NM1〜NMmをラッチ回
路LB1〜LBmで固定してしまえば論理回路PCL1〜PCLmの出
力が変化したとしても粗調整回路CTCにおけるクロック
パルスの伝播経路は変化しない。そこで、同期動作が完
了した後FDAやMCCに内部クロック信号を供給を停止すれ
ば、FDAやMCCのゲートが動作しなくなるので、低消費電
力化に有効である。
【0075】本発明によるクロック発生回路の基本動作
では、図13で説明したようにクロックイネーブル信号
CKEを投入してから3クロックサイクル遅れで外部クロ
ックCLKEにほぼ同期した内部クロックCLKIが発生する。
この内部クロックCLKIが発生した後にクロックイネーブ
ル信号CKEを切って外部クロックCLKEの入力を停止して
も、先に述べたように制御回路MCCのラッチ回路LB1〜LB
mでクロックパルスの伝播経路は保持される。したがっ
て、本クロック再生回路が待機状態から復帰する時にク
ロックイネーブル信号CKEを投入してから内部クロックC
LKIを出力するまでに要する時間を、実施例1の図13
で説明したように制御回路MCCの出力NM1〜NMmの値を決
定するのに要した2クロックサイクル分短縮でき、1ク
ロックサイクルで同期した内部クロックを得ることがで
きる。即ち、このクロック再生回路は同期時間が短い。
この特長は、図14で説明したように外部クロックCLKE
のクロックサイクル時間が短くなって内部クロックを発
生するまでに要する時間が5, 7,…サイクルと長くなる
ような時に、3, 4,…クロックサイクル短縮できるので
さらに有効である。つまり、後述するSDRAM等において
読み出し動作や書き込み動作が終わる毎に本クロック再
生回路を停止させておき、読み出しコマンドや書き込み
コマンドが入力されてからクロックイネーブル信号CKE
を投入して本クロック再生回路を待機状態から復帰させ
ることができるので、本クロック再生回路における消費
電力を低減できる。
【0076】<実施例3>図22に示す本発明によるク
ロック再生回路の構成例3を説明する。本クロック再生
回路は、一つの遅延回路列で外部クロックに同期した内
部クロックを発生するのに必要な遅延回路を測定し、さ
らにその遅延回路を再現することが特長である。このた
め遅延回路の数が約半減し半導体チップ上での回路面積
低減に有効である。図20との主な相違点は以下の通り
である。(1)FDAとBDAを一つの遅延回路列DLまとめる。
(2)クロック制御スイッチSW0及びSW1をそれぞれFDAの初
段と最終段に挿入する。遅延モニタは図21で示した回
路が利用できる。制御回路MCCは共通であるがその出力N
M1〜NMmは交差するように配線されDLへと結合されてい
る(図22では配線の図示は省略した)。これらNM1〜N
Mmの配線を簡単にするためには、DLを半分に折り返した
レイアウトが有効である。
【0077】遅延回路列DLの回路構成はm+1個の遅延回
路DLE0〜DLEmが直列接続されてたものである。DLE0が2
個のNAND回路であるが、他は3個のNAND回路で構成され
ている。クロック制御スイッチSW0及びSW1は、一例とし
て2つの伝達ゲートによる構成を示した。クロック制御
スイッチSW0における2つの伝達ゲートのうち一方はノ
ードNDMCOとNFIを接続し、他方は接地電圧レベルVSSと
ノードNFIを接続する。また、クロック制御スイッチSW1
における2つの伝達ゲートのうち一方はノードNFmとNSW
Oを接続し、他方はノードNFmとNAND回路の一方の入力端
子を接続する。SW0は、1つの遅延回路DLを図20にお
けるFDAやBDAとして時分割的に使うためのものである。
即ちMCCで同期を検出するまでは、SW0を導通状態としDL
の初段にクロックを入力する。これにより複数の参照ク
ロックNF0〜NFmを発生し、MCCで同期を検出する。一旦
同期が確立すれば、同期段数はMCCのラッチ回路に保持
されるのでSW0を非導通とし、MCCで検出されたNMiのノ
ードに対応する遅延回路DLEiにCB3を介してクロックを
入力し、DLの最終段から取り出しSW1を経て、内部クロ
ックが形成される。SW1は、クロック同期動作の過程で
外部クロックに同期しない内部クロックが出力されてし
まうことを防止するためのスイッチである。しかし、こ
のクロック再生回路は、数クロックサイクルの同期時間
しか要しない。このため、同期に要する時間の間、内部
クロックを利用する他の回路の誤動作が防止できるなら
ば、SW1は省略しても良い。
【0078】次に、図23に従い、回路の動作を説明す
る。
【0079】一例として、クロックサイクル時間が比較
的長く(遅延モニタの遅延時間tDMCAに対してクロック
サイクル時間tCKが約2倍程度)、クロックイネーブル
信号CKEを投入してから3クロックサイクル遅れで内部
クロックCLKIが発生する本回路の基本動作を説明する。
クロック制御信号ENSW0及びENSW1の制御は、図13で説
明したクロック制御信号EN0、EN1及びEN2と同じよう
に、ノードNAIのクロックの数を例えば既知のカウンタ
で数えて行う。まず、クロック制御信号ENSW0をロウレ
ベルとして遅延モニタDMCA出力からクロック制御スイッ
チSW0を通じて遅延回路列DLに1つ目のチップ内基準ク
ロックCLKRを入力する。このとき、クロック制御信号EN
SW1をハイレベル(SW1が非導通)として内部クロックCL
KIが出力しないようにする。このようにクロック制御ス
イッチSW0及びSW1を制御して、遅延回路列DLを図1及び
20に示した進行方向遅延回路列FDAとして利用する。
1つ目のチップ内基準クロックCLKRを遅延回路列DLに入
力した後は、クロック制御信号ENSW0をロウレベルから
ハイレベルにしてノードNDMCOとNFIを遮断し、接地電圧
レベルのロウレベルを遅延回路列DLに入力する。
【0080】次に、図13の説明と同じようにクロック
制御信号EN1がハイレベルであるので、2つ目のチップ
内基準クロックCLKRからクロックバッファCB1を通じた
基準クロックNCI1とそれぞれ位相の異なる複数の遅延ク
ロック信号NF0〜NFmとの位相を比較する。その結果、制
御回路MCCの出力NMiがハイレベルとなってクロックの伝
播経路が決定される。さらに、ノードNAIで2つ目のク
ロックパルスが伝播した後でクロック制御信号EN2をロ
ウレベルからハイレベルにして、3つ目のチップ内基準
クロックCLKRからクロックバッファCB3を通じた基準ク
ロックNCI3を、制御回路MCCの出力のうちハイレベルで
あるNMiが入力される遅延回路DLE(m-i+1)から遅延回路D
Lに入力して、FDAで加えられた遅延時間と同じ遅延が加
えられたクロックをノードNFmに出力する。ここで、三
つ目のCLKRがノードNFmに到達する前にクロック制御信
号ENSW1をハイレベルからロウレベルにしてノードNFmと
NSWOを接続し、遅延回路列DLを伝播するクロックをクロ
ック制御スイッチSW1を通じてノードNSWOに出力するの
で、遅延回路DLは図1に示す逆方向遅延回路BDA0及び図
20に示す逆方向遅延回路BDAと同じ効果となる。最後
に、ノードNSWOのクロックをクロックドライバCIDを通
じて増幅して内部クロックCLKIを出力する。図22のク
ロック再生回路も、一旦MCCで同期に要する遅延段数を
保持してしまえば、外部クロックの入力が一時停止され
ても再度同期を検出する必要は無い。このため、待機状
態から復帰するときに短時間で内部クロックが得られ
る。
【0081】図22に示すクロック再生回路は一つの遅
延回路列DLしか持たないが、クロック制御スイッチSW0
及びSW1が適切に制御されて、遅延回路列DLは図1及び
図20に示すクロック再生回路における進行方向遅延回
路列及び逆方向遅延回路列と同じ効果の遅延回路列とな
る。したがって、図22に示すクロック再生回路では遅
延回路列に要する回路素子数を、図1に示す粗調整回路
CTC及び図20に示すクロック再生回路での遅延回路列
の総回路素子数の約半分に低減できる。半導体チップ上
での回路面積低減に有効である。このように1つの遅延
回路を時分割的に利用できるのは、MCCが同期段数をラ
ッチ回路に保持することによる。さらに、このクロック
再生回路においてもクロック制御信号EN0、EN1、EN2、E
NSW0及びENSW1を適切に制御すれば、クロックサイクル
時間が短いとき(遅延モニタの遅延時間tDMCAに対して
クロックサイクル時間tCKが短い時)、図14で説明し
たように5サイクル遅れで内部クロックが発生する動作
も可能である。
【0082】<実施例4>図24及び25に示す本発明
によるクロック再生回路の構成例4を説明する。図24
と図25は、1つの全体回路を左右に分割したものであ
る。本クロック再生回路は二つの逆方向遅延回路を持
つ。それぞれの長さは1:2の関係にあり、各々の出力
を合成して外部クロックの倍周期の内部クロックを外部
クロックに同期させて出力することが特長である。この
回路を図20と比較したときの主な相違点は次の通りで
ある。(1)BDAの半分の遅延段数の第2逆方向遅延回路BD
ABを追加した。(2)クロック入力バッファCIB0の出力端
とノードCLKRの間にショットパルス発生回路SPGを挿入
した。(3)出力ノードNB0と2つの逆方向遅延回路の間
に、両者の出力の論理和を取る論理回路(OR回路)を追
加した。(4)制御回路に、出力NMA1〜NMAmを2つづつの
対として論理和をとりBDABを制御する複数の制御出力ノ
ードを追加した。なお、(3)の論理回路はOR回路で例示
したが、排他的論理和EXORを使っても良い。
【0083】これらの変更に伴って、遅延モニタをチュ
ーニングし直した。即ち、CB0とFDAの入力初段との
間には、DMC0とDMC1の2つが挿入されている。ま
た、CB3からBDAAの入力経路にDMC2を新たに挿入した。
図26にDMC0の構成を示した。DMC1、及びDMC2は、それ
ぞれDMC0と同じ構成を取る。
【0084】ショットパルス発生回路SPGは、図27に
示すように、一方の入力端子はクロック入力バッファCI
B0出力NCIB0に接続し他方の入力端子にはノードNCIB0か
ら奇数段のインバータを直列接続して構成される遅延回
路を通じたクロックが入力されるNAND回路と、インバー
タを直列接続した構成であり、外部クロックCLKEのデュ
ーティ50%未満のショットパルスを発生する。ショッ
トパルス発生回路のダミー回路DSPGは、図26に示すよ
うに、一方の入力端子を電源電圧レベルVCCに接続したN
AND回路とインバータとの直列接続であり、NAND回路の
他方の入力端子にはショットパルス発生回路SPGの入力
負荷と同じ容量のゲート負荷容量であるNAND回路が接続
されている。
【0085】制御回路MCC1は複数の第1出力端子(NMA1
〜NMAm)を二つおきにそれぞれ別のOR回路に入力す
る。すなわち、NMA1及びNMA2, NMA3及びNMA4, NMA5及び
NMA6, …の組み合わせをそれぞれ別のOR回路に入力し
た結果得られる第2出力端子(NMB1〜NMBk)を持つ。
【0086】逆方向遅延回路列は二つの遅延回路列BDAA
及びBDAAの半分の長さのBDABで構成され、要素遅延回路
の構成は図20のそれと同じである。BDABは、BDAAの2
個の遅延回路に付き1個の割合で設けられている。即
ち、MCC1で同期段数が決定されると、BDABではBDAAで加
算される遅延時間の1/2の遅延時間が加算されるよう構
成されている。
【0087】次に、 図28に従い、クロックサイクル
時間が比較的長く(遅延モニタの遅延時間2・tDMC0に対
してクロックサイクル時間tCKが約2倍程度)、クロッ
クイネーブル信号CKEを投入してから2.5クロックサイク
ル遅れで内部クロックCLKIが発生する本回路の基本動作
を説明する。電源投入時にハイレベルのパワーオンリセ
ット信号PORが入力されてから、制御回路MCC1が同期を
検出しNMA1〜NMAm、NMB1〜NMBkの出力が確定するまでの
動作は図20と同様に行われれる。但し、CIB0の後にSP
Gを挿入したので基準クロックはクロックデューティが
50%未満とされた、パルス幅の狭いものが伝搬させら
れている。
【0088】制御回路MCC1が同期を検出しラッチ回路LB
iの出力NMAiだけがハイレベルとなり、他はロウレベル
のままであるとして以下の動作を説明する。このとき、
ラッチ回路LB1〜LBmの出力NMA1〜NMAmを二つ毎にそれぞ
れ別のOR回路に入力して得られる出力NMB1〜NMBkのう
ち、ラッチ回路LB(i-1)及びLbiの出力NM(i-1)及びNMiを
OR回路に入力して得られる出力NMBjだけがハイレベル
となる。ここで、iとjの関係は、 i=2j...................(式17) となる。これらの状態が保持されることにより、チップ
内部基準クロックCLKRからクロックバッファCB3を通じ
た基準クロックNCI3が入力されるべき逆方向遅延回路BD
AAとBDABの位置が設定される。
【0089】この設定が完了してクロック制御信号EN2
がハイレベルになると、チップ内部基準クロックCLKRは
クロックバッファCB3及びノードNCI3を通じて遅延回路B
DEBjに入力され、BDEB(j-1)〜BDEB1を順次伝搬する。さ
らに、ここでは基準クロックNCI3から遅延モニタDMC2を
通じた出力クロックNCI4が遅延回路BDEAiに入力され、B
DEA(i-1)〜BDEA1を順次伝搬する。BDAAとBDABとの各々
最終段の出力はOR回路で論理和が取られた後を通じて
ノードNBOへ出力され、これがクロックドライバCIDを通
じて増幅されて内部クロックCLKIが出力される。
【0090】さて、図28の動作で、出力を得るまでに
要する時間考え、内部クロックCLKIの特徴を説明する。
遅延モニタDMC0の遅延時間をtDMC0とし、遅延回路FDE0
〜FDEm、BDEA1〜BDEAm及びBDEB1〜BDEBkの1段当たりの
遅延時間をtDとする。また、i番目のアービタARB(i-1)
の入力NF(i-1)が立ち上がってから時間Δt後にノードNC
I1が立ち上がるとすると、クロックサイクル時間tCKは
ノードNCI0のサイクルから、 tCK=2・tDMC0+i・tD+Δt ............(式18) と表せる。さらに、ショットパルス発生回路の遅延時間
をtSPG、OR回路の遅延時間をtORとすると、図26に
示したように遅延モニタDMC0の遅延時間tDMC0は、 tDMC0=tCIB0+tSPG+tCIB+tCB+tOR+tCID .....(式19) となるように設定している。図13の動作と同じよう
に、逆方向遅延回路BDAA及びBDABに必要な遅延回路の段
数を進行方向遅延回路FDAによって求めた後、1クロッ
クサイクル以内に制御回路MCC1の出力を固定して、チッ
プ内部基準クロックCLKRを入力すべき逆方向遅延回路BD
AA及びBDABの位置を設定する。そして、その次のクロッ
クサイクルのチップ内部基準クロックCLKRを逆方向遅延
回路BDAA及びBDABに入力する。このとき、クロック伝播
経路での遅延時間tLCは、 tLC=tCIB0+tSPG+tCIB+tCB +tDMC0+i・tD+tOR+tCID .....(式20) である。したがって(式18)、(式19)、(式2
0)から、チップ内部基準クロックCLKRから逆方向遅延
回路列BDAAを通じて内部クロックCLKIまでの遅延時間の
合計tDCは最短で、 tDC=(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB)+(2・tDMC0+i・tD+Δt) +[tCK-(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB)] +(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB+tDMC0+i・tD+tOR+tCID) =(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB) +[2・(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB+tOR+tCID)+i・tD+Δt] +[tCK-(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB)] +(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB+tDMC0+i・tD+tOR+tCID) =3・tCK-Δt............. ...(式21) となる。すなわち、内部クロックCLKIは外部クロックCL
KEから逆方向遅延回路列BDAAを通じてほぼ3サイクル遅
れて出力される。
【0091】一方、チップ内部基準クロックCLKRから逆
方向遅延回路列BDABを通じて内部クロックCLKIまでの遅
延時間の合計tDDは、(式17)〜(式20)より最短
で、 tDD=(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB)+(2・tDMC0+i・tD+Δt) +[tCK-(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB)] +(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB+j・tD+tOR+tCID) =(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB) +[2・(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB+tOR+tCID)+i・tD+Δt] +[tCK-(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB)] +(tCIB0+tSPG+tCIB+tCB+(i/2)・tD+tOR+tCID) =2・tCK+(tCK-Δt)/2 =(5/2)・tCK-Δt/2 ............(式22) となる。すなわち、内部クロックCLKIの中には外部クロ
ックCLKEから逆方向遅延回路列BDABを通じてほぼ2.5サ
イクル遅れて出力されるパルスが存在する。
【0092】以上をまとめると、図24及び25に示し
たクロック再生回路の基本動作では、(式21)で表さ
れるように外部クロックCLKEから3サイクル遅れて一つ
目の内部クロックCLKIが出力され、それ以降は1サイク
ル毎に出力されるクロック群と、(式22)で表される
ように外部クロックCLKEから2.5サイクル遅れて一つ目
の内部クロックCLKIが出力され、それ以降は1サイクル
毎に出力されるクロック群が交互に出力される。すなわ
ち、図28に示すように、クロックイネーブル信号CKE
を投入してから2.5クロックサイクル遅れで外部クロッ
クCLKEのほぼ半サイクル毎に内部クロックCLKIが発生さ
れる。この内部クロックCLKIの偶数番目のクロックの立
ち上がりエッジは外部クロックCLKEの立ち上がりエッジ
にほぼ同期しているので、外部クロックCLKEと内部クロ
ックCLKIのタイミング誤差は、図1の粗調整回路と同じ
ように(式2)で表される。したがって、図24及び2
5に示すように逆方向遅延回路列BDAA及びBDABを備えた
クロック再生回路では、外部クロックCLKEのショットパ
ルスを入力して、外部クロック周波数のほぼ倍周期の内
部クロックCLKIを外部クロックCLKEに同期して発生する
ことができる。
【0093】このクロック再生回路においてもクロック
制御信号EN0、EN1、EN2、ENSW0及びENSW1を適切に制御
すれば、クロックサイクル時間が短いとき(遅延モニタ
の遅延時間tDMC0に対してクロックサイクル時間tCKが短
い時)、図14で説明した動作と同様に、4, 5.5,…ク
ロックサイクル遅れで内部クロックが発生する動作も可
能である。さらに、制御回路MCC1内のラッチ回路LB1〜L
Bmでクロックパルスの伝播経路を保持できるので、実施
例2で説明したように、待機状態から短時間で外部クロ
ックCLKEの倍周期の内部クロックCLKIを外部クロックに
同期して出力することができる。
【0094】<実施例5>本発明によるクロック再生回
路の構成例5を図29及び30に示す。本クロック再生
回路は、図22に示す遅延測定と遅延再現両用遅延回路
列とこの遅延回路列の半分の長さの逆方向遅延回路を持
つ。そして、各々の出力を合成して外部クロックの倍周
期の内部クロックを外部クロックに同期させて出力する
ことが特長である。図24,25の回路と比べ遅延回路
の数が減少し半導体チップ上での回路面積低減に有効で
あり、しかも2倍の周期の内部クロックが再生できる。
先に、図22において図20の2つの遅延回路を1つに
まとめる手法を示した。この実施例は、図24、25に
対して同じ手法を適用したものと捕らえることができ
る。
【0095】図24、25との主な相違点は以下の通り
である。(1)FDAとBDAAを一つの遅延回路列DLにまとめ
る。(2)クロック制御スイッチSW0及びSW1をそれぞれDL
の初段と最終段に挿入する。遅延モニタは図21で示し
た回路が利用できる。制御回路MCC1は共通であるがそ
の出力NMA1〜NMAm及びNMAB1〜NMBkは交差するように配
線されDLへと結合されている(図29、30では配線の
図示は省略した)。遅延回路列DLの回路構成は図22に
示したものと同じものが使われる。一方、BDABは、図2
4、25で示したものが使われる。BDABの初段の入力は
接地電位に接続される。
【0096】次に、 図31に従い、クロックサイクル
時間が比較的長く(遅延モニタの遅延時間2・tDMC0に対
してクロックサイクル時間tCKが約2倍程度)、クロッ
クイネーブル信号CKEを投入してから2.5クロックサイク
ル遅れで内部クロックCLKIが発生する本回路の基本動作
を説明する。この回路の動作タイミングはDLで基本波
(外部クロックと同じ周期)を形成する過程は、図22
の動作と同様である。即ち、最初はSW0をオンとして、S
PGで幅の狭められたパルスをDLに入力し、複数の参照ク
ロックを形成する。そしてMCC1でCB1を通して送られる
基準クロックと比較し同期に必要な同期遅延段数を検出
して保持する。この後の過程は図24,25の動作と同
様となる。即ち、SW0をオフとし、DLとBDABの両方にMCC
1で指示される同期遅延段数の位置に基準クロックを入
力する。そしてBADBではDLの半分の遅延時間を加算し、
両者の最終出力の論理和を取る。これにより、2倍の周
期を持ち、外部クロックに同期した内部クロックを形成
する。
【0097】結局、図29及び30に示したクロック再
生回路の基本動作では、図28で説明したように、(式
21)で表されるように外部クロックから3サイクル遅
れて一つ目の内部クロックが出力され、それ以降は1サ
イクル毎に出力されるクロック群と、(式22)で表さ
れるように外部クロックから2.5サイクル遅れて一つ目
の内部クロックが出力され、それ以降は1サイクル毎に
出力されるクロック群が交互に出力される。すなわち、
図31に示すように、クロックイネーブル信号CKEを投
入してから2.5クロックサイクル遅れで外部クロックCLK
Eのほぼ半サイクル毎に内部クロックCLKIが出力され
る。この内部クロックCLKIの偶数番目のクロックの立ち
上がりエッジは外部クロックCLKEの立ち上がりエッジに
ほぼ同期しているので、外部クロックCLKEと内部クロッ
クCLKIのタイミング誤差は、図1の粗調整回路と同じよ
うに(式2)で表される。
【0098】したがって、図29及び30に示すように
遅延回路列DL及び逆方向遅延回路列BDABを備えたクロッ
ク再生回路では、クロック制御スイッチSW0及びSW1を適
切に制御しながら外部クロックCLKEのショットパルスを
入力して、図24及び25に示すクロック再生回路より
も遅延回路列FDA及びBDAにおける総回路素子数の約半分
の回路素子数で、外部クロック周波数のほぼ倍周期の内
部クロックCLKIを外部クロックCLKEに同期して発生する
ことができる。さらに、このクロック再生回路において
もクロック制御信号EN0、EN1、EN2、ENSW0及びENSW1を
適当に制御すれば、クロックサイクル時間が短いとき
(遅延モニタの遅延時間tDMC0に対してクロックサイク
ル時間tCKが短い時)、図14で説明動作と同様に、4,
5.5,…クロックサイクル遅れで内部クロックが発生する
動作も可能である。
【0099】<実施例6>本発明によるクロック再生回
路の構成例6を図32に示す。本クロック再生回路は、
一つの遅延回路列で遅延測定と遅延再現を行い、さら
に、遅延を再現する際に要する遅延回路が測定遅延で要
する遅延回路と同じであることが特長である。この実施
例は、図22で示した1つの遅延回路列でクロック再生
を行う回路の変形例として捕らえることができる。
【0100】図22の回路と比較した際の主な相違点は
以下の通りである。(1)図22のスイッチSW0は省略し、
CB3からの入力を遅延回路列の初段に入力するようにす
る。(2)遅延回路をDLからDLIに変更する。図22のDLは
遅延回路列の途中から、基準クロックを入力して遅延時
間を加算したのに対し、このDLIでは、初段から入力し
遅延回路列の途中から出力するようにしている。これら
の変更に伴い遅延モニタは、図33に示すようにDMCBと
して補正した。DMCBは図21のDMCAに対して遅延回路DL
EA0〜DLEAmの負荷及びAND回路に等しいダミー回路DD
LEIを挿入した点が異なる。
【0101】MCCは図22のものと同じであるが、出力N
M1〜NMmの出力がDLIに対して素直に平行に配線される配
置となっている(図32ではこの配線は省略されてい
る)。このため、多くの配線が交差する図22の回路よ
り配線レイアウトが簡略化される利点を持つ。
【0102】遅延回路列DLIの回路構成はm+1個の遅延回
路DLEI0〜DLEImが直列接続されており、遅延回路DLEI0
はクロックが伝播する2個のインバータ回路と1個のAND
回路で構成されている。遅延回路の構成を図22のよう
なNAND回路からインバータ回路に簡略化できるのは、先
に述べたように常にクロックをDLIの初段から入力して
遅延回路列の途中から出力するようにしているので、ク
ロックを入力するスイッチの効果を持つNAND回路が不要
になったためである。
【0103】以上の回路構成から、制御回路MCCの出力N
M1〜NMmの出力が一旦固定されると、遅延回路列DLIを伝
播するクロックは遅延回路DLEI1〜DLEImの中のAND回路
のうちハイレベルの制御回路MCC出力が入力されているA
ND回路を通じてNWORに出力される。さらに、このクロッ
クはクロック制御スイッチSW1とクロックドライバCIDを
通じて増幅され、内部クロックCLKIが発生する。
【0104】次に、 図34に従い、クロックサイクル
時間が比較的長く(遅延モニタの遅延時間tDMCBに対し
てクロックサイクル時間tCKが約2倍程度)、クロック
イネーブル信号CKEを投入してから3クロックサイクル
遅れで内部クロックCLKIが発生する本回路の基本動作を
説明する。電源投入時にハイレベルのパワーオンリセッ
ト信号PORが入力されてから、制御回路MCCが同期を検出
しNM1〜NMmの出力が確定するまでの動作は図22と同様
に行われる。但し、同期検出中はクロック制御信号EN2
をロウレベルとして、チップ内基準クロックCLKRがクロ
ックバッファCB3から遅延回路列DLIに入力されないよう
にする。
【0105】制御回路MCCが同期を検出してラッチ回路L
biの出力NMAiだけがハイレベルとなり、他はロウレベル
のままであるとして以下の動作を説明する。ノードNAI
で2つ目のクロックパルスが伝播した後、クロック制御
信号EN2がロウレベルからハイレベルとなる。同時にENS
W1もハイレベルからロウレベルとなり、各遅延回路DLEI
0〜DLEImのAND回路の出力ノードNWORとノードNSWOを接
続する。ここで、EN0はロウレベルであるので、3つ目
以降のチップ内基準クロックCLKRはクロックバッファCB
3を通じて遅延回路列DLIの初段に入力される。DLIを伝
播するクロックパルスはMCC出力に応じてDLEIiのANDか
らノードNWORに出力され、これがクロックドライバCID
を通じて増幅されて内部クロックCLKIが出力される。
【0106】さて、図34の動作で、出力を得るまでに
要する時間考える。遅延モニタDMCBの遅延時間をtDMCB
とし、遅延回路DLEI0〜DLEImの1段当たりの遅延時間を
tDIとする。また、i番目のアービタARB(i-1)の入力NF(i
-1)が立ち上がってから時間Δt後にノードNCI1が立ち上
がるとすると、クロックサイクル時間tCKはノードNCI0
のサイクルから、 tCK=tDMCB+i・tDI+Δt ............(式23) と表せる。さらに、AND回路の遅延時間をtANDとする
と、図33に示したように遅延モニタDMCBの遅延時間tD
MCBは、 tDMCB=tCIB0+tCIB+tCB+tAND+tCID .......(式24) となるように設定している。図13の動作と同じよう
に、基準クロックCNI0を1クロックサイクル遅延させる
ために必要な遅延回路の段数を遅延回路DLIによって求
めた後、1クロックサイクル以内に遅延回路DLIからク
ロックを出力する位置を設定する。そして、その次のク
ロックサイクルのチップ内部基準クロックCLKRをクロッ
クバッファCB3を通じて遅延回路DLIに入力する。このと
き、クロック伝播経路での遅延時間tLEは、 tLE=tCIB0+tCIB+tCB+i・tDI+tAND+tCID .....(式25) である。したがって(式23)〜(式25)より、クロ
ックイネーブル信号CKEを投入して外部クロックCLKEか
ら遅延回路列DLIを通じて一つ目の内部クロックCLKIが
出力されるまでの遅延時間の合計tDEは最短で、 tDE=(tCIB0+tCIB+tCB)+(tDMCB+i・tD+Δt) +[tCK-(tCIB0+tCIB+tCB)] +(tCIB0+tCIB+tCB+i・tDI+tAND+tCID) =[(tCIB0+tCIB+tCB+tAND+tCID)+i・tD+Δt] +tCK+[(tCIB0+tCIB+tCB+tAND+tCID)+i・tD] =3・tCK-Δt ............. ...(式26) となる。
【0107】すなわち、図22に示す回路と同じよう
に、外部クロックCLKEから一つ目の内部クロックCLKIが
発生するまで、ほぼ3サイクル要する。但し、図32に
示す回路では、制御回路MCCの出力NM1〜NMmの状態を決
める際に基準クロックNCI0を1クロックサイクル遅延さ
せるために要した遅延回路と内部クロックCLKIを発生す
るために要した遅延回路が同じDLEI0〜DLEIiであるの
で、図22に示す回路と比べて、プロセスばらつきによ
るデバイス特性の不均一性から発生する外部クロックと
内部クロックのタイミング誤差を小さくする効果があ
る。このクロック再生回路においてもクロック制御信号
EN0、EN1、EN2及びENSW1を適切に制御すれば、クロック
サイクル時間が短いとき(遅延モニタの遅延時間tDMCB
に対してクロックサイクル時間tCKが短い時)、図14
で説明したように5サイクル遅れで内部クロックが発生
する動作も可能である。
【0108】<実施例7>本発明によるクロック再生回
路の構成例7を図35に示す。本クロック再生回路は相
補の外部クロックをそれぞれ遅延させる二つの逆方向遅
延回路列を持ち、相補の外部クロックが立ち上がるタイ
ミングに同期した倍周期の内部クロックを発生すること
が特長である。この実施例と図20の回路との主な差は
以下の点である。(1)これまでの非反転外部クロックCLK
ETの他に反転外部CLKEBを入力するためのバッファ回路C
IB0B、CIBB、CB4を追加した。(2)CLKET及びCLKEBを受け
るバッファ回路の出力端に、パルス幅を狭くするための
ショットパルス発生回路SPG及びSPGBを挿入した。(3)BD
Aの他に同じ構成を持つ第2逆方向遅延回路列BDA1を追
加した。BDA1にもBDAと同じNM1〜NMAが接続される(図
面上での配線は省略されている)。(4)出力ノードNB0と
2つの逆方向遅延回路との間に、両者の出力の論理和を
取る論理回路(OR回路)を追加した。
【0109】クロック入力バッファCIB0及びCIB0Bは、
図3に示す回路と同じ構成で、それぞれ相補の外部クロ
ックCLKET及びCLKEBを受信する回路である。また、ショ
ットパルス発生回路SPG及びSPGBは図27に示す回路と
同じ構成で、外部クロックCLKET及びCLKEBのデューティ
50%未満のショットパルスを発生する。したがって、
CIB0及びCIB0Bの出力NCIB0及びNCIB0BからSPG及びSPGB
を通じた出力CLKR及びCLKRBは、外部クロックCLKET及び
CLKEBの立ち上がりエッジから発生されるショットパル
ス状のチップ内基準クロックである。これらがそれぞれ
入力されるクロック入力バッファCIB及びCIBBは図4に
示す回路と同じ構成であり、クロックバッファCB4は図
8に示す回路と同じ構成である。
【0110】次に、図36に従い、クロックサイクル時
間が比較的長く(遅延モニタの遅延時間tDMC0に対して
クロックサイクル時間tCKが約2倍程度)、クロックイ
ネーブル信号CKEを投入してから2.5クロックサイクル遅
れで内部クロックCLKIが発生する本回路の基本動作を説
明する。クロックイネーブル信号CKEがハイレベルにな
ると、外部クロックCLKET及びCLKEBはそれぞれクロック
入力バッファCIB0及びCIB0Bを通じてノードCLKR及びCLK
RBに出力され、さらにクロックバッファCIB及びCIBBを
通じてノードNAI及びNAIBに出力される。ここで、制御
回路MCCが同期を検出してNM1〜NMmの出力を確定するま
での動作は図20と同様に行われる。
【0111】次に、制御回路MCCが同期を検出してラッ
チ回路Lbiの出力NMAiだけがハイレベルとなり、他はロ
ウレベルのままであるとして以下の動作を説明する。こ
の時、クロック制御信号EN2がロウレベルからハイレベ
ルとしているので、ノードNAIからCB3を通じてBDA内の
遅延回路BDEiに3つ目以降のチップ内基準クロックCLKR
が入力される。また、ノードNAIBからクロックバッファ
CB4を通じてBDA1内の遅延回路BDE1iに2め目以降のチッ
プ内基準クロックCLKRBが入力される。BDA及びBDA1では
FDAで加えられた遅延時間と同じ遅延がそれぞれ加算さ
れるので、BDA及びBDA1の出力ノードNB1及びNB11には外
部クロックCLKET及びCLKEBの位相関係を保持したクロッ
クがそれぞれ出力される。
【0112】ここでは、図36に示すように、外部クロ
ックCLKET及びCLKEBのデューティがほぼ50%である場
合を示しているので、OR回路の出力NBOからクロック
ドライバCIDを通じて増幅された内部クロックCLKIの立
ち上がりエッジは、外部クロックCLKET及びCLKEBの立ち
上がりエッジにほぼ同期した倍周期のクロックとなる。
さらに、このクロックは外部クロックCLKEBから発生し
たパルスが先に出力されるので、クロックイネーブル信
号CKEを投入してから2.5クロックサイクル遅れで内部ク
ロックCLKIが発生する。このように、デューティがほぼ
50%の相補の外部クロックCLKET及びCLKEBに対して逆
方向遅延回路列を2つ備えたクロック再生回路は、外部
クロックCLKET及びCLKEBの立ち上がりエッジにほぼ同期
した内部クロックCLKIを出力することができる。
【0113】また、このクロック再生回路においてもク
ロック制御信号EN0、EN1及びEN2を適切に制御すれば、
クロックサイクル時間が短いとき(遅延モニタの遅延時
間tDMC0に対してクロックサイクル時間tCKが短い時)、
図14で説明したように4.5,6.5,…サイクル遅れで内部
クロックが発生する動作も可能である。
【0114】<実施例8>本発明によるクロック再生回
路の構成例8を図37に示す。本クロック再生回路は相
補の外部クロックからその倍周期のクロックを生成した
後に、それぞれ一つの進行方向遅延回路列及び逆方向遅
延回路列を用いて外部クロックの立ち上がりタイミング
に同期した内部クロックを発生することが特長である。
この実施例と図20の回路との主な差は以下の点であ
る。(1)これまでの非反転外部クロックCLKETの他に反転
外部CLKEBを入力するためのバッファ回路CIB0Bを追加し
た。(2)CLKET及びCLKEBを受けるバッファ回路の出力端
に、パルス幅を狭くするためのショットパルス発生回路
SPG及びSPGBを挿入した。(3)SPG及びSPGBの出力の論理
和を取る論理回路(OR回路)を追加してCIBに入力する
ようにした。
【0115】次に、図38に従い、クロックサイクル時
間が比較的長い場合(遅延モニタの遅延時間tDMC0に対
してクロックサイクル時間tCKが約2倍程度)、クロッ
クイネーブル信号CKEを投入してから2.5クロックサイク
ル遅れで内部クロックCLKIが発生する本回路の基本動作
を説明する。ここでは、外部クロックCLKET及びCLKEBの
デューティがほぼ50%である場合を示している。クロ
ックイネーブル信号CKEがハイレベルになると、外部ク
ロックCLKET及びCLKEBはそれぞれクロック入力バッファ
CIB0及びCIB0Bを通じてノードNCIB0及びNCIB0Bに出力さ
れ、これらがそれぞれショットパルス発生回路SPG及びS
PGBに入力されてデューティ50%未満のクロックパル
スNFCLKT及びNFCLKBを発生する。これらからOR回路を
通じて出力されるチップ内部基準クロックCLKRをFDAに
入力して同期段数を測定し、制御回路MCCの出力を決定
して内部クロックCLKIを発生する。
【0116】しかし、チップ内部基準クロックCLKRの周
期は外部クロックの倍周期であるために、ロックサイク
ルが図20の場合と異なる。即ち、複数の参照クロック
を発生するためにCB0を通じてFDAに送られた一つ目のク
ロックと、同期遅延段数を検出するためにCB1を通じて
送られる二つ目のクロックは、外部クロックに対して半
周期の位相差しかない。制御回路MCCが同期を検出しラ
ッチ回路LBhの出力NMhだけがハイレベルとなり、他はロ
ウレベルのままであるとすると、同期遅延段数は外部ク
ロックに対して半周期分の遅延となる。つまり、NMhの
位置とクロックサイクルtCKの関係はノードNCI0のサイ
クルから、 tCK/2=tDMC0+h・tD+Δt ...........(式27) と示される。以下、図20で説明した動作に従うと、図
37に示すクロック再生回路の基本動作ではクロックイ
ネーブル信号CKEを投入してから外部クロックに対して
1.5クロックサイクル(内部基準クロックに対して3サ
イクル)後に、ほぼ倍周期の内部クロックCLKIが発生す
る。
【0117】したがって、図37のように外部クロック
に対して倍周期のチップ内部基準クロックで同期遅延段
数を検出する構成では、図20に示したクロック再生回
路よりも短いロックサイクルで、外部クロックに対して
倍周期の内部クロックCLKIを発生できる効果がある。さ
らに、(式27)におけるhは図20で説明したiよりも小
さいので、FDA及びBDAの段数は、図20に示すクロック
再生回路の半分で足りる。つまり、本実施例に示すクロ
ック再生回路は図1に示す粗調整回路CTC及び図20よ
りも少ない回路素子数で構成できる効果がある。
【0118】このクロック再生回路においてもクロック
制御信号EN0、EN1及びEN2を適切に制御すれば、クロッ
クサイクル時間が短いとき(遅延モニタの遅延時間tDMC
0に対してクロックサイクル時間tCKが短い時)、図14
で説明したように2.5, 3.5,…サイクル遅れで内部クロ
ックが発生する動作も可能である。
【0119】<実施例9>本発明によるクロック再生回
路の構成例9を図39に示す。本クロック再生回路は相
補の外部クロックからその倍周期のクロックを生成した
後に、それぞれ一つの進行方向遅延回路列及び逆方向遅
延回路列を用いて、非反転外部クロックから発生した内
部クロックパルスは非反転外部クロックの立ち上がりタ
イミングに同期し、反転外部クロックから発生した内部
クロックパルスは反転外部クロックの立ち上がりタイミ
ングに同期するような外部クロックに対して倍周期の内
部クロックを発生することが特長である。この実施例と
図20の回路との主な差は以下の点である。(1)これま
での非反転外部クロックCLKETの他に反転外部クロックC
LKEBを入力するためのバッファ回路CIB0Bを追加した。
(2)CLKET及びCLKEBを受けるバッファ回路の出力端に、
パルス幅を狭くするためのショットパルス発生回路SPG
及びSPGBを挿入した。(3)SPG及びSPGBの出力の論理和を
取る論理回路(OR回路)を追加した。(4)BDA0に対する
基準クロックをSPGとSPGBの論理和取ったクロックにな
るようにした。(5)SPGの出力をOR回路を介してCIBに供
給するようにした。CIBにつながるOR回路は、遅延補正
のためのダミー回路である。
【0120】次に、図40に従い、クロックサイクル時
間が比較的長く(遅延モニタの遅延時間tDMC0に対して
クロックサイクル時間tCKが約2倍程度)、クロックイ
ネーブル信号CKEを投入してから2.5クロックサイクル遅
れで内部クロックCLKIが発生する本回路の基本動作を説
明する。ここでは、外部クロックCLKET及びCLKEBのデュ
ーティがほぼ50%である場合を示している。
【0121】クロックイネーブル信号CKEがハイレベル
になると、外部クロックCLKET及びCLKEBはそれぞれクロ
ック入力バッファCIB0及びCIB0Bを通じてノードNCIB0及
びNCIB0Bに出力され、これらがそれぞれショットパルス
発生回路SPG及びSPGBに入力されてデューティ50%未
満のクロックパルスNFCLKT及びNFCLKBを発生する。この
うち、ノードNFCLKTからOR回路及びCIBを通じた出力N
AIは外部クロックと同じ周期である。したがって制御回
路MCCが同期を検出しNM1〜NMmの出力が確定するまでの
動作は、図20と同じように行われる。
【0122】制御回路MCC1が同期を検出しラッチ回路Lb
iの出力NMiだけがハイレベルとなり、他はロウレベルの
ままであるとして以下の動作を説明する。CB3を通じて
遅延回路BDEiに入力されるクロックは、図20と異な
り、非反転クロックCLKETと反転クロックCLKEBのショッ
トパルスの論理和をとったチップ内基準クロックNDBLCL
KRであるので、外部クロックに対して倍周期のクロック
である。このクロックパルスがBDA0を伝播し、さらにク
ロックドライバCID通じて増幅されて内部クロックCLKI
に出力される。すなわち、相補の外部クロックから位相
関係が保たれたまま、1サイクルだけ遅延して内部クロ
ックが出力される。したがって、非反転外部クロックか
ら発生した内部クロックパルスは非反転外部クロックの
立ち上がりタイミングに同期し、反転外部クロックから
発生した内部クロックパルスは反転外部クロックの立ち
上がりタイミングに同期するような外部クロックに対し
て倍周期の内部クロックを発生できる効果がある。
【0123】ここで、図35と同様に、二つ目の反転ク
ロックから発生した内部クロックが始めに出力されるの
でロックサイクルは2.5サイクルとなる。また、このク
ロック再生回路においてもクロック制御信号EN0、EN1及
びEN2を適切に制御すれば、クロックサイクル時間が短
いとき(遅延モニタの遅延時間tDMC0に対してクロック
サイクル時間tCKが短い時)、図14で説明したように
4.5, 6.5,…サイクル遅れで内部クロックが発生する動
作も可能である。
【0124】以上実施例1〜9まで、クロック再生回路
の実施例を述べてきた。これらの実施例に共通する最も
重要な観点の一つは、遅延回路の同期段数を検出する制
御回路にラッチ回路を設け、同期遅延段数を保持するこ
とである。この構成により以下の主な作用効果が生まれ
る。
【0125】(1)同期検出が終了した後は、1つの遅
延回路列の所定の位置に基準クロックを入力すれば内部
クロックが発生できるようになる。
【0126】(2)このクロック再生回路は、同期検出
までの時間が短く、一旦同期検出がなされれば、ラッチ
回路により同期遅延段数が固定されるので、第2のクロ
ック再生回路と組み合わせる際に、両者の動作不整合を
容易に制御できる。
【0127】(3)外部クロックの供給を一時中断して
半導体装置全体の消費電力を低減する動作が容易化され
る。即ち(1)により、外部クロックの供給を再開する
ときのクロック再生動作が短時間(1クロックサイク
ル)でできるようになる。
【0128】(4)さらに、同期検出のための遅延回路
列を専用に設ける構成では、同期検出完了後にこの回路
の動作が停止できるので、クロック再生回路の低消費電
力化が図れる。
【0129】(5)(1)の構成により、1つの遅延回
路列を時分割的に利用できるようになるため、一つの遅
延回路列でクロック再生を行うことができるようにな
る。この構成では、クロック再生回路の面積低減が図
れ、半導体装置の低コスト化に寄与する。
【0130】<実施例10>本発明によるクロック再生
回路の構成例10を図41に示す。本クロック再生回路
は外部クロックに同期した内部クロックを発生するため
に必要な遅延回路以外の回路における電源電圧を遮断し
て、本クロック再生回路における消費電力を低減する特
徴がある。このクロック再生回路は、図20の回路に適
用することを想定している。図22、29、30、32
などへの適用には若干の補正を要するがそのほかの例に
は直接的に適用できる。制御回路MCCの中のをラッチ回
路と、それ以外の論理回路列APAに分割するしている。
図20のMCCで対応させればAPAはアービタARB0
〜ARBm及び論理回路PCL1〜PCLmである。そして、少なく
ともFDAとAPAに対する電源供給ブロックを回路ブロック
LVTP1として他の回路ブロックから分離するして電源ス
イッチPTR1で制御することがこの実施例の構成である。
なお、図20では遅延モニタもLVTP1に含めた。さらに
本実施例では、クロック入力バッファCIB0及びCIB、ク
ロックバッファCB0、CB1、CB2及びCB3、ラッチ回路列LB
A、逆方向遅延回路列BDA及びクロックドライバCIDで構
成される回路ブロックLVTP0も電源電圧給電トランジス
タPTR0で制御された構造となっている。
【0131】図20に示すクロック再生回路は、図13
の動作で説明したように、制御回路MCCの出力を決定し
た後は進行方向遅延回路列FDA及びアービタARB0〜ARBm
の動作を止めておくことができる。したがって、電源投
入時や待機状態から復帰する時は電源電圧給電トランジ
スタPTR0及びPTR1をそれぞれオンするが、制御回路MCC
の出力を決定した後は電源電圧給電トランジスタPTR1を
オフして回路ブロックLVTP1への電源電圧給電を停止
し、本クロック再生回路での消費電力を抑制することが
できる。ラッチ回路が同期遅延段数の情報保持するため
である。このような電源電圧給電線の制御方式は論理回
路LVTP0及びLVTP1内の回路を電源電圧給電トランジスタ
PTR0及びPTR1よりも低いしきい電圧のトランジスタで構
成した時にも適用できて、しきい電圧の低いトランジス
タにおけるオフ電流(サブスレッショルド・リーク電
流)による消費電力を抑制する効果がある。
【0132】この実施例を図22、29、30、32な
どへの適用するには、同期検出が終了した後、動作不要
な回路をLVTP1にふくめれば良い。一例として制御回路
のAPAに相当する回路は、直接適用することができる。
【0133】<実施例11>次に、以上で説明したクロ
ック再生回路の応用例を示す。図42は、シンクロナス
DRAMの構成例を示している。同図で、CRCはクロッ
ク再生回路で、例えば図1に示したように構成される。
必要に応じて、実施例2〜10の技術が適用される。AR
Y0〜ARY3はメモリアレーであり、ワード線WLとデータ線
DLの所望の交点に配置され1個のMOSトランジスタと1
個のキャパシタで構成されたダイナミック形メモリセル
MC、データ線DLに接続されたセンスアンプSA、ワード線
WLを駆動するワードドライバWD等で構成される。また、
DOB0及びDOB1はデータ出力バッファであり、メモリアレ
ーARY0及びARY2から読み出されたデータをDOB0で、ARY1
及びARY3から読み出されたデータをDOB0で出力する。そ
の他の回路ブロックは省略している。
【0134】本発明によるクロック再生回路は、クロッ
クサイクル時間の広い範囲で動作するので、シンクロナ
スDRAMのように広い動作周波数範囲が求められる半
導体装置に好適である。また、大容量化に伴うチップサ
イズの拡大やデータレートの向上のためのバス幅の拡大
などにより、内部クロックの負荷が重くなりクロックド
ライバの遅延時間が大きくなっても、短いクロックサイ
クル時間で動作できる。さらに、内部クロックの出力タ
イミングを精度よく制御できるので高周波動作での動作
マージンを確保することができるため、今後のシンクロ
ナスDRAMの高速化・大容量化に適する。例えば図4
2のように、データ出力バッファがチップ内の離れた位
置に配置されていると、それらへのクロック信号の駆動
回路の負荷が大きくなるが、本発明によるクロック再生
回路は十分対応可能である。
【0135】図43は、シンクロナスDRAM要部のブ
ロック図で、カラム(Y)系リードパス(データ読み出
し経路)の構成例を示している。同図で、ロウ系(X)
及びライトパス(データ書き込み経路)は省略してい
る。同図の左側に示した信号名はシンクロナスDRAM
で標準的に備える入出力端子を示している。端子名の末
尾の“b”は反転信号を示している。クロック入力端子C
LKEから入力される外部クロックを基準として動作する
ことが通常のDRAMと比べた際の特徴である。前記外
部クロックの入力は、クロックイネーブル入力端子CKE
により制御される。アドレス入力端子ADDからは特に制
限されないがアドレスマルチ方式で、ロウアドレス、カ
ラムアドレス、及びバンクアドレスが入力される。ロウ
及びカラムアドレスを順次入力するためにロウアドレス
ストローブコマンド入力端子RASb、カラムアドレススト
ローブコマンド入力端子CASbをもつ。スタティック型メ
モリセルを持ち外部クロックを基準として動作するシン
クロナスSRAMは、アドレスマルチ方式では無いの
で、このRASbとCASbを除いたものと考えることができ
る。他にメモリチップを選択するためにチップ選択入力
端子CSb、データの書き込みを制御するためのライトイ
ネーブルコマンド入力端子WEbがある。メモリの出力デ
ータはデータ出力端子Doutから出力されるが、この端子
は図示しないデータの入力端子と兼用されることが多
い。上述した入力端子の信号はクロック入力端子から入
力される外部クロックのタイミングに応じて取り込まれ
る。
【0136】ADBはアドレスカウンタの機能を有するア
ドレスバッファ、PYDはプリYデコーダ、CDはコマンド
デコーダ、CKBはクロックバッファである。また、DLe,
DLoはデータ線、SAe,SAoはデータ線DLe,DLoの信号を
増幅するセンスアンプ、YGe,YGoはセンスアンプSAe,S
Aoをサブ入出力線SIOe,SIOoに接続するYゲート、IOS
e,IOSoはサブ入出力線SIOe,SIOoをメイン入出力線MIO
e,MIOoに接続する入出力線スイッチ、YDe,YDoはY選
択線YSe,YSoによりYゲートYGe,YGoを選択するYデコ
ーダ、MAe,MAoはメイン入出力線MIOe,MIOoの信号を増
幅するメインアンプであり、これらは多数設けられるが
簡単のため一部のみが示されている。CRCはクロック再
生回路で、例えば図1に示したように構成される。RDC
はリードデータ制御回路で、リードデータラッチRDLe,
RDLoとリードデータセレクタRDSで構成される。DOBはデ
ータ出力バッファで、データ出力ラッチDOLとデータ出
力ドライバDODで構成される。リードデータ制御回路RDC
及びデータ出力バッファDOBはそれぞれ、1サイクルに出
力されるデータのビット数と同じ個数だけ設けられる
が、ここでは簡単のため1個だけ示している。
【0137】図44のタイミングチャートに従い、図4
3のシンクロナスDRAMのリード動作を説明する。同
図は、2ビットずつプリフェッチしてパイプライン動作
し、CASレイテンシCLが6で、4ビットのバーストリー
ドを行う場合を示している。アクティベイトコマンドに
よるロウ系の動作はすでに完了しているものとする。外
部からのクロックイネーブル信号CKEbにより、クロック
バッファCKBが動作しており、内部クロックCLK0がコマ
ンドデコーダCD等に供給されている。クロックバッファ
CKBは内部クロックと外部クロックとのタイミングを合
わせる機能を持たず、この内部クロックCLK0は外部クロ
ックCLKEと同じ周期であるが位相差は大きい。
【0138】外部クロックCLKEの立ち上がりに合わせ、
制御信号CSb,RASb,CASb,WEbの組み合わせによりリー
ドコマンドRがコマンドデコーダCDに取り込まれ、コマ
ンドデコーダCDが制御信号CNT0,CNT1,CNT2,CNT3,CN
T4により各回路ブロックを制御する。また、クロックエ
ネーブル信号CKEによりクロック再生回路CRCが起動され
る。
【0139】リードコマンドRと同時に外部アドレスADD
のアドレス信号aがアドレスバッファADBに取り込まれ、
Yアドレスのアドレス信号a0,a1がプリYデコーダPYD
へ出力される。ここで、a0,a1は先頭アドレスとその次
のアドレスであり、2ビットずつプリフェッチしている
ので2サイクル分のアドレスが同時に出力される。その1
クロックサイクル後に、プリYデコーダPYDは最初の2サ
イクル分のプリデコードされたアドレス信号をYアドレ
スバスPYAe,PYAoに出力する。このアドレス信号に従
い、YデコーダYDe,YDoがY選択線YSe,YSoによりYゲ
ートYGe,YGoを選択し、センスアンプSAe,SAoから信号
がサブ入出力線SIOe,SIOo及び入出力線スイッチIOSe,
IOSoを通じてメイン入出力線MIOe,MIOoに伝達され、メ
インアンプMAe,MAoで増幅される。
【0140】2ビットプリフェッチを行うので、このメ
モリアレー部の動作には2クロックサイクル時間をか
け、2クロックサイクル後に、メインアンプMAe,MAo
は、読み出されたデータをリードバスRDe,RDoに出力す
る。その1クロックサイクル後にリードデータラッチRDL
e,RDLoでデータをラッチし、リードデータセレクタRDS
で1クロックサイクル毎に切り換えながら、データ出力
バッファDOBへ送る。すなわち、リードコマンドが投入
された後の内部クロックCLK0の最初の立ち上がりから4
クロックサイクル後にリードデータラッチRDLe,RDLoで
データをラッチする。
【0141】ここで、コマンドデコーダCDによりリード
コマンドRが発生する前にクロックイネーブル信号CKEで
クロック再生回路CRCは起動されており、図13で説明
したように外部クロックCLKEの最初の立ち上がりから3
クロックサイクル後れて内部クロックCLKIが出力され、
さらに図15で説明したように数十クロックサイクル後
に外部クロックCLKEとのタイミング誤差の小さな内部ク
ロックCLKIが出力されている。この内部クロックCLKIに
よりデータ出力ラッチDOLのタイミングが制御され、デ
ータ出力ドライバDODが出力データDoutを出力する。
【0142】このように、外部クロックCLKEとタイミン
グを合わせた内部クロックCLKIをデータ出力の制御に用
いることにより、外部クロックCLKEの立ち上がりからデ
ータ出力までのクロックアクセス時間tACを小さくでき
る。
【0143】本発明によるクロック再生回路は、クロッ
クエネーブル信号CLKEを投入してから数十クロックサイ
クル遅れで外部クロックCLKEとのタイミング誤差の小さ
な内部クロックCLKIを発生させることができるので、短
い時間で待機状態から復帰することができ、待機時及び
復帰時の消費電力を小さくできる。
【0144】一方、コマンドデコーダなどに供給する内
部クロックを、クロック再生回路CRCを用いずにクロッ
クバッファCKBで発生させることにより、外部からクロ
ックエネーブル信号CKEbによりクロックバッファが起動
されたらすぐに動作を開始できる。
【0145】なお、図43では、コマンドデコーダCD等
に用いる内部クロックCLK0を発生するクロックバッファ
CKBと、出力バッファDOBに用いる内部クロックCLKIを発
生するクロック再生回路CRCが独立しているように示し
たが、部分的に共有することも可能である。例えば、外
部クロックCLKEが小振幅伝送されている場合に、チップ
内の一般的な動作電圧と同じ電圧振幅にするための差動
アンプを共有化できる。それにより、回路規模を削減
し、消費電力とレイアウト面積を低減できる。
【0146】ここでは、シンクロナスDRAMに本発明
を適用した場合を示したが、外部クロックに同期してデ
ータの入出力を行う同期式のメモリであれば、他のメモ
リでも好適である。同期式メモリとは、読み出し又は書
き込みのためのアドレスの取り込みと、データの出力又
は入力とが一定のクロックサイクルで行われるメモリで
ある。例えば、入力端子と出力端子がそれぞれ交差結合
された2つのインバータ(CMOSインバータ、あるい
は抵抗負荷型インバータ)からなるメモリセルを持つ同
期式のスタティック・ランダム・アクセス・メモリ(SR
AM)に応用しても、同様な効果が得られる。
【0147】また、ダイナミック・ランダム・アクセス・
メモリ(DRAM)をプロトコル制御するシンクリンク
・ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(SLDR
AM)に必要とされる、外部クロックと内部クロックの
タイミング誤差を補正するバーニアに応用することもで
きる。
【0148】さらに、外部クロックCLKEの立ち上がり及
び立ち下がりエッジに同期してデータ出力ラッチDOLの
タイミングが制御され、データ出力ドライバDODが出力
データDoutを出力するダブル・データ・レイト・シンク
ロナスDRAM(DDR SDRAM)に必要とされ
る、外部クロックCLKEの立ち上がり及び立ち下がりエッ
ジに同期した内部クロックCLKIを発生するクロック再生
回路の粗調整回路に、図24及び25、図29及び3
0、図35、図37、または図39に示す構成を応用す
ることもできる。
【0149】
【発明の効果】複数の遅延回路の出力する複数の位相の
異なる参照クロック列と基準クロックとを比較して遅延
回路の同期段数を検出する制御回路にラッチ回路を設
け、同期遅延段数を保持する構成をとるクロック再生回
路とする。これにより以下の主な効果が生まれる。
【0150】(1)同期検出が終了した後は、1つの遅
延回路列の所定の位置に基準クロックを入力すれば内部
クロックが発生できるようになる。
【0151】(2)このクロック再生回路は、同期検出
までの時間が短く、一旦同期検出がなされれば、ラッチ
回路により同期遅延段数が固定されるので、微調整用の
第2のクロック再生回路と組み合わせる際に、両者の動
作不整合を容易に制御できる。
【0152】(3)外部クロックの供給を一時中断して
半導体装置全体の消費電力を低減する動作が容易化され
る。即ち(1)により、外部クロックの供給を再開する
ときのクロック再生動作が短時間でできるようになる。
【0153】(4)さらに、同期検出のための遅延回路
列を専用に設ける構成では、同期検出完了後にこの回路
の動作が停止できるので、クロック再生回路の低消費電
力化が図れる。
【0154】(5)(1)の構成により、1つの遅延回
路列を時分割的に利用できるようになるため、一つの遅
延回路列でクロック再生を行うことができるようにな
る。この構成では、クロック再生回路の面積低減が図
れ、半導体装置の低コスト化に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるクロック再生回路の構成例1を示
す図。
【図2】遅延時間微調整回路の構成例を示す図。
【図3】クロック入力バッファCIB0の構成例を示す図。
【図4】クロック入力バッファCIBの構成例を示す図。
【図5】クロックドライバの構成例を示す図。
【図6】クロックバッファCB0の構成例を示す図。
【図7】クロックバッファCB1及びCB2の構成例を示す
図。
【図8】クロックバッファCB3の構成例を示す図。
【図9】遅延モニタDMCの構成例を示す図。
【図10】位相比較回路の構成例を示す図。
【図11】シフトレジスタ制御信号生成回路の構成例を
示す図。
【図12】シフトレジスタ回路の構成例を示す図。
【図13】図1のクロック再生回路のクロックサイクル
時間が比較的長い場合の粗調整回路の基本動作を示す
図。
【図14】図1のクロック再生回路のクロックサイクル
時間が短い場合の粗調整回路の動作を示す図。
【図15】図1のクロック再生回路の微調整回路の動作
を示す図。
【図16】図1のクロック再生回路の動作のシミュレー
ション結果を示す図。
【図17】図12のシフトレジスタの動作例1を示す
図。
【図18】図12のシフトレジスタの動作例2を示す
図。
【図19】図11のシフトレジスタの動作例3を示す
図。
【図20】本発明によるクロック再生回路の構成例2を
示す図。
【図21】遅延モニタDMCAの構成例を示す図。
【図22】本発明によるクロック再生回路の構成例3を
示す図。
【図23】図23のクロック再生回路のクロックサイク
ル時間が比較的長い場合の基本動作を示す図。
【図24】本発明によるクロック再生回路の構成例4を
示す図(その1)。
【図25】本発明によるクロック再生回路の構成例4を
示す図(その2)。
【図26】遅延モニタDMC0の構成例を示す図。
【図27】ショットパルス発生回路の構成例を示す図。
【図28】図24及び25のクロック再生回路のクロッ
クサイクル時間が比較的長い場合の基本動作を示す図。
【図29】本発明によるクロック再生回路の構成例5を
示す図(その1)。
【図30】本発明によるクロック再生回路の構成例5を
示す図(その2)。
【図31】図29及び30のクロック再生回路のクロッ
クサイクル時間が比較的長い場合の基本動作を示す図。
【図32】本発明によるクロック再生回路の構成例6を
示す図。
【図33】遅延モニタDMCBの構成例を示す図。
【図34】図32のクロック再生回路のクロックサイク
ル時間が比較的長い場合の基本動作を示す図。
【図35】本発明によるクロック再生回路の構成例7を
示す図。
【図36】図35のクロック再生回路のクロックサイク
ル時間が比較的長い場合の基本動作を示す図。
【図37】本発明によるクロック再生回路の構成例8を
示す図。
【図38】図37のクロック再生回路のクロックサイク
ル時間が比較的長い場合の基本動作を示す図。
【図39】本発明によるクロック再生回路の構成例9を
示す図。
【図40】図39のクロック再生回路のクロックサイク
ル時間が比較的長い場合の基本動作を示す図。
【図41】本発明によるクロック再生回路の構成例10
を示す図。
【図42】本発明によるシンクロナスDRAMの構成例を示
す図。
【図43】本発明によるシンクロナスDRAMの要部ブロッ
ク図。
【図44】本発明によるシンクロナスDRAMの動作タイミ
ングを示す図。
【符号の説明】
CLKE…外部クロック、CLKR…チップ内部基準クロック、
CLKI…内部クロック、CKE…クロックイネーブル信号、E
N0, EN1, EN2, EN3, ENSW0, ENSW1…クロック制御信
号、CTC…粗調整回路、FTC…微調整回路、CIB0, CIB…
クロック入力バッファ、CB0, CB1, CB2…クロック入力
バッファ、CID…クロックドライバ、DMC…遅延モニタ、
FDA…進行方向遅延回路列、MCC,MCC1…制御回路、BDA0,
BDA…逆方向遅延回路列、FDE0〜FDEm…進行方向遅延回
路列内の遅延回路、ARB0〜ARBm…制御回路内のアービ
タ、PCL1〜PCLm…制御回路内の論理回路、LB1〜LBm…制
御回路内のラッチ回路、BDE1〜BDEm…逆方向遅延路列内
の遅延回路、DDA, DDA1…進行方向遅延回路列FDAを構成
する遅延回路FDE0〜FDEm及び逆方向遅延回路列BDA0及び
BDAを構成する遅延回路BDE0〜BDEmのダミー回路、FTD,
FTD0, FTD1…遅延時間微調整回路、PC…位相比較回路、
CSG…シフトレジスタ制御信号生成回路、SR, SRF, SRB
…シフトレジスタ、NAI…クロック入力バッファCIBの出
力ノード、NCI0…クロックバッファCB0の出力ノード、N
CI1…クロックバッファCB1の出力ノード、NCI2T…クロ
ックバッファCB2の出力ノード、NCI2B…NCI2Tの反転信
号、NCI3…クロックバッファCB3の出力ノード、NFI…遅
延モニタの出力ノード、NF0〜NFm…進行方向遅延回路列
の出力ノード、NQ0〜NQm…制御回路内のアービタの出力
ノード、NR0〜NRm…制御回路内の論理回路の出力ノー
ド、NM1〜NMm…制御回路内のラッチ回路の出力ノード、
NB1〜NBm…逆方向遅延回路列の内部ノード、NB0…遅延
回路DDAの出力ノード、NBO…遅延時間微調整回路の出力
ノード、CLKB…内部クロックの反転信号、INF, INB…電
流制御型インバータ、PTF0, PTB0…P型MOSトランジス
タ、NTF0, NTB0…N型MOSトランジスタ、PTFA, PTBA…電
流制御用P型MOSトランジスタ列、NTFA, NTBA…電流制御
用N型MOSトランジスタ列、PTF1〜PTFn, PTB1〜PTBn…電
流制御用P型MOSトランジスタ、NTF1〜NTFn, NTB1〜NTBn
…電流制御用N型MOSトランジスタ、QF1〜QFn, QB1〜QBn
…シフトレジスタの出力ノード、NFTDM…電流制御
インバータINBの出力、DCIB0…クロック入力バッフ
ァCIB0のダミー回路、DCIB…クロック入力バッファCIB
のダミー回路、DCB…クロックバッファCB0,CB1, CB2及
びCB3のダミー回路、DFTD…遅延時間微調整回路FTDのダ
ミー回路、DCID…クロックドライバCIDのダミー回路、A
BP0, ABP1…位相比較回路内のアービタ、LA0, LA1…位
相比較回路内のラッチ回路、NPC0, NPC1…アービタABP0
の入力ノード、NPC2…アービタABP1の入力ノード、CLKI
R…位相比較回路におけるダミー回路DCIB0の出力ノー
ド、NFA0, NSL0…位相比較回路の出力ノード、Q…Tフ
リップフロップ出力ノード、NSL1, NSL2, NFA1, NFA2…
シフトレジスタ制御信号生成回路出力ノード、SRC…シ
フトレジスタ制御回路、NSLF1, NSLF2, NFAF1, NFAF2,
NSLB1, NSLB, NFAB, NFAB2…シフトレジスタ制御回路の
出力ノード、δ, δ1…外部クロックと内部クロックの
タイミング誤差、tCK…クロックサイクル時間、tDMC…
遅延モニタの遅延時間、tD…遅延回路FDE0〜FDEm及びBD
E1〜BDEmの1段当たり及びこれらに相当するダミー遅延
回路DDAの遅延時間、tDB…外部クロックCLKEを入力して
から内部クロックCLKIを出力するまでに要する時間、tC
IB…クロック入力バッファの遅延時間、tCID…クロック
ドライバの遅延時間、Δtdz…遅延時間微調整回路FTD0
における遅延時間と遅延時間微調整回路FTD1における遅
延時間との差、td1, td2, …, tdy…遅延時間微調整回
路FTDにおける遅延時間の変化量、DL…遅延回路列、SW
0, SW1…クロック制御スイッチ、NDMCO…遅延モニタDMC
の出力ノード、DLE0〜DLEm…遅延回路列内の遅延回路、
DMCA…遅延モニタ、tDMCA…遅延モニタDMCAの遅延時
間、BDAA,BDAB…逆方向遅延回路列、NBA1〜NBAm,NBB1〜
NBBm …逆方向遅延回路列の内部ノード、DMC0, DMC1, D
MC2…遅延モニタ、tDMC0…遅延モニタDMC0の遅延時間、
NMA1〜NMAm…制御回路内のラッチ回路の出力ノード、NM
B1〜NMBm…制御回路内のラッチ回路の出力をOR回路に
入力して得られる出力ノード、NCI4…遅延ダミーDMC2の
出力ノード、SPG, SPGB…ショットパルス発生回路、tSP
G…ショットパルス発生回路の遅延時間、tOR…OR回路
の遅延時間、NCIB0…クロック入力バッファCIB0及びシ
ョットパルス発生回路を接続するノード、NFCLKT…ショ
ットパルス発生回路SPGの出力ノード、NFCLKB…ショッ
トパルス発生回路SPGBの出力ノード、NSWO…クロック制
御スイッチSW1の出力ノード、tDC, tDD, tDE…外部クロ
ックCLKEを入力してから内部クロックCLKIを出力するま
でに要する時間、DMCB…遅延モニタ、DLI…遅延回路
列、DDLEI…遅延回路DLEI0〜DLEImのダミー回路、NWOR
…遅延回路列DLAの出力ノード、tDI…遅延回路DLEI0〜D
LEImの遅延時間、CIB0B…クロック入力バッファ、CIBB
…クロック入力バッファ、CB4…クロックバッファ、BDA
1…逆方向遅延回路列、BDE11〜BDE1m…遅延回路、NCIB0
B…クロック入力バッファの出力ノード、NAIB…クロッ
ク入力バッファの出力ノード、NCI3B…クロックバッフ
ァの出力ノード、CLKRB…ショットパルス発生回路SPGB
の出力ノード、NB11〜NB1m…逆方向遅延回路列の内部ノ
ード、NODDCLKR, NDBLCLKR…チップ内部基準クロック、
PTR0, PTR1…電源給電トランジスタ、APA…論理回路
列、LBA…ラッチ回路列、LVTP0, LVTP1…回路ブロッ
ク、tLB, tLC, tLE…クロック伝播経路での遅延時間、C
RC…クロック再生回路、ARY0〜ARY3…メモリアレー、DO
B0,DOB1,DOB…データ出力バッファ、WL…ワード線、D
L,DLe,DLo…データ線、MC…メモリセル、SA,SAe,SA
o…センスアンプ、WD…ワードドライバ、ADB…アドレス
バッファ、CD…コマンドデコーダ、CKB…クロックバッ
ファ、DOL…データ出力ラッチ、DOD…データ出力ドライ
バ、ADD…外部アドレス、CSb,RASb,CASb,WEb…シン
クロナスDRAMの制御信号、CKEb…シンクロナスDR
AMのクロックエネーブル信号、CLK0…クロックバッフ
ァCKBにより出力される内部クロック、Dout…出力デー
タ、PYD…プリYデコーダ、YDe,YDo…Yデコーダ、YA
…Yアドレス、PYAe,PYAo…Yアドレスバス、YSe,YSo
…Y選択線、YGe,YGo…Yゲート、SIOe,SIOo…サブ入
出力線、IOSe,IOSo…入出力線スイッチ、MIOe,MIOo…
メイン入出力線、CNT0,CNT1,CNT2,CNT3,CNT4…制御
信号、MAe,MAo…メインアンプ、RDe,RDo…リードバ
ス、RDC…リードデータ制御回路、RDLe,RDLo…リード
データラッチ、RDS…リードデータセレクタ、CL…CA
Sレイテンシ、tAC…クロックアクセス時間。
フロントページの続き (72)発明者 木村 勝高 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 Fターム(参考) 5J001 AA04 BB00 BB03 BB04 BB05 BB06 BB08 BB09 BB10 BB11 BB12 BB14 BB21 BB23 CC00 DD01 DD09 5J106 AA03 CC03 CC21 CC58 DD09 DD13 DD24 DD39 DD42 GG14 HH10 KK03 KK38 KK40

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】外部クロックを受けて、前記外部クロック
    に同期した内部クロックを発生するクロック再生回路を
    有する半導体装置であって、 前記クロック再生回路は、 前記外部クロックが結合され第1基準クロックを出力す
    るための入力基準ノードと、 前記入力基準ノードにその初段が結合され、それぞれに
    位相の異なる複数の参照クロックを出力するための複数
    の第1遅延回路と、 前記第1基準クロックと比較して前記複数の参照クロッ
    クのうち最も位相の近い一つを検出することにより同期
    に必要な所定の遅延段数を検出する比較回路と、前記所
    定の遅延段数の情報を保持するラッチ回路を持つ制御回
    路と、 前記第1基準クロックがスイッチを介して入力される入
    力ノードをそれぞれに持つ複数の第2遅延回路と、 前記第2遅延回路の最終段に結合され前記内部クロック
    を出力するための出力基準ノードとを備え、 前記内部クロックは、前記制御回路で検出された前記所
    定の遅延段数に対応する前記複数の第2遅延回路の一つ
    の前記入力ノードに前記第1基準クロックを入力して最
    終段まで伝搬させることで形成されることを特徴とする
    半導体装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記ラッチ回路が前記
    所定の遅延段数の情報を保持した後、前記複数の第1遅
    延回路及び前記比較回路に対する前記第1基準クロック
    の入力が停止されることを特徴とする半導体装置。
  3. 【請求項3】請求項1において、前記ラッチ回路が前記
    所定の遅延段数の情報を保持した後、前記クロック再生
    回路に対する前記外部クロックの供給が所定期間停止さ
    れて再び前記外部クロックが供給されたとき、前記複数
    の第2遅延回路は、前記ラッチ回路に保持された前記所
    定の遅延段数の情報に従って、前記内部クロックを形成
    することを特徴とする半導体装置。
  4. 【請求項4】請求項1において、前記ラッチ回路が前記
    所定の遅延段数をラッチした後、前記複数の第1遅延回
    路及び前記制御回路の前記比較回路に対する動作電源の
    供給を停止することを特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】請求項1において、 前記半導体装置は、第2クロック再生回路を更に有し、 前記第2クロック再生回路は、前記複数の第2遅延回路
    と前記内部クロックの出力ノードとの間に挿入された可
    変遅延回路と、前記第1基準クロックと前記内部クロッ
    クの位相を比較して前記可変遅延回路の遅延時間を制御
    する位相比較回路とを有し、 前記第1クロック再生回路の複数の第1及び第2遅延回
    路のそれぞれの遅延時間は、第1遅延時間であり、 前記可変遅延回路の遅延時間の可変単位は前記第1遅延
    時間よりも小さな第2遅延時間であることを特徴とする
    半導体装置。
  6. 【請求項6】請求項5において、前記第2遅延時間は、
    前記第1遅延時間の約1/10であることを特徴とする
    半導体装置。
  7. 【請求項7】請求項5において、 前記ラッチ回路が前記所定の遅延段数を保持する前に
    は、前記第2クロック再生回路の前記位相比較回路の動
    作は停止され、 前記ラッチ回路が前記所定の遅延段数を保持した後に、
    前記位相比較回路の動作が可能とされるとともに前記複
    数の第1遅延回路及び前記比較回路に対する前記外部ク
    ロックの入力が停止されることを特徴とする半導体装
    置。
  8. 【請求項8】請求項5において、前記ラッチ回路が前記
    所定の遅延段数を保持した後、前記複数の第1遅延回路
    及び前記比較回路に対する動作電源の供給を停止するこ
    とを特徴とする半導体装置。
  9. 【請求項9】請求項5において、 前記第2クロック再生回路は、前記位相比較回路が出力
    する第1及び第2の信号を受けてシフトレジスタ制御信
    号を出力する制御信号生成回路と、前記シフトレジスタ
    制御信号を受けて前記可変遅延回路を制御するシフトレ
    ジスタを更に含み、 前記位相比較回路の出力に応じて前記シフトレジスタが
    制御されることを特長とする半導体装置。
  10. 【請求項10】請求項9において、前記シフトレジスタ
    は、初期設定時に最下位及び最上位以外のビットがセッ
    トされることを特長とする半導体装置。
  11. 【請求項11】請求項10において、前記シフトレジス
    タは、二分探作法のアルゴリズムで制御されることを特
    長とする半導体装置。
  12. 【請求項12】請求項1において、 前記クロック再生回路は、前記外部クロックを受けてパ
    ルス幅を狭めて前記基準ノードに前記第1基準クロック
    として供給するショットパルス発生回路と、前記複数の
    第2遅延回路の1/2の数の遅延回路が直列接続された
    複数の第3遅延回路と、前記複数の第2遅延回路の出力
    端と前記出力基準ノードとの間に挿入された論理回路と
    を更に備え、 前記論理回路は、前記制御回路で検出された前記所定の
    遅延段数に対応する前記複数の第2遅延回路の入力ノー
    ドに前記第1基準クロックを入力して所定の遅延時間を
    加算した第1クロックと、前記制御回路で検出された前
    記所定の遅延段数の半分に対応する前記複数の第3遅延
    回路の入力ノードに前記第1基準クロックを入力して前
    記所定の遅延時間の1/2の遅延時間を加算した第2ク
    ロックとの論理和を取って前記出力基準ノードに供給す
    ることにより、前記外部クロックの2倍の周期を持つ前
    記内部クロックを形成することを特徴とする半導体装
    置。
  13. 【請求項13】請求項1において、 前記クロック再生回路は、前記外部クロックの他に前記
    外部クロックを反転した反転外部クロックをさらに受け
    て前記内部クロックを発生するものであり、 前記クロック再生回路は、 前記外部クロックを受けてパルス幅を狭めて前記基準ノ
    ードに前記第1基準クロックとして供給する第1ショッ
    トパルス発生回路と、 前記反転外部クロックを受けてパルス幅を狭めて第2基
    準クロックを供給する第2ショットパルス発生回路と、 前記複数の第2遅延回路のそれぞれに対応して設けられ
    た複数の第3遅延回路と、 前記複数の第2遅延回路の最終段と前記出力基準ノード
    との間に挿入された論理回路とを更に備え、 前記論理回路は、前記制御回路で検出された前記所定の
    遅延段数に対応する前記複数の第2遅延回路の一つの前
    記入力ノードに前記第1基準クロックを入力して所定の
    遅延時間を加算した第1クロックと、前記制御回路で検
    出された前記所定の遅延段数に対応する前記複数の第3
    遅延回路の入力ノードに前記第2基準クロックを入力し
    て前記所定の遅延時間の遅延時間を加算した第2クロッ
    クとの論理和を取って前記出力基準ノードに供給するこ
    とにより、前記外部クロックの2倍の周期を持つ前記内
    部クロックを形成することを特徴とする半導体装置。
  14. 【請求項14】請求項1において、 前記クロック再生回路は、前記外部クロックの他に前記
    外部クロックを反転した反転外部クロックをさらに受け
    て前記内部クロックを発生するものであり、 前記クロック再生回路は、 前記外部クロックを受けてパルス幅を狭めた第1クロッ
    クを発生する第1ショットパルス発生回路と、 前記反転外部クロックを受けてパルス幅を狭めた第2ク
    ロックを発生する第2ショットパルス発生回路と、 前記第1及び第2クロックの論理和を取った信号を前記
    第1基準クロックとして、前記基準ノードに供給するた
    めの論理回路とを備え、 前記内部クロックは前記外部クロックの2倍の周期を持
    つことを特徴とする半導体装置。
  15. 【請求項15】第1外部クロックと前記第1クロックを
    反転した第2外部クロックを受けて、前記第1外部クロ
    ックに同期し、前記第1外部クロックの2倍の周期を持
    つ内部クロックを発生するクロック再生回路を有する半
    導体装置であって、 前記クロック再生回路は、 前記外部クロックを受けてパルス幅を狭めた第1クロッ
    クを発生する第1ショットパルス発生回路と、 前記反転外部クロックを受けてパルス幅を狭めた第2ク
    ロックを発生する第2ショットパルス発生回路と、 前記第1及び第2クロックの論理和を取った第3クロッ
    クを発生する論理回路とを備え 前記第1クロックを受けてそれぞれに位相の異なる複数
    の参照クロックを出力するための複数の第1遅延回路
    と、 前記第1クロックと比較して前記複数の参照クロックの
    うち最も位相の近いものの一つを検出することにより同
    期に必要な所定の遅延段数を検出する比較回路と、前記
    所定の遅延段数の情報を保持するラッチ回路を持つ制御
    回路と、 前記第3クロックがスイッチを介して入力される入力ノ
    ードをそれぞれに持つ複数の第2遅延回路と、 前記内部クロックは、前記制御回路で検出された前記所
    定の遅延段数に対応する前記複数の第2遅延回路の一つ
    の前記入力ノードに前記第3クロックを入力して最終段
    まで伝搬させられることで形成されることを特徴とする
    半導体装置。
  16. 【請求項16】外部クロックを受けて、前記外部クロッ
    クに同期した内部クロックを発生するクロック再生回路
    を有する半導体装置であって、 前記クロック再生回路は、 前記外部クロックが結合され基準クロックを出力するた
    めの入力基準ノードと、 前記入力基準ノードに初段が結合されそれぞれに位相の
    異なる複数の参照クロックを出力するための複数の第1
    遅延回路と、 前記基準クロックと比較して前記複数の参照クロックの
    うち最も位相の近いものの一つを検出することにより同
    期に必要な所定の遅延段数を検出する比較回路と、前記
    所定の遅延段数の情報を保持するラッチ回路を持つ制御
    回路とを備え、 前記複数の第1遅延回路は、前記制御回路で検出された
    前記所定の遅延段数に対応して、前記内部クロックを出
    力することを特徴とする半導体装置。
  17. 【請求項17】請求項16において、 前記複数の第1遅延回路のそれぞれは、前記基準クロッ
    クが第1スイッチを介して供給される入力ノードを更に
    有し、 前記内部クロックは、前記制御回路で検出された前記遅
    延段数に対応する前記複数の第1遅延回路の一つの前記
    入力ノードから前記基準クロックを入力して前記複数の
    第1遅延回路の最終段まで伝搬させることにより形成さ
    れることを特徴とする半導体装置。
  18. 【請求項18】請求項17において、 前記クロック再生回路は、前記複数の第1遅延回路の初
    段への前記基準クロックの供給を制御する第2スイッチ
    を更に有し、 前記複数の第1遅延回路の一つの前記入力ノードの前記
    第1スイッチを導通状態とする前に前記第2スイッチを
    非道通状態とすることを特徴とする半導体装置。
  19. 【請求項19】請求項16において、 前記クロック再生回路は、前記外部クロックを受けてパ
    ルス幅を狭めて前記基準ノードに前記基準クロックとし
    て供給するショットパルス発生回路と、前記前記複数の
    第1遅延回路の1/2の数の遅延回路が直列接続された
    複数の第2遅延回路と、前記複数の第1及び第2遅延回
    路の最終段の出力との論理和をとるための論理回路とを
    更に備え、 前記複数の第1遅延回路のそれぞれは、前記基準クロッ
    クが第1スイッチを介して供給される第1入力ノードを
    更に有し、 前記複数の第2遅延回路のそれぞれは、前記基準クロッ
    クが第2スイッチを介して供給される第2入力ノードを
    更に有し、 前記制御回路で検出された前記所定の遅延段数に対応す
    る前記複数の第1遅延回路の一つの第1入力ノードに前
    記基準クロックを入力して最終段まで伝搬させるととも
    に、前記制御回路で検出された前記所定の遅延段数の半
    分に対応する前記複数の第2遅延回路の一つの第2入力
    ノードに前記基準クロックを入力して最終段まで伝搬さ
    せることにより、前記論理回路から前記外部クロックの
    2倍の周期を持つ前記内部クロックが出力されることを
    特徴とする半導体装置。
  20. 【請求項20】請求項16において、 前記複数の第1遅延回路のそれぞれは、対応する前記参
    照クロックをスイッチを介して出力するための出力ノー
    ドを更に有し、 前記内部クロックは、前記制御回路で検出された前記遅
    延段数に対応する前記複数の第1遅延回路の一つの前記
    出力ノードの前記スイッチを導通状態として出力するこ
    とにより形成されることを特徴とする半導体装置。
  21. 【請求項21】外部クロックを受けて、前記外部クロッ
    クに同期した内部クロックを発生するクロック再生回路
    を有する半導体装置であって、 前記クロック再生回路は、 前記外部クロックを受けて基準クロックを第1ノードか
    ら出力するための入力バッファと、 前記第1ノードに結合される第1入力ノードと、前記第
    1入力ノードにその入力端が結合される直列接続された
    複数の第1遅延回路と、前記複数の第1遅延回路の接続
    ノードの各々に設けられ複数の第2クロックを出力する
    ための複数の第1出力ノードとを持つ第1遅延回路列
    と、 前記第1ノードに結合される第2入力ノードと、前記複
    数の第1出力ノードに結合される複数の参照信号入力ノ
    ードと、複数の参照結果出力ノードとを持つ制御回路
    と、 前記第1ノードに結合される第3入力ノードと、前記複
    数の参照結果出力ノードに結合される複数の制御信号入
    力ノードと、前記複数の制御信号入力ノードに対応して
    それぞれが設けられ直列接続された複数の第2遅延回路
    と、前記複数の第2遅延回路の最終段の出力に結合され
    る第2出力ノードとを持つ第2遅延回路列と、 前記第2出力ノード結合される第2ノードと、 前記第2ノードと結合され前記内部クロックを出力する
    ための出力バッファ回路とを備え、 前記制御回路は、前記第2入力ノードに入力される前記
    第1クロックと前記第1遅延回路列から前記複数の参照
    信号入力ノードに入力される複数のクロック信号との位
    相を比較して最も位相の近い前記複数のクロック信号の
    一つが入力される前記複数の参照信号入力ノードの一つ
    を同期ステージとして検出し、前記同期ステージに対応
    する前記複数の比較結果出力ノードの一つに所定の同期
    検出信号を出力し、 前記第2遅延回路列は、前記所定の同期検出信号が入力
    された前記複数の制御信号入力ノードに対応する前記複
    数の第2遅延回路の一つに前記基準クロックを入力し所
    定の数の前記第2遅延回路を伝搬させて前記第2出力ノ
    ードに出力することを特徴とする半導体装置。
  22. 【請求項22】請求項21において、 前記制御回路は、前記複数の比較結果出力ノードのそれ
    ぞれに結合される複数のラッチ回路を更に含み、 前記複数のラッチ回路は、前記同期ステージの情報を保
    持することを特徴とする半導体装置。
  23. 【請求項23】請求項22において、前記複数のラッチ
    回路が前記同期ステージの情報を保持した後、前記複数
    の第1遅延回路及び前記制御回路に対する前記基準クロ
    ックの入力が停止されることを特徴とする半導体装置。
  24. 【請求項24】請求項21において、 前記半導体装置は、前記第2クロック再生回路を更に有
    し、 前記第2クロック再生回路は、前記入力バッファの出力
    する前記基準クロックと前記出力バッファの出力する前
    記内部クロックとの位相を比較する位相比較回路と、前
    記第2ノードと前記出力バッファの入力端との間に挿入
    され前記位相比較器の比較結果に応じて第1遅延時間を
    単位として遅延時間を調整する可変遅延回路とを有し、 前記第1クロック再生回路の複数の第1及び第2遅延回
    路のそれぞれは、第2遅延時間を有し、 前記第2遅延時間は、前記第1遅延時間よりも大きいこ
    とを特徴とする半導体装置。
  25. 【請求項25】請求項24において、 可変遅延回路は、入力端が前記第2ノードに結合されそ
    の出力端が前記出力バッファの入力端に結合される直列
    接続された複数のインバータ回路を含み、 前記複数のインバータ回路のそれぞれは、そのソース・
    ドレインが並列に接続された第1導電形の複数の第1M
    ISFETと、第1導電形の第2MISFETと、第2
    導電形の第3MISFETと、前記複数の第1MISF
    ETのそれぞれと対をなしそのソース・ドレインが並列
    に接続された第2導電形の複数の第4MISFETとを
    含み、 前記複数の第1MISFETと、前記第2MISFET
    と、前記第3MISFETと、前記複数の第4MISF
    ETはそのソースドレイン経路が直列に接続され、 前記第2及び第3MISFETのゲートを入力端とする
    とともに前記第2及び第3MISFETの結合ノードを
    出力端とし、 前記複数の第1MISFETと対をなす前記複数の第4
    MISFETのそれぞれは、互いにゲートゲート寸法が
    異なることを特徴とする半導体装置。
  26. 【請求項26】外部クロックを受けて、前記外部クロッ
    クに同期した内部クロックを発生するクロック再生回路
    を有する半導体装置であって、 前記クロック再生回路は、 前記外部クロックが結合されそれぞれに位相の異なる複
    数の参照クロックを出力するための複数の第1遅延回路
    と、 前記外部クロックと比較して前記複数の参照クロックの
    うち最も位相の近いものの一つを検出することにより前
    記複数の第1遅延回路における同期に必要な所定の遅延
    段数を検出する比較回路と、前記所定の遅延段数の情報
    を保持するラッチ回路を持つ制御回路と、 前記制御回路で検出された前記所定の遅延段数に対応し
    て、前記外部クロックを遅延させた前記内部クロックを
    出力する複数の第2遅延回路を備えることを特徴とする
    半導体装置。
  27. 【請求項27】請求項1から26のいずれかにおいて、 前記半導体装置は、前記外部クロックに同期してアドレ
    スが入力されるアドレス入力回路と、前記アドレスによ
    って選択される複数のメモリセルと、前記複数のメモリ
    セルにからの読み出しデータを前記内部クロックに同期
    して出力する出力回路を含む同期式メモリを更に有する
    ことを特徴とする半導体装置。
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